CN103946271A - 包含具有碳碳多重键的树脂的钝化膜形成用组合物 - Google Patents

包含具有碳碳多重键的树脂的钝化膜形成用组合物 Download PDF

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Abstract

本发明的课题是提供使电绝缘性、耐热性、耐溶剂性、干法回蚀特性同时实现的钝化膜。作为解决本发明课题的手段涉及一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(i)：(式中，T0表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基、具有取代基的亚芳基、或可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。)的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链、或主链具有至少一个具有式(2-A)、式(2-B)或这两种结构的基团。聚合物可以具有下述式(1)的单元结构。

Description

包含具有碳碳多重键的树脂的钝化膜形成用组合物
技术领域
本发明涉及绝缘膜。更详细地说，涉及在形成IC芯片等半导体制品、光学系制品等叠层体的工序中，用于保护使用TSV(Through Silicon Via)技术而形成的晶片背面的电极的钝化膜。
背景技术
近年来，随着便携电话、IC卡等电子设备的高功能化、小型化，要求半导体器件的高集成化、安装面积的小面积化、利用布线间距离的缩小来降低布线电阻。作为其方法，研究了将半导体元件间在纵向上堆起来的堆栈结构。
作为堆栈结构的制作方法的一例，可举出将形成有半导体元件的晶片薄化，然后使用各向异性干蚀刻等技术来设置贯通孔(Through SiliconVia，TSV技术)，向该贯通孔填充铜等导电材以在背面形成电极，然后在形成了电极的晶片背面形成钝化膜，与形成有其它半导体元件的芯片或晶片表面电接合的工序。
在上述工序中，晶片背面所形成的绝缘膜同时需要防止电流泄漏、导电材料迁移等的电绝缘性，用于将钝化膜形成后的电极部进行开口的光刻工序中的耐溶剂性、良好的干法回蚀特性，电极接合工序中的耐热性等。
此外作为公知的钝化膜，可举出苯并环丁烯树脂、聚酰亚胺、全芳香族聚醚等。
然而，苯并环丁烯树脂在光刻工序中的干法回蚀时需要使用氟系气体，对电极、晶片带来破坏。此外在200℃左右的固化(cure)温度时不能充分地进行交联反应，得不到良好的耐溶剂性。
另一方面，有聚酰亚胺的成膜温度为300℃以上的高温、由于由固化时的膜收缩而产生的残留应力而对薄化了的晶片带来破坏的问题。
此外，全芳香族聚醚由于没有热交联部位因此耐溶剂性缺乏，此外树脂的软化点低，因此有在电极接合时树脂熔融的问题。
公开了例如在使玻璃基材含浸了有机硅树脂的无机系绝缘基板上，形成了包含30体积％～45体积％的聚醚醚酮树脂粉末和热固性树脂的底涂膜的厚膜技术用基板(专利文献1)。
公开了包含具有由聚酰亚胺形成的主链且末端带有具有碳碳三键的官能团的聚合物，柔性印刷布线基板用的粘接剂等的被覆物(专利文献2)。
公开了包含具有包含苯基、脲、酰胺基等和具有碳碳三键的官能团的主链的聚合物的粘接剂组合物等的被覆物(专利文献3)。
公开了包含含有具有磺酸基的聚醚醚砜、聚醚醚酮的聚合物的粘接剂组合物等的被覆物(专利文献4)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2009-070875号公报
专利文献2：国际公开第2006-137369号小册子
专利文献3：日本特开2010-065097号公报
专利文献4：日本特开2005-264008号公报
发明内容
发明所要解决的课题
本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的是提供使电绝缘性、耐热性、耐溶剂性、干法回蚀特性同时实现的钝化膜形成用组合物。
用于解决课题的方法
本发明中，作为第1观点，是一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(i)所示的单元结构的聚合物，
   式(i)
(式中，T0表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。)，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有式(2-A)所示的结构、式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，
   式(2-A)
   式(2-B)
作为第2观点，是一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(1)所示的单元结构的聚合物，
   式(1)
(式中，L1表示可以具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基的组合，T1表示氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合、或可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基与环状亚烷基的组合。))，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有下述式(2-A)所示的结构、下述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，
   式(2-A)
   式(2-B)
作为第3观点，是第1观点或第2观点所述的钝化膜形成用组合物，上述亚芳基为亚苯基、亚萘基或亚蒽基，
作为第4观点，是第1观点～第3观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，上述聚合物为具有1种单元结构的均聚物，
作为第5观点，是第1观点～第3观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，上述聚合物为具有至少2种单元结构的共聚物，
作为第6观点，是第2观点～第5观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含具有L1为下述式(3)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为下述式(4)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、或这些单元结构的组合的聚合物，
式(3)   式(4)
(式中，R1、R2和R3各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，L2表示磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基，n1、n2、n3各自表示0～4的整数。)
作为第7观点，是第2观点～第6观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含具有T1为下述式(5)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、T1为下述式(6)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、或这些单元结构的组合的聚合物，
式(5)   式(6)
(式中，R4、R5和R6各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，T2表示氟代亚烷基、环状亚烷基或这些基团的组合，n4、n5和n6各自表示0～4的整数。)
作为第8观点，是第6观点所述的钝化膜形成用组合物，在上述式(3)中，R1为至少包含氰基的基团，n1表示1～4的整数，
作为第9观点，是第6观点所述的钝化膜形成用组合物，在上述式(4)中，L2表示磺酰基或羰基，
作为第10观点，是第1观点～第9观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含进一步具有式(7)所示的单元结构的聚合物，
   式(7)
