CN105102990A - 电子器件的测试头 - Google Patents

Abstract

本发明描述了一种用于电子器件的测试设备的测试头(20)，其包括多个插入导向孔的接触探针(22)，和至少一个所述探针的容纳元件(27)，导向孔实现于至少一个上导向件(23)及一个下导向件(24)中，容纳元件(27)设置于上导向件和下导向件(23,24)之间，每个接触探针(22)都具有至少一个尾部为接触尖端的端子部分(25)且从下导向件(24)伸出长度(L)，接触尖端适合邻接在待测器件的各自接触垫上，测试头还包括至少一个设置在容纳元件(27)和上导向件及下导向件(23,24)至少之一之间的间隔元件(28)，该间隔元件(28)为可移除的，以调整所述接触探针(22)的所述端子部分(25)的所述长度(L)。

Description

电子器件的测试头

技术领域

本发明涉及一种用于电子器件的测试设备的测试头。

本发明尤其但非排他性地涉及一种具有不限用于测试电子器件的垂直探针的测试头，具体地，该垂直探针集成于晶片上，下述说明仅为了方便说明而参照了该应用领域。

背景技术

众所周知，测试头本质上是一种适合于使微观结构尤其是集成于晶片上的电子器件的多个接触垫与验证它们的功能，尤其是电功能或用于进行它们测试的一般功能的测试机的对应通道电气连接的设备。

对集成器件进行的测试尤其能检测和隔离出在生产阶段已出现的故障器件。通常，在切割晶片并将其组装在芯片容纳包装中之前，测试头就被用于集成在晶片上的器件的电测试。

测试头本质上包括多个可移动接触元件或接触探针，其由至少一对平行板件或大致呈板状的平行导向件保持。这种导向件配置有合适的孔，彼此之间以特定的距离放置，从而为接触探针的运动及可能的变形留有自由区或空气间隙。特别地，所述一对导向件包括上导向件和下导向件，其都配置有导向孔，接触探针在此种导向孔内轴向滑动，接触探针通常由具有良好电和机械性能的特定金属制成。

此外，测试头最后还包括探针的容纳元件，其设置在上导向件和下导向件之间，通常由陶瓷制成。

接触探针和待测器件的接触垫之间的良好连接由测试头在设备本身上的压力来保证，然而，在此压力接触下，在制作于上下导向件中的导向孔内可移动的接触探针在两个导向件之间的空隙内会弯曲，并且在这种导向孔内滑动。这种类型的测试头通常被称作垂直探针，用盎格鲁-撒克逊(Anglo-Saxon)术语“垂直探测器”表示。

实质上，这种配有垂直探针的测试头具有空隙，接触探针在该空隙中发生弯曲，此弯曲适合探针本身或探针的导向件的适当结构，如图1所示意的，为了简化说明，只表示了通常包括在测试头中的多个探针中的一个接触探针。

特别地，图1中示意地显示了测试头1，其包括至少一个上导向件3和一个下导向件4，该至少一个上导向件3和一个下导向件4具有各自的上和下导向孔5,6，至少一个接触探针10在该导向孔5,6内滑动。

测试头1还包括探针的容纳元件7，其设置在上下导向件3,4之间。

接触探头10具有至少一个端部或接触尖端8。此处和下文中端子部分意味着术语端部或尖端，但并不必然是指它们。特别地，接触尖端8紧靠待测器件2的接触垫9，使所述器件和其测试设备(未示出)之间产生机械和电接触，其中，此测试头形成为端部元件。

在一些情况下，接触探针以固定方式在它们的上导向件处被限制(bound)至头部本身：参考具有限制(blocked)探针的测试头。

然而，测试头经常的使用方式是，探针以非固定方式被限制、而是通过称为“空间变换器(spacetransformer)”的微接触垫被保持衔接至所谓的板：参照具有非限制(non-blocked)探针的测试头。

在此情况下，接触探针具有朝向空间变换器的多个接触垫的另一接触尖端。通过探针在空间变压器的接触垫上的压力，确保了探针和空间变换器之间的与待测器件的接触类似的良好的电接触。

上和下导向件3,4适合被空隙隔开，该空隙使得接触探针10能够变形。最后，上和下导向孔5,6的尺寸设计成能够使接触探针10在该导向孔内部滑动。

探针导致的变形的形状和产生这种变形所需的力取决于许多方面，例如：

--制作探针的合金的物理性质；

--上导向件中的导向孔与下导向件中各自导向孔之间的偏差；以及

--板之间的距离。

此外，应该注意的是，测试头的正确功能主要受制于两个参数：接触探针的垂直位移或超程，和这种接触探针的接触尖端的水平位移或擦洗(scrub)。

在生产测试头时应该评估和校准所有这些特征，但是应该始终保证探针和器件之间的良好电接触。

特别地，保证接触尖端的擦洗使接触垫的表面能够“洁净”极其重要，以便能够提高测试头在其整个工作寿命期间形成的接触。

接触探针的接触尖端，尤其是用于接触待测器件的接触垫的接触尖端在使用期间会受到材料堆积(通常表示为灰尘)的影响，由此降低它们的性能。

因此，通过研磨制品对接触尖端进行清洁操作是众所周知的。

很明显，这种清洁操作涉及探针的一部分尖端的消耗，因此，它们在数量上被探针的尖端的长度限制。特别地，尖端部分随后的研磨应该限制于从下导向件4伸出的适合制作接触探针的锥形探针部分。

基于本发明的技术问题是提供一种集成于晶片上的电子器件的测试头，其结构上和功能上的特性使得能够进行足量的清洁操作而不会损失任何功能，以克服仍然困扰根据现有技术制造的测试头的限制和缺点。

发明内容

本发明所基于的技术方案思想在于，实现一种包括至少一个间隔元件的测试头，该间隔元件置于探针的容纳元件和上或下导向件至少之一之间以便简单移除并可被剥离。

基于此技术方案思想，此技术问题通过一种用于电子器件的测试设备的测试头解决，该测试头包括多个插入导向孔的接触探针，和至少一个所述探针的容纳元件，所述导向孔实现于至少一个上导向件及一个下导向件中，所述容纳元件设置于所述上导向件和下导向件之间，每个所述接触探针都具有至少一个尾部为接触尖端的端子部分且从所述下导向件伸出长度，所述接触尖端适合邻接在待测器件的各自接触垫上，所述测试头还包括至少一个设置在所述容纳元件与所述上导向件及下导向件至少之一之间的间隔元件，所述间隔元件为可移除的，以调整所述接触探针的所述端子部分的所述长度。

更具体地，本发明包括以下补充和兼性特征，若需要，可以单独或者组合利用。

根据本发明的一个方面，所述间隔元件可以设置于所述容纳元件和所述上导向件之间。

此外，所述测试头还可以包括适合连接所述间隔元件，所述容纳元件和所述上导向件或下导向件的固定装置。

根据本发明的这个方面，每个所述固定装置均可以包括至少一个容纳在各自螺纹孔中的螺钉，所述螺纹孔形成于所述上导向件或下导向件中所述间隔元件的定位点处。

此外，所述间隔元件可以包括至少一个适合容纳所述螺钉的孔。

根据本发明的另一个方面，所述测试头可以包括对应于所述上导向件或下导向件的轮廓放置的多个间隔元件。

特别地，此间隔元件可以以非对称的方式沿所述上导向件或下导向件的所述轮廓放置。

特别地，所述测试头可以包括至少四个间隔元件，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件或下导向件的角区域处。

此外，所述测试头可以包括至少四个间隔元件，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件或下导向件的侧边的一个中心部分处。

所述测试头还可以包括至少四个间隔元件，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件及下导向件的角区域处，以及至少其它四个间隔元件，其放置于所述上导向件及下导向件的侧边的中心部分，且不同于所述四个间隔元件的放置位置处。

根据本发明的一个方面，所述间隔元件可以由塑料制成。

根据本发明的另一个方面，所述间隔元件可以为桨叶形，包括长形主体和具有大于所述长形主体尺寸的头部。

此外，根据本发明的另一个方面，所述间隔元件包括多个重叠且可单独移除的层状物。

特别地，所述层状物通过弱密封的粘结材料相互连接，从而能够以简单的方式使所述层状物相互分离。

所述技术问题还可以通过一种测试头的调整方法得到解决，所述测试头包括多个插入导向孔的接触探针，和至少一个所述探针的容纳元件，所述导向孔实现于至少一个上导向件及下导向件中，所述容纳元件设置于所述上导向件及下导向件之间，每个所述接触探针都具有至少一个尾部为接触尖端的端子部分且从所述下导向件伸出长度，所述接触尖端适合邻接在待测器件的各自接触垫上，所述测试头还包括至少一个设置于所述容纳元件和所述上导向件及下导向件至少之一之间的间隔元件，所述方法包括步骤：

将所述间隔元件，所述上导向件及下导向件和所述容纳元件断开连接；

移除所述间隔元件；

使所述上导向件或下导向件靠近所述容纳元件；以及

连接所述上导向件或下导向件和所述容纳元件，

从而调整所述接触探针的所述端子部分的所述长度。

根据本发明的一个方面，所述测试头可以包括用于连接所述间隔元件、所述上导向件或下导向件和所述容纳元件的固定装置，所述固定装置由容纳在各自螺纹孔中的各自螺钉形成，所述断开连接步骤包括所述固定装置通过松开或移除所述螺钉而实现的去固定步骤，所述连接步骤包括所述固定装置通过在所述螺纹孔中重新拧入所述螺钉而实现的恢复步骤。

根据本发明的另一方面，所述测试头可以包括具有多个重叠且可单独移除的层状物的间隔元件，所述移除步骤可以包括移除所述多层间隔元件的一个或多个层状物步骤。

此外，所述调整方法还可以包括进一步的步骤：将所述多层间隔元件，所述上导向件或下导向件和所述容纳元件断开连接，移除所述多层间隔元件的一个或多个层状物，以及使所述上导向件或下导向件靠近所述容纳元件，此进一步步骤紧接着前述相应步骤进行或与前述相应步骤间隔时间进行。

最后，根据本发明的另一方面，对于包括在测试头内的多个多层间隔元件，按非对称方式进行所述移除所述多层间隔元件的一个或多个层状物步骤，以便如果所述接触探针的所述端子部分的所述长度存在任何不一致时，能够进行补偿。

根据本发明的测试头和调整方法的特征和优点将从以下参考附图的，通过指示性和非限制性的示例所给出的实施例的示例的描述中显而易见。

附图说明

在这些图中：

图1示意性地显示了根据已知技术实现的尤其是集成于晶片上的电子设备的测试头；

图2示意性地显示了根据本发明实现的尤其是集成于晶片上的电子设备的测试头的截面图；

图3示意性地显示了图2所示的测试头的俯视图；

图4A-4D示意性地显示了根据本发明实现的测试头的各种不同实施例的俯视图；

图5A-5C示意性地显示了图2所示的测试头在根据本发明的调整方法的不同阶段中的截面图；

图6示意性地显示了图2所示的测试头局部的俯视图；

图7示意性地显示了根据本发明的测试头的实施例的另一个备选实施例的截面图；

图8A-8F示意性显示了图7所示的测试头在根据本发明的调整方法的备选实施例的不同阶段中的截面图。

具体实施方式

参照这些附图，特别是图2，参考标记20总体上指示根据本发明实现的测试头。

应该注意的是，这些附图为示意图且未按比例绘制，目的是为了示出本发明的重要特征。

此外，应该注意的是，参照具体实施例显示的设置可以明显地用在其它实施例的组合中。而且，在各种不同附图中使用相同的参考标记，用以表示结构上和功能上对应的元件。

测试头20包括一批探针21，这些探针21依次包括多个接触探针22。测试头20还包括至少一个上导向件23和一个下导向件24，其分别具有导向孔，接触探针22在该导向孔内滑动。

特别地，各接触探针22在下导向件24处具有至少一个端子部分25，该端子部分尾部为接触尖端，通过使所述器件及其测试设备之间机械和电接触，所述接触尖端适合邻接在待测器件(未示出)的各自接触垫上，其中，此测试头形成端部元件。正如已经指出的那样，术语尖端表示的不一定是尖锐的端部。

接触探针22在上导向件23处还具有另一个端子部分26，其可能设置有另一个朝向空间变换器的多个接触垫的接触尖端。

参照由与测试头20压力接触而被测试的器件实现的理想平面，接触探针22的端子部分25相对于下导向件24设计有合适的长度L。当借助测试头20尖端的磨料布上的通道使用该测试头时，此长度L减少，如参照已知技术所述。

测试头还包括探针的容纳元件27，其设置于上导向件23和下导向件24之间。

根据本发明，有利的是，测试头20还包括设置在至少一个上导向件或下导向件与探针的容纳元件27之间的至少一个间隔元件28，具体地，在图所示示例中，至少一个间隔元件28设置在上导向件23和容纳元件27之间。应该注意的是，间隔元件28在上导向件23和容纳元件27之间的这种放置尤其有利，使得确实能够保证方便检修间隔元件28。

根据本发明，有利的是，如图中所示，间隔元件28置于上导向件23和容纳元件27之间，形成高度为H的空隙。

测试头20还包括分别适用于连接上导向件23、间隔元件28和容纳元件27的固定装置29。

如图3所示，在测试头20安装在板件30的情况下，固定装置29可以通过螺钉31(尤其是翼形螺钉)来实现将其容纳在各自的螺纹孔32中，该螺纹孔32设置在上导向件23上间隔元件28的定位点处。

特别地，在图3所示的对应于本发明所述的测试头20的优选实施例的示例中，使用四个表示为28A、28B、28C和28D的间隔元件，将它们定位在大体上呈矩形的上导向件23的角区域处。

此外，测试头20还可以包括固定装置29’，尤其包括螺钉3(示例中所示为十字槽头螺钉)，将固定装置容纳在各自的螺纹孔32’中，以连接上导向件23和容纳元件27。特别地，将固定装置29’设置在不同于间隔元件28所在点的区域中。

在图3的示例中，特别地，测试头20进一步包括4个设置在大体上呈矩形的导向件23的侧边中央放置的螺钉31’，在该螺钉放置的位置处不存在间隔元件28。

明显地，可以提供不同结构形式的间隔元件28，相对于图3所示的间隔元件，这些间隔元件可以以不同的数量，对称或不对称的方式，以及不同的位置进行设置。

图4A-4D显示测试头20的各种不同实施例，尤其结合其间隔元件28的示例。

特别地，在图4A中表示为20的测试头20仅包括一个间隔元件，如图3中以28A所示，特别地，该间隔元件位于具有大致呈矩形的上导向件23的一角处。

作为备选方案，图4B中所示测试头20包括两个表示为28A和28C的间隔元件，其大体上设置在具有大致呈矩形的上导向件23的对角线上。

此外，图4C中所示测试头20包括三个表示为28A，28B和28C的间隔元件，其以不对称的配置方式设置于具有大致呈矩形的上导向件23的四个角区域中的三个角处。

最后，图4D中所示测试头20包括四个表示为28A，28B，28C和28D的间隔元件，其设置在具有大致呈矩形的上导向件23的角区域处，并且还包括四个表示为28’A，28’B，28’C和28’D的间隔元件，其设置在上导向件23的侧边且在其它螺钉31’处中心放置。

根据本发明，测试头20能够实现调整接触探针22的端子部分25的长度L的方法。

参照5A-5C说明此类调整方法。

特别地，在这些附图中示出了测试头20的横截面，其中测试头20包括至少两个间隔元件28，其设置在上导向件23和容纳元件27之间，且通过固定装置29连接，该固定装置29由封装在各自螺纹孔32中的螺钉31实现。

在图5A中，测试头20具有接触探针22，该接触探针22具有相对下导向件24伸出长度L1的端子部分25，此长度L1小于对应于测试头20正确功能的L*值。大体上，在此条件下，测试头20不适用于在待测器件(未示出)相应的接触垫上施加接触探针22的正确压力触点。

有利地，根据本发明，如5B所示，所述方法包括通过松开或移除螺钉31释放固定装置29的阶段，以及随后移除间隔元件28的阶段。

此时，所述方法包括上导向件23按照箭头F所示方向靠近容纳元件27的阶段。最后，如图5C所示，此方法包括通过将新的螺钉31拧入各自螺纹孔32释放固定装置29的阶段，用于将上导向件23和容纳元件27重新连接。

由于间隔元件28的移除，图5C结构中的测试头20包括接触探针22，该接触探针22具有相对下导向件24伸出长度L2的端子部分25，此长度L2等于或大于对应于测试头20正确功能的L*值。有利地，根据本发明的调整方法，测试头20的正确功能由此以简单快捷的方式恢复。

如图6所示，间隔元件28可以适宜地为桨(paddle)状。这种间隔元件28可以以塑料材料来实现。

特别地，间隔元件28包括长形主体33及例如圆形的头部34；适宜地，间隔元件28具有尺寸便于螺钉31穿过的孔35。为了在移除这种间隔元件28时便于在长形主体33处抓握此种元件，间隔元件28的这种形状尤其有利。此外，头部相对于长形主体33的较大尺寸在拧紧固定装置29，尤其在将螺钉31拧入孔32中时，保证了压力负荷的良好分散。

还可以实现具有方形形状或垫圈形状的间隔元件28，其上具有适当的穿孔以便使螺钉31能够通过。

间隔元件28还可以通过多个重叠且可单独移除的层状物实现，所述多个层状物可以通过例如胶水之类的具有弱密封性(reducedsealing)的粘结材料连接在一起，从而使层状物彼此之间能够容易地分离。这种间隔元件28可以定义为可剥性间隔元件。

图7示意性显示了包括多层或可剥性间隔元件28的测试头20。

特别地，在这些图中所示的例子中，各间隔元件28包括至少一个第一层状物281，至少一个第二层状物282和至少一个第三层状物283，这些层状物尤其具有相同的形状和厚度。很明显，可以考虑间隔元件28具有不同数量的层状物，且层状物分别可以具有不同的厚度。可选择地，将弱密封性粘结材料的层状物置于间隔元件28的层状物之间。

在这种情况下，可以仅移除多层或可剥间隔元件28中的其中一层，或同时或者顺序地移除该间隔元件28中的多层，以分段调整接触探针22的端子部分25的长度L。

有利地，根据本发明，设置在上导向件23和容纳元件27之间的多层或可剥间隔元件28形成高度为H1的空隙，特别地，其大于图2中所示的测试头20的间隔元件28形成的高度H的空隙。

包括图7所示的多层或可剥间隔元件28的测试头20能够实现调整接触探针22的端子部分25的长度L的方法的备选实施例。特别地，根据本发明，这种调整方法的备选实施例能够阶段性调整接触探针22的端子部分25的长度L。

根据本发明，参照图8A-8F示出了调整方法的这种备选实施例的一种可能实现。

在图8A中，测试头20具有接触探针22，该接触探针22具有相对下导向件24伸出一长度的端子部分25，该长度小于对应于测试头20正确功能的长度值。测试头20包括图7所示的多层或可剥间隔元件28。

有利地，根据本发明，所述方法包括通过松开或移除螺钉31释放固定装置29的步骤，该步骤之后是间隔元件28的至少一个第一层状物281的移除步骤，如图8B所示。

此时，所述方法包括上导向件23按照图8C所示箭头F1所示方向靠近容纳元件27的步骤。

在这种情况下，在将上导向件23靠近容纳元件27后，接触探针22具有相对下导向件24伸出一长度的端子部分25，该长度在任何情况下都小于对应于测试头20正确功能的长度值，如图8D所示。所述方法还包括通过松开或移除螺钉31释放固定装置29的步骤，该步骤之后是间隔元件28的至少一个第二层状物282的移除步骤，如图8E所示。

此时，所述方法还包括上导向件23按照箭头F2所示方向靠近容纳元件27的步骤。

最后，所述方法包括通过将新的螺钉31拧入各自螺纹孔32的步骤，以便再次将上导向件23、间隔元件28和容纳元件27连接起来，如图8F所示。

应该注意的是，此情况下，调节接触探针22的端子部分伸出下导向件24的长度并没有使间隔元件28全部移除。

显然，还可以在测试头20使用的后期，尤其在其接触探针22的端子部分25由于使用而进一步缩短并且具有小于对应于测试头20正确功能的长度值的长度时，进行移除间隔元件28的一个层状物和将上导向件23靠近容纳元件27的步骤。

此外，有利地，根据本发明，也可以以非对称的方式移除间隔元件28的一个层状物，使上导向件23靠近容纳元件27，从而在各自的接触顶尖由于探针本身的制造过程的公差而未对准的情况下，调整接触探针22的端子部分25的长度。

综上，根据本发明，具有间隔元件的测试头更加耐用，因为可以对相关尖端进行大量的清洗操作，并且之后可以调节接触探针的端子部分相对下导向件伸出的长度，使得其等于或大于对应于测试头正确功能的长度。

根据本发明，具有间隔元件的测试头的调整方法，能够以简单快捷的方式，在使其接触探针的端子部分缩短的工作阶段之后，恢复该测试头本身的正确功能。

此外，当使用多层或可剥间隔元件时，可以在测试头工作寿命的不同时刻进一步调节接触探针的端子部分的长度，特别是在此端子部分每次都由于使用而被缩短并具有小于对应于测试头本身的正确功能的长度值的长度的情况下。

而且，具有间隔元件的测试头能够在各自的接触顶尖由于探针本身的制造过程的公差而未对准的情况下，调整接触探针的端子部分的长度。

很明显，为了应对偶然事件或具体需求，本领域技术人员可以对上文所述的测试头进行多种改变和变型，这些改变和变型全部都包括在如所附权利要求书所限定的本发明的保护领域内。

Claims (19)

1.用于电子器件的测试设备的测试头(20)，包括多个插入导向孔的接触探针(22)，和至少一个所述探针的容纳元件(27)，所述导向孔实现于至少一个上导向件(23)及下导向件(24)中，所述容纳元件(27)设置于所述上导向件和下导向件(23,24)之间，每个所述接触探针(22)都具有至少一个尾部为接触尖端的端子部分(25)，且从所述下导向件(24)伸出长度(L)，所述接触尖端适合邻接在待测器件的各自接触垫上，其特征在于，所述测试头(20)还包括至少一个设置在所述容纳元件(27)与所述上导向件及下导向件(23,24)至少之一之间的间隔元件(28)，所述间隔元件(28)为可移除的，以调整所述接触探针(22)的所述端子部分(25)的所述长度(L)。

2.如权利要求1所述的测试头(20)，其特征在于，所述间隔元件(28)设置于所述容纳元件(27)和所述上导向件(23)之间。

3.如权利要求1所述的测试头(20)，其特征在于，还包括适合连接所述间隔元件(28)，所述容纳元件(27)和所述上导向件或下导向件(23,24)的固定装置(29)。

4.如权利要求3所述的测试头(20)，其特征在于，每个所述固定装置(29)均包括至少一个容纳在各自螺纹孔(32)中的螺钉(31)，所述螺纹孔形成于所述上导向件或下导向件(23,24)中所述间隔元件(28)的定位点处。

5.如权利要求4所述的侧视头(20)，其特征在于，所述间隔元件(28)包括至少一个适合容纳所述螺钉(31)的孔(35)。

6.如权利要求1所述的测试头(20)，其特征在于，包括对应于所述上导向件或下导向件(23,24)的轮廓放置的多个间隔元件(28A,28B,28C,28D；28′A,28'B,28'C,28'D)。

7.如权利要求6所述的测试头(20)，其特征在于，所述多个间隔元件(28A,28B,28C,28D；28′A,28'B,28'C,28'D)以非对称的方式沿所述上导向件或下导向件(23,24)的所述轮廓放置。

8.如权利要求6所述的测试头(20)，其特征在于，包括至少四个间隔元件(28A,28B,28C,28D)，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件或下导向件(23,24)的角区域处。

9.如权利要求6所述的测试头(20)，其特征在于，包括至少四个间隔元件(28′A，28'B,28'C,28D)，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件或下导向件(23,24)的侧边的一个中心部分处。

10.如权利要求6所述的测试头(20)，其特征在于，包括至少四个间隔元件(28A,28B,28C,28D)，其放置于大体上呈矩形的所述上导向件及下导向件(23,24)的角区域处，以及至少其它四个间隔元件(28′A，28'B,28'C,28D)，其放置于所述上导向件及下导向件(23,24)的侧边的中心部分，且不同于所述四个间隔元件(28A,28B,28C,28D)的放置位置处。

11.如权利要求1所述的测试头(20)，其特征在于，所述间隔元件(28)由塑料制成。

12.如权利要求1所示的测试头(20)，其特征在于，所述间隔元件(28)为桨叶形，包括长形主体(33)和具有大于所述长形主体尺寸的头部(34)。

13.如权利要求1所述的测试头(20)，其特征在于，所述间隔元件(28)包括多个重叠且可单独移除的层状物(281,282,283)。

14.如权利要求13所述的测试头(20)，其特征在于，所述层状物(281,282,283)通过弱密封的粘结材料相互连接，从而能够以简单的方式使所述层状物相互分离。

15.测试头(20)的调整方法，所述测试头(20)包括多个插入导向孔的接触探针(22)，和至少一个所述探针的容纳元件(27)，所述导向孔实现于至少一个上导向件(23)及下导向件(24)中，所述容纳元件(27)设置于所述上导向件及下导向件(23,24)之间，每个所述接触探针(22)都具有至少一个尾部为接触尖端的端子部分(25)且从所述下导向件(24)伸出长度(L)，所述接触尖端适合邻接在待测器件的各自接触垫上，所述测试头(20)还包括至少一个设置于所述容纳元件(27)和所述上导向件及下导向件(23,24)至少之一之间的间隔元件(28)，其特征在于，所述方法包括步骤：

将所述间隔元件(28)，所述上导向件及下导向件(23,24)和所述容纳元件(27)断开连接；

移除所述间隔元件(28)；

使所述上导向件或下导向件(23,24)靠近所述容纳元件(27)；以及

连接所述上导向件或下导向件(23,24)和所述容纳元件(27)，

从而调整所述接触探针(22)的所述端子部分(25)的所述长度(L)。

16.如权利要求15所述的调整方法，其中，所述测试头(20)包括用于连接所述间隔元件(18)，所述上导向件或下导向件(23,24)和所述容纳元件(27)的固定装置(29)，所述固定装置由容纳在各自螺纹孔(32)中的各自螺钉(31)形成，其特征在于，所述断开连接步骤包括所述固定装置(29)通过松开或移除所述螺钉(31)实现的去固定步骤，所述连接步骤包括所述固定装置(29)通过在所述螺纹孔(32)中重新拧入所述螺钉(31)实现的恢复步骤。

17.如权利要求15所述的调整方法，其中，所述测试头(20)包括具有多个重叠且可单独移除的层状物(281,282,283)的间隔元件(28)，其特征在于，所述移除步骤包括移除所述多层间隔元件(28)的一个或多个层状物步骤。

18.如权利要求17所述的调整方法，还包括进一步的步骤：将所述多层间隔元件(28)，所述上导向件或下导向件(23,24)和所述容纳元件(27)断开连接，移除所述多层间隔元件(28)的一个或多个层状物，以及使所述上导向件或下导向件(23,24)靠近所述容纳元件(27)，此进一步的步骤紧接着前述相应步骤进行，或与前述相应步骤间隔时间进行。

19.如权利要求17所述的调整方法，其特征在于，对于包括在测试头(20)内的多个多层间隔元件(28)，按非对称方式进行所述移除所述多层间隔元件(28)的一个或多个层状物步骤，以便如果所述接触探针(22)的所述端子部分(25)的所述长度存在任何不一致时，能够进行补偿。