CN104875462B - 显示装置的制造方法、树脂、树脂溶液及剥离装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种在对预先与支承体一体化的可挠性基板形成规定的功能层之后可容易地自支承体分离可挠性基板，从而可简便地获得显示装置的显示装置的制造方法、树脂、树脂溶液及剥离装置。一种显示装置的制造方法，其特征在于包括：在支承体上涂布树脂溶液而在支承体上形成可挠性基板的步骤；在可挠性基板上形成功能层的步骤；以及自形成有功能层的可挠性基板除去支承体的步骤，形成有功能层的功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度为200N/m以下、0.1N/m以上，并且在围绕功能层形成区域的位置形成有剥离防止部，由此，在将剥离防止部与功能层形成区域的可挠性基板分离之后，自所述可挠性基板除去支承体。

Description

显示装置的制造方法、树脂、树脂溶液及剥离装置
技术领域
本发明涉及一种显示装置的制造方法，详细而言，涉及一种制造液晶显示装置、有机电致发光(electroluminescence，EL)显示器、有机EL照明、电子纸、触摸屏、彩色滤光片等显示装置、或在可挠性基板上形成有显示装置用构件的显示装置的方法。
背景技术
液晶显示装置或有机EL显示装置等显示装置被用于如电视般的大型显示器或移动电话、个人计算机、智能手机等的小型显示器等各种显示器用途。显示装置的代表性装置为有机EL显示装置，例如该有机EL显示装置是在作为支承基材的玻璃基板上形成薄膜晶体管(以下为TFT(thin film transistor))，并依次形成电极、发光层、电极，最后利用另外的玻璃基板或多层薄膜等进行气密密封而制作。
此处，通过将玻璃基板自以前的玻璃基板替换为树脂基材，可实现薄型、轻量、可挠化，从而可进一步扩展显示装置的用途。然而，一般而言，与玻璃相比，树脂的尺寸稳定性、透明性、耐热性、耐湿性、阻气性等差，因此现今处于研究阶段而正进行各种研讨。
例如，专利文献1涉及一种有效用作可挠性显示器用塑料基板的聚酰亚胺、及其前驱体的发明，且报告有：使用如环己基苯基四羧酸等般的含有脂环式结构的四羧酸类并与各种二胺发生反应而成的聚酰亚胺的透明性优异。除此以外，也进行了对支承基材使用可挠性的树脂而谋求轻量化的尝试，例如，下述非专利文献1及非专利文献2中提出了一种将透明性高的聚酰亚胺应用于支承基材的有机EL显示装置。
像这样，已知聚酰亚胺等树脂膜对可挠性显示器用可挠性基板而言有用，但显示装置的制造步骤已使用玻璃来进行，其生产设备的大部分是以使用玻璃为前提而设计。因而，期望有效利用现存的生产设备，同时可以生产显示装置。
作为该研讨的具体例之一，已知有使用玻璃作为支承体，在将树脂基板层叠于玻璃上的状态下结束规定的显示装置的制造步骤，其后拆除玻璃，由此制造在可挠性基板上具备显示部的显示装置的方法(参考专利文献2～专利文献8、非专利文献3～非专利文献4)。并且，在这些情况下，在显示装置的制造步骤中的规定步骤中，需要玻璃与树脂基板不产生剥离而良好地密接，以及不对形成于树脂基板上的显示部(显示器部)造成损伤地将树脂基材与玻璃分离。
即，在非专利文献3中，对涂布于玻璃上而粘着的树脂基材形成规定的显示部后，利用被称为激光释放塑基电子(Electronics on Plastic by Laser Release，EPLaR)工艺的方法，自玻璃侧照射激光，将具备显示部的树脂基材自玻璃分离。该方法是在树脂基材上形成显示部之后照射激光，因此通过了树脂基材的激光有可能对TFT、彩色滤光片等功能层造成损害。尤其是如果对树脂基材应用透明性高的树脂，则激光容易透过树脂层，对功能层造成损害的可能性进一步增高。如果为了避免对功能层造成损害而降低激光的强度，则有生产性下降的问题。
另一方面，非专利文献4记载的方法是对EPLaR法的缺点进行了改良的方法，且为以下方法：在将剥离层涂布并形成于玻璃基板之后，在剥离层上涂布聚酰亚胺树脂，并在有机EL显示装置的制造步骤结束之后，自剥离层剥离聚酰亚胺膜层。即，该方法是在将剥离层形成于玻璃之后，形成比剥离层大一周的聚酰亚胺层，其后，在进行规定的TFT及有机EL步骤的工艺处理而形成TFT/有机EL面板部(显示部)之后，沿剥离层的内侧的切断线切断至剥离层为止，自剥离层剥离聚酰亚胺层以及TFT/有机EL面板部(显示部)。然而，非专利文献4中并无对该剥离层使用何种物质等具体记载。因此，实际上自剥离层的分离需要何种程度的力、或者经分离的聚酰亚胺层的表面性状成为何种状态并不明了。而且，需要使剥离层的面积比聚酰亚胺层的面积小，因此有机EL显示装置可形成的面积存在限制，在生产性方面有问题。如果为了防止生产性下降而增大剥离层的面积，则在剥离层的外周部与玻璃粘接的聚酰亚胺层的面积减小，具有因步骤中的应力而容易发生剥离的问题。
专利文献2记载的方法为以下方法：在玻璃上形成包含聚对二甲苯(Parylene)或环状烯烃共聚物的剥离层之后，与非专利文献4记载的方法同样地以比剥离层大一周的方式形成聚酰亚胺层，并在其上进行电子器件的制作，然后剥离聚酰亚胺层。对显示器用途所需的TFT的形成而言，一般需要达到400℃左右的退火步骤，但该方法中，剥离层的耐热性比聚酰亚胺差，因此具有聚酰亚胺层的热处理温度、或制成电子器件时的最高温度受到剥离层的耐热性的限制的问题。而且，因玻璃与剥离层之间、以及剥离层与聚酰亚胺层之间的粘接弱，可能会成为无法耐受步骤中的应力而剥离的原因。另外，剥离层的热膨胀系数比聚酰亚胺大，树脂种类的不同所导致的热膨胀系数的差可能会成为翘曲的因素。
专利文献3记载的方法是在支承体上形成树脂层之后，在树脂层上形成光电转换元件的光伏打装置的制造方法，且是在围绕光伏打装置部分的位置设置支承体与树脂层的密接力高的部分的方法。作为树脂层而例示有聚酰亚胺，但并未对可自支承体剥离聚酰亚胺的手法进行公开。与光伏打装置不同，有机EL显示装置中要求非常高的阻气性，因此，必须在树脂层上形成致密的障壁层，但如果支承体与树脂层的剥离强度高，则有可能在剥离时在障壁层形成裂纹，阻气性下降。另外，对显示装置要求进一步薄化、轻量化，对树脂层薄化的需求远强于光伏打装置。在树脂层的厚度为30μm以下时，无法适当控制支承体与树脂层的剥离强度，在进行剥离时，树脂层会伸长，阻气层、电路、TFT、彩色滤光片、氧化铟锡(Indium Tin Oxide，ITO)等显示装置的功能层受到损害。而且，为了支承体的再利用，也需要将围绕光伏打装置部分的部分自支承体剥离，但专利文献3的方法必需密接力比光伏打装置部分更强的部分，因此，有该部分的剥离变困难的可能性。
在专利文献4、专利文献5中公开了通过改变具有特定的化学结构的二胺与酸酐的比率而控制支承体与聚酰亚胺膜基板的剥离强度的器件的制造方法，但并未对同时满足在规定的步骤内支承体与聚酰亚胺膜基板的确实的剥离防止、与规定的步骤后的优良剥离性的手法进行记载。另外，所得的聚酰亚胺被着色为黄褐色而透明性差，因此对显示装置的应用范围受到限定。而且，专利文献5公开了如果剥离强度未满160N/m，则无法耐受工艺中的湿式清洗步骤等，作为实用性器件的利用困难。
专利文献6的方法是作为无机材料的支承体与树脂层的层叠体的制造方法，且是在进行支承体表面的偶合剂处理之后，利用紫外线(ultraviolet，UV)照射等进行该偶合剂的图案化处理，从而制造具有剥离强度不同的良好粘接部分与易剥离部分的层叠体的方法。该方法中需要进行偶合剂处理、图案化，因此具有因步骤数的增加而成本升高、良率下降的问题。而且，难以将各部分的剥离强度再现性良好地控制为规定的值。另外，在实用上，支承体多数情况下会再利用而重复使用，为了再利用，优选为可容易地剥离良好粘接部分，但该方法并未考虑良好粘接部分的剥离性，根据实施例，良好粘接部分的剥离强度大多为500N/m以上，不易剥离。
专利文献7的方法公开了以下的显示装置的制造方法：在将设置于支承体的膜材料层加热而形成膜层之后、且在显示层形成之前，以比膜形成温度高的温度将周边部加热而设置粘接力高的剥离防止部，进而在显示层形成之后将所述剥离防止部加热并自支承基板剥离膜材料。该方法中，膜材料的部分加热需要在显示层形成前、形成后进行两次，具有因步骤数的增加而成本升高、进而需要激光等剥离专用设备的问题。而且，并未对控制显示层形成部的剥离强度的手段进行记载。
专利文献8的方法是在支承体上形成剥离层之后在剥离层上形成可挠性基板，并在剥离层与可挠性基板之间进行剥离的方法。作为剥离层，公开了钼、镍、氮化硅。该方法中，为了形成经图案化的剥离层而需要进行溅镀、光刻-蚀刻(photolitho-etching)等步骤，具有因步骤数的增加而成本升高的问题。而且，制造步骤中有可能因剥离层的脱落物而导致异物混入、步骤污染。在因支承体的步骤投入之前及再利用之前的刷子清洗等而剥离层脱落时，也会产生可挠性基板剥离不良的问题。
