CN104240786B - 放射线图像转换面板 - Google Patents

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Abstract

本发明的课题在于得到高度保持所得放射线图像的画质(亮度),同时耐湿性优异的放射线图像转换面板。该课题通过如下的放射线图像转换面板而得到解决,所述放射线图像转换面板包含光电转换元件及闪烁体层,该闪烁体层含有作为柱状结晶的荧光体和至少1种激活剂,所述放射线图像转换面板的特征在于,上述闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上的峰,在上述闪烁体层的从与上述光电转换元件对置的主面到100μm厚度的区域存在的上述激活剂的量为0.3~0.7mol%(其中,以上述区域存在的荧光体母材化合物为100mol%)。

Description

放射线图像转换面板
技术领域
本发明涉及形成放射线图像时使用的放射线图像转换面板。
背景技术
以往,如X射线图像那样的放射线图像在医疗领域被广泛用于病症的诊断。特别是基于增感纸-膜系的放射线图像在长期发展中实现了高灵敏化和高画质化,结果作为兼具高可靠性和优异的性价比的摄像系统至今仍在世界范围的医疗领域使用。然而,这些图像信息是所谓的模拟图像信息,无法进行如目前持续发展的数字图像信息那样的自由的图像处理、瞬时的传送。
近年来,出现了以计算机X线摄影(computed radiography:CR)、平板型的放射线探测器(平板探测器,flat panel detector:FPD)等为代表的数字方式的放射线图像检测装置。在这些放射线图像检测装置中,由于能够直接得到数字的放射线图像,能够在利用了阴极管的面板、液晶面板等图像显示装置上直接显示图像,所以不需要在照片膜上形成图像。其结果,这些数字方式的放射线图像检测装置,例如X射线图像检测装置减少了利用银盐照相方式形成图像的必要性,大幅提高了在医院、诊所的诊断操作的便利性。
作为与X射线图像相关的数字技术之一,计算机X线摄影(CR)目前已经在医疗领域中应用。然而,由CR得到的X射线图像与由银盐照相方式等屏·膜系统得到的图像相比,清晰性不充分,空间分辨率也不充分,其画质等级没有达到屏·膜系统的画质等级。因此,作为更新型的数字X射线图像技术,例如开发出使用薄膜晶体管(TFT)的平板X射线检测装置(平板探测器,Flat panel detector,FPD)(例如,参照非专利文献1、2)。
在上述FPD中,其原理上,为了将X射线转换为可见光,使用具备由X射线荧光体制作的荧光体(闪烁体)层的闪烁体面板,该X射线荧光体具有将所照射的X射线转换为可见光而进行发光的特性,但在使用了低辐射量的X射线源的X射线摄影中,为了提高从闪烁体面板检测出的信号与噪声之比(SN比),必须使用发光效率(X射线向可见光的转换率)高的闪烁体面板。一般而言,闪烁体面板的发光效率取决于闪烁体层(荧光体层)的厚度、荧光体的X射线吸收系数,越增加荧光体层的厚度,通过X射线照射而在荧光体层内产生的发射光越容易在闪烁体层内散射,介由闪烁体面板得到的X射线图像的清晰性越低。因此,如果设定X射线图像的画质所需的清晰性,则闪烁体面板中的荧光体层的膜厚的限度自然而然地确定。
另外,在得到能够提供亮度高、清晰性优异的X射线图像的闪烁体面板方面,构成荧光体层的荧光体的形状也是重要的。在多数闪烁体面板中,作为构成闪烁体层的荧光体,采用具有柱状结晶的形状的荧光体,通常具有在基板或支承体等上配置多个这样的柱状结晶而成的构成。在此,构成闪烁体层的柱状结晶分别具有与基板或支承体等的主面垂直地延伸的形状,以使得能够有效地将其中产生的荧光(发射光)沿与基板或支承体等的主面垂直的方向放出。在闪烁体层采用了这种配置的闪烁体面板能够维持上述亮度和清晰性,并且也能够维持在与基板或支承体等垂直的方向(以下,有时称为“膜厚方向”)上的强度。
近年来,进行了各种着眼于构成闪烁体层的荧光体的结晶形状的研究、尝试。例如,专利文献1中,作为能够实现得到可提供亮度高、清晰性优异的X射线图像的闪烁体面板的目的的放射线转换面板,公开了在基板上设有荧光体层的放射线转换面板,该荧光体层含有形成了形成特定形状的柱状结晶的荧光体母材。在此,在专利文献1的放射线转换面板中,荧光体层由第1荧光体层和第2荧光体层构成,所述第1荧光体层由荧光体母材构成且膜厚在特定的范围,所述第2荧光体层构成含有荧光体母材和激活剂。并且,专利文献1的发明人发现如果构成荧光体层的荧光体的柱状结晶的、距基板侧10μm高度的晶粒直径与闪烁体层的最表面的晶粒直径之比在特定的范围,则清晰性优异。
另外,在专利文献2中,作为实现所得放射线图像的高画质化(高亮度化)的方法,记载了通过并用荧光体和激活剂而形成荧光体层,在该荧光体层整体使激活剂浓度均匀,从而提高发光亮度的方法。另外,作为其他方法,还已知提高X射线入射侧的激活剂的浓度的方法等。
此外,在专利文献3中提出了以使用激发光源从支承体侧在朝向荧光体层表面侧的方向对放射线图像转换面板照射激发光来激发辉尽性荧光体时的、发光强度低的层与高的层交替的方式层叠各层的放射线图像转换面板。另外,在专利文献4中提出了闪烁体的激活剂浓度在放射线行进方向以至少一部分是高浓度与低浓度反复变化,且柱状结晶的前端部和基端部的激活剂浓度均低于上述高浓度部分的浓度的方式分布的放射线图像检测装置。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:国际公开2010/032503号小册子
专利文献2:日本特开2003-28994号公报
专利文献3:日本特开2006-64436号公报
专利文献4:日本特开2012-159394号公报
非专利文献
非专利文献1:Physics Today,1997年11月号24页的John Rowlands的论文“Amorphous Semiconductor Usher in Digital X-ray Imaging”
非专利文献2:SPIE的1997年32卷2页的L.E.Antonuk的论文“Development of aHigh Resolution active Matrix,Flat-Panel Imager with Enhanced Fill Factor”
发明内容
如上所述,在放射线图像转换面板中,出于提高上述亮度和清晰性的目的,提出了并用作为构成闪烁体层的为柱状结晶的荧光体的主成分的碘化铯(CsI)和激活剂。但是,在以往提出的技术中,放射线图像转换面板的闪烁体层的耐湿性存在问题。因此,例如存在如下问题:即使通过以闪烁体层中的激活剂的浓度在位于X射线入射侧的特定区域高于其他区域的方式设计放射线图像转换面板而实现了上述高亮度,耐湿性差的闪烁体层也因湿气等劣化,根据放射线图像转换面板的保存状况而上述亮度降低或改变。
本发明是为了解决上述课题而完成的,其目的在于提供高度保持所得放射线图像的画质(放射线图像的亮度(以下,有时简记为“亮度”)),同时耐湿性优异的放射线图像转换面板。
本发明人等对在支承体或光电转换元件上形成闪烁体层而成的放射线图像转换面板进行了深入研究,结果发现如下内容,从而完成了本发明。
即,本发明人等发现如果上述闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上的峰,且在上述闪烁体层的从与上述光电转换元件对置的主面到100μm厚度的区域存在的上述激活剂的量在以上述区域存在的荧光体母材化合物为100mol%时为0.3~0.7mol%,则能够提供高度保持所得的放射线图像的画质(亮度),同时耐湿性优异的放射线图像转换面板。
