CN104122798A - 压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 - Google Patents
压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104122798A CN104122798A CN201410354111.2A CN201410354111A CN104122798A CN 104122798 A CN104122798 A CN 104122798A CN 201410354111 A CN201410354111 A CN 201410354111A CN 104122798 A CN104122798 A CN 104122798A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- model
- ceramic actuator
- output
- linear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Feedback Control In General (AREA)
Abstract
一种运动控制和精密制造技术领域的压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统,通过首先建立磁滞非线性精确模型H[·]及其逆特性表达式H-1[·],基于H-1[·]设计前馈控制器以消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性;然后通过系统辨识方法辨识含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器系统的线性动力学模型G(s),并根据G(s)的动力学特性设计用于增大系统增益余量的主动阻尼控制器;最后通过PID控制算法实现高速纳米精度运动控制;本发明能够消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性和谐振振动对系统运动速度和精度的影响,本发明方便实用且能够实现实时控制。
Description
技术领域
本发明涉及的是一种运动控制和精密制造技术领域的方法及系统,具体是一种基于磁滞非线性和线性动力学串联的动态系统的压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统。
背景技术
随着纳米技术的发展,精密制造装备对纳米运动精度的要求越来越高。传统意义上的电机驱动器已无法满足这一精密运动的苛刻要求,需要采用能直接将电或磁能转换成机械能的智能材料驱动器。因具有位移分辨率高、驱动力大、刚度高、带宽高、响应速度快等优点,压电陶瓷驱动器的应用日益广泛。但是在实际控制中,压电陶瓷材料具有固有的磁滞非线性和压电陶瓷驱动器的低阻尼谐振振动,会造成系统的控制带宽较低、精度较差,甚至会引起整个闭环系统的不稳定。如何设计有效的控制方法补偿压电陶瓷驱动器的磁滞非线性和谐振振动,实现压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动,是当前研究的一大挑战。
经过对现有技术的检索发现,中国专利文献号CN103853046A公开(公告)日2014.06.11,公开了一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法,包括如下步骤:1)建立压电陶瓷驱动器的动态迟滞模型,设计人工神经网络与PID结合的控制方法;2)采用强化学习算法在线实现PID参数的自适应整定;3)采用一个三层径向基函数网络同时对强化学习算法中执行器的策略函数和评价器的值函数进行逼近;4)径向基函数网络第一层输入系统误差、误差的一次差分和二次差分;5)强化学习中的执行器实现系统状态到PID三个参数的映射;6)强化学习中评价器则对执行器的输出进行评判并且生成误差信号,利用该信号来更新系统的各个参数。该技术解决压电陶瓷驱动器的迟滞非线性问题,提高压电陶瓷驱动平台的重复定位精度,消除压电陶瓷的迟滞非线性对系统的影响。但该技术的缺陷和不足在于:1)需要采用动态磁滞模型,增加了系统的建模复杂性;2)必须结合神经网络才能进行控制;3)该方法仅关注于跟踪精度,并未考虑如何通过控制提高跟踪速度。
中国专利文献号CN103336429A公开(公告)日2013.10.02,公开了一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法,涉及高精度微机电系统与伺服技术领域,解决现有压电陶瓷执行器控制方法的不足,包括压电陶瓷线性化干扰观测器、反馈控制器、以及线性前馈;所述压电陶瓷线性化干扰观测器将压电陶瓷非线性迟滞、外界干扰、惯性力其它未建模动态等因素统一折合为等效干扰,实现该等效干扰的观测与补偿,从而保证压电陶瓷执行器响应特性的线性化;反馈控制器包含积分环节与二重积分环节,保证压电陶瓷执行器对指令的跟踪精度;所述线性前馈根据线性化的压电陶瓷执行器特性,将位置指令直接作用在压电陶瓷执行器上,提高执行器的动态性能。该技术不依靠非线性迟滞模型,且简单、可靠,提高了压电陶瓷执行器的伺服精度。但该技术的缺陷和不足在于:1)将压电陶瓷执行器简单的看做线性系统,而实际中压电陶瓷执行器的磁滞非线性具有非光滑特性,理论上线性化干扰观测器无法解决这类非线性的控制问题;2)该方法仅关注于跟踪精度,并未考虑如何通过控制提高跟踪速度。
发明内容