这些方法均将玻璃用作支承基材，且在固定于玻璃的可挠性基板形成显示部，由此，可担保可挠性基板的处理性或尺寸稳定性，并且，在制造液晶显示装置或有机EL显示装置等显示装置的现行生产线中，具有可直接使用玻璃的优点。
然而，自使支承体与可挠性基板不产生剥离地层叠、在形成规定的显示部之后可极为简便地分离、对可挠性基板或显示部造成的损害少、并且可利用简易的手段将自可挠性基板除去的支承基材上残留的可挠性基板除去的观点而言，所述方法并不充分，需要进一步的改良。
[现有技术文献]
[专利文献]
[专利文献1]日本专利特开2008-231327号公报
[专利文献2]日本专利特开2010-67957号公报
[专利文献3]日本专利特开平4-212475号公报
[专利文献4]日本专利特开2012-140560号公报
[专利文献5]日本专利特开2012-140561号公报
[专利文献6]日本专利特开2013-10340号公报
[专利文献7]日本专利特开2013-73001号公报
[专利文献8]日本专利特开2013-168445号公报
[非专利文献]
[非专利文献1]S.An等人，“在塑料基板上使用高性能低温多晶硅薄膜晶体管的2.8英寸WQVGA可挠性有源矩阵型有机发光二极管”，国际信息显示学会(Society forInformation Display，SID)2010摘要(S.An et.al.，"2.8-inch WQVGA Flexible AMOLEDUsing High Performance Low Temperature Polysilicon TFT on PlasticSubstrates",SID2010DIGEST)，p706(2010)
[非专利文献2]大石等人“用于可挠性显示器的透明性聚酰亚胺”(Oishiet.al.，"Transparent PI for flexible display")，IDW'11FLX2/FMC4-1
[非专利文献3]东印度哈斯卡璐等人“使用EPLaR工艺制造的可挠性有机发光二极管显示器”，欧洲显示大会会刊(E.I.Haskal et.al."Flexible OLED Displays Made withthe EPLaR Process",Proc.Eurodisplay)，07,pp.36-39(2007)
[非专利文献4]李正中等人“一种用于制造可挠性有源矩阵型显示器的新颖方法”，国际信息显示学会10摘要(Cheng-Chung Lee et.al."A Novel Approach to MakeFlexible Active Matrix Displays"，SID10Digest)，pp.810-813(2010)
发明内容
[发明所要解决的问题]
因此，本发明的目的在于提供一种在对预先与支承体一体化的可挠性基板形成规定的功能层之后，可容易地自支承体分离可挠性基板，从而可简便地获得显示装置的方法。
[解决问题的技术手段]
本发明者等人为了解决所述问题而进行了努力研讨，结果发现：将形成有功能层的功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度设为200N/m以下、0.1N/m以上，并且在围绕所述功能层形成区域的位置，形成有防止可挠性基板自支承体剥离的剥离防止部，在将功能层形成区域的可挠性基板与剥离防止部分离之后，自支承体分离具备功能层的可挠性基板，由此，可担保可挠性基板的处理性或尺寸稳定性，同时可精度良好地制造功能层，并且，可容易地自支承体分离可挠性基板而获得显示装置，从而完成了本发明。
即，本发明为一种显示装置的制造方法，其为制造显示装置的方法，且具有：可挠性基板形成步骤，将树脂溶液涂布于支承体而在支承体上形成可挠性基板；功能层形成步骤，在所述可挠性基板上形成功能层；以及支承体除去步骤，自形成有功能层的可挠性基板除去支承体，所述显示装置的制造方法的特征在于：形成有所述功能层的功能层形成区域中可挠性基板与支承体的剥离强度为200N/m以下、0.1N/m以上，并且在围绕所述功能层形成区域的位置形成有防止可挠性基板自支承体剥离的剥离防止部，由此，不针对所述功能层形成区域或与剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的化学表面处理、或者不针对与所述剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的加热，在所述支承体除去步骤中，在将功能层形成区域的可挠性基板与剥离防止部分离之后，自具备功能层的可挠性基板除去支承体。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为在所述支承体除去步骤中，将剥离防止部自支承体除去之后，自具备功能层的可挠性基板除去支承体。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述剥离防止部中的可挠性基板与支承体的剥离强度为500N/m以下。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述可挠性基板由2个以上的树脂层形成，这些树脂层中的任意一个以上向功能层形成区域的外周侧伸出而与支承体粘接，由此形成剥离防止部，且所述剥离防止部的厚度比功能层形成区域的可挠性基板的厚度薄。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述剥离防止部是对与功能层形成区域的外周侧的可挠性基板相接的支承体的面进行了粗化的部位。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述剥离防止部由功能层的构成材料的一部分形成，形成所述剥离防止部的功能层的一部分构成材料向功能层形成区域的外周侧伸出而与支承体粘接。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为形成所述剥离防止部的功能层的一部分构成材料是由无机材料形成的无机层。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述剥离防止部由剥离防止层形成，所述剥离防止层在功能层形成区域的外周侧介隔存在于可挠性基板与支承体之间。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为在所述功能层形成步骤之前，仅对可挠性基板形成步骤中所形成的可挠性基板的功能层形成区域所对应的位置照射UV激光束，由此，相比于功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度，提高围绕功能层形成区域的位置的可挠性基板与支承体的剥离强度而形成剥离防止部。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述可挠性基板的厚度为0.1μm以上、30μm以下。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为所述可挠性基板包含聚酰亚胺。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，在氧化性环境下进行热处理而获得可挠性基板。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，以280℃以上进行热处理而获得可挠性基板。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，利用连续热处理而获得可挠性基板。
而且，本发明的显示装置的制造方法的特征在于，优选为显示装置为触摸屏。
而且，本发明的特征在于，一种可挠性基板形成用的聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液，其用于所述显示装置的制造方法，且形成至少与支承体相接的粘接面。
而且，本发明为一种剥离防止层用树脂或树脂溶液，其构成所述显示装置的制造方法中所用的剥离防止层。
另外，本发明为一种显示装置制造用剥离装置，其用于所述显示装置的制造方法，且具有固定功能层形成区域的基体，所述剥离装置自基体对功能层形成区域的可挠性基板施加自可挠性基板除去支承体所需的应力，来进行支承体的除去。
[发明的效果]
