CN105264772A - 弹性波滤波器装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够有效地抑制横向模式纹波的弹性波滤波器装置。弹性波滤波器装置(1)是具有串联臂和并联臂并具有多个弹性波谐振器的弹性波滤波器装置，各弹性波谐振器具有IDT电极，在将电极指(23、24)延伸的方向设为IDT电极中的宽度方向时，IDT电极构成为在宽度方向中央具有中央区域，在中央区域外侧具有低声速区域，在中央区域更外侧具有高声速区域，至少一个弹性波谐振器的低声速区域的宽度(W1A)与其余弹性波谐振器的低声速区域的宽度(W1B)不同。

Description

弹性波滤波器装置
技术领域
本发明涉及将多个弹性波谐振器连接而成的弹性波滤波器装置，尤其涉及具有串联臂和并联臂的弹性波滤波器装置。
背景技术
过去，提出了各种具有由弹性表面波谐振器构成的串联臂谐振器以及并联臂谐振器的滤波器装置。例如在下述的专利文献1、2中公开了与IDT电极中的电极指交叉部的声速相比降低了电极指前端侧部分的声速的结构。由此，通过形成活塞模式(pistonmode)，从而能够实现基于横向模式(transversemodes)的纹波的抑制。
在专利文献1中，还公开了使串联臂谐振器中的开口宽度、声速不同的区域与并联臂谐振器中的开口宽度、声速不同的区域相异。
在下述的专利文献3中，公开了将并联臂谐振器中的交叉宽度设得比串联臂谐振器的交叉宽度大的梯型滤波器。由此，实现了横向模式所引起的寄生信号的抑制以及小型化。通过增大并联臂谐振器的交叉宽度，从而横向模式的高次谐波增加。通过该横向模式的高次谐波的增加，从而使横向模式寄生信号分散。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：WO2011/088904A1
专利文献2：JP特开2011-101350号公报
专利文献3：JP特开2011-205625号公报
发明内容
发明要解决的课题
在专利文献1、2中，公开了通过形成活塞模式来实现横向模式纹波的抑制的构成。此外，在专利文献1中，特别记载了在串联臂谐振器和并联臂谐振器中使IDT电极的开口宽度、声速不同的区域的形状相异。但是，仅仅在串联臂谐振器和并联臂谐振器中使开口宽度、声速不同的区域相异，是无法可靠地抑制横向模式纹波的。
此外，如专利文献3所记载的那样，仅仅改变交叉宽度，是难以充分地抑制横向模式纹波的。
本发明的目的在于提供一种能够可靠地抑制横向模式纹波的弹性波滤波器装置。
用于解决课题的手段
本发明所涉及的弹性波滤波器装置具有将输入端子和输出端子连结的串联臂、以及将串联臂和接地电位连结的并联臂，并具有多个弹性波谐振器。在本发明中，各弹性波谐振器具有压电基板和形成在压电基板上的IDT电极。
在本发明中，所述IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与第1汇流条隔开配置；多根第1电极指，基端与第1汇流条电连接且向第2汇流条侧延伸；和多根第2电极指，基端与所述第2汇流条连接且向所述第1汇流条侧延伸，并与多根所述第1电极指相互插入其间。
而且，在所述IDT电极的所述第1电极指、第2电极指延伸的方向中央设置有中央区域，在所述中央区域的所述电极指延伸的方向外侧设置有与中央区域相比声速相对低的低声速区域，在所述低声速区域延伸的方向外侧设置有与中央区域相比弹性波传播速度高的高声速区域。在本发明中，在将与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向时，至少一个弹性波谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余弹性波谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的某一特定的方面中，所述第1汇流条、第2汇流条具有沿着所述弹性波传播方向分散配置的多个开口，将与该开口相比IDT电极的宽度方向内侧部分设为内侧汇流条部，将设置有所述多个开口部的部分设为中央汇流条部，将中央汇流条部的外侧部分设为外侧汇流条部，所述内侧汇流条部具有在弹性波传播方向上延伸的带状的形状，所述中央汇流条部构成了所述高声速区域。