CN110995195B - 滤波器 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种滤波器，该滤波器包括串联部分和并联部分，串联部分包括多个依次串联的串联谐振单元，其中，所述多个依次串联的串联谐振单元其中至少之一为特定串联谐振单元，特定串联谐振单元包括串联的第一谐振器组和第二谐振器组，第一谐振器组和第二谐振器组的谐振频率不同。本申请提供的滤波器，通过将第二串联谐振单元设置为两个谐振频率不同的谐振器组，这两个谐振频率不同的谐振器组的阻抗横向谐振模式也不相同，因此，这两个谐振频率不同的谐振器组在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

Description

滤波器

技术领域

本申请涉及通信用滤波类器件技术领域，具体而言，本申请涉及一种滤波器。

背景技术

近年来，随着市场的迅猛发展，无线通讯终端和设备不断朝着小型化、多模-多频段的方向发展，对滤波器性能的要求也越来越高，主要体现在更低的插入损耗，更高的带外抑制及陡降。目前，能够满足通讯终端使用的小尺寸滤波器主要是压电声波滤波器，构成此类声波滤波器的谐振器主要包括：薄膜体声波谐振器(Film Bulk Acoustic Resonator，FBAR)、固态装配谐振器(Solidly Mounted Resonator，SMR)和表面声波谐振器(SurfaceAcoustic Wave，SAW)。其中基于体声波原理制造的FBAR和SMR滤波器，相比基于表面声波原理制造的SAW滤波器，具有更高的Q值。

通讯终端发展的另一个重要趋势是更高的数据传输量，无论是基于WLAN协议的Wi-Fi通信，还是基于3GPP协议的LTE通信，数据传输量相比3G时代已经有了指数级的飞跃。提高数据传输量的途径主要有两种：一是通过载波聚合实现信道的扩展，但是这需要对终端硬件及软件设计做较大的升级改动，且实现的带宽扩展最多为2-3倍。二是通过提高调制解调效率，从早期的BPSK，QPSK调试，到大数据传输量的16-QAM，64-QAM，甚至256-QAM，数据传输速率理论上最大可以得到上百倍的提升。

但是，调制模式的提高，对通信信道的性能也提出了更高的要求，信道质量不高，将直接影响EVM特性，从而使数据传输速率退化。对于滤波器来说，群时延波动会影响数据的传输速率。

发明内容

有鉴于此，本发明提出一种滤波器，用以解决现有技术存在的滤波器的群时延波动较差的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种滤波器，包括串联部分和并联部分，所述串联部分包括多个依次串联的串联谐振单元；所述多个依次串联的串联谐振单元其中至少之一为特定串联谐振单元，所述特定串联谐振单元包括串联的第一谐振器组和第二谐振器组，所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的谐振频率不同。

可选地，所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的谐振频率相差平均谐振频率的0.2‰～5‰。

可选地，所述第一谐振器组和所述第二谐振器组均包括至少一个谐振器，所述第一谐振器组的谐振器的面积与所述第二谐振器组的谐振器的面积不同，以使所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的响应曲线中横向谐振毛刺的分布不同。

可选地，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第二谐振器，所述第二谐振器组包括所述第三谐振器和所述第四谐振器；其中所述第一谐振器与所述第二谐振器的面积相同，所述第三谐振器和所述第四谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第三谐振器的面积不同。

可选地，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器和第三谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第二谐振器；其中所述第一谐振器与所述第三谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第二谐振器的面积不同。

可选地，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第二谐振器和所述第四谐振器；其中所述第一谐振器与所述第三谐振器的面积相同，所述第二谐振器和所述第四谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第二谐振器的面积不同。

可选地，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器、所述第二谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第四谐振器；其中所述第一谐振器、所述第二谐振器和所述第三谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第四谐振器的面积不同。

