CN1338148A - 弹性表面波装置和使用该装置的通信设备 - Google Patents

弹性表面波装置和使用该装置的通信设备 Download PDF

Info

Publication number
CN1338148A
CN1338148A CN00803090A CN00803090A CN1338148A CN 1338148 A CN1338148 A CN 1338148A CN 00803090 A CN00803090 A CN 00803090A CN 00803090 A CN00803090 A CN 00803090A CN 1338148 A CN1338148 A CN 1338148A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrode
input
acoustic wave
surface acoustic
reflector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN00803090A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1180531C (zh
Inventor
都筑茂
井垣努
松波贤
西村和纪
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Publication of CN1338148A publication Critical patent/CN1338148A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1180531C publication Critical patent/CN1180531C/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544—Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14552—Transducers of particular shape or position comprising split fingers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/0023—Balance-unbalance or balance-balance networks
    • H03H9/0028—Balance-unbalance or balance-balance networks using surface acoustic wave devices
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/02716—Tilted, fan shaped or slanted grating lines
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02685—Grating lines having particular arrangements
    • H03H9/02771—Reflector banks
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
    • H03H9/02795—Multi-strip couplers as track changers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14517—Means for weighting
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46—Filters
    • H03H9/64—Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423—Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433—Coupled resonator filters
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02614—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves
    • H03H9/02622—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves of the surface, including back surface
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02874—Means for compensation or elimination of undesirable effects of direct coupling between input and output transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14502—Surface acoustic wave [SAW] transducers for a particular purpose
    • H03H9/14505—Unidirectional SAW transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02—Details
    • H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14517—Means for weighting
    • H03H9/14526—Finger withdrawal

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)

Abstract

一种弹性表面波装置,包括:在压电基片10上设置的输入输出叉指换能器(IDT)电极11、12;设置在输入IDT电极11的弹性表面波的输出侧的第1反射器电极13;以及设置在输出IDT电极12的弹性表面波的输入侧的第2反射器电极14;通过满足式(1)来实现优良的通带内特性。2(θ－5)<tan－1(D/L)≤2(θ+5) (1)其中:θ:第1或第2反射器电极相对垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的倾角(°:0°除外)；D:与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的垂直方向的宽度的中心距离(μm)；L:第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)。