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的另一特定的方面中，包含所述内侧汇流条宽度以及/或者与所述中央区域相比设置于基端侧的宽幅部，所述内侧汇流条宽度以及/或者所述宽幅部的宽度在所述至少一个弹性波谐振器和其余弹性波谐振器中不同。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的其他特定的方面中，所述多个弹性波谐振器构成了具有设置于串联臂的串联臂谐振器、和设置于并联臂的并联臂谐振器的梯型滤波器，所述至少一个弹性波谐振器是所述串联臂谐振器，所述其余弹性波谐振器是所述并联臂谐振器。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸小于所述并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器分别具有多个谐振器，所述多个串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸小于所述多个并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述多个串联臂谐振器之中的至少一个串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述多个并联臂谐振器之中的至少一个并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
在本发明所涉及的弹性波滤波器装置的又一特定的方面中，所述低声速区域包含所述内侧汇流条宽度以及/或者与所述中央区域相比设置于基端侧的宽幅部，与并联臂谐振器相比串联臂谐振器的所述内侧汇流条宽度以及/或者所述宽幅部的宽度小。
发明效果
根据本发明所涉及的弹性波滤波器装置，由于至少一个弹性波谐振器的低声速区域的宽度与其余弹性波谐振器的低声速区域的宽度不同，因此能够有效地抑制横向模式纹波。
附图说明
图1(a)以及图1(b)是将本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置的一个串联臂谐振器以及一个并联臂谐振器的IDT电极的重要部分进行放大来表示的局部剖开俯视图。
图2是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置的电路图。
图3(a)以及图3(b)是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置中的串联臂谐振器S1-1的示意性俯视图以及表示其电极结构的放大剖面图。
图4是表示本发明的第1、第2实施方式所涉及的弹性波滤波器装置以及比较例的弹性波滤波器装置的各滤波器特性的图。
图5是表示在本发明的弹性波滤波器装置所使用的弹性波谐振器中使用的弹性波谐振器的IDT电极的平面形状的变形例的局部剖开俯视图。
图6是表示在本发明的弹性波滤波器装置所使用的弹性波谐振器中使用的弹性波谐振器的IDT电极的平面形状的其他变形例的局部剖开俯视图。
具体实施方式
以下，通过参照附图来说明本发明的具体实施方式，从而使本发明清楚明了。
图2是本发明的第1实施方式所涉及的弹性波滤波器装置的电路图。弹性波滤波器装置1是梯型滤波器。但是，如后所述，本发明并不限定于梯型滤波器。
弹性波滤波器装置1具有将输入端子2和输出端子3连结的串联臂4。设置有将串联臂4和接地电位连结的第1～第3并联臂5、6、7。在串联臂4上，配置有多个串联臂谐振器S1-1～S1-3、S2-1～S2-3、S3-1～S3-3。电容器C1与串联臂谐振器S2-2、S2-3并联连接。
并联臂5将串联臂谐振器S1-3和串联臂谐振器S2-1之间的连接点与接地电位连结。在并联臂5上，串联连接有并联臂谐振器P1和电感L1。
第2并联臂6连接于串联臂谐振器S2-3和串联臂谐振器S3-1之间的连接点。第3并联臂7连接于输出端子3。