可选地，所述第一谐振器组的谐振器的形状为第一形状，所述第二谐振器组的谐振器的形状为第二形状，所述第一形状与所述第二形状不同。

可选地，所述第一谐振器组包括第一谐振器和第二谐振器，所述第一谐振器具有第一输入边和第一连接边，所述第二谐振器具有第一输出边和第二连接边，所述第二谐振器组包括第三谐振器和第四谐振器，所述第三谐振器具有第二输入边和第三连接边，所述第四谐振器具有第二输出边和第四连接边，所述第一连接边与所述第二连接边相连，所述第三连接边与所述第四连接边相连；其中，所述第一连接边的长度与所述第二连接边的长度相同，所述第一输入边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述第一输出边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述第三连接边的长度与所述第四连接边的长度相同，所述第二输入边的长度与所述第三连接边的长度不同，所述第二输出边的长度与所述第三连接边的长度不同。

可选地，所述第一谐振器组包括第一谐振器和第三谐振器，所述第一谐振器具有输入边和第一连接边，所述第三谐振器具有输出边和第二连接边，所述第二谐振器组包括第二谐振器，所述第二谐振器具有第三连接边和第四连接边，所述第一连接边与所述第三连接边相连，所述第二连接边与所述第四连接边相连；其中，所述第一连接边的长度、所述第二连接边的长度、所述第三连接边的长度以及所述第四连接边的长度均相同，所述输入边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述输出边的长度与所述第一连接边的长度不同。

可选地，所述并联部分包括第一并联谐振器和所述第二并联谐振器；所述第一并联谐振器连接在所述第一串联谐振单元和所述第二串联谐振单元之间，所述第二并联谐振器连接在所述第二串联谐振单元和所述第三串联谐振单元之间。

可选地，所述谐振器为薄膜体声波谐振器或固态装配谐振器。

根据本发明的技术方案，通过将第二串联谐振单元设置为两个谐振频率不同的谐振器组，这两个谐振频率不同的谐振器组的阻抗横向谐振模式也不相同，因此，这两个谐振频率不同的谐振器组在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为现有技术中一个谐振频点在2.6GHz附近的FBAR谐振器的典型特性曲线；

图2为现有技术中的一种串联谐振器阻抗实部的曲线；

图3为本申请实施例提供的一种滤波器的结构示意图；

图4为本申请实施例提供的一种滤波器的电路图；

图5为图4所示的滤波器与现有技术中作为对照设计的群时延特性曲线；

图6为本申请实施例提供的另一种滤波器的电路图；

图7为本申请实施例提供的又一种滤波器的电路图；

图8为本申请实施例提供的再一种滤波器的电路图；

图9为典型梯型滤波器中串联谐振器(谐振频率为Fs，反谐振频率为Fp)与并联谐振器(谐振频率为Fs’，反谐振频率为Fp’)的阻抗对应关系示意图；

图10为图4所示的滤波器中第二串联谐振单元拆分后得到的谐振器的版图设计示意图；

图11为图4所示的滤波器中第二串联谐振单元中两个谐振器组的阻抗实部曲线；

图12为图6所示的滤波器中第二串联谐振单元拆分后得到的谐振器的版图设计示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请，本申请的实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的部件或具有相同或类似功能的部件。此外，如果已知技术的详细描述对于示出的本申请的特征是不必要的，则将其省略。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

如图1所示，在现有技术中，谐振频点在2.6GHz附近的FBAR谐振器的特性曲线与史密斯圆图中的水平位置的虚部等于0的直线分别有两个交点，位于圆图左侧的为谐振器的谐振频率(Fs)，位于圆图右侧的为谐振器的反谐振频率(Fp)。在Fs以下的部分，因为FBAR谐振器的声学能量场的横向泄漏，导致在一段频率范围内存在幅值不同的横向谐振，表现为谐振器曲线出现很多圆圈状的抖动。

如图2所示，现有技术中，串联谐振器组中，其谐振频率Fs为2605MHz，在Fs以下约80MHz的范围，因为FBAR谐振器的声学能量声和横向泄漏，导致阻抗曲线在这一区域存在较多的毛刺或抖动，从而使滤波器的群时延特性变差，降低终端数据传输的效率。

