CN104870907B - 除湿系统 - Google Patents

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Abstract

设置干燥腔(S2)，并设置主除湿单元(40)和终端除湿单元(50)，能够实现干燥无尘室用除湿系统(10)的节能化和低成本化，其中，湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气湿度的空气被供往干燥腔(S2)，上述主除湿单元(40)将空气供往干燥无尘室(S1)，上述终端除湿单元(50)对从干燥无尘室(S1)供往干燥腔(S2)的空气进行处理。

Description

除湿系统
技术领域
本发明涉及一种将除湿后的空气供往室内的除湿系统。
背景技术
迄今为止，将除湿后的空气供往室内的除湿系统已为人所知。在专利文献1、2中公开有这类的除湿系统。
在专利文献1、2中记载有在空气通路上将吸附转子配置为多级串联的结构。空气通路由供气通路和排气通路构成，该供气通路将利用吸附转子处理后的室外空气供往室内，该排气通路将室内空气往室外排出。吸附转子构成为：横跨配置在供气通路和排气通路上，能够以两通路之间的旋转轴为中心进行旋转。
吸附转子一方面吸附在供气通路中流动的空气的水分而进行除湿，另一方面往在排气通路中流动的空气排放水分而再生。为了将空气加热以用于吸附转子的再生，在排气通路上设有空气加热用的加热器。当吸附转子中吸附有水分的部分的水分吸附量增多时，吸附转子旋转使该部分移往排气通路，并且该部分在排气通路处排放水分而再生后，再次用于吸附侧。根据上述结构，通过连续地将在吸附侧的空气通路中流动的低湿度空气供往室内，从而对室内除湿，室内的空气则是被加热来使吸附转子再生后被往室外排放。
室外空气多次通过吸附转子，供往室内的空气从而成为低露点的空气，这样的空气例如可以使用作为供往制造锂离子电池的干燥无尘室的空气(露点大约为-50℃的空气)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第3762138号公报
专利文献2：日本公开专利公报特开2011－64439号公报
发明内容
－发明所要解决的技术问题－
但是，在使用了多个吸附转子的系统中，有必要对每个吸附转子设置再生用的加热器来使各吸附转子构成为除湿再生单元，吸附转子本身即是高成本的部件，而且由于加热器使吸附转子再生的再生温度较高，因此加热器产生热量所需要的运转成本也增加。此外，在以多级的方式使用吸附转子的系统中，虽然通过吸附转子后的除湿侧空气的湿度下降，但是空气的温度会因为空气通过吸附转子时的吸附热、以及因为加热器的再生加热而上升。因此，有必要在吸附转子的入口处使除湿侧空气冷却，从而需要用于该冷却的能源。
特别是在锂离子电池的生产过程中，空调系统(除湿系统)的能源使用量占了大约50％，因此谋求该系统的节能化，对于锂离子电池的低成本化大有帮助。然而，实际上，用于使吸附转子再生的热量高，因此除湿系统的低成本化非常难以实现。
本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于使除湿系统能够节能化和低成本化。
－用以解决技术问题的技术方案－
第一方面的发明以包括将除湿空气供往干燥无尘室S1中的除湿装置40、50的除湿系统作为前提。
该除湿系统的特征在于，包括干燥腔S2，供往上述干燥腔S2的空气的湿度低于供往干燥无尘室S1的空气的湿度，上述除湿装置40、50包括：设置在将空气供往干燥无尘室S1的供气通路20上的主除湿单元40；以及处理供往干燥腔S2的空气的终端除湿单元50，主除湿单元40包括切换为吸附部和再生部的第一吸附部件43、44和第一吸附部件45，终端除湿单元50包括第二吸附部件51、52，上述第二吸附部件51、52切换为将干燥无尘室S1的空气除湿后供往干燥腔S2的除湿部和利用干燥无尘室S1的空气再生的再生部。