在第2并联臂6以及第3并联臂7上，分别配置有并联臂谐振器P2、P3。第2并联臂6和第3并联臂7通过公共连接点8来进行公共连接，在公共连接点8和接地电位之间连接有电感L2。
在弹性波滤波器装置1中，上述串联臂谐振器S1-1～S3-3以及并联臂谐振器P1～P3分别由弹性表面波谐振器构成。
众所周知，弹性表面波谐振器具有在压电基板上形成IDT电极的结构。
图3(a)以及(b)是串联臂谐振器S1-1的示意性俯视图以及表示其电极结构的放大剖面图。
如图3(a)所示，串联臂谐振器S1-1具有：压电基板11、和形成在压电基板11上的IDT电极12。在IDT电极12的弹性表面波传播方向两侧，设置有反射器13、14。串联臂谐振器S1-1是具有上述结构的单端口型的弹性表面波谐振器。另外，在图3(a)中虽然省略了图示，但层叠了SiO2膜以及SiN膜作为电介质层，使得覆盖上述IDT电极12、反射器13、14。
图3(b)放大来表示该层叠结构。在本实施方式中，压电基板11由127.5°Y-X的LiNbO3构成。但是，在本发明中，构成压电基板的材料并没有特别限定。即，能够使用各种各样的压电单晶、压电陶瓷。
在图3(b)中，将上述IDT电极12的形成了1根电极指的部分进行放大来表示。在压电基板11上，构成有IDT电极12。在本实施方式中，该IDT电极12由层叠金属膜构成。即，具有从下到上依次层叠了NiCr膜12a、Pt膜12b、Ti膜12c、AlCu膜12d以及Ti膜12e的结构。在本实施方式中，各层的厚度设为NiCr膜12a：Pt膜12b：Ti膜12c：AlCu膜12d：Ti膜12e：此外，层叠了SiO2膜15使得覆盖IDT电极12。SiO2膜15的从压电基板11的上表面到SiO2膜15的上表面为止的尺寸即厚度为在SiO2膜15上，层叠了SiN膜16。SiN膜16的厚度为
另外，作为上述电介质层的SiO2膜15以及SiN膜16可以不必一定设置。
以串联臂谐振器S1-1为代表示出了弹性表面波谐振器的结构，但其他的串联臂谐振器S1-2～S3-3以及并联臂谐振器P1～P3也由同样的单端口型弹性表面波谐振器构成。此外，各弹性表面波谐振器中的电极结构以及电介质层的厚度等与串联臂谐振器S1-1相同。
对于本实施方式的弹性波滤波器装置1而言，在串联臂谐振器S1-1～S3-3以及并联臂谐振器P1～P3中，在各弹性表面波谐振器内设置有低声速区域和高声速区域。而且，为了利用活塞模式来实现横向模式纹波的抑制，设置有下述的低声速区域以及高声速区域。参照图1(a)以及(b)对此更具体地进行说明。
图1(a)是表示串联臂谐振器S3-1的IDT电极的重要部分的局部剖开放大俯视图。串联臂谐振器S3-1的IDT电极具有第1汇流条21。在图1(a)中，仅图示了第1汇流条21侧，虽然第2汇流条侧省略了图示，但先要指出的是其与第1汇流条侧同样地构成。
在IDT电极中，将与弹性表面波传播方向正交的方向即电极指延伸的方向设为宽度方向。汇流条21具有内侧汇流条部21A、中央汇流条部21B以及外侧汇流条部21C。在此，所谓内侧，是指将第1、第2电极指23、24交叉的区域一侧设为内侧。
第1电极指23的基端与第1汇流条21连接。第2电极指24的基端与第2汇流条(未图示)连接。
在第1汇流条21中，在中央汇流条部21B设置有开口部25。开口部25在本实施方式中具有矩形的形状。但是，开口部25的形状并没有特别限定。通过设置开口部25，从而设置了开口部25的中央汇流条部21B的声速如V3所示成为高声速。设置了该中央汇流条部21B的区域构成了高声速区域。
内侧汇流条部21A是细长带状的汇流条部分。因此，因为是已被金属化的区域，所以构成了低声速区域。此外，在第1电极指23的基端侧部分，具有凸部23a和多个宽幅部23b，该宽幅部23b具有宽度方向突出部。在第2电极指24的前端侧也设置了宽幅部24a。由于设置了宽幅部23b、24a，因此该区域构成了低声速区域。
另一方面，第1电极指23和第2电极指24交叉的区域的宽度方向中央部分成为由声速V1所示的中央区域。