因此，在不牺牲滤波器其它电学特性的基础上，如何改善因横向谐振引起的群时延特性恶化，成为滤波器设计工程师亟待解决的一个问题。

本申请提供的滤波器，旨在解决现有技术的如上技术问题。

下面以具体地实施例对本申请的技术方案以及本申请的技术方案如何解决上述技术问题进行详细说明。

本申请实施例提供了一种滤波器，如图3所示，本实施例提供的滤波器包括串联部分I和并联部分II，串联部分I包括依次串联的三个串联谐振单元，这三个依次串联的串联谐振单元包括特定串联谐振单元，特定谐振单元包括串联的第一谐振器组21和第二谐振器组22，第一谐振器组21和第二谐振器组22的谐振频率不同。图3以及下文中，以串联部分I包括依次串联的三个串联谐振单元为例进行说明，在实现中本申请技术方案可应用于串联部分包含多个串联谐振单元的情形。

具体地，这三个依次串联的串联谐振单元分别为第一串联谐振单元1、第二串联谐振单元2和第三串联谐振单元3，以图3所示的滤波器为例，第二串联谐振单元2为特定谐振单元，即第二串联谐振单元2包括串联且谐振频率不同的第一谐振器组21和第二谐振器组22。

需要说明的是，串联部分I可以包括更多数量的串联谐振单元，并且，特定串联谐振单元可为串联部分I的任意一个或多个串联谐振单元。

根据上述的滤波器，通过将串联谐振单元中的任意一个或几个设置为两个谐振频率不同的谐振器组，这两个谐振频率不同的谐振器组的阻抗横向谐振模式也不相同，因此，这两个谐振频率不同的谐振器组在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

在下述实施例中，如无特殊声明，均以第二串联谐振单元2作为特定串联谐振单元为例进行描述。

请继续参见图3，优选地，第一谐振器组21和第二谐振器组22的谐振频率相差平均谐振频率的0.2‰～5‰。平均谐振频率为所有串联谐振器的谐振频率平均值(约2605MHz)，该平均值的0.2‰～5‰为0.52MHz～13MHz。当第一谐振器组21和第二谐振器组22的谐振频率相差0.52MHz～13MHz时，第一谐振器组21和第二谐振器组22谐振频率以下的阻抗毛刺可以在一定程度上相互弥补，对于本例，优选地设定两组谐振器的谐振频率相差2MHz。在该谐振频率差下，第一谐振器组21和第二谐振器组22在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补效果良好，能够显著提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

可选地，请继续参见图3，第一谐振器组21和第二谐振器组22均包括至少一个谐振器，第一谐振器组21的谐振器的面积与第二谐振器组22的谐振器的面积不同，以使第一谐振器组21和第二谐振器组22的响应曲线中横向谐振毛刺的分布不同。通过对第一谐振器组21的谐振器的面积、以及第二谐振器组22的谐振器的面积进行设计，能够对第一谐振器组21和第二谐振器组22的谐振频率进行设计，从而实现第一谐振器组21和第二谐振器组22的响应曲线中横向谐振毛刺的分布不同，进而改善滤波器的群时延波动特性。

在下述实施例中，将结合具体的电路图对滤波器的特定串联谐振单元进行详细说明。

请参见图4，第二串联谐振单元2(特定串联谐振单元)包括依次串联的第一谐振器S21、第二谐振器S22、第三谐振器S23和第四谐振器S24，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第二谐振器S22，第二谐振器组22包括第三谐振器S23和第四谐振器S24；其中，第一谐振器S21与第二谐振器S22的面积相同，第三谐振器S23和第四谐振器S24的面积相同，第一谐振器S21和第三谐振器S24的面积不同。

请参见图5，由于第一谐振器组和第二谐振器组中的谐振器的面积不同，使得第一谐振器组和第二谐振器组中的谐振器的谐振频率不同，由图5可以看到群时延的毛刺得到了改善，这有助于提升滤波器的群时延特性。

请参见图6，本实施例提供了另一种滤波器，该滤波器的第二串联谐振单元2(特定串联谐振单元)包括依次串联的第一谐振器S21、第二谐振器S22和第三谐振器S23，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第三谐振器S23，第二谐振器组22包括第二谐振器S22；其中，第一谐振器S21与第三谐振器S23的面积相同，第一谐振器S21和第二谐振器S22的面积不同。

请参见图7，本实施例提供了又一种滤波器，该滤波器的第二串联谐振单元2(特定串联谐振单元)包括依次串联的第一谐振器S21、第二谐振器S22、第三谐振器S23和第四谐振器S24，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第二谐振器S22，第二谐振器组22包括第三谐振器S23和第四谐振器S24；其中，第一谐振器S21与第三谐振器S23的面积相同，第二谐振器S22和第四谐振器S24的面积相同，第一谐振器S21和第二谐振器S22的面积不同。

请参见图8，本实施例提供了再一种滤波器，该滤波器的第二串联谐振单元2(特定串联谐振单元)包括依次串联的第一谐振器S21、第二谐振器S22、第三谐振器S23和第四谐振器S24，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第二谐振器S22，第二谐振器组22包括第三谐振器S23和第四谐振器S24；其中，第一谐振器S21、第二谐振器S22和第三谐振器S23的面积相同，第一谐振器S21和第四谐振器S24的面积不同。

请参见图9，一般情况下，串联谐振器(串联谐振单元中的谐振器)的Fs与并联谐振器(并联谐振单元中的谐振器)的Fp’基本相当，从而根据阻抗比形成滤波器的基本形状。图9所示出的区域即为滤波器的通带频率范围，也就是关注群时延特性的区域，由于横向谐振只存在于Fs以下的一段频率，由图9可以看出，只有串联谐振器的横向谐振毛刺会位于滤波器的通带。

如前所述，特定串联谐振单元可以是一个或多个。也就是说，以三个串联谐振单元为例，第一串联谐振单元包括两个谐振频率不同的谐振器，或者/并且第三串联谐振单元包括两个谐振频率不同的谐振器。为了便于说明，仅以图7所示的滤波器为例，第一串联谐振单元1包括第五谐振器S11和第六谐振器S12，第五谐振器S11和第六谐振器S12的谐振频率不同；第三串联谐振单元3包括第七谐振器S31和第八谐振器S32，第七谐振器S31和第八谐振器S32的谐振频率不同。具体地，可以通过将第五谐振器S11和第六谐振器S12设计为面积不同的谐振器来使第五谐振器S11和第六谐振器S12的谐振频率不同；将第七谐振器S31和第八谐振器S32设计为面积不同的谐振器来使第七谐振器S31和第八谐振器S32的谐振频率不同。

请参见图3，并结合图4、图6、图7以及图8中的任一附图，本申请实施例中的滤波器中的并联部分II包括第一并联谐振器P1和第二并联谐振器P2；第一并联谐振器P1连接在第一串联谐振单元1和第二串联谐振单元2之间，第二并联谐振器P2连接在第二串联谐振单元2和第三串联谐振单元3之间。

具体地，第一串联谐振单元1的输入端、第三串联谐振单元3的输出端、第一并联谐振器P1的接地端以及第二并联谐振器P2的接地端，均与一个电感连接。

需要说明的是，本申请中的谐振器均为薄膜体声波谐振器或固态装配谐振器。其中基于体声波原理制造的薄膜体声波谐振器FBAR和固态装配谐振器SMR，相比基于表面声波原理制造的表面声波谐振器SAW，具有更高的Q值。因此，采用薄膜体声波谐振器或固态装配谐振器，能够进一步提升滤波器的性能，以提升通信信道的性能，从而提升通信速率。

可选地，在第二串联谐振单元中，第一谐振器组的谐振器的形状为第一形状，第二谐振器组的谐振器的形状为第二形状，第一形状与第二形状不同。通过将第一谐振器组的谐振器和第二谐振器组的谐振器设计为不同形状的谐振器，能够进一步降低滤波器的群延时。