用于解决上述课题的本发明涉及的放射线图像转换面板包含光电转换元件及闪烁体层,该闪烁体层含有作为柱状结晶的荧光体和至少1种激活剂,其特征在于,上述闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上的峰,且在上述闪烁体层的从与上述光电转换元件对置的主面到100μm厚度的区域存在的上述激活剂的量为0.3~0.7mol%(其中,以上述区域存在的荧光体母材化合物为100mol%)。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选上述作为柱状结晶的荧光体的主成分为碘化铯(CsI)。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选上述激活剂中的至少1种激活剂为含有铊化合物(Tl)的激活剂。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选上述荧光体由多个柱状结晶构成,该多个柱状结晶的根部彼此以相互独立的方式存在。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选在上述激活剂浓度分布曲线中,上述激活剂的浓度峰存在于上述荧光体的柱状结晶的根部侧(上述闪烁体层的、从位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面到100μm厚度的区域。以下相同)和位于与该根部侧相反的方向的前端部侧(上述闪烁体层的、从与位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的主面到100μm厚度的区域。以下相同)这两方。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选包含支承体和反射层,上述反射层和上述闪烁体层被设置在上述支承体上。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选上述反射层由白色颜料和粘结剂树脂构成。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选在上述激活剂浓度分布曲线中,激活剂浓度的最大值与最小值之差为0.2mol%以上。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,优选上述作为柱状结晶的荧光体是利用气相沉积法形成的。
根据本发明,能够得到高度保持所得放射线图像的画质(亮度),同时耐湿性也优异的放射线图像转换面板。即,本发明涉及的放射线图像转换面板的耐湿性优异,能够提供亮度高、画质高的放射线图像。
附图说明
图1是表示本发明涉及的放射线图像转换面板的例示基本结构的示意图。
图2是表示闪烁体层中的荧光体的柱状结晶方向(厚度方向)与来自激活剂的铊(Tl)的浓度的关系的图。
图3是表示本发明涉及的放射线图像转换面板的例示构成的示意图。
图4是表示本发明中使用的例示蒸镀装置的一个构成的示意图。
图5是表示本发明中使用的例示蒸镀装置的另一个构成的示意图。
图6(a)是表示本发明涉及的放射线图像转换面板(一个例子)的闪烁体层的厚度方向和柱状结晶的高度的图,图6(b)是表示该闪烁体层的前端部侧、根部侧的图。
具体实施方式
以下,对本发明涉及的放射线图像转换面板进行详细说明。本发明不限定于以下的实施方式,可以在其主旨的范围内实施各种变形。
在本说明书中,“光”这个技术用语是指电磁波中以可见光线为中心、从紫外区域到红外区域的波长区域的电磁波,具体而言,是指具有300nm~800nm波长的电磁波。“荧光体”或“闪烁体”这两个技术用语是指吸收所入射的X射线等放射线的能量而发出上述“光”的荧光体。
[放射线图像转换面板]
本发明涉及的放射线图像转换面板包含光电转换元件及闪烁体层,该闪烁体层含有作为柱状结晶的荧光体和至少1种激活剂,上述闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上的峰,在上述闪烁体层的从与上述光电转换元件对置的主面到100μm厚度的区域存在的上述激活剂的量为0.3~0.7mol%(其中,以上述区域存在的荧光体母材化合物为100mol%)。
在此,在本说明书中,“主面”是指“将闪烁体层看成六面体时,对置的2个面的组合中,属于面积最大的面组合的2个面”。
激活剂浓度分布曲线是表示本发明涉及的放射线图像转换面板的闪烁体层中的、在闪烁体层的厚度方向上的激活剂的浓度分布的曲线。
闪烁体层的厚度方向如图6(a)的箭头所示,是与闪烁体层的主面正交的方向。应予说明,图6(a)和图6(b)是表示在支承体上形成闪烁体层时的放射线图像转换面板的示意图。
激活剂浓度利用ICP发射光谱分析法(ICP-OES:电感耦合等离子体原子发射光谱法,Inductively-Coupled-Plasma Optical Emission Spectrometry)测定。作为ICP发射光谱仪,例如可以使用Seiko Instruments株式会社制SPS3100等。
首先,对于闪烁体层的粒子化方法,例举荧光体母材化合物为CsI、激活剂为Tl化合物的情况进行说明(以下的记载例如可以通过将以下用语替换为与其对应的上位概念的用语来一般化,即,使CsI为荧光体母材化合物,使TlI为激活剂,使CsI:Tl膜为用激活剂激活荧光体母材化合物而成的膜,使Tl原子为来自激活剂的原子等)。例如,利用真空蒸镀在支承体上形成任意厚度(例如约600μm)的CsI:Tl膜。通过切割CsI:Tl膜而从蒸镀结束面切削约100μm左右,进行粒子化。将被粒子化的CsI:Tl取出到包药纸上。重复该操作直到闪烁体层全部被削去(例如,闪烁体层的厚度约为600μm时重复6次)。用于测定从蒸镀结束面到最初被粒子化的CsI:Tl膜前端部侧(上述闪烁体层的、从与位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的主面到100μm厚度的区域。参照图6(b))的激活剂的浓度。同样地用于测定从蒸镀结束面到最后(例如,闪烁体层的厚度约为600μm时是第6次)被粒子化的CsI膜根部侧(上述闪烁体层的、从位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面到100μm厚度的区域。参照图6(b))的激活剂的浓度。同样地用于测定除最初和最后以外(例如,闪烁体层的厚度约为600μm时是第2~5次)被粒子化的CsI膜各中间部(例如,闪烁体层的厚度约为600μm时是从靠近根部区域侧起第1~4中间部)的激活剂的浓度。此时,被粒子化的CsI:Tl膜的重量为约0.1~0.2g。利用天平测定质量至小数点后4位。
通过测定这样得到的每个100μm厚度的被粒子化的CsI膜的平均Tl浓度,能够精度良好地测定Tl浓度。即,激活剂浓度分布曲线所示的Tl浓度的变化是闪烁体层的每个厚度100μm的区域的激活剂浓度的平均值的变化。粒子化的膜厚并非必须为100μm,也可以以50μm增加切削的面积,根据测量仪的能力,也可以是10μm左右薄的膜厚,可以选择规定的膜厚,但如上所述,从能够精度良好地测定Tl浓度的观点考虑,在本发明中使被粒子化的膜厚为100μm。
接下来,举出一例来说明将被粒子化的CsI:Tl膜(激活剂为TlI)溶液化的方法。对被粒子化的CsI:Tl膜测定重量后,将其放入100ml烧杯中。接着,使用计量移液管,将市售的硝酸(特级,69%)加入到上述100ml的烧杯中。将100ml烧杯置于热板上,对100μl的烧杯中的混合物进行加热。加热到碘(I2)蒸发而该混合物成为无色透明。
在此,碘的蒸发气化通过以下化学变化而发生。
2CsI+3HNO3→2CsNO3+I2+H2O+NO2
2TlI+3HNO3→2TlNO3+I2+H2O+NO2
将得到的无色透明的溶液转移到50ml的容量瓶内。此时,用蒸馏水洗涤加热时使用的100ml的烧杯共2次以上。此时,因发热而烧杯的内容物的温度上升,加入蒸馏水,在室温使总量为50ml,得到测定用试样。
接下来,对用于制作标准曲线的标准液的制作方法进行说明。将1ml、10ml的市售的原子吸光用的铊标准液(浓度1000ppm,例如可从关东化学株式会社获得)分别加入到100ml的容量瓶中。加入蒸馏水使总量为100ml。将其分别制成浓度10ppm和100ppm的标准液。直接使用蒸馏水作为浓度0ppm的标准液。
其后,使用这些标准液制作标准曲线。然后,将制成的上述测定用试样供给于使用分析仪的测定,使用标准曲线求出激活剂浓度。
由于该ICP-OES求出的浓度例如在激活剂为Tl化合物时是Tl原子的浓度,所以基于Tl原子的浓度和激活剂的化学式算出激活剂浓度。
在此,“激活剂浓度”表示以构成在闪烁体层中的某个厚度约100μm的区域存在的荧光体所需要的荧光体母材化合物(原材料)的量为100mol%时,由来自上述区域存在的激活剂的原子求出的激活剂(原材料)的量相对于该荧光体母材化合物(原材料)的量的比例。例如,荧光体母材化合物为CsI、激活剂为Tl化合物时,某个厚度约100μm的区域所需要的荧光体母材化合物CsI的量为1mol、来自TlI的Tl原子为0.005mol时激活剂浓度如下。产生0.005mol的Tl原子的TlI的量为0.005mol,0.005mol的TlI相对于1mol的CsI的比例为0.5mol%,因此算出此时的激活剂浓度为0.5mol%。
由此,激活剂浓度不是由构成闪烁体层中的荧光体的成分的量直接导出的值,而是原材料换算值。
将这样得到的闪烁体层的每个厚度100μm的区域的激活剂浓度描绘在横轴为闪烁体层的厚度(μm)、纵轴为激活剂浓度(mol%)的图上。接着,用曲线连接图上各点,得到激活剂浓度分布曲线(使横轴为闪烁体层的厚度,纵轴为激活剂浓度,制作用棒表示每100μm的激活剂浓度的棒形图时,通过连接各棒的中点可制成图2)。
