CN103901075B - 一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法 - Google Patents
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- 239000002135 nanosheet Substances 0.000 title claims abstract description 76
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 41
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 33
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract description 20
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims abstract description 19
- RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N trans-p-Menthane-1,8-diol Chemical compound CC(C)(O)C1CCC(C)(O)CC1 RBNWAMSGVWEHFP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 238000003466 welding Methods 0.000 claims abstract description 14
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 claims abstract description 12
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 20
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 19
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L zinc dichloride Chemical compound [Cl-].[Cl-].[Zn+2] JIAARYAFYJHUJI-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 14
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 13
- 230000032683 aging Effects 0.000 claims description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 12
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 12
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 claims description 10
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 claims description 10
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 claims description 10
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 claims description 9
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 7
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 235000005074 zinc chloride Nutrition 0.000 claims description 7
- 239000011592 zinc chloride Substances 0.000 claims description 7
- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 6
- 238000010792 warming Methods 0.000 claims description 6
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 6
- 238000013019 agitation Methods 0.000 claims description 5
- DHGWZWRJBUSWOV-UHFFFAOYSA-L dichlorozinc dihydrate Chemical compound O.O.[Cl-].[Cl-].[Zn+2] DHGWZWRJBUSWOV-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 5
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 78
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 27
- 238000011084 recovery Methods 0.000 abstract description 11
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 168
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 84
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 83
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 12
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 229960001296 zinc oxide Drugs 0.000 description 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 2
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 206010019233 Headaches Diseases 0.000 description 1
- 206010047700 Vomiting Diseases 0.000 description 1
- 239000000809 air pollutant Substances 0.000 description 1
- 231100001243 air pollutant Toxicity 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 1
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 1
