KR102392358B1 - 플렉서블 표시장치와 그의 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예는 투명 폴리이미드 필름을 지지 기판으로부터 분리할 때 투명 폴리이미드 필름이 말리는 것을 방지할 수 있는 플렉서블 표시장치와 그의 제조 방법을 제공하고자 한다. 본 발명의 실시예는 플라스틱 필름 및 플라스틱 필름 상에 마련되는 화소 영역을 포함하며, 플라스틱 필름은 제1 열팽창 계수를 갖는 제1 폴리이미드 필름과 제1 열팽창 계수보다 높은 제2 열팽창 계수를 갖는 제2 폴리이미드 필름을 포함한다.

Description

플렉서블 표시장치와 그의 제조 방법{TRANSPARENT FLEXIBLE DISPLAY DEVICE AND FABRICATING METHOD THEREOF}
본 발명의 실시예는 플렉서블 표시장치와 그의 제조 방법에 관한 것이다.
정보화 사회가 발전함에 따라 화상을 표시하기 위한 표시장치에 대한 요구가 다양한 형태로 증가하고 있으며, 근래에는 액정 표시장치(liquid crystal display), 플라즈마 표시장치(plasma display panel), 유기 발광 표시장치(organic light emitting display device)와 같은 여러 가지 평판 표시장치가 활용되고 있다.
특히, 표시장치들 중에서 액정표시장치와 유기발광표시장치는 유연성을 갖는 플렉서블 표시장치(flexible display device)로도 개발되고 있다. 플렉서블 표시장치는 유연성을 높이기 위해 기판으로 폴리이미드 필름(polyimide film)과 같은 플라스틱 필름이 사용된다.
한편, 최근에는 사용자가 표시장치의 배면(背面)에 위치한 사물 또는 배경을 볼 수 있는 투명표시장치에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. 투명표시장치는 공관활용성, 인테리어 및 디자인의 장점을 가지며, 다양한 응용분야를 가질 수 있다. 투명표시장치는 정보인식, 정보처리 및 정보표시의 기능을 투명한 전자기기로 구현함으로써 기존 전자기기의 공간적 및 시각적 제약을 해소할 수 있다. 예를 들어, 투명표시장치는 건물이나 자동차의 창문(window)에 적용되어 배경을 보이거나 화상을 표시하는 스마트 창(smart window)으로 구현될 수 있다.
투명 플렉서블 표시장치를 구현하기 위해서는 투명한 폴리이미드 필름을 사용하여야 한다.
하지만, 투명 폴리이미드 필름은 열팽창 계수(Coefficient of Thermal Expansion, CTE)가 큰 문제가 있다. 투명 폴리이미드 필름 상에서 300℃ 이상의 고온의 증착 공정을 수행하는 경우에는 투명 폴리이미드 필름이 다른 층보다 많이 팽창하게 되며, 증착 공정 이후 상온으로 돌아가는 경우에는 다른 층보다 많이 수축을 하게 된다. 다수의 증착 공정으로 인해 투명 폴리이미드 필름이 팽창과 수축을 반복하는 경우, 지지 기판으로부터 투명 폴리이미드 필름을 분리할 때 투명 폴리이미드 필름이 말리는 문제가 있다.
본 발명의 실시예는 투명 폴리이미드 필름을 지지 기판으로부터 분리할 때 투명 폴리이미드 필름이 말리는 것을 방지할 수 있는 플렉서블 표시장치와 그의 제조 방법을 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예는 플라스틱 필름 및 플라스틱 필름 상에 마련되는 화소 영역을 포함하며, 플라스틱 필름은 제1 열팽창 계수를 갖는 제1 폴리이미드 필름과 제1 열팽창 계수보다 높은 제2 열팽창 계수를 갖는 제2 폴리이미드 필름을 포함한다.
본 발명의 실시예는 열팽창 계수가 높은 제1 폴리이미드 필름과 열팽창 계수가 낮은 제2 폴리이미드 필름을 포함하는 플라스틱 필름을 기판으로 사용한다. 특히, 본 발명의 실시예는 제1 폴리이미드 필름을 투과 영역에 대응되게 배치하고, 제2 폴리이미드 필름을 발광 영역에 대응되게 배치한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 기판으로 사용되는 플라스틱 필름의 열팽창 계수를 낮출 수 있으므로, 플라스틱 필름을 지지 기판으로부터 분리할 때 플라스틱 필름이 말리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 제1 폴리이미드 필름을 투과 영역과 발광 영역 모두에 배치하고, 제2 폴리이미드 필름을 발광 영역에서 제1 폴리이미드 필름 상에 배치한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 지지기판을 제1 폴리이미드 필름에만 접하게 하여, 지지 기판으로부터 플라스틱 필름을 분리할 때, 제1 폴리이미드 필름과 제2 폴리이미드 필름의 경계가 분리되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 투과 영역에 구비된 제1 폴리이미드 필름과 발광 영역에 구비된 제2 폴리이미드 필름의 사이, 또는 투과 영역에 구비된 제1 폴리이미드 필름과 발광 영역에 구비된 상기 제1 및 제2 폴리이미드 필름들 사이에 단차가 없게 형성한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 플라스틱 필름의 상부를 평탄하게 형성할 수 있으므로, 플라스틱 필름의 상부에 박막트랜지스터층을 용이하게 형성할 수 있다.