Description

弹性表面波装置和使用该装置的通信设备
技术领域
本发明涉及在无线通信设备的高频电路等中使用的弹性表面波装置和使用该装置的通信设备。
背景技术
例如，近年来引人注目的CDMA的IF段使用的滤波器，在比较宽的通带并且通带内的相位特性的平坦性重要的情况下，采用可以独立设计振幅特性和相位特性的弹性表面波装置。此外，携带终端的小型、轻量化也在推进，随着其进展，对IF段的弹性表面波装置也要求小型化。因此，在开发改进后的横向型弹性表面波装置。
以往的弹性表面波装置，如图14所示，在压电基片100上平行设置输入、输出叉指换能器电极101、102(以下称为IDT电极)，在输入IDT电极101的输出侧端部和压电基片100的端部之间设置第1反射器电极103，并且在输出IDT电极102的输入侧端部和压电基片100的端部之间设置第2反射器电极104。此外，第1和第2反射器电极103、104相对垂直于弹性表面波的传播方向倾斜设置。
如果电信号输入到该弹性表面波装置的输入端子，则弹性表面波就经输入IDT电极101依次传播，由第1反射器电极103反射后传播到第2反射器电极104，由第2反射器电极104反射后传播到输出IDT电极102，并由输出端子输出。
因此，与横向型的弹性表面波装置相比，仅可以小型化输入、输出IDT电极101、102沿弹性表面波的传播方向的重叠部分。
在该结构的弹性表面波装置中，弹性表面波的反射状态随着相对第1和第2反射器电极103、104的输入、输出IDT电极101、102的倾角的不同而不同，即会对通带内特性产生影响。
因此，本发明的目的在于提供因高效率地从输入IDT电极向输出IDT电极传播弹性表面波而具有优良的通带内特性的弹性表面波装置。
发明内容
为了实现该目的，本发明第一方案的弹性表面波装置包括：压电基片；在该压电基片上平行于弹性表面波的传播方向设置的输入、输出IDT电极；在该输入IDT电极的所述弹性表面波的输出侧设置的第1反射器电极；以及在所述输出IDT电极的所述弹性表面波的输入侧设置的第2反射器电极；该装置还满足式(1)；由于可以高效率地传播弹性表面波，所以具有优良的通带内特性。
2(θ-5)≤tan-1(D/L)≤2(θ+5)         (1)
其中：
θ：第1或第2反射器电极相对垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的的倾角(°：0°除外)
D：与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向垂直方向的宽度的中心距离(μm)
L：第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)。
在该装置中，通过使θ为25°以下来使通带内特性良好。
在该装置中，通过使第1和第2反射器电极的反射系数大致为1，可以使插入损耗低。
在该装置中，通过使输入和输出IDT电极的至少一个是单向性电极，可以使插入损耗低。
在该装置中，通过用输入、输出IDT电极间设置的引导电极来电连接第1和第2反射器电极，并且进行接地，从而将引导电极用作屏蔽电极，可以防止输入、输出IDT电极的电磁耦合，并使通带外衰减量增大。
在该装置中，通过将第1和第2反射器电极分割成多个，可以进一步增大频带外衰减量。
在该装置中，通过使引导电极比输出叉指换能器电极的汇流条粗，可以进一步提高屏蔽效果。
在该装置中，通过在反射器电极的输入、输出IDT电极的侧端部的至少一个上按与所述反射器电极的电极指同一周期、同一宽度、同一倾角设置比所述电极指短的电极指，可以实现近似矩形的滤波波形。
在该装置中，通过在设置有短的电极指的反射器电极的IDT电极侧的端部上设置以平行于IDT电极的电极指的并用弹性表面波的波长的大约1/8的宽度来连接电极指端部的电极指，可以防止不需要的反射。
在该装置中，通过使第1和第2反射器电极的反射特性不同，可以增大通带外衰减量。
在该装置中，通过使第1和第2反射器电极的金属化比率为0.45～0.75，来提高反射器电极的平均每个电极指的反射效率，从而可以将反射器电极小型化。
在该装置中，通过使反射器电极的一部分电极指宽度比其他电极指宽度大，可以增大频带外衰减量。
在该装置中，通过在与设置有IDT电极的第1反射器电极侧相对侧上设置距所述输入IDT电极有规定间隔的第3反射器电极，并且在与设置输出IDT电极的第2反射器电极侧相对侧上设置距所述输出IDT电极有规定间隔的第4反射器电极，可以将输入IDT电极传播的双向的弹性表面波高效率地传播到输出IDT电极。
在该装置中，通过将输入和输出IDT电极的至少一个由电极指宽度大约λ/8(λ：弹性表面波的波长)的分瓣电极来构成，从而防止输入、输出IDT电极内部中的内部反射，并且有宽而平坦的通带特性。
在该装置中，在弹性表面波装置的输入、输出端子为不平衡型的情况下，通过将对置的输入、输出叉指换能器电极侧的输入、输出端子接地，可以防止输入、输出IDT电极的电磁耦合，增大通带外衰减量。
在该装置中，通过在第1和第2反射器电极与弹性表面波的传播方向的压电基片的端部之间设置吸音材料，可以吸收压电基片端部中的不需要反射波，并具有平坦的通带。
在该装置中，通过在第1和第2反射器电极与平行于弹性表面波的传播方向的压电基片的端部之间也设置吸音材料，可以进一步吸收压电基片的端部中的不需要的反射波，并具有平坦的通带。
本发明的第二弹性表面波装置包括：压电基片；在该压电基片上平行设置的输入、输出IDT电极；在该输入、输出IDT电极间设置的第1～第4反射器电极；以及在所述输入、输出IDT电极间设置的第5反射器电极；第1～第4反射器电极相对于垂直于弹性表面波的传播方向以大致相同角度倾斜，可以实现小型、通带外衰减量良好的弹性表面波装置。
在该装置中，通过满足式(2)来高效率地传播弹性表面波，其中：
2(θ-5)≤tan-1(D/L)≤2(θ+5)         (2)
其中：
θ：第1～第4反射器电极内一个以上的反射器电极相对于垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的倾角(°：0°除外)
D：与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的垂直方向的宽度的中心距离(μm)
L：第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)
在该装置中，通过使θ为25°以下，可以使通带内特性优良。
在该装置中，通过使第1至第5反射器电极的反射系数大致为1，可以使插入损耗低。
在该装置中，通过将输入和输出IDT电极的至少一个由电极指宽度大约λ/8(λ：弹性表面波的波长)的分瓣电极来构成，可以防止输入、输出IDT电极内部中的内部反射，并具有宽而平坦的通带。
在该装置中，通过将第5反射器电极接地，用作屏蔽电极，可以防止输入、输出IDT电极的电磁耦合，并增大通带外衰减量。
在该装置中，通过在第1至第4反射器电极的输入、输出IDT电极的侧端部的至少一个上按与反射器电极的电极指同一周期、同一宽度、同一倾斜角度设置比电极指短的电极指，可具有近似矩形的滤波波形。