(式中L3表示下述式(3)或式(4)，T3表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合。)，
式(3)   式(4)
(式中，R1、R2和R3各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，L2表示磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基，n1、n2、n3各自表示0～4的整数。)，
作为第11观点，是第1观点～第10观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，上述亚芳基为亚苯基、亚萘基或亚蒽基，
作为第12观点，是第10观点或第11观点所述的钝化膜形成用组合物，T3表示式(8)所示的基团，
式(8)
(式中，R7和R8各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，n7和n8各自表示0～4的整数。T4表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合。)，
作为第13观点，是第6观点～第11观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，具有叔碳原子的基团为叔丁基，
作为第14观点，是第1观点～第12观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，聚合物的重均分子量为500～5,000,000，
作为第15观点，是第1观点～第14观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其进一步包含溶剂，
作为第16观点，是一种钝化膜，其为将第1观点～第15观点的任一项所述的钝化膜形成用组合物涂布于基板并烘烤而获得的，
作为第17观点，是第16观点所述的钝化膜，其用作保护形成于晶片的IC电路的膜，和
作为第18观点，是第16观点所述的钝化膜，其用作保护形成于晶片背面的电极的膜。
发明的效果
根据本发明，上述所记载的包含具有聚醚醚酮、聚醚醚砜、聚醚醚亚芳基等聚醚结构的聚合物的组合物适合用作钝化膜形成用组合物，从而能够形成在电绝缘性、耐热性、耐溶剂性和干法回蚀特性方面能够实现令人满意的性能的绝缘膜。
具体实施方式
本发明的钝化膜形成用组合物包含具有上述式(i)所示的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有上述式(2-A)所示的结构、上述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团。
本发明的钝化膜形成用组合物包含聚合物和溶剂，所述聚合物为具有上述式(i)所示的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有上述式(2-A)所示的结构、上述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，本发明的钝化膜形成用组合物可以进一步含有加成性树脂、稳定剂、着色剂、表面活性剂等作为任意成分。
本发明的钝化膜形成用组合物包含具有上述式(1)所示的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有上述式(2-A)所示的结构、上述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团。
上述钝化膜形成用组合物包含聚合物和溶剂，所述聚合物为具有上述式(1)所示的单元结构的聚合物，在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有上述式(2-A)所示的结构、上述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，上述钝化膜形成用组合物可以进一步含有加成性树脂、稳定剂、着色剂、表面活性剂等作为任意成分。
本发明中使用的聚合物，如后述那样，可以使用聚合物中(末端或侧链)包含的羟基与氨基转化为包含具有上述式(2-A)所示的结构、上述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团的含有多重键的有机基团，其转化率为100％的聚合物，但考虑到电气物性、在溶剂中的溶解性、密合性等，其转化率能够在例如30～99％、60～99％或70～95％的范围内使用。
本发明的钝化膜形成用组合物的固体成分为0.1～80质量％，优选为1～60质量％。固体成分以从该钝化膜形成用组合物中除去溶剂后的残余部分的比例表示。具有上述式(1)所示的单元结构的聚合物在固体成分中所占的比例能够为30～100质量％，优选为50～100质量％。
本发明中使用的聚合物优选为热固性树脂。
上述式(2-A)所示的结构为碳碳三键，此外上述式(2-B)所示的结构为碳碳双键。它们在聚合物的末端、侧链以下述结构存在，
-C≡CH     CH＝CH2
在聚合物的主链中，以上述式(2-A)所示的结构或上述式(2-B)所示的结构存在。
可以认为该碳碳三键通过加热(例如，400℃以上)来进行二聚化或三聚化反应，形成连续的不饱和键(例如二烯结构)、芳香族环结构，从而聚合物分子彼此交联。
此外，可以认为碳碳双键也仍然通过加热来进行二聚化反应，通过环化而形成交联结构。
本发明中使用的上述聚合物的分子量以重均分子量计为500～5,000,000，优选为1,000～1,000,000，优选为1,000～100,000。
上述式(i)中，T0表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。
上述式(1)中，L1表示可以具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与磺酰基或羰基的组合，T1表示氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合。
作为具有取代基的亚芳基，可举出后述的具有取代基的亚芳基。
所谓可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合，表示取代或未取代的亚芳基与氟代亚烷基的组合，或者取代或未取代的亚芳基与环状亚烷基的组合。
作为亚芳基，可举出亚苯基、萘基或蒽基等，可以优选使用亚苯基或萘基。
作为上述氟代亚烷基，可举出碳原子数1～10的氟代亚烷基，这些氟代亚烷基可以使用被完全氟化(全氟化)了的基团、被部分氟化(单氟化、二氟化等)了的亚烷基。作为其具体例，可举出例如氟亚甲基、氟亚乙基、氟-正亚丙基、氟异亚丙基、氟丙烷-2,2-二基、氟-正亚丁基、氟异亚丁基、氟-仲亚丁基、氟-叔亚丁基等。其中可举出全氟丙烷-2,2-二基等碳原子数1～4的氟代亚烷基。
作为环状亚烷基，可举出碳原子数为3～30的环状亚烷基，可举出例如，环亚丙基、环亚丁基、环亚己基、1-甲基-环亚戊基、2-甲基-环亚戊基、3-甲基-环亚戊基、1-乙基-环亚丁基、2-乙基-环亚丁基、3-乙基-环亚丁基、1,2-二甲基-环亚丁基、1,3-二甲基-环亚丁基、2,2-二甲基-环亚丁基、2,3-二甲基-环亚丁基、2,4-二甲基-环亚丁基、3,3-二甲基-环亚丁基、1-正丙基-环亚丙基、2-正丙基-环亚丙基、1-异丙基-环亚丙基、2-异丙基-环亚丙基、1,2,2-三甲基-环亚丙基、1,2,3-三甲基-环亚丙基、2,2,3-三甲基-环亚丙基、1-乙基-2-甲基-环亚丙基、2-乙基-1-甲基-环亚丙基、2-乙基-2-甲基-环亚丙基和2-乙基-3-甲基-环亚丙基等。此外，可以使用由金刚烷、降冰片烯衍生的2价有机基团。
本发明中使用的具有上述式(1)所示的单元结构的聚合物中，L1、T1可以单独使用一种上述所定义的这些官能团，还可以组合使用多种。
本发明中使用的上述聚合物可以以重复单元结构为1种的均聚物的形式使用，也可以以重复单元结构为2种或2种以上的共聚物的形式使用。
在本发明中，可以包含具有L1为上述式(3)和/或式(4)所示的基团时的上述式(1)的单元结构的聚合物。
即，在本发明的钝化膜形成组合物中可以包含具有L1为上述式(3)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为上述式(4)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构或这些单元结构的组合的聚合物。
