CN104018121A - 防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法。该加热容器包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,用于接受加热装置加热的外部加热容器,以及设有用于金属材料蒸发后逸出的气孔的上盖;该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定,该内部加热容器侧壁与该外部加热容器侧壁之间设有空隙,该上盖固定于该内部加热容器与外部加热容器的上方以覆盖该内部加热容器与外部加热容器的开口。本发明还提供了该加热容器的制造方法。本发明克服了加热容器在日常使用中出现裂痕引起的材料异常流失和生产进度中断的问题,有效的提高了加热装置连续稳定运行的周期、保证了产品的品质。
Description
技术领域
本发明涉及加热容器,尤其涉及一种防止高温金属材料泄漏的加热容器及其制造方法。
背景技术
OLED(有机发光二极管,Organic Light Emitting Diode)具有全固态、超薄、无视角限制、快速响应、室温工作、易于实现柔性显示和3D显示等优点,一致被公认为是下一代显示的主流技术。目前OLED器件制作的主要方式是加热蒸发镀膜,主要是使用加热容器在真空环境下加热蒸镀材料,使升华型或者熔融型的蒸镀材料在高温状态下气化,沉积在有TFT结构或者阳极结构的基板上。
现有蒸镀制程中,对于蒸发容器普遍采用单层容器加热蒸发的模式,但是在升降温的过程中,加热容器侧面与底部交界处常常因为高温金属液体冷凝收缩导致发生微裂纹,从而引发材料异常流失,而且,微裂纹会导致高温液体流出进入加热装置引发内部电路短路,损坏整个加热装置,进而造成OLED产品生产中断和产品品质下降。因为微裂纹在冷却状态不容易发现,所以判断加热容器破裂泄漏的难度大而且难预知。
参见图1A及图1B,图1A为现有技术中一种OLED加热容器的结构示意图,图1B为图1A的剖面图,该OLED加热容器用于现有的OLED蒸镀制程。加热容器上方设有上盖2,上盖2上设有气孔1,加热容器内盛放的材料3经加热蒸发后可由气孔1按箭头方向逸出,当加热容器破损时,材料3由破裂处4溢出进入加热装置,一方面造成材料3大量流失和蒸发速率下降,中断生产,另一方面在不知情的情况下添加材料3进入加热装置有损坏加热装置可能。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器,克服加热容器损坏导致材料流失问题,保护加热装置。
本发明的另一目的在于提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器的制造方法,使该加热容器能够克服加热容器损坏导致材料流失问题,保护加热装置。
为实现上述目的,本发明提供一种防止高温金属材料泄漏的加热容器,包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,用于接受加热装置加热的外部加热容器,以及设有用于金属材料蒸发后逸出的气孔的上盖;该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定,该内部加热容器侧壁与该外部加热容器侧壁之间设有空隙,该上盖固定于该内部加热容器与外部加热容器的上方以覆盖该内部加热容器与外部加热容器的开口。
其中,该内部加热容器及外部加热容器材质相同。
其中,该加热容器为用于OLED蒸镀制程的加热容器。
其中,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部相互接触。
其中,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部之间设有空隙。
其中,该内部加热容器及外部加热容器为坩埚。
其中,该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部焊接成为一体。
其中,该上盖同时与该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部卡紧固定。
本发明还提供了所述加热容器的制造方法,包括:
步骤1、量取内部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤2、选取内径可包覆该内部加热容器的外部加热容器;
步骤3、根据该内部加热容器的高度对该外部加热容器的高度进行截取;
步骤4、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
本发明还提供了所述加热容器的另一制造方法,包括:
步骤11、量取外部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤21、选取外径可容纳于该外部加热容器中的内部加热容器;
步骤31、根据该外部加热容器的高度对该内部加热容器的高度进行截取;
步骤41、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
综上所述,本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器克服了加热容器在日常使用中出现裂痕引起的材料异常流失和生产进度中断的问题,有效的提高了加热装置连续稳定运行的周期、保证了产品的品质;同时,该加热容器的制造方法方便快捷,成本低廉。
附图说明
下面结合附图,通过对本发明的具体实施方式详细描述,将使本发明的技术方案及其他有益效果显而易见。
附图中,
图1A为现有技术中一种OLED加热容器的结构示意图;
图1B为图1A的剖面图;
图2为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第一较佳实施例的剖面示意图;
图3为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第二较佳实施例的剖面示意图;
图4为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第三较佳实施例的剖面示意图;
图5为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第四较佳实施例的剖面示意图;
图6为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第五较佳实施例的剖面示意图;
图7为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第六较佳实施例的剖面示意图;
图8为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第七较佳实施例的剖面示意图;
图9为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第八较佳实施例的剖面示意图。
具体实施方式
参见图2,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第一较佳实施例的剖面示意图,该较佳实施例及后面实施例中的加热容器形状均以圆柱形作为举例,所示剖面图为沿柱形直径方向所作。该较佳实施例的防止高温金属材料泄漏的加热容器主要包括:用于容纳金属材料的内部加热容器27,用于接受加热装置加热的外部加热容器25,以及设有用于金属材料蒸发后逸出的气孔21的上盖22;该内部加热容器27完全容纳于该外部加热容器25中并且位置相对该外部加热容器27固定,该内部加热容器27侧壁与该外部加热容器25侧壁之间设有空隙,该上盖22固定于该内部加热容器27与外部加热容器25的上方以覆盖该内部加热容器27与外部加热容器25的开口
该加热容器可以作为用于OLED蒸镀制程的加热容器,加热容器内外两部分可以由相同材质的容器组成,但是尺寸不同,内部加热容器27及外部加热容器25均可以为坩埚。其中顶端无焊接,仅通过上盖22卡紧,上盖22可以采用卡扣结构与内部加热容器27和外部加热容器25的上部边缘进行卡扣连接。上盖22中央有供材料23逸出的气孔21,两容器底部无接触,加热装置通过加热外部加热容器25,外部加热容器25通过辐射内部加热容器27传热,仅有内部加热容器27才装有材料23,内部加热容器27受热使材料23蒸发,材料23蒸汽通过上盖22的气孔21导出。当内部加热容器27破损产生破裂处24时,材料23通内部加热容器27和夹缝中的泄漏材料26共同蒸出,经过气孔21混合后蒸出。
上述OLED蒸镀装置,通过对加热容器的改进,使其在内部加热容器破损情况下,加热容器仍可继续维持正常生产的状态,不会造成材料异常流失和损坏加热装置。该双层的OLED材料蒸发容器,有效的降低了容器破损后材料流失和规避了加热装置损坏的风险,同时提高了OLED生产设备的连续稳定运行的周期。
本发明对传统加热容器的改进,由传统的单层容器改进为双层加热容器,让加热容器在交界面处出现裂痕和破损时,能有效抑制材料外泄和流失,保护整个加热装置,保证产品品质和生产进度。
参见图3,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第二较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器37及外部加热容器35组成,其中顶端无焊接,仅通过上盖32卡紧,上盖32中央有供材料33逸出的气孔31,两容器底部相互接触,加热装置通过加热外部加热容器35,外部加热容器35通过辐射内部加热容器37侧壁和通过底部将热量传递给内部加热容器37,内部加热容器37受热使材料33蒸发,材料33蒸汽通过上盖32的气孔31导出。当内部加热容器37破损产生破裂处34时,材料33通内部加热容器37和夹缝中的泄漏材料36共同蒸出,经过气孔31混合后蒸出。
参见图4,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第三较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器47及外部加热容器45组成,其中顶端部分焊接熔融在一起,两容器底部无接触,加热装置通过加热外部加热容器45,外部加热容器45通过辐射内部加热容器47,内部加热容器47受热使材料43蒸发,材料43蒸汽通过上盖42的气孔41导出。当内部加热容器47破损产生破裂处44时,仅有材料43通内部加热容器47经气孔41蒸出,而泄漏材料46保留于夹缝中。
参见图5,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第四较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器57及外部加热容器55组成,其中顶端部分焊接熔融在一起,两容器底部相互接触,加热装置通过加热外部加热容器55,外部加热容器55通过辐射内部加热容器57侧壁和通过底部将热量传递给内部加热容器57,内部加热容器57受热使材料53蒸发,材料53蒸汽通过上盖52的气孔51导出。当内部加热容器57破损产生破裂处54时,仅有材料53通内部加热容器57经气孔51蒸出,而泄漏材料56保留于夹缝中。
参见图6,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第五较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器67及外部加热容器65组成,其中顶端无焊接,仅通过上盖62卡紧,上盖62中央有材 料63的气孔61,两容器底部无接触,加热装置通过加热外部加热容器65,外部加热容器65通过辐射内部加热容器67,内部加热容器67受热使材料63蒸发,材料63蒸汽通过上盖62的气孔61导出。当内部加热容器67破损产生破裂处64时,材料63通内部加热容器67蒸出,然后经过气孔61蒸出。
参见图7,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第六较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器77及外部加热容器75组成,其中顶端无焊接,仅通过上盖72卡紧,上盖72中央有材料73的气孔71,两容器底部相互接触,加热装置通过加热外部加热容器75,外部加热容器75通过辐射内部加热容器77侧壁和通过底部将热量传递给内部加热容器77,内部加热容器77受热使材料73蒸发,材料73蒸汽通过上盖72的气孔71导出。当内部加热容器77破损产生破裂处74时,材料73通内部加热容器77蒸出,然后经过气孔71蒸出。
参见图8,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第七较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器87及外部加热容器85组成,其中顶端部分焊接熔融在一起,两容器底部无接触,加热装置通过加热外部加热容器85,外部加热容器85通过辐射内部加热容器87,内部加热容器87受热使材料83蒸发,材料83蒸汽通过上盖82的气孔81导出。当内部加热容器87破损产生破裂处84时,仅有材料83通过内部加热容器87由气孔81蒸出。
参见图9,其为本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器第八较佳实施例的剖面示意图。加热容器由内外两部分相同材质的内部加热容器97及外部加热容器95组成,其中顶端部分焊接熔融在一起,两容器底部相互接触,加热装置通过加热外部加热容器95,外部加热容器95通过辐射内部加热容器97侧壁和通过底部将热量传递给内部加热容器97,内部加热容器97受热使材料93蒸发,材料93蒸汽通过上盖92的气孔91导出。当内部加热容器97破损产生破裂处94时,仅有材料93通过内部加热容器97由气孔91蒸出。
本发明还提供了相应加热容器的制造方法,包括:
步骤1、量取内部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤2、选取内径可包覆该内部加热容器的外部加热容器;
步骤3、根据该内部加热容器的高度对该外部加热容器的高度进行截取;将外部加热容器高度进行截取,使其高度与内部加热容器的高度持平;
步骤4、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定;可以将两者上部部分进行熔融焊合,使其成为一体,或采用上盖将两者通过上盖卡紧,使其相对位置固定。
制成后,可加入相应的材料放入加热装置中,加热升温;根据蒸镀制程进行膜厚参数校正。制得的加热容器一方面克服了加热容器损坏导致材料流失问题,另一方面保护了加热装置。
另一种制造方法包括:
步骤11、量取外部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤21、选取外径可容纳于该外部加热容器中的内部加热容器;
步骤31、根据该外部加热容器的高度对该内部加热容器的高度进行截取;将内部加热容器的高度进行截取,使其高度与外部加热容器持平;
步骤41、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定;可以将两者上部部分进行熔融焊合,使其成为一体,或采用上盖将两者通过上盖卡紧,使其相对位置固定。
制成后,可加入相应的材料放入加热装置中,加热升温;根据蒸镀制程进行膜厚参数校正。
本发明防止高温金属材料泄漏的加热容器采用双层加热容器的设计,克服了加热容器在日常使用中出现裂痕引起的材料异常流失和生产进度中断的问题,有效的提高了加热装置连续稳定运行的周期、保证了产品的品质。同时,该加热容器的制造方法方便快捷,成本低廉。
以上所述,对于本领域的普通技术人员来说,可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形,而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,包括:用于容纳金属材料的内部加热容器,用于接受加热装置加热的外部加热容器,以及设有用于金属材料蒸发后逸出的气孔的上盖;该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定,该内部加热容器侧壁与该外部加热容器侧壁之间设有空隙,该上盖固定于该内部加热容器与外部加热容器的上方以覆盖该内部加热容器与外部加热容器的开口。
2.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该内部加热容器及外部加热容器材质相同。
3.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该加热容器为用于OLED蒸镀制程的加热容器。
4.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部相互接触。
5.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该内部加热容器的底部与该外部加热容器的底部之间设有空隙。
6.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该内部加热容器及外部加热容器为坩埚。
7.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部焊接成为一体。
8.如权利要求1所述的防止高温金属材料泄漏的加热容器,其特征在于,该上盖同时与该内部加热容器的顶部及外部加热容器的顶部卡紧固定。
9.一种如权利要求1所述的加热容器的制造方法,其特征在于,包括:
步骤1、量取内部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤2、选取内径可包覆该内部加热容器的外部加热容器;
步骤3、根据该内部加热容器的高度对该外部加热容器的高度进行截取;
步骤4、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
10.如权利要求9所述的加热容器的制造方法,其特征在于,包括:
步骤11、量取外部加热容器的外围和内部尺寸;
步骤21、选取外径可容纳于该外部加热容器中的内部加热容器;
步骤31、根据该外部加热容器的高度对该内部加热容器的高度进行截取;
步骤41、将该内部加热容器完全容纳于该外部加热容器中并且位置相对该外部加热容器固定。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106191784A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀用坩埚 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111188014B (zh) * | 2020-02-10 | 2023-02-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸发源 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102268642A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-07 | 上海奕瑞光电子科技有限公司 | 电阻加热式蒸发源 |
KR20130073407A (ko) * | 2011-12-23 | 2013-07-03 | 주식회사 원익아이피에스 | 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3281517A (en) * | 1963-11-19 | 1966-10-25 | Melpar Inc | Vacuum furnace |
US4061800A (en) * | 1975-02-06 | 1977-12-06 | Applied Materials, Inc. | Vapor desposition method |
CH654596A5 (de) * | 1983-09-05 | 1986-02-28 | Balzers Hochvakuum | Verdampferzelle. |
JPH0735569B2 (ja) * | 1987-06-05 | 1995-04-19 | 三菱電機株式会社 | 薄膜形成装置 |
CH678338A5 (en) * | 1989-05-02 | 1991-08-30 | Balzers Hochvakuum | Vacuum deposition crucible preventing metal contamination - comprising insert of inner and outer vessels of different materials to prevent losses and stoppages |
JP2710670B2 (ja) * | 1989-08-01 | 1998-02-10 | 三菱電機株式会社 | 蒸気発生源用るつぼ |
US5041719A (en) * | 1990-06-01 | 1991-08-20 | General Electric Company | Two-zone electrical furnace for molecular beam epitaxial apparatus |
JPH0770741A (ja) * | 1993-07-02 | 1995-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 蒸発源 |
GB9515929D0 (en) * | 1995-08-03 | 1995-10-04 | Fisons Plc | Sources used in molecular beam epitaxy |
JP3817054B2 (ja) * | 1998-02-06 | 2006-08-30 | 株式会社アルバック | 蒸着源用るつぼ、及び蒸着装置 |
US6202591B1 (en) * | 1998-11-12 | 2001-03-20 | Flex Products, Inc. | Linear aperture deposition apparatus and coating process |
WO2003025245A1 (en) * | 2001-09-14 | 2003-03-27 | University Of Delaware | Multiple-nozzle thermal evaporation source |
US20040135160A1 (en) * | 2003-01-10 | 2004-07-15 | Eastman Kodak Company | OLED device |
EP2325348B1 (en) * | 2009-11-20 | 2012-10-24 | Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. | Device and method for thermal evaporation of silicon |
DE102009046986A1 (de) * | 2009-11-23 | 2011-06-09 | 44Solar S.A.R.L. | Tiegel für einen Elektronenstrahlverdampfer und Betriebsverfahren für den Elektronenstrahlverdampfer |
JP2011122199A (ja) * | 2009-12-10 | 2011-06-23 | Seiko Epson Corp | 蒸着装置 |
JP2012172185A (ja) * | 2011-02-21 | 2012-09-10 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 蒸着用容器、及びこれを備えた蒸着装置 |
-
2014
- 2014-05-14 CN CN201410204621.1A patent/CN104018121A/zh active Pending
- 2014-05-28 WO PCT/CN2014/078676 patent/WO2015172409A1/zh active Application Filing
- 2014-05-28 US US14/381,194 patent/US20160230271A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102268642A (zh) * | 2011-07-22 | 2011-12-07 | 上海奕瑞光电子科技有限公司 | 电阻加热式蒸发源 |
KR20130073407A (ko) * | 2011-12-23 | 2013-07-03 | 주식회사 원익아이피에스 | 외부 가열용기를 포함하는 고온 증발원 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106191784A (zh) * | 2016-07-22 | 2016-12-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀用坩埚 |
CN106191784B (zh) * | 2016-07-22 | 2018-10-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 蒸镀用坩埚 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20160230271A1 (en) | 2016-08-11 |
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