在该装置中，通过在设置有短的电极指的反射器电极的IDT电极侧的端部上设置以平行于IDT电极的电极指并用弹性表面波的波长的大约1/8的宽度来连接电极指端部的电极指，可以防止不需要的反射。
在该装置中，通过使第1、第2反射器电极和第3、第4反射器电极的反射特性具有不同的反射特性，可以增大通带外衰减量。
在该装置中，通过使第1至第5反射器电极的金属化比率为0.45～0.75，可以提高平均每个电极指的反射效率，将反射器电极小型化。
在该装置中，通过在第1至第5反射器电极的至少一个中一部分电极指宽度比其他电极指宽度大，可以增大频带外衰减量。
在该装置中，在弹性表面波装置的输入、输出端子为不平衡型的情况下，通过将对置的输入、输出IDT电极的输入、输出端子接地，可以防止输入、输出IDT电极的电磁耦合，增大通带外衰减量。
在该装置中，通过在第1至第5反射器电极和弹性表面波的传播方向的压电基片端部之间设置吸音材料，可以吸收压电基片端部中的不需要反射波，并具有平坦的通带。
在该装置中，通过还在第1至第4反射器电极和平行于弹性表面波的传播方向的压电基片端部之间设置吸音材料，可以吸收压电基片端部中的不需要反射波，并具有平坦的通带。
本发明的通信设备包括：混频器；将其输入端连接到该混频器的输出端的本发明的弹性表面波装置；以及将输入端连接到该弹性表面波装置的输出端的放大器；可以形成减少放大器的元件个数、或减小放大器中的消耗电力等性能良好、成本低的通信设备。
附图说明
图1是本发明实施例1的弹性表面波装置的上面图；
图2是本发明实施例2的弹性表面波装置的上面图；
图3(a)是本发明实施例3的弹性表面波装置的上面图；
图3(b)是本发明实施例3的弹性表面波装置的上面图；
图4是本发明实施例4的弹性表面波装置的上面图；
图5(a)本发明实施例5的弹性表面波装置的上面图；
图5(b)是本发明实施例5的弹性表面波装置的上面图；
图6是本发明实施例6的弹性表面波装置的上面图；
图7是本发明实施例7的弹性表面波装置的上面图；
图8是本发明实施例8的弹性表面波装置的上面图；
图9是本发明实施例8的弹性表面波装置的上面图；
图10是本发明实施例9的弹性表面波装置的上面图；
图11是本发明实施例10的弹性表面波装置的上面图；
图12是本发明实施例11的弹性表面波装置的上面图；
图13是本发明实施例12的通信设备的发送接收电路图；以及
图14是现有的弹性表面波装置的上面图。
具体实施方式
以下，参照附图来详细说明本发明的实施例。
(实施例1)
图1是本发明实施例1的弹性表面波装置的上面图。
该弹性表面波装置将输入、输出IDT电极11、12设置在压电基片10上，以便平行于弹性表面波的主传播方向(以下作为弹性表面波的传播方向)，并且与其一端部重叠。
输入IDT电极11是与正极端的汇流条11a连接的多个正极端的电极指11b和负极端的汇流条11c连接的多个负极端的电极指11d相互啮合的电极，通过汇流条11a、11c连接到输入端子15a、15b。
输出IDT电极12是与正极端的汇流条12a连接的多个正极端的电极指12b和负极端的汇流条12c连接的多个负极端的电极指12d相啮合的电极，通过汇流条12a、12c连接到输出端子16a、16b。
电极指11b、11d、12b、12d分别以大致相同的长度和弹性表面波的波长λ的大约1/8的宽度并具有相同周期来配置，输入、输出IDT电极11、12都为分瓣(split)电极，具有防止内部反射的结构。
此外，第1反射器电极13以距输入IDT电极11有规定的间隔而设置在输入IDT电极11的输出IDT电极12侧的端部，第2反射器电极14以距输出IDT电极12有规定的间隔设置在输出IDT电极12的输入IDT电极11侧的端部。而且，使垂直于弹性表面波的传播方向的面和电极指13a、14a构成的倾角在25°以下。第1和第2反射器电极13、14分别是将大致同一宽度、同一长度的电极指13a、14a同一周期配置的电极，其反射系数大致为1。因此，该第1和第2反射器电极13、14的外周形状为大致平行四边形。此外，第1和第2反射器电极13、14的弹性表面波沿垂直于传播方向的宽度大于与输出IDT电极11、12同方向的宽度。
此外，将输入、输出IDT电极11、12以及第1、第2反射器电极13、14形成在压电基片10上满足式(1)的位置上。
上述结构的弹性表面波装置在从输入端子15a、15b对输入IDT电极11施加电信号后，弹性表面波传播到第1反射器电极13，第1反射器电极13反射的弹性表面波传播到输出IDT电极12，由输出端子16a、16b作为电信号被取出。即，弹性表面波获得Z型的传播路径，但由于第1和第2反射器电极13、14高效率地反射经输入IDT电极11传播来的弹性表面波，并传播到输出IDT电极12，所以成为插入损耗低、具有平坦的通带特性的弹性表面波装置。
(实施例2)
图2是本发明实施例2的弹性表面波装置的上面图，与图1相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
下面说明与实施例1的不同点。在本实施例2中，在输入IDT电极11、第2反射器电极14以及输出IDT电极12、第1反射器电极13和压电基片10的端部之间形成吸音材料17a、17b。
通过形成该吸音材料17a、17b，可以防止弹性表面波的传播方向的压电基片10的端面中的不需要反射，实现平坦的通带。
此外，用汇流条13b、13c、14b、14c来电连接第1反射器电极13和第2反射器电极14的电极指13a、14a，由引导电极18来电连接汇流条13c、14b，并且将汇流条13b、14c连接到接地端子13f、14f。将该引导电极18设置在压电基片10上输入IDT电极11和输出IDT电极12之间，并且使其宽度比输入、输出IDT电极11、12的最宽部分的宽度、即汇流条11a、11c、12a、12c的宽度稍宽一些，以便进一步提高屏蔽效果，防止输入、输出IDT电极11、12间的电磁耦合，增大通带外衰减量。
(实施例3)
图3(a)、(b)是本发明实施例3的弹性表面波装置的上面图，与图2相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
本实施例3的弹性表面波装置和实施例2所示的弹性表面波装置的不同点在于输入、输出IDT电极11、12的电极指11b、11d、12b、12d的结构。即，改变电极指11b、11d、12b、12d的宽度、配置，以便输入、输出IDT电极11、12具有单向性。通过形成该结构，可以降低输入、输出IDT电极11、12中的方向性损失，减小插入损耗。
如果还就输入、输出IDT电极11、12的其中一个为单向性电极的情况和实施例2的弹性表面波装置进行比较，插入损耗变小，但如果两方都为单向性电极，则插入损耗更小。
如图3(b)所示，通过将第1和第2反射器电极13、14分割成多个，分别用引导电极18来连接，并且将汇流条13b、14c分别连接到接地端子13f、14f，一般认为可以比分割前进一步增大频带外衰减量。但是，分割数越多，引导电极18的宽度必然越细，其结果，电阻损耗会变大。因此，为了增大频带外衰减量而不增大电阻损耗，最好尽量使以二分割来分割的反射器电极具有相同的大小。
(实施例4)