将本发明涉及的放射线图像转换面板的例示的基本结构示于图1。如图1所示,放射线图像转换面板包含:含有光电转换元件的面板(有时也称为TFT面板)2、及含有作为柱状结晶的荧光体和至少1种激活剂的闪烁体层3。如图2所示,含有荧光体的闪烁体层3的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上(多个)的浓度峰。在此,所谓浓度峰,在浓度分布曲线的山形的区域中是指极大值,或者在单调递增、单调递减的区域中是指该区域中的最大值(图2中为A点、B点),此时,在上述闪烁体层的从与上述光电转换元件对置的主面到100μm厚度的区域存在的激活剂的量为0.3~0.7mol%(以该区域存在的荧光体母体化合物的量为100mol%)。在此,如果上述区域存在的激活剂的量在0.3~0.7mol%的范围,则能够得到高度保持所得的放射线的画质(亮度),同时耐湿性优异的放射线图像转换面板。
另外,从上述亮度、耐湿性等观点考虑,优选激活剂的浓度峰存在于荧光体的柱状结晶的根部侧(上述闪烁体层的、从位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面到100μm厚度的区域。以下相同)和位于与该根部侧相反的方向的前端部侧(上述闪烁体层的、从与位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的主面到100μm厚度的区域。以下相同)这两方。这样,通过使作为放射线(例如X射线)入射侧的根部侧的浓度高,从而实现所得放射线图像的高亮度,通过使与根部侧相反的前端部侧的浓度也高,从而能够提高闪烁体层(进而是放射线图像转换面板)的耐湿性。此外,在如图2所示的激活剂浓度分布曲线中,激活剂浓度的最大值与最小值之差(图2中为A点与C点的激活剂浓度之差)优选为0.2mol%以上,更优选为0.3mol%以上。如果激活剂浓度的最大差为0.2mol%以上,则能够得到高度保持所得放射线的画质(亮度特性),同时耐湿性优异的放射线图像转换面板。
上述闪烁体层中的柱状结晶的荧光体优选利用气相沉积法形成。另外,荧光体优选由多个柱状结晶构成,并且根部彼此以相互独立的方式存在。
在更具体的实施方式中,本发明涉及的放射线图像转换面板包含闪烁体面板(用含有闪烁体层、例如支承体等的面板与光电转换元件耦合而得的面板)时,该闪烁体面板可以进一步含有反射层等其他层(闪烁体层以外的层)。例如,如图3所示,包含含有反射层13等其他层的闪烁体面板的放射线图像转换面板30能够作为放射线图像检测器使用,该放射线图像检测器可通过将由闪烁体层12产生的发射光导向光电转换元件(图3中为光电转换元件面板20)而以电信号的形式读取图像数据。
以下,依次对各构成部分进行说明。
闪烁体层
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,闪烁体层具有将从外部入射的X射线等放射线的能量转换成可见光等光(即,如上所述定义的光)的作用。
作为用于形成构成闪烁体层的荧光体(未被激活的荧光体)的柱状结晶的原材料(=荧光母材化合物),只要是能够有效地将从外部入射的X射线等放射线的能量转换成光且能够形成柱状结晶的材料,就没有特别限定。因此,只要满足该条件,就可以使用以往公知的各种(未被激活的)荧光体作为用于形成柱状结晶的原材料(=荧光母材化合物)。其中,可优选使用碘化铯(CsI)、硫酸钆(GOS)、钨酸镉(CWO)、硅酸钆(GSO)、锗酸铋(BGO)、硅酸镥(LSO)、钨酸铅(PWO)等。应予说明,可在本发明中使用的荧光母材化合物不限于CsI等瞬时发光的荧光体,根据放射线图像转换面板的用途也可以是溴化铯(CsBr)等辉尽性荧光体。
在本发明中,在这些荧光母材化合物中,从由X射线向可见光的转换率较高、通过蒸镀而容易形成柱状结晶、利用由该晶体结构产生的光导效应来抑制结晶内的发射光的散射、能够增加荧光体层(闪烁体层)的厚度的观点考虑,优选CsI。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,由于闪烁体层含有上述荧光体的柱状结晶和激活剂,所以荧光体被激活剂激活。
在此,作为荧光体以CsI为例,在由仅由CsI构成的闪烁体层原材料作为闪烁体层的原材料(闪烁体层原材料)得到的闪烁体层中,有时无法得到足够高的发光效率。因此,对于闪烁体层,优选含有荧光母材化合物为CsI并且该CsI被各种激活剂激活而成的激活荧光体(以下,有时将含有荧光母材化合物被激活剂激活而成的激活荧光体的闪烁体层称为含有荧光体和激活剂的闪烁体层、荧光体和激活剂存在的闪烁体层等)。作为这样的闪烁体层,例如可举出如日本特公昭54-35060号公报中公开的CsI与碘化钠(NaI)以任意摩尔比存在的闪烁体层。另外,优选例如如日本特开2001-59899号公报中公开的CsI与铊(Tl)、铕(Eu)、铟(In)、锂(Li)、钾(K)、铷(Rb)、钠(Na)等激活物质以任意摩尔比存在的闪烁体层。
应予说明,在本说明书中,仅称为“荧光体”时是指未被激活的荧光体,有别于“被激活的荧光体(激活荧光体)”。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,特别优选以含有1种以上的铊化合物的激活剂和荧光体(优选碘化铯)为原材料的闪烁体层,其中,以含有铊化合物的激活剂和碘化铯为原材料的闪烁体层由于由该原材料形成的铊激活碘化铯(CsI:Tl)具有300nm~750nm的宽的发光波长,所以优选。
作为铊化合物,可以使用各种铊化合物(+I和+III的氧化数的化合物)。例如可举出碘化铊(TlI)、溴化铊(TlBr)、氯化铊(TlCl)、氟化铊(TlF、TlF3)等,其中,从荧光体(特别是CsI)的激活度优异的观点考虑,优选碘化铊(TlI)。
另外,优选铊化合物的熔点在400~700℃的范围内。如果铊化合物的熔点在上述范围内,则在通过蒸镀而形成的闪烁体层中,激活剂被获取到荧光体的柱状结晶内,与荧光体相比,得到的激活荧光体的发光效率提高。应予说明,在本说明书中,熔点是指常压下(通常为约0.101MPa)的熔点。
在本发明涉及的放射线图像转换面板的闪烁体层中,激活剂在闪烁体层中的相对含量优选为0.1~5摩尔%。
在此,在本说明书中,激活剂的相对含量如上所述,由以特定区域存在的荧光体母材化合物为100摩尔%时的激活剂的摩尔%表示。
另外,荧光体母材化合物是指未被激活剂激活的CsI等荧光体本身。另外,将成为荧光体母材化合物、激活剂等形成闪烁体层的原料的物质总称为闪烁体层原材料。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示出2个以上的峰,这可以通过控制激活剂浓度来实现,其中,控制激活剂浓度例如可以通过如下方式进行,即,通过蒸镀形成闪烁体层时,使用蒸镀用装置,改变设置于该装置中的含有激活剂的蒸镀源的加热温度,或者在含有激活剂的蒸镀源上设置闸门并改变闸门的开闭程度等。
闪烁体层可以由1层构成也可以由2层以上构成。即,闪烁体层可以仅由1层构成也可以是如下构成,即,由2层以上构成,含有成为基底层的层,具有在支承体上依次层叠基底层和其以外的层而成的结构。闪烁体层由包括基底层的2层以上构成时,只要荧光体母材化合物相同,这些层则可以由相同材质构成也可以由不同材质构成。即,闪烁体层可以仅是由荧光体母材化合物和激活剂中含有荧光体母材化合物和激活剂的原材料形成的1层;也可以是由基底层和与基底层不同的层构成的层,所述基底层由仅由荧光体母材化合物构成的原材料形成,所述与基底层不同的层由含有荧光体母材化合物和激活剂的原材料形成;还可以是由基底层和与基底层不同的层构成的层,所述基底层由含有荧光体母材化合物和第1激活剂的原材料形成,所述与基底层不同的层由含有荧光体母材化合物和第2激活剂的原材料形成。
应予说明,形成柱状结晶的根部相互独立的闪烁体层时,从能够精度更良好地形成柱状结晶的根部相互独立的闪烁体层的观点考虑,优选不使用激活剂作为形成基底层的原材料(闪烁体层形成后,因加热等激活剂从基底层以外的层移动到基底层等而在基底层中含有激活剂等则没有关系)。
在本发明中,优选闪烁体层是由(1)以荧光体母材化合物和激活剂为原材料的基底层以外的层和(2)基底层构成的闪烁体层,所述基底层设置在支承体与该基底层以外的层之间,以荧光体母材化合物为原材料,空隙率显示比该基底层以外的层高的值。
由于基底层的存在,柱状结晶性变得良好,荧光体的发光量增加,放射线图像转换面板的保存性提高,所得放射线(X射线)图像的亮度也提高。
在此,在本说明书中,空隙率是指在与支承体的主面平行地切断闪烁体层而得到的截面中,空隙的总面积相对于荧光体(切断面的荧光体未被激活时)或者激活荧光体(切断面的荧光体被激活时)的柱状结晶的截面积与空隙的总面积的比率。
空隙率可以通过如下方式求出,即,与支承体的主面平行地切除放射线图像转换面板的荧光体层(闪烁体层),对其截面的扫描型电子显微镜照片使用图像处理软件,将荧光体或激活荧光体的柱状结晶部分和空隙部进行二值化。
基底层中的激活剂的相对含量(以基底层的荧光体母材化合物为100摩尔%)优选0.01~1摩尔%,更优选0.3~0.7摩尔%。从放射线图像的亮度提高和放射线图像转换面板的保存性的角度考虑,非常优选基底层中的激活剂的相对含量在这样的范围。
闪烁体层中的荧光体的具有一定晶面指数的面的基于X射线衍射光谱的取向度与闪烁体层的厚度方向的位置无关,从闪烁体层的发光效率等的观点考虑,优选为80~100%的范围内。例如,铊激活碘化铯(CsI:Tl)的柱状结晶的晶面指数可以为(100)、(110)、(111)、(200)、(211)、(220)、(311)等中的任一个,优选为(200)(关于晶面指数,参照X射线解析入门(东京化学同人)42~46页)。
在此,本说明书中的“一定晶面指数的面的基于X射线衍射光谱的取向度”是指某个晶面指数的强度Ix在包含其他晶面指数的面的整体的总强度I中所占的比例。例如,X射线衍射光谱中的(200)面的强度I200的取向度为“取向度=I200/I”。
作为用于决定取向度的晶面指数的测定方法,例如可举出X射线衍射(XRD)(可以是晶体X射线衍射也可以是粉末X射线衍射)。X射线衍射是利用对结晶性物质照射特定波长的固有X射线而引发满足Bragg式的衍射,从而能够得到与物质的鉴定、晶相的结构等相关的知识的通用性高的分析方法。照射系的靶使用Cu、Fe、Co等,照射时的输出根据装置能力而不同,但通常为0~50mA、0~50Kv左右。
在本发明的放射线图像转换面板中,构成闪烁体层的荧光体是如上所述的荧光体的柱状结晶,但在本发明中,从放射线图像转换面板的耐久性的观点考虑,优选构成闪烁体层的多个柱状结晶在闪烁体层的根部侧的主面以根部彼此相互独立的方式存在。即,在本发明的放射线图像转换面板的优选方式中,构成闪烁体层的多个柱状结晶的根部彼此不相互粘连,而以分离的状态存在。如果柱状结晶为这样的方式,则从膜厚方向对放射线图像转换面板施加按压时,柱状结晶所承受的负载被分散,因此柱状结晶不易变形,能够提高放射线图像转换面板的耐久性。在此,“根部侧”是指上述闪烁体层的、从位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面到100μm厚度的区域。另外,与此相对,将上述闪烁体层的、从与位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的主面到100μm厚度的区域作为“前端部侧”。
另外,上述根部彼此是否相互独立可以通过用电子显微镜观察来确认。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,从介由本发明涉及的放射线图像转换面板得到的放射线图像的亮度与清晰性的平衡良好的角度考虑,闪烁体层的厚度优选为100~1000μm,更优选为100~800μm,进一步优选为120~700μm。
从维持所得放射线图像的亮度的高度、清晰性的角度考虑,基底层的膜厚优选为0.1μm~50μm,更优选为3μm~50μm,进一步优选为5μm~40μm。
另外,对于构成闪烁体层的柱状结晶的晶粒直径,以闪烁体层的根部侧的主面为基准,高度1μm的位置处的柱状结晶的平均晶粒直径a与高度3μm的位置处的柱状结晶的平均晶粒直径b优选满足1≤(b/a)≤3的关系,更优选满足1≤(b/a)≤2的关系。如果(b/a)的值为3以下,则在放射线图像转换面板的膜厚方向施加按压时,不会因按压过于集中在一点而导致柱状结晶发生变形,因此在保持闪烁体层的强度,进而保持放射线图像转换面板的强度方面是有利的。另一方面,使(b/a)为1以上通常在制造工序上是容易的。
在此,“高度”是指上述闪烁体层的、从位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面向与位于上述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的主面方向(垂直方向)的距离(参照图6(a))。
另外,从对于来自放射线图像转换面板的膜厚方向的按压的强度的角度考虑,更优选上述(b/a)在上述范围,并且上述平均晶粒直径b为3μm以下。此时,对于放射线图像转换面板而言,即使闪烁体层不具有基底层也具有一定程度的强度,如果具有基底层,则能够提供强度优异、亮度高、清晰性优异的放射线图像,这些性能平衡良好且优异。
此外,在确保上述清晰性角度考虑,构成闪烁体层的柱状结晶的闪烁体层的最外部(前端部侧的主面)的平均晶粒直径c优选为10μm以下,更优选为8μm以下。
应予说明,在本发明中,“平均晶粒直径”具体而言是指“平均当量圆直径”。该“平均当量圆直径”是用导电性的物质(铂钯、金、碳等)涂布含有柱状结晶的闪烁体层后,用扫描电子显微镜(SEM:Scanning Electron Microscope)(日立制作所制S-800)进行观察,对30根柱状结晶测定作为与各个柱状结晶截面外接的圆的直径的当量圆直径,作为这些当量圆直径的平均值而得到的平均晶粒直径。
在此,高度1μm的位置处的上述柱状结晶的平均晶粒直径a和高度3μm的位置处的上述柱状结晶的平均晶粒直径b是如下得到的平均晶粒直径,即,分别用环氧树脂等适当的树脂填埋结晶内,通过研磨结晶膜表面而从闪烁体层的根部侧的主面分别磨削至1μm和3μm,观察研磨得到的晶面。
另外,柱状结晶的闪烁体层的最外部的平均晶粒直径c是如下得到的平均晶粒直径,即,用环氧树脂等适当的树脂填埋结晶内,将柱状结晶从前端部侧的主面磨削10μm,观察磨削得到的晶面。
闪烁体层可以直接或介由其他层形成在后述的光电转换元件(例如含有光电转换元件的面板)或者任意含有的支承体上。
例如,闪烁体层被直接设置在含有光电转换元件的面板上的放射线图像转换面板是所谓的“直接蒸镀型FPD”,不需要后述的支承体。
另一方面,例如通过蒸镀等在支承体上直接形成闪烁体层来制作闪烁体面板(后述的反射层可以有也可以没有。另外,也有之后除去支承体的情况),并使其与另行制作的含有光电转换元件的面板贴合(耦合)而得到的放射线图像转换面板是所谓的“分离型的FPD”。
由此,在本发明涉及的放射线图像转换面板中,闪烁体层可以直接形成于目标的层(或面板等)。
光电转换元件
本发明涉及的放射线图像转换面板中含有的光电转换元件具有如下作用,即,吸收由闪烁体层产生的发射光,通过转换成电荷的形式而转换成电信号并输出到放射线图像转换面板的外部,可以使用以往公知的光电转换元件。
在此,光电转换元件例如可以组装于面板等。组装有光电转换元件的面板(光电转换元件面板)的构成没有特别限定,但通常具有依次层叠光电转换元件面板用基板、图像信号输出层和光电转换元件而成的形态。
光电转换元件只要具有吸收闪烁体层中产生的光并转换成电荷形式的功能,就可以具有任何具体的结构。例如,本发明涉及的放射线图像转换面板中含有的光电转换元件可以由透明电极、被入射的光激发而产生电荷的电荷产生层和对电极构成。这些透明电极、电荷产生层和对电极均可以使用以往公知的材料。另外,本发明涉及的放射线图像转换面板中含有的光电转换元件可以由适当的光电传感器构成,例如可以二维地配置多个光电二极管而成,或者可以由CCD(电荷耦合器,Charge Coupled Devices)、CMOS(互补金属氧化物半导体,Complementary metal-oxide-semiconductor)传感器等二维的光电传感器构成。
支承体
本发明的放射线图像转换面板根据需要可以含有支承体。支承体被用作形成构成闪烁体层的柱状结晶的基座,并且具有保持闪烁体层的结构的作用。
作为支承体的材料,可举出能够使X射线等放射线透过的各种玻璃、高分子材料、金属等。更具体而言,例如可以使用石英、硼硅酸玻璃、化学强化玻璃等平板玻璃;无定形碳;蓝宝石、氮化硅、碳化硅等陶瓷;硅、锗、砷化镓、磷化镓、氮化镓等半导体;或者乙酸纤维素膜、聚酯树脂膜、聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、聚酰胺膜、聚酰亚胺膜、三乙酸酯膜、聚碳酸酯膜、碳纤维强化树脂片等高分子膜(塑料膜);铝片、铁片、铜片等金属片或具有该金属的氧化物的被覆层的金属片;生物纳米纤维膜等。这些可以单独使用也可以层叠使用。
在支承体的材料中,特别优选厚度50~500μm的具有挠性的高分子,其中,从蒸镀时的耐热性的观点考虑,特别优选聚酰亚胺。在此,“具有挠性”是指在120℃的弹性模量(E120)为0.1~300GPa。另外,“弹性模量”是指使用拉伸试验机,在基于JIS-C2318得到的样品的标准线表示的形变和与其相对应的应力显示直线的关系的区域,求出应力相对于形变量的斜率而得的值。这是被称作杨氏模量的值,在本说明书中,将所述杨氏模量定义为弹性模量。
支承体的上述在120℃的弹性模量(E120)优选为0.1~300GPa,更优选为1~100GPa。
作为具有挠性的高分子膜,具体而言可举出聚萘二甲酸乙二醇酯(7GPa)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(4GPa)、聚碳酸酯(2GPa)、聚酰亚胺(7GPa)、聚醚酰亚胺(3GPa)、芳族聚酰胺(12GPa)、聚砜(2GPa)、聚醚砜(2GPa)等(括号内表示弹性模量)。应予说明,弹性模量的值即使是同种高分子膜也会发生变动,因此弹性模量未必是括号内的值,但示出一例作为基准。上述高分子材料均具有高的耐热性,在能够耐受荧光体的蒸镀的方面也优选。其中,聚酰亚胺的耐热性特别优异,在以CsI(碘化铯)为原材料,用气相法形成荧光体(闪烁体)的柱状结晶时优选。
具有挠性的高分子膜可以是单独一种,也可以是上述高分子的混合物的膜,还可以是同种或不同种的两层以上的层叠体。
另外,支承体为生物纳米纤维膜时,由于生物纳米纤维膜具有如下的、现有的玻璃、塑料所无法获得的特性,所以能够享受支承体的特性、环境上的优点,所述特性是(i)轻;(ii)具有铁的5倍以上的强度(高强度);(iii)不易因热而膨胀(低热膨胀性);(iv)柔韧(挠性优异);(v)能够进行混合、涂抹、制成膜状等各种处理;(vi)植物纤维是能够燃烧的材料等。
除了由上述材料构成的支承体以外,例如出于调整其反射率的目的,可以在支承体上设置遮光层和/或光吸收性的颜料层。另外,对于支承体,例如出于调整其反射率的目的,可以赋予光吸收性、光反射性,也可以进行着色。例如可举出在支承体中混合白色颜料、炭黑而得的白色PET、黑色PET。
遮光层、颜料层可以设置在另外的膜上。对此,在后述的“其他层”的项目中进行说明。
作为遮光性或光反射性的支承体,可举出各种金属板、无定形碳板等,使用金属板作为支承体时,从X射线的透过性和操作性的观点考虑,优选厚度0.2mm~2.0mm的铝板。
作为被着色的支承体,从调整蒸镀用支承体的反射率的观点考虑,优选混有颜料等色料(更优选颜料)的膜。
另外,从调整支承体(例如蒸镀用支承体)的反射率的观点考虑,优选在支承体上设置使颜料等色料(更优选颜料,特别优选白色颜料)分散在粘结剂树脂中而成的反射层(即,含有粘结剂树脂和色料(更优选颜料,特别优选白色颜料)的反射层)。从提高反射率的观点考虑,优选上述颜料为白色颜料。
反射层的粘结剂树脂只要不损害本发明的目的就没有特别限制,可以是适当得到的市售品,也可以是适当制造的制品。具体而言可举出聚氨酯、氯乙烯共聚物、氯乙烯·乙酸乙烯酯共聚物、氯乙烯·偏氯乙烯共聚物、氯乙烯·丙烯腈共聚物、丁二烯·丙烯腈共聚物、聚酰胺树脂、聚乙烯醇缩丁醛、聚酯树脂、纤维素衍生物(硝化纤维素等)、苯乙烯·丁二烯共聚物、各种合成橡胶系树脂、酚醛树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、苯氧基树脂、硅树脂、氟树脂、丙烯酸系树脂、尿素甲酰胺树脂等。其中,从对通过蒸镀而形成的荧光体的柱状结晶和支承体的附膜性优异的角度考虑,优选为聚酯树脂、聚氨酯树脂等疏水性树脂。另外,上述树脂可以单独使用1种也可以使用2种以上。特别是通过组合使用玻璃化转变温度(Tg)差异5℃以上的2种以上的树脂能够容易地控制涂膜的物性,因而优选。此时能够组合使用的2种以上的树脂只要玻璃化转变温度互不相同,则可以是相同种类的树脂也可以是彼此不同种类的树脂。
作为支承体中、反射层的粘结剂树脂中的颜料,例如可举出坚牢黄、双偶氮黄、吡唑啉酮橙、色淀红4R、萘酚红等不溶性偶氮颜料;克罗姆夫塔黄、克罗姆夫塔红等缩合偶氮颜料;立索尔红、色淀红C、表面红(Watching Red)、亮洋红6B、枣红10B等偶氮色淀颜料;萘酚绿B等亚硝基颜料;萘酚黄S等硝基颜料;酞菁蓝、坚牢天蓝、酞菁绿等酞菁颜料;蒽嘧啶黄、紫环酮橙、红、硫靛红、阴丹士林蓝等还原类颜料;喹吖啶酮红、喹吖啶酮紫等喹吖啶酮颜料;二嗪紫等二嗪颜料;异吲哚啉酮黄等异吲哚啉酮颜料;孔雀蓝色淀、碱性蓝色淀等酸性染料色淀;若丹明色淀、甲基紫色淀、孔雀绿色淀等碱性染料色淀;等。
作为白色颜料,可举出氧化铝、氧化钇、氧化锆、二氧化钛、硫酸钡、二氧化硅、氧化锌、碳酸钙等。
对于颜料,在支承体中相对于构成上述作为膜的支承体的树脂100重量份,另外,在反射层中相对于反射层中的粘结剂树脂100重量份,优选为0.01~10重量份。如果颜料的量在上述范围,则得到充分着色的支承体或反射层(例如,在支承体上涂布含有颜料的反射层形成用涂料时,得到充分着色的涂膜),并且在尽管支承体或反射层的着色度不再变化但在支承体或反射层中过量添加颜料的情况下,能够防止构成作为膜的支承体的树脂、反射层中的粘结剂树脂的延伸、强度等机械物性劣化。
其他层
本发明涉及的放射线图像转换面板除了具有闪烁体层以外,可以与以往公知的闪烁体面板同样,进一步具有反射层、保护层、耐湿保护膜、遮光层、颜料层等。
(反射层)
以下,对反射层进行更详细的说明。
对于构成反射层的材料,如上所述。
由于本发明涉及的放射线图像转换面板包含闪烁体层和光电转换元件,所以能够作为放射线图像检测器使用。此时,从能够高效地将闪烁体层产生的发射光入射到光转换元件面板等的观点考虑,优选闪烁体层或者根据需要而设有保护层的闪烁体层(对于保护层,之后叙述)与组装有光电转换元件的光电转换元件面板直接耦合。
并且,为了能够更有效地将闪烁体层产生的荧光(发射光)导向光电转换元件面板,本发明涉及的放射线图像转换面板优选在与闪烁体层的光电转换元件面板侧相反的主面侧进一步含有反射层。另外,本发明涉及的放射线图像转换面板含有支承体时,从更有效地将闪烁体层产生的荧光(发射光)导向光电转换元件面板的观点考虑,优选反射层被设置于与闪烁体层的光电转换元件面板侧相反的主面侧且在支承体与闪烁体层之间的位置。在此,反射层是能够将由荧光体层(闪烁体层)发出的荧光(发射光)中在与闪烁体层的光电转换元件面板侧相反侧的主面的方向放射行进的荧光(发射光)反射到闪烁体层的光电转换元件面板侧的主面的方向的层。
在本发明涉及的放射线图像转换面板中,反射层的材质可以是与以往公知的闪烁体板的材质相同的材质。其中,优选反射率高的金属。金属的电导率优选为6.0S/m(西门子每米)以上,更优选30S/m以上。反射层的材质中的金属可以是单独1种也可以是2种以上。作为反射率高的金属膜层,可举出含有选自Al、Ag、Cr、Cu、Ni、Mg、Pt、Au中的至少1种金属的材料。在这些金属中,从反射率、电导率的角度考虑,特别优选Al(40S/m)、Ag(67S/m)、Au(46S/m)。另外,反射层可以由白色颜料和适当的粘结剂树脂构成。详细情况如上所述。
反射层可以由一层形成,或者也可以由两层以上形成。
反射层可以利用真空蒸镀、溅射蒸镀或者镀覆例如直接附着在支承体上,但从生产率的观点考虑,优选溅射蒸镀。反射层的膜厚根据反射层的附着方法而不同,真空蒸镀时优选50nm~400nm,溅射蒸镀时优选20nm~200nm。
(反射层用保护层)
本发明涉及的放射线图像转换面板含有反射层时,为了防止由闪烁体层中的荧光体导致的反射层的腐蚀等,可以在反射层与闪烁体层之间形成保护层(以下也称为“反射层用保护层”)。
从提高粘接性、提高生产率的观点考虑,优选反射层用保护层是由涂布将树脂溶于溶剂得到的涂料并干燥而形成的。从蒸镀结晶(闪烁体层中的作为柱状结晶的荧光体)与反射层的附膜的角度考虑,作为反射层用保护层的树脂(也是上述溶于溶剂的树脂),优选玻璃化转变温度为30~100℃的聚合物。
具体而言,作为反射层用保护层的树脂,可举出聚氨酯树脂、氯乙烯共聚物、氯乙烯-乙酸乙烯酯共聚物、氯乙烯-偏氯乙烯共聚物、氯乙烯-丙烯腈共聚物、丁二烯-丙烯腈共聚物、聚酰胺树脂、聚乙烯醇缩丁醛、聚酯树脂、纤维素衍生物(硝化纤维素等)、苯乙烯-丁二烯共聚物、各种合成橡胶系树脂、酚醛树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、苯氧基树脂、硅树脂、氟树脂、丙烯酸系树脂、尿素甲酰胺树脂等,特别优选聚酯树脂。
作为反射层用保护层的膜厚,从蒸镀结晶(闪烁体层中的作为柱状结晶的荧光体)与反射层的粘接性(附膜)的角度考虑,优选0.1μm以上,从确保保护层表面的平滑性的角度考虑,优选3.0μm以下。从相同的观点考虑,更优选反射层用保护层的厚度为0.2~2.5μm的范围。
作为用于形成反射层用保护层的涂料所使用的溶剂,可举出甲醇、乙醇、正丙醇、正丁醇等低级醇;二氯甲烷、氯化乙烯等含氯原子的烃;丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮等酮;甲苯、苯、环己烷、环己酮、二甲苯等芳香族化合物;乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯等低级脂肪酸与低级醇的酯;二烷、乙二醇单乙醚、乙二醇单甲醚等醚;和它们的混合物。
(耐湿保护膜)
本发明涉及的放射线图像转换面板包含闪烁体面板时,优选该闪烁体面板的外周被耐湿保护膜覆盖。耐湿保护膜具有对闪烁体面板整体进行防湿、抑制闪烁体层劣化(例如,闪烁体层的荧光体为潮解性时,因荧光体潮解而导致的闪烁体层的劣化)的作用。
另外,本发明涉及的放射线图像转换面板不包含闪烁体面板时(例如在光电转换元件面板上直接设置闪烁体层时),优选用耐湿保护膜覆盖闪烁体层的不与闪烁体层以外的层接触的面整体。
作为耐湿保护膜,可举出透湿度低的保护膜、聚对二甲苯之类的耐湿膜等。
例如在保护膜的情况下,可以使用聚对苯二甲酸乙二醇酯膜(PET)。除了PET以外,还可以使用PET以外的聚酯膜、聚甲基丙烯酸酯膜、硝化纤维素膜、乙酸纤维素膜、聚丙烯膜、聚萘二甲酸乙二醇酯膜等。另外,根据所需要的防湿性,耐湿保护膜也可以成为将在这些膜上蒸镀金属氧化物等而成的蒸镀膜层叠多片而成的构成。
另外,闪烁体面板含有支承体时,优选在闪烁体面板的支承体侧和光电转换元件面板侧的相互对置的面上设置用于密封支承体、闪烁体层、光电转换元件面板等的热熔合性的树脂(覆盖支承体、闪烁体层、光电转换元件面板等的热熔合性的树脂层,以下也称为“热熔合层”)。此时,支承体、闪烁体层、光电转换元件面板等如后所述可以通过将该热熔合性的树脂热熔合来密封。作为热熔合层,可以使用能够用通常使用的脉冲热封机进行熔合的树脂膜。例如可举出乙烯乙酸乙烯酯共聚物(EVA)、聚丙烯(PP)膜、聚乙烯(PE)膜等,但并不限于此。
耐湿保护膜可以通过用作为上述热熔合层用树脂膜的保护膜(以下,也称为“耐湿保护膜”)夹住未密封的闪烁体面板的上下,在减压气氛中将上下的耐湿保护膜接触的端部熔合、密封而形成在放射线图像转换面板上。
优选耐湿保护膜的厚度为10~100μm。
耐湿保护膜是赋予防湿性的膜,从防止闪烁体层劣化的角度考虑,具体而言优选耐湿保护膜的透湿度(也称为水蒸气透过率)为50g/m2·day以下,进一步优选为10g/m2·day以下,特别优选为1g/m2·day以下。在此,耐湿保护膜的透湿度可以基于由JIS Z0208规定的方法测定。
具体而言,耐湿保护膜的透湿度可以用以下方法测定。在40℃,以上述耐湿保护膜为界面,将一侧保持在90%RH(相对湿度),使用吸湿剂使另一侧保持在干燥状态。将在该状态下在24小时通过该保护膜的水蒸气的质量(g)(将保护膜换算成1m2)定义为耐湿保护膜的透湿度。
从将耐湿保护膜的透湿度调整为上述范围、提高耐湿保护膜的防湿性的观点考虑,作为耐湿保护膜,优选聚对苯二甲酸乙二醇酯膜、在聚对苯二甲酸乙二醇酯膜上蒸镀氧化铝薄膜而成的蒸镀膜。
另外,使用聚对二甲苯等耐湿膜作为耐湿保护膜时,通过将形成有上述荧光体层(闪烁体层)的支承体放入CVD装置的蒸镀室中,使其暴露在二对二甲苯升华的蒸气中,能够得到整个表面被聚对二甲苯膜被覆的闪烁体面板。
将这样得到的闪烁体面板与例如光电转换元件面板耦合来构成本发明涉及的放射线图像转换面板。
(遮光层)
遮光层含有具有遮光性的材料。
从调整支承体的反射率的观点考虑,优选遮光层是由含有铝、银、铂、钯、金、铜、铁、镍、铬、钴和不锈钢等中的1种或2种以上作为具有遮光性的材料的金属材料形成的层(金属薄膜)。其中,从能够对遮光层赋予优异的遮光性、耐腐蚀性的观点考虑,特别优选以铝或银为主成分的金属材料。另外,遮光层可以由1层上述金属薄膜构成,也可以由2层以上的上述金属薄膜构成。
从提高支承体与遮光层的密合性的观点考虑,优选在支承体与遮光层之间设置中间层。作为构成中间层的材料,除了一般的易粘接性的聚合物(例如环氧树脂等)以外,还可举出与遮光层的金属不同的金属(不同种类的金属)。作为不同种类的金属,例如可举出镍、钴、铬、钯、钛、锆、钼和钨。中间层可以单独含有1种这些不同种类的金属,也可以含有2种以上,其中,从遮光层的遮光性的观点考虑,优选单独含有镍或铬,或者含有两者。从发射光提取效率的观点考虑,遮光层的厚度优选为0.005~0.3μm,更优选为0.01~0.2μm。
由于由这样的金属材料构成的遮光层也作为防静电层发挥功能,所以即使出于防止本发明涉及的放射线图像转换面板带电的目的也可优选使用。含有这样的金属材料的遮光层可以作为防静电层而代替上述添加有防静电剂的反射层,或者,也可以一起采用。此时,以在支承体上设有反射层的层叠体为样品,从本发明涉及的放射线图像转换面板的防静电的观点考虑,在反射层的、与和支承体相接的面相反侧的表面测定的表面电阻值优选1.0×1012Ω/□以下,进一步优选1.0×1011Ω/□以下,最优选1.0×1010Ω/□以下(Ω/□的□为方块。以下相同)。
作为用遮光层遍及整面地被覆支承体的一个主面的方法,没有特别限制,例如可举出利用蒸镀、溅射而在支承体的一个主面的整面形成遮光层的方法,或者将作为金属箔的遮光层贴合于支承体的一个主面的整面的方法,但从遮光层与支承体的密合性的观点考虑,最优选利用溅射在支承体的一个主面的整面形成遮光层的方法。
(颜料层)
颜料层只要是光吸收性且被着色就没有特别限制,例如为含有颜料和粘结剂树脂的层。作为颜料层的颜料,也可以使用以往公知的颜料。由于优选吸收更容易发生光散射的红色的长波光成分的颜料,因此优选蓝色的颜料。作为这样的蓝色颜料材料,例如优选群青、普鲁士蓝(亚铁氰化铁)等。另外,作为有机蓝色颜料,优选酞菁、蒽醌、靛蓝、碳等。在这些有机蓝色颜料中,从颜料层的放射线耐久性、紫外线耐久性等观点考虑,优选酞菁。颜料层的粘结剂树脂例如可举出聚氨酯、氯乙烯共聚物、氯乙烯乙酸乙烯酯共聚物、氯乙烯偏氯乙烯共聚物、氯乙烯丙烯腈共聚物、丁二烯丙烯腈共聚物、聚酰胺树脂、聚乙烯醇缩丁醛、聚酯树脂、纤维素衍生物(硝化纤维素等)、苯乙烯丁二烯共聚物、各种合成橡胶系树脂、酚醛树脂、环氧树脂、尿素树脂、三聚氰胺树脂、苯氧基树脂、硅树脂、氟树脂、丙烯酸系树脂、尿素甲酰胺树脂树脂等,其中,从对(例如通过蒸镀形成的)荧光体的柱状结晶和支承体的附膜性优异的角度考虑,优选为聚酯树脂、聚氨酯树脂等疏水性树脂,更优选聚酯树脂、聚氨酯树脂。从颜料层的光吸收性的观点考虑,优选颜料层的颜料的量相对于粘结剂树脂100重量份为0.01~10重量份。
从裁断性的观点考虑,颜料层的厚度优选1~500μm。
作为用颜料层被覆支承体的一个主面的整面的方法,可以采用将含有上述颜料、溶剂等的颜料层形成用涂布液涂布在支承体的一个主面上并干燥的方法来形成。
[放射线图像转换面板的制造方法]
本发明涉及的放射线图像转换面板的制造方法只要不损害本发明的目的就没有特别限制,基本上可以采用与以往公知的放射线图像转换面板的制造方法相同的方法。从上述的本发明涉及的放射线图像转换面板的强度的观点考虑,优选形成构成闪烁体层的荧光体的柱状结晶时,能够使其以柱状结晶的根部彼此相互独立的方式存在的方法。
具体而言,在支承体上,根据需要,按照以往公知的方法形成反射层、保护层,其后形成闪烁体层,进而,根据需要,按照以往公知的方法形成耐湿保护膜,由此能够得到闪烁体面板。在此,反射层、保护层、耐湿保护膜的形成可以利用上述“其他层”一项中的“反射层”、“保护层”、“耐湿保护膜”项中记载的方法来进行。通过在上述闪烁体面板上耦合光电转换元件面板,能够得到本发明涉及的放射线图像转换面板。
另外,使用光电转换元件面板代替上述支承体,在光电转换元件面板上直接或者介由由丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂构成的平坦化层形成闪烁体层,进而根据需要形成反射层、耐湿保护层,由此也能够得到本发明涉及的放射线图像转换面板。
在此,闪烁体层的形成方法只要能够使构成闪烁体层的荧光体为柱状结晶的形态,其具体的方法就没有限定。在这些方法中,优选能够以柱状结晶的根部彼此能够以相互独立的形式存在的方式形成柱状结晶的方法。另外,在本发明涉及的放射线图像转换面板的制造方法中,优选利用气相法将闪烁体层成膜,具体而言优选利用蒸镀法形成。
蒸镀法所使用的装置没有特别限定,例如优选为如图4所示的蒸镀装置40。
如图4所示,蒸镀装置40具有箱状的真空容器41,在真空容器41的内部配置有蒸镀源47。该蒸镀源47以收容于具备加热装置的容器的状态被设置,通过使加热装置工作来进行蒸镀源47的加热。形成闪烁体层时,将荧光母材化合物或者含有荧光体母材化合物和激活剂的混合物填充到具备加热装置的容器中,通过使加热装置工作,能够将上述荧光体母材化合物或上述混合物作为蒸镀源47而加热·蒸发。在此,蒸镀源47可以如图5所示存在多个。在此,在图5中,作为蒸镀源47,具备3个蒸镀源47a、47b、47c,但也可以根据构成闪烁体层的材料来改变其个数。
在此,对于含有激活剂的蒸镀源47,优选填充于与填充有其他荧光母材化合物的容器不同的容器中。在这样的方式中,通过个别调整含有激活剂的蒸镀源47的加热温度,或者调整闸门48的开放度等,能够在柱状结晶的任意位置(特别是闪烁体层的厚度方向)精度更好地控制激活剂浓度。
作为具备加热装置的容器,例如可以使用电阻加热坩埚等。在此,构成容器的材质可以为氧化铝等陶瓷,也可以为钽、钼等高熔点金属。
在真空容器41的内部且蒸镀源47的正上方配置有保持蒸镀用基板43的支架44。在此,作为蒸镀用基板43,可以使用支承体本身(支承体上未层叠有反射层、保护层等其他层),或者可以使用在支承体上形成反射层、保护层而成的层叠体。
在支架44上配置有加热器(省略图示),通过使该加热器工作能够对安装于支架44的蒸镀用基板43进行加热。加热蒸镀用基板43时,可以将使闪烁体层蒸镀前的蒸镀用基板43的表面的吸附物脱离·除去,或者防止在与形成于其表面的闪烁体层之间形成杂质层,或者加强与形成于其表面的闪烁体层的密合性,或者进行在其表面形成的闪烁体层的膜质的调整。
在支架44上配置有使该支架44旋转的旋转机构45。由于旋转机构45由与支架44连接的旋转轴46和成为其驱动源的马达(省略图示)构成,所以如果驱动该马达,则旋转轴46旋转而能够使支架44在与蒸镀源47对置的状态下旋转。
在蒸镀装置40中,除了上述构成以外,真空容器41中还配置有真空泵42。真空泵42进行真空容器41的内部的排气和向真空容器41的内部的气体导入,通过使该真空泵42工作,能够将真空容器41的内部维持在一定压力的气体气氛下。
本发明涉及的放射线图像转换面板中的闪烁体层可以通过如下方式形成:将荧光体填充于具备加热装置的容器中,对装置内进行排气,同时从导入口导入氮等非活性的气体使装置内为1.333Pa~1.33×10-3Pa左右的减压环境,接着,使荧光体加热蒸发,在(根据需要为具有反射层、保护层等的支承体)蒸镀用基板43的表面堆积荧光体的蒸镀结晶。在此,形成由荧光体与激活剂的混合物构成的结晶时,可以使用如图5所示的蒸镀装置40,在具备第1加热装置的容器中填充作为荧光体母材原材料的荧光体,在具备第2加热装置的容器中填充激活剂,分别作为蒸发源47a和47b进行蒸镀(图5中的蒸镀源47c和具备收容它的第3加热装置的容器可以省略)。
另外,形成包含含有基底层的2层以上的层的闪烁体层时,可以将基底层形成用的荧光体、根据需要而使用的基底层形成用的激活剂、基底层以外的层形成用的荧光体、基底层以外的层形成用的激活剂分别填充到各自的具备加热装置的容器中,增减各自的蒸镀源的填充量,此外/或者边每个蒸镀源地分别开关闸门48边进行蒸镀。
形成于蒸镀用基板43的柱状结晶的晶粒直径可以通过改变蒸镀用基板43的温度来控制,越提高蒸镀用基板43的温度,越能够增大晶粒直径。因此,形成根部相互独立的柱状结晶时,需要降低形成闪烁体层的蒸镀用基板43的蒸镀开始时的温度,具体而言优选设定在5℃~320℃。另外,为了适度地减小高度3μm的位置处的上述柱状结晶的平均晶粒直径b相对于高度1μm的位置处的上述柱状结晶的平均晶粒直径a的比率(b/a),优选适度地减小蒸镀初期的蒸镀用基板43的升温速度,例如,优选以如下方式控制蒸镀用基板43的升温速度,即,相对于蒸镀用基板43蒸镀开始时的温度(柱状结晶的高度为0μm),将根部3μm的荧光体蒸镀于蒸镀用基板43(柱状结晶的高度为3μm的时刻)之前的基板温度差成为100℃以内。并且,其后在蒸镀结束之前的期间,优选将蒸镀用基板43的温度维持在150℃~320℃。应予说明,如果过度提高蒸镀初期的蒸镀用基板43的升温速度,则有时在闪烁体层中产生柱状结晶的晶粒直径不连续变化的位置,但对于本发明涉及的放射线图像转换面板而言,即使产生这样的位置也能够作为放射线图像转换面板发挥功能。
在闪烁体层包含含有基底层的2层以上的层的方式中,为了将基底层的膜厚控制成上述“闪烁体层”一项中记载的优选的范围,可以对填充于具备基底层蒸镀用加热装置的容器(电阻坩埚)中的量或者开关闸门48的时机、开放·闭合时间进行调整来进行蒸镀。在此,在形成含有根部相互独立的柱状结晶的闪烁体层,制造能够提供亮度更高、清晰性更优异的X射线图像等放射线图像的放射线图像转换面板方面,在形成基底层期间,优选使蒸镀用基板43的温度为15℃~50℃,特别优选不加热蒸镀用基板43。
另外,基底层以外的层通过如下方式形成:在具备加热装置的容器中填充荧光体母材化合物与激活剂的混合物,或者将荧光体母材化合物和激活剂分别填充到各自的具备加热装置的容器中,在基底层上,使用与上述相同的蒸镀条件、方法而堆积蒸镀结晶。基底层以外的层的膜厚的调整可以通过调整填充于具备基底层以外的层形成用加热装置的容器中的荧光体母材化合物(和激活剂)的量或者开关闸门48的时机、开放·闭合时间来进行。
实施例
利用以下实施例更具体地说明本发明。应予说明,本发明只要不超过其主旨,就不限定于以下实施例的记载。
[实施例1]
(支承体)
作为构成放射线图像转换面板的支承体,采用厚度125μm的聚酰亚胺膜(宇部兴产社制UPILEX-125S)制支承体。
(闪烁体层的形成)
在本实施例1中,如下所示,使用图5所示的蒸镀装置40(其中,省略蒸镀源47c),不形成基底层地(整个过程中从1个坩埚(第1电阻加热坩埚)蒸镀CsI)在支承体的主面的一方仅形成1层,由此形成闪烁体层。
首先,将荧光体原料(CsI)作为蒸镀材料填充于第1电阻加热坩埚,将激活剂(TlI)填充于第2电阻加热坩埚,将各自的电阻加热坩埚的内容物分别作为蒸镀源47a、47b。另外,在能够旋转的支架44上设置上述支承体作为蒸镀用基板43,将蒸镀用基板43与蒸镀源47的间隔调节为400mm(更具体而言,调整成蒸镀用基板43与蒸镀源47a的间隔和蒸镀用基板43与蒸镀源47b的间隔分别成为400mm)。
接着,使用真空泵42暂时排出蒸镀装置40的真空容器41内部的空气,导入Ar气而将蒸镀装置40的真空容器41内的真空度调整到0.5Pa(绝对压力)后,以10rpm的速度使蒸镀用基板43与支架44一起旋转。然后,使蒸镀用基板43的温度在蒸镀开始时为250℃,加热第1电阻加热坩埚而将荧光体蒸镀于蒸镀用基板的闪烁体形成预定面,形成3μm构成闪烁体层的部分中的根部。这样形成根部后,使蒸镀用基板43的温度为200℃,开始第2电阻加热坩埚的加热,也形成构成根部以外的闪烁体层的部分。此时,通过以闪烁体层根部侧的激活剂浓度为0.7mol%、闪烁体前端部侧为0.4mol%、构成根部侧与前端部侧之间的中间部的层中的200~300μm的部分为0.2mol%的方式控制第2电阻加热坩埚的加热温度来调整激活剂的蒸镀速度,从而控制闪烁体层的各区域(根部侧、前端部侧、中间部)的激活剂浓度。在此,蒸镀用基板的加热通过加热支架44来进行。
在闪烁体层的膜厚成为400μm时结束蒸镀,得到在蒸镀用基板43的闪烁体形成预定面上具有规定膜厚的闪烁体层的面板(以下,也称为“闪烁体面板”)。
接着,准备PaxScan(Varian公司制FPD:2520),安置如上所述得到的闪烁体面板来代替预先供给于PaxScan的闪烁体面板,得到放射线图像转换面板(以下,在该项中也称为“FPD”)。
[实施例2]
(支承体)
作为构成放射线图像转换面板的支承体,采用厚度125μm的聚酰亚胺膜(宇部兴产社制UPILEX-125S)制支承体。
(闪烁体层的形成)
在本实施例2中,使用图5所示的蒸镀装置40,如下,在支承体的主面的一方形成闪烁体层(在本实施例2中,在支承体的主面的一方形成基底层,接着,在基底层形成另外的层(首先,从第1电阻加热坩埚蒸镀CsI,接着,也从第二抵抗坩埚蒸镀CsI),由此形成闪烁体层)。
首先,将荧光体原料(CsI)作为蒸镀材料填充于2个电阻加热坩埚中,将激活剂(TlI)填充于1个电阻加热坩埚中。在此,将填充有荧光体原材料的电阻加热坩埚中的一方作为第1电阻加热坩埚,将另一方作为第2电阻加热坩埚。另外,将填充有激活剂的电阻加热坩埚作为第3电阻加热坩埚。将这些第1电阻加热坩埚、第2电阻加热坩埚、第3电阻加热坩埚的内容物分别作为蒸镀源47a、47b、47c。另外,在能够旋转的支架44设置上述支承体作为蒸镀用基板43,将蒸镀用基板43与蒸镀源47a、47b、47c的间隔调节为400mm(更具体而言,调整成蒸镀用基板43与蒸镀源47a的间隔、蒸镀用基板43与蒸镀源47b的间隔和蒸镀用基板43与蒸镀源47c的间隔分别成为400mm)。
接着,使用真空泵42暂时排出蒸镀装置40的真空容器41内部的空气,导入Ar气而将蒸镀装置40的真空容器41内的真空度调整到0.5Pa(绝对压力)后,以10rpm的速度使蒸镀用基板43与支架44一起旋转。