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도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 투명표시패널, 게이트 구동부, 소스 드라이브 IC, 연성필름, 회로보드, 및 타이밍 제어부를 보여주는 평면도.
도 2는 도 1의 표시영역의 투과 영역과 발광 영역을 보여주는 정면도.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 도 2의 I-I'의 단면도.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 폴리이미드 필름 간 단차 별 결과 그래프.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 도 2의 I-I'의 단면도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제작 과정을 보여주는 흐름도.
도 7a 내지 도 7g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제작 과정을 보여주는 단면도.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 제작 과정을 보여주는 단면도.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명의 실시예를 설명하기 위한 도면에 개시된 형상, 크기, 비율, 각도, 개수 등은 예시적인 것이므로 본 발명이 도시된 사항에 한정되는 것은 아니다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
본 명세서에서 언급된 '포함한다', '갖는다', '이루어진다' 등이 사용되는 경우 '~만'이 사용되지 않는 이상 다른 부분이 추가될 수 있다. 구성 요소를 단수로 표현한 경우에 특별히 명시적인 기재 사항이 없는 한 복수를 포함하는 경우를 포함한다.
구성 요소를 해석함에 있어서, 별도의 명시적 기재가 없더라도 오차 범위를 포함하는 것으로 해석한다.
위치 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~상에', '~상부에', '~하부에', '~옆에' 등으로 두 부분의 위치 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 두 부분 사이에 하나 이상의 다른 부분이 위치할 수도 있다.
시간 관계에 대한 설명일 경우, 예를 들어, '~후에', '~에 이어서', '~다음에', '~전에' 등으로 시간적 선후 관계가 설명되는 경우, '바로' 또는 '직접'이 사용되지 않는 이상 연속적이지 않은 경우도 포함할 수 있다.
제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않는다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
"X축 방향", "Y축 방향" 및 "Z축 방향"은 서로 간의 관계가 수직으로 이루어진 기하학적인 관계만으로 해석되어서는 아니 되며, 본 발명의 구성이 기능적으로 작용할 수 있는 범위 내에서보다 넓은 방향성을 가지는 것을 의미할 수 있다.
"적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미할 수 있다.
본 발명의 여러 실시예들의 각각 특징들이 부분적으로 또는 전체적으로 서로 결합 또는 조합 가능하고, 기술적으로 다양한 연동 및 구동이 가능하며, 각 실시예들이 서로에 대하여 독립적으로 실시 가능할 수도 있고 연관 관계로 함께 실시할 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
이하에서는 도 1 내지 도 5를 결부하여 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 상세히 설명한다. 도 1 내지 도 5에서 설명의 편의를 위해 X축 방향은 게이트 라인과 나란한 방향이고, Y축 방향은 데이터 라인과 나란한 방향이며, Z축 방향은 플렉서블 표시장치의 높이 방향인 것을 중심으로 설명하였다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 표시패널(110), 게이트 구동부(120), 소스 드라이브 집적회로(integrated circuit, 이하 "IC"라 칭함)(130), 연성필름(140), 회로보드(150), 및 타이밍 제어부(160)를 포함한다.
본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 유기 발광 표시장치(Organic Light Emitting Display)로 구현된 것을 중심으로 설명하였으나, 액정 표시장치(Liquid Crystal Display) 또는 전기 영동 표시장치(Electrophoresis display)로도 구현될 수 있다.
표시패널(110)은 플라스틱 필름(200)과 상부 기판(112)을 포함한다. 플라스틱 필름(200)은 하부 기판으로 역할을 한다. 상부 기판(112)은 봉지 기판일 수 있다.
표시패널(110)은 입사되는 빛을 투과시키거나 화상을 표시한다. 표시패널(110)의 표시영역(DA)에는 게이트 라인들과 데이터 라인들이 형성되며, 게이트 라인들과 데이터 라인들의 교차 영역들에는 화소들이 형성될 수 있다. 표시영역(DA)의 화소들은 화상을 표시할 수 있다.
게이트 구동부(120)는 타이밍 제어부(160)로부터 입력되는 게이트 제어신호에 따라 게이트 라인들에 게이트 신호들을 공급한다. 도 1에서는 게이트 구동부(120)가 투명표시패널(110)의 표시영역(DA)의 일 측 바깥쪽에 GIP(gate driver in panel) 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 게이트 구동부(120)는 투명표시패널(110)의 표시영역(DA)의 양 측 바깥쪽에 GIP 방식으로 형성될 수도 있고, 또는 구동 칩으로 제작되어 연성필름에 실장되고 TAB(tape automated bonding) 방식으로 표시패널(110)에 부착될 수도 있다.
소스 드라이브 IC(130)는 타이밍 제어부(160)로부터 디지털 비디오 데이터와 소스 제어신호를 입력받는다. 소스 드라이브 IC(130)는 소스 제어신호에 따라 디지털 비디오 데이터를 아날로그 데이터전압들로 변환하여 데이터 라인들에 공급한다. 소스 드라이브 IC(130)가 구동 칩으로 제작되는 경우, COF(chip on film) 또는 COP(chip on plastic) 방식으로 연성필름(140)에 실장될 수 있다.
플라스틱 필름(200)의 일부에는 데이터 패드들과 같은 패드들이 마련된다. 연성필름(140)에는 패드들과 소스 드라이브 IC(130)를 연결하는 배선들, 패드들과 회로보드(150)의 배선들을 연결하는 배선들이 형성될 수 있다. 연성필름(140)은 이방성 도전 필름(antisotropic conducting film)을 이용하여 패드들 상에 부착되며, 이로 인해 패드들과 연성필름(140)의 배선들이 연결될 수 있다.
회로보드(150)는 연성필름(140)들에 부착될 수 있다. 회로보드(150)는 구동 칩들로 구현된 다수의 회로들이 실장될 수 있다. 예를 들어, 회로보드(150)에는 타이밍 제어부(160)가 실장될 수 있다. 회로보드(150)는 인쇄회로보드(printed circuit board) 또는 연성 인쇄회로보드(flexible printed circuit board)일 수 있다.
타이밍 제어부(160)는 외부의 시스템 보드(미도시)로부터 디지털 비디오 데이터와 타이밍 신호를 입력받는다. 타이밍 제어부(160)는 타이밍 신호에 기초하여 게이트 구동부(120)의 동작 타이밍을 제어하기 위한 게이트 제어신호와 소스 드라이브 IC(130)들을 제어하기 위한 소스 제어신호를 발생한다. 타이밍 제어부(160)는 게이트 제어신호를 게이트 구동부(120)에 공급하고, 소스 제어신호를 소스 드라이브 IC(130)들에 공급한다.
표시영역(DA)은 도 2와 같이 투과 영역(TA)와 발광 영역(EA)을 포함한다. 표시패널(110)은 투과 영역(TA)들로 인해 표시패널(110)의 배면(背面)에 위치한 사물 또는 배경을 볼 수 있으며, 발광 영역(EA)들로 인해 화상을 표시할 수 있다. 도 2에서는 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA)이 게이트 라인 방향(X축 방향)으로 길게 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않는다. 즉, 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA)은 데이터 라인 방향(Y축 방향)으로 길게 형성될 수도 있다.
투과 영역(TA)은 입사되는 빛을 거의 그대로 통과시키는 영역이다. 발광 영역(EA)은 빛을 발광하는 영역이다. 발광 영역(EA)은 복수의 화소 영역(P)들을 포함할 수 있으며, 복수의 화소 영역(P)들 각각은 도 2와 같이 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)를 포함하는 것을 예시하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들어, 화소 영역(P)들 각각은 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE) 및 청색 발광 영역(BE) 외에 흰색 발광 영역를 더 포함할 수도 있다. 또는, 화소 영역(P)들 각각은 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 청색 발광 영역(BE), 옐로우(yellow) 발광 영역, 자홍색(magenta) 발광 영역, 및 청록색(cyan) 발광 영역 중에 적어도 두 개 이상의 발광 영역들을 포함할 수 있다.
적색 발광 영역(RE)는 적색광을 발광하는 영역이고, 녹색 발광 영역(GE)는 녹색광을 발광하는 영역이며, 청색 발광 영역(BE)는 청색광을 발광하는 영역이다. 발광 영역(EA)의 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)는 소정의 빛을 발광하며, 입사되는 빛을 투과시키지 않는 비투과 영역에 해당한다.
이하에서는 도 3을 바탕으로 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 단면도를 설명하기로 한다.
제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA)을 가진다. 발광 영역(EA)은 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)을 포함할 수 있다.
플라스틱 필름(200)은 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)을 포함한다. 플라스틱 필름(200)은 표시패널(110)의 하부를 지지하는 기판의 역할을 한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 투과 영역(TA)에 구비된 플라스틱 필름(200)은 제1 폴리이미드 필름(210)으로 구성되고, 발광 영역(EA)에 구비된 플라스틱 필름(200)은 제2 폴리이미드 필름(220)으로 구성될 수 있다. 즉, 투과 영역(TA)과 대응하는 플라스틱 필름(200)은 제1 폴리이미드 필름(210)으로 구성되고, 발광 영역(EA)과 대응하는 플라스틱 필름(200)은 제2 폴리이미드 필름(220)으로 구성될 수 있다.
제1 폴리이미드 필름(210)은 투과 영역(TA)에 배치된다. 제1 폴리이미드 필름(210)은 투명하며, 제1 열팽창 계수를 가진다. 바람직하게는, 제1 열팽창 계수는 30ppm 이상 100ppm 이하이다.
제2 폴리이미드 필름(220)은 발광 영역(EA)에 배치된다. 제2 폴리이미드 필름(220)은 투명하며, 제1 열팽창 계수보다 낮은 제2 열팽창 계수를 가진다. 바람직하게는, 제2 열팽창 계수는 5ppm 이하이다.
열팽창 계수는 대상 물질의 온도의 변화에 대한 부피의 변화 정도를 나타낸 계수이다. 열팽창 계수가 큰 경우 온도의 변화에 대한 대상 물질의 부피의 변화가 크고, 열팽창 계수가 작은 경우 온도의 변화에 대한 대상 물질의 부피의 변화가 작다. 제1 열팽창 계수보다 낮은 제2 열팽창 계수를 가지는 제2 폴리이미드 필름(220)은 고온과 저온에 반복적으로 노출되어도 부피 변화가 작다.