图4是本发明实施例4的弹性表面波装置的上面图，与图3相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
本实施例4和实施例3所示的弹性表面波装置的不同点在于第1和第2反射器电极13、14的电极指13a、14a的结构。在实施例3中，电极指13a、14a是以同一形状同一周期配置的，但在本实施例4中，使用不同宽度的电极指13a、14a来构成第1和第2反射器电极13a、14a，使第1和第2反射器电极13、14内反射的大小(反射系数等)变化。
这样，对第1和第2反射器电极13、14的反射特性进行加权和减小通带外的反射效率，可以增大通带外衰减量。
在对电极指13a、14a进行回归时，通过缓慢地改变，可以进行精密的加权而获得任意的反射特性。
在上述实施例4中，电极指13a、14a的宽度相同，但通过改变电极指周期，可以获得与改变反射波的相位相同的效果。这种情况下，最好缓慢地改变电极指周期。
(实施例5)
图5(a)、(b)是本发明实施例5的弹性表面波装置的上面图，与图3相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
在图5中，13d、14d是电极指，以与电极指13a、14a相同的宽度、同一周期设置在输入、输出IDT电极11、12侧的梳形电极13a、14a旁边，其一端连接到汇流条13c、14b。该梳形电极13d、14d的长度应该使梳形电极13d、14d的另一端部和输入、输出IDT电极11、12之间的最短距离不小于图3中的第1和第2反射器电极13、14和输入、输出IDT电极11、12之间的最短距离。
通过该结构，在有限的空间中可以形成反射效率更高的反射器电极，成为具有接近矩形的滤波形状的弹性表面波装置。即，使衰减特性在通带附近变得陡峭。
如图5(b)所示，通过在第1和第2反射器电极13、14的输入、输出IDT电极11、12侧端部与电极指11d、12d平行地设置连接电极指13a、13d、14a、14d端部的弹性表面波的波长的1/8宽度的电极指13g、14g，可以防止不需要的反射。
(实施例6)
图6是本发明实施例6的弹性表面波装置的上面图，与图5相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
本实施例6与实施例5的不同点在于，在第1和第2反射器电极13、14中设置电极指13e、14e。
该电极指13e、14e以与电极指13a、14a相同的宽度、同一周期设置输入、输出IDT电极11、12侧的梳形电极13a、14a旁边，其一端连接到汇流条13b、14c。此外，该梳形电极13e、14e的长度应该使梳形电极13e、14e的另一端部和压电基片10之间的最短距离大于图5中的第1和第2反射器电极13、14和压电基片10的端部之间的最短距离。
通过形成该结构，与图5所示的第1和第2反射器电极13、14相比，可以形成反射效率高的反射器电极，成为具有近似矩形滤波波形的弹性表面波装置。
在本实施例6中，与实施例5同样，通过还在第1和第2反射器电极13、14的端部与电极指11d、12d平行地设置连接电极指13a、13b、13d、13e、14a、14b、14d、14e端部的弹性表面波的波长的1/8宽度的电极指13g、14g，可以防止不需要的反射。
(实施例7)
图7是本发明实施例7的弹性表面波装置的上面图，与图2所示的结构要素附以相同标号，并省略说明。
与实施例2所示的弹性表面波装置的不同点在于吸音材料17a、17b的形状。在实施例2中，仅在弹性表面波的传播方向的压电基片10的两端部设置吸音材料，而在本实施例7中，在与弹性表面波的传播方向平行方向的压电基片10的端部、即汇流条13b、14c和压电基片10之间也形成吸音材料17a、17b。
通过该结构，可以进一步防止压电基片10端面中的不需要反射。
(实施例8)
图8、图9是本发明实施例8的弹性表面波装置的上面图。在实施例1～实施例7中使用了平衡-平衡型的弹性表面波装置，但本实施例8的弹性表面波装置是不平衡-平衡型或不平衡-不平衡型，将输入侧和输出侧、或输出侧的汇流条11a、11c、12a、12c的一个连接到接地端子15c、16c。
在这种不平衡的情况下，通过将输入、输出IDT电极11、12的对置侧的汇流条11c、12c连接到接地端子15c、16c，来提高输入、输出IDT电极11、12间的屏蔽效果，防止输入、输出IDT电极11、12的电磁耦合，增大通带外衰减量。
图中虽未示出，但一般认为平衡-不平衡型的情况也一样。
(实施例9)
图10是本发明实施例9的弹性表面波装置的上面图，与图2相同的结构要素附以相同标号，并省略说明。
在实施例2中，与输入、输出IDT电极11、12的对置的汇流条11a、12c和输入、输出端子15b、16a之间的连接通过一个引导电极来进行，但在本实施例9中，通过各自引导电极来连接汇流条11a、12c的两端部和输入、输出端子15b、16a。
这样，通过用多个路径来连接汇流条11a、12c和输入、输出端子15b、16a，可以降低汇流条11a、12c中的电阻损耗，减小插入损失。
此外，在将汇流条11c、12a和输入、输出端子15a、16b进行连接的情况下，也通过多个引导电极来连接，可以降低汇流条11c、12a中的电阻损耗，减小插入损失。
(实施例10)
图11是本发明实施例10的弹性表面波装置的上面图。
该弹性表面波装置设置在压电基片20上，使得输入、输出IDT电极21、22平行于弹性表面波的传播方向并且在其一端部中互相重叠。
输入IDT电极21与正极侧的汇流条21a上连接的多个正极侧的电极指21b和负极侧的汇流条21c上连接的多个负极侧的电极指21d啮合，通过汇流条21a、21c连接到输入端子28a、28b。
输出IDT电极22与正极侧的汇流条21a上连接的多个正极侧的电极指22b和负极侧的汇流条22c上连接的多个负极侧的电极指22d交叉，通过汇流条22a、22c连接到输出端子29a、29b。
电极指21b、21d、22b、22d分别以大致相同的长度、弹性表面波的波长λ的大约1/8的宽度、具有同一周期地来配置，输入、输出IDT电极21、22都为分瓣电极，并有防止内部反射的结构。
此外，第1、第3反射器电极23、25设置在输入IDT电极21的弹性表面波的传播方向两侧，使得距输入IDT电极21有规定间隔，第2、第4反射器电极24、26设置在输出IDT电极22的弹性表面波的传播方向两侧，使得距输出IDT电极22有规定间隔。
而且，与输入、输出IDT电极21、22的弹性表面波的传播方向垂直的面和反射器电极的电极指23a、24a、25a、26a构成的倾角在25°以下。第1～第4反射器电极23、24、25、26分别以同一周期来配置大致同一宽度、同一长度的电极指23a、24a、25a、26a，反射系数大致为1。因此，该第1～第4反射器电极23、24、25、26的外周形状为大致平行四边形。此外，与第1～第4反射器电极23、24、25、26的弹性表面波的传播方向垂直方向的宽度大于输出IDT电极21、22的相同方向的宽度。
此外，输入、输出IDT电极21、22、第1～第4反射器电极23、24、25、26形成在压电基片20上的满足式(2)的位置上。