式(3)、(4)中，R1、R2和R3各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，L2表示磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基，n1、n2、n3各自表示0～4的整数。
作为上述碳原子数1～10的烷基，可举出例如甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正戊基、1-甲基-正丁基、2-甲基-正丁基、3-甲基-正丁基、1,1-二甲基-正丙基、1,2-二甲基-正丙基、2,2-二甲基-正丙基、1-乙基-正丙基、正己基、1-甲基-正戊基、2-甲基-正戊基、3-甲基-正戊基、4-甲基-正戊基、1,1-二甲基-正丁基、1,2-二甲基-正丁基、1,3-二甲基-正丁基、2,2-二甲基-正丁基、2,3-二甲基-正丁基、3,3-二甲基-正丁基、1-乙基-正丁基、2-乙基-正丁基、1,1,2-三甲基-正丙基、1,2,2-三甲基-正丙基、1-乙基-1-甲基-正丙基、1-乙基-2-甲基-正丙基等。
作为上述碳原子数1～4的氟烷基，可以使用被完全氟化(全氟化)了的基团、被部分氟化(单氟化、二氟化等)了的烷基。作为其具体例，可举出例如氟甲基、氟乙基、氟-正丙基、氟异丙基、氟-正丁基、氟异丁基、氟-仲丁基、氟-叔丁基等。
作为上述酰基，可举出碳原子数2～10的酰基，可举出例如，甲基羰基、乙基羰基、正丙基羰基、异丙基羰基、环丙基羰基、正丁基羰基、异丁基羰基、仲丁基羰基、叔丁基羰基、环丁基羰基、1-甲基-环丙基羰基、2-甲基-环丙基羰基、正戊基羰基、1-甲基-正丁基羰基、2-甲基-正丁基羰基、3-甲基-正丁基羰基、1,1-二甲基-正丙基羰基、1,2-二甲基-正丙基羰基、2,2-二甲基-正丙基羰基、1-乙基-正丙基羰基、环戊基羰基、1-甲基-环丁基羰基、2-甲基-环丁基羰基、3-甲基-环丁基羰基、1,2-二甲基-环丙基羰基、2,3-二甲基-环丙基羰基、1-乙基-环丙基羰基、2-乙基-环丙基羰基、正己基羰基、1-甲基-正戊基羰基、2-甲基-正戊基羰基、3-甲基-正戊基羰基、4-甲基-正戊基羰基、1,1-二甲基-正丁基羰基、1,2-二甲基-正丁基羰基、1,3-二甲基-正丁基羰基、2,2-二甲基-正丁基羰基、2,3-二甲基-正丁基羰基、3,3-二甲基-正丁基羰基、1-乙基-正丁基羰基、2-乙基-正丁基羰基、1,1,2-三甲基-正丙基羰基等。
作为上述酰氧基，可举出碳原子数2～10的酰氧基，可举出例如，甲基羰氧基、乙基羰氧基、正丙基羰氧基、异丙基羰氧基、环丙基羰氧基、正丁基羰氧基、异丁基羰氧基、仲丁基羰氧基、叔丁基羰氧基、环丁基羰氧基、1-甲基-环丙基羰氧基、2-甲基-环丙基羰氧基、正戊基羰氧基、1-甲基-正丁基羰氧基、2-甲基-正丁基羰氧基、3-甲基-正丁基羰氧基、1,1-二甲基-正丙基羰氧基、1,2-二甲基-正丙基羰氧基、2,2-二甲基-正丙基羰氧基、1-乙基-正丙基羰氧基、环戊基羰氧基、1-甲基-环丁基羰氧基、2-甲基-环丁基羰氧基、3-甲基-环丁基羰氧基、1,2-二甲基-环丙基羰氧基、2,3-二甲基-环丙基羰氧基、1-乙基-环丙基羰氧基、2-乙基-环丙基羰氧基、正己基羰氧基、1-甲基-正戊基羰氧基、2-甲基-正戊基羰氧基、3-甲基-正戊基羰氧基、4-甲基-正戊基羰氧基、1,1-二甲基-正丁基羰氧基、1,2-二甲基-正丁基羰氧基、1,3-二甲基-正丁基羰氧基、2,2-二甲基-正丁基羰氧基、2,3-二甲基-正丁基羰氧基、3,3-二甲基-正丁基羰氧基、1-乙基-正丁基羰氧基、2-乙基-正丁基羰氧基、1,1,2-三甲基-正丙基羰氧基等。
在本发明中具有叔碳原子的基团为具有叔碳原子的官能团。该官能团对碳原子的氢原子进行取代而生成季碳。结合于该叔碳原子的碳的有机基团可以例示甲基、乙基、丙基等烷基、苯基等芳基，优选使用甲基，可以优选使用具有3个甲基的叔丁基。
作为环状烷基，可举出碳原子数为3～30的环状烷基，可举出例如，环丙基、环丁基、环己基、1-甲基-环戊基、2-甲基-环戊基、3-甲基-环戊基、1-乙基-环丁基、2-乙基-环丁基、3-乙基-环丁基、1,2-二甲基-环丁基、1,3-二甲基-环丁基、2,2-二甲基-环丁基、2,3-二甲基-环丁基、2,4-二甲基-环丁基、3,3-二甲基-环丁基、1-正丙基-环丙基、2-正丙基-环丙基、1-异丙基-环丙基、2-异丙基-环丙基、1,2,2-三甲基-环丙基、1,2,3-三甲基-环丙基、2,2,3-三甲基-环丙基、1-乙基-2-甲基-环丙基、2-乙基-1-甲基-环丙基、2-乙基-2-甲基-环丙基和2-乙基-3-甲基-环丙基等。此外，可以使用由金刚烷、降冰片烯衍生的1价有机基团。
另外，作为上述取代基，可举出碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基，这些基团的具体例可举出上述基团。
在式(3)中，可以使用R1至少包含氰基，n1为1～4的整数的结构。
在式(4)中，可以使用L2为磺酰基或羰基的结构。
本发明中使用的聚合物中，可以包含与上述L1的选择分开地，或与上述L1的选择同时，具有T1为上述式(5)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、T1为上述式(6)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构或这些单元结构的组合的聚合物。
即，可以使用具有L1为式(3)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为式(4)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、T1为式(5)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、T1为式(6)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为式(3)所示的基团且T1为式(5)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为式(3)所示的基团且T1为式(6)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为式(4)所示的基团且T1为式(5)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、L1为式(4)所示的基团且T1为式(6)所示的基团时的上述式(1)所示的单元结构、或它们的组合的聚合物。
式(5)、(6)中，R4、R5和R6各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，n4、n5和n6各自表示0～4的整数。T2表示氟代亚烷基、环状亚烷基或这些基团的组合。
碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、酰基、酰氧基、具有叔碳原子的基团和环状烷基可以使用上述的例示。
此外氟代亚烷基和环状亚烷基可以使用上述的例示，它们可以单独使用，也可以组合使用。
本发明中，可以使用除了式(1)所示的单元结构以外，进一步具有上述式(7)所示的单元结构的共聚物。
式(7)中，L3表示上述式(3)或式(4)所示的基团，T3表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合。这些亚芳基、亚烷基可以使用上述的例示。
在式(7)中，亚芳基可以使用取代或未取代的亚苯基或亚萘基。在式(7)中，作为上述亚烷基，可举出碳原子数1～10的亚烷基，这些亚烷基可举出例如亚甲基、亚乙基、亚丙基、异亚丙基、丙烷-2,2-二基、亚丁基、异亚丁基、亚丁基、亚丁基等。其中可举出丙烷-2,2-二基等碳原子数1～4的亚烷基。
在式(7)中T3可以使用式(8)所示的基团。式(8)中，R7和R8各自为碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，n7和n8各自表示0～4的整数。T4表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合。上述烷基、碳原子数1～4的氟烷基、酰基、酰氧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基、亚烷基和亚芳基可以使用上述的例示。
本发明中使用的聚合物中具有的单元结构可以例示以下所示的式(1-1)～(1-45)所示的单元结构。
在具有上述式(i)、上述式(1)所示的单元结构的聚合物的合成时，在该工序中，可以在末端导入羟基，或者也可以在侧链导入具有羟基的官能团。
进而，通过使该羟基与单卤代炔烃(例如，卤素为氟、氯、溴、碘。)、单卤代烯烃(例如，卤素为氟、氯、溴、碘。)等进行反应，从而通过脱卤化氢反应而在末端、侧链形成碳碳三键(炔烃)、碳碳双键(烯烃)。
此外，通过使末端、侧链具有羟基的聚合物与二卤代炔烃(例如，卤素为氟、氯、溴、碘。)、二卤代烯烃(例如，卤素为氟、氯、溴、碘。)等进行反应，从而通过脱卤化氢反应而在分子主链中形成碳碳三键(炔烃)、碳碳双键(烯烃)。
而且，在聚合物中(末端或侧链)含有氨基的情况下，仍然通过同样的反应来形成上述多重键。
本发明的钝化膜形成用组合物，为了进行旋转涂布，可以溶解在有机溶剂中而成为涂布液的形态。聚合物可以溶解在有机溶剂中，制成在溶液粘度显示0.001～5,000Pa·s的粘度的范围显示旋转涂布性的涂布液。
作为上述有机溶剂，只要是可以在其它半导体工序中使用的溶剂，就没有特别限定，优选使用环己酮、甲基异戊基酮、2-庚酮等酮类；乙二醇、乙二醇单乙酸酯、二甘醇、二甘醇单乙酸酯、丙二醇、丙二醇单乙酸酯、双丙甘醇或双丙甘醇单乙酸酯的单甲基醚、单乙基醚、单丙基醚、单丁基醚或单苯基醚等多元醇类及其衍生物；二烷等环式醚类；和乳酸甲酯、乳酸乙酯、乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、甲氧基丙酸甲酯、乙氧基丙酸乙酯等酯类。它们可以单独使用，也可以2种以上混合使用。
本实施方式涉及的钝化膜形成用组合物中，在不损害本发明中的本质特性的范围内，可以进一步添加具有混合性的添加剂例如用于改良涂布性能的表面活性剂、加成性树脂、稳定剂、着色剂等惯用的添加剂。
作为表面活性剂，可举出聚氧乙烯月桂基醚、聚氧乙烯硬脂基醚、聚氧乙烯鲸蜡基醚、聚氧乙烯油基醚等聚氧乙烯烷基醚类；聚氧乙烯辛基苯酚醚、聚氧乙烯壬基苯酚醚等聚氧乙烯烷基芳基醚类；聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段共聚物类；失水山梨糖醇单月桂酸酯、失水山梨糖醇单棕榈酸酯、失水山梨糖醇单硬脂酸酯、失水山梨糖醇单油酸酯、失水山梨糖醇三油酸酯、失水山梨糖醇三硬脂酸酯等失水山梨糖醇脂肪酸酯类；聚氧乙烯失水山梨糖醇单月桂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇单棕榈酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇单硬脂酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三油酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇三硬脂酸酯等聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯类等非离子系表面活性剂；エフトップ(注册商标)EF301、エフトップEF303、エフトップEF352((株)ジェムコ制)、メガファック(注册商标)F171、メガファックF173、メガファックR30(DIC(株)制)、フロラードFC430、フロラードFC431(住友スリーエム(株)制)、アサヒガード(注册商标)AG710、サーフロン(注册商标)S-382、サーフロンSC101、サーフロンSC102、サーフロンSC103、サーフロンSC104、サーフロンSC105、サーフロンSC106(旭硝子(株)制)等氟系表面活性剂；和有机硅氧烷聚合物KP341(信越化学工业(株)制)。这些表面活性剂可以单独添加，也可以二种以上组合添加。配合量在全部固体成分中为例如0.01质量％～10质量％。
作为加成性树脂(聚合物)，可以使用聚酯、聚苯乙烯、聚酰亚胺、丙烯酸系聚合物、甲基丙烯酸系聚合物、聚乙烯基醚、苯酚酚醛清漆、萘酚酚醛清漆、聚醚、聚酰胺、和聚碳酸酯等加聚物或缩聚物。其中优选使用具有苯环、萘环、蒽环、三嗪环、喹啉环和喹喔啉环等芳香环结构的聚合物。
作为那样的加成性树脂(聚合物)，可举出例如，包含丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸萘酯、甲基丙烯酸蒽酯、甲基丙烯酸蒽甲酯、苯乙烯、羟基苯乙烯、苄基乙烯基醚和N-苯基马来酰亚胺等加聚性单体作为其结构单元的加聚物、苯酚酚醛清漆、和萘酚酚醛清漆等缩聚物。
此外，作为加成性树脂(聚合物)，可以使用不具有芳香环结构的聚合物。作为那样的聚合物，可举出例如，仅包含丙烯酸烷基酯、甲基丙烯酸烷基酯、乙烯基醚、烷基乙烯基醚、丙烯腈、马来酰亚胺、N-烷基马来酰亚胺、和马来酸酐等不具有芳香环结构的加聚性单体作为其结构单元的加聚物。
在作为加成性树脂(聚合物)使用加聚物的情况下，该聚合物可以为均聚物也可以为共聚物。加聚物的制造中使用加聚性单体。作为那样的加聚性单体，可举出丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酸酯化合物、甲基丙烯酸酯化合物、丙烯酰胺化合物、甲基丙烯酰胺化合物、乙烯基化合物、苯乙烯化合物、马来酰亚胺化合物、马来酸酐和丙烯腈等。
作为丙烯酸酯化合物，可举出丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正己酯、丙烯酸异丙酯、丙烯酸环己酯、丙烯酸苄酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸蒽甲酯、丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸3-氯-2-羟基丙酯、丙烯酸2-羟基丙酯、丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、丙烯酸2,2,2-三氯乙酯、丙烯酸2-溴乙酯、丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸2-甲氧基乙酯、丙烯酸四氢糠酯、2-甲基-2-金刚烷基丙烯酸酯、5-丙烯酰氧基-6-羟基降冰片烯-2-甲酸-6-内酯、3-丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷和丙烯酸缩水甘油酯等。
作为甲基丙烯酸酯化合物，可举出甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正己酯、甲基丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸环己酯、甲基丙烯酸苄酯、甲基丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸蒽甲酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯、甲基丙烯酸2,2,2-三氟乙酯、甲基丙烯酸2,2,2-三氯乙酯、甲基丙烯酸2-溴乙酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-甲氧基乙酯、甲基丙烯酸四氢糠酯、2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯、5-甲基丙烯酰氧基-6-羟基降冰片烯-2-甲酸-6-内酯、3-甲基丙烯酰氧基丙基三乙氧基硅烷、甲基丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸2-苯基乙酯、甲基丙烯酸羟基苯酯和甲基丙烯酸溴苯酯等。
作为丙烯酰胺化合物，可举出丙烯酰胺、N-甲基丙烯酰胺、N-乙基丙烯酰胺、N-苄基丙烯酰胺、N-苯基丙烯酰胺、N,N-二甲基丙烯酰胺和N-蒽基丙烯酰胺等。
作为甲基丙烯酰胺化合物，可举出甲基丙烯酰胺、N-甲基甲基丙烯酰胺、N-乙基甲基丙烯酰胺、N-苄基甲基丙烯酰胺、N-苯基甲基丙烯酰胺、N,N-二甲基甲基丙烯酰胺和N-蒽基丙烯酰胺等。
作为乙烯基化合物，可举出乙烯醇、2-羟基乙基乙烯基醚、甲基乙烯基醚、乙基乙烯基醚、苄基乙烯基醚、乙烯基乙酸、乙烯基三甲氧基硅烷、2-氯乙基乙烯基醚、2-甲氧基乙基乙烯基醚、乙烯基萘和乙烯基蒽等。
作为苯乙烯化合物，可举出苯乙烯、羟基苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯、甲氧基苯乙烯、氰基苯乙烯和乙酰苯乙烯等。
作为马来酰亚胺化合物，可举出马来酰亚胺、N-甲基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺和N-羟基乙基马来酰亚胺等。
在本发明的钝化膜形成用组合物中使用加成性树脂(聚合物)的情况下，作为该加成性树脂的分子量，作为重均分子量，例如为1,000～1,000,000，或3,000～300,000，此外，例如为5,000～200,000，或10,000～100,000。
在发明的钝化膜形成用组合物中包含加成性树脂(聚合物)的情况下，作为其含量，在固体成分中为例如0～40质量％，或为0～20质量％，或为1～19质量％。
在本发明中，可以使将钝化膜形成用组合物用旋转涂布机等装置进行旋转涂布而涂布在基板上的钝化膜的厚度优选为0.1μm以上200μm以下。如果其厚度过薄，则有不能追随表面的凹凸而在膜中引入空隙的可能性，如果过厚，则有在粘接层产生破裂的可能性。因此优选为1μm～50μm。
此外，可以在基板涂布后在100～350℃、100～300℃、或100～250℃左右的温度进行0.5分钟～180分钟、0.5分钟～40分钟、或0.5分钟～5分钟左右的烘烤。
这样获得的钝化膜也是本发明的对象。
本发明的钝化膜适合用作保护形成于晶片的IC电路的膜，或适合用作保护形成于晶片背面的电极的膜。
以下，通过实施例、比较例更具体地说明本发明，但本发明不受它们限定。
实施例
由以下所记载的合成例所得到的高分子化合物的GPC分析使用下述装置，测定条件如下所述。
装置：一体型高速GPC系统HLC－8220GPC东ソー株式会社制
柱：KF－G，KF804L
柱温度：40℃
溶剂：THF
流量：1.0mL/分钟
标准试样：聚苯乙烯
检测器：RI
合成例1
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮9.27g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷9.16g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯8.66g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮81.27g中，添加碳酸钾20.73g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮39.73g中的炔丙基溴50.56g和碳酸钾20.73g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次以甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-16)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为14,700，末端酚基和氨基向含有三键的有机基团的反应率为86％。
合成例2
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氯二苯基砜54.56g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷67.25g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮753.46g中，添加碳酸钾28.88g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-1)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为19,000。
合成例3
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮40.37g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷69.11g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮558.56g中，添加碳酸钾76.71g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-2)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为15,000。
合成例4
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮25.83g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷50.43g、2,2’-双(4-羟基-3,5-二羟基甲基苯基)丙烷2.75g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮504.22g中，添加碳酸钾21.82g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-3)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为22,000。
合成例5
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氯二苯基砜43.07g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷50.43g、2,2’-双(4-羟基-3,5-二羟基甲基苯基)丙烷2.75g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮590.40g中，添加碳酸钾21.82g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-4)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为26,000。
合成例6
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,4-氟苄腈10.43g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷26.54g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮204.22g中，添加碳酸钾31.10g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-5)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为7,000。
合成例7
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,5-氟苄腈10.76g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷26.54g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮204.22g中，添加碳酸钾31.10g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-6)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为12,000。
合成例8
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,6-氟苄腈10.76g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷26.54g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮204.22g中，添加碳酸钾31.10g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-7)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为11000。
合成例9
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氯二苯基砜25.84g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷26.54g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮204.22g中，添加碳酸钾31.10g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加碳酸钾12.44g和炔丙基溴22.54g，在80℃反应20小时。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-8)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为40,000。
合成例10
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,4’-二氯三氟甲苯10.21g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷9.16g、2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷8.41g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮204.22g中，添加碳酸钾20.73g，对体系内进行氮气置换。在190℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加炔丙基溴14.14g，在80℃反应20小时。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-14)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为40,000。
合成例11
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使双(4-氟苯基)砜10.81g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷9.16g、1,1-双(4-羟基苯基)环己烷6.71g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮80.01g中，添加碳酸钾20.73g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮43.31g中的烯丙基溴66.54g和碳酸钾20.73g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-36)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为13,400，末端酚基和氨基的反应率为88％。
合成例12
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮37.09g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷36.63g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯34.65g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮325.10g中，添加碳酸钾82.93g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮156.76g中的烯丙基溴193.57g和碳酸钾138.21g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-37)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为13,900，末端酚基和氨基的反应率为88％。
合成例13
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮9.27g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷9.16g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯8.66g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮81.27g中，添加碳酸钾20.73g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮39.73g中的炔丙基溴12.64g和碳酸钾20.73g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-16)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为14,700，末端酚基和氨基的反应率为52％。
合成例14
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,4-二氟苄腈6.61g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷9.16g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯8.66g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮73.28g中，添加碳酸钾20.73g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮27.96g中的炔丙基溴14.13g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-17)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为12,700，末端酚基和氨基的反应率为50％。
合成例15
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,6-二氟苄腈20.86g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷54.91g、2,2’-双(4-羟基-3,5-二羟基甲基苯基)丙烷1.16g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮489.50g中，添加碳酸钾20.93g，对体系内进行氮气置换。
在160℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和炔丙基溴1.69g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-18)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为18,000。
合成例16
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮29.05g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷50.43g、2,2’-双(4-羟基-3,5-二羟基甲基苯基)丙烷1.06g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮519.13g中，添加碳酸钾21.82g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加碳酸钾2.16g和烯丙基溴1.97g，在回流条件下反应20小时。用桐山漏斗抽滤所得的反应溶液，在所得的溶液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-40)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为27,000。
合成例17
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使2,6-二氟苄腈20.44g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷50.44g、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷1.12g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮528.50g中，添加碳酸钾63.43g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。
反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮53.53g中的炔丙基溴17.84g、碘化钾6.02g和碳酸钾22.80g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-20)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为23,000。
合成例18
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮20.67g和2,2-双(4-羟基苯基)六氟丙烷33.62g、2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷1.92g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮361.12g中，添加碳酸钾20.67g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。
用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加1N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
在四氢呋喃100g中使所得的粉体10g溶解后，添加三乙胺0.45g，冷却至0℃，经10分钟滴加溶解于四氢呋喃10g中的丙烯酰氯0.36g。然后，进行自然升温，反应20小时。将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-42)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为ND。
合成例19
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮74.19g和2,2-双(3-氨基-4-羟基苯基)六氟丙烷73.25g、4,4’-二羟基二苯基砜50.05g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮592.48g中，添加碳酸钾165.85g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮223.67g中的炔丙基溴104.68g和碳酸钾165.85g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-43)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为16,000，末端酚基和氨基向含有三键的有机基团的反应率为79％。
合成例20
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮18.55g和3,3’-二氨基-4,4’-二羟基二苯基砜14.02g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯17.32g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮149.67g中，添加碳酸钾41.46g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮56.43g中的炔丙基溴26.17g和碳酸钾41.46g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-44)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为6,600，末端酚基和氨基向含有三键的有机基团的反应率为52％。
合成例21
在具备搅拌机、温度计、迪姆罗冷却管的三口烧瓶中，使4,4’-二氟二苯甲酮18.55g和1,3-双(4-氨基-3-羟基苯氧基)苯16.22g、1,3-双[2-(4-羟基苯基)-2-丙基]苯17.32g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮149.67g中，添加碳酸钾41.46g，对体系内进行氮气置换。在160℃的油浴中反应20小时。反应结束后，进行冷却直至体系内的温度为80℃，添加溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮56.43g中的炔丙基溴26.17g和碳酸钾41.46g，在80℃搅拌20小时，使其与聚合物末端的酚基和氨基反应。
反应结束后，用桐山漏斗抽滤反应溶液，在所得的滤液中添加2N-盐酸:1-甲基-2-吡咯烷酮＝1:9的溶液直至变成酸性，使用石蕊试纸确认了溶液为酸性条件。然后，将所得的溶液滴加至水:甲醇＝1:9的混合液中，进行再沉淀。滴加后，用布氏漏斗抽滤，依次用甲醇洗涤3次、用水洗涤2次、用甲醇洗涤3次，使所得的粉体在减压干燥机中干燥12小时。
进行所得的高分子化合物(相当于式(1-45)所示的化合物)的GPC分析，结果是以标准聚苯乙烯换算计重均分子量为28,000，末端酚基和氨基向含有三键的有机基团的反应率为84％。
＜钝化膜形成用组合物的调制＞
实施例1
使由上述合成例1获得的高分子化合物50g溶解于环己酮93g中，然后，使用孔径1.0μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出含有35质量％作为固体成分的钝化膜形成用组合物。
实施例2
使由上述合成例19获得的高分子化合物50g溶解于环己酮93g中，然后，使用孔径1.0μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出含有35质量％作为固体成分的钝化膜形成用组合物。
实施例3
使由上述合成例20获得的高分子化合物50g溶解于环己酮93g中，然后，使用孔径1.0μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出含有35质量％作为固体成分的钝化膜形成用组合物。
实施例4
使由上述合成例21获得的高分子化合物50g溶解于环己酮93g中，然后，使用孔径1.0μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出含有35质量％作为固体成分的钝化膜形成用组合物。
比较例1
准备作为苯并环丁烯树脂溶液的CYCLOTENE3022-35(ダウケミカル社制)作为钝化膜形成用组合物。
比较例2
准备作为聚酰亚胺前体溶液的聚(均苯四甲酸二酐-共-4,4’-二氨基二苯醚)酰胺酸溶液(Pyre-ML RC-5019含有16质量％作为固体成分的1-甲基-2-吡咯烷酮溶液，シグマアルドリッチジャパン(株)))50g作为钝化膜形成用组合物。
比较例3
使聚砜(シグマアルドリッチジャパン(株))50g溶解于1-甲基-2-吡咯烷酮200g中，然后，使用孔径1.0μm的聚乙烯制微型过滤器进行过滤，调制出作为含有25质量％作为固体成分的芳香族聚醚的聚砜的溶液作为钝化膜形成用组合物。
＜钝化膜的评价＞
关于由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物得到的钝化膜，分别评价耐溶剂性、耐热性、密合力、干蚀刻、电气特性。
＜耐溶剂性＞