이로 인해, 제2 폴리이미드 필름(220)을 발광 영역(EA)에 배치하는 경우, 플라스틱 필름(200)을 형성하는 공정에서, 플라스틱 필름(200)이 어느 한 방향으로 말리는 것을 방지할 수 있다. 구체적으로, 도 7a 내지 도 7g에 도시된 바와 같이, 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계에서, 지지 기판(111)을 사용하게 된다. 발광 영역(EA)에 배치된 제2 폴리이미드 필름(200) 상에는 트랜지스터(T) 및 전극들(AND, CAT)이 증착되므로, 제2 폴리이미드 필름(200)은 고온에 노출된 상태로 볼 수 있다. 그리고, 플라스틱 필름(200)에서 지지 기판(111)이 분리되며, 제2 폴리이미드 필름(220)은 저온에 노출될 수 있다. 하지만, 제2 폴리이미드 필름(220)의 열팽창 계수는 작으므로, 노출되는 온도가 변하더라도, 제2 폴리이미드 필름(220)의 부피 변화가 작으므로, 플라스틱 필름(200)이 어느 한 방향으로 말리는 것을 방지할 수 있다.
투과 영역(TA)에 배치된 제1 폴리이미드 필름(210)과 발광 영역(EA)에 배치된 제2 폴리이미드 필름(220)은 단차가 없도록 배치한다. 즉, 플라스틱 필름(200)은 하나의 필름으로 구성되지 않고, 제1 폴리이미드 필름(210) 및 제2 폴리이미드 필름(220)를 포함하는 복수의 필름으로 구성된다. 또한, 투과 영역(TA)에 구비된 플라스틱 필름(200)의 두께와 표시영역(EA)에 구비된 플라스틱 필름(200)의 두께는 실질적으로 동일할 수 있다. 이에 따라, 플라스틱 필름(200)의 상부에 박막트랜지스터(TFT)를 용이하게 형성할 수 있다.
구체적으로, 도 4의 우측에 있는 두 그래프를 참조하면, 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220) 간의 단차가 -50um 또는 -100um 인 경우에는 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220)의 경계부에서 두께가 다르게 형성되는 것을 확인할 수 있다. 이와 같이, 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220)의 경계부에서, 두께가 다르게 형성되는 경우, 플라스틱 필름(200)의 상부에 박막트랜지스터(TFT)를 형성하기 전에, 별도의 평탄화막을 형성하여야 한다.
반면, 도 4의 좌측에 있는 두 그래프를 참조하면, 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220) 간의 단차가 10um 또는 0um 인 경우에는 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220)의 경계부에서 두께 차이가 발생하지 않는 것을 확인할 수 있다. 이와 같이, 제1 및 제2 폴리이미드 필름(210, 220)의 경계부에서 두께 차이가 발생하지 않으면, 플라스틱 필름(200) 상부가 평탄하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 플라스틱 필름(200)의 상부에 별도의 평탄화막을 형성할 필요 없이, 플라스틱 필름(200)의 상부에 박막트랜지스터(TFT)를 용이하게 형성할 수 있다.
한편, 제1 폴리이미드 필름(210)은 제1 산란도(Retardation of thickness, Rth)를 가지며, 제2 폴리이미드 필름(220)은 제1 산란도보다 높은 제2 산란도를 가진다.
여기에서, 산란도는 수학식 1과 같이 정의된다.
Figure 112021149170267-pat00001
여기에서, Nx는 X축 방향 굴절율, Ny는 Y축 방향 굴절율, Nz는 Z축 방향 굴절율, d는 측정 대상의 두께를 의미한다. Nx와 Ny는 측정 대상의 평면 방향 굴절율이고, Nz는 측정 대상의 두께 방향 굴절율이다. Nz가 Nx와 Ny에 비해 클수록 산란도는 커진다.
열팽창 계수와 산란도는 반비례하는 것이 폴리이미드 필름을 이루는 물질의 성질이다. 제1 폴리이미드 필름의 굴절율 차이는 50nm(나노미터) 이하이나, 제2 폴리이미드 필름(220)의 산란도는 사실상 ∞(무한대)이다.
산란도가 클수록 결정화(Crystallization) 정도가 크다. 결정화 정도가 크면 빛이 산란하지 않고 Z축 방향으로 진행하는 광 이방성이 발생한다. 제2 폴리이미드 필름(220)의 경우에는 말림 현상을 방지할 수 있는 대신, 빛을 매우 많이 산란시켜 투명하게 보이지 않아 투과 영역(TA)에서 사용이 제한되었다. 반면, 제1 폴리이미드 필름(210)은 투과 영역(TA)에서 빛을 산란시키지 않고 거의 그대로 통과시킬 수 있어 우수한 투명 표시장치를 구현할 수 있다.
발광 영역(EA)에는 트랜지스터(T), 애노드 전극(AND), 유기발광층(EL), 캐소드 전극(CAT)이 마련된다. 투과 영역(TA)에는 뱅크(W)가 마련된다.
트랜지스터(T)는 플라스틱 필름(200) 상에 마련되는 액티브층(ACT), 액티브층(ACT)상에 마련되는 제1 절연막(I1), 제1 절연막(I1)상에 마련된 게이트 전극(GE), 게이트 전극(GE)상에 마련된 제2 절연막(I2), 제2 절연막(I2)상에 마련되고 제1 및 제2 콘택홀들(CNT1, CNT2)을 통해 액티브층(ACT)에 접속되는 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)을 포함한다. 도 3에서는 트랜지스터(T)가 게이트 전극(GE)이 액티브층(ACT) 위에 배치되는 탑 게이트 방식으로 형성된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 게이트 전극(GE)이 액티브층(ACT) 아래에 배치되는 보텀 게이트 방식으로 형성될 수도 있다.
애노드 전극(AND)은 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)상에 마련된 층간 절연막(ILD)을 관통하는 제3 콘택홀(CNT3)을 통해 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)에 접속된다.
뱅크(W)는 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에 마련된다. 뱅크(W)는 서로 인접한 애노드 전극(AND)들은 전기적으로 절연시킬 수 있다. 뱅크(W)는 투과 영역(TA)에 마련되므로, 빛을 그대로 통과시킬 수 있는 화이트 뱅크 또는 투명 뱅크일 수 있다.
애노드 전극(AND)상에는 유기발광층(EL)이 마련된다. 유기발광층(EL)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기발광층(organic light emitting layer), 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 유기발광층(EL)과 뱅크(W)상에는 캐소드 전극(CAT)이 마련된다. 애노드 전극(AND)과 캐소드 전극(CAT)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기발광층으로 이동되며, 유기발광층에서 서로 결합하여 발광하게 된다.
도 3에서는 투명표시패널(110)이 전면(前面) 발광(top emission) 방식으로 구현된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 배면(背面) 발광(bottom emission) 방식으로 구현될 수도 있다. 전면 발광 방식에서는 유기발광층(EL)의 빛이 상부기판 방향으로 발광하므로, 트랜지스터(T)가 뱅크(W)과 애노드 전극(AND) 아래에 넓게 마련될 수 있다. 따라서, 전면 발광 방식은 배면 발광 방식에 비해 트랜지스터(T)의 설계 영역이 넓다는 장점이 있다. 전면 발광 방식에서는 애노드 전극(AND)이 알루미늄, 알루미늄과 ITO의 적층 구조와 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성되고, 캐소드 전극(CAT)이 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질로 형성되는 것이 바람직하다.
이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 화소 영역(P)들 각각은 입사되는 빛을 거의 그대로 통과시키는 투과 영역(TA)과 빛을 발광하는 발광 영역(EA)을 포함한다. 그 결과, 본 발명의 실시예는 플렉서블 표시장치의 투과 영역(TA)들을 통해 플렉서블 표시장치의 배면에 위치한 사물 또는 배경을 볼 수 있다.
이하에서는 도 5를 바탕으로 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치의 단면도를 설명하기로 한다.
제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치는 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA)을 가진다. 발광 영역(EA)은 적색 발광 영역(RE), 녹색 발광 영역(GE), 및 청색 발광 영역(BE)을 포함할 수 있다.
플라스틱 필름(200)은 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)을 포함한다. 플라스틱 필름(200)은 표시패널(110)의 하부를 지지하는 기판의 역할을 한다.
도 5를 참조하면, 제1 폴리이미드 필름(210)은 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA) 모두에 배치된다. 제2 폴리이미드 필름(220)은 발광 영역(EA)에서 제1 폴리이미드 필름(210) 상에 배치된다. 즉, 플라스틱 필름(200)의 후면은 제1 폴리이미드 필름(210)으로 이루어질 수 있다. 이에 따라, 플라스틱 필름(200)을 형성하는 공정에서, 제1 폴리이미드 필름(210)과 제2 폴리이미드 필름(220)의 경계부가 분리되는 것을 최소화할 수 있다.
구체적으로, 도 7a 내지 도 7g에 도시된 바와 같이, 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계에서, 지지 기판(111)을 사용하게 된다. 이 때, 플라스틱 필름(200)의 후면은 제1 폴리이미드 필름(210)으로만 이루어지므로, 지지 기판(111)은 제1 폴리이미드 필름(210)과만 접할 수 있다. 이에 따라, 지지 기판(111)을 플라스틱 필름(200)에서 분리하는 과정에서, 제1 폴리이미드 필름(210)만 물리적인 영향을 받을 수 있다. 따라서, 제1 실시 예와 비교하여, 지지기판(111)으로부터 플라스틱 필름(200)을 분리할 때, 제2 실시 예는 제1 폴리이미드 필름(210)과 제2 폴리이미드 필름(220)의 경계부가 분리되는 것을 최소화할 수 있다.
발광 영역(EA)에서, 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께는 제1 두께(T1)이며, 제2 폴리이미드 필름(220)의 두께는 제2 두께(T2)일 수 있다. 제1 두께(T1)가 두꺼울수록, 플라스틱 필름(200)으로부터 지지 기판(111)을 분리할 때, 제1 폴리이미드 필름(210)과 제2 폴리이미드 필름(220)의 경계부가 분리될 가능성을 감소시킬 수 있다. 또한, 제2 두께(T2)가 두꺼울수록, 제2 폴리이미드 필름(220)의 열팽창 계수를 감소시킬 수 있다.
또한, 제2 두께(T2)는 제1 두께(T1)보다 두꺼운 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)의 비는 1:2 내지 1:10일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
투과 영역(TA)에서 제1 폴리이미드 필름(210)과 발광 영역(EA)에서 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220) 사이에는 단차가 없도록 배치한다. 즉, 투과 영역(TA)에서 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께는 발광 영역(EA)에서 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)의 두께의 합과 같은 것이 바람직하다. 경계부에서 두께가 다르게 되는 경우, 플라스틱 필름(200)의 상부에 박막트랜지스터(TFT)를 형성하기 전에, 별도의 평탄화막을 형성하여야 한다. 경계부에서 두께 차이가 발생하지 않으면 플라스틱 필름(200) 상부가 평탄하게 형성될 수 있다. 이에 따라, 플라스틱 필름(200)의 상부에 별도의 평탄화막을 형성할 필요 없이 플라스틱 필름(200)의 상부에 형성되는 박막트랜지스터(TFT)를 용이하게 형성할 수 있도록 한다.
제 2 실시예의 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)은 제1 및 제2 열팽창 계수와 산란도를 가진다. 제1 및 제2 열팽창 계수와 산란도는 제 1 실시예의 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)과 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
발광 영역(EA)에는 트랜지스터(T), 애노드 전극(AND), 유기발광층(EL), 캐소드 전극(CAT)이 마련된다. 투과 영역(TA)에는 뱅크(W)가 마련된다. 제 2 실시예의 트랜지스터(T), 애노드 전극(AND), 유기발광층(EL), 캐소드 전극(CAT), 및 뱅크(W)는 제 1 실시예의 트랜지스터(T), 애노드 전극(AND), 유기발광층(EL), 캐소드 전극(CAT), 및 뱅크(W)와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
이하에서는 본 발명의 제 1 실시예예 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위한 방법을 도 3 및 도 7a 내지 도 7g를 참조하여 설명하기로 한다.
첫 번째로, 도 7a와 같이 지지기판(111) 상에 제1 폴리이미드 필름(210)을 형성한다. 이 때, 제팅(jetting)을 이용하여 제1 폴리이미드 필름(210)의 원료를 분사하여 형성할 수 있다. 제 1 폴리이미드 필름(210)은 화소 영역(P)의 투과 영역(TA)과 발광 영역(EA)에 모두 형성된다. (도 6의 S101)
두 번째로, 도 7b와 같이 화소 영역(P)의 발광 영역(EA)에 형성된 제1 폴리이미드 필름(210)을 건식 식각(dry etching)을 통해 제거한다. (도 6의 S102)
세 번째로, 도 7c와 같이 제2 폴리이미드 필름(220)을 제1 폴리이미드 필름(210)과 지지기판(111) 상부에 형성한다. 제1 폴리이미드 필름(210)이 남아 있는 투과 영역(TA)에서는 제2 폴리이미드 필름(220) 이 제1 폴리이미드 필름(210) 상부에 형성되고, 제1 폴리이미드 필름(210)이 제거된 발광 영역(EA)에서는 제2 폴리이미드 필름(220)이 지지기판(111) 상부에 형성된다.(도 6의 S103)
네 번째로, 도 7d와 같이 건식 식각을 통해 제1 폴리이미드 필름(210) 상부에 중첩적으로 형성된 제2 폴리이미드 필름(220)을 제거한다. 제1 폴리이미드 필름(210)은 투과 영역(TA)에 형성되고, 제2 폴리이미드 필름(220)은 발광 영역(EA)에 형성된다. 이 때, 제1 폴리이미드 필름(210)과 제2 폴리이미드 필름(220) 사이에 단차가 없도록 한다. 이를 위해 1차 패터닝 후 2차 코팅을 진행할 때 전면 식각을 통해서 평평한 면을 형성한다. (도 6의 S104)
다섯 번째로, 도 7e와 같이 트랜지스터(T), 지지기판(111)상에 마련되는 액티브층(ACT), 액티브층(ACT)상에 마련되는 제1 절연막(I1), 제1 절연막(I1)상에 마련된 게이트 전극(GE), 게이트 전극(GE)상에 마련된 제2 절연막(I2), 제2 절연막(I2)상에 마련되고 제1 및 제2 콘택홀들(CNT1, CNT2)을 통해 액티브층(ACT)에 접속되는 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)을 형성한다. (도 6의 S105)
여섯 번째로, 도 7f와 같이 애노드 전극(AND)을 형성한다. 애노드 전극(AND)은 소스 전극(SE)과 드레인 전극(DE)상에 마련된 층간 절연막(ILD)을 관통하는 제3 콘택홀(CNT3)을 통해 트랜지스터(T)의 드레인 전극(DE)에 접속된다. (도 6의 S106)
일곱 번째로, 도 7g와 같이 뱅크(W), 유기발광층(EL), 및 캐소드 전극(CAT)을 형성한다. 뱅크(W)는 투과 영역(TA)에 형성되며, 투명 또는 화이트 뱅크이다. 서로 인접한 애노드 전극(AND)들 사이에는 뱅크(W)가 마련되며, 이로 인해 서로 인접한 애노드 전극(AND)들은 전기적으로 절연될 수 있다.
유기발광층(EL)은 정공 수송층(hole transporting layer), 유기발광층(organic light emitting layer), 전자 수송층(electron transporting layer)을 포함할 수 있다. 유기발광층(EL)과 뱅크(W)상에는 캐소드 전극(CAT)이 마련된다. 애노드 전극(AND)과 캐소드 전극(CAT)에 전압이 인가되면 정공과 전자가 각각 정공 수송층과 전자 수송층을 통해 유기발광층(EL)으로 이동되며, 유기발광층(EL)에서 서로 결합하여 발광하게 된다.
도 3에서는 본 발명의 실시예에 따른 플렉서블 표시장치가 전면(前面) 발광(top emission) 방식으로 구현된 것을 예시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 배면(背面) 발광(bottom emission) 방식으로 구현될 수도 있다. 전면 발광 방식에서는 유기발광층(EL)의 빛이 상부기판 방향으로 발광하므로, 트랜지스터(T)가 뱅크(W)과 애노드 전극(AND) 아래에 넓게 마련될 수 있다. 따라서, 전면 발광 방식은 배면 발광 방식에 비해 트랜지스터(T)의 설계 영역이 넓다는 장점이 있다. 전면 발광 방식에서는 애노드 전극(AND)이 알루미늄, 알루미늄과 ITO의 적층 구조와 같은 반사율이 높은 금속물질로 형성되고, 캐소드 전극(CAT)이 ITO, IZO와 같은 투명한 금속물질로 형성되는 것이 바람직하다. (도 6의 S107)
마지막으로 플라스틱 기판(200)을 지지기판(111)으로부터 분리하면 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 표시장치가 완성된다. 플라스틱 기판(200)은 레이저 공정을 이용하여 지지기판(111)으로부터 분리될 수 있다.
이하에서는 본 발명의 제 2 실시예예 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위한 방법을 도 5 및 도 8a 내지 도 8d를 참조하여 설명하기로 한다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위한 방법은 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계, 플라스틱 필름(200) 상에 화소 영역(P)을 형성하는 단계, 및 플라스틱 필름(200)에서 상기 지지기판(111)을 제거하는 단계를 포함한다. 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(220)을 형성하는 단계는, 제1 열팽창 계수를 갖는 제1 폴리이미드 필름(210)과 제1 열팽창 계수보다 높은 제2 열팽창 계수를 갖는 제2 폴리이미드 필름(220)을 패터닝하며, 이는 첫 번째 단계에서 네 번째 단계로 나누어 설명한다.
첫 번째로, 도 8a와 같이 지지기판(111) 상에 제1 폴리이미드 필름(210)을 형성한다. 이는 제 1 실시예의 첫 단계와 동일하다.
두 번째로, 도 8b와 같이 화소 영역(P)의 발광 영역(EA)에서 건식 식각을 통해 제1 폴리이미드 필름(210)을 일부 제거한다. 바람직하게는, 제1 폴리이미드 필름(210)을 제1 두께(T1)만큼 남기고, 제2 두께(T2)만큼 제거한다.
세 번째로, 도 8c와 같이 제2 폴리이미드 필름(220)을 제1 폴리이미드 필름(210)의 상부에 형성한다. 발광 영역(EA)에서, 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께는 제1 두께(T1)이며, 제2 폴리이미드 필름(220)의 두께는 제2 두께(T2)일 수 있다. 제1 두께(T1)가 두꺼울수록, 플라스틱 필름(200)으로부터 지지 기판(111)을 분리할 때, 제1 폴리이미드 필름(210)과 제2 폴리이미드 필름(220)의 경계부가 분리될 가능성을 감소시킬 수 있다. 또한, 제2 두께(T2)가 두꺼울수록, 제2 폴리이미드 필름(220)의 열팽창 계수를 감소시킬 수 있다.
또한, 제2 두께(T2)는 제1 두께(T1)보다 두꺼운 것이 바람직하다. 예를 들어, 제1 두께(T1)와 제2 두께(T2)의 비는 1:2 내지 1:10일 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
네 번째로, 도 8d와 같이 화소 영역(P)의 투과 영역(TA)에서 건식 식각을 통해 제1 폴리이미드 필름(210) 상에 형성된 제2 폴리이미드 필름(220)을 제거한다. 투과 영역(TA)에서 제1 폴리이미드 필름(210)과 발광 영역(EA)에서 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220) 사이에 단차가 없도록 형성한다. 1차 패터닝 및 2차 코팅 후 일괄 전면 식각을 통해서 높이 단차 없이 평평한 면을 형성할 수 있다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 표시장치를 제조하기 위한 방법 중 플라스틱 필름(200) 상에 화소 영역(P)을 형성하는 단계 및 플라스틱 필름(200)에서 지지기판(111)을 제거하는 단계는 제 1 실시예와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
본 발명의 실시예는 열팽창 계수가 높은 제1 폴리이미드 필름과 열팽창 계수가 낮은 제2 폴리이미드 필름을 포함하는 플라스틱 필름을 기판으로 사용한다. 특히, 본 발명의 실시예는 제1 폴리이미드 필름을 투과 영역에 대응되게 배치하고, 제2 폴리이미드 필름을 발광 영역에 대응되게 배치한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 기판으로 사용되는 플라스틱 필름의 열팽창 계수를 낮출 수 있으므로, 플라스틱 필름을 지지 기판으로부터 분리할 때 플라스틱 필름이 말리는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 제1 폴리이미드 필름을 투과 영역과 발광 영역 모두에 배치하고, 제2 폴리이미드 필름을 발광 영역에서 제1 폴리이미드 필름 상에 배치한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 지지기판을 제1 폴리이미드 필름에만 접하게 하여, 지지 기판으로부터 플라스틱 필름을 분리할 때, 제1 폴리이미드 필름과 제2 폴리이미드 필름의 경계가 분리되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예는 투과 영역에 구비된 제1 폴리이미드 필름과 발광 영역에 구비된 제2 폴리이미드 필름의 사이, 또는 투과 영역에 구비된 제1 폴리이미드 필름과 발광 영역에 구비된 상기 제1 및 제2 폴리이미드 필름들 사이에 단차가 없게 형성한다. 이에 따라, 본 발명의 실시예는 플라스틱 필름의 상부를 평탄하게 형성할 수 있으므로, 플라스틱 필름의 상부에 박막트랜지스터층을 용이하게 형성할 수 있도록 한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형 실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
110: 투명표시패널 111: 지지 기판
112: 상부 기판 120: 게이트 구동부
130: 소스 드라이브 IC 140: 연성필름
150: 회로보드 160: 타이밍 제어부
200: 플라스틱 필름 210: 제1 폴리이미드 필름
220: 제2 폴리이미드 필름 EA: 발광 영역
TA: 투과 영역 RE: 적색 발광 영역
GE: 녹색 발광 영역 BE: 청색 발광 영역
P: 화소 영역 T: 트랜지스터
AND: 애노드 전극 EL: 유기발광층
CAT: 캐소드 전극 T1: 제1 두께
T2: 제2 두께 W: 뱅크

Claims (13)

  1. 플라스틱 필름(200); 및
    상기 플라스틱 필름(200) 상에 마련되는 화소 영역(P)을 포함하며,
    상기 화소 영역(P)은 입사되는 빛을 투과시키는 투과 영역(TA)과 빛을 발광하는 발광 영역(EA)를 포함하고,
    상기 플라스틱 필름(200)은 제1 열팽창 계수를 갖는 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제1 열팽창 계수보다 낮은 제2 열팽창 계수를 갖는 제2 폴리이미드 필름(220)을 포함하며,
    상기 플라스틱 필름(200)에서, 상기 투과 영역(TA)과 대향하는 영역의 두께와 상기 발광 영역(EA)과 대향하는 영역의 두께는 동일한, 플렉서블 표시장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제1 폴리이미드 필름(210)는 상기 투과 영역(TA)에 배치되고, 상기 제2 폴리이미드 필름(220)은 상기 발광 영역(EA)에 배치되며,
    상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제2 폴리이미드 필름(220)은 서로 중첩되는 영역이 없도록 인접하여, 동일한 층에 형성되는, 플렉서블 표시장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 발광 영역(EA)에서, 상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제2 폴리이미드 필름(220)은 서로 중첩되는 영역을 가지는, 플렉서블 표시장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제2 폴리이미드 필름(220)이 서로 중첩되는 영역에서,
    상기 제2 폴리이미드 필름(220)의 두께는 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께보다 두꺼운, 플렉서블 표시장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제2 폴리이미드 필름(220) 사이에는 단차가 없는 플렉서블 표시장치.
  6. 제 3 항에 있어서,
    상기 투과 영역(TA)에 구비된 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께는 상기 발광 영역(EA)에 구비된 상기 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)의 두께의 합과 동일한, 플렉서블 표시장치.
  7. 삭제
  8. 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계;
    상기 플라스틱 필름(200) 상에 화소 영역(P)을 형성하는 단계; 및
    상기 플라스틱 필름(200)에서 상기 지지기판(111)을 제거하는 단계를 포함하며,
    상기 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(220)을 형성하는 단계는,
    제1 열팽창 계수를 갖는 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제1 열팽창 계수보다 높은 제2 열팽창 계수를 갖는 제2 폴리이미드 필름(220)을 패터닝하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계는,
    제1 폴리이미드 필름(210)을 상기 지지기판(111) 상에 형성하는 단계;
    상기 화소 영역(P)의 발광 영역(EA)에서 건식 식각을 통해 상기 제1 폴리이미드 필름(210)을 제거하는 단계;
    제2 폴리이미드 필름(220)을 상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 지지기판(111) 상부에 형성하는 단계; 및
    건식 식각을 통해 상기 제1 폴리이미드 필름(210) 상부에 중첩적으로 형성된 제2 폴리이미드 필름(220)을 제거하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
  10. 제 8 항에 있어서, 상기 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계는,
    제1 폴리이미드 필름(210)을 상기 지지기판(111) 상에 형성하는 단계;
    상기 화소 영역(P)의 발광 영역(EA)에서 건식 식각을 통해 상기 제1 폴리이미드 필름(210)을 일부 제거하는 단계;
    제2 폴리이미드 필름(220)을 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 상부에 형성하는 단계; 및
    상기 화소 영역(P)의 투과 영역(TA)에서 건식 식각을 통해 상기 제1 폴리이미드 필름(210) 상에 형성된 상기 제2 폴리이미드 필름(220)을 제거하는 단계를 포함하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
  11. 제 10 항에 있어서, 제2 폴리이미드 필름(220)을 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 상부에 형성하는 단계는,
    상기 발광 영역(EA)에서 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께를 상기 제2 폴리이미드 필름(220)의 두께보다 작도록 형성하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
  12. 제 9 항에 있어서, 상기 지지기판(111) 상에 플라스틱 필름(200)을 형성하는 단계는,
    상기 제1 폴리이미드 필름(210)과 상기 제2 폴리이미드 필름(220) 사이에 단차가 없도록 형성하는 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
  13. 제 10 항에 있어서, 상기 화소 영역(P)의 투과 영역(TA)에서 건식 식각을 통해 상기 제1 폴리이미드 필름(210) 상에 형성된 상기 제2 폴리이미드 필름(220)을 제거하는 단계는,
    상기 투과 영역(TA)에 구비된 상기 제1 폴리이미드 필름(210)의 두께는 상기 발광 영역(EA)에 구비된 상기 제1 및 제2 폴리이미드 필름들(210, 220)의 두께의 합과 동일하도록 형성하는, 플렉서블 표시장치의 제조 방법.
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