即，在串联臂谐振器S3-1中，低声速区域位于中央区域的外侧，高声速区域位于低声速区域的外侧。该中央区域的声速为V1，低声速区域的声速为V2A，高声速区域的声速为V3。此外，将低声速区域的宽度设为W1A，并将高声速区域的宽度设为W2。
在本实施方式中，该串联臂谐振器S3-1的低声速区域的宽度为W1A，串联臂谐振器S3-2以及S3-3的低声速区域的宽度也设为相同的W1A。
另一方面，图1(b)是表示本实施方式中的并联臂谐振器P1的IDT电极的重要部分的图。并联臂谐振器P1的电极结构与图1(a)所示的串联臂谐振器S3-1大致相同。但是，低声速区域的宽度W1B大于图1(a)所示的低声速区域的宽度W1A。即，在本实施方式中，串联臂谐振器S3-1～S3-3中的低声速区域的宽度W1A小于并联臂谐振器P1的低声速区域的宽度W1B。
而且，将上述低声速区域的宽度W1B设得比其余的并联臂谐振器P2、P3以及串联臂谐振器S1-1～S3-3的低声速区域的宽度大。
在本实施方式中，由于将串联臂谐振器S3-1～S3-3的低声速区域的宽度W1A设得比其余的谐振器中的低声速区域的宽度小，因此能够有效地抑制通频带内的横向模式纹波。基于具体的实验例对此进行说明。
在下述的表1中，示出本实施方式的串联臂谐振器S1-1～S3-3以及并联臂谐振器P1～P3的设计参数。
[表1]
【表1】
P1 S1-1 S1-2 S1-3 P2 S2-1 S2-2 S2-3 P3 S3-1 S3-2 S3-3
IDT波长(μm) 2.150 2.040 2.040 2.040 2.137 2.043 2.042 2.034 2.113 2.033 2.033 2.033
交叉宽度(μm) 48 33 39 38 53 42 41 31 61 34 34 29
对数 87 171 171 171 97 189 188 139 110 152 152 133
占空比 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475 0.475
图4的实线表示本实施方式的弹性波滤波器装置1的衰减量频率特性。此外，虚线表示在所有的谐振器中低声速区域以及高声速区域的宽度都相同的比较例的结果。此外，单点划线表示后述的第2实施方式的衰减量频率特性。
比较实线和虚线可知，在比较例中能够观察到由箭头A所示的较大的纹波，相对于此，在本实施方式中观察不到。此外，在由虚线所示的滤波器特性中出现了由箭头B所示的纹波，相对于此，在本实施方式中并未出现。
上述箭头A所示的横向模式纹波可以认为是串联臂谐振器S3-1～S3-3所引起的纹波。
对于梯型滤波器而言，由并联臂谐振器的反谐振频率和串联臂谐振器的谐振频率构成通频带。因此，若在并联臂谐振器的反谐振频率附近以及串联臂谐振器的谐振频率附近残留横向模式，则会在通频带内产生纹波。
对于上述图4中由虚线所示的比较例而言，在所有的谐振器中，低声速区域以及高声速区域都设为了相同。所以，无法在所有的谐振器中完全地抑制横向模式纹波。因而，在通频带内产生横向模式纹波。因此，存在通频带内的损耗恶化这样的问题。尤其是如图4中箭头A所示，在通频带内产生了串联臂谐振器S3-1、S3-2以及S3-3所引起的横向模式纹波。另外，由该箭头A所示的纹波起因于串联臂谐振器S3-1～S3-3可以通过与第2实施方式的比较来推测。
在本实施方式中，如图4的实线所示，观察不到由该箭头A所示的横向模式纹波。这是因为，如前所述，在串联臂谐振器S3-1～S3-3中，将低声速区域的宽度W1A设得比其余的串联臂谐振器S1-1～S2-3的低声速区域的宽度小。即，由于通过将低声速区域的宽度设得较小，能够减少S3-1～S3-3的横向模式纹波，因此可知能够抑制由上述箭头A所示的通频带内纹波。
另外，在本实施方式中，在并联臂谐振器P1中，将上述低声速区域的宽度W1B设得比其余的并联臂谐振器P2、P3以及串联臂谐振器S1-1～S1-3的低声速区域的宽度大。因此，由箭头B所示的横向模式纹波也得到了抑制。