本发明的显示装置的制造方法在其制造步骤中，不针对支承体的局部进行化学表面处理或加热，使支承体与可挠性基板不产生剥离地层叠，可在形成规定的功能层之后极为简便地分离显示装置，且不会对可挠性基板或功能层造成损害，因此量产性优异。而且，在除去显示装置之后，可利用简易的手段除去残留于支承体的框状的可挠性基板(即，与剥离防止部对应的部分)，因此，支承体的再利用变得容易。其结果，在显示装置的制造中，可进一步促进自玻璃基板向可挠性基板的替换。
附图说明
图1是表示实施例1的显示装置的制造方法的示意说明图。
图2是表示实施例2的显示装置的制造方法的示意说明图。
图3是表示实施例3的显示装置的制造方法的示意说明图。
图4是表示实施例4的显示装置的制造方法的示意说明图。
图5是表示实施例5的显示装置的制造方法的示意说明图。
图6是表示实施例6的显示装置的制造方法的示意说明图。
图7是表示实施例7的显示装置的制造方法的示意说明图。
图8是表示比较例4的显示装置的制造方法的示意说明图。
图9是表示本发明的剥离装置的示意说明图。
具体实施方式
以下，对本发明的显示装置的制造方法的一形态加以详细说明。
首先，准备支承体。该支承体例如在有机EL显示装置的制造过程中，承担在形成显示部作为功能层时的底座的作用。而且，在触摸屏的制造步骤中，承担在透明导电膜的成膜或电路加工等形成电极层时的底座的作用。关于该支承体，只要具有如以下般的化学强度或机械强度则并无特别限制：即，可耐受形成各种显示装置的显示部等功能层的制造过程中的热历程或环境等，可例示玻璃、陶瓷、硅、金属箔或具有刚性的树脂板、玻璃与树脂的复合材料，优选为可使用玻璃板或硅晶片。所述支承体也可进行公知的清洗方法或表面处理，但无需在支承体上局部地进行清洗或化学表面处理的图案化。在使用玻璃作为支承体时，例如可利用在有机EL显示装置或触摸屏的制造中所通常使用者。其中，对利用本发明而制造的显示装置而言，显示装置中的支承基材为包含树脂层的可挠性基板。即，尽管在可挠性基板上形成显示部等功能层时所述支承体起到底座的作用，且在功能层的制造过程中担保可挠性基板的处理性或尺寸稳定性，但最终会被除去而并非构成显示装置的构件。
而且，本发明的显示装置的制造方法包含以下各步骤：可挠性基板形成步骤，将树脂溶液涂布于所述支承体上而在所述支承体上形成可挠性基板；功能层形成步骤，在所述可挠性基板上形成显示部等功能层，从而形成功能层；以及支承体除去步骤，将形成有所述功能层的可挠性基板与支承体分离。
首先，对可挠性基板形成步骤加以说明。
在可挠性基板形成步骤中，优选为在支承体上涂布树脂溶液后进行热处理。所述热处理具有以下效果：自涂布于支承体上的树脂溶液除去溶剂，并且使树脂硬化，形成耐热性、耐溶剂性等优异的可挠性基板，并且赋予该可挠性基板的自支承体的剥离性。其条件优选为，将所述热处理中比升温时的最高加热温度(最高到达温度)低20℃的温度～最高到达温度即高温加热温度区域内的加热时间(以下称为“高温保持时间”)设为15分钟以内。如果该高温保持时间超过15分钟，则有可挠性基板变脆的倾向。而且，在对可挠性基板要求透明性时，如果高温保持时间超过15分钟，则有因着色等可挠性基板的透明性下降的倾向。为了维持可挠性基板的机械强度及透明性，高温保持时间宜较短，但如果过短，则有无法充分获得所述热处理的效果的可能性。最佳的高温保持时间因加热方式、支承体的热容量、可挠性基板的厚度等而不同，例如，在可挠性基板为聚酰亚胺时，更优选为设为0.5分钟以上、5分钟以内。
此外，在本发明的可挠性基板形成步骤中，不针对所述功能层形成区域或与剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的化学表面处理或加热。此处，化学表面处理例如可列举：硅烷偶合剂等低分子化合物、钼、镍、氮化硅等无机物或高分子化合物的涂布、溅镀、蒸镀或层压，且与粗化等物理表面处理不同。
在可挠性基板形成步骤中，所述热处理中的适当最高加热温度因树脂或溶剂的种类、树脂厚度、支承体的材质或厚度、加热时间而不同，在可挠性基板为聚酰亚胺时，优选为230℃以上。如果最高加热温度低于230℃，则溶剂残留于所得的可挠性基板中，且存在其在制造步骤中成为问题的可能性。而且，为了在之后的支承体除去步骤中容易地进行支承体的除去，最高到达温度优选为高于280℃的温度，更优选为高于330℃的温度。所述热处理可为将所述层叠体设置于热处理装置内且不产生移动而进行热处理的批次热处理，也可为通过将所述层叠体连续地移送至设定为规定的温度的热处理装置内而进行热处理的连续热处理。与所述批次热处理相比，所述连续热处理在生产性的提高、热处理温度的均一化、最高加热温度的短时间化方面有利。此外，在可挠性基板为聚酰亚胺时，热处理温度的上限因聚酰亚胺的化学结构而不同，但如果热处理温度过高，则聚酰亚胺的机械特性或光学特性下降等，因此，实质上为550℃。
而且，在可挠性基板为聚酰亚胺时，优选为在氧化性环境下进行所述热处理。通过在氧化性环境下进行热处理，具有使可挠性基板容易地自支承体剥离的效果。此处，氧化性环境是指含有5％以上的氧原子的气体，具体而言可列举空气、氧、富氧空气、氧气与惰性气体的混合气体等，空气环境下的热处理因成本低而优选。
而且，构成可挠性基板的树脂的化学结构只要如以下所说明般，使所述功能层的形成区域中的可挠性基板与支承体的剥离强度(以下称为“功能层形成区域的剥离强度”)为200N/m以下、0.1N/m以上，则不受限定，自耐热性、尺寸稳定性的观点而言，优选为聚酰亚胺。
在所述可挠性基板为聚酰亚胺时，所述聚酰亚胺的结构包含下述通式(1)所表示的结构单元。
[化1]
此处，Ar1表示四价的有机基，Ar2表示二价的有机基。
Ar1优选为下述式(4)所表示的四价的有机基中的任一个。
[化2]
而且，Ar2优选为由下述通式(2)或通式(3)表示。
此处，R1～R8分别独立为氢原子、氟原子、碳数1～5的烷基或烷氧基、或氟取代烃基。
[化3]
为了使可挠性基板与支承体的剥离性良好，进而优选为使用在Ar1或Ar2中含有氟原子或氟取代烃基的所谓的含氟聚酰亚胺。例如，对通式(2)而言优选为R1～R4中的至少一个、而且对通式(3)而言优选为R1～R8中的至少一个为氟原子或氟取代烃基。
而且，在所述可挠性基板为聚酰亚胺时，所述树脂溶液为聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的溶液。在为聚酰亚胺前驱体的溶液时，可通过以下方式制造：作为原料的二胺与酸酐在溶剂的存在下聚合而制成聚酰亚胺前驱体的溶液，然后将其涂布于支承体上并进行热处理而酰亚胺化。而且，在为聚酰亚胺的溶液时，可通过以下方式制造：将聚酰亚胺的溶液涂布于支承体上并进行热处理而干燥。
聚酰亚胺膜的分子量主要可通过使作为原料的二胺与酸酐的摩尔比变化而控制，通常所述摩尔比为1:1。可根据需要而调整为0.985～1.015。
关于所述聚酰亚胺前驱体的溶液，首先，在使二胺溶解于有机溶剂中后，对该溶液添加酸二酐，从而可制造作为聚酰亚胺前驱体的聚酰胺酸。有机溶剂可列举二甲基乙酰胺、二甲基甲酰胺、正甲基吡咯烷酮、2-丁酮、二乙二醇二甲醚(diglyme)、二甲苯等，这些可使用一种，或者也可并用两种以上而使用。
将所获得的聚酰亚胺前驱体的溶液涂布于支承体时，优选为通过调整聚酰亚胺前驱体的浓度或分子量，将所述溶液的粘度设为500cps～70000cps的范围。涂布的方法并无特别限定，只要获得规定的厚度精度，则可应用公知的方法，例如旋转涂布机、喷雾涂布机、棒涂布机或自狭缝状喷嘴挤出的方法。而且，也可对成为树脂溶液的涂布面的基体或基材的表面适当实施表面处理后进行涂布。
而且，所述可挠性基板的厚度并无限制，厚度的下限优选为0.1μm，更优选为0.3μm。如果厚度薄于0.3μm，则有在制造步骤中因所混入的异物而导致在可挠性基板产生针孔的可能性，如果薄于0.1μm则有因支承体表面的异常突起而导致产生针孔的可能性。厚度的上限优选为30μm以下，进而优选为10μm以下，更优选为5μm以下。为了使显示装置的厚度充分地薄，将可挠性基板的厚度设为30μm以下即可，为了获得良好的可挠性，将可挠性基板的厚度设为10μm以下即可。进而通过设为5μm以下，可获得在显示装置用途中所必需的在宽广的波长范围中的高透过率。
此处，所述功能层形成区域中可挠性基板与支承体的剥离强度需要为200N/m以下、0.1N/m以上。
在功能层形成区域的剥离强度高于200N/m时，形成于可挠性基板上的障壁层或进而TFT、彩色滤光片、电路、ITO等功能层自支承体剥离时容易受到损害。在障壁层受到损害时，即便在作为初始的显示装置的特性方面没有问题的情况下，长期使用后特性也会下降。在支承体与可挠性基板未粘接时，由于功能层形成步骤中的应力或温度变化所引起的支承体与可挠性基板的热膨胀差等，有时产生自支承体的可挠性基板的凸起，因此功能层形成区域需要以0.1N/m以上的剥离强度与支承体粘接。故，本发明中优选为功能层形成区域的剥离强度低，且功能层形成区域的剥离强度为200N/m以下、0.1N/m以上，优选为50N/m以下、0.1N/m以上，进而优选为10N/m以下、0.1N/m以上。