上述结构的弹性表面波装置在对输入IDT电极21施加电信号后，弹性表面波被传播到第1和第3反射器电极23、25，由第1反射器电极23、25反射而被传播到第2和第4反射器电极24、26。接着，由第2和第4反射器电极24、26再次反射的弹性表面波被传播到输出IDT电极22，并由输出端子29a、29b作为电信号来取出。即，弹性表面波获得输入IDT电极21-第1反射器电极23-第2反射器电极24-输出IDT电极22的Z型的传播路径和输入IDT电极21-第3反射器电极25-第4反射器电极26-输出IDT电极22的Z(相反的)型传播路径这两个传播路径。因此，传播输入IDT电极21的双向的弹性表面波被高效率传播到输入IDT电极22，所以与实施例1所示的弹性表面波装置比较，可以进一步减小插入损耗。
此外，分别用引导电极30a、30b来电连接第1反射器电极23的汇流条23c和第3反射器电极25的汇流条25c、第2反射器电极24的汇流条24b和第4反射器电极26的汇流条26b，并且将汇流条23b、24c、25b、26c接地至接地端子23d、24d、25d、26d。将该引导电极30a、30b设置在压电基片20上输入、输出IDT电极21、22之间。而且，该引导电极30a、30b以宽于输入、输出IDT电极21、22的最宽部分的宽度、即宽于汇流条21a、21c、22a、22c的宽度来形成，可以进一步提高屏蔽效果，防止输入、输出IDT电极21、22间的电磁耦合，增大通带外衰减量。
尽管用一个引导电极来连接第1～第4反射器电极23、24、25、26，并连接到接地端子，但为了获得良好的屏蔽效果，如本实施例10所示，最好用各自的引导电极30a、30b来连接输入IDT电极21两侧的第1反射器电极23和第3反射器电极25、输出IDT电极22两侧的第3反射器电极24和第4反射器电极26。
而且，最好将接地端子23d、25d和24d、26d分别接地。
将隔着输入、输出IDT电极21、22设置的反射器电极形成相同的结构。即，第1反射器电极23和第3反射器电极25为相同的结构，第2反射器电极24和第4反射器电极26为相同的结构。此外，如实施例4所示，通过改变至少一部分的电极指23a、24a的宽度等来构成与第1反射器电极23和第2反射器电极24不同的结构，如实施例4所示，对反射器电极的反射特性进行加权，可以减小通带外的反射效率，增大通带外衰减量。
可以说本实施例10的弹性表面波装置与上述实施例5至9相同。即，在第1～第4反射器电极23、24、25、26的输入、输出IDT电极21、22侧端部，如实施例5所示，通过以与第1～第4反射器电极23、24、25、26的电极指23a、24a、25a、26a同一周期、同一宽度、同一倾斜来设置长度短的电极指，从而形成具有近似矩形的滤波波形的弹性表面波装置。此外，通过在第1～第4反射器电极23、24、25、26的输入、输出IDT电极21、22侧端部上与电极指21d、22d平行地设置连接电极指23b、23d、24b、24d端部的弹性表面波的波长的大致1/8宽度的电极指，可以防止不需要的反射。
如实施例6所示，通过将同样的电极指设置在第1～第4反射器电极23、24、25、26的压电基片20的端部，可以说有相同的效果。当然，设置在两侧更有效。
在上述实施例10中，吸音材料27a、27b形成在输入、输出IDT电极21、22的弹性表面波传播方向的压电基片20的端部，但通过还设置在平行于弹性表面波的传播方向的压电基片20的端部，可以进一步防止压电基片20端面上的不需要反射。
此外，上述弹性表面波装置是平衡-平衡型，但在不平衡-平衡型、不平衡-不平衡型、平衡-不平衡型的情况下，最好将对置的输入、输出IDT电极21、22的汇流条21c、22a连接到接地端子。
而且，与输出IDT电极21、22对置的汇流条21c、22a和输入、输出端子28b、29a的连接通过一个引导电极来进行，但如实施例9所示，通过用多个引导电极来连接汇流条21c、22a和输入、输出端子28b、29a，可以降低汇流条21c、22a中的电阻损失，减小插入损失。
(实施例11)
图12是本发明实施例11的弹性表面波装置的上面图。
该弹性表面波装置设置在压电基片20上，使得输入、输出IDT电极41、42平行于弹性表面波的传播方向并且经第5反射器电极47相互重叠。
输入IDT电极41与正极侧的汇流条41a上连接的多个正极侧的电极指41b和负极侧的汇流条41c上连接的多个负极侧的电极指41d交叉，通过汇流条41a、41c连接到输入端子49a、49b。
输出IDT电极42与正极侧的汇流条41a上连接的多个正极侧的电极指42b和负极侧的汇流条42c上连接的多个负极侧的电极指42d交叉，通过汇流条42a、42c连接到输出端子50a、50b。
电极指41b、41d、42b、42d分别以大致相同的长度、弹性表面波的波长λ的大约1/8的宽度、具有同一周期地来配置，输入、输出IDT电极41、42都为分瓣电极，有防止内部反射的结构。
此外，第1、第3反射器电极43、45设置在输入IDT电极41的弹性表面波的传播方向两侧，使得距输入IDT电极41有规定间隔，第2、第4反射器电极44、46设置在输出IDT电极42的弹性表面波的传播方向两侧，使得距输出IDT电极42有规定间隔。而且，与输入、输出IDT电极41、42的弹性表面波的传播方向垂直的面和反射器电极的电极指43a、44a、45a、46a构成的倾角在25°以下。第1～第4反射器电极43、44、45、46分别以同一周期配置大致同一宽度、同一长度的电极指43a、44a、45a、46a。此外，其反射系数大致为1。因此，该第1～第4反射器电极43、44、45、46的外周形状为大致平行四边形。此外，与第1～第4反射器电极43、44、45、46的弹性表面波的传播方向垂直方向的宽度大于输出IDT电极41、42的相同方向的宽度。
此外，输入、输出IDT电极41、42、第1～第4反射器电极43、44、45、46形成在压电基片20上满足式(2)的位置上。
输入、输出IDT电极41、42间设置的第5反射器电极47的多个电极指47a为同一形状，两端用汇流条47b、47c来分别电连接，将输入、输出IDT电极41、42的电极指41b、41d、42b、42d和电极指47a平行设置。因此，第5反射器电极47的外周形状为长方形。此外，第5反射器电极47的弹性表面波的传播方向长度大于输入、输出IDT电极41、42的同方向的长度。用接地端子47d分别电连接输入、输出IDT电极41、42的弹性表面波的传播方向的最靠近压电基片40端部的两侧的电极指47a。因此，通过将该第5反射器电极47还用作屏蔽电极，来防止输入、输出IDT电极41、42的电磁耦合。
上述结构的弹性表面波装置在对输入端子49a、49b施加电信号后，通过以下某个传播路径而到达输出端子50a、50b。
有以下四个路径：第1路径是输入IDT电极41-第1反射器电极43-第2反射器电极44-输出IDT电极42，第2路径是输入IDT电极41-第3反射器电极45-第4反射器电极46-输出IDT电极42，第3路径是输入IDT电极41-第1反射器电极43-第5反射器电极47-第4反射器电极46-输出IDT电极42，第4路径是输入IDT电极41-第3反射器电极45-第5反射器电极47-第2反射器电极44-输出反射器电极42。