图4的单点划线是作为第2实施方式，除了将串联臂谐振器S3-1～S3-3的低声速区域的宽度设为与串联臂谐振器S1-1～S2-3相同以外而与上述实施方式同样地构成的弹性波滤波器装置的衰减量频率特性。即，在第2实施方式中，将串联臂谐振器S1-1～S3-3的低声速区域的宽度设得比并联臂谐振器P1～P3的低声速区域的宽度小。另外，比较由单点划线所示的滤波器特性与由虚线所示的比较例的滤波器特性可知，在第2实施方式中，并联臂谐振器P1所引起的横向模式纹波也得到了抑制。
然而，优选为，如第1实施方式那样，期望将串联臂谐振器S3-1～S3-3的低声速区域的宽度W1A的宽度设得比其他的串联臂谐振器S1-1～S2-3的低声速区域的宽度小。由此可知，由箭头A所示的纹波也能够抑制。
根据第1以及第2实施方式可知，在梯型电路结构的弹性波滤波器装置1中，较为理想的是，将串联臂谐振器S1-1～S3-3中的低声速区域的宽度设得比并列臂谐振器P1～P3的低声速区域的宽度小。由此，能够抑制在串联臂谐振器的谐振频率附近、以及并联臂谐振器的反谐振频率附近产生的横向模式纹波，其结果能够抑制频带内纹波。因此，能够有效地抑制梯型电路结构的弹性波滤波器装置中的频带内纹波。
对于前述的专利文献1～3的构成而言，难以充分地抑制频带内的横向模式的纹波。尤其是在专利文献1中，虽然记载了在串联臂谐振器和并联臂谐振器中使IDT电极的开口宽度、声速不同的区域的形状相异，但仅仅如此是难以充分抑制横向模式纹波的。相对于此，在本申请发明中发现，通过尤其是使串联臂谐振器中的低声速区域的宽度与并联臂谐振器中的低声速区域的宽度不同，从而能够抑制横向模式纹波。因此，能够有效地抑制频带内的横向模式纹波。
另外，在本发明中，并不限定于上述实施方式那样的具有梯型电路结构的弹性波滤波器装置。即，能够将本发明应用于具有串联臂以及并联臂并具有多个弹性波谐振器的各种各样的滤波器装置。例如，也可以是具有串联臂和并联臂，并在多个并联臂中分别配置有弹性波谐振器，而在串联臂中未配置弹性波谐振器的滤波器装置。或者，也可以是反之，在串联臂中多个弹性波谐振器彼此串联地连接，而在并联臂中不具有弹性波谐振器的滤波器装置。还可以是在串联臂中具有一个弹性波谐振器、且在并联臂中具有一个弹性波谐振器的弹性波滤波器装置。
不管哪种情况，通过使多个弹性波谐振器之中的至少一个弹性波谐振器中的低声速区域的宽度与其余的弹性波谐振器中的低声速区域的宽度不同，都能够按照本发明来抑制频带内纹波。尤其是与配置于并联臂的弹性波谐振器相比将配置于串联臂的弹性波谐振器的低声速区域的宽度设得较小是很有效的，由此，能够有效地抑制通频带内纹波。
另外，在本发明中使用的弹性波谐振器可以是前述的利用了弹性表面波的弹性表面波谐振器，也可以是利用弹性边界波等其他弹性波的弹性波谐振器。
即，能够使用具有IDT电极的任意的弹性波谐振器。
另外，上述低声速区域的宽度的变更能够以各种各样的方式来进行。例如，若取图1(a)所示的串联臂谐振器S3-1为例，则能够通过使设置了宽幅部23b的区域的宽度方向尺寸、构成了内侧汇流条部21A的带状的汇流条部分的宽度发生变化的方法等来实现。
此外，并不限于图1(a)所示的在电极指的前端侧以及基端侧设置了多个宽幅部的结构，也可以是如图5所示的弹性波谐振器51那样，在第2电极指24的前端侧设置了一个宽幅部24a的结构。
此外，也可以如图6所示的弹性波谐振器61那样，在第1、第2电极指23、24不设置宽幅部而仅通过内侧汇流条部21A来形成低声速区域。在该情况下，通过调整内侧汇流条部21A的宽度，从而能够调整低声速区域的宽度。
符号说明
1…弹性波滤波器装置
2…输入端子
3…输出端子
4…串联臂
5～7…第1～第3并联臂
8…公共连接点
11…压电基板
12…IDT电极
12a…NiCr膜
12b…Pt膜
12c…Ti膜
12d…AlCu膜
12e…Ti膜
13、14…反射器
15…SiO2膜
16…SiN膜
21…汇流条
21A…内侧汇流条部
21B…中央汇流条部
21C…外侧汇流条部
23、24…第1、第2电极指
23a…凸部
23b、24a…宽幅部
25…开口部
51、61…弹性波谐振器
S1-1～S3-3…串联臂谐振器
P1～P3…并联臂谐振器

Claims (9)

