CN104704940A - 支撑销及基板处理装置 - Google Patents

Abstract

该支撑销（9）在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，该支撑销具备：固定部（91），能够固定于底座板；磁铁部件（95），配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件（94），配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。

Description

支撑销及基板处理装置

技术领域

本发明涉及支撑销及基板处理装置，特别涉及支撑基板的支撑销及具备该支撑销的基板处理装置。

背景技术

以往，已知有支撑基板的支撑销。例如在日本特开2013-38205号公报中公开了这样的支撑销。

在上述日本特开2013-38205号公报中，公开了在利用磁力固定于底座部的状态下从背面支撑基板的销模块。该销模块具备：基部（固定部），能够固定于底座部；及磁铁部件（磁铁部件），配置于基部的内部，并且构成为在基部的内部上升和下降。而且，销模块构成为在磁铁部件下降时利用作用于磁铁部件与底座部之间的磁力将基部固定于底座部。而且，销模块构成为，通过由吸嘴从上方真空吸引磁铁部件来使磁铁部件上升，减弱作用于磁铁部件与底座部之间的磁力，从而解除基部与底座部被固定的固定状态。

专利文献1：日本特开2013-38205号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在上述日本特开2013-38205号公报的销模块中，通过真空吸引磁铁部件来解除基部与底座部被固定的固定状态，因此存在如下问题点：在真空吸引的吸引力降低的情况下，作用于磁铁部件与底座部之间的磁力减弱，无法解除基部与底座部的固定状态。

而且，在通过真空吸引解除磁铁部件的固定状态的情况下，也存在下述不良情况。具体来说，真空吸引的力（真空吸引力）由真空压力与外部的压力差（1个大气压力）和磁铁部件被吸引的部分（吸引面积）的积来确定，因此为了更稳固地将基部与底板部固定，在使用磁力大的磁铁部件的情况下需要增大吸引面积。其结果是，支撑销的设置面积增大，因此存在固定于底座部的支撑销的数量和间距受到制约的问题点。

如上所述，考虑到在通过使用真空吸引来真空吸引磁铁部件（磁铁部件）以解除基部与底座部的固定状态的情况下，会产生各种各样的问题点。

本发明为了解决上述的课题而作出。本发明的一个目的在于提供能够解除固定部与底座板的固定状态而不使用真空吸引的支撑销和基板处理装置。

用于解决课题的方案

本发明的第一方面的支撑销在通过磁力而被固定于底座板的状态下对基板从背面进行支撑，该支撑销的特征在于，具备：固定部，能够固定于底座板；磁铁部件，配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件，配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。

在本发明的第一方面的支撑销中，如上所述，通过设置利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态的磁性体部件，能够利用在磁铁部件与磁性体部件之间作用的磁力，将使固定部固定于底座板的固定状态的磁铁部件从底座板拉开。由此，能够不使用真空吸引而解除固定部与底座板的固定状态。而且，能够利用磁铁部件与磁性体部件之间的磁力将使固定部固定于底座板的磁铁部件从底座板拉开而不使用真空吸引，因此，即使在为了将固定部与底座板更稳固地固定而使用磁力大的磁铁部件的情况下，也不必增大磁铁部件（磁铁部件的面积）。其结果是，抑制了支撑销的设置面积增大，能够防止固定于底座板的支撑销的数量和间距受到制约。

在上述第一方面的支撑销中，优选的是，构成为，在磁铁部件配置于固定部的内部的下降端的状态下，维持固定部与底座板的固定状态，在磁铁部件通过磁性体部件上升而配置于固定部的内部的上升端的状态下，固定部与底座板的固定状态被解除。若如此构成，则通过将磁铁部件从配置于固定部的内部的下降端的固定状态切换至配置于上升端的固定状态被解除的状态（固定解除状态），能够容易地将磁铁部件从底座板拉开。

在该情况下，优选的是，构成为，在磁铁部件配置于下降端的状态下，磁性体部件通过下降而与磁铁部件接触，然后，磁性体部件通过上升而利用磁性体部件与磁铁部件之间的磁力使磁铁部件上升。若如此构成，则能够在通过磁铁部件与磁性体部件的接触而使作用在配置于下降端的磁铁部件与磁性体部件之间的磁力增大的状态下使磁性体部件上升，因此能够可靠地将磁铁部件从底座板拉开。

在上述磁性体部件与磁铁部件接触的结构中，优选的是，固定部包括：下降端侧保持部，在磁铁部件与底座板未接触的状态下将磁铁部件保持在下降端；及上升端侧保持部，在磁性体部件与磁铁部件接触的状态下使磁性体部件上升时将磁铁部件保持在上升端。若如此构成，则能够利用下降端侧保持部将磁铁部件保持在下降端，因此能够在稳定的状态下将固定部固定于底座板。而且，能够利用上升端侧保持部保持与磁铁部件接触的磁性体部件，因此能够在稳定的状态下维持将磁铁部件从底座板拉开的状态。