因此，从输入IDT电极41传播的双向弹性表面波被高效率地传播到输出IDT电极42，所以与实施例1所示的弹性表面波装置比较，可以进一步减小插入损耗。
隔开输入、输出IDT电极41、42设置的反射器电极形成相同的结构。即，第1反射器电极43和第3反射器电极45为相同的结构，第2反射器电极44和第4反射器电极46为相同的结构。此外，如实施例4所示，通过改变至少一部分的电极指43a、44a的宽度等来构成与第1反射器电极43和第2反射器电极44不同的结构，对反射器电极的反射特性进行加权，可以减小通带外的反射效率，增大通带外衰减量。
可以说本实施例10的弹性表面波装置与上述实施例5～10相同。
在第1～第4反射器电极43、44、45、46的输入、输出IDT电极41、42侧端部，如实施例5所示，通过以与第1～第4反射器电极43、44、45、46的电极指43a、44a、45a、46a同一周期、同一宽度、同一倾角来设置长度短的电极指，从而具有近似矩形的滤波波形。此外，如实施例6所示，通过将同样的电极指设置在第1～第4反射器电极43、44、45、46的压电基片40的端部，可以说有相同的效果。当然，设置在两侧更有效。
在上述实施例11中，吸音材料48a、48b形成在输入、输出IDT电极41、42的弹性表面波传播方向的压电基片40的端部，但通过还在平行于弹性表面波的传播方向的压电基片40的端部设置，可以进一步防止压电基片40端面中的不需要反射。
此外，上述弹性表面波装置是平衡-平衡型，但在不平衡-平衡型、不平衡-不平衡型、平衡-不平衡型的情况下，最好将对置的输入、输出IDT电极41、42的汇流条41c、42a连接到接地端子。
而且，与输出IDT电极41、42的汇流条41a、41c、42a、42c和输入、输出端子49a、49b、50a、50b的连接通过一个引导电极来进行，但如实施例9所示，通过用多个引导电极来连接汇流条41a、41c、42a、42c和输入、输出端子49a、49b、50a、50b，可以降低汇流条41a、41c、42a、42c中的电阻损失，减小插入损失。
以下，记述本发明的弹性表面波装置的共同点。
(1)通过使第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47的金属化比率为0.45到0.75，可以高效率地反射弹性表面波，所以可以实现反射器电极的小型化。电极指的宽度和电极指的周期的空间之比被称为金属化比率，除了对弹性表面波的反射效率产生影响以外，如下所述，还是影响温度特性的要素。
(2)通过改变第1反射器电极13、23、43和第2反射器电极14、24、44的电极指13a、14a、23a、24a、43a、44a的宽度、根数来改变反射特性，可以获得通带外衰减量大的弹性表面波装置。
(3)压电基片10、20、40使用石英、LiTaO3、LiNbO3等单晶压电基片。
(4)输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42、第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47、引导电极18、30a、30b使用以铝为主要成分的金属来形成。
(5)输入IDT电极11、21、41和输出IDT电极12、22、42为不同的结构，但通过具有同样的尺寸，可以使弹性表面波装置容易小型化。
(6)通过将与弹性表面波的传播方向垂直方向的宽度设定为第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47比输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42大，可以提高弹性表面波的反射效率。
(7)通过使第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47的反射器电极的反射系数为0.9以上、尽量接近1，可以减小插入损失。
(8)通过将吸音材料17a、17b、27a、27b、48a、48b尽可能大地形成在第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47和压电基片10、20、40之间，可以提高防止不需要反射波的效果。
(9)在实施例3～6中，输入、输出IDT电极11、12两者都为单向性电极，但即使在仅有一个为单向性电极的情况下，与实施例1比较，仍可以提高弹性表面波的传播效率。
(10)由于将还用作屏蔽电极的引导电极18、30a、30b至少设置在输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42间对置的部分上，所以不仅具有抑制输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42的电磁耦合效果，而且通过尽量多地形成，可具有更大的屏蔽效果。
(11)在使用石英作为压电基片10、20、40的情况下，温度特性(频率偏差)为二次曲线，如果将其顶点温度设定为要求的温度范围间的中心(通常为室温)，则可减小整个温度范围的频率偏差。
因此，在用石英来形成压电基片10、20、40的情况下，频率偏差的顶点温度由压电基片10、20、40的切割角、输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42、第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47的膜厚、金属化比率来决定。因此，如果将输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42和第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47的金属化比率之差增大，则各个顶点温度的差异变大，产生因温度而使滤波特性变化大这样的害处。因此，使输入、输出IDT电极11、12、21、22、41、42和第1～第5反射器电极13、14、23、24、25、26、43、44、45、46、47的金属化比率之差为0.15较好，更好为0.1以内。此外，第1反射器电极13、23、43和第2反射器电极14、24、44的金属化比率之差为0.05左右较好。
(实施例12)
图13是通信设备的发送接收电路图。
本发明的弹性表面波装置可以用作发送、接收IF带通滤波器，但用作接收电路的IF带通滤波器的情况特别多，所以说明接收电路。
图13所示的接收电路是外差式接收电路，天线80接收到的接收波由天线共用器81分支，在通过LNA82、RF带通滤波器83后，用混频器84变换到中频。本发明的弹性表面波装置连接到混频器84的输出端，用作使中频通过的IF带通滤波器85。通过使用本发明的弹性表面波装置，可以减少IF放大器86的元件个数，或减小抑制IF放大器86中的消耗电力，可以获得成本低、性能优良的通信设备。
产业上的可利用性
根据以上本发明，通过高效率地进行从输入IDT电极向输出IDT电极的弹性表面波的传播，可以提供通带内特性优良的弹性表面波装置。