在此，以往将整个干燥无尘室S1除湿成露点温度例如达到－50℃的环境，然而在该第一方面的发明中，如果通过在实际上需要如－50℃这样的低露点温度的环境的区域设置干燥腔S2，来仅将干燥腔S2设置成－50℃的低露点环境，则供往干燥无尘室S1的空气的露点温度高于上述温度也无妨。并且，能够在终端除湿单元50进一步对从主除湿单元40供往干燥无尘室S1的空气进行处理后将上述空气供往干燥腔S2。此外，干燥无尘室S1的空气还用作使终端除湿单元50的再生部再生的空气。
第二方面的发明的特征在于，在第一方面的发明中，上述干燥腔S2设置在干燥无尘室S1的内部。
在该第二方面的发明中，能够在终端除湿单元50进一步对从主除湿单元40供给到干燥无尘室S1的空气进行处理来将上述空气设为低露点温度的空气后供往干燥无尘室S1内部的干燥腔S2。
第三方面的发明的特征在于，在第一方面的发明中，上述干燥腔S2设置在干燥无尘室S1的外部。
在该第三方面的发明中，能够在终端除湿单元50进一步对从主除湿单元40供给到干燥无尘室S1的空气进行处理来将上述空气设为低露点温度的空气后供往干燥无尘室S1外部的干燥腔S2。
第四方面的发明的特征在于，在第一至第三方面的发明中的任一项发明中，包括再生通路32，上述再生通路32将从终端除湿单元50的再生部流出的空气供往主除湿单元40的再生部。
在该第四方面的发明中，利用已使终端除湿单元50再生的空气，来使主除湿单元40再生。
第五方面的发明的特征在于，在第一至第四方面的发明中的任一项发明中，主除湿单元40包括切换式除湿单元41和转子式除湿单元42，切换式除湿单元41构成为：包括作为上述第一吸附部件43、44而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器43、44，从而利用吸附侧的吸附热交换器43、44对空气进行除湿；转子式除湿单元42构成为：包括作为上述第一吸附部件45的吸附转子45，从而对利用切换式除湿单元41除湿后的空气进行除湿，上述吸附转子45的一部分构成为吸附部并且另一部分构成为再生部；终端除湿单元50构成为：包括作为上述第二吸附部件51、52而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器51、52，并利用吸附侧的热交换器对干燥无尘室S1的空气进行除湿后供往干燥腔S2。
在该第五方面的发明中，在主除湿单元40中，在包括吸附热交换器43、44的切换式除湿单元41处进行除湿之后的空气被供往具有吸附转子45的转子式除湿单元42而进一步被除湿。通过了吸附热交换器43、44的除湿空气既处于低湿度状态，又处于低温状态，因此抑制在吸附转子45中产生吸附热。此外，终端除湿单元50也是使用了吸附热交换器51、52的切换式除湿单元，因此干燥无尘室S1的空气成为低湿度且低温空气。
第六方面的发明的特征在于，在第一至第五方面的发明中的任一项发明中，在上述除湿系统上设置有多个干燥腔S2，与每个上述干燥腔S2对应地设置有终端除湿单元50。
在该第六方面的发明中，向每个干燥腔S2供给利用终端除湿单元50处理过的低露点的空气。
－发明的效果－
根据本发明，能够在终端除湿单元50进一步对从主除湿单元40供给到干燥无尘室S1的空气进行处理后将上述空气供往干燥腔S2，因此，在主除湿单元40处实现的空气的露点温度高于供往干燥腔S2的空气的露点温度也无妨，从而能够减少在主除湿单元40中进行除湿所需的功耗。此外，能够提高在主除湿单元40处实现的空气的露点温度，因此，还能够减少再生所需的功耗。而且，在使终端除湿单元50再生时使用的是干燥无尘室S1的低露点空气，因此能够使其高效地再生，从而还能够减少再生能耗。