进一步地，由于FBAR谐振器的横向谐振模式取决于形状横向谐振驻波的形成，而相互平行的边(如四条边的矩形或者平行四边形)会造成这种横向谐振非常容易形成，因此，一般都会将FBAR设置成大于或等于5条边的多边形，并且尽量不让各边相互平行。

更进一步地，将谐振器设计为长宽比大致为2：1的矩形，并使第二串联谐振单元中的谐振器的输入边(和/或输出边)与另一个谐振器中的连接边的长度不同，从而能够降低滤波器的横向谐振。

以图4中所示的滤波器中的电路图为例，将图4中所示的滤波器中的第二串联谐振单元(特定串联谐振单元)拆分后得到的谐振器的版图如图10所示，在第二串联谐振单元中的四个谐振器中，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第二谐振器S22，第一谐振器S21具有第一输入边A和第一连接边B，第二谐振器S22具有第一输出边D和第二连接边C，第二谐振器组22包括第三谐振器S23和第四谐振器S24，第三谐振器S23具有第二输入边E和第三连接边F，第四谐振器S24具有第二输出边H和第四连接边G，第一连接边B与第二连接边C相连，第三连接边F与第四连接边G相连；其中，第一连接边B的长度与第二连接边C的长度相同，第一输入边A的长度与第一连接边B的长度不同，第一输出边D的长度与第一连接边B的长度不同，第三连接边F的长度与第四连接边G的长度相同，第二输入边E的长度与第三连接边F的长度不同，第二输出边H的长度与第三连接F边的长度不同。

也就是在版图在设计的时候，对于同一个谐振器组(第一谐振器组21或第二谐振器组22)，其信号输入边或输出边，与同一谐振器组内部的连接边，在长度上有明显的差异。具体地，如图10所示，对于第一谐振器S21和第二谐振器S22这组，是短边进入，它们之间是长边相接。对于第三谐振器S23和第四谐振器S24这组，是短边输出，它们之间也是长边相接。

请参见图11，将第二串联谐振单元，设计为两个面积不同、频率不同的谐振器组，使得其阻抗在频率上相互弥补，并且至少有一个谐振器组通过等面积拆分，再拆成两个或多个大面积的谐振器，每一个谐振器组的对外连接，以及它们之间的连接边的长度有明显的差异，从而使得第一谐振器组和第二谐振器组的谐振频率不同，进而改善滤波器的群时延波动特性。具体地，其中可以将第一谐振器S21和第二谐振器S22的面积设置为5110um2，第三谐振器S23和第四谐振器S24的面积设置为5005um²，二者相差约2％。请结合图5，由于两个谐振器组的谐振器的面积和形状均有不同，其阻抗横向谐振模式也不相同，因此，二者在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

以图6中所示的滤波器中的电路图为例，将图6中所示的滤波器中的第二串联谐振单元拆分后得到的谐振器的版图如图12所示，在第二串联谐振单元中的三个谐振器中，第一谐振器组21包括第一谐振器S21和第三谐振器S23，第一谐振器S21具有输入边A和第一连接边B，第三谐振器S23具有输出边F和第二连接边E，第二谐振器组22包括第二谐振器S22，第二谐振器S22具有第三连接边C和第四连接边D，第一连接边B与第三连接边C相连，第二连接边E与第四连接边D相连；其中，第一连接边B的长度、第二连接边C的长度、第三连接边D的长度以及第四连接边E的长度均相同，输入边A的长度与第一连接边B的长度不同，输出边F的长度与第一连接边B的长度不同。也就是将第一谐振器组的谐振器进行等面积拆分，以使其信号输入边和输出边的长度均不同，其阻抗横向谐振模式也不相同，因此，二者在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