Claims (32)

1、一种弹性表面波装置，包括：压电基片；在该压电基片上平行于弹性表面波的传播方向设置的输入和输出叉指换能器(IDT)电极；从该输入叉指换能器电极至所述弹性表面波的输出端以具有规定的间隔设置的第1反射器电极；以及第2反射器电极，将该电极设置成距所述输出叉指换能器电极具有规定的间隔，反射所述第1反射器电极反射的弹性表面波，并传播到所述输出叉指换能器电极上；而且其结构满足式(1)，
2(θ-5)≤tan-1(D/L)≤2(θ+5)       (1)
其中：
θ：第1或第2反射器电极相对垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的倾角(°：0°除外)
D：与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的垂直方向的宽度的中心距离(μm)
L：第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)。
2、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，θ为25°以下。
3、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，第1和第2反射器电极的反射系数大致为1。
4、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，输入和输出叉指换能器电极的至少一个是单向性电极。
5、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在用输入、输出叉指换能器电极间设置的引导电极来电连接第1和第2反射器电极并同时进行接地。
6、如权利要求5所述的弹性表面波装置，其特征在于，将第1和第2反射器电极分割成多个。
7、如权利要求5所述的弹性表面波装置，其特征在于，引导电极比输出叉指换能器电极的汇流条粗。
8、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在反射器电极的输入、输出叉指换能器电极的侧端部的至少一个上设置与所述反射器电极的电极指同一周期、同一宽度、以及同一倾斜角度但比所述电极指短的电极指。
9、如权利要求8所述的弹性表面波装置，其特征在于，在设置短的电极指的反射器电极的叉指换能器电极侧的端部上设置与所述叉指换能器电极的电极指平行、并以弹性表面波的波长的大约1/8的宽度连接电极指端部的电极指。
10、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，使第1和第2反射器电极的反射特性不同。
11、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，第1和第2反射器电极的金属化比率为0.45～0.75。
12、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，反射器电极的一部分电极指宽度比其他电极指宽度大。
13、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在与设置有输入叉指换能器电极的第1反射器电极侧相对侧上设置距所述输入叉指换能器电极有规定间隔的第3反射器电极，并且在与设置有输出叉指换能器电极的第2反射器电极侧相对侧上设置距所述输出叉指换能器电极有规定间隔的第4反射器电极。
14、如权利要求11所述的弹性表面波装置，其中，输入和输出叉指换能器电极的至少一个由电极指宽度大约λ/8(λ：弹性表面波的波长)的分瓣电极构成。
15、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其中，在弹性表面波装置的输入、输出端子为不平衡型的情况下，将对置的输入、输出叉指换能器电极侧的输入、输出端子接地。
16、如权利要求1所述的弹性表面波装置，其特征在于，在第1和第2反射器电极与弹性表面波的传播方向的压电基片的端部之间设置吸音材料。
17、如权利要求16所述的弹性表面波装置，其特征在于，在第1和第2反射器电极与平行于弹性表面波的传播方向的压电基片的端部之间也设置吸音材料。
18、一种弹性表面波装置，包括：压电基片；在该压电基片上平行设置的输入、输出叉指换能器(IDT)电极；在该输入、输出叉指换能器电极间设置的第1～第4反射器电极；以及在所述输入、输出叉指换能器电极间设置的第5反射器电极；使所述第1～第4反射器电极相对于垂直于弹性表面波的传播方向以大致相同的角度倾斜。
19、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，满足式(2)：
2(θ-5)≤tan-1(D/L)≤2(θ+5)         (2)
其中：
θ：第1～第4反射器电极内一个以上的反射器电极相对于垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的倾角(°：0°除外)
D：与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的垂直方向的宽度的中心距离(μm)
L：第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)。
20、如权利要求19所述的弹性表面波装置，其特征在于，θ为25°以下。
21、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，反射器电极的反射系数大致为1。
22、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，输入和输出叉指换能器电极的至少一个由电极指宽度大约λ/8(λ：弹性表面波的波长)的分瓣电极构成。
23、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，将第5反射器电极接地。
24、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，在反射器电极的输入、输出叉指换能器电极的侧端部的至少一个上设置与所述反射器电极的电极指有同一周期、同一宽度、同一倾角度但比所述电极指短的电极指。
25、如权利要求24所述的弹性表面波装置，其特征在于，在设置短的电极指的反射器电极的叉指换能器电极侧的端部上设置以平行于所述叉指换能器电极的电极指并以弹性表面波的波长的大约1/8的宽度连接电极指端部的电极指。
26、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，第1、第2反射器电极和第3、第4反射器电极具有不同的反射特性。
27、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，第1至第5反射器电极的金属化比率为0.45～0.75。
28、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，在第1至第5反射器电极的至少一个中一部分电极指宽度比其他电极指宽度宽。
29、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，在弹性表面波装置的输入、输出端子为不平衡型的情况下，将对置的输入、输出叉指换能器电极的输入、输出端子接地。
30、如权利要求18所述的弹性表面波装置，其特征在于，在第1至第5反射器电极和弹性表面波的传播方向的压电基片端部之间设置吸音材料。
31、如权利要求30所述的弹性表面波装置，其特征在于，在第1至第4反射器电极和平行于弹性表面波的传播方向的压电基片端部之间也设置吸音材料。
32、一种通信设备，包括：混频器；将其输入端连接到该混频器的输出端的弹性表面波装置；以及将其输入端连接到该弹性表面波装置的输出端的放大器；其中，所述弹性表面波装置包括：压电基片；在该压电基片上平行于弹性表面波的传播方向设置的输入和输出叉指换能器(IDT)电极；从该输入叉指换能器电极至所述弹性表面波的输出端以具有规定的间隔设置的第1反射器电极；以及第2反射器电极，该电极设置成距所述输出叉指换能器电极具有规定的间隔并且反射所述第1反射器电极反射的弹性表面波，并传播到所述输出叉指换能器电极上；而且所述装置满足式(1)，
2(θ-5)≤tan-1(D/L)≤2(θ+5)          (1)
其中：
θ：第1或第2反射器电极相对垂直于输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向的平面的倾角(°：0°除外)
D：与输入、输出IDT电极的弹性表面波的传播方向垂直方向的宽度的中心距离(μm)
L：第1反射器电极和第2反射器电极的中心距离(μm)。
CNB008030901A 1999-12-09 2000-12-11 弹性表面波装置和使用该装置的通信设备 Expired - Fee Related CN1180531C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP349824/1999 1999-12-09
JP34982499 1999-12-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1338148A true CN1338148A (zh) 2002-02-27
CN1180531C CN1180531C (zh) 2004-12-15