根据上述第二方面的发明，利用终端除湿单元50对干燥无尘室S1的空气进行处理后，将上述空气供往设置在干燥无尘室S1的内部的干燥腔S2，由此既能够满足干燥腔S2需要低露点空气的这一条件，又能够实现节能化。
根据上述第三方面的发明，利用终端除湿单元50对干燥无尘室S1的空气进行处理后，将上述空气供往设置在干燥无尘室S1的外部的干燥腔S2，由此既能够满足干燥腔S2需要低露点空气的这一条件，又能够实现节能化。
根据上述第四方面的发明，使终端除湿单元50再生后的空气依然是低湿度空气，因此能够用该空气使主除湿单元40再生。而且，通过这种方式，还能够减少用于使主除湿单元40再生的加热能耗。
根据上述第五方面的发明，在主除湿单元40中，在包括吸附热交换器43、44的切换式除湿单元41处进行除湿之后的空气被供往具有吸附转子45的转子式除湿单元42而进一步被除湿。此时，通过了主除湿单元40的吸附热交换器43、44的除湿空气既处于低湿度状态，又处于低温状态，由此抑制在吸附转子45中产生吸附热，因此能够抑制吸附转子45的再生能耗。此外，终端除湿单元50也是使用了吸附热交换器51、52的切换式除湿单元，因此干燥无尘室S1的空气成为低湿度且低温的空气，从而有效地抑制终端除湿单元50、主除湿单元40的再生能耗。
根据上述第六方面的发明，与每个干燥腔S2对应地设置终端除湿单元50，因此能够将各干燥腔S2所要求的露点温度的空气供往干燥腔S2。
附图说明
图1是本发明的实施方式所涉及的除湿系统的结构图。
图2是表示切换式除湿单元的简要结构的立体图。
图3是在图1的除湿系统中示出空气状态的图。
图4是图1的除湿系统的简要结构图。
图5是变形例1所涉及的除湿系统的简要结构图。
图6是变形例2所涉及的除湿系统的简要结构图。
图7是变形例3所涉及的除湿系统的简要结构图。
图8是变形例4所涉及的除湿系统的简要结构图。
图9是变形例5所涉及的除湿系统的简要结构图。
图10是变形例6所涉及的除湿系统的简要结构图。
图11是变形例7所涉及的除湿系统的简要结构图。
图12是变形例8所涉及的除湿系统的系统结构图。
图13是变形例9所涉及的除湿系统的系统结构图。
具体实施方式
下面，根据附图对本发明的实施方式进行详细的说明。
对本发明的实施方式进行说明。
图1所示的实施方式涉及对室内空间S进行除湿的除湿系统10。该除湿系统10将室外空气OA除湿，并将该空气作为供气SA供往室内。作为除湿对象的室内空间S为锂离子电池生产线的干燥无尘区域，该干燥无尘区域需要低露点空气，图1的除湿系统10构成锂离子电池生产线的一部分。
上述室内空间S包括干燥无尘室S1和干燥腔S2。干燥腔S2设置在干燥无尘室S1中尤其需要低露点空气(在本实施方式中是露点温度为－50℃的空气)的区域。另一方面，在干燥无尘室S1内的空间中，除干燥腔S2之外的区域不需要露点温度为－50℃的空气，通过向该区域供给露点温度为－35℃的空气即可满足条件。这样，在干燥无尘室S1内设置有干燥腔S2，其中，露点比供往该干燥无尘室S1的空气的露点低的空气供往该干燥腔S2。其中，干燥腔S2可以是人员可进入的空间，也可以是人员不进入，而是将手伸入干燥腔S2来进行作业的那样比较小的空间。
该除湿系统10包括用于将室外空气OA除湿后作为供气SA供往室内空间S的供气通路20。此外，除湿系统10包括将干燥无尘室S1中的室内空气RA作为排气EA排往室外的排气通路30。
该除湿系统10包括主除湿单元40和终端除湿单元50以用作除湿装置40、50，其中，上述主除湿单元40设置在供气通路20上而对室外空气OA进行除湿，上述终端除湿单元50对供往干燥腔S2的空气进行处理。上述供气通路20包括通过主除湿单元40的第一供气通路21和通过终端除湿单元50的第二供气通路22。上述排气通路30包括通过主除湿单元40的第一排气通路31和通过终端除湿单元50的第二排气通路32。
第一供气通路21是将在主除湿单元40中处理过的空气供往干燥无尘室S1内的通路，第二供气通路22是在终端除湿单元50中处理干燥无尘室S1内的空气后将上述空气供往干燥腔S2的通路。
第二排气通路32是使干燥无尘室S1内的空气通过终端除湿单元50的通路，第一排气通路31是使通过了终端除湿单元50的空气通过主除湿单元40后排往室外的通路。
主除湿单元40包括切换式除湿单元41和转子式除湿单元42。切换式除湿单元41包括交互地在吸附侧与再生侧之间进行切换的两个吸附热交换器43、44，切换式除湿单元41构成为利用吸附侧的吸附热交换器43、44对空气进行除湿。吸附热交换器43、44是在空气热交换器的翅片的表面载有吸附剂的热交换器。
切换式除湿单元41采用对壳体内的空气的流动进行切换的结构，以便在第一供气通路21中流动的空气总是通过吸附侧的吸附热交换器43、44并且在第一排气通路31中流动的空气总是通过再生侧的吸附热交换器44、43，在图1中省略图示。一对吸附热交换器43、44由制冷剂回路的两个热交换器构成，上述一对吸附热交换器43、44构成为：通过使制冷剂的循环方向反转，来使作为蒸发器的热交换器和作为冷凝器的热交换器调换过来，从而交互切换为吸附侧与再生侧。
图2图示了切换式除湿单元41的简要结构。切换式除湿单元41由多个(在该实施方式中是五个)子单元46构成。子单元46分别具有箱状的壳体46a，在图2中未图示的一对上述吸附热交换器43、44收纳在各壳体46a内。
在各子单元46的壳体46a设置有供室外空气流入的处理入口41a、供再生空气流入的再生入口41b、供处理空气流出的处理出口41c以及供排气流出的再生出口41d。上述多个子单元46在供气通路20和排气通路30中是并联的。
在该结构中，在供气通路20中流动的室外空气分流而从处理入口41a流入各子单元46，并在吸附侧的吸附热交换器43、44中被除湿后从处理出口41c流出而流向下游侧。在排气通路30中流动的室内空气分流而从再生入口41b流入各子单元46，并使再生侧的吸附热交换器44、43再生后从再生出口41d流出而排往室外。一对吸附热交换器43、44在规定时刻(例如每隔3分钟)交互切换为吸附侧与再生侧。上述壳体46a构成为：与一对吸附热交换器43、44切换为吸附侧与再生侧相对应地，空气通路中的空气的流动也被切换。
转子式除湿单元42包括吸附转子45，上述吸附转子45的一部分构成为吸附部并且另一部分构成为再生部，转子式除湿单元42构成为以旋转轴45a为中心旋转。吸附转子45具有在蜂窝结构的基材表面上载有吸附剂的结构，在第一供气通路21中流动的空气所通过的部分即为吸附部，在第一排气通路31中流动的空气所通过的部分即为再生部。于是，转子式除湿单元42构成为：在吸附转子45的吸附部进一步对在切换式除湿单元41的吸附侧的吸附热交换器43、44处除湿后的空气进行除湿。上述吸附热交换器43、44和吸附转子45均是切换为吸附部和再生部的第一吸附部件。
终端除湿单元50包括交互地在吸附侧与再生侧之间进行切换的两个吸附热交换器51、52，上述终端除湿单元50构成为：在吸附侧的吸附热交换器51、52处对干燥无尘室S1的空气进行除湿后将上述空气供往干燥腔S2。终端除湿单元50的吸附热交换器51、52是切换为除湿部与再生部的第二吸附部件，上述除湿部是将干燥无尘室S1中的空气除湿后供往干燥腔S2的除湿部，上述再生部是利用干燥无尘室中的空气来再生的再生部。
在上述第一供气通路21中，在主除湿单元40的上游侧配置有预冷热交换器61，在主除湿单元40的下游侧配置有再热热交换器62。在第二供气通路22中，在终端除湿单元50的下游侧配置有第二再热热交换器63。在第一排气通路31中，在主除湿单元40的下游侧配置有排气冷却热交换器64。
在上述干燥无尘室S1内设置有多个干燥腔S2，与每个干燥腔S2对应地设置有终端除湿单元50。在第二再热热交换器63的下游侧亦即空气流入各干燥腔S2的空气流入口处设置有蜂窝结构的吸湿材65。在干燥腔S2设置有使干燥腔S2内的低露点的空气流向干燥无尘室S1的流出路S21。
第二排气通路32是将从成为终端除湿单元50的再生部的吸附热交换器52、51流出的空气供往主除湿单元40的再生部的再生通路。在干燥无尘室S1设置有将干燥无尘室S1中的低露点的空气排出的第三排气通路33，该第三排气通路33在终端除湿单元50的吸附热交换器52、51的下游侧与该第二排气通路32汇合。
上述预冷热交换器61、排气冷却热交换器64、再热热交换器62以及第二再热热交换器63连接在未图示的热量回收单元的制冷剂回路上。而且，该制冷剂回路构成为：将上述再热热交换器62和第二再热热交换器63用作冷凝器、将预冷热交换器61和排气冷却热交换器64用作蒸发器，来进行制冷循环。
－运转动作－
接下来，对该除湿系统10的运转动作进行说明。图3是示出了从A点到O点各点处的空气状态的图，图4是简化了除湿系统10的图。图3的各点的四个栏中，在左上栏示出风量(m3/min)，在左下栏示出绝对湿度(g/kg)，在右上栏示出干球温度DB(℃)，在右下栏示出露点温度DP(℃)。
在供气通路20中流动的A点的室外空气在预冷热交换器61处被冷却除湿后，流入主除湿单元40而被除湿。该空气的状态进一步以B点、C点、D点以及E点的顺序改变而成为露点温度为－35℃的空气，然后被供往干燥无尘室S1。干燥无尘室S1的F点的空气因通过终端除湿单元50而使得其状态从G点变为H点，从而露点温度变为－50℃，然后被供往干燥腔S2。干燥腔S2中的空气依次排往干燥无尘室S1。
在排气通路30中，因终端除湿单元50而使得状态从I点变为K点的空气与J点的空气得以混合，从而空气变成L点的状态。图3所示的L点的空气是使用了三台终端除湿单元50时的例子。L点的空气通过主除湿单元40和排气冷却热交换器，其状态以M点、N点以及O点的顺序改变，并从排气通路30排往室外。
－实施方式的效果－
根据本实施方式，进一步在终端除湿单元50处对从主除湿单元40供往干燥无尘室S1的空气进行处理后，将上述空气供往干燥腔S2。由此，在主除湿单元40处实现的空气的露点温度高于供往干燥腔S2的空气的露点温度也无妨，因此能够减少除湿所需的功耗。
此外，使在主除湿单元40处实现的空气的露点温度高于干燥腔S2所需的空气的露点温度，因此通过抑制再生的水分量，还能够降低再生所需的功耗。特别是，在该实施方式中,使终端除湿单元再生后的空气是低湿度空气，因此能够在不对L点的空气进行加热的情况下使主除湿单元40再生。
而且，在主除湿单元40中，在包括吸附热交换器43、44的切换式除湿单元41处进行除湿之后的空气在转子式除湿单元42的吸附转子45处进一步被除湿之际，通过了吸附热交换器43、44的除湿空气既处于低湿度状态，又处于低温状态。由此，抑制在吸附转子45中产生吸附热，因此抑制吸附转子45的再生能耗。
此外，终端除湿单元50采用使用了吸附热交换器51、52的切换式除湿单元，因此干燥无尘室S1中的空气变成低湿度并且低温的空气。而且，当使终端除湿单元50再生时使用的是干燥无尘室S1中的低露点空气，因此能够使其高效地再生，从而能够抑制终端除湿单元50的再生能耗。
而且，在本实施方式中，与每个干燥腔S2对应地设置了终端除湿单元50，因此能够在各终端除湿单元50处可靠地生成各干燥腔S2所需的露点温度的空气。此外，在从终端除湿单元50吹向干燥腔S2的吹出口处配置了吸湿材65，因此能够抑制温度和湿度随时间发生变化。
(其它的实施方式)
也可以使上述实施方式具有如下的结构。
图5所示的变形例1是一种图4的实施方式中的终端除湿单元50不是由吸附热交换器51、52构成而是由吸附转子53构成的例子。在该结构中，通过使用主除湿单元40和终端除湿单元50，在主除湿单元40处实现的空气的露点温度高于供往干燥腔S2的空气的露点温度也无妨，因此能够抑制除湿所需的功耗，并且还能够抑制再生所需的功耗。
图6所示的变形例2是一种图4的实施方式中的主除湿单元40由两个切换式除湿单元41构成的例子。图7所示的变形例3是一种图6所示的变形例2中的终端除湿单元50由吸附转子53构成的例子。
图8所示的变形例4是一种图4的实施方式中的主除湿单元40由一个切换式除湿单元41构成的例子。图9所示的变形例5是一种图8所示的变形例4中的终端除湿单元50由吸附转子53构成的例子。
图10所示的变形例6是一种图4的实施方式中的主除湿单元40由一个转子式除湿单元42构成的例子。图11所示的变形例7是一种图10所示的变形例6中的终端除湿单元50由吸附转子53构成的例子。
从变形例2到变形例7中，通过利用主除湿单元40和终端除湿单元50，在主除湿单元40处实现的空气的露点温度高于供往干燥腔S2的空气的露点温度也无妨，因此能够抑制除湿所需的功耗,并且还能够抑制再生所需的功耗。
在图1～图3所示的实施方式1中示出了将干燥腔S2设置在干燥无尘室S1的内部的情况下的系统结构，然而如图12、图13所示，还可以将干燥腔S2设置在干燥无尘室S1的外部。
图12所示的变形例8是在干燥无尘室S1的附近设置干燥腔S2的例子，在此示出的是干燥无尘室S1和干燥腔S2并不是相邻的空间的情况。图13所示的变形例9是一种将干燥腔S2与干燥无尘室S1相邻地设置的例子，在此示出的是干燥无尘室S1与干燥腔S2是相邻的空间的情况。
在这些变形例8、变形例9中，除了干燥腔S2的设置状态、从终端除湿单元50到干燥腔S2的第二供气通路22的结构以及将干燥腔S2的空气排往室外的流出路S21的结构之外，其他结构与图1中的例子相同。
在这些变形例8、变形例9的结构中，在主除湿单元40处除湿过的露点温度为－35℃的空气被供往干燥无尘室S1，该干燥无尘室S1的空气在终端除湿单元50处进一步被除湿而露点温度达到－50℃，并通过第二供气通路22被供往干燥无尘室S1外部的干燥腔S2。其它的空气的流动则与图1～图3中的实施方式相同。
根据上述变形例8、变形例9，通过在终端除湿单元50处理干燥无尘室S1的空气后将上述空气供往设置在干燥无尘室S1的外部的干燥腔S2，从而与上述实施方式同样地，能够既满足干燥腔S2所需的低露点空气的条件，又能够实现节能化。
上述实施方式只不过是示例而已，不得以此对本发明、本发明的应用装置及其用途范围做限定性解释。例如，图3所示的各点的空气状态可根据干燥无尘室、干燥腔所需的空气的露点温度、装置的具体结构等而改变。
－产业实用性－
如以上的说明，本发明对于将除湿过的空气供往室内的除湿系统有用。
－符号说明－
10除湿系统
20供气通路
32再生通路
40主除湿单元(除湿装置)
41切换式除湿单元
42转子式除湿单元
43吸附热交换器(第一吸附部件)
44吸附热交换器(第一吸附部件)
45吸附转子(第一吸附部件)
50终端除湿单元(除湿装置)
51吸附热交换器(第二吸附部件)
52吸附热交换器(第二吸附部件)
S1干燥无尘室
S2干燥腔

Claims (10)

1.一种除湿系统，包括将除湿空气供往干燥无尘室(S1)的除湿装置(40、50)，上述除湿系统的特征在于：
上述除湿系统包括干燥腔(S2)，供往上述干燥腔(S2)的空气的湿度低于供往干燥无尘室(S1)的空气的湿度，
上述除湿装置(40、50)包括：设置在将空气供往干燥无尘室(S1)的供气通路(20)上的主除湿单元(40)；以及处理供往干燥腔(S2)的空气的终端除湿单元(50)，
主除湿单元(40)包括切换为吸附部和再生部的第一吸附部件I(43、44)、第一吸附部件II(45)，
终端除湿单元(50)包括第二吸附部件(51、52)，上述第二吸附部件(51、52)切换为将干燥无尘室(S1)的空气除湿后供往干燥腔(S2)的除湿部和利用干燥无尘室(S1)的空气再生的再生部。
2.根据权利要求1所述的除湿系统，其特征在于：
上述干燥腔(S2)设置在干燥无尘室(S1)的内部。
3.根据权利要求1所述的除湿系统，其特征在于：
上述干燥腔(S2)设置在干燥无尘室(S1)的外部。
4.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的除湿系统，其特征在于：包括：
再生通路(32)，上述再生通路(32)将从终端除湿单元(50)的再生部流出的空气供往主除湿单元(40)的再生部。
5.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的除湿系统，其特征在于：
主除湿单元(40)包括切换式除湿单元(41)和转子式除湿单元(42)，切换式除湿单元(41)构成为：包括作为上述第一吸附部件I(43、44)而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器(43、44)，从而利用吸附侧的吸附热交换器(43、44)对空气进行除湿；转子式除湿单元(42)构成为：包括作为上述第一吸附部件II(45)的吸附转子(45)，从而对利用切换式除湿单元(41)除湿后的空气进行除湿，上述吸附转子(45)的一部分构成为吸附部并且另一部分构成为再生部，
终端除湿单元(50)构成为：包括作为上述第二吸附部件(51、52)而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器(51、52)，并利用吸附侧的吸附热交换器(51、52)对干燥无尘室(S1)的空气进行除湿后供往干燥腔(S2)。
6.根据权利要求4所述的除湿系统，其特征在于：
主除湿单元(40)包括切换式除湿单元(41)和转子式除湿单元(42)，切换式除湿单元(41)构成为：包括作为上述第一吸附部件I(43、44)而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器(43、44)，从而利用吸附侧的吸附热交换器(43、44)对空气进行除湿；转子式除湿单元(42)构成为：包括作为上述第一吸附部件II(45)的吸附转子(45)，从而对利用切换式除湿单元(41)除湿后的空气进行除湿，上述吸附转子(45)的一部分构成为吸附部并且另一部分构成为再生部，
终端除湿单元(50)构成为：包括作为上述第二吸附部件(51、52)而交互地切换为吸附侧与再生侧的两个吸附热交换器(51、52)，并利用吸附侧的吸附热交换器(51、52)对干燥无尘室(S1)的空气进行除湿后供往干燥腔(S2)。
7.根据权利要求1至3中任一项权利要求所述的除湿系统，其特征在于：
在上述除湿系统上设置有多个干燥腔(S2)，
与每个上述干燥腔(S2)对应地设置有终端除湿单元(50)。
8.根据权利要求4所述的除湿系统，其特征在于：
在上述除湿系统上设置有多个干燥腔(S2)，
与每个上述干燥腔(S2)对应地设置有终端除湿单元(50)。
9.根据权利要求5所述的除湿系统，其特征在于：
在上述除湿系统上设置有多个干燥腔(S2)，
与每个上述干燥腔(S2)对应地设置有终端除湿单元(50)。
10.根据权利要求6所述的除湿系统，其特征在于：
在上述除湿系统上设置有多个干燥腔(S2)，
与每个上述干燥腔(S2)对应地设置有终端除湿单元(50)。
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