- 210000003169 central nervous system Anatomy 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 230000001351 cycling effect Effects 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 231100000869 headache Toxicity 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N methanone Chemical compound O=[14CH2] WSFSSNUMVMOOMR-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 230000007096 poisonous effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 238000013112 stability test Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 231100000419 toxicity Toxicity 0.000 description 1
- 230000001988 toxicity Effects 0.000 description 1
- 230000008673 vomiting Effects 0.000 description 1
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Abstract
本发明公开了一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法，利用水热法合成三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该纳米片球材料在300~600℃的条件下煅烧2h，得到纳米片球；将该片球在研钵中研磨后在400~700℃煅烧，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料，在松油醇中充分研磨，然后涂覆在氧化铝陶瓷管表面，在烘箱中烘烤0.5~5h，然后放入400~700℃马弗炉中煅烧，焊接、分装、老化得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。本发明对100ppm的丙酮的灵敏度达到145.9，50ppm丙酮气体的灵敏度高达62，而10ppm则达14，操作温度低，响应-恢复时间快，选择性高。
Description
技术领域
本发明涉及到一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法。
背景技术
丙酮是一种普遍使用的有机试剂，在空气中易于氧化，而且氧化过程中大量消耗空气中的氧气，是一种有害的空气污染物。丙酮也是一种易燃易爆，有毒极易挥发的液体，其爆炸下限仅为2.6%，报道指出丙酮蒸汽会溶解在血液中，可以刺激人的中枢神经系统，出现乏力、头痛、呕吐，甚至昏迷的中毒症状，是一种有毒气体，对人类身体健康和环境都有严重的威胁。同时，丙酮也是I-型糖尿病的生物探针分子，可以通过检查其在病人口腔呼出的气体中的浓度无损诊断I-型糖尿病。因此，开发快速响应、高灵敏度的丙酮传感器具有重要意义。ZnO是最重要的半导体气敏材料之一，也是制备丙酮传感器最重要的材料，但其存在灵敏度低，重复性差和不稳定等缺点，使其在实际应用中受到限制。如：哑铃状氧化锌气敏原件在工作温度为300°C时，对100ppm丙酮的灵敏度为26.1（SensorandActuatorsB.2008,134,166-170）；又如：氧化锌薄膜在工作温度为400°C时对100ppm丙酮的灵敏度为30左右（Vacuum85,2010,101-106)；再如：氧化锌空心纳米线气敏元件对100ppm丙酮的灵敏度为67.7（中国专利CN201110195804）。通过在多空ZnO纳米表面修饰Pd纳米颗粒，我们发现得到的丙酮传感器的灵敏度显著提高（ACSAppliedMaterialandInterface,2012,4,3797-3804）。本发明涉及一种基于三维多孔ZnO纳米片球材料的高灵敏度丙酮气敏元件的制备方法。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对丙酮传感器存在灵敏度低，重复性差和不稳定等缺点，提供一种对丙酮气体具有响应快速，灵敏度高，操作温度低，同时要求对丙酮气体具有较高的选择性的新型气敏材料及气敏元件的制备方法。
本发明的技术方案是：一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，利用水热法合成三维ZnO纳米片球材料，然后将纳米片球材料在300~600℃下煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球；将多孔ZnO纳米片球在研钵中研磨均匀，然后在400~700℃煅烧1~5h，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料。
所述三维多孔ZnO纳米片球材料的制备方法如下：将物质的量之比1:1的二水氯化锌和尿素溶入到去离子水和无水乙醇的混合溶液中，然后在搅拌的状态下加入聚乙烯吡咯烷酮，聚乙烯吡咯烷酮与二水氯化锌的物质的量之比为1.8~2:1，持续搅拌30~40min，然后将混合溶液转移到高压反应釜中并放入干燥箱升温至180~200℃反应16~20h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇分别离心洗涤3~5次，置于70℃的真空干燥箱中进行干燥。
所述的去离子水和无水乙醇的混合溶液中去离子水和无水乙醇的体积比为1:3，且每1mmol二水氯化锌和1mmol尿素需要的去离子水的量为10~15ml。
所述三维多孔ZnO纳米片球的厚度为20~30nm。
利用三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法，将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨0.5~3h后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在60~100℃烘箱中烘烤0.5~5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，400~700℃的条件下煅烧1~2h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
本发明的技术方案包括气敏材料与气敏元件制备两步，具体步骤如下：
（1）气敏材料制备：采用300~600℃煅烧三维ZnO前驱物即三维多孔ZnO纳米片球材料2h，得到三维多孔ZnO纳米片球，600℃下煅烧1h，即制备得三维多孔ZnO纳米片球气敏材料。
（2）气敏元件制备：将所制备的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料于松油醇中充分研磨混合成浆料，再均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，然后空气中500~700℃下煅烧1~2h，接着再按传统旁热式气敏元件的制备方法进行焊接、分装、老化即制成三维多孔ZnO纳米片球气敏元件。
制备的旁热式气敏元件的测试气氛采用静态配气法。气敏元件灵敏度定义为S=Ra/Rg，响应-恢复时间为器件电阻值达到阻值变化最大值90%所需的时间(Rg为气敏元件在所测气体中的电阻，Ra为气敏元件在空气中的电阻)。
本发明创新的关健在于制备具有很大的比表面积的三维多孔氧化锌纳米片球材料。关于ZnO丙酮传感器的材料制备已有很多，但其选择性达到100以上的很少，本发明对100ppm的丙酮的灵敏度达到145.9，该灵敏度在已知丙酮传感器中是最高值。同时，器件对丙酮的选择性也是最高的。
本发明的有益效果：（1）灵敏度高：对100ppm丙酮气体的灵敏度高达145.9,50ppm丙酮气体的灵敏度高达62，而10ppm则达14;
（2）操作温度低：制备的三维多孔ZnO纳米片球作为材料得到的丙酮传感器，最佳温度为300℃，较现有的氧化锌丙酮传感器最佳温度有所降低;（3）响应-恢复时间快：该气敏元件在1-100ppm范围内的响应-恢复时间都在10s以内;（4）选择性好：相对丙酮，该气敏元件对一些常见的有机溶剂如甲醇、甲醛、苯和甲苯等并不太敏感;(5）循环稳定性好：制备的多孔ZnO纳米片球作为材料得到的丙酮传感器，在60天的持续工作中，灵敏度漂浮在3%以内。
附图说明
图1是实施例2制备的三维多孔ZnO纳米片球材料的XRD图。
图2是实施例2制备的三维多孔ZnO纳米片球材料的场发射扫描电子显微镜(FESEM)照片。
图3是实施例2制备的三维多孔ZnO纳米片球气敏元件在不同的温度下对100ppm丙酮气体的响应曲线。
图4是实施例5制备的三维多孔ZnO纳米片球气敏元件对不同浓度丙酮气体的响应-恢复曲线和线性浓度曲线（插曲4）。
图5是实施例2制备的三维多孔ZnO纳米片球气敏元件对不同种类有害气体（100ppm）的选择性测试。
图6是实施例2制备的三维多孔ZnO纳米片球气敏元件的稳定性测试。
具体实施方式
实施例1
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，首先利用水热法合成三维ZnO纳米片球材料，步骤如下：将物质的量之比1:1的二水氯化锌和尿素溶入到去离子水和无水乙醇的混合溶液中，其中去离子水和无水乙醇的体积比为1:3且每1mmol二水氯化锌和1mmol尿素需要的去离子水的量为10~15ml，然后在搅拌的状态下加入聚乙烯吡咯烷酮，聚乙烯吡咯烷酮与二水氯化锌的物质的量之比为1.8~2:1，持续搅拌30~40min，然后将混合溶液转移到高压反应釜中并放入干燥箱升温至180~200℃反应16~20h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇的混合液分别离心洗涤3~5次，置于70℃的真空干燥箱中进行干燥，得到白色粉末状前驱物即为三维ZnO纳米片球材料；然后将纳米片球材料在300~600℃下煅烧2h，得到厚度为20~30nm三维多孔ZnO纳米片球；将多孔ZnO纳米片球在研钵中研磨均匀，然后在400~700℃煅烧1~5h，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料。
利用三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法：将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨0.5~3h后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在60~100℃烘箱中烘烤0.5~5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，400~700℃的条件下煅烧1~2h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
实施例2
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，首先利用水热法合成三维ZnO纳米片球材料，步骤如下：准确称取1mmol(0.1363g)的氯化锌（ZnCl2·2H2O）和1mmol(0.6000g)的尿素（CO(NH2)2），将它们溶入到10ml去离子水和30mL无水乙醇中，在剧烈搅拌的情况下形成均一稳定的溶液，然后在搅拌的状态下加入0.2000g的聚乙烯吡咯烷酮（PVP），搅拌30min至全部固体均溶解，然后将混合溶液转移到聚四氟乙烯内衬的高压反应釜里，放入干燥箱升温至180℃反应16h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇分别离心洗涤数次，置于在真空干燥箱中70℃进行干燥得到白色粉末状前驱物，将前驱物置于马弗炉内，400℃煅烧3h，便得到三维多孔ZnO纳米片球材料。
利用三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法：将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨0.5后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在100℃烘箱中烘烤0.5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，700℃的条件下煅烧1h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
实施例3
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，首先利用水热法合成三维ZnO纳米片球材料，步骤如下：将2mmol二水氯化锌和2mmol尿素溶入到20ml去离子水和60ml无水乙醇的混合溶液中，然后在搅拌的状态下加入3.6mmol聚乙烯吡咯烷酮，持续搅拌40min至全部固体均溶解，然后将混合溶液转移到高压反应釜中并放入干燥箱升温至200℃反应16h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇的混合液分别离心洗涤3~5次，置于70℃的真空干燥箱中进行干燥，得到白色粉末状前驱物即为三维ZnO纳米片球材料；然后将纳米片球材料在300℃下煅烧2h，得到厚度为30nm三维多孔ZnO纳米片球；将多孔ZnO纳米片球在研钵中研磨均匀，然后在400℃煅烧5h，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料。
利用三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法：将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨3h后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在60℃烘箱中烘烤5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，400℃的条件下煅烧2h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
实施例4
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，首先利用水热法合成三维ZnO纳米片球材料，步骤如下：将1mmol二水氯化锌和1mmol尿素溶入到15ml去离子水和45ml无水乙醇的混合溶液中，然后在搅拌的状态下加入2mmol聚乙烯吡咯烷酮，持续搅拌35min至全部固体均溶解，然后将混合溶液转移到高压反应釜中并放入干燥箱升温至180℃反应20h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇的混合液分别离心洗涤5次，置于70℃的真空干燥箱中进行干燥，得到白色粉末状前驱物即为三维ZnO纳米片球材料；然后将纳米片球材料在600℃下煅烧2h，得到厚度为20nm三维多孔ZnO纳米片球；将多孔ZnO纳米片球在研钵中研磨均匀，然后在700℃煅烧1h，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料。
利用三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法：将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨2h后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在80℃烘箱中烘烤2.5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，500℃的条件下煅烧1.5h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
实施例5
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中400℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料与松油醇混合在玛瑙研钵中研磨2h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中80℃下干燥2h，再放入马弗炉中600℃煅烧1h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制作气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达62.8，100ppm丙酮蒸汽的灵敏度则达到了145.9，响应-恢复时间分别为6s与7s，如图4所示。
实施例6
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中300℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料于松油醇混合在玛瑙研钵中研磨3h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中60℃下干燥5h，再放入马弗炉中400℃煅烧2h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制成气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达61.6，100ppm丙酮蒸汽的灵敏度则达到了144，响应-恢复时间分别为7s与8s。
实施例7
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中500℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料于松油醇混合在玛瑙研钵中研磨2.5h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中70℃下干燥4h，再放入马弗炉中500℃煅烧2h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制成气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达60，100ppm的灵敏度则达到了142，响应-恢复时间分别为8s与7s。
实施例8
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中600℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料于松油醇混合在玛瑙研钵中研磨1h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中90℃下干燥3h，再放入马弗炉中550℃煅烧2h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制成气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达59，100ppm丙酮蒸汽的灵敏度则达到了144，响应-恢复时间分别为6s与8s。
实施例9
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中400℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料于松油醇混合在玛瑙研钵中研磨1.5h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中100℃下干燥0.5h，再放入马弗炉中700℃煅烧1h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制成气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达61，100ppm丙酮蒸汽的灵敏度则达到了145，响应-恢复时间分别为8s与8s。
实施例10
一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料及气敏元件的制备方法：将所制备的ZnO前驱物置于马弗炉中400℃煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将该材料于松油醇混合在玛瑙研钵中研磨0.5h成浆料，将浆料均匀涂覆在陶瓷管表面，接着在烘箱中80℃下干燥2h，再放入马弗炉中600℃煅烧1h，接着再按照旁热式常规工艺，进行焊接、封装、老化，制成气敏元件。气敏测试结果表明其对50ppm丙酮蒸汽的灵敏度高达58，100ppm丙酮蒸汽的灵敏度则达到了142，响应-恢复时间分别为7s与9s。
Claims (4)
1.一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，其特征在于：利用水热法合成三维多孔ZnO纳米片球材料，然后将三维多孔ZnO纳米片球材料在300~600℃的条件下煅烧2h，得到三维多孔ZnO纳米片球；将多孔ZnO纳米片球在研钵中研磨均匀，然后在400~700℃煅烧1~5h，得到三维多孔ZnO纳米片球气敏材料；所述三维多孔ZnO纳米片球材料的制备方法如下：将物质的量之比1:1的二水氯化锌和尿素溶入到去离子水和无水乙醇的混合溶液中，然后在搅拌的状态下加入聚乙烯吡咯烷酮，聚乙烯吡咯烷酮与二水氯化锌的物质的量之比为1.8~2:1，持续搅拌30~40min，然后将混合溶液转移到高压反应釜中并放入干燥箱升温至180~200℃反应16~20h，反应结束后，待反应釜自然冷却至室温，将沉淀物用去离子水和无水乙醇分别离心洗涤3~5次，置于70℃的真空干燥箱中进行干燥。
2.根据权利要求1所述的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，其特征在于：所述的去离子水和无水乙醇的混合溶液中去离子水和无水乙醇的体积比为1:3，且每1mmol二水氯化锌和1mmol尿素需要的去离子水的量为10~15ml。
3.根据权利要求1所述的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料的制备方法，其特征在于：所述三维多孔ZnO纳米片球的厚度为20~30nm。
4.利用权利要求1所述的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料制备气敏元件的方法，其特征在于：将得到的三维多孔ZnO纳米片球气敏材料在松油醇中研磨0.5~3h后成浆料，然后均匀涂覆在带有叉状金电极的氧化铝陶瓷管表面，在60~100℃烘箱中烘烤0.5~5h，将均匀涂过的陶瓷管放入马弗炉中，400~700℃的条件下煅烧1~2h，焊接、分装、老化，得到多孔ZnO纳米片球气敏元件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410093953.7A CN103901075B (zh) | 2014-03-13 | 2014-03-13 | 一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201410093953.7A CN103901075B (zh) | 2014-03-13 | 2014-03-13 | 一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103901075A CN103901075A (zh) | 2014-07-02 |
| CN103901075B true CN103901075B (zh) | 2016-02-24 |
Family
ID=50992536
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410093953.7A Expired - Fee Related CN103901075B (zh) | 2014-03-13 | 2014-03-13 | 一种三维多孔ZnO纳米片球气敏材料和气敏元件的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103901075B (zh) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105645460B (zh) * | 2016-03-04 | 2017-07-18 | 沈阳化工大学 | 一种花状ZnO多孔微球的制备及应用方法 |
| CN108249473B (zh) * | 2018-02-09 | 2020-06-23 | 黑龙江大学 | 一种棒束状氧化锌气敏材料的制备方法及其应用 |
| CN110526276A (zh) * | 2019-08-19 | 2019-12-03 | 上海大学 | 一种超薄氧化锌纳米片的制备方法及其气敏应用 |
| CN111017985A (zh) * | 2019-12-24 | 2020-04-17 | 有研工程技术研究院有限公司 | 一种CuO/ZnO基半导体丙酮气敏材料的制备方法 |
| CN112110477B (zh) * | 2020-10-09 | 2022-08-19 | 郑州轻工业大学 | 用于苯胺室温检测的2D多孔Ce掺杂ZnO纳米片及其制备方法和应用 |
| CN113155905B (zh) * | 2021-03-03 | 2022-09-13 | 南开大学 | 一种Ag修饰的ZnO-In2O3气敏材料的制备方法 |
| CN113008946A (zh) * | 2021-03-03 | 2021-06-22 | 南开大学 | 一种Ag掺杂的SnO2气敏材料的制备方法 |
| CN113189153A (zh) * | 2021-05-11 | 2021-07-30 | 吉林大学 | 基于ZnO多孔纳米片微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其应用 |
| CN113433174A (zh) * | 2021-07-02 | 2021-09-24 | 吉林大学 | 基于ZnO多孔结构微球敏感材料的乙醇传感器、制备方法及其应用 |
| CN115893473A (zh) * | 2022-11-09 | 2023-04-04 | 福州大学 | 基于ZnO和活性炭复合的酒精气敏材料及其制备方法和应用 |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101281159A (zh) * | 2008-05-16 | 2008-10-08 | 曲阜师范大学 | 纳米氧化锌多功能气敏传感器件及其制作方法 |
| CN102259907A (zh) * | 2011-06-30 | 2011-11-30 | 上海大学 | 多孔氧化锌纳米材料及其制备方法 |
| CN102331443A (zh) * | 2011-07-13 | 2012-01-25 | 东华大学 | 一种丙酮气敏传感器及其制备方法 |
| CN103091369A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-05-08 | 郑州轻工业学院 | 一种Pd纳米粒子修饰多孔ZnO纳米片气敏材料及气敏元件的制备方法 |
| CN103626220A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-03-12 | 陕西科技大学 | 一种制备具有多级结构碳掺杂氧化锌微球的方法 |
-
2014
- 2014-03-13 CN CN201410093953.7A patent/CN103901075B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101281159A (zh) * | 2008-05-16 | 2008-10-08 | 曲阜师范大学 | 纳米氧化锌多功能气敏传感器件及其制作方法 |
| CN102259907A (zh) * | 2011-06-30 | 2011-11-30 | 上海大学 | 多孔氧化锌纳米材料及其制备方法 |
| CN102331443A (zh) * | 2011-07-13 | 2012-01-25 | 东华大学 | 一种丙酮气敏传感器及其制备方法 |
| CN103091369A (zh) * | 2012-11-30 | 2013-05-08 | 郑州轻工业学院 | 一种Pd纳米粒子修饰多孔ZnO纳米片气敏材料及气敏元件的制备方法 |
| CN103626220A (zh) * | 2013-11-19 | 2014-03-12 | 陕西科技大学 | 一种制备具有多级结构碳掺杂氧化锌微球的方法 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103901075A (zh) | 2014-07-02 |
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| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
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