在上述固定部包括下降端侧保持部的结构中，优选的是，下降端侧保持部构成为向固定部的内部一侧突出，并且构成为以磁铁部件与底座板之间具有第一间隙的状态保持磁铁部件，第一间隙设定为：使得在磁铁部件配置于下降端侧保持部时维持固定部与底座板的固定状态的磁力作用于磁铁部件和底座板之间，并且在磁铁部件与磁性体部件接触后上升时，作用于磁铁部件和底座板之间的磁力与由磁铁部件的自重产生的重力的合计小于作用于磁铁部件与磁性体部件之间的磁力。若如此构成，则能够利用与底座板隔开第一间隔进行保持的磁铁部件将固定部可靠地固定于底座板，并且与磁铁部件和底座板直接接触的情况不同，将作用于磁铁部件与底座板之间的磁力减弱与第一间隙相应的量，从而能够容易地将磁铁部件从底座板拉开。

在上述固定部包括下降端侧保持部的结构中，优选的是，固定部包括磁性体部件保持部，该磁性体部件保持部以上升的磁性体部件与磁铁部件之间具有第二间隙的状态保持上升的磁性体部件，第二间隙设定为：在由上升端侧保持部保持磁铁部件且由磁性体部件保持部保持磁性体部件的状态下，作用于磁铁部件和磁性体部件之间的磁力大于作用于磁铁部件和底座板之间的磁力与由磁铁部件的自重产生的重力的合计。若如此构成，则在解除了固定部与底座板的固定状态后，能够在隔开能够可靠地将磁铁部件吸于磁性体部件的第二间隙的状态下保持磁铁部件和磁性体部件，因此，能够容易地维持将磁铁部件从底座板拉开的状态。

在上述固定部包括磁性体部件保持部的结构中，优选的是，设定为：在磁铁部件配置于上升端侧保持部的状态下固定部下降并与底座板抵接的情况下，作用于磁铁部件与底座板之间的磁力、由磁铁部件的自重产生的重力及磁铁部件向底座板方向的惯性力的合计大于作用于磁铁部件与磁性体部件之间的磁力。若如此构成，则能够利用固定部下降而与底座板抵接时产生的磁铁部件向底座板方向的惯性力来使磁铁部件从上升端侧保持部移动（落下）到下降端侧保持部，因此能够通过简易的结构从固定解除状态切换到固定状态。

在上述第一方面的支撑销中，优选的是，构成为，该支撑销还具备轴部，该轴部安装有磁性体部件，并在固定部的内部滑动，通过轴部上升而使磁性体部件上升，从而解除固定部与底座板被固定的固定状态。若如此构成，则能够使用轴部容易地使磁性体部件上升而将使固定部固定于底座板的磁体部件从底座板拉开。

在该情况下，优选的是，轴部构成为在磁铁部件通过磁力而上升的状态下能够由吸嘴吸引，并且构成为在由吸嘴吸引的状态下沿上下方向移动。若如此构成，则在固定部与底座板的固定被解除时，利用吸嘴实质性地以与支撑销的自重对应的吸引力吸引支撑销，并且使包括吸嘴的头部上升，从而能够使支撑销移动。

在上述具备轴部的结构中，优选的是，在轴部和固定部之间设有在轴部下降时能够弹性变形的弹簧部件。若如此构成，则即使是在支撑销配置于底座板的与基板上的电子元件等对应的位置的情况下，弹簧部件也能够在与电子元件等抵接时弹性变形而吸收冲击，因此能够抑制电子元件或基板损伤这一情况。而且，通过由吸嘴向下方压下（移动）时的弹簧部件的反作用力，能够使轴部向上方移动。

本发明的第二方面的基板处理装置具备：底座板；支撑销，在通过磁力而被固定于底座板的状态下对基板从背面进行支撑；及吸嘴，能够吸引支撑销，支撑销具备：固定部，能够固定于底座板；磁铁部件，配置于固定部的内部并且构成为在固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将固定部固定于底座板；及磁性体部件，配置于磁铁部件的上方，并通过在固定部的内部上升而利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态。

在本发明的第二方面的基板处理装置中，如上所述，通过设置利用磁力使磁铁部件上升来解除固定部与底座板被固定的固定状态的磁性体部件，能够利用作用于磁铁部件与磁性体部件之间的磁力，将使固定部固定于底座板的固定状态的磁铁部件从底座板拉开。由此，能够不使用真空吸引而解除固定部与底座板的固定状态。而且，能够利用磁铁部件与磁性体部件之间的磁力将使固定部固定于底座板的磁铁部件从底座板拉开而不使用真空吸引，因此，即使在为了将固定部与底座板更稳固地固定而使用磁力大的磁铁部件的情况下，也不必增大磁铁部件（磁铁部件的面积）。其结果是，抑制了支撑销的设置面积增大，能够防止固定于底座部的支撑销的数量和间距受到制约。

发明效果

根据本发明，如上所述，能够不使用真空吸引而解除固定部与底座板的固定状态。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的表面安装装置的俯视图。

图2是表示本发明的一个实施方式的表面安装装置的侧视图。

图3是表示本发明的一个实施方式的支撑销固定于底座板的状态的图。

图4是沿着图3的500-500线的剖视图。

图5是将本发明的一个实施方式的支撑销的固定部放大后的剖视图。

图6是表示将本发明的一个实施方式的支撑销的轴部由吸嘴向下方压下的状态的剖视图。

图7是表示将本发明的一个实施方式的支撑销的磁铁保持在上升端侧保持部的状态的剖视图。

图8是表示将本发明的一个实施方式的支撑销的磁性体部件保持在磁性体保持部的状态的剖视图。

图9是表示将本发明的一个实施方式的支撑销的固定状态解除并移动的状态的剖视图。

图10是表示将本发明的一个实施方式的支撑销固定于底座板时的状态的剖视图。

具体实施方式

下面，基于附图说明本发明的实施方式。

首先，参照图1～图10，对本发明的一个实施方式涉及的表面安装装置100的结构进行说明。另外，表面安装装置100是本发明的“基板处理装置”的一例。

如图1所示，表面安装装置100是利用一对输送机2将基板200（参照图2）从X2方向向X1方向（搬运方向）搬运并在预定的作业位置将元件4a安装于基板200的装置。

如图1所示，表面安装装置100具备基座1、一对输送机2、底座板3、带式供料器4和头部单元5。而且，表面安装装置100具备支撑部6、轨道部6和相机单元8。而且，在底座板3配置有支撑销9，该支撑销9从背面（Z1方向）支撑基板200，抑制基板200的挠曲。而且，基座1包括使未使用的支撑销9待机（临时放置）的支撑销待机部1a。而且，支撑销待机部1a例如由铁等磁性体构成。而且，表面安装装置100由未图示的控制器（控制机构）控制与安装作业相关的动作。另外，在本实施方式中，首先，对表面安装装置100的结构进行说明，然后，对支撑销9的结构的详细内容进行说明。

输送机2具有沿搬运方向（X方向）搬运基板200的功能。而且，在输送机2设有未图示的夹紧机构。输送机2构成为利用该夹紧机构将搬运中的基板200保持（固定）成在安装作业位置停止的状态。另外，安装作业位置位于底座板3的设有支撑销9的位置的上方。

底座板3a例如由铁等磁性体构成。支撑销9在安装作业开始前基于表面安装装置100预先取得的基板200的数据而配置于底座板3上的预定位置。底座板3构成为在安装作业时使底座板3上升（参照图2）直到支撑销9抵接于固定在安装作业位置的基板200的背面（Z1方向侧）。

带式供料器4构成为向头部单元5供给安装于基板200的IC等元件4a。而且，在输送机2的Y方向上的两侧配置有多个带式供料器4。

头部单元5包括六个头部51和Z轴驱动马达（未图示）。头部单元5构成为从带式供料器4取得元件4a，并且将元件4a安装于基板200。

如图2所示，头部51配置成向头部单元5的下表面侧（Z1方向侧）突出。在头部51的前端安装有真空吸引元件4a、支撑销9（后述的轴部92）的吸嘴52。而且，头部51构成为能够通过驱动Z轴驱动马达而相对于头部单元5沿Z轴方向升降。而且，如图1所示，在头部单元5设有用于拍摄基板200的相机单元53。相机单元53构成为从上方（Z2方向）对配置于底座板3的支撑销9进行拍摄和识别。而且，相机单元53构成为从上方拍摄配置于支撑销待机部1a的支撑销9来识别配置于支撑销待机部1a上的支撑销9的位置和根数。

支撑部6包括滚珠丝杠轴61和使滚珠丝杠轴61旋转的X轴驱动马达62。构成为通过驱动X轴驱动马达62而使头部单元5沿X方向移动。

轨道部7包括：一对导轨71，以能够沿Y方向移动的方式支撑支撑部6的两端部（X方向）；滚珠丝杠轴72，沿Y方向延伸；及Y轴驱动马达73，使滚珠丝杠轴72旋转。构成为通过驱动Y轴驱动马达73而使头部单元5沿Y方向移动。