然后,使蒸镀用基板43的温度在蒸镀开始时为50℃,开始第1电阻加热坩埚和第3电阻加热坩埚的加热,对蒸镀用基板43的闪烁体形成预定面进行蒸镀,形成3μm构成荧光体层(闪烁体层)的部分中的根部。
这样形成根部后,使蒸镀用基板43的温度为200℃,开始第2电阻加热坩埚和第3电阻加热坩埚的加热,也形成构成根部以外的闪烁体层的部分。此时,通过以闪烁体层根部侧的激活剂浓度为0.7mol%、闪烁体前端部侧为0.5mol%、根部侧与前端部侧之间的中间部为0.2mol%的方式控制第3电阻加热坩埚的加热温度来调整激活剂的蒸镀速度,从而控制闪烁体层的各区域(根部侧、前端部侧、中间部)的激活剂浓度。在此,蒸镀用基板43的加热通过加热支架44来进行。
在闪烁体层的膜厚成为400μm时结束蒸镀,得到在蒸镀用基板43的闪烁体形成预定面上具有规定膜厚的闪烁体层的面板(闪烁体面板)。
接着,将得到的闪烁体面板安置在作为光电转换元件面板的PaxScan(FPD)上,得到放射线图像转换面板。
[比较例1]
调整蒸镀中的第2电阻加热坩埚的加热温度,以闪烁体层根部侧的激活剂浓度为0.7mol%、闪烁体前端部侧和中间部为0.3mol%的方式调整激活剂的蒸镀速度,除此之外,利用与实施例1相同的方法得到放射线图像转换面板。
[比较例2]
调整蒸镀中的第2电阻加热坩埚的加热温度,以闪烁体层根部侧和前端部侧的激活剂浓度为0.3mol%、中间部的激活剂浓度为0.7mol%的方式调整激活剂的蒸镀速度,除此之外,利用与实施例1相同的方法得到放射线图像转换面板。
[比较例3]
调整蒸镀中的第2电阻加热坩埚的加热温度,以从闪烁体层根部侧到前端部侧激活剂浓度均匀地成为0.7mol%的方式调整激活剂的蒸镀速度,除此之外,利用与实施例1相同的方法得到放射线图像转换面板。
[闪烁体面板和放射线图像转换面板的评价]
对于各实施例和比较例中得到的放射线图像转换面板,对以下项目(闪烁体层的激活剂浓度峰、放射线图像转换面板的耐湿性、所得放射线(X射线)图像的亮度和MTF)进行测定、评价。
在此,所得放射线(X射线)图像的亮度和MTF的评价使用放射线图像转换面板进行。另外,闪烁体层的激活剂浓度峰的测定、放射线图像转换面板的耐湿性的评价使用与光电转换元件面板(FPD)耦合前的闪烁体面板进行。结果示于下述表1。
(闪烁体层的激活剂浓度峰的测定)
激活剂的浓度使用ICP发射光谱仪(ICP-OES:电感耦合等离子体原子发射光谱法,Inductively-Coupled-Plasma Optical Emission Spectrometry,Seiko Instruments株式会社制SPS3100),用ICP发射光谱分析法,根据上述激活剂浓度分布曲线的说明中叙述的激活剂浓度的测定方法进行测定。
即,首先,通过切割从蒸镀结束面(闪烁体层的前端部侧的主面)每次约100μm地切削由蒸镀形成的闪烁体层,将粒子化的结晶取出到包药纸上。重复该操作至到达支承体表面,每次约100μm地取出到各自的包药纸上。然后,用上述分析仪对所得到的每100μm的结晶进行激活剂浓度的测定(供给于连带包药纸地测定结晶的总量)。
(亮度)
对放射线图像转换面板的FPD照射管电压80kVp的X射线,将所得图像数据的平均信号值作为发光量,进行所得放射线(X射线)图像的亮度的评价。在表1中,使基于比较例1的放射线图像转换面板的发光量求出的放射线(X射线)图像的亮度为1.0,将所得放射线(X射线)图像的亮度小于其1倍的放射线图像转换面板评价为“×”,将1倍(同等)以上且小于1.2倍的放射线图像转换面板评价为“△”,将1.2倍以上的放射线图像转换面板评价为“○”。
(MTF)
通过铅制的MTF图对放射线图像转换面板的FPD的放射线入射面侧照射管电压80kVp的X射线,检测图像数据并记录于硬盘。然后,用计算机分析硬盘上的记录并将记录于该硬盘的X射线图像的调制传递函数MTF(空间频率1次循环/mm的MTF值)作为所得X射线图像的清晰性的指标。MTF值越高,表示上述清晰性越优异。MTF表示调制传递函数(Modulation Transfer Function)的缩写。
对于MTF值,测定放射线图像转换面板内的9个位置,评价其平均值(平均MTF值)。在表1中,使比较例1的放射线图像转换面板的平均MTF值为1.0,将平均MTF值为1.2倍以上的放射线图像转换面板评价为“◎”,将1倍(同等)以上且小于1.2倍的放射线图像转换面板评价为“○”,将0.8倍以上且小于1倍的放射线图像转换面板评价为“△”,将小于0.8倍的放射线图像转换面板评价为“×”。
(耐湿性)
将闪烁体面板在40℃80%RH环境下静置40小时,其后,将静置后的闪烁体面板安置在FPD上,制作放射线图像转换面板,根据上述的方法测定介由该照射线图像转换面板得到的放射线(X射线)图像的亮度和MTF,进行上述环境放置前后的放射线图像转换面板的性能比较评价,将其作为放射线图像转换面板的耐湿性的评价指标。
相对于介由包含在40℃80%RH环境进行40小时放置处理前的闪烁体面板的放射线图像转换面板,将介由包含该放置处理后的闪烁体面板的放射线图像转换面板得到的放射线(X射线)图像的亮度·MTF而得到的放射线(X射线)图像的亮度·MTF为0.9倍以上且小于1.1倍的放射线图像转换面板评价为“○”,将0.8以上且小于0.9倍或1.1倍以上且小于1.2倍的放射线图像转换面板评价为“△”,将小于0.8倍或1.2倍以上的放射线图像转换面板评价为“×”。
[表1]
符号说明
1 …支承体
2 …包含光电转换元件的面板
3 …闪烁体层
10 …闪烁体面板
11 …支承体
12 …闪烁体层
120、120 …柱状结晶
121 …基底层以外的层
122 …基底层
13 …反射层
20 …光电转换元件面板
30 …本发明涉及的放射线图像转换面板
40 …蒸镀装置
41 …真空容器
42 …真空泵
43 …蒸镀用基板
44 …支架
45 …旋转机构
46 …旋转轴
47、47a、47b、47c …蒸镀源
48 …闸门
50 …闪烁体层的厚度方向
60 …柱状结晶的高度
71 …前端部侧(厚度100μm)
72 …根部侧(厚度100μm)
73 …用于表示前端部侧的区域的开始位置的实线
74 …用于表示根部侧的区域的结束位置的实线
80 …柱状结晶的根部

Claims (8)

1.一种放射线图像转换面板,包含光电转换元件及闪烁体层,该闪烁体层含有作为柱状结晶的荧光体和至少1种激活剂,所述放射线图像转换面板的特征在于,
所述闪烁体层的厚度方向的激活剂浓度分布曲线显示2个以上的峰,其中如下制作激活剂浓度分布曲线:在闪烁体层的厚度方向上每个厚度100μm的区域的激活剂浓度描绘为棒形图上沿纵轴的棒,且厚度在闪烁体层中的位置作为横轴,并将各棒的中点连接,在所述激活剂浓度分布曲线中,所述激活剂的浓度峰存在于所述荧光体的柱状结晶的根部侧和位于与该根部侧相反的方向的前端部侧这两方,
所述根部侧是所述闪烁体层的、从位于所述柱状结晶的生长方向的起点侧的第一主面到100μm厚度的区域,前端部侧是所述闪烁体层的从与位于所述柱状结晶的生长方向的起点侧的主面相反侧的第二主面到100μm厚度的区域,并且
在所述闪烁体层的从与所述光电转换元件对置的第一主面到100μm厚度的区域存在的所述激活剂的量在以所述区域存在的荧光体母材化合物为100mol%时为0.3~0.7mol%。
2.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板,其特征在于,所述作为柱状结晶的荧光体的主成分为碘化铯CsI。
3.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板,其特征在于,所述激活剂中的至少1种激活剂为含有铊化合物Tl的激活剂。
4.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板,其特征在于,所述荧光体由多个柱状结晶构成,该多个柱状结晶的根部彼此以相互独立的方式存在。
5.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板,其特征在于,所述放射线图像转换面板包含支承体和反射层,
所述反射层和所述闪烁体层被设置在所述支承体上,
所述反射层由白色颜料和粘结剂树脂构成。
6.根据权利要求1所述的放射线图像转换面板,其特征在于,在所述激活剂浓度分布曲线中,激活剂浓度的最大值与最小值之差为0.2mol%以上。
7.根据权利要求1的放射线图像转换面板,其特征在于,所述作为柱状结晶的荧光体是利用气相沉积法形成的。
8.根据权利要求1的放射线图像转换面板,其特征在于,在分布曲线中柱状结晶的根部侧的激活剂浓度峰高于位于与该根部侧相反的方向的前端部侧的激活剂浓度峰。
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