而且，所述可挠性基板在440nm至780nm的波长范围中的透过率优选为80％以上。
在显示装置为有机EL显示装置时，自有机EL的发光层出射的光的波长主要为440nm至780nm，因此用于有机EL显示装置的基板在所述波长范围中的平均透过率优选为至少为80％以上。进而优选为在440nm至780nm中的平均透过率为85％以上。
而且，所述可挠性基板能够以单层的树脂层形成，也能够以多个树脂层形成。如果在包含多层的情况下，例如将与支承体相接的层设为第一树脂层，且将与所述第一树脂层的相接于支承体的面为相反侧的面所相接的树脂层设为第二树脂层，则第一树脂层与第二树脂层可为相同的化学结构，也可为不同的化学结构。在所述可挠性基板包含多个树脂层时，优选为至少与支承体相接的层(如果以之前的例子而言为第一树脂层)具有所述聚酰亚胺结构。进而优选为多个树脂层均宜具有所述聚酰亚胺结构。此外，在可挠性基板包含多个树脂层时，也可在这些树脂层之间设置SiO2等无机层。
在以多个树脂层形成可挠性基板时，也能够以任一树脂层的至少一部分自其他树脂层的周边部伸出的方式形成。由此，在可挠性基板的周边部设置厚度比功能层形成区域薄的部分，在制造步骤中能够分散集中于可挠性基板的端面的应力，从而能够防止支承体与可挠性基板在制造步骤中剥离。
即，例如在将树脂溶液涂布于支承体上并进行热处理所获得的第一树脂层上涂布树脂溶液并进行热处理，从而使膜厚比第一树脂层大、且比第一树脂层小一周的第二树脂层层叠，自第二树脂层伸出的第一树脂层的伸出部形成剥离防止部。并且，如果在第二树脂层上形成功能层后将剥离防止部切断分离，则残留的第一树脂层及第二树脂层构成可挠性基板。此处，第一树脂层的伸出距离(宽度)优选为第一树脂层与第二树脂层的合计厚度以上，进而优选为第一树脂层与第二树脂层的合计厚度的10倍以上。如上所述，形成有功能层的功能层形成区域的可挠性基板与所述支承体的剥离强度为200N/m以下、0.1N/m以上，并且在围绕(包围)所述功能层形成区域的位置形成有比功能层形成区域的可挠性基板更难以剥离的剥离防止部，由此可制成适于制造在可挠性基板上具备功能层而成的显示装置的层叠结构体。而且，第二树脂层的膜厚可与第一树脂层的膜厚为相同程度，也可小于第一树脂层的膜厚。而且，第一树脂层及层叠于第一树脂层上的第二树脂层的合计层厚优选为大于剥离防止部上的第一树脂层的层厚。膜厚的平均值进而优选为大于1μm以上。此处，膜厚的平均值为通过指示表(dial gauge)或测微计(micrometer)所测定的任意10处膜厚的平均值。
继而对功能层形成步骤加以说明。
功能层因所制造的显示装置而不同。例如在有机EL装置的情况下可列举：障壁层、TFT、ITO、有机EL发光层、彩色滤光片层等。而且，在触摸屏的情况下可列举：透明导电膜、金属网等电极层。这些功能层的形成方法可应用公知的方法。
而且，在围绕所述功能层的位置形成防止可挠性基板自支承体剥离的剥离防止部，在下一支承体除去步骤中，将功能层形成区域的可挠性基板自所述剥离防止部切开后，将支承体自所述具备功能层的可挠性基板除去。
此处，如果剥离防止部在所述支承体除去步骤中比其他部分(即功能层形成区域的可挠性基板)更难以剥离，则其形状或性质并无特别规定。例如与剥离防止部对应的可挠性基板与支承体的剥离强度(以下称为“剥离防止部的剥离强度”)能够与功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度相同，也可高于或低于功能层形成区域的剥离强度。例如当再利用支承体时，需要完全地除去在具备功能层的可挠性基板被除去后残留于支承体上的框状的可挠性基板。因此，所述剥离防止部的剥离强度优选为500N/m以下，更优选为200N/m以下。如果剥离防止部的剥离强度高于500N/m，则有使用例如刮刀或夹具进行的剥离防止部的除去变困难的可能性。如果剥离防止部的剥离强度低于200N/m以下，则利用真空抽吸或粘合剂进行的剥离防止部的除去变容易。此外，所述剥离防止部的剥离强度的优选下限与功能层形成区域的可挠性基板的剥离强度的下限相同，为0.1N/m。
剥离防止部的形成方法只要满足所述剥离防止部的功能，则并无限定，例如优选为以下所示的形成方法。
首先，所述剥离防止部的形成方法的优选例之一是将可挠性基板设为多个树脂层。即，以可挠性基板具有至少第一树脂层与第二树脂层的方式，利用第二树脂层被覆形成于支承体上的第一树脂层的表面，且使第二树脂层的外周部与支承体粘接，所述第二树脂层的外周部起到卡止构件的作用而构成剥离防止部，从而防止第一树脂层自支承体剥离的情况。由此在第二树脂层上形成功能层，并在将功能层形成区域的可挠性基板自剥离防止部切开后，去除了剥离防止部的第一树脂层及第二树脂层成为可挠性基板。如上所述，形成有功能层的功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度为200N/m以下、0.1N/m以上，并且在围绕所述功能层形成区域的位置形成有比功能层形成区域的可挠性基板更难以剥离的剥离防止部，由此可制成适于制造在可挠性基板上具备功能层而成的显示装置的层叠结构体。而且，第二树脂层的膜厚可与第一树脂层的膜厚为相同程度，也可小于第一树脂层的膜厚。而且，在所述情况下第一树脂层及层叠于第一树脂层上的第二树脂层的合计层厚优选为大于剥离防止部上的第一树脂层的层厚。膜厚的平均值进而优选为大于1μm以上。
而且，所述剥离防止部的形成方法的另一优选例是设为对支承体的与可挠性基板相接的面的一部分进行了粗化的部位。即，在与功能层形成区域外周侧的可挠性基板相接的位置，支承体具有部分粗化面，与该部分粗化面对应而层叠的可挠性基板的周缘部分难以剥离。此处，所谓粗化，也包括在支承体表面形成凹部。而且，粗化的方法可使用公知的方法，优选为喷砂、蚀刻。在通过喷砂进行粗化时，剥离防止部的粗糙度Ra优选为0.01μm以上，更优选为0.1μm以上，而且优选为10μm以下，更优选为3μm以下。
而且，所述剥离防止部的形成方法的另一优选例是形成粘接于支承体与可挠性基板两者的剥离防止层。即，在功能层形成区域的外周侧，使剥离防止层介隔存在于可挠性基板的周缘部与支承体之间。此处，所述剥离防止层可列举：胶带、双面胶、聚酰亚胺、环氧树脂、丙烯酸系树脂、金属等。就耐热性、操作性的观点而言，优选为使用聚酰亚胺。在使用胶带、双面胶时，优选为胶带的膜包含聚酰亚胺。也可在支承体表面涂布银膏、铝膏、铜膏等后，并加热烧结而在支承体表面形成金属。如果剥离防止层粘接于支承体与可挠性基板两者，则也可在形成可挠性基板前形成剥离防止层，也可在形成可挠性基板后形成剥离防止层。
而且，所述剥离防止部的形成方法的另一优选例如下所述，在功能层形成步骤之前，仅对可挠性基板形成步骤中所形成的可挠性基板的功能层形成区域所对应的位置照射UV激光束，且功能层形成区域的外周侧不照射UV激光束，由此形成相比于功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度而围绕功能层形成区域的位置的可挠性基板与支承体的剥离强度高的剥离防止部。众所周知的是在功能层形成后照射UV激光束，由此将支承体自可挠性基板除去的方法(非专利文献3等)，在所述情况下，UV激光束通过可挠性基板，有对功能层造成损害的可能性。尤其当可挠性基板在UV激光束的波长域中的透过率高时，容易产生对功能层造成损害等问题。因此，通过在形成功能层前对形成功能层的区域照射UV激光束，能够在不对功能层造成损害的状态下制造显示装置。
而且，所述剥离防止部的另一优选例如下所述，剥离防止部由构成功能层的功能层构成材料的一部分形成，利用包含功能层构成材料的膜被覆形成于支承体上的可挠性基板的表面的一部分与位于该可挠性基板的外周的支承体的表面，从而包含所述功能层构成材料的膜构成卡止构件，防止可挠性基板自支承体剥离的情况。优选为所述功能层构成材料自可挠性基板表面连续地形成至支承体，且所述功能层构成材料粘接于支承体的形态，并且使功能层的一部分的构成材料向功能层形成区域的外周侧伸出。即，在构成所述卡止构件的功能层构成材料包含与形成功能层的至少一种材料相同的材料，并且与相对于可挠性基板的功能层形成区域进行成膜所得的功能膜连接而成的情况下，在形成功能层并自剥离防止部切断分离后，该功能膜构成功能层的至少一部分。