1.一种弹性波滤波器装置，具有将输入端子和输出端子连结的串联臂、以及将串联臂和接地电位连结的并联臂，并具有多个弹性波谐振器，
各弹性波谐振器具有压电基板和形成在所述压电基板上的IDT电极，
所述IDT电极具有：第1汇流条；第2汇流条，与所述第1汇流条隔开配置；和多根第1电极指，基端与所述第1汇流条电连接且向所述第2汇流条侧延伸；和多根第2电极指，基端与所述第2汇流条连接且向所述第1汇流条侧延伸，并与多根所述第1电极指相互插入其间，
在所述IDT电极的所述第1电极指、第2电极指延伸的方向中央设置有中央区域，在所述中央区域的所述电极指延伸的方向外侧设置有与所述中央区域相比声速相对低的低声速区域，在所述低声速区域延伸的方向外侧设置有与所述中央区域相比弹性波传播速度高的高声速区域，
在将与弹性波传播方向正交的方向设为宽度方向时，至少一个弹性波谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余弹性波谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
2.根据权利要求1所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述第1汇流条、第2汇流条具有沿着所述弹性波传播方向分散配置的多个开口，将与该开口相比IDT电极的宽度方向内侧部分设为内侧汇流条部，将设置有所述多个开口部的部分设为中央汇流条部，将所述中央汇流条部的外侧部分设为外侧汇流条部，所述内侧汇流条部具有在所述弹性波传播方向上延伸的带状的形状，所述中央汇流条部构成了所述高声速区域。
3.根据权利要求2所述的弹性波滤波器装置，其中，
包含所述内侧汇流条宽度以及/或者与所述中央区域相比设置于基端侧的宽幅部，所述内侧汇流条宽度以及/或者所述宽幅部的宽度在所述至少一个弹性波谐振器和其余弹性波谐振器中不同。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述多个弹性波谐振器构成了具有设置于串联臂的串联臂谐振器、和设置于并联臂的并联臂谐振器的梯型滤波器，所述至少一个弹性波谐振器是所述串联臂谐振器，所述其余弹性波谐振器是所述并联臂谐振器。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸小于所述并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述串联臂谐振器以及所述并联臂谐振器分别具有多个谐振器，所述多个串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸小于所述多个并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸。
7.根据权利要求5或6所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述多个串联臂谐振器之中的至少一个串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余串联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
8.根据权利要求5或6所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述多个并联臂谐振器之中的至少一个并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸与其余并联臂谐振器的低声速区域的宽度方向尺寸不同。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的弹性波滤波器装置，其中，
所述低声速区域包含所述内侧汇流条宽度以及/或者与所述中央区域相比设置于基端侧的宽幅部，与并联臂谐振器相比串联臂谐振器的所述内侧汇流条宽度以及/或者所述宽幅部的宽度小。
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