Family

ID=18406374

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNB008030901A Expired - Fee Related CN1180531C (zh) 1999-12-09 2000-12-11 弹性表面波装置和使用该装置的通信设备

Country Status (8)

Country Link
US (1) US6496086B2 (zh)
EP (1) EP1158670B1 (zh)
KR (1) KR20010104705A (zh)
CN (1) CN1180531C (zh)
DE (1) DE60041481D1 (zh)
SG (1) SG108315A1 (zh)
TW (1) TW498614B (zh)
WO (1) WO2001043284A1 (zh)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105264772A (zh) * 2013-05-29 2016-01-20 株式会社村田制作所 弹性波滤波器装置
CN108292912A (zh) * 2015-12-24 2018-07-17 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN109478875A (zh) * 2016-08-10 2019-03-15 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN112422099A (zh) * 2020-11-25 2021-02-26 成都燎原星光电子有限责任公司 宽带低损耗声表面波滤波器芯片结构

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6806619B2 (en) * 2001-10-16 2004-10-19 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Interdigital transducer, surface acoustic wave filter, and radio communication apparatus
DE10325798B4 (de) * 2003-06-06 2015-06-18 Epcos Ag SAW-Filter mit verbesserter Selektion oder Isolation
KR100535405B1 (ko) * 2003-12-30 2005-12-08 현대자동차주식회사 타이어의 압력 및 온도 측정용 표면탄성파 센서
WO2008149619A1 (ja) * 2007-06-06 2008-12-11 Murata Manufacturing Co., Ltd. 弾性波フィルタ装置
WO2014054269A1 (ja) 2012-10-01 2014-04-10 パナソニック株式会社 弾性波素子とこれを用いた弾性波センサ
CN102904548A (zh) * 2012-10-11 2013-01-30 无锡市好达电子有限公司 高屏蔽性声表面波滤波器
JP7095745B2 (ja) * 2018-10-18 2022-07-05 株式会社村田製作所 弾性波装置、帯域通過型フィルタ、デュプレクサ及びマルチプレクサ
WO2023048280A1 (ja) * 2021-09-27 2023-03-30 株式会社村田製作所 フィルタ装置

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4114119A (en) * 1976-05-24 1978-09-12 Raytheon Company Wide band low loss acoustic wave device
US4130813A (en) * 1977-05-23 1978-12-19 Raytheon Company Surface wave device having enhanced reflectivity gratings
US4146852A (en) * 1977-09-19 1979-03-27 Westinghouse Electric Corp. Phase weighted acoustic reflective array compressor
US4166228A (en) * 1978-03-17 1979-08-28 Sperry Rand Corporation Temperature compensated reflective array for surface acoustic wave processing
JPS5575333A (en) * 1978-12-04 1980-06-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd Elastic surface wave filter
JPS5842648B2 (ja) * 1978-12-20 1983-09-21 松下電器産業株式会社 表面弾性波素子
JPS5669919A (en) * 1979-11-09 1981-06-11 Seiko Epson Corp Surface elastic wave filter
US4319154A (en) * 1979-12-26 1982-03-09 Sperry Corporation Temperature insensitive reflective array S.A.W. device
JPS639217A (ja) * 1986-06-28 1988-01-14 Nec Corp 弾性表面波分散型遅延線
JPH0262829A (ja) 1988-05-18 1990-03-02 Nippon Kayaku Co Ltd 虚血に基づく傷害の予防及び治療剤
JPH0262829U (zh) * 1988-10-31 1990-05-10
ES2063378T3 (es) * 1989-11-14 1995-01-01 Siemens Ag Filtro reflector de ondas superficiales.
NO170379C (no) * 1990-03-01 1992-10-07 Frobe Radio As Metode for korreksjon av amplituderesponsen til signalbehandlingsfiltre som nytter akustiske overflateboelger
JP3203796B2 (ja) * 1992-09-07 2001-08-27 株式会社大真空 多重モード弾性表面波フィルタ
US5545940A (en) * 1994-11-07 1996-08-13 Rf Monolithics, Inc. Multitrack transversely folded surface acoustic wave structure
JP3298769B2 (ja) * 1995-09-26 2002-07-08 松下電器産業株式会社 弾性表面波多重モードフィルタ
JP3186604B2 (ja) 1996-10-09 2001-07-11 株式会社村田製作所 弾性表面波フィルタ装置
JPH11330895A (ja) * 1998-05-14 1999-11-30 Fujitsu Ltd 弾性表面波装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105264772A (zh) * 2013-05-29 2016-01-20 株式会社村田制作所 弹性波滤波器装置
CN105264772B (zh) * 2013-05-29 2018-01-12 株式会社村田制作所 弹性波滤波器装置
CN108292912A (zh) * 2015-12-24 2018-07-17 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN108292912B (zh) * 2015-12-24 2021-10-08 株式会社村田制作所 弹性波装置
CN109478875A (zh) * 2016-08-10 2019-03-15 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN109478875B (zh) * 2016-08-10 2022-10-04 株式会社村田制作所 弹性波装置以及梯型滤波器
CN112422099A (zh) * 2020-11-25 2021-02-26 成都燎原星光电子有限责任公司 宽带低损耗声表面波滤波器芯片结构

Also Published As

Publication number Publication date
EP1158670A1 (en) 2001-11-28
SG108315A1 (en) 2005-01-28
KR20010104705A (ko) 2001-11-26
TW498614B (en) 2002-08-11
US20020163402A1 (en) 2002-11-07
EP1158670A9 (en) 2002-05-15
WO2001043284A1 (fr) 2001-06-14
EP1158670B1 (en) 2009-01-28
DE60041481D1 (de) 2009-03-19
US6496086B2 (en) 2002-12-17
CN1180531C (zh) 2004-12-15
EP1158670A4 (en) 2004-11-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1103511C (zh) 声表面波器件
CN1282304C (zh) 改进通带特性和调节输入输出阻抗自由度的声表面波装置
CN1221075C (zh) 表面声波装置
CN1111318C (zh) 利用压电衬底最佳切割角漏表面声波的表面声波器件
CN1213535C (zh) 声表面波设备
CN1180531C (zh) 弹性表面波装置和使用该装置的通信设备
CN1118932C (zh) 声表面波滤波器和多级声表面波滤波器
CN1241326C (zh) 弹性表面波装置及具有它的通信装置
CN1268155C (zh) 弹性表面波装置、通信装置
CN1305171C (zh) 表面声波滤波器、天线双工器和通信设备
CN1574620A (zh) 表面声波滤波器和包括该表面声波滤波器的双工器
CN1196257C (zh) 纵向连接谐振器型的声表面波滤波器
CN1905365A (zh) 谐振电路、滤波器以及天线双工器
CN1338820A (zh) 纵向耦合谐振器型的声表面波滤波器
CN1230983C (zh) 声表面波滤波器和通信装置
CN1921304A (zh) 滤波器以及天线分波器
CN1325184A (zh) 纵向耦合的谐振器型表面声波滤波器
CN1175564C (zh) 表面声波器件及通信设备
CN1272000A (zh) 表面声波谐振器、复合表面声波滤波器和表面声波滤波器
CN1381951A (zh) 弹性表面波滤波器装置、通信装置
CN1578133A (zh) 弹性表面波装置及使用该装置的通信装置
CN1518216A (zh) 弹性表面波装置、通信装置
CN101040436A (zh) 平衡型声表面波滤波器
CN1197415C (zh) 声表面波器件
CN1253042C (zh) 弹性表面波滤波器、分波器及通信机

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C19 Lapse of patent right due to non-payment of the annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee