CN105050730B - 液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可解决滴液并可提高吐出作业的作业性的液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法。一种液体材料吐出装置，在具备具有吐出液体材料的吐出口(33)的喷嘴构件(35)、与喷嘴构件(35)连通的切换阀(51)、以及吐出控制部的液体材料吐出装置(20)中，设置具有对切换阀(51)供给被加压的液体材料的加压流路(62)的加压部(60)，设置具有能够设定为比加压流路内压力相对低的压力的退避流路(72)的负压部(70)，切换阀(51)切换将吐出口(33)和加压流路(62)连通并且将吐出口(33)和退避流路(72)遮断的第一位置以及将吐出口(33)和退避流路(72)连通并且将吐出口(33)和加压流路(62)遮断的第二位置。

Description

液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法

技术领域

本发明涉及一种自低粘性的液体材料至焊料膏体、银膏体、粘结剂等的高粘性的液体材料，无论其填料的含有如何均定量地吐出的液体材料吐出装置、其涂布装置及涂布方法。

背景技术

一直以来，已知有如下螺杆(screw)式吐出装置，其使在棒状体的表面在上述棒状体的长度方向上呈螺旋状地形成有轴环的螺杆旋转，通过该螺杆的旋转，轴环搬送液体而将液体吐出。申请人也将定量地吐出液体的螺杆式吐出装置、即精度良好地吐出尤其含有填料的液体的装置公开于专利文献1。

图14所示的专利文献1的吐出装置是如下螺杆式的液体材料吐出装置10，其包括：螺杆7，其在杆8表面自前端起朝向长度方向具备螺旋状的翼；马达9(旋转驱动机构)，其使螺杆7旋转；主体1，其具备被供给有液体材料的液体流入口4、螺杆7所贯通的螺杆贯通孔2及覆盖螺杆7的吐出口侧前端的盖(cover)5；及喷嘴6，其安装于盖5的前端且与盖5的内部连通；通过螺杆7的旋转而吐出液体。在该吐出装置10中，提出了使螺杆7与盖5内壁面的间隙宽于填料粒径或填料簇的粒径作为优选的方式。

作为另一方式的吐出装置，已知有如下喷射式吐出装置，其通过急速前进的柱塞而对液体材料赋予惯性力，在自吐出口切断的滴液的状态下飞溅吐出。

作为液滴的吐出时柱塞所就座的吐出装置，有申请人在专利文献2中提出的如下液滴定量吐出装置，切换阀处于第一位置并且通过阀工作用空气使柱塞杆进行后退动作而将吐出口开口，切换阀处于第二位置并且使通过柱塞杆进入单元而进行进入动作的柱塞杆抵接于阀座，由此急速地停止而使液体自阀的吐出口呈滴液状地飞溅并吐出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-326715号公报

专利文献2：日本专利第4663894号公报

发明内容

发明所要解决的问题

在作为(a)使在杆的表面自前端起朝向长度方向具有螺旋状的翼的螺杆旋转而吐出的吐出装置、或(b)通过杆的旋转或进入移动而吐出液体材料的吐出装置，且即使在该吐出作业待机时，吐出口与液体材料供给源也仍然保持连通状态的吐出装置中，有在该吐出作业待机中自吐出口漏出液体材料的滴液的问题。例如，图14所公开的吐出装置10在螺杆与罩(housing)内壁面之间设置间隙，因此，在其吐出作业待机时，有通过该间隙而自吐出口漏出液体材料的情况。该问题在吐出粘度低的液体材料的情况下会显著地显现。

为了解决该问题，在专利文献1中提出了在吐出时呈脉冲状地对液材施加压力，在吐出待机时对贮存容器内的液材施加负压而防止液材自喷嘴前端滴落。

然而，上述对液体材料呈脉冲状地施加压力的方法(即，每当吐出时对贮存容器内的空间送入空气来对液体材料施加压力的方法)由于空气的压缩性而有直到开放与吐出口连通的液室的残压为止需要时间等的问题。该问题成为生产性降低的原因，因此，要求缩短液室的残压开放所必需的时间。

本发明的目的在于，提供一种可有效地解决滴液的问题、进而可提高吐出作业的作业性的吐出装置、其涂布装置及涂布方法。

解决问题的技术手段

液体材料吐出装置所涉及的本发明，其特征在于，其包括：吐出口，其吐出液体材料；液室，其与吐出口连通，且被供给有液体材料；推进力赋予构件，其配置在液室内，对液体材料赋予吐出所必要的推进力；推进力赋予构件驱动源，其使推进力赋予构件动作；及吐出控制部；在该液体材料吐出装置中，设置具有对液室内供给经加压的液 体材料的加压流路的加压部；设置具有能够设定为比液室内压力相对低的压力的退避流路的负压部；设置具有将液室与加压流路连通的液体材料供给口、及将液室与退避流路连通的液体材料开放口的液体阀部；液体阀部具备切换阀，该切换阀切换将液室与液体材料供给口连通且将液室与液体材料开放口遮断的第一位置、和将液室与液体材料开放口连通且将液室与液体材料供给口遮断的第二位置。

在上述液体材料吐出装置所涉及的本发明中，其特征也可在于，上述加压部具备液体贮存容器、及对液体贮存容器供给加压空气的加压源，上述负压部具备与退避流路直接或间接地连通的负压源，优选其特征在于，上述负压部具备相较于退避流路扩径了的液体材料的退避容器，更优选为其特征在于，上述负压部具备将贮存于退避容器的液体材料排出的排出流路，更进一步优选为其特征在于，上述负压部具备将上述排出流路与外部连通或遮断的排出流路开闭机构。在具备该排出流路开闭机构的本发明中，其特征也可在于，上述负压部具备对退避容器供给加压空气的加压源、及具有将上述加压源与退避容器连通的加压位置及将上述负压源与退避容器连通的减压位置的负压部切换阀，优选为其特征在于，上述排出流路开闭机构为开闭阀，上述加压部具备将加压部与液体阀部连通或遮断的加压部开闭阀，上述吐出控制部根据预先决定的排出条件，关闭加压部开闭阀，将负压部切换阀设为加压位置，打开排出流路开闭机构，将退避容器内的液体材料排出至外部。此处所谓的排出条件中，包含每一定时间排出的情况、每一定的吐出次数排出的情况。

在具备上述退避容器的本发明中，其特征也可在于，上述负压部具备配置在退避容器内的细长的负压调整管，负压调整管的一个开口与退避流路连通，负压调整管的另一个开口配置在退避容器内的空间。

在具备上述加压源及负压源的本发明中，其特征也可在于，上述吐出控制部在吐出待机中，自上述负压源将为了防止来自吐出口的滴液所必要的负压力赋予退避流路，在吐出结束时，自上述负压源将比吐出待机中更强的负压力赋予退避流路。

在具备上述加压源与负压源的本发明中，其特征也可在于，上述吐出控制部在吐出作业中，自上述加压源将为了自吐出口吐出液体材料所必要的加压力赋予液体贮存容器，在吐出待机时，自上述加压源将比吐出作业中更强的加压力赋予液体贮存容器。

在上述液体材料吐出装置所涉及的本发明中，其特征也可在于，上述推进力赋予构件为直径较液室小的小径的进行旋转动作的螺杆、或者通过急速进入移动而对液体材料赋予惯性力的杆状构件，或者，上述推进力赋予构件为进行偏心旋转动作的公螺旋形状的杆，上述液室具有与推进力赋予构件协同动作的母螺旋形状的内壁面，上述推进力赋予构件及上述液室构成单轴偏心螺旋泵机构。

液体材料吐出装置所涉及的本发明，其特征在于，其包括：喷嘴构件，其具有吐出液体材料的吐出口；切换阀，其与喷嘴构件连通；及吐出控制部；在该液体材料吐出装置中，设置具有对切换阀供给经加压的液体材料的加压流路的加压部；设置具有能够设定为比加压流路内压力相对低的压力的退避流路的负压部；上述切换阀构成液体阀部，该液体阀部具有与上述吐出口连通的送液口、与上述加压流路连通的液体材料供给口、及与上述退避流路连通的液体材料开放口，上述切换阀切换将上述吐出口与上述加压流路连通且将上述吐出口与上述退避流路遮断的第一位置、和将上述吐出口与上述退避流路连通且将上述吐出口与上述加压流路遮断的第二位置，优选为其特征在于，上述液体阀部与上述喷嘴构件经由可挠性管而连通。

涂布装置所涉及的本发明，涉及一种涂布装置，其包括：上述液体材料吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作。

涂布方法所涉及的本发明，其特征在于，是使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：上述液体材料吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作；上述吐出控制部在吐出作业中，通过在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下使推进力赋予构件动作而自吐出口将液体材料吐出，在吐出结束时，通过使推进力赋予构件的动作停止并且将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出。

涂布方法所涉及的本发明，其特征在于，是一种使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：液体材料吐出装置，其具备上述加压源及负压源；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作；上述吐出控制部在吐出作业中，通过在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下使推进力赋予构件动作而自吐出口将液体材料吐出，在吐出结束时，通过使推进力赋予构件的动作停止并且将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出；在吐出待机中，自上述负压源将为了防止来自吐出口的滴液所必要的负压力赋予退避流路，在吐出结束时，自上述负压源将比吐出待机中更强的负压力赋予退避流路；优选为其特征在于，上述吐出控制部在吐出作业中，自上述加压源将为了自吐出口吐出液体材料所必要的加压力赋予液体贮存容器，在吐出待机时，自上述加压源将比吐出作业中更强的加压力赋予液体贮存容器。

涂布方法所涉及的本发明，其特征在于，是一种使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：液体材料吐出装置，其具备上述排出流路开闭机构、上述负压部切换阀及上述加压部开闭阀；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作；上述吐出控制部在吐出作业中，通过在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下使推进力赋予构件动作而自吐出口将液体材料吐出，在吐出结束时，通过使推进力赋予构件的动作停止并且将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出；及根据预先决定的排出条件，关闭加压部开闭阀，将负压部切换阀设为加压位置，打开构成排出流路开闭机构的开闭阀，将退避容器内的液体材料排出至外部。此处所谓的排出条件中，包含每一定时间排出的情况、每一定的吐出次数排出的情况。

发明的效果

根据本发明，能够提供一种可有效地解决滴液的问题、进而可提高吐出作业的作业性的吐出装置、其涂布装置及涂布方法。

附图说明

图1是说明第1实施方式例所涉及的吐出装置的流路内的压力状态的主要部分剖面示意图，(a)表示吐出作业时，(b)表示吐出待机时。

图2是说明现有的吐出装置中的流路内的压力状态的主要部分剖面示意图，(a)表示吐出作业时，(b)表示吐出待机时。

图3是实施例1所涉及的液体材料吐出装置的概略立体图。

图4是搭载有实施例1所涉及的液体材料吐出装置的涂布装置的概略立体图。

图5是实施例1所涉及的液体材料吐出装置的概略上面图。

图6是实施例1所涉及的液体材料吐出装置的主要部分剖面图，且是说明切换阀的第一位置的图。

图7是实施例1所涉及的液体材料吐出装置的主要部分剖面图，且是说明切换阀的第二位置的图。

图8是说明实施例1所涉及的液体材料吐出装置的负压部的主要部分剖面图。

图9是说明实施例2所涉及的液体材料吐出装置的说明图。

图10是说明实施例2所涉及的液体材料吐出装置的负压部的主要部分剖面图。

图11是说明实施例3所涉及的液体材料吐出装置的主要部分剖面侧面图。

图12是说明实施例4所涉及的液体材料吐出装置的主要部分剖面侧面图。

图13是实施例5所涉及的液体材料吐出装置的整体构成图。

图14是专利文献1的图2所公开的现有的吐出装置的主要部分剖面图。

图15是说明第2实施方式例所涉及的吐出装置的流路内的压力状态的主要部分剖面示意图，(a)表示吐出作业时，(b)表示吐出待机时。

具体实施方式

以下，一边参照附图，一边说明用于实施本发明的实施方式例。以下，为了便于说明，有时将贮存容器12侧设为上方向，将喷嘴33 侧设为下方向。

＜第1实施方式例的构成＞

图1是说明第1实施方式例所涉及的吐出装置20的流路内的压力状态的主要部分剖面示意图，(a)表示吐出作业时，(b)表示吐出待机时。如图1所示，第1实施方式例所涉及的液体材料吐出装置20以吐出单元30、液体阀部50、加压部60、及负压部70为主要的构成要素。再者，图1中，将处于与液室32相同的压力下的液体材料25着色为较深的颜色，将处于与液室32不同的压力下的液体材料25着色为较浅的颜色。

吐出单元30包括：杆31，其为推进力赋予构件；液室32，其插入有杆；吐出口33，其设置于与液室32连通的喷嘴的下端；液体材料供给口34，其连通于液室32的侧面；及杆驱动源37，其使杆31旋动。在第1实施方式例中，作为推进力赋予构件的形状，例示了杆状构件，但并不限定于此，可应用对液室底面开口38赋予进退移动、平行移动或振动等的力学作用的各种构件。尤其是本发明适用于在吐出待机时推进力赋予构件不堵塞液室底面开口38的类型的吐出装置。在该类型的吐出装置中，也包括推进力赋予构件就座于液室底面而切断液体材料的喷射式吐出装置。

液体阀部50具备切换阀51。第1实施方式例的切换阀51包括：流路A81，其直接连结于吐出单元30；流路B82，其作为加压流路而发挥功能；流路C83，其作为退避流路而发挥功能；及阀体55，其切换流路A81与流路B82及流路C83的连通。若切换阀51为可切换加压部60与液室32或负压部70与液室32的连通的三通阀，则该阀的种类或构造不受限定。例如，可使用利用电磁马达或空气马达使阀体往返移动的阀、利用螺线管驱动部使膜片(diaphragm)变形的构成的阀。对于切换阀51的动作，下文进行叙述。

再者，图1中，将液室32与杆31的间隙设定为较宽，但也可如图14所示将液室32与杆31的间隙设定为较窄，使通过杆31的动作而产生的液体推进力较强地产生。

加压部60包括：贮存容器12；加压流路62，其连通贮存容器与液体阀部50；及加压装置(未图示)，其对贮存容器加压。此处，加压 流路62可由可挠性管构成，也可形成于与贮存容器12装卸自如的构件(例如下述的送液块)内。贮存容器12并不限定于图示的形状，可使用任意的形状的容器。再者，在第1实施方式例的吐出装置20中，贮存容器12内的上部空间与未图示的加压装置连通。

负压部70具备具有端部开口74的退避流路72。该退避流路的端部开口74向大气开放或与负压产生装置(未图示)连通。优选，设置负压产生装置，将退避流路72内的液体材料预先调整为所期望压力而进行准备，在刚进行切换阀51的切换动作之后立即使所期望压力迅速地作用于液室32内的液体材料。

优选退避流路72在其全长上具有较吐出口33的内径足够大的内径。更优选为，在退避流路的端部开口74与负压产生装置(未图示)之间设置较退避流路72扩径了的退避容器。该退避容器若较退避流路72扩径，则可采用任意的形状，但从设置空间的观点出发，设为管状作为优选的方式的一例而被公开(参照下述的退避管76)。

＜现有例的构成及动作＞

图2是说明现有的吐出装置中的流路内的压力状态的主要部分剖面示意图，(a)表示吐出作业时，(b)表示吐出待机时。

图2所示的现有的吐出装置10，吐出单元的构成与第1实施方式例相同，但与图1所示的第1实施方式例的不同在于，吐出单元不经由切换阀151而与贮存容器12连通。另外，图2的吐出装置的切换阀151与切换液体的流路的第1实施方式例的切换阀51的不同在于，其是切换气体的流路的阀。

在吐出装置10中，也与第1实施方式例同样，液室32内的液体材料受到杆31的旋转运动的作用而自吐出口33被吐出。再者，也可如图14所示将液室32与杆31的间隙设定为较窄，使通过杆31的动作而产生的液体推进力较强地产生。

在吐出作业中，如图2(a)所示，贮存容器12经由转接器14、管A16及切换阀151而与管B17连通，自管B17受到加压作用。即，切换阀151的阀体155取连通管A16及管B17的第一位置，将在管B17的上游调压为所期望压力的加压空气经由管A16而供给至贮存容器12内的上部空间。

吐出作业结束后，如图2(b)所示，停止杆驱动源37的动作而使杆31的动作停止并且将切换阀151的阀体155切换为连通管A16及管C18的第二位置。若管C18内以贮存容器12中产生负压力的方式被调压，切换阀151切换为第二位置，则管A16、转接器14及贮存容器12内的加压空气一举朝向管C18流动。由此，贮存容器12内的气压降低，对于贮存容器12内的液体材料25的压力作用也降低，不会自吐出口33吐出液体材料。

在吐出待机时，切换阀151保持第二位置，由此管A16及管C18处于连通状态，因此，对贮存容器12内供给负压，防止了液体材料自吐出口33滴落。

这样，现有的吐出装置10通过对贮存容器12内的上部空间进行加压或减压而防止吐出作业及吐出作业待机中的液体材料的滴液。

然而，在现有的吐出装置10中，有产生因气体的压缩性导致的响应延迟等的问题。该响应延迟的问题不仅在切换阀151取第一位置的情况下产生，在切换阀151取第二位置的情况下也会产生。

相对于此，本发明的吐出装置20通过液体材料25而进行向液室32的压力传递，因此，在切换切换阀51时不会产生响应延迟的问题。以下，一边参照图1，一边对第1实施方式例中的切换阀51的位置切换详细地进行说明。

＜第1实施方式例的切换动作＞

吐出作业中，如图1(a)所示，切换阀51取连通加压流路62及流路A81的第一位置，自贮存容器12将液体材料25供给至液室32。此处，贮存容器12与加压装置(未图示)连结，贮存容器12内的上部空间始终被加压为所期望的压力。吐出作业中，遮断退避流路72与液室32的连通。

如果吐出作业结束，则如图1(b)所示，停止杆驱动源37的动作而使杆31的动作停止，并且将切换阀51切换为连通退避流路72及流路A81的第二位置。若退避流路72内以液室32中产生负压力的方式被调压，切换阀51切换为第二位置，则流路A81及液室32内的液体材料一举朝向退避流路72流动。换言之，由于退避流路72内的液体材料25处于低于流路A81及液室32内的液体材料25的压力，因而若将 切换阀51自第一位置切换为第二位置，则会产生将流路A81及液室32内的液体材料抽回至退避流路72侧的力。由此，液室32内的液压降低，不会自吐出口33吐出液体材料。

此处，作为优选的方式而公开了在吐出结束时与吐出待机时，使作用于液室32的负压变化。即，公开了为了在吐出作业刚结束后立即产生较强的抽回作用，在吐出作业时使退避流路72内产生较强的负压，由此在吐出结束时使较强的负压作用，在吐出结束后的吐出作业待机时，使退避流路72内产生弱于吐出作业时的适当的负压(即，用于防止滴液的负压)。

另外，在第1实施方式例的吐出装置10中，由于在吐出待机时遮断贮存容器12与液室32的连通，因而可使供给至贮存容器12的加压空气的压力在吐出作业时与吐出待机时不同。即，作为优选的方式而公开了在吐出待机时，将施加于贮存容器12内的压力预先调整为所期望的压力(与吐出作业时相比相对高的压力)，由此，在刚进行切换阀51的切换动作之后立即迅速地将最优压力供给至液室32内。

这样，在第1实施方式例中，利用无压缩性的液体材料的压力差来进行与吐出口连通的液室内的压力调整，因此，与利用气体的压力差的现有的吐出装置相比，切换阀的切换时的响应性显著优异。而且，加压及减压的响应性良好有助于吐出作业的质量及生产性的提高。在吐出待机时，可防止来自吐出口的滴液。

＜第2实施方式例的构成＞

图15是说明第2实施方式例所涉及的液体材料吐出装置20的主要部分剖面侧面图。以下，对于与第1实施方式例(图1)共同的构成，省略说明，主要对不同的构成进行说明。

液体阀部50具备与第1实施方式例同样的切换阀51而成。第2实施方式例的切换阀51包括：流路A81，其将连结部59设为出口；流路B82，其作为加压流路而发挥功能；流路C83，其作为退避流路而发挥功能；阀体55，其配置于切换流路84；及阀体驱动装置(未图示)，其通过使阀体55横跨流路A81往返移动而切换流路A81与流路B82及流路C83的连通。

在图15(a)所示的吐出作业时，阀体55位于流路A81的右侧，自 液体材料供给口53流入流路B82的液体材料自送液口34向喷嘴35流出。

在图15(b)所示的吐出待机时，阀体55位于流路A81的左侧，吐出口33与端部开口74经由退避流路72、液体材料开放口54、切换流路84、流路A81及送液口34而连通，开放残留于喷嘴35内的流路的压力。

图15所例示的切换阀51与第1实施方式例的不同在于，将连结部59设置于下端部；以及流路B82及流路C83在上方开口，流路A81在下方开口。然而，流路A81、流路B82及流路C83的长度并不限定于图示的方式，也有距离较短甚至不能称之为流路的方式，这样的方式也包含于本发明的技术思想中。

再者，流路A81也没有必要一定在垂直下方开口，例如，也可在水平方向、斜下方开口。

在连结部59，通过螺合或螺丝等的固定件装卸自如地安装有吐出构件48。吐出构件48的上部为帽状，下部成为具有细径的吐出流路的喷嘴35。在本实施例中，将喷嘴35的下端设为吐出口33，但并不限定于此，例如，也可在喷嘴35连接可挠性管，在该可挠性管的另一端连接具有吐出口的喷嘴构件。或者，也可在连结部59连接可挠性管，在该可挠性管的另一端连接喷嘴35。可挠性管与连结部59及喷嘴35的连接可利用周知的连接机构(例如接头连结、压入连接)进行。可挠性管的长度越长，则相对于现有例的本实施例的有利的响应性会越显著地显现。

另外，通过将可挠性管与吐出构件48连结，且在该可挠性管的另一端与喷嘴构件连结，可构成仅将喷嘴构件搭载于XYZ驱动机构的轻量的头部。

加压部60与第1实施方式例同样，包括：贮存容器12；加压流路62，其连通贮存容器与液体阀部50；及加压装置(未图示)，其对贮存容器加压。

负压部70具备具有端部开口74的退避流路72。负压部70的基本构成与第1实施方式例同样，但在第2实施方式例中与第1实施方式例的不同在于，退避流路72是沿垂直方向延伸的直管。

以上所说明的第2实施方式例的吐出装置20与利用气体的压力差的现有的吐出装置相比，切换阀的切换时的响应性显著优异。通过利用可挠性管连结吐出构件48与喷嘴构件而构成轻量的头部，可期待因相对移动的头部的轻量化实现的吐出速度的提高及生产性的提高。

以下，通过实施例说明本发明的详细内容，但本发明并不由任何实施例限定。

实施例1

＜构成＞

图3是实施例1所涉及的液体材料吐出装置20的概略立体图。吐出装置20包括：吐出单元30，其吐出液体材料；及送液单元40，其与吐出单元30进行液体材料的供给及接受。

图4是搭载有实施例1所涉及的液体材料吐出装置20的涂布装置201的概略立体图。涂布装置201包括：台座202，其搭载有平台207；相对驱动部205，其设置有保持部204；及调整用平台208，其载置调整用工件。在保持部204，安装有吐出单元30或测量单元203。在平台207上，载置涂布对象物206，一边使吐出单元30及测量单元203与平台207在XYZ方向上相对移动，一边进行涂布作业。相对驱动部205具备例如线性马达用磁体及直动导轨、马达及滚珠螺杆，使吐出单元30及测量单元203与平台207在XYZ方向上相对移动。

图5是实施例1所涉及的液体材料吐出装置20的概略上面图。图6及图7是吐出装置20的流路内的主要部分剖面图，且是图5的A-A剖面图。此处，图6表示液体阀部50处于连通液室32与加压流路62的第一位置的状态，图7表示液体阀部50处于连通液室32与退避流路72的第二位置的状态。

(吐出单元)

吐出单元30包括：杆31，其上下延伸；吐出单元主体36，其插入有杆31；液室32，其是设置于吐出单元主体36的内部的空间；喷嘴35，其具有与液室32连通的内部流路；吐出口33，其设置于喷嘴35的下端；液体材料供给口34，其连通于液室32的侧面；及杆驱动源37(未图示)，其使杆31旋动。

实施例1的液室32是形成于吐出单元主体36内的沿上下方向延 伸的圆筒状的长孔。在液室32的上部开口，安装有插入杆31的密封构件。液室32的下部开口与装卸自如地配设于吐出单元主体36的前端的喷嘴35的内部流路连通。在液室32内，配置较液室32的内径小一圈的小径的杆31的下部。杆31的下部与液室32的内壁面的间隙优选以宽于填料粒径或填料簇的粒径的方式构成。杆31的下部，在其表面具有螺旋状的槽或叶片，通过未图示的杆驱动源37(例如马达等旋转驱动源)而在液室32内旋动。杆31被杆驱动源37旋动，由此，对液室32内的液体材料赋予推进力，自在下方开口的吐出口33吐出液体材料。

(送液单元)

送液单元40由一体地配置的液体阀部50、加压部60及负压部70构成。送液单元40配置于吐出单元30的侧面。更详细而言，在液体阀部50的一个侧面连接设置有加压部60，在与连接设置有加压部60的侧面正交的液体阀部50的侧面连接设置有负压部70。

液体阀部50由切换阀51及阀块52构成，阀块52连结于吐出单元30的侧面。更详细而言，在吐出单元主体36的侧面连结有阀块52，由此，将设置于吐出单元主体36的侧面的送液口34、与设置于阀块52的侧面的流路A81的第一个开口连通。

切换阀51为切换将吐出单元30与加压部60(贮存容器12)连通的第一位置、和将吐出单元30与负压部70(退避管76)连通的第2位置的隔膜类型的三通阀。切换阀51在隔膜56的上部具备隔膜杆A57及隔膜杆B58。切换阀51若取使隔膜杆A57下降，使隔膜杆B58上升的第一位置，则隔膜56会变形而加压部60(贮存容器12)与液室32连通。若切换阀51取使隔膜杆A57上升，使隔膜杆B58下降的第二位置，则隔膜56变形而负压部70(退避流路72)与液室32连通。

阀块52在其内部具有流路A81、流路B82、及流路C83。流路A81的第一个开口设置于阀块52的侧面，第二开口设置于阀块52的上表面。流路A81的第二开口通过切换阀51而择一地与流路B82(加压流路62)或流路C83(退避流路72)连通。

流路B82的第一个开口设置于阀块52的上表面，第二开口设置于阀块52的侧面。流路B82的第一个开口在切换阀51处于第一位置时 与流路A81连通，在切换阀51处于第二位置时与流路A81遮断。流路B82的第二开口与设置于送液块A61的侧面的加压流路62的端部开口连通。

加压部60构成为包括送液块A61、贮存容器12、及对贮存容器12供给经调整的加压空气的加压装置(未图示)。

送液块A61在其内部形成有加压流路62。经由加压流路62而将贮存容器12与流路B82连通，并将经加压的液体材料25供给至液体阀部50。

贮存液体材料的贮存容器12装卸自如地配设于送液块A61。贮存容器12的下部开口与加压流路62连通。在贮存容器12的上部，装卸自如地配设有与由可挠性管构成的管A16连通的转接器14。贮存容器12内的液体材料25经由设置于转接器14的管而接受调整为所期望的压力的加压空气的供给，从而处于朝向送液块A61侧被推压的状态。

负压部70以送液块B71、退避管76、负压产生装置(未图示)为主要的构成要素。负压部70保持为低于吐出作业时的液室32内的压力的压力，在与液室32连通时对液室32内的液体材料相对地作用负压。

送液块B71在其内部形成有退避流路72及排出流路73。送液块B71配设于阀块52的与和吐出单元30连结的侧面正交的侧面(参照图3)。

图8是说明实施例1所涉及的液体材料吐出装置20的负压部70的主要部分剖面图。

退避管76以与送液块B71的内部流路(72、73)连通的方式配设于送液块B71的上部。即，退避管76的下部与送液块B71的退避流路72及排出流路73连通(参照图8)。退避流路72与阀块52的液体材料开放口54及流路C83连通。退避管76的上部与管D77的一端部连通。管D77的另一端部与未图示的真空泵等的负压产生装置连通，将所期望的负压赋予管D77内。

排出流路73的外界侧末端由作为连通或遮断排出流路73与外界的排出流路开闭机构而发挥功能的栓47而被水密地堵塞。通过将装卸自如的栓47脱离，可将贮存于退避管76的液体材料排出至外界。通过将栓47脱离而定期地排出退避管76内的液体材料，可防止液体材 料吸入到管D77内。

优选在管D77设置切换负压产生装置(未图示)与加压装置(未图示)的连通的切换阀(参照下述的负压部切换阀78)。其原因在于，通过在使供给至转接器14的压力降低至大气压，将切换阀51切换为第一位置之后拔掉栓47，自管D77利用加压装置供给加压力，从而可迅速地自退避管76排出液体材料。该构成在排出仅卸除栓47则不会流出的高粘性液体材料的情况下尤其有效。

在实施例1中，通过将长条的退避管76、长方体状的切换阀51及长条的贮存容器12全部以沿上下方向延伸的方式配置，从而使送液单元40成为紧凑的构成。

＜动作＞

一边参照图6及图7，一边对实施例1所涉及的液体材料吐出装置20的动作进行说明。

(吐出时)

作为准备作业，经由加压流路62、液体阀部50(流路A81、流路B82)及液室32而直至吐出口33为止充满自贮存容器12供给的液体材料25。对于贮存容器12，经由转接器14而自加压装置(未图示)供给所期望的压力。

通过将切换阀部51设定为连通加压流路62与液室32的第一位置(图6)，并使杆31旋转动作，液室32内的液体材料25自吐出口33被吐出。此时，通过调整杆31的旋转速度、旋转时间、及/或赋予贮存容器12的气压而调整吐出量。

(吐出结束时A)

使杆31的旋转动作停止，将切换阀部51设定为连通退避流路72与液室32的第二位置。若将切换阀部51设定为第二位置(图7)，则残留于液室32及流路A81的压力朝向调整为负压的退避流路72开放，来自吐出口的液体材料的吐出迅速结束。另外，液室32及流路A81内的压力设定为与退避流路72及退避管76相同的较低的压力，因此，也可防止因液体材料25的自重导致的来自吐出口33的滴液。

此时，由于贮存容器12与液室32的连通被遮断，因而，向贮存容器12的压力供给保持继续即可，无需进行减压。

(吐出结束时B：二阶段调节)

对将吐出刚结束后赋予退避流路72的负压力设为高压力且将吐出待机时赋予退避流路72的负压力设为相对较低压力的方式进行说明。

为了可在吐出刚结束后便将液室32的残压高速开放，在吐出作业中，预先设为通过负压产生装置(未图示)将与吐出待机时相比相对较强的负压力赋予退避流路72的状态。若使杆31的旋转动作停止，将切换阀部51设定为第二位置，则残留于液室32及流路A81的压力通过较强的负压力而朝向退避流路72高速开放，来自吐出口的液体材料的吐出高速结束。设为如下状态：在残留于液室32及流路A81的压力开放之后，通过与退避流路72连通的负压产生装置(未图示)而将与吐出作业中相比相对较弱的负压力(为了防止来自吐出口33的滴液所必要的负压力)赋予退避流路72。由此，可防止因液体材料25的自重导致的来自吐出口33的滴液。

以上所说明的实施例1的吐出装置20通过利用切换阀51切换液体的流动，可使液室32内的液体材料25加压或减压。由于液室32内的加压及减压经由无压缩性的液体材料而进行，因而响应性极其良好。另外，在吐出待机时，可防止来自吐出口的滴液。

实施例2

图9是说明实施例2所涉及的液体材料吐出装置的主要部分剖面侧面图。以下，对于与实施例1共同的构成省略说明，主要对不同的构成进行说明。

实施例2的吐出单元30的构成与实施例1相同。

液体阀部50及加压部60与实施例1的不同在于，具备送液块C91及贮槽94。

送液块C91是将实施例1的阀块52及送液块A61一体地构成的构件。因此，在送液块C91，连结切换阀51及送液块B71。送液块C91在其内部具有流路A81、流路B82及流路C83，流路B82作为退避流路而发挥功能，流路C83作为加压流路而发挥功能。

流路C83经由由可挠性的管构成的管F96而与贮槽94连通。

贮槽94是贮存液体材料25的大型的容器。自管E95对贮存于贮槽94的液体材料25供给调整为所期望压力的加压空气。由该加压空 气推压的液体材料25经由管F96而被供给至送液块C91内的流路C83。在实施例2中，也与实施例1同样，经由管E95而供给至贮槽94的压力可以为一定，无需在每次吐出时减压。

图10是说明实施例2所涉及的液体材料吐出装置的负压部70的主要部分剖面图。

实施例2的退避管76具备在退避管76内上下延伸的细长的负压调整管49。相较于退避管76小径的负压调整管49，其端部开口的一方连通于退避流路72，另一方的端部开口配置于退避管76内的空间。在实施例2中，通过设置负压调整管49，可将液面的高度保持为一定，因此，无论退避的液体材料的量如何，均可将供给至退避管76的负压设为一定以下。相对于此，在不具有负压调整管49的退避管76(参照图8)中，随着贮存于退避管76的液体材料增加，自管D77供给的负压也需要增强。

在设置了负压调整管49的情况下，被抽吸的液体材料25自负压调整管49的末端流下而贮存于退避管76，因此，只要自管D77供给为了在负压调整管49内的液体材料产生负压所必要的负压便足够。即，无需根据贮存于退避管76的液体材料的量来调整为了防止滴液而作用于退避流路72的负压力。若贮存于退避管76的液体材料的水头位置达到负压调整管49的末端的高度，则负压调整管49的效果消失，因此，之前自排出流路73将退避管76内的液体材料排出。

负压调整管49的长度例如为退避管76的长度的1/3以上，优选为1/2以上。实施例2的负压调整管49与退避流路72直径相同。

优选将液体材料填充至退避管76内的负压调整管49末端为止之后进行吐出作业。其原因在于，通过将填充有液体材料的流路内下端位置(吐出口33的前端)与上端位置(负压调整管49末端)规定为一定，可将吐出口33的压力保持为一定。

实施例2的吐出装置与实施例1同样地可实现良好的响应性，进而可实现使滴液防止所必要的压力调整变得简便等的有利的效果。再者，实施例2的负压调整管49也可应用于其他实施例。

实施例3

图11是说明实施例3所涉及的液体材料吐出装置20的主要部分 剖面侧面图。以下，对与实施例2共同的构成省略说明，主要对不同的构成进行说明。

实施例3的送液单元(液体阀部50、加压部60及负压部70)的构成与实施例2相同。实施例3的吐出单元30在推进力赋予构件(杆)及液室的形状方面与实施例2不同。

实施例3的吐出装置20具有旋转容积式单轴偏心螺旋泵机构，且用于高粘度的流体或混入有包含粉体或粒子的固形物的流体的吐出用途中。该单轴偏心螺旋泵机构成为公螺纹型转子131嵌插于母螺纹型定子内孔132的构成。从其他观点出发，公螺纹型转子131成为推进力赋予构件，母螺纹型定子内孔132成为与吐出口33连通的液室。

公螺纹型转子131例如形成为一条公螺纹形状，纵剖面形状为大致正圆，螺旋形状的间距设定为定子内孔132的间距的1/2。通过使该转子131向规定方向旋转，存在于转子131与定子内孔132之间的空间的液体材料被移送，并自吐出口33被吐出。此时，转子131进行一边以定子内孔132的中心轴为中心公转移动一边自转的偏心旋转运动。转子131的上端与使转子131偏心旋转运动的转子驱动机构(未图示)连接。

实施例3的吐出装置20在吐出待机时不会将定子内孔132与吐出口33的连通遮断，因此，有自吐出口33产生滴液等的问题。因此，需要将定子内孔132内的残压迅速地开放，在吐出待机时对定子内孔132内施加负压。

在该方面，由于实施例3的吐出装置20具备与实施例2同样的送液单元，因而，通过在吐出结束时利用切换阀51使定子内孔132与负压部70连通，可将定子内孔132内的残压迅速地开放，另外，可消除滴液的问题。另外，将吐出刚结束后便赋予退避流路的负压力设为高压力且将吐出待机时赋予退避流路的负压力设为相对较低的压力的方式也可实现。

以上所说明的实施例3的吐出装置20，定子内孔132内的加压及减压经由无压缩性的液体材料进行，因此，响应性极其良好。另外，由于具备与实施例2相同的送液单元，因而滴液防止所必要的压力调整较简便。

实施例4

图12是说明实施例4所涉及的液体材料吐出装置20的主要部分剖面侧面图。以下，对与实施例2及3共同的构成省略说明，主要对不同的构成进行说明。

实施例4的送液单元(液体阀部50、加压部60及负压部70)的构成与实施例2及3相同。

实施例4的吐出单元30是如下公知的喷射式吐出装置：杆31高速地往返动作，通过杆31的前进动作而自吐出口33使液体材料呈滴状飞溅吐出。该吐出单元30在吐出待机时，杆31的前端未就座于液室32的底面，因此，即使在吐出作业待机中，也保持吐出口33与液室32的连通状态。因此，在吐出作业待机中，可能会自吐出口33产生滴液，通过与实施例2及3相同构成的送液单元，防止滴液的产生。再者，在吐出作业时，可为杆31的前端就座于液室32的底面的方式及杆31的前端未就座于液室32的底面的方式的任一者。

在吐出单元主体36的上部设置有未图示的活塞室，设置于杆31的上部的活塞在活塞室内滑动。该活塞室与切换阀39连通，经由切换阀39而对活塞室供给加压空气，或者，将活塞室内的空气排出，由此杆31往返动作。

在具备与实施例2及3相同的送液单元的实施例4的吐出装置中，也可实现良好的响应性，进而可实现使滴液防止所必要的压力调整变得简便等的有利的效果。

实施例5

＜构成＞

图13是实施例5所涉及的液体材料吐出装置20的整体构成图。

吐出单元30是公知的喷射式吐出装置或公知的螺杆式吐出装置。在吐出单元主体36内，设置有与吐出口33及切换阀51的内部流路流体性地连通的液室32。在吐出单元主体36的侧面，配设有与液室32、加压流路62及退避流路72流体性地连接的切换阀51。

如图13所示，在贮存容器12的上游，设置有加压部开闭阀101，在与退避管76连通的排出流路73，设置有排出流路开闭阀102，在退避管76的上游，设置有切换气体的流路的负压部切换阀78。切换液体 的流路的切换阀51具有连通贮存容器12及液室32的第一位置、及连通退避管76及液室32的第二位置。加压部开闭阀101、排出流路开闭阀102、切换阀51及负压部切换阀78根据控制部99的指令进行开闭动作。

再者，也可不将加压部开闭阀101设置于贮存容器12的上游而设置于贮存容器12与切换阀51之间。即，也可将加压部开闭阀101设置于加压流路62，以将贮存容器12与切换阀51连通或遮断的方式进行控制。

加压部开闭阀101设置于将调整为所期望压力的空气供给至贮存容器12的管A16，将空气供给源111与贮存容器12连通或遮断。即，加压部开闭阀101具有将空气供给源111与贮存容器12连通的开位置及将空气供给源111与贮存容器12遮断的闭位置。

排出流路开闭阀102设置于排出流路73，作为将退避管76与外界连通或遮断的排出流路开闭机构而发挥功能。即，排出流路开闭阀102具有将排出流路73与外界连通的开位置及将排出流路73与外部遮断的闭位置。

负压部切换阀78与和加压源112连通的管G97及和负压源113连通的管H98连接，且择一地切换与管D77(及退避管76)的连通。即，负压部切换阀78具有管G97与退避管76连通的加压位置、及管H98与退避管76连通的减压位置。

空气供给源111及加压源112供给调整为所期望的压力的加压空气，负压源113以管H98内变为所期望的负压的方式使吸气压力作用。

＜吐出动作＞

(吐出时)

自经由加压流路62、切换阀51及液室32而直至吐出口33为止充满自贮存容器12供给的液体材料25的状态开始。

控制部99将加压部开闭阀101设定为开位置，同时将切换阀部51设定为连通加压流路62与液室32的第一位置。大致同时地，控制部99使杆31动作，由此液室32内的液体材料自吐出口33被吐出。

(吐出结束时)

控制部99使杆31的动作停止，将切换阀部51设定为连通退避流 路72与液室32的第二位置，将负压部切换阀78设定为减压位置。由此，残留于液室32的压力朝向调压为负压的退避流路72而开放，来自吐出口的液体材料的吐出迅速结束。

＜液体材料排出动作＞

对将贮存于退避管76内的液体材料排出至外部时的动作进行说明。

控制部99关闭加压部开闭阀101，将切换阀51设定为连通贮存容器12与液室32的第一位置。由此，贮存容器12与液室32连通，但由于关闭加压部开闭阀101，因而，贮存容器12内的液体材料未被加压，液体材料自吐出口33漏出的担忧为最小限度。另外，在切换阀51处于第一位置时，负压管76与液室32的连通被切换阀51遮断。

控制部99将负压部切换阀78设定为连通管G97及管D77的加压位置。由此，退避管76内自负压环境下变为加压环境下。

继而，控制部99将排出流路开闭阀102切换为开位置。由此，退避管76内的液体材料经由排出流路开闭阀102而被排出至外部。再者，在切换阀51处于第一位置时，退避流路72与液室32的连通被遮断，因此，退避管76内的液体材料不会经由退避流路72而流入至液室32。

根据以上所说明的实施例5的液体材料吐出装置，可根据控制部99的指令自动地进行各阀的开闭及切换，因此，可使退避管76内的液体材料的定期的废弃自动化。

产业上的可利用性

本发明可应用在各种吐出方式的液体材料吐出装置。作为液体材料离开吐出部之前与工件接触的类型的吐出方式，例示有具有扁平管(flat tubing)机构或旋转管(rotarytubing)机构的管式、使紧贴于在前端具有喷嘴的贮存容器的内面而滑动的柱塞移动所期望量而吐出的柱塞式、通过螺杆的旋转而吐出液体材料的螺杆式、通过阀的开闭而对被施加有所期望压力的液体材料进行吐出控制的阀式等。

另外，作为液体材料离开吐出部之后接触于工件的类型的吐出方式，例示有使阀体碰撞阀座而使液体材料自喷嘴前端飞溅吐出的喷射式、使柱塞类型的柱塞移动、继而急剧停止而同样地自喷嘴的前端飞溅吐出的柱塞喷射类型、连续喷射方式或需求方式的喷墨类型等。

符号的说明

1：主体、2：螺杆贯通孔、3：流路、4：流入口、5：罩(housing)、6：喷嘴、7：螺杆、8：杆、9：马达、10：液体材料吐出装置、11：安装口、12：贮存容器、13：控制部、14：转接器、15：密封构件、16：管A、17：管B、18：管C、20：液体材料吐出装置、25：液体材料、30：吐出单元、31：杆、32：液室、33：吐出口、34：送液口、35：喷嘴、36：吐出单元主体、37：杆驱动源、38：液室底面开口、39：切换阀、40：送液单元、45：开放口、47：栓、48：吐出构件、49：负压调整管、50：液体阀部、51：切换阀、52：阀块、53：液体材料供给口、54：液体材料开放口、55：阀体、56：隔膜(diaphragm)、57：隔膜杆A、58：隔膜杆B、59：连结部、60：加压部、61：送液块A、62：加压流路、70：负压部、71：送液块B、72：退避流路、73：排出流路、74：端部开口、76：退避管、77：管D、78：切换阀、81：流路A、82：流路B、83：流路C、84：切换流路、91：送液块C、94：贮槽、95：管E、96：管F、97：管G、98：管H、99：控制部、101：加压部开闭阀、102：排出流路开闭阀、111：空气供给源、112：加压源、113：负压源、131：转子、132：定子内孔、151：切换阀、155：阀体、201：涂布装置、202：台座、203：测量单元、204：保持部、205：相对驱动部、206：涂布对象物、207：平台、209：调整用平台。

Claims (19)

1.一种液体材料吐出装置，其特征在于，

包括：

喷嘴构件，其具有吐出液体材料的吐出口；及

吐出控制部，

设置具有对喷嘴构件供给经加压的液体材料的加压流路、液体贮存容器、以及对液体贮存容器供给加压空气的加压源的加压部，

设置具有能够设定为比加压流路内压力相对低的压力的退避流路、以及与退避流路直接或间接地连通的负压源的负压部，

构成具有与所述吐出口连通的送液口、与所述加压流路连通的液体材料供给口以及与所述退避流路连通的液体材料开放口的液体阀部，

液体阀部具备切换阀，该切换阀切换将所述吐出口与所述液体材料供给口及加压流路连通并且将所述吐出口与所述液体材料开放口及保持液体材料的所述退避流路遮断的第一位置以及将所述吐出口与所述液体材料开放口及保持液体材料的所述退避流路连通并且将所述吐出口与所述液体材料供给口及加压流路遮断的第二位置，

在所述第一位置上，所述退避流路内的液体材料处于低于所述加压流路内的液体材料的压力。

2.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

包括：

液室，其与所述吐出口以及所述液体阀部的送液口连通；

推进力赋予构件，其配置在所述液室内，对液体材料赋予吐出所必要的推进力；

推进力赋予构件驱动源，其使所述推进力赋予构件动作。

3.如权利要求2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述推进力赋予构件为进行旋转动作的螺杆或者通过急速进入移动而对液体材料赋予惯性力的杆状构件，其中，所述螺杆的直径比液室小，所述杆状构件的直径比液室小。

4.如权利要求2所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述推进力赋予构件为进行偏心旋转动作的公螺旋形状的杆，

所述液室具有与推进力赋予构件协同动作的母螺旋形状的内壁面，

所述推进力赋予构件及所述液室构成单轴偏心螺旋泵机构。

5.如权利要求1所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述液体阀部与所述喷嘴构件经由可挠性管而连通。

6.如权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述负压部具备相较于退避流路扩径了的液体材料的退避容器。

7.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述负压部具备将贮存于退避容器的液体材料排出的排出流路。

8.如权利要求7所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述负压部具备将所述排出流路与外部连通或遮断的排出流路开闭机构。

9.如权利要求8所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述负压部具备对退避容器供给加压空气的第2加压源、及具有将所述第2加压源与退避容器连通的加压位置及将所述负压源与退避容器连通的减压位置的负压部切换阀。

10.如权利要求9所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述排出流路开闭机构为开闭阀，

所述加压部具备将加压部与液体阀部连通或遮断的加压部开闭阀，

所述吐出控制部根据预先决定的排出条件，关闭加压部开闭阀，将液体阀部的切换阀设为第一位置，将负压部切换阀设为加压位置，打开排出流路开闭机构，将退避容器内的液体材料排出至外部。

11.如权利要求6所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述负压部具备配置于退避容器内的细长的负压调整管，负压调整管的一个开口与退避流路连通，负压调整管的另一个开口配置于退避容器内的空间。

12.如权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述吐出控制部，在吐出待机中，自所述负压源将为了防止来自吐出口的滴液所必要的负压力赋予退避流路，在吐出结束时，自所述负压源将比吐出待机中更强的负压力赋予退避流路。

13.如权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述吐出控制部，在吐出作业中，自所述加压源将为了自吐出口吐出液体材料所必要的加压力赋予液体贮存容器，在吐出待机时，自所述加压源将比吐出作业中更强的加压力赋予液体贮存容器。

14.如权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置，其特征在于，

所述切换阀由三通阀构成。

15.一种涂布装置，其特征在于，

包括：

权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置；

工作台，其载置涂布对象物；

XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及

驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作。

16.一种液体材料的涂布方法，其特征在于，

是使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作，

所述吐出控制部，在吐出作业中，在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下自吐出口将液体材料吐出，

在吐出结束时，通过将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出。

17.一种液体材料的涂布方法，其特征在于，

是使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：权利要求1至5中任一项所述的液体材料吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作，

所述吐出控制部，在吐出作业中，在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下自吐出口将液体材料吐出，

在吐出结束时，通过将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出，

在吐出待机中，自所述负压源将为了防止来自吐出口的滴液所必要的负压力赋予退避流路，在吐出结束时，自所述负压源将比吐出待机中更强的负压力赋予退避流路。

18.如权利要求17所述的液体材料的涂布方法，其特征在于，

所述吐出控制部，在吐出作业中，自所述加压源将为了自吐出口吐出液体材料所必要的加压力赋予液体贮存容器，在吐出待机时，自所述加压源将比吐出作业中更强的加压力赋予液体贮存容器。

19.一种液体材料的涂布方法，其特征在于，

是使用涂布装置的液体材料的涂布方法，该涂布装置包括：权利要求10所述的液体材料吐出装置；工作台，其载置涂布对象物；XYZ驱动机构，其使液体材料吐出装置与工作台相对地移动；及驱动机构控制部，其控制XYZ驱动机构的动作，

所述吐出控制部，在吐出作业中，在将液体阀部的切换阀设为第一位置的状态下自吐出口将液体材料吐出，

在吐出结束时，通过将液体阀部的切换阀部切换至第二位置而停止来自吐出口的液体材料的吐出，

根据预先决定的排出条件，关闭加压部开闭阀，将液体阀部的切换阀设为第一位置，将负压部切换阀设为加压位置，打开构成排出流路开闭机构的开闭阀，将退避容器内的液体材料排出至外部。