使用旋转涂布机在硅晶片上分别涂布由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物，在200℃进行30分钟固化，形成钝化膜。由在1-甲基-2-吡咯烷酮中在23℃浸渍1分钟后的残膜率来评价该形成的膜的耐溶剂性。
＜耐热性评价＞
使用旋转涂布机在硅晶片上分别涂布由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物，在200℃进行30分钟固化，形成钝化膜。利用TG-DTA(ブルカーエイエックスエス株式会社制，TG/DTA2010SR)以10℃/分钟进行升温，由产生3质量％的减量的温度来评价该形成的膜的耐热性。此外，将该晶片置于加热至260℃的电热板上，使镊子接触来评价膜的粘性的有无。
＜密合性评价＞
使用旋转涂布机在硅晶片上以涂布条件1500rpm、30秒分别涂布由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物，在200℃进行30分钟固化，形成钝化膜。关于该形成的膜，实施棋盘格试验(JIS K5400)，由晶片上残留的块数来评价密合性。
＜O2干蚀刻性评价＞
使用旋转涂布机在硅晶片上分别涂布由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物，在200℃进行30分钟固化，形成钝化膜。关于该形成的膜的蚀刻性，利用反应性离子蚀刻装置(サムコ(株)制，RIE-10NR)，在氧流量50sccm，压力12Pa，RF输出250W的条件下，进行2分钟蚀刻，由每1分钟减少的膜厚量来评价。
＜电气特性评价＞
以使将由实施例1～4和比较例1～3获得的钝化膜形成用组合物，使用旋转涂布机在硅晶片上形成钝化膜时膜厚成为1μm的方式，添加溶剂来制作稀释溶液。使用旋转涂布机在硅晶片上涂布制作的稀释溶液，在200℃进行30分钟固化来形成钝化膜。关于该膜的电气特性，通过水银探针(Four Dimensions社制，CVmap92-B)测定施加2MV/cm的电压时的泄漏电流值和介电常数(换算为相对介电常数)。
将实施例1～4和比较例1～3的评价结果示于表1中。
[表1]
如表1所示那样，可以确认由本发明获得的钝化膜，耐溶剂性、耐热性、密合性、O2干蚀刻性、电气特性都显示良好的值。
此外，由使用了合成例2～合成例18中获得的聚合物的钝化膜形成用组合物获得的钝化膜也获得了与实施例1～4同样的结果。
另一方面，关于比较例1的苯并环丁烯树脂，在200℃30分钟这样的低温且短时间的固化时，不能获得充分的耐溶剂性，此外O2干蚀刻性也低。
关于比较例2的聚酰亚胺树脂，由于酰亚胺化没有充分进行，因此由吸湿、伴随酰亚胺化的进行的脱水引起的热重量减少显著，电气特性也极其差。此外由于由热收缩引起的高内部应力因而得不到与晶片的密合性。
关于比较例3的芳香族聚醚，由于没有热交联基，因此完全得不到耐溶剂性，此外在260℃膜熔融了。
产业可利用性
由本发明的钝化膜形成用组合物获得的钝化膜利用优异的耐溶剂性、耐热性、密合性、O2干蚀刻性、电气特性等特性，可以用于保护形成于晶片的IC电路的膜、保护形成于晶片背面的电极的膜等。

Claims (18)

1.一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(i)所示的单元结构的聚合物，
   式(i)
式中，T0表示磺酰基、氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合，
在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有式(2-A)所示的结构、式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，
   式(2-A)
   式(2-B)。
2.一种钝化膜形成用组合物，其包含具有下述式(1)所示的单元结构的聚合物，
   式(1)
式中，L1表示可以具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基的组合，T1表示氟代亚烷基、环状亚烷基或具有取代基的亚芳基，或者表示可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基或环状亚烷基的组合、或可以具有取代基的亚芳基与氟代亚烷基与环状亚烷基的组合，
在该聚合物的末端、侧链或主链具有至少一个具有下述式(2-A)所示的结构、下述式(2-B)所示的结构或这两种结构的基团，
   式(2-A)
   式(2-B)。
3.根据权利要求1或2所述的钝化膜形成用组合物，所述亚芳基为亚苯基、亚萘基或亚蒽基。
4.根据权利要求1～3的任一项所述的钝化膜形成用组合物，所述聚合物为具有1种单元结构的均聚物。
5.根据权利要求1～3的任一项所述的钝化膜形成用组合物，所述聚合物为具有至少2种单元结构的共聚物。
6.根据权利要求2～5的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含具有L1为下述式(3)所示的基团时的所述式(1)所示的单元结构、L1为下述式(4)所示的基团时的所述式(1)所示的单元结构、或这些单元结构的组合的聚合物，
式(3)   式(4)
式中，R1、R2和R3各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，L2表示磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基，n1、n2、n3各自表示0～4的整数。
7.根据权利要求2～6的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含具有T1为下述式(5)所示的基团时的所述式(1)所示的单元结构、T1为下述式(6)所示的基团时的所述式(1)所示的单元结构、或这些单元结构的组合的聚合物，
式(5)   式(6)
式中，R4、R5和R6各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，T2表示氟代亚烷基、环状亚烷基或这些基团的组合，n4、n5和n6各自表示0～4的整数。
8.根据权利要求6所述的钝化膜形成用组合物，在所述式(3)中，R1为至少包含氰基的基团，n1表示1～4的整数。
9.根据权利要求6所述的钝化膜形成用组合物，在所述式(4)中，L2表示磺酰基或羰基。
10.根据权利要求1～9的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其包含进一步具有式(7)所示的单元结构的聚合物，
   式(7)
式中L3表示下述式(3)或式(4)，T3表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合，
式(3)    式(4)
式中，R1、R2和R3各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，L2表示磺酰基、羰基、酯基、酰胺基、亚磺酰基或磺酰胺基，n1、n2、n3各自表示0～4的整数。
11.根据权利要求1～10的任一项所述的钝化膜形成用组合物，所述亚芳基为亚苯基、亚萘基或亚蒽基。
12.根据权利要求10或11所述的钝化膜形成用组合物，T3表示式(8)所示的基团，
式(8)
式中，R7和R8各自表示碳原子数1～10的烷基、碳原子数1～4的氟烷基、羟基、烯丙基、烯丙氧基、氨基、氰基、硝基、酰基、酰氧基、羧基、具有叔碳原子的基团、环状烷基或这些基团的组合，n7和n8各自表示0～4的整数，T4表示亚烷基、磺酰基、羰基、可以具有取代基的碳原子数6～30的亚芳基或这些基团的组合。
13.根据权利要求6～11的任一项所述的钝化膜形成用组合物，具有叔碳原子的基团为叔丁基。
14.根据权利要求1～12的任一项所述的钝化膜形成用组合物，聚合物的重均分子量为500～5,000,000。
15.根据权利要求1～14的任一项所述的钝化膜形成用组合物，其进一步包含溶剂。
16.一种钝化膜，其为将权利要求1～15的任一项所述的钝化膜形成用组合物涂布于基板并烘烤而获得的。
17.根据权利要求16所述的钝化膜，其用作保护形成于晶片的IC电路的膜。
18.根据权利要求16所述的钝化膜，其用作保护形成于晶片背面的电极的膜。
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