此处，所谓功能层构成材料，为构成制造过程结束后的最终的显示装置的材料，例如，无机层可列举：包含氧化硅、氧化铝、碳化硅、碳氧化硅、碳氮化硅、氮化硅、氮氧化硅等的无机氧化物膜的障壁层，或ITO(掺锡氧化铟(tin-doped indium oxide))、SnO、ZnO、IZO等的透明导电膜。而且，功能层构成材料可使用彩色抗蚀剂、黑色抗蚀剂等彩色滤光片材料。例如在触摸屏的情况下，作为无机层而使用ITO、SnO、ZnO、IZO等的透明导电膜或金属网。此外，所谓“连续地形成”，是指功能层构成材料自可挠性基板的表面经由可挠性基板的端面连接形成至支承体的表面。所述功能层构成材料未必一定在可挠性基板的周围所有边上连续地形成，作为所述功能层构成材料，在使用无机层时也具有防止制造步骤中水分或溶剂与可挠性基板接触的功能，因此在可挠性基板的周围所有边上连续地形成所述功能层构成材料也是优选形态之一。
继而，对支承体除去步骤加以说明。所述步骤中，在切开所述剥离防止部与所述功能层形成区域的可挠性基板后，将支承体自可挠性基板除去。即，在可挠性基板形成功能层后，将具备功能层的可挠性基板的功能层形成区域自剥离防止部切断分离，从而将支承体自所述可挠性基板除去，由此可获得在可挠性基板上具备功能层的显示装置。
关于功能层形成区域的可挠性基板与剥离防止部的分离，只要将功能层形成区域的可挠性基板自支承体剥离时，以不对剥离防止部施加应力的方式进行分离即可，可仅分离可挠性基板，也可连同支承体一起分离。分离的手段并无特别限定，例如可使用刀或辊式刀片(roller blade)等的刃。此处，例如在形成构成功能层的一部分的障壁层后，使用刃进行功能层形成区域与剥离防止部的分离时，为了防止切断可挠性基板时自切断面产生的障壁层的裂纹，可对可挠性基板及刃的至少一者加热。适当的加热温度因切断方法、可挠性基板及障壁层的种类等而不同，优选为加热至可挠性基板的玻璃化温度以上。而且，也可将利用碱性水溶液或等离子体等进行的蚀刻、激光作为分离的手段。
将支承体901自可挠性基板902除去的工艺并无特别限制，例如可使用如图9所示的具有固定功能层形成区域906的基体904的剥离装置900，自基体904对功能层形成区域906的可挠性基板902施加除去所需的应力并除去支承体901后，将功能层形成区域906自基体904分离。此时为了防止由用以除去支承体901而施加的应力所引起的可挠性基板902的延伸或对功能层903的损伤，也可利用抽吸、粘合等方法将功能层形成区域906的整个面固定于基体904。也可为以下方法，在通过抽吸将功能层形成区域906固定于基体904时，使用具有自基体904内部连接至基体904表面的细孔的基体904，在对基体904内部进行减压，并利用真空将功能层形成区域906固定于基体904表面的状态下，将支承体901自可挠性基板902除去后，对基体904内部的减压进行解除，自基体904分离功能层形成区域906。此处，基体904可为树脂，也可为不锈钢等金属。而且，可对基体904-功能层形成区域906层叠部分的端部施加应力，从而自所述端部分离，也可对所述基体904-功能层形成区域906层叠部分的整个面施加应力，从而使整个面大致同时分离。基体904的表面形状也可为曲面。除了使用此种剥离装置900的方法以外可采用公知的方法，例如可使用有机溶剂或碱性水溶液，或者应用利用UV激光束或加热进行的剥离。
将功能层形成区域906的可挠性基板902与剥离防止部905分离后，可首先自支承体901除去剥离防止部905，在支承体901上仅残留功能层形成区域906的可挠性基板902，然后自功能层形成区域的可挠性基板902除去支承体901。自构成功能层形成区域906的可挠性基板902除去支承体901时，需要通过粘合、抽吸等方法将功能层形成区域906固定于剥离装置900，且对功能层形成区域906施加剥离所需的应力，但如果利用首先自支承体901除去剥离防止部905的所述方法，则无需进行用以将功能层形成区域906固定于剥离装置900的精密的位置对准，而且能够有效率地将用以自剥离装置900剥离的应力传递至功能层形成区域906。
另外，如果利用以下方法，则自构成功能层形成区域906的可挠性基板902除去支承体901时，在可挠性基板902与支承体901之间容易自可挠性基板902的端面插入刮刀，所述方法是将功能层形成区域906的可挠性基板902与剥离防止部905分离后，首先自支承体901除去剥离防止部905，在支承体901上仅残留功能层形成区域906的可挠性基板902，然后自功能层形成区域906的可挠性基板902除去支承体901。通过使用刮刀，能够减小剥离时对功能层903所施加的应力，且能够防止功能层903的损伤。
[实施例]
以下基于实施例等对本发明的内容加以更具体的说明，但本发明不限定于这些实施例的范围。此外，各种评价如下所述进行。
“剥离强度”
使用东洋精机制作所公司制造的斯特隆古夫(Strograph)，对将聚酰亚胺切断为长条状的样品测定利用180度剥离试验法的剥离(peel)强度，由此进行评价。
“热膨胀系数”
利用热机械分析(Thermomechanical analysis，TMA)装置，对3mm×15mm尺寸的聚酰亚胺膜一面施加5.0g的负荷，一面以一定的升温速度(20℃/min)自30℃至260℃的温度范围内进行拉伸试验，根据聚酰亚胺膜相对于温度的伸长量测定热膨胀系数(×10-6/K)。
“透过率”
利用U4000型分光光度计，求出聚酰亚胺膜(50mm×50mm)在440nm至780nm中的透光率的平均值。
“功能层形成区域的剥离性”
自聚酰亚胺与支承体的层叠体，通过人手进行功能层形成区域的聚酰亚胺的剥离，将剥离强度强而不可利用人手剥离的情形评价为×，将可进行剥离的情形评价为△，容易进行剥离时评价为○，极容易进行剥离时评价为◎。
“障壁裂纹”
通过化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，CVD)将80nm的氮化硅膜成膜，利用雅马拓(Yamato)科学公司制造的显微镜(microscope)KH-7700来观察裂纹的产生。10mm见方的视野中，在裂纹的个数为20个以上时，将评价结果设为×，在裂纹的个数为10个以上、未满20个时，将评价结果设为○，将裂纹的个数未满10个或无裂纹的情形设为◎。
“水浸渍”
将聚酰亚胺与支承体的层叠体在20℃的水中浸渍1小时后，自水中取出，以目视确认聚酰亚胺与支承体有无剥离。在无剥离部位时，将评价结果设为○，在整个面剥离或存在剥离部位时，将评价结果设为×。
将以下的合成例或实施例及比较例中经处理的聚酰胺酸(聚酰亚胺前驱体)溶液的合成所使用的原料、芳香族二氨基化合物、芳香族四羧酸的酸酐化合物、溶剂示于以下。
[芳香族二氨基化合物]
·1,4-苯二胺(1,4-phenylenediamine，PPD)
·4,4'-二氨基二苯基醚(4,4'-diaminodiphenyl ether，DAPE)
·2,2'-二甲基-4,4'-二氨基联苯(2,2'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl，mTB)
·1,3-双(4-氨基苯氧基)苯(1,3-bis(4-aminophenoxy)benzene，TPER)
·2,2-双[4-(4-氨基苯氧基)苯基]丙烷(2,2-bis[4-(4-aminophenoxy)phenyl]propane，BAPP)
·2,2'-双(三氟甲基)-4,4'-二胺基联苯(TFMB)
·2-甲氧基-4,4'-二胺基苯酰基苯胺(2'-Methoxy-4,4'-diaminobenzanilide，MABA)
[芳香族四羧酸的酸酐化合物]
·均苯四甲酸二酐(Pyromellitic dianhydride，PMDA)
·2,3,2',3'-联苯四羧酸二酐(2,3,2',3'-biphenyltetracarboxylicdianhydride，BPDA)
·4,4'-(六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸酐(4,4'-(hexafluoroiso propylidene)diphthalic anhydride，6FDA)
[溶剂]
·N,N-二甲基乙酰胺(N,N-dimethylacetamide，DMAc)
(合成例1)
在氮气流下，在300ml的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加PPD8.0g并加温，在50℃下使其溶解。继而添加BPDA 22.0g。然后在室温下继续搅拌溶液3小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液a。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液a进行加热而获得茶褐色的聚酰亚胺a。
(合成例2)
在氮气流下，在500ml的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加TFMB18.9g而使其溶解。继而添加6FDA 26.1g。然后在室温下继续搅拌溶液5小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液b。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液b进行加热而获得透明的聚酰亚胺b。
(合成例3)
在氮气流下，在500ml的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加TFMB26.3g而使其溶解。继而添加PMDA 16.1g、6FDA 1.8g。然后在室温下继续搅拌溶液5小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液c。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液c进行加热而获得透明的聚酰亚胺c。
(合成例4)
在氮气流下，在500ml的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加BAPP29.1g而使其溶解。继而添加BPDA 3.23g及PMDA 13.6g。然后在室温下继续搅拌溶液3小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液d。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液d进行加热而获得茶褐色的聚酰亚胺d。
(合成例5)
在氮气流下，在2L的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加MABA66.5g及DAPE 34.5g而使其溶解。继而添加PMDA 92.6g。然后在室温下继续搅拌溶液1.5小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液e。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液e进行加热而获得茶褐色的聚酰亚胺e。
(合成例6)
在氮气流下，在500ml的可分离式烧瓶中一面搅拌，一面向溶剂DMAc中添加mTB20.3g及TPER 3.1g而使其溶解。继而添加PMDA 18.4g及BPDA 6.2g。然后在室温下继续搅拌溶液4小时而进行聚合反应，获得粘稠的聚酰胺酸溶液f。此外，通过对所述聚酰胺酸溶液f进行加热而获得黄褐色的聚酰亚胺f。
[实施例1]
使用厚度为30μm的铁氧体系不锈钢箔作为支承体，通过喷砂对距其4条边的端部10mm的部分进行粗化。继而为了形成可挠性基板，残留自所述不锈钢箔上的4条边向内侧5mm的部分，使用涂敷器以热处理后的厚度成为8μm的方式涂布聚酰胺酸溶液a。继而，使用热风烘箱，在100℃下加热5分钟后，以4℃/min升温至370℃为止，继而以20℃/min升温至500℃为止并保持40分钟，获得如图1所示的不锈钢箔101与聚酰亚胺a 102的层叠体。此处，在不锈钢箔101与聚酰亚胺a 102的层叠部分中，进行了粗化的部分相当于剥离防止部，未进行粗化的部分相当于功能层形成区域。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。将层叠体的4条边自端部切断除去12mm后，所残存的聚酰亚胺a 102(功能层形成区域)能够极容易地自支承体剥离。所述层叠体的中央部(所残存的聚酰亚胺a 102)的剥离强度为8N/m，所述进行了粗化的部分(剥离防止部)的剥离强度为80N/m。除此以外，将热膨胀系数的评价结果示于表1。
[实施例2]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为3μm的方式，在所述支承体上以140mm×140mm的大小涂布聚酰胺酸溶液b，并使用热风烘箱，分别在130℃、150℃下加热干燥2分钟，从而除去树脂溶液中的溶剂。继而，以热处理后的厚度成为22μm的方式、以130mm×130mm的大小涂布聚酰胺酸溶液b，并使用热风烘箱，在130℃、150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在360℃下加热1分钟，从而获得如图2所示的作为支承体的玻璃201与作为可挠性基板的聚酰亚胺b203的层叠体。关于形成于所述支承体1上的聚酰亚胺b 203，重叠成双层的厚度为25μm的部分相当于功能层形成区域(具有130mm×130mm的大小)，在其周围厚度为3μm的伸出部分相当于剥离防止部(具有约5mm的伸出宽度)。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺b203的4条边在距端部8mm的部位切入切口后，聚酰亚胺b 203的中央部(所述切口的内侧部分)与周边部(所述切口的外侧部分)均能够极容易地自支承体剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率的评价结果示于表1。
[实施例3]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为22μm的方式，在所述支承体上以130mm×130mm的大小涂布聚酰胺酸溶液c，并使用热风烘箱，在120℃下加热干燥5分钟，从而除去树脂溶液中的溶剂。继而，以热处理后的厚度成为3μm的方式、以140mm×140mm的大小涂布聚酰胺酸溶液d来覆盖聚酰胺酸溶液c的层，并使用热风烘箱，在130℃、150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在360℃下加热1分钟，从而获得如图3所示的作为支承体的玻璃301与聚酰亚胺c 304及聚酰亚胺d305的层叠体。关于所述层叠体，通过聚酰亚胺c 304及聚酰亚胺d 305来形成可挠性基板，包含聚酰亚胺c 304的厚度22μm与聚酰亚胺d 305的厚度3μm的厚度为25μm的部分相当于功能层形成区域(具有130mm×130mm的大小)，在其周围包含聚酰亚胺d 305的厚度为3μm的伸出部分相当于剥离防止部(具有约5mm的伸出宽度)。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对包含聚酰亚胺c 304及聚酰亚胺d 305的聚酰亚胺的4条边在距端部8mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分)能够极容易地剥离，周边部(所述切口的外侧部分)也能够剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数的评价结果示于表1。
[实施例4]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为25μm的方式，在所述支承体上以130mm×130mm的大小涂布聚酰胺酸溶液e，并使用热风烘箱，在90℃下加热10分钟。继而，以热处理后的厚度成为25μm的方式，在所涂布的聚酰胺酸溶液e的平行的2边上以6mm的宽度涂布聚酰胺酸溶液d来遮盖聚酰胺酸溶液e与玻璃两者，并使用热风烘箱，自90℃以20℃/min加热至360℃为止，从而获得如图4所示的形成可挠性基板的聚酰亚胺e 406与作为支承体的玻璃401的层叠体。以目视确认到聚酰亚胺d 405自聚酰亚胺e 406的表面连续地形成至玻璃表面，聚酰亚胺d 405与聚酰亚胺e406和玻璃分别相接约3mm。此处聚酰亚胺e 406与玻璃相接，且未与聚酰亚胺d 405相接的部分相当于功能层形成区域，聚酰亚胺d 405与玻璃相接的部分相当于剥离防止部。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。在与聚酰亚胺d 405相接的且自聚酰亚胺d 405的2边为1mm的内侧的位置切入切口后，中央部(所述切口的内侧部分)能够容易地剥离，聚酰亚胺d 405能够自玻璃剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[实施例5]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为2μm的方式，在所述支承体上沿着玻璃的4条边以10mm的宽度涂布聚酰胺酸溶液d，并使用热风烘箱，在130℃下加热20秒。继而，以140mm×140mm的大小涂布聚酰胺酸溶液f，并使用热风烘箱自90℃以20℃/min加热至360℃为止，从而获得如图5所示的形成可挠性基板的聚酰亚胺f 507与作为支承体的玻璃501的层叠体。此时，聚酰亚胺d 505与聚酰亚胺f 507相接约5mm。此处，聚酰亚胺f 507与玻璃相接的部分相当于功能层形成区域，聚酰亚胺d 505相当于剥离防止部。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺f 507的4条边在距端部8mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分，相当于功能层形成区域)能够极容易地剥离，周边部(所述切口的外侧部分)也能够剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[实施例6]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为10μm的方式，在所述支承体上以140mm×140mm的大小涂布聚酰胺酸溶液c，并使用热风烘箱，在130℃下加热干燥，从而除去树脂溶液中的溶剂。继而，在150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在360℃下加热1分钟，从而获得作为支承体的玻璃601与作为可挠性基板的聚酰亚胺c 604的层叠体。继而，如图6所示，在所述层叠体的聚酰亚胺c604侧的整个面上利用化学气相沉积将厚度80nm的氮化硅膜608成膜。通过扫描式电子显微镜(Scanning electron microscope，SEM)的观察确认到包含氮化硅膜608的障壁层为功能层，且自聚酰亚胺c 604的表面连续地形成至玻璃601表面。此处，在聚酰亚胺c 604上成膜有氮化硅膜608的部分相当于功能层形成区域，在玻璃601表面上成膜有氮化硅膜608的部分相当于剥离防止部。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺c 604的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)能够极容易地剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[实施例7]
使用厚度为0.5mm、150mm×150mm的大小的无碱玻璃作为支承体，利用涂敷器以热处理后的膜厚成为25μm的方式，在所述支承体上以140mm×140mm的大小涂布聚酰胺酸溶液c，并使用热风烘箱，在130℃下加热干燥5分钟，从而除去树脂溶液中的溶剂。继而，在150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在360℃下加热1分钟，从而获得作为支承体的玻璃701与作为可挠性基板的聚酰亚胺c 704的层叠体。继而，使用剃刀的刃对聚酰亚胺c 704的4条边在距聚酰亚胺的端部5mm的位置切入切口至玻璃701表面后，周边部的聚酰亚胺与4条边均自玻璃701剥离。所述周边部的剥离极容易。继而，如图7所示，以成膜后的厚度成为5μm的方式、以140mm×140mm的大小在所述层叠体上涂布玻璃膏709来覆盖聚酰亚胺c 704，并在100℃下加热10分钟、在150℃下加热2分钟、在380℃下加热2分钟、在400℃下加热10分钟。通过扫描式电子显微镜的观察确认到由玻璃膏709形成的障壁层自聚酰亚胺c 704的表面连续地形成至玻璃701表面。此处，在聚酰亚胺c 704上成膜有玻璃膏709的部分相当于功能层形成区域，在玻璃701表面上成膜有玻璃膏709的部分相当于剥离防止部。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺c 704的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)能够极容易地剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[实施例8]
作为将聚酰胺酸溶液b在玻璃上重叠双层并进行涂布后的加热处理，在130℃、150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在360℃下加热6分钟，除此以外，以与实施例2相同的方式获得玻璃与聚酰亚胺b的层叠体。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺b的4条边在距端部8mm的部位切入切口后，聚酰亚胺b的中央部(所述切口的内侧部分)与周边部(所述切口的外侧部分)能够极容易地剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率的评价结果示于表1。
[实施例9]
作为将聚酰胺酸溶液c涂布于玻璃上之后的加热处理，在130℃下加热干燥5分钟从而除去树脂溶液中的溶剂，继而在150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在320℃下加热1分钟，除此以外，以与实施例6相同的方式制作玻璃与聚酰亚胺c的层叠体，进而以与实施例6相同的方式制作氮化硅膜。通过扫描式电子显微镜的观察确认到包含氮化硅膜的障壁层自聚酰亚胺c的表面连续地形成至玻璃表面。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)能够极容易地剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[实施例10]
以热处理后的膜厚成为4μm的方式涂布聚酰胺酸溶液c，除此以外，以与实施例6相同的方式制作玻璃与聚酰亚胺c的层叠体，进而以与实施例6相同的方式制作氮化硅膜。通过扫描式电子显微镜的观察确认到包含氮化硅膜的障壁层自聚酰亚胺c的表面连续地形成至玻璃表面。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，聚酰亚胺的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)能够极容易地剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数的评价结果示于表1。
[比较例1]
未通过喷砂进行粗化，除此以外，以与实施例1相同的方式获得不锈钢箔与聚酰亚胺a的层叠体。所述层叠体的水浸渍试验的结果为聚酰亚胺a自不锈钢箔剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数的评价结果示于表1。
[比较例2]
利用惰性烘箱进行热处理，除此以外，以与实施例1相同的方式获得不锈钢箔与聚酰亚胺a的层叠体。烘箱中的氧浓度约为1％。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。将层叠体的4条边自端部切断除去12mm后，所残存的聚酰亚胺a无法利用人手剥离。所述层叠体的中央部(所残存的聚酰亚胺a)的剥离强度为1800N/m，剥离防止部的剥离强度过高而不能测定。除此以外，将热膨胀系数的评价结果示于表1。
[比较例3]
以与实施例3相同的方式获得玻璃与聚酰亚胺c、聚酰亚胺d的层叠体后，未对聚酰亚胺切入切口，而进行聚酰亚胺c及聚酰亚胺d的剥离，结果为虽能够剥离，但剥离中在聚酰亚胺c及聚酰亚胺d中产生褶皱。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数的评价结果示于表1。
[比较例4]
以与实施例7相同的方式获得剥离4条边之后的聚酰亚胺c 804与玻璃801的层叠体后，在所述层叠体的聚酰亚胺c 804侧的整个面上利用化学气相沉积将厚度80nm的氮化硅膜808成膜。通过扫描式电子显微镜的观察确认到其结果为：如图8所示，包含氮化硅膜808的障壁层未连续地形成，且在聚酰亚胺c 804的侧面未成膜有氮化硅膜808。即，不存在剥离防止部。所述层叠体的水浸渍试验的结果为聚酰亚胺c 804自玻璃801剥离。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[比较例5]
未在聚酰亚胺的4条边切入切口，除此以外，以与实施例6相同的方式自玻璃剥离聚酰亚胺后观察氮化硅膜，结果在与实施例6中的聚酰亚胺的中央部对应的部位并无裂纹，但在距周边部约20mm的范围处确认到大量裂纹。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[比较例6]
代替聚酰胺酸溶液c而涂布聚酰胺酸溶液d，除此以外，以与实施例6相同的方式制成玻璃与聚酰亚胺d的层叠体，进而以与实施例6相同的方式制作氮化硅膜。通过扫描式电子显微镜的观察确认到包含氮化硅膜的障壁层自聚酰亚胺d的表面连续地形成至玻璃表面。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对聚酰亚胺的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，层叠体的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)虽能够利用人手剥离，但剥离时观察到在聚酰亚胺上发生伸长、褶皱的现象。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、障壁裂纹的评价结果示于表1。
[比较例7]
在玻璃上涂布聚酰胺酸溶液c，在130℃下加热干燥，从而将树脂溶液中的溶剂除去，继而在150℃、200℃、250℃下加热合计30分钟后，在270℃下加热1分钟，除此以外，以与实施例6相同的方式制成玻璃与聚酰亚胺c的层叠体，进而以与实施例6相同的方式制作氮化硅膜。通过扫描式电子显微镜的观察确认到包含氮化硅膜的障壁层自聚酰亚胺c的表面连续地形成至玻璃表面。所述层叠体的水浸渍试验的结果为未发现剥离。对层叠体的4条边在距端部3mm的部位切入切口后，层叠体的中央部(所述切口的内侧部分)及周边部(所述切口的外侧部分)无法利用人手剥离(剥离强度超过200N/m)。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数、透过率的评价结果示于表1。
[比较例8]
使用聚酰胺酸溶液a并涂布于另外的玻璃上，利用与实施例1相同的硬化条件从而获得聚酰亚胺a的膜。对所获得的聚酰亚胺a的膜的4条边的距端部5mm的部分涂布粘接剂后，将涂布有粘接剂的面压接于厚度30μm的铁氧体系不锈钢箔上，获得不锈钢箔与聚酰亚胺a的层叠体。所述层叠体的水浸渍试验的结果为，水浸入至不锈钢箔与聚酰亚胺的界面，且发现自不锈钢箔的聚酰亚胺的凸起。除此以外，将剥离强度、热膨胀系数的评价结果示于表1。
[表1]
[实施例11]
以与所述实施例6相同的方式获得玻璃与聚酰亚胺c的层叠体，在所述层叠体的聚酰亚胺c侧的整个面，利用化学气相沉积将厚度80nm的氮化硅膜成膜。所述氮化硅膜作为阻止透湿的阻气层发挥功能，且在其上表面形成彩色滤光片层。并且，相对于聚酰亚胺c的4条边，在距端部3mm的部位切入切口后，将位于形成有彩色滤光片层的部分的聚酰亚胺c的中央部(所述切口的内侧部分)剥离，结果在阻气层或彩色滤光片层上未产生裂纹等，能够极容易地剥离，且可获得将聚酰亚胺c用于可挠性基板的彩色滤光片基板。

Claims (17)

1.一种显示装置的制造方法，其具有：可挠性基板形成步骤，将树脂溶液涂布于支承体而在支承体上形成可挠性基板；功能层形成步骤，在所述可挠性基板上形成功能层；以及支承体除去步骤，自形成有功能层的可挠性基板除去支承体，所述显示装置的制造方法的特征在于：
形成有所述功能层的功能层形成区域中可挠性基板与支承体的剥离强度为200N/m以下且0.1N/m以上，并且在围绕所述功能层形成区域的位置形成有防止可挠性基板自支承体剥离的剥离防止部，由此，不针对所述功能层形成区域或与剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的化学表面处理、或者不针对与所述剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的加热，在所述支承体除去步骤中，在将功能层形成区域的可挠性基板与剥离防止部分离之后，自具备功能层的可挠性基板除去支承体，
其中所述可挠性基板由2个以上的树脂层形成，所述树脂层中的任意一个以上向功能层形成区域的外周侧伸出而与支承体粘接，由此形成剥离防止部，且所述剥离防止部的厚度比功能层形成区域的可挠性基板的厚度薄。
2.一种显示装置的制造方法，其具有：可挠性基板形成步骤，将树脂溶液涂布于支承体而在支承体上形成可挠性基板；功能层形成步骤，在所述可挠性基板上形成功能层；以及支承体除去步骤，自形成有功能层的可挠性基板除去支承体，所述显示装置的制造方法的特征在于：
形成有所述功能层的功能层形成区域中可挠性基板与支承体的剥离强度为200N/m以下且0.1N/m以上，并且在围绕所述功能层形成区域的位置形成有防止可挠性基板自支承体剥离的剥离防止部，由此，不针对所述功能层形成区域或与剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的化学表面处理、或者不针对与所述剥离防止部对应的支承体的部分进行局部的加热，在所述支承体除去步骤中，在将功能层形成区域的可挠性基板与剥离防止部分离之后，自具备功能层的可挠性基板除去支承体，
其中所述剥离防止部由功能层的构成材料的一部分形成，形成所述剥离防止部的功能层的一部分构成材料向功能层形成区域的外周侧伸出而与支承体粘接。
3.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其特征在于，在所述支承体除去步骤中，将剥离防止部自支承体除去之后，自具备功能层的可挠性基板除去支承体。
4.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其中所述剥离防止部中的可挠性基板与支承体的剥离强度为500N/m以下。
5.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其中所述剥离防止部是对与功能层形成区域的外周侧的可挠性基板相接的支承体的面进行了粗化的部位。
6.根据权利要求2所述的显示装置的制造方法，其中形成所述剥离防止部的功能层的一部分构成材料是由无机材料形成的无机层。
7.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其特征在于，所述剥离防止部由剥离防止层形成，所述剥离防止层在功能层形成区域的外周侧介隔存在于可挠性基板与支承体之间。
8.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其特征在于，在所述功能层形成步骤之前，仅对可挠性基板形成步骤中所形成的可挠性基板的功能层形成区域所对应的位置照射紫外线激光束，由此，相比于功能层形成区域的可挠性基板与支承体的剥离强度，提高围绕功能层形成区域的位置的可挠性基板与支承体的剥离强度而形成剥离防止部。
9.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其中所述可挠性基板的厚度为0.1μm以上且30μm以下。
10.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其中所述可挠性基板包含聚酰亚胺。
11.根据权利要求10所述的显示装置的制造方法，其中在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，在氧化性环境下进行热处理而获得可挠性基板。
12.根据权利要求10所述的显示装置的制造方法，其中在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，以280℃以上进行热处理而获得可挠性基板。
13.根据权利要求10所述的显示装置的制造方法，其中在所述可挠性基板形成步骤中，将聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液涂布于支承体之后，利用连续热处理而获得可挠性基板。
14.根据权利要求1或2所述的显示装置的制造方法，其中显示装置为触摸屏。
15.一种树脂溶液，其为可挠性基板形成用的聚酰亚胺或聚酰亚胺前驱体的树脂溶液，且其用于根据权利要求1至13中任一项所述的显示装置的制造方法，且形成至少与支承体相接的粘接面。
16.一种剥离防止层用树脂或树脂溶液，其构成根据权利要求7所述的显示装置的制造方法中所用的剥离防止层。
17.一种显示装置制造用剥离装置，其用于根据权利要求1至13中任一项所述的显示装置的制造方法，且具有固定功能层形成区域的基体，所述剥离装置自基体对功能层形成区域的可挠性基板施加自可挠性基板除去支承体所需的应力，来进行支承体的除去。
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