相机单元8固定地设置于基座1的上表面上。而且，相机单元8构成为对吸附于各头部51的吸嘴52的元件4a进行拍摄，在元件4a安装之前识别元件4a的吸附状态。

接着，对支撑销9的结构进行说明。

在此，在本实施方式中，如图4和图5所示，支撑销9包括：固定部91、轴部92、弹簧93、磁性体部件94及配置于磁性体部件94的下方（Z1方向）的圆盘状的磁铁95。支撑销9构成为利用磁铁95的磁力将固定部91固定于底座板3。该支撑销9构成为在磁铁95配置（保持）于固定部91的后述的下降端911a的状态（以下，称为下降端保持状态）下，维持固定部91与底座板3的固定状态。而且，支撑销9构成为在磁铁95配置（保持）于固定部91的后述的上升端912a的状态（以下，称为上升端保持状态）下，解除固定部91与底座板3的固定状态。而且，作用于磁铁95和底座板之间的磁力（Fb）、由磁铁95的自重产生的重力（Fg）及作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力（Fm）作用于磁铁95。而且，在固定支撑销9（从图9的状态转移到图10的状态）时，除了这些力之外，磁铁95向底座板方向的惯性力（Fi）也作用于磁铁95。另外，弹簧93是本发明的“弹簧部件”的一例。而且，磁铁95是本发明的“磁铁部件”的一例。

固定部91由非磁性体（例如，铝）形成。如图5所示，固定部91构成为内部形成为中空而配置磁性体部件94和磁铁95。而且，固定部91的内部从下侧（底座板3侧）起依次包括固定部91的剖面方向（XY方向）上的内径各自不同的大致圆筒形状的区域91a～91d。而且，各区域按照区域91b、区域91a、区域91c、区域91d的顺序内径变小。即，固定部91的内径在区域91b最大，在区域91d最小。而且，固定部91在长度方向（Z方向）上的中央部附近（参照图3）包括朝向外侧突出的凸缘部（周状的凸部）91e。

而且，如图4和图5所示，固定部91包括下降端侧保持部911、上升端侧保持部912和磁性体部件保持部913。固定部91构成为在下降端侧保持部911和上升端侧保持部912之间的区域91b中使磁铁95升降。固定部91构成为在下降端侧保持部911和磁性体部件保持部913之间的区域91b和91c中使磁性体部件94（后述的前端部94a）升降。固定部91构成为在区域91d中使轴部92滑动。

下降端侧保持部911以向固定部91的内部91（区域91a）侧突出的方式形成为板状。下降端侧保持部911的上表面构成限制磁铁95向下方的移动的下降端911a。下降端侧保持部911构成为在磁铁95未与底座板3接触的状态下将磁铁95保持在下降端911a。换言之，下降端侧保持部911构成为在下降端保持状态的磁铁95（磁铁95的下表面）与底座板3（底座板3的表面）隔开第一间隙（以下，称为间隙D1）的状态下将磁铁95保持在下降端911a。而且，间隙D1被设定为使维持固定部91与底座板3的固定状态的磁力作用于下降端保持状态的磁铁95与底座板3之间的大小。

上升端侧保持部912由构成区域91c的固定部91的内壁构成。上升端侧保持部912的下表面构成限制磁铁95向上方的移动的上升端912a。上升端侧保持部912构成为在磁性体部件94与磁铁95接触的状态下（参照图7）磁性体部件94上升时将磁铁95保持在上升端912a。而且，上升端侧保持部912构成为在上升端保持状态的磁铁95（磁铁95的下表面）与底座板3（底座板3的表面）隔开间隙D0。另外，在图5中，由上升端侧保持部912保持的磁铁95以单点划线表示。而且，间隙D1被设定为：使得作用于磁铁95和底座板3之间的磁力（Fb）与由磁铁95的自重产生的重力（Fg）的合计（Fb+Fg）小于作用于上升端保持状态的磁铁95和磁性体部件94之间的磁力（Fm）。另外，设定成作用于上升端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力大致为零（Fm≈0）。

磁性体部件保持部913由构成区域91d的固定部91的内壁构成。磁性体部件保持部913的下表面913a具有限制磁性体部件94向上方的移动的功能。磁性体部件保持部913构成为在使上升并保持（配置）于磁性体部件保持部913的状态（以下，称为磁性体保持状态）（参照图8）的磁性体部件94与磁铁95（磁铁95的上表面）之间具有第二间隙（以下，称为间隙D2）的状态下保持磁性体部件94。即，磁性体部件保持部913构成为使上升端保持状态的磁铁95与磁性体保持状态的磁性体部件94之间具有间隙D2。而且，间隙D2小于由上升端侧保持部912保持的磁铁95与底座板3的间隙D0。详细来说，间隙D2被设定为：使得作用于上升端保持状态的磁铁95与磁性体保持状态的磁性体部件94之间的磁力（Fm）大于作用于磁铁95与底座板3之间的磁力和由磁铁95的自重产生的重力的合计（Fb+Fg）。

轴部92构成为在固定部91的内部滑动。轴部92由非磁性体（例如，铝）形成。如图3和图4所示，轴部92在长度方向（Z方向）上的中央部附近和上部附近分别包括朝向外侧突出的凸缘部（周状的凸部）92a和92b。如图8～图10所示，支撑销9构成为在由吸嘴52吸引凸缘部92b的状态下沿上下方向（Z方向）移动（升降）。

如图3和图4所示，弹簧93设于轴部92的凸缘部92a和固定部91的凸缘部91e之间。弹簧93构成为能够在轴部92向Z1方向下降时弹性变形。弹簧93构成为对由头部51（吸嘴52）向下方压下的轴部92（参照图6）向上方进行施力。在图4、图8所示的状态下，通过该弹簧93的作用力，磁性体部件94维持与磁性体部件保持部913的下表面913a抵接的状态。而且，即使是在因未图示的控制器的错误等而将支撑销9配置于底座板3的与基板200上的电子元件等对应的位置的情况下，弹簧93也能够在与电子元件等抵接时弹性变形来抑制电子元件（基板200）损伤这一情况。

如图5所示，磁性体部件94例如以铁为材料，形成为螺钉状。具体来说，磁性体部件94包括与磁铁95接触的前端部94a和固定于轴部92的固定部94b。前端部94a具有比固定部94b的外径大的外径。螺钉状的磁性体部件94（固定部94b）通过与轴部92的下端部螺合而固定于轴部92。由此，即使不使用粘接剂等也能够将磁性体部件94与轴部92固定。而且，磁性体部件94（前端部94a）构成为与磁性体部件保持部913（下表面913a）卡合。而且，磁性体部件94配置于磁铁95的上方（Z2方向侧）。而且，磁性体部件94构成为在向下方移动时与磁铁95接触。磁性体部件94构成为通过在固定部91的内部上升而利用磁力使磁铁95上升，从而解除固定部91与底座板3被固定的固定状态。由此，磁铁95构成为通过磁性体部件94与轴部92一起升降而在固定部91的内部升降。

接下来，参照图4和图6～图9，对解除固定状态时的支撑销9的动作进行说明。

首先，如图6所示，固定于底座板3的支撑销9（参照图4）的轴部92（凸缘部92b）由未进行真空吸引的吸嘴52向下方（Z1方向）压下。此时，轴部92下降至磁性体部件94与配置于下降端911a的（下降端保持状态的）磁铁95接触。在该状态下，设定为作用于下降端保持状态的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力（Fm）大于作用于下降端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力（Fb）和由磁铁部件的自重产生的重力（Fg）的合计（Fm>Fb+Fg）。

接着，如图7所示，使未进行真空吸引的吸嘴52上升。此时，磁性体部件94与磁铁95紧贴。而且，通过弹簧93的反作用力对轴部92的凸缘部92a向上方进行施力。由此，通过磁性体部件94与磁铁95之间的磁力（Fm），磁铁95与磁性体部件94一起上升至上升端（912a），成为由上升端侧保持部912保持的上升端保持状态。在该状态下，设定成作用于上升端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力大致为零（Fm≈0）。而且，在该状态下，支撑销9的固定状态被解除。

接着，如图8所示，在磁铁95的上升端保持状态下，使未进行真空吸引的吸嘴52进一步上升。由此，通过弹簧93的反作用力对轴部92的凸缘部92a向上方进行施力，轴部92从图7的状态起进一步上升。此时，磁性体部件94与上升端保持状态的磁铁95分离，磁性体部件94上升至磁性体部件保持部913。在该状态下，设定为作用于上升端保持状态的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力（Fm）大于作用于上升端保持状态的磁铁95与底座板3之间的磁力（Fb≈0）（Fm>Fb(≈0)+Fg）。由此，在磁铁95利用磁性体部件94的磁力向上方被拉起的状态（在上升端912a的位置处磁铁95浮在空中的状态）下，解除支撑销9的固定状态。另外，由于作用于磁铁95和底座板3之间的磁力（Fm）大致为零，因此实质上仅以支撑销9的自重载置于底座板3。

接着，如图9所示，在轴部92的凸缘部92b被吸嘴52吸引的状态下使吸嘴52（头部51）上升。在该状态下，由于作用于磁铁95与底座板3之间的磁力（Fm）大致为零，因此实质上在利用吸嘴52以与支撑销9的自重对应的吸引力吸引支撑销9的状态下使吸嘴52上升，将支撑销9从底座板3移动（除去）。另外，移动的支撑销9配置于支撑销待机部1a。

接着，参照图4、图9和图10，对将支撑销9固定于底座板3时的动作进行说明。

首先，如图9所示，在轴部92的凸缘部92b被吸嘴52吸引的状态下使吸嘴52下降。并且，如图10所示，固定部91的底面与底座板3抵接。此时，在磁性体部件94维持磁性体保持状态并且磁铁95维持上升端保持状态的状态下，支撑销9与底座板3抵接。另外，为了简化，在利用吸嘴52吸引轴部92的凸缘部92b的状态下使吸嘴52下降的状态的图沿用了表示在利用吸嘴52吸引轴部92的凸缘部92b的状态下使吸嘴52上升的状态的图9。

而且，在从图9的状态转移到图10的状态时，向作用于磁铁95和底座板3之间的磁力（Fb）与由磁铁95的自重产生的重力（Fg）的合计（Fb+Fg）附加磁铁95向底座板3方向（下方）的惯性力（Fi）。由此，将附加有惯性力的支撑销9固定于底座板3的力（Fb+Fg+Fi）大于磁铁95与磁性体部件94的磁力（Fm）（Fm<Fb+Fg+Fi）。其结果是，上升端保持状态（在上升端912a的位置处浮在空中的状态）的磁铁95向下方落下，并由下降端侧保持部911保持。并且，通过作用于磁铁95和底座板3之间的磁力，将支撑销9固定于底座板3。

在本实施方式中，能够得到如下的效果。

在本实施方式中，如上所述，设有磁性体部件94，所述磁性体部件94利用磁力使磁铁95上升来解除固定部91与底座板3被固定的固定状态。由此，通过作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm，能够将使固定部91固定于底座板3的固定状态的磁铁95从底座板3拉开。其结果是，能够解除固定部91与底座板3的固定状态而不使用真空吸引。而且，能够利用磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm将使固定部91固定于底座板3的磁铁95从底座板3拉开而不使用真空吸引，因此，即使是在为了将固定部91与底座板3更稳固地固定而使用磁力大的磁铁95的情况下，也不必增大磁铁95（磁铁95的面积）。由此，抑制了支撑销9的设置面积增大，能够防止固定于底座板3的支撑销9的数量和间距受到制约。

而且，在本实施方式中，如上所述，支撑销9构成为：在磁铁95配置于固定部91的内部的下降端911a的状态下，维持固定部91与底座板3的固定状态，在通过磁性体部件94上升而将磁铁95配置于固定部91的内部的上升端912a的状态下，固定部91与底座板3的固定状态被解除。由此，通过将磁铁95从配置于固定部91的内部的下降端911a的固定状态切换至配置于上升端912a的固定解除状态，能够容易地将磁铁95从底座板3拉开。

而且，在本实施方式中，如上所述，磁性体部件94构成为：在磁铁95配置于下降端911a的状态下通过下降而与磁铁95接触，然后通过上升而利用磁性体部件94与磁铁95之间的磁力Fm使磁铁95上升。由此，能够在通过磁铁95与磁性体部件94的接触而使作用在配置于下降端911a的磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm增大的状态下使磁性体部件94上升，因此能够可靠地将磁铁95从底座板3拉开。

而且，在本实施方式中，如上所述，固定部91构成为包括：下降端侧保持部911，在磁铁95不与底座板3接触的状态下将磁铁95保持在下降端911a；及上升端侧保持部912，在磁性体部件94与磁铁94接触的状态下使磁性体部件94上升时将磁铁95保持在上升端912a。由此，能够利用下降端侧保持部911将磁铁95保持在下降端911a，因此能够在稳定的状态下将固定部91固定于底座板3。

而且，能够利用上升端侧保持部912保持与磁铁95接触的磁性体部件94，因此能够在稳定的状态下维持将磁铁95从底座板3拉开的状态。

而且，在本实施方式中，如上所述，下降端侧保持部911构成为：向固定部91的内部侧突出，并且以在磁铁95与底座板3之间具有第一间隙D1的状态保持磁铁95，第一间隙D1设定为：使得在磁铁95配置于下降端侧保持部时维持固定部91与底座板3的固定状态的磁力Fb+Fg作用于磁铁95和底座板3之间，并且在磁铁95与磁性体部件94接触后上升时，作用于磁铁95和底座板3之间的磁力Fb与由磁铁95的自重产生的重力Fg的合计Fb+Fg小于作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm。由此，能够利用与底座板3隔开第一间隔D1进行保持的磁铁95将固定部91可靠地固定于底座板3，并且与磁铁95和底座板3直接接触的情况不同，将作用于磁铁95与底座板3之间的磁力Fb减弱与第一间隙D1相应的量，从而能够容易地将磁铁95从底座板3拉开。

而且，在本实施方式中，如上所述，固定部91构成为：包括磁性体部件保持部913，所述磁性体部件保持部913以在上升的磁性体部件94与磁铁95之间具有第二间隙D2的状态保持上升的磁性体部件94，第二间隙D2设定为：在由上升端侧保持部912保持上升的磁铁95且由磁性体部件保持部913保持上升的磁性体部件94的状态下，作用于磁铁95和磁性体部件94之间的磁力Fm大于作用于磁铁95和底座板3之间的磁力Fb与由磁铁95的自重产生的重力Fg的合计Fb+Fg。由此，在解除了固定部91与底座板3的固定状态后，能够在隔开能够可靠地将磁铁95吸在磁性体部件94的第二间隙D2的状态下保持磁铁95和磁性体部件94，因此，能够容易地维持将磁铁95从底座板3拉开的状态。

而且，在本实施方式中，如上所述，设定为：在磁铁95配置于上升端侧保持部912的状态下使固定部91下降并与底座板3抵接的情况下，作用于磁铁95与底座板3之间的磁力Fb、由磁铁95的自重产生的重力Fg及磁铁95向底座板3方向的惯性力Fi的合计Fb+Fg+Fi大于作用于磁铁95与磁性体部件94之间的磁力Fm。由此，能够利用固定部91下降而与底座板3抵接时产生的磁铁95向底座板3方向的惯性力Fi来使磁铁95从上升端侧保持部912移动（落下）到下降端侧保持部911，因此能够通过简易的结构从固定解除状态切换到固定状态。

而且，在本实施方式中，如上所述，设有轴部92，所述轴部92安装有磁性体部件94，并在固定部91的内部滑动，通过轴部92上升而使磁性体部件94上升，从而解除固定部91与底座板3被固定的固定状态。由此，能够使用轴部92容易地使磁性体部件94上升，能够将使固定部91固定于底座板3的磁铁95从底座板3拉开。

而且，在本实施方式中，如上所述，构成为在利用磁力使磁铁95上升的状态下能够由吸嘴52吸引轴部92，并且将支撑销9构成为在由吸嘴52吸引的状态下沿上下方向移动。由此，在固定部91与底座板3的固定被解除时，利用吸嘴52实质性地以与支撑销9的自重对应的吸引力吸引支撑销9，并且使包括吸嘴52的头部上升，从而能够使支撑销9移动。

而且，在本实施方式中，如上所述，在轴部92与固定部91之间设有在轴部92下降时能够弹性变形的弹簧93。由此，即使是在支撑销9配置于底座板3的与基板200上的电子元件等对应的位置的情况下，弹簧93也能够在与电子元件等抵接时弹性变形而吸收冲击，因此能够抑制电子元件或基板200损伤这一情况。而且，通过由吸嘴52向下方压下（移动）时的弹簧93的反作用力，能够使轴部92向上方移动。

另外，应当认为本次公开的实施方式中所有的内容均为例示而非限制。本发明的范围由权利要求的范围而非上述的实施方式的说明表示，而且包括与权利要求的范围同等的含义和范围内的所有变更。

例如，在上述实施方式中，示出了将本发明适用于表面安装装置（基板处理装置）的例子，但本发明不限于此。只要是使用支撑销的结构，则也可以将本发明适用于例如检查装置、印刷装置及点胶装置等除表面安装装置以外的基板处理装置。

而且，在上述实施方式中，示出了在解除支撑销的固定状态时配置于下降端的磁铁（磁铁部件）与下降的磁性体部件接触的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以是，在解除支撑销的固定状态时，配置于下降端的磁铁（磁铁部件）与下降的磁性体部件不接触。

而且，在上述实施方式中，示出了将磁性体部件与轴部分别形成的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以通过磁性体材料将磁性体部件与轴部一体地形成。

而且，在上述实施方式中，示出了通过作为非磁性体材料的铝形成固定部和轴部的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以通过树脂等铝以外的非磁性体材料形成固定部和轴部。由此，能够减轻支撑销的重量，因此能够利用吸嘴可靠地吸引在底座板与支撑销待机部之间移动的支撑销，能够抑制支撑销落下这一情况。

而且，在上述实施方式中，示出了通过铁（磁性体）形成底座板和磁性体部件的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以通过铁以外的磁性体形成底座板和磁性体部件。

而且，在上述实施方式中，示出了在固定部与底座板抵接时利用作用于磁铁（磁铁部件）向底座板方向的惯性力使磁铁落下而将固定部固定于底座板的例子，但本发明不限于此。在本发明中，也可以是，例如，设置能够产生正压力的吸嘴，利用该正压力使磁铁部件落下等，利用作用于磁铁部件向底座板方向的惯性力以外的力使磁铁部件落下而将固定部固定于底座板。

附图标记说明

3  底座板

9  支撑销

52 吸嘴

91 固定部

92 轴部

93 弹簧（弹簧部件）

94 磁性体部件

95 磁铁（磁铁部件）

100 表面安装装置（基板处理装置）

200 基板

911 下降端侧保持部

911a 下降端

912 上升端侧保持部

912a 上升端

913 磁性体部件保持部

D1 间隙（第一间隙）

D2 间隙（第二间隙）

Claims (11)

1.一种支撑销（9），在通过磁力而被固定于底座板（3）的状态下对基板（200）从背面进行支撑，所述支撑销的特征在于，具备：

固定部（91），能够固定于所述底座板；

磁铁部件（95），配置于所述固定部的内部并且构成为在所述固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将所述固定部固定于所述底座板；及

磁性体部件（94），配置于所述磁铁部件的上方，并通过在所述固定部的内部上升而利用磁力使所述磁铁部件上升来解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。

2.根据权利要求1所述的支撑销，构成为，

在所述磁铁部件配置于所述固定部的内部的下降端（911a）的状态下，维持所述固定部与所述底座板的固定状态，

在所述磁铁部件通过所述磁性体部件上升而配置于所述固定部的内部的上升端（912a）的状态下，所述固定部与所述底座板的固定状态被解除。

3.根据权利要求2所述的支撑销，构成为，

在所述磁铁部件配置于所述下降端的状态下，所述磁性体部件通过下降而与所述磁铁部件接触，然后，所述磁性体部件通过上升而利用所述磁性体部件与所述磁铁部件之间的磁力使所述磁铁部件上升。

4.根据权利要求3所述的支撑销，其中，

所述固定部包括：

下降端侧保持部（911），在所述磁铁部件与所述底座板未接触的状态下将所述磁铁部件保持在所述下降端；及

上升端侧保持部（912），在所述磁性体部件与所述磁铁部件接触的状态下在所述磁性体部件上升时将所述磁铁部件保持在所述上升端。

5.根据权利要求4所述的支撑销，其中，

所述下降端侧保持部构成为，向所述固定部的内部一侧突出，并且以所述磁铁部件与所述底座板之间具有第一间隙的状态保持所述磁铁部件，

所述第一间隙设定为：使得在所述磁铁部件配置于所述下降端侧保持部时维持所述固定部与所述底座板的固定状态的磁力作用于所述磁铁部件和所述底座板之间，并且在所述磁铁部件与所述磁性体部件接触后上升时，作用于所述磁铁部件和所述底座板之间的磁力与由所述磁铁部件的自重产生的重力的合计小于作用于所述磁铁部件与所述磁性体部件之间的磁力。

6.根据权利要求4所述的支撑销，其中，

所述固定部包括磁性体部件保持部（913），所述磁性体部件保持部以上升的所述磁性体部件与所述磁铁部件之间具有第二间隙的状态保持上升的所述磁性体部件，

所述第二间隙设定为：在由所述上升端侧保持部保持所述磁铁部件且由所述磁性体部件保持部保持所述磁性体部件的状态下，作用于所述磁铁部件和所述磁性体部件之间的磁力大于作用于所述磁铁部件和所述底座板之间的磁力与由所述磁铁部件的自重产生的重力的合计。

7.根据权利要求6所述的支撑销，其中，

在所述磁铁部件配置于所述上升端侧保持部的状态下所述固定部下降并与所述底座板抵接的情况下，设定为，作用于所述磁铁部件与所述底座板之间的磁力、由所述磁铁部件的自重产生的重力及所述磁铁部件向所述底座板方向的惯性力的合计大于作用于所述磁铁部件与所述磁性体部件之间的磁力。

8.根据权利要求1所述的支撑销，其中，

还具备轴部（92），所述轴部安装有所述磁性体部件，并在所述固定部的内部滑动，

构成为，通过所述轴部上升而使所述磁性体部件上升，从而解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。

9.根据权利要求8所述的支撑销，其中，

所述轴部构成为在所述磁铁部件通过磁力而上升的状态下能够由吸嘴吸引，并且构成为在被所述吸嘴吸引的状态下沿上下方向移动。

10.根据权利要求8所述的支撑销，其中，

在所述轴部与所述固定部之间设有在所述轴部下降时能够弹性变形的弹簧部件（93）。

11.一种基板处理装置，具备：

底座板；

支撑销，在通过磁力而被固定于所述底座板的状态下对基板从背面进行支撑；及

吸嘴，能够吸引所述支撑销，

所述支撑销具备：

固定部，能够固定于所述底座板；

磁铁部件，配置于所述固定部的内部并且构成为在所述固定部的内部上升和下降，用于利用磁力将所述固定部固定于所述底座板；及

磁性体部件，配置于所述磁铁部件的上方，并通过在所述固定部的内部上升而利用磁力使所述磁铁部件上升来解除所述固定部与所述底座板被固定的固定状态。