根据本申请实施例的技术方案，通过将一个或多个串联谐振单元设置为两个谐振频率不同的谐振器组，这两个谐振频率不同的谐振器组的阻抗横向谐振模式也不相同，使这两个谐振频率不同的谐振器组在阻抗毛刺的尖峰和凹陷部分相互弥补，能够提升滤波器响应曲线的平滑度，从而改善群时延波动特性。

Claims (10)

1.一种滤波器，其特征在于，包括串联部分和并联部分，所述串联部分包括多个依次串联的串联谐振单元；

所述多个依次串联的串联谐振单元其中至少之一为特定串联谐振单元，所述特定串联谐振单元包括串联的第一谐振器组和第二谐振器组，所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的谐振频率不同；

所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的谐振频率相差平均谐振频率的0.2‰～5‰；

所述第一谐振器组和所述第二谐振器组均包括至少一个谐振器，所述第一谐振器组的谐振器的面积与所述第二谐振器组的谐振器的面积不同，以使所述第一谐振器组和所述第二谐振器组的响应曲线中横向谐振毛刺的分布不同。

2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第二谐振器，所述第二谐振器组包括所述第三谐振器和所述第四谐振器；其中

所述第一谐振器与所述第二谐振器的面积相同，所述第三谐振器和所述第四谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第三谐振器的面积不同。

3.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器和第三谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第二谐振器；其中

所述第一谐振器与所述第三谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第二谐振器的面积不同。

4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第二谐振器和所述第四谐振器；其中

所述第一谐振器与所述第三谐振器的面积相同，所述第二谐振器和所述第四谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第二谐振器的面积不同。

5.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述特定串联谐振单元包括依次串联的第一谐振器、第二谐振器、第三谐振器和第四谐振器，所述第一谐振器组包括所述第一谐振器、所述第二谐振器和所述第三谐振器，所述第二谐振器组包括所述第四谐振器；其中

所述第一谐振器、所述第二谐振器和所述第三谐振器的面积相同，所述第一谐振器和所述第四谐振器的面积不同。

6.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器组的谐振器的形状为第一形状，所述第二谐振器组的谐振器的形状为第二形状，所述第一形状与所述第二形状不同。

7.根据权利要求6所述的滤波器，其特征在于，所述第一谐振器组包括第一谐振器和第二谐振器，所述第一谐振器具有第一输入边和第一连接边，所述第二谐振器具有第一输出边和第二连接边，所述第二谐振器组包括第三谐振器和第四谐振器，所述第三谐振器具有第二输入边和第三连接边，所述第四谐振器具有第二输出边和第四连接边，所述第一连接边与所述第二连接边相连，所述第三连接边与所述第四连接边相连；

其中，所述第一连接边的长度与所述第二连接边的长度相同，所述第一输入边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述第一输出边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述第三连接边的长度与所述第四连接边的长度相同，所述第二输入边的长度与所述第三连接边的长度不同，所述第二输出边的长度与所述第三连接边的长度不同。

8.根据权利要求6所述的滤波器，其特征在于，

所述第一谐振器组包括第一谐振器和第三谐振器，所述第一谐振器具有输入边和第一连接边，所述第三谐振器具有输出边和第二连接边，所述第二谐振器组包括第二谐振器，所述第二谐振器具有第三连接边和第四连接边，所述第一连接边与所述第三连接边相连，所述第二连接边与所述第四连接边相连；

其中，所述第一连接边的长度、所述第二连接边的长度、所述第三连接边的长度以及所述第四连接边的长度均相同，所述输入边的长度与所述第一连接边的长度不同，所述输出边的长度与所述第一连接边的长度不同。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的滤波器，其特征在于，所述并联部分包括第一并联谐振器和第二并联谐振器；所述串联部分包括第一串联谐振单元、第二串联谐振单元、以及第三串联谐振单元；

所述第一并联谐振器连接在所述第一串联谐振单元和所述第二串联谐振单元之间，所述第二并联谐振器连接在所述第二串联谐振单元和所述第三串联谐振单元之间。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的滤波器，其特征在于，所述谐振器为薄膜体声波谐振器或固态装配谐振器。