本发明针对现有技术存在的上述不足,提出一种压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统,能够消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性和谐振振动对系统运动速度和精度的影响,本发明方便实用且能够实现实时控制。
本发明是通过以下技术方案实现的:
本发明涉及一种压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法,通过首先建立磁滞非线性精确模型H[·]及其逆特性表达式H-1[·],基于H-1[·]设计前馈控制器以消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性;然后通过系统辨识方法辨识含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器系统的线性动力学模型G(s),并根据G(s)的动力学特性设计用于增大系统增益余量的主动阻尼控制器;最后通过PID控制算法实现高速纳米精度运动控制。
所述的压电陶瓷驱动器为磁滞非线性和线性动力学串联的动态系统;
所述的磁滞非线性精确模型是一种基于Play算子的增强型Prandtl‐Ishilinskii模型,具体是指: 其中:H[·]为磁滞非线性精确模型,u(t)为模型的输入,w(t)为模型的输出,g(u)(t)为输入信号u(t)函数,Fr[u](t)为依赖于阈值r的Play算子,p(r)为模型的密度函数。
所述的前馈控制器基于磁滞非线性精确模型H[·]的逆特性数学表达式H-1[·],具体为: 其中:H-1[·]为磁滞非线性精确模型H[·]的逆模型,w(t)为逆模型的输入,u(t)为逆模型的输出,Fr[u](t)为依赖于阈值r的Play算子,p'(r)为逆模型的密度函数,a'1,a'2为逆模型参数。
所述的系统辨识方法是指:带有外生变量的自回归模型(Autoregression with exogenoussignal,ARX)的最小二乘辨识方法。
所述的线性动力学模型是指:采用扫频或者带限白噪声信号产生激励压电陶瓷驱动器的控制命令u(t),通过位移传感器采集压电陶瓷驱动器的输出信号y(t),根据保存的u(t)和y(t)的数值,通过Matlab的系统辨识工具箱辨识系统的线性动力学模型G(s)。
所述的主动阻尼控制器是指:在线性动力学模型基础上采用开环或闭环的形式构建的用于增加系统在谐振频率点的阻尼比的主动阻尼控制器,具体为:开环的形式时采用陷波滤波的控制器,闭环的形式时采用积分谐振控制的控制器。
本发明涉及一种实现上述方法的装置,包括:依次串联连接的加法器、位置跟踪器、主动阻尼控制器、磁滞补偿器和压电陶瓷驱动器,其中:加法器的输入端分别与期望跟踪位移信号和压电陶瓷驱动器的输出端相连并输出跟踪误差信息至位置跟踪器,位置跟踪器采用PID控制算法实时计算向主动阻尼控制器输出控制指令,主动阻尼控制器经陷波滤波算法或积分谐振控制算法实时计算向磁滞补偿器输出补偿控制信号,磁滞补偿器经磁滞补偿算法实时计算向压电陶瓷驱动器输出激励信号,压电陶瓷驱动器根据激励信号发生运动。
技术效果
与现有技术相比,本发明的技术效果包括:可以有效消除磁滞非线性和谐振振动对压电陶瓷驱动器运动精度和速度的影响,实现压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动生成。
附图说明
图1为压电陶瓷驱动器的非线性动力学模型示意图;
图2为补偿磁滞非线性的前馈控制示意图;
图3为含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器的系统动力学模型示意图。
图4为开环形式的主动阻尼控制示意图。
图5为闭环形式的主动阻尼控器示意图。
图6为含开环形式的主动阻尼控制的位置环跟踪控制器示意图。
图7为含闭环形式的主动阻尼控制的位置环跟踪控制器示意图。
图8为闭环形式的主动阻尼控制的积分谐振控制器示意图。
具体实施方式
下面对本发明的实施例作详细说明,本实施例在以本发明技术方案为前提下进行实施,给出了详细的实施方式和具体的操作过程,但本发明的保护范围不限于下述的实施例。
实施例1
本实施例包括以下步骤:
步骤1、将压电陶瓷驱动器描述为如图1所示磁滞非线性和线性动力学串联的动态系统模型。
步骤2、采用基于Play算子的增强型Prandtl‐Ishilinskii模型H[·]描述系统的磁滞非线性,在实际应用中需要对增强型Prandtl‐Ishilinskii模型离散化,离散化增强型Prandtl‐Ishilinskii模型有以下方程表示数学表达式为:
步骤3、基于辨识的模型参数,构造描述磁滞模型H[·]逆特性的数学表达式H-1[·],具体为 利用如图2所示的前馈控制器,消除磁滞非线性。
步骤4、采用带限白噪声信号产生激励压电陶瓷驱动器的控制命令u(t),通过位移传感器采集压电陶瓷驱动器的输出信号y(t),根据保存的u(t)和y(t)的数值,通过Matlab的系统辨识工具箱辨识系统的线性动力学模型G(s),如图3所示。
步骤5、在辨识的系统动力学模型G(s)的基础上,采用开环(如图4所示)或闭环(如图5所示)的形式设计主动阻尼控制器,增加系统在谐振频率点的尊尼比,进而达到增大系统的增益余量。
步骤6、在步骤4设计的主动阻尼控制器的基础上,设计高增益位置环控制算法,如图6或7所示,补偿系统的未建模动态和外界扰动,实现压电陶瓷驱动器的高速高精度运动生成。
本实施例实现上述方法的装置,包括:依次串联连接的加法器、位置跟踪器、主动阻尼控制器、磁滞补偿器和压电陶瓷驱动器,其中:加法器的输入端分别与期望跟踪位移信号和压电陶瓷驱动器的输出端相连并输出跟踪误差信息至位置跟踪器,位置跟踪器采用PID控制算法实时计算向主动阻尼控制器输出控制指令,主动阻尼控制器经陷波滤波算法或积分谐振控制算法实时计算向磁滞补偿器输出补偿控制信号,磁滞补偿器经磁滞补偿算法实时计算向压电陶瓷驱动器输出激励信号,压电陶瓷驱动器根据激励信号发生运动。
所述的压电陶瓷驱动器包括:磁滞非线性模块和线性动力学模块,其中:磁滞非线性模块输入信号为u,输出信号为w,线性动力学模块输入信号为w,输出信号为y。
如图3所示,所述的磁滞补偿器采用磁滞补偿算法,根据补偿控制信号计算得到压电陶瓷驱动器的激励信号,该磁滞补偿算法基于前馈控制器得到,即磁滞非线性精确模型H[·]的逆模型H-1[·]。
所述的主动阻尼控制器采用闭环主动阻尼控制器或开环主动阻尼控制器中的任一一种,当采用闭环主动阻尼控制器时,所述闭环主动阻尼控制器和所述位置跟踪器之间设有第二加法器,该加法器的输入端分别与位置跟踪器和压电陶瓷驱动器的输出端相连并输出控制信息至磁滞补偿器。
所述的位置跟踪器采用离散化的PID控制算法,根据跟踪误差e、期望跟踪位移以及实际输出位移计算得到输出控制信号:v(kTs)=kpe(kTs)+ki∑e(kTs)+kd{e(kTs)-e[(k-1)Ts]},其中:kp,ki,kd为PID控制器的控制参数,整数k=1,2,…,N为离散采样的次数,Ts为采样周期,e(kTs)=yd(kTs)-y(kTs),为第k次采样时的跟踪误差,yd(kTs)为第k次采样时的期望跟踪位移,y(kTs)为第k次采样时压电陶瓷驱动器的实际输出位移,v(kTs)为第k次采样时的输出控制信号。
所述的开环主动阻尼控制器采用陷波滤波算法,根据位置跟踪器的输出控制信号计算得到补偿控制信号N(s),即其中:ζ0,ω0为辨识的系统动力学模型G(s)的谐振模态的阻尼比和谐振频率,ζ1,ω1是谐振滤波器的控制参数。
如图8所示,所述的闭环主动阻尼控制器采用积分谐振控制算法,根据位置跟踪器的输出控制信号计算得到补偿控制信号,其系统方程为包括:前通向Df和积分控制器Df,k为积分谐振器的控制参数。
Claims (10)
1.一种压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法,其特征在于,通过首先建立磁滞非线性精确模型H[·]及其逆特性表达式H-1[·],基于H-1[·]设计前馈控制器以消除压电陶瓷驱动器的磁滞非线性;然后通过系统辨识方法辨识含磁滞补偿的压电陶瓷驱动器系统的线性动力学模型G(s),并根据G(s)的动力学特性设计用于增大系统增益余量的主动阻尼控制器;最后通过PID控制算法实现高速纳米精度运动控制;
所述的压电陶瓷驱动器为磁滞非线性和线性动力学串联的动态系统。
所述的系统辨识方法是指:带有外生变量的自回归模型的最小二乘辨识方法。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述的磁滞非线性精确模型是一种基于Play算子的增强型Prandtl‐Ishilinskii模型,具体是指: 其中:H[·]为磁滞非线性精确模型,u(t)为模型的输入,w(t)为模型的输出,g(u)(t)为输入信号u(t)函数,Fr[u](t)为依赖于阈值r的Play算子,p(r)为模型的密度函数。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述的前馈控制器基于磁滞非线性精确模型H[·]的逆特性数学表达式H-1[·]满足:
其中:H-1[·]为磁滞非线性精确模型H[·]的逆模型,w(t)为逆模型的输入,u(t)为逆模型的输出,Fr[u](t)为依赖于阈值r的Play算子,p'(r)为逆模型的密度函数,a'1,a'2为逆模型参数。
4.根据权利要求1所述的方法,其特征是,所述的线性动力学模型是指:采用扫频或者带限白噪声信号产生激励压电陶瓷驱动器的控制命令u(t),通过位移传感器采集压电陶瓷驱动器的输出信号y(t),根据保存的u(t)和y(t)的数值,通过Matlab的系统辨识工具箱辨识系统的线性动力学模型G(s)。
5.一种实现上述任一权利要求所述方法的装置,其特征在于,包括:依次串联连接的加法器、位置跟踪器、主动阻尼控制器、磁滞补偿器和压电陶瓷驱动器,其中:加法器的输入端分别与期望跟踪位移信号和压电陶瓷驱动器的输出端相连并输出跟踪误差信息至位置跟踪器,位置跟踪器采用PID控制算法实时计算向主动阻尼控制器输出控制指令,主动阻尼控制器经陷波滤波算法或积分谐振控制算法实时计算向磁滞补偿器输出补偿控制信号,磁滞补偿器经磁滞补偿算法实时计算向压电陶瓷驱动器输出激励信号,压电陶瓷驱动器根据激励信号发生运动。
6.根据权利要求5所述的装置,其特征是,所述的主动阻尼控制器是指:在线性动力学模型基础上采用开环或闭环的形式构建的用于增加系统在谐振频率点的阻尼比的主动阻尼控制器,具体为:开环的形式时采用陷波滤波的开环主动阻尼控制器,闭环的形式时采用积分谐振控制的闭环主动阻尼控制器。
7.根据权利要求6所述的装置,其特征是,当采用闭环主动阻尼控制器,即积分谐振控制的控制器时,所述闭环主动阻尼控制器和所述位置跟踪器之间设有第二加法器,该加法器的输入端分别与位置跟踪器和压电陶瓷驱动器的输出端相连并输出控制信息至磁滞补偿器。
8.根据权利要求6或7所述的装置,其特征是,所述的开环主动阻尼控制器采用陷波滤波算法,根据位置跟踪器的输出控制信号计算得到补偿控制信号N(s),即其中:ζ0,ω0为辨识的系统动力学模型G(s)的谐振模态的阻尼比和谐振频率,ζ1,ω1是谐振滤波器的控制参数;
所述的闭环主动阻尼控制器采用积分谐振控制算法,根据位置跟踪器的输出控制信号计算得到补偿控制信号,其系统方程为包括:前通向Df和积分控制器Df,k为积分谐振器的控制参数。
9.根据权利要求5所述的装置,其特征是,所述的磁滞补偿器采用磁滞补偿算法,根据补偿控制信号计算得到压电陶瓷驱动器的激励信号,该磁滞补偿算法基于前馈控制器得到,即磁滞非线性精确模型H[·]的逆模型H-1[·]。
10.根据权利要求5所述的装置,其特征是,所述的位置跟踪器采用离散化的PID控制算法,根据跟踪误差e、期望跟踪位移以及实际输出位移计算得到输出控制信号:v(kTs)=kpe(kTs)+ki∑e(kTs)+kd{e(kTs)-e[(k-1)Ts]},其中:kp,ki,kd为PID控制器的控制参数,整数k=1,2,…,N为离散采样的次数,Ts为采样周期,e(kTs)=yd(kTs)-y(kTs),为第k次采样时的跟踪误差,yd(kTs)为第k次采样时的期望跟踪位移,y(kTs)为第k次采样时压电陶瓷驱动器的实际输出位移,v(kTs)为第k次采样时的输出控制信号。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410354111.2A CN104122798B (zh) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | 压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201410354111.2A CN104122798B (zh) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | 压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN104122798A true CN104122798A (zh) | 2014-10-29 |
CN104122798B CN104122798B (zh) | 2016-05-25 |
Family
ID=51768256
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201410354111.2A Active CN104122798B (zh) | 2014-07-24 | 2014-07-24 | 压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN104122798B (zh) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104678765A (zh) * | 2015-01-28 | 2015-06-03 | 浙江理工大学 | 压电陶瓷执行器迟滞模型及其控制方法 |
CN104914276A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-16 | 南京航空航天大学 | 一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法 |
CN105369931A (zh) * | 2015-11-04 | 2016-03-02 | 安徽理工大学 | 一种建筑用抗震减震阻尼装置 |
CN106707760A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-05-24 | 南京理工大学 | 一种用于压电驱动器动态迟滞补偿的非线性逆控制方法 |
CN106802565A (zh) * | 2017-03-13 | 2017-06-06 | 南京理工大学 | 一种压电驱动器的自适应逆控制方法 |
CN107037725A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-08-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 全模拟高带宽快速反射镜的控制系统 |
CN107340714A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-11-10 | 北京航空航天大学 | 一种纳米伺服系统的自适应逆控制方法 |
CN107479379A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-12-15 | 苏州大学 | 基于遗传算法的压电陶驱动器前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107608209A (zh) * | 2017-08-23 | 2018-01-19 | 苏州大学 | 压电陶瓷驱动器的前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107688292A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-02-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
CN107688291A (zh) * | 2017-08-23 | 2018-02-13 | 苏州大学 | 基于单神经元的压电陶瓷平台前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107991882A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-04 | 西南交通大学 | 压电陶瓷执行器精度控制装置的设计方法及精度控制系统 |
CN108170032A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-15 | 南京理工大学 | 一种提高压电叠堆式驱动器定位精度的方法 |
CN110488759A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-22 | 西安交通大学 | 一种基于Actor-Critic算法的数控机床进给控制补偿方法 |
CN110543097A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-12-06 | 广东工业大学 | 一种基于模型参考自适应的压电陶瓷驱动器控制方法 |
CN111823418A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-10-27 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法 |
CN112198791A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-08 | 深圳市重投华讯太赫兹科技有限公司 | 一种基于压电陶瓷驱动的复合控制方法、设备及存储介质 |
CN112714518A (zh) * | 2019-10-25 | 2021-04-27 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 电磁加热设备及其控制方法、装置和存储介质 |
CN114253139A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-29 | 华中科技大学 | 一种基于切换结构的纳米定位平台控制系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2267559A2 (en) * | 2009-06-02 | 2010-12-29 | Honeywell International, Inc. | Method and system for combining feedback and feedforward in model predictive control |
CN102270007A (zh) * | 2011-04-15 | 2011-12-07 | 重庆大学 | 压电陶瓷执行器迟滞特性的前馈开环线性化控制方法及其实现电路 |
CN102280572A (zh) * | 2011-04-15 | 2011-12-14 | 重庆大学 | 压电陶瓷执行器迟滞特性的复合线性化控制方法及其实现电路 |
CN102486477A (zh) * | 2010-12-04 | 2012-06-06 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法 |
CN102621889A (zh) * | 2012-03-27 | 2012-08-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种压电陶瓷定位的复合控制方法 |
CN103336429A (zh) * | 2013-06-24 | 2013-10-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法 |
CN103853046A (zh) * | 2014-02-14 | 2014-06-11 | 广东工业大学 | 一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法 |
-
2014
- 2014-07-24 CN CN201410354111.2A patent/CN104122798B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2267559A2 (en) * | 2009-06-02 | 2010-12-29 | Honeywell International, Inc. | Method and system for combining feedback and feedforward in model predictive control |
EP2267559A3 (en) * | 2009-06-02 | 2012-06-20 | Honeywell International, Inc. | Method and system for combining feedback and feedforward in model predictive control |
CN102486477A (zh) * | 2010-12-04 | 2012-06-06 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种基于模型的压电陶瓷扫描器迟滞性前馈校正方法 |
CN102270007A (zh) * | 2011-04-15 | 2011-12-07 | 重庆大学 | 压电陶瓷执行器迟滞特性的前馈开环线性化控制方法及其实现电路 |
CN102280572A (zh) * | 2011-04-15 | 2011-12-14 | 重庆大学 | 压电陶瓷执行器迟滞特性的复合线性化控制方法及其实现电路 |
CN102621889A (zh) * | 2012-03-27 | 2012-08-01 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种压电陶瓷定位的复合控制方法 |
CN103336429A (zh) * | 2013-06-24 | 2013-10-02 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种压电陶瓷执行器的高精度控制方法 |
CN103853046A (zh) * | 2014-02-14 | 2014-06-11 | 广东工业大学 | 一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104678765A (zh) * | 2015-01-28 | 2015-06-03 | 浙江理工大学 | 压电陶瓷执行器迟滞模型及其控制方法 |
CN104914276A (zh) * | 2015-06-11 | 2015-09-16 | 南京航空航天大学 | 一种基于迟滞模型的扫描探针显微镜扫描控制方法 |
CN105369931A (zh) * | 2015-11-04 | 2016-03-02 | 安徽理工大学 | 一种建筑用抗震减震阻尼装置 |
CN107340714A (zh) * | 2016-12-20 | 2017-11-10 | 北京航空航天大学 | 一种纳米伺服系统的自适应逆控制方法 |
CN107340714B (zh) * | 2016-12-20 | 2020-12-11 | 北京航空航天大学 | 一种纳米伺服系统的自适应逆控制方法 |
CN106707760B (zh) * | 2017-02-17 | 2020-02-14 | 南京理工大学 | 一种用于压电驱动器动态迟滞补偿的非线性逆控制方法 |
CN106707760A (zh) * | 2017-02-17 | 2017-05-24 | 南京理工大学 | 一种用于压电驱动器动态迟滞补偿的非线性逆控制方法 |
CN106802565A (zh) * | 2017-03-13 | 2017-06-06 | 南京理工大学 | 一种压电驱动器的自适应逆控制方法 |
CN107037725A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-08-11 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 全模拟高带宽快速反射镜的控制系统 |
CN107479379A (zh) * | 2017-08-23 | 2017-12-15 | 苏州大学 | 基于遗传算法的压电陶驱动器前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107608209A (zh) * | 2017-08-23 | 2018-01-19 | 苏州大学 | 压电陶瓷驱动器的前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107688291A (zh) * | 2017-08-23 | 2018-02-13 | 苏州大学 | 基于单神经元的压电陶瓷平台前馈与闭环复合控制方法、系统 |
CN107688292B (zh) * | 2017-08-28 | 2020-11-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
CN107688292A (zh) * | 2017-08-28 | 2018-02-13 | 广东工业大学 | 一种基于压电陶瓷的柔性纳米定位方法、装置及系统 |
CN107991882A (zh) * | 2017-12-26 | 2018-05-04 | 西南交通大学 | 压电陶瓷执行器精度控制装置的设计方法及精度控制系统 |
CN108170032B (zh) * | 2017-12-28 | 2020-06-12 | 南京理工大学 | 一种提高压电叠堆式驱动器定位精度的方法 |
CN108170032A (zh) * | 2017-12-28 | 2018-06-15 | 南京理工大学 | 一种提高压电叠堆式驱动器定位精度的方法 |
CN110543097A (zh) * | 2019-08-06 | 2019-12-06 | 广东工业大学 | 一种基于模型参考自适应的压电陶瓷驱动器控制方法 |
CN110543097B (zh) * | 2019-08-06 | 2023-01-20 | 广东工业大学 | 一种基于模型参考自适应的压电陶瓷驱动器控制方法 |
CN110488759A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-22 | 西安交通大学 | 一种基于Actor-Critic算法的数控机床进给控制补偿方法 |
CN112714518A (zh) * | 2019-10-25 | 2021-04-27 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 电磁加热设备及其控制方法、装置和存储介质 |
CN112714518B (zh) * | 2019-10-25 | 2023-03-21 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 电磁加热设备及其控制方法、装置和存储介质 |
CN111823418A (zh) * | 2020-06-29 | 2020-10-27 | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 | 一种超精密飞切加工机床面形误差补偿及控制方法 |
CN112198791A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-01-08 | 深圳市重投华讯太赫兹科技有限公司 | 一种基于压电陶瓷驱动的复合控制方法、设备及存储介质 |
CN114253139A (zh) * | 2021-12-20 | 2022-03-29 | 华中科技大学 | 一种基于切换结构的纳米定位平台控制系统 |
CN114253139B (zh) * | 2021-12-20 | 2024-05-14 | 华中科技大学 | 一种基于切换结构的纳米定位平台控制系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104122798B (zh) | 2016-05-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104122798A (zh) | 压电陶瓷驱动器的高速纳米精度运动控制方法及系统 | |
Feng et al. | Identification and compensation of non-linear friction for a electro-hydraulic system | |
CN107544241B (zh) | 压电陶瓷执行器迟滞的非线性pid逆补偿控制方法 | |
CN102280572B (zh) | 压电陶瓷执行器迟滞特性的复合线性化控制方法及其实现电路 | |
Li et al. | Compensation of hysteresis in piezoelectric actuators without dynamics modeling | |
CN104065322B (zh) | 一种电机位置伺服系统的输出反馈控制方法 | |
Mahmood et al. | Precise tip positioning of a flexible manipulator using resonant control | |
Al‐Ghanimi et al. | Robust and fast non‐singular terminal sliding mode control for piezoelectric actuators | |
Ru et al. | A hysteresis compensation method of piezoelectric actuator: Model, identification and control | |
CN101833284B (zh) | 实时磁滞逆模型对系统进行补偿实现的方法 | |
CN113241973B (zh) | S型滤波器迭代学习控制直线电机轨迹跟踪控制方法 | |
CN103197562A (zh) | 转台伺服系统神经网络控制方法 | |
CN108155833B (zh) | 考虑电气特性的电机伺服系统渐近稳定控制方法 | |
CN104698844A (zh) | 液压位置伺服系统的不确定性补偿的滑模控制方法 | |
CN109227545A (zh) | 一种基于可达集估计的柔性机械臂目标追踪控制方法 | |
CN105022347B (zh) | 动态特性智能匹配刚弹分级补偿宏微复合控制方法 | |
CN107991882A (zh) | 压电陶瓷执行器精度控制装置的设计方法及精度控制系统 | |
CN108469269A (zh) | 一种宽频惯性基准稳定平台的谐振点测试系统 | |
Zhang et al. | Adaptive observer‐based integral sliding mode control of a piezoelectric nano‐manipulator | |
Zou | Extended state observer‐based finite time control of electro‐hydraulic system via sliding mode technique | |
CN106940524B (zh) | 一种压电定位装置的振动和非线性抑制方法 | |
CN114077196B (zh) | 一种基于改进Prandtl-Ishlinskii模型的压电驱动器复合控制方法 | |
CN113885336A (zh) | 基于积分型高阶滑模控制的压电驱动器轨迹跟踪控制方法 | |
Shen et al. | Study on nonlinear model of piezoelectric actuator and accurate positioning control strategy | |
Kosaraju et al. | A novel passivity based controller for a piezoelectric beam |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |