CN103608128A

CN103608128A - 清洗装置

Info

Publication number: CN103608128A
Application number: CN201280028991.3A
Authority: CN
Inventors: 渥美元宏; 赤羽正宏
Original assignee: Olympus Corp
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2011-09-09
Filing date: 2012-08-30
Publication date: 2014-02-26
Anticipated expiration: 2032-08-30
Also published as: CN103608128B; WO2013035624A1; JP5829082B2; JP2013056310A; US20140090673A1; US9511394B2

Abstract

该清洗装置具有：旋转保持部（2），其保持清洗对象物（15）并使其旋转；清洗液喷射部（7），其朝被所述旋转保持部（2）保持的所述清洗对象物（15）上的点状的清洗区域（S）喷射清洗液；清洗区域移动部（6），其使所述旋转保持部（2）和所述清洗液喷射部（7）中的至少一方移动，使所述清洗区域（S）从所述清洗对象物（15）的旋转中心朝外周侧进行相对移动；层状气流形成部（8），其以从所述清洗区域（S）相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域（S）的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物（15）的表面的层状气流；以及层状气流移动部（6），其使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域（S）的相对移动而进行相对移动。

Description

清洗装置

技术领域

本发明涉及清洗装置。

本申请基于2011年9月9日在日本提交的日本特愿2011-196851号并主张优先权，在此援引其内容。

背景技术

以往，关于从清洗对象物的表面例如去除微粒等的清洗装置，已知进行对清洗液加压并向清洗对象物喷射的喷射清洗和将清洗液混入气流中与气流一起向清洗对象物喷射的2流体喷射清洗的构成。

例如，作为这种清洗装置的一例，专利文献1记载了非常适合于半导体和电子部件等的制造工序的高压喷射清洗装置。该高压喷射清洗装置从铅直方向上方向水平放置的清洗对象物上喷射点状的高压水，在使清洗对象物旋转的同时使高压水的喷嘴从清洗对象物的中心向径向外侧移动，从而进行清洗。

如上，向清洗对象物喷射高压水等清洗液时，附着在清洗对象物上的微粒或杂质飞散，有时会再次附着于已清洗完毕的清洗对象面上。

因此，专利文献2记载了一种沿水平方向搬运清洗对象物，以单片式进行清洗的清洗装置，其设置了对清洗对象物上表面喷出施加了高压力的清洗液的喷嘴、设置于清洗对象物的搬运方向的上游侧和下游侧中的至少一方且积存清洗液的承受部、吸取在承受部中积存的清洗液的真空喷嘴。

在该清洗装置中，向清洗对象物喷出清洗液，从而去除清洗对象物上的微粒。去除了微粒后，将含有该去除后的微粒的清洗液积存于承受部中，吸取并排除，从而防止微粒的再次附着。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭64-76724号公报

专利文献2：日本特开2003-300023号公报

然而上述现有技术中的清洗装置存在如下课题。

在专利文献1所述的高压喷射清洗装置中，未设置防止从清洗对象物表面飞散的微粒或含有清洗处理后的微粒等的清洗液飞散后再次附着的单元。因此存在这些微粒等再次附着而导致清洗后的清洗对象物被污染的可能性。

在专利文献2所述的清洗装置中，虽然能够将微粒和清洗使用后的清洗液积存于承受部中并吸取去除，然而仅能防止积存在承受部中的部分再次附着。即只要没有预先确定微粒和清洗使用后的清洗液飞散的场所，就无法防止再次附着。

因此，专利文献2所述的技术如果不是例如水平搬运的半导体用基板、液晶显示面板用玻璃基板等那样的单纯形状的清洗对象物，则无法期待获得良好的效果。

例如透镜那样在清洗对象面上存在凹凸，而且大小和曲率随着产品种类不同而不同的情况下，由于微粒和清洗液等飞散的位置会发生各种变化，因而难以防止再次附着。

本发明的目的在于提供一种在对清洗对象物的表面喷射清洗液进行清洗的情况下，即使来自清洗对象物的表面的飞散物向各个方向飞散，也能防止再次附着的清洗装置。

用于解决课题的手段

为了解决上述课题，本发明提出如下手段。

根据本发明的第一方面，清洗装置具有旋转保持部、清洗液喷射部、清洗区域移动部、层状气流形成部、层状气流移动部。所述旋转保持部保持清洗对象物并使其旋转。所述清洗液喷射部向被所述旋转保持部所保持的所述清洗对象物上的点状的清洗区域喷射清洗液。所述清洗区域移动部使所述旋转保持部和所述清洗液喷射部中的至少一方移动，从而使所述清洗区域从所述清洗对象物的旋转中心朝外周侧相对移动。所述层状气流形成部以从所述清洗区域相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物的表面的层状气流。所述层状气流移动部使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域的相对移动而进行相对移动。

根据本发明的第二方面，所述清洗装置还具有保持部、移动部。所述保持部一体地保持所述清洗液喷射部和所述层状气流形成部。所述移动部使所述保持部和所述旋转保持部中的至少一方移动。所述清洗区域移动部和所述层状气流移动部由所述移动部构成。

根据本发明的第三方面，在所述清洗装置中，所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜。

根据本发明的第四方面，在所述清洗装置中，所述层状气流的喷射方向相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜，并且比所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴的倾斜幅度大。

根据本发明的第五方面，所述清洗装置还具有倾斜运动保持部和倾斜运动控制部。所述倾斜运动保持部将所述清洗液喷射部以能够倾斜运动的方式进行保持。所述倾斜运动控制部控制所述倾斜运动保持部的倾斜运动量，使得所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线的角度为固定角度。

根据本发明的第六方面，在所述清洗装置中，所述旋转保持部使所述清洗对象物的旋转中心轴相对于铅直轴倾斜来保持所述清洗对象物。所述清洗对象物为光学元件。所述清洗区域的相对移动方向被设定为沿着铅直面的方向，该铅直面包含所述光学元件的光轴。

发明效果

根据上述清洗装置，即使由于清洗液的喷射而产生了来自清洗对象物的表面的飞散物，也能够通过层状气流从清洗位置的移动方向的后方侧覆盖清洗位置的周围，阻止飞散物向层状气流的后方侧的飞散。因此，在对清洗对象物的表面喷射清洗液进行清洗的情况下，即使来自清洗对象物的表面的飞散物向各个方向飞散，也能防止再次附着。

附图说明

图1A是表示本发明第1实施方式的清洗装置的概要构成的示意性俯视图。

图1B是表示本发明第1实施方式的清洗装置的概要构成的示意性主视图。

图2A是图1B的A视图。

图2B是图1B的B视图。

图3A是本发明第1实施方式的清洗装置的正面观察时的动作说明图。

图3B是表示本发明第1实施方式的清洗装置的清洗对象面上的情形的示意说明图。

图4A是说明本发明第1实施方式的清洗装置的作用的示意图。

图4B是说明本发明第1实施方式的清洗装置的作用的示意图。

图5A是表示本发明第2实施方式的清洗装置的概要构成的示意性俯视图。

图5B是表示本发明第2实施方式的清洗装置的概要构成的示意性主视图。

图6是本发明第2实施方式的清洗装置的控制框图。

图7A是图5B的E视图。

图7B是图5B的F视图。

图8是本发明第2实施方式的清洗装置的正面观察时的动作说明图。

具体实施方式

下面参照附图说明本发明的实施方式。在所有附图中实施方式不同的情况下，对相同或相应部件赋予同一标号并省略共同的说明。

[第1实施方式]

下面说明本发明第1实施方式的清洗装置。

图1A是表示本发明第1实施方式的清洗装置的概要构成的示意性俯视图。图1B是表示本发明第1实施方式的清洗装置的概要构成的示意性主视图。图2A是图1B的A视图。图2B是图1B的B视图。

本实施方式的清洗装置1是向清洗对象物喷射清洗液进行清洗对象物表面的清洗的装置。清洗方式既可以是仅对清洗液加压进行喷射的喷射清洗方式，也可以是将清洗液混入到气流中将其与气流一起喷射的2流体喷射清洗方式。

下面作为一例说明采用2流体喷射清洗方式时的例子。

另外，清洗对象物只要是能够在保持着的状态下进行旋转，能够进行2流体喷射清洗方式的清洗的形状即可，不做特别限定。

如图1A、图1B所示，作为一例以下说明清洗对象物为玻璃制的透镜15的情况的例子。

透镜15为具有凸透镜面15a、15b的双凸透镜。透镜侧面15c形成为与光轴O同轴的圆筒面。

凸透镜面15a、15b的面形状既可以是球面，也可以是轴对称非球面或自由曲面等球面以外的凸面。另外，清洗对象面可以为凸透镜面15a、15b中的任一个。以下作为一例说明凸透镜面15a为清洗对象面的情况。

如图1A、图1B所示，清洗装置1的概要构成具有旋转保持部2、固定台5（保持部）、升降台6（移动部、清洗区域移动部、层状气流移动部）、清洗液喷射部7和压缩空气喷射部8（层状气流形成部）。

此外，虽然没有特别示出，然而还具有控制旋转保持部2和升降台6等的动作的控制部。

旋转保持部2是保持透镜15使其旋转的部件。

旋转保持部2的概要构成具有驱动辊3a、保持辊3b、3c、电动机4。驱动辊3a和保持辊3b、3c将透镜15的外周向径向内侧按压来进行保持，设置成能够相对于省略图示的支撑部件进行旋转。电动机4使驱动辊3a旋转，从而向透镜15传递旋转驱动力。

驱动辊3a、保持辊3b、3c具有包含各自的旋转中心轴线的剖面形成为V字状或U字状，从而中央变细的凹状的辊面。驱动辊3a、保持辊3b、3c在各旋转中心轴沿着1个水平方向平行的状态下，沿着1个铅直面配置。

由此，驱动辊3a、保持辊3b、3c构成为在各辊面抵接凸透镜面15a与透镜侧面15c构成的角部和凸透镜面15b与透镜侧面15c构成的角部的状态下，保持透镜15，能够围绕各旋转中心轴旋转。

另外，如图2B所示，驱动辊3a、保持辊3b、3c配置于将透镜15的外周大致3等分的圆周上。

在本实施方式中，驱动辊3a、保持辊3b沿水平方向分离配置，从下方保持透镜15。保持辊3c在驱动辊3a、保持辊3b之间的中间位置处从上方保持透镜15。

在这种保持状态下，驱动辊3a、保持辊3b、3c的保持中心轴与光轴O对齐。光轴O是透镜15的透镜侧面15c的中心轴。

另外，驱动辊3a、保持辊3b、3c通过能相对于保持中心轴进退的移动臂（省略图示）固定于支撑部件（省略图示）上。因此，驱动辊3a、保持辊3b、3c能够按照透镜15的外径的大小，改变在径向上的相对于保持中心轴的位置。

另外，保持辊3c能够独立于驱动辊3a、保持辊3b进行位置调整。因此构成为通过使保持辊3c向上方侧退避，从而能够从驱动辊3a、保持辊3b的上方拆装透镜15。

驱动辊3a的旋转轴与电动机4的旋转轴4a连接，构成为能够与电动机4的旋转连动地旋转。在图1A中，图示出了驱动辊3a的旋转轴与旋转轴4a直接连结的情况的例子，例如也可以经由齿轮传递机构或带传递机构等连接。

保持辊3b、3c构成为能够与凭借驱动辊3a而旋转的透镜15连动地旋转。

电动机4的旋转方向没有特别限定，下面作为一例说明图2B示出的逆时针旋转的情况的例子。此时如图2B所示，透镜15顺时针旋转。

基于这种构成，旋转保持部2能够在光轴O水平配置的状态下以光轴O为中心可旋转地保持透镜15。

固定台5是将清洗液喷射部7和压缩空气喷射部8固定并一体地保持的保持部。固定台5具有水平配置的板状的基座5a和竖立设置于基座5a的端部上的固定板5b。

固定板5b配置于与被旋转保持部2保持的透镜15的清洗对象面即凸透镜面15a相对的位置处。

升降台6是从下方支撑固定台5的基座5a，在清洗时使固定台5沿着铅直轴进行升降移动的部件。

作为升降台6的构成，例如能够采用使用了电动机和进给螺丝机构的1轴工作台或线性电动机等。

清洗液喷射部7是向被旋转保持部2保持的透镜15的清洗对象面喷射清洗液L的部件。清洗液喷射部7由在前端部形成有具有圆开口的喷射口7a的筒状部件构成，其中该圆开口用于形成含有清洗液L的喷射流16。

关于清洗液L，可以按照清洗对象物或污物的种类采用例如纯水、水类清洗液、溶剂等。进而，还可以使用水类清洗液和纯水这2种，在利用水类清洗液清洗后再使用纯水清洗的组合。

例如，在透镜15等玻璃光学元件的情况下，优选采用纯水。使用纯水作为清洗液L的情况下，由于不需要废液的管理，因而优选。

另外，如图1B所示，清洗液喷射部7在包含光轴O的铅直面内，以喷射口7a朝下方而清洗液喷射部7的中心轴P相对于光轴O倾斜角度θ_P的姿势被固定于固定板5b上。

如后所述，角度θ_P优选设定为在通过使升降台6下降而使中心轴P相对于凸透镜面15a移动时，凸透镜面15a处的中心轴P的入射角处于5°～60°的范围内。

其中，中心轴P的入射角是由在中心轴P的延长线与凸透镜面15a交叉的入射位置处中心轴P的延长线与凸透镜面15a的法线N（参照图3A）构成的角来定义的。

在本实施方式中，作为一例设定为θ_P=30（°）。例如，凸透镜面15a为半径100mm的球面且透镜15的透镜直径为60mm的情况下，基于θ_P=30（°）的设定，中心轴P的入射角的变化为30°～47.45°。

在清洗液喷射部7的基端部连接着供给清洗液L的供给管7b。另外，在供给管7b的连接位置与喷射口7a之间的清洗液喷射部7的侧面上连接着供给压缩空气G的供给管7c。

供给管7b与积存有清洗液L的清洗液供给部10连接。

在供给管7b中，在清洗液喷射部7与清洗液供给部10之间设有朝清洗液喷射部7送出清洗液供给部10的清洗液L的泵9。

供给管7c与形成压缩空气G的压缩空气供给源20连接。

在供给管7c中，在清洗液喷射部7与压缩空气供给部20之间，从压缩空气供给源20侧起按顺序设有调整压缩空气G的压力的调节器12和净化压缩空气G的过滤器11。

本实施方式中，清洗液L呈雾状而与压缩空气G一起从喷射口7a喷射而获得喷射流16。通过从供给管7b供给清洗液L，并从供给管7c供给压缩空气G，在清洗液喷射部7内将清洗液L与压缩空气G混合，从而形成喷射流16。

喷射流16的放射范围随着喷射口7a的喷嘴形状、清洗液L的流量、压缩空气G的压力等条件不同而不同。在本实施方式中，通过适当设定这些条件，从而喷射流16以清洗液喷射部7的中心轴P为中心，直径稍微变大而放射。在本实施方式中，如图2B所示，喷射流16在凸透镜面15a上被喷射为小于凸透镜面15a的大小的点状（参照标号S所示的双点划线）。

喷射流16被喷出的区域S是凭借喷出喷射流16而产生的压力和冲击来有效地进行表面的清洗的区域，因而以下称为清洗区域S。

通过这种构成，清洗液喷射部7向由旋转保持部2保持的透镜15上的点状清洗区域S喷射清洗液L。

在本实施方式中，喷射口7a的形状为直径2mm的圆形。另外，处于在凸透镜面15a的面顶处被喷出喷射流16的位置处的清洗区域S大于直径为2mm的圆形，是大致椭圆状的纵长区域。

清洗区域S的位置能够通过升降台6使清洗液喷射部7和旋转保持部2相对移动来进行变更。

以下，在表现清洗区域S在凸透镜面15a上的位置的情况下，使用中心轴P与凸透镜面15a的交点。将该交点称为清洗位置p。清洗位置p与清洗区域S的中心大致一致。

压缩空气喷射部8是以从上方覆盖清洗区域S的周围的方式形成入射到凸透镜面15a的层状气流17的部件。

在本实施方式中，压缩空气喷射部8由在前端部形成有喷射口8a的一对筒状部件构成，其中该喷射口8a具有呈层状喷射压缩空气G的缝状开口。

这些压缩空气喷射部8都如图2B所示，在包含光轴O的铅直面内，以喷射口8a朝下方而压缩空气喷射部8的中心轴Q相对于光轴O倾斜角度θ_Q的姿势被固定于固定板5b上。

角度θ_Q被设定为大于等于角度θ_P的大小。在本实施方式中，作为一例设定为θ_Q=30（°）。

另外，如图2A所示，一对压缩空气喷射部8被配置为使得各喷射口8a在清洗液喷射部7的喷射口7a的左右的上方整体形成倒V字状，并且倒V字状的上部沿水平方向稍微分离。即，各喷射口8a形成大致倒V字状来进行配置。

另外，各喷射口8a以包含中心轴P的铅直面为对称面，配置于面对称的位置处。

其中，使各喷射口8a为大致倒V字状的配置，在倒V字状的上部沿水平方向分离是考虑到了从喷射口8a喷射出的层状气流17会沿着喷射口8a的开口的长度方向扩展而采取的配置。

各层状气流17从喷射口8a喷射后，在喷射口8a的长度方向上扩展，从而随着接近凸透镜面15a，各层状气流17彼此接近，形成上部封闭的倒V字状的层状气流17。

该呈倒V字状延续的层状气流17入射到凸透镜面15a，如图2B所示，被喷射到凸透镜面15a的倒V字状的区域。以下将被喷射该层状气流17的区域称作喷射区域T。

清洗区域S与喷射区域T的间隔越窄，则越能够使后述飞散物D能够再次附着的区域变窄，因而优选。作为具体的数值范围，例如优选0mm～10mm的范围。

另外，喷射区域T中的处于图3B的左侧（即透镜15的旋转方向侧）比图3B的右侧（即透镜15的旋转方向的相反侧）长，因而能够使飞散物D能够再次附着的区域变窄，因而优选。

如图1A所示，在各压缩空气喷射部8的基端部上连接着供给压缩空气G的供给管8b。

供给管8b被设置为整体形成Y字状。分支为2根的供给管8b的前端部与各压缩空气喷射部8连接。另外，集中为1根的供给管8b的基端部与压缩空气供给源20连接。

在供给管8b的分支部与压缩空气供给源20之间，从压缩空气供给源20侧起按顺序设有调整压缩空气G的压力的调节器14和净化压缩空气G的过滤器13。

下面以清洗装置1的清洗方法为中心说明清洗装置1的动作。

图3A是本发明第1实施方式的清洗装置的正面观察时的动作说明图。图3B是表示本发明第1实施方式的清洗装置的清洗对象面上的情形的示意说明图。图4A、图4B是说明本发明第1实施方式的清洗装置的作用的示意图。

使用清洗装置1清洗透镜15的凸透镜面15a时，首先将作为清洗对象面的凸透镜面15a朝向固定台5侧，使旋转保持部2保持透镜15。

接着，为了在清洗开始位置形成清洗区域S，使升降台6上升而进行清洗液喷射部7的定位。

可以将清洗开始位置设定于凸透镜面15a的面顶处。

喷射流16是沿着清洗液喷射部7的中心轴P喷射的，因而如图3A中用双点划线所示的清洗液喷射部7那样，使固定台5上升至中心轴P的延长线与透镜15的面顶处交叉的高度即可。

其中，在本实施方式中，考虑到针对喷射流16在放射方向上的不均和升降台6的定位误差等的余量，将清洗开始位置设定在面顶处的稍上侧。即，使升降台6上升至如下的高度为止：在凸透镜面15a能够与包含光轴O的铅直面交叉的圆弧上，中心轴P的延长线在面顶处的稍上侧交叉。

接着驱动电动机4使驱动辊3a旋转。由此，透镜15以与保持中心轴对齐的光轴O为中心旋转。在本实施方式中，透镜15的转速被设定为120rpm。

在透镜15的旋转到达额定旋转后，驱动泵9，开始从供给管7b供给清洗液L。在清洗液L的供给开始的同时，驱动调节器12，从供给管7c向清洗液喷射部7内供给压缩空气G。

另外，驱动调节器14，从供给管8b向各压缩空气喷射部8内供给压缩空气G。

另外，对应这些动作使升降台6下降。

由此开始清洗。

可以按照凸透镜面15a的脏的程度等适当设定清洗条件。

在本实施方式中，作为一例设定如下的清洗条件。在清洗液喷射部7中，将清洗液L的流量设定为0.5mL/分钟，将压缩空气G的压力（表压）设定为0.5Pa。在压缩空气喷射部8中，将压缩空气G的压力（表压）设定为0.5MPa。将升降台6的移动速度设定为0.2mm/旋转。此外，利用透镜15的每次旋转的移动量来表现升降台6的移动速度。

如上，通过升降台6下降，从而固定在固定台5上的清洗液喷射部7、压缩空气喷射部8一体地下降，因而清洗区域S和喷射区域T向铅直下方移动。由此，清洗位置p沿着包含光轴O的铅直面与凸透镜面15a的交线向下方移动。

因此，升降台6构成使作为保持部的固定台5移动的移动部。另外，升降台6构成使清洗液喷射部7移动，使清洗区域S从透镜15的旋转中心朝外周侧相对移动的清洗区域移动部。另外，升降台6构成使作为层状气流17的入射位置的喷射区域T追随清洗区域S的相对移动而进行相对移动的层状气流移动部。

在清洗区域S中，如后所述进行清洗，因而如图3B所示，随着清洗位置p的移动，在以光轴O为中心的同心圆的范围形成清洗完毕区域C。

当清洗位置p到达凸透镜面15a的外周后，凸透镜面15a的整体成为清洗完毕区域C，因而清洗结束。

清洗结束后，停止清洗液喷射部7、压缩空气喷射部8的喷射，然后使升降台6、电动机4停止。

在继续清洗透镜15的凸透镜面15b或清洗其他清洗对象物的情况下，从旋转保持部2卸下透镜15，执行进行接下来的清洗的准备，重复上述工序。

如上就能够进行透镜15的清洗。

接着说明清洗装置1的清洗作用。

如图3A所示，在从喷射口7a喷射了喷射流16后，喷射流16以中心轴P为中心稍微扩展并放射，到达凸透镜面15a。

由此，在凸透镜面15a上形成点状的清洗区域S（参照图3B）。

喷射到清洗区域S的喷射流16形成沿着凸透镜面15a扩展的表面流16a。

此时，凭借喷射流16在喷射时对凸透镜面15a的表面施加的压力和冲击，附着在凸透镜面15a上的微粒或杂质等污染物18（参照图4A）从凸透镜面15a剥离。然后，从凸透镜面15a剥离的表面流16a中的污染物18如下所述与沿着凸透镜面15a扩展的表面流16a一起移动，从凸透镜面15a被去除。

表面流16a具有由于清洗液喷射部7的中心轴P相对于水平面向下方侧倾斜角度θ_P从而喷射流16朝向铅直下方的速度分量。因此，与重力的作用相辅相成，从光轴O朝外周侧的流动、即沿着凸透镜面15a朝铅直下方的流动成为支配性的。

另外，表面流16a随着沿凸透镜面15a向下方侧流动而受到透镜15的旋转的影响。因此，如图3B所示，表面流16a的前进路径整体偏向旋转方向。

当包含污染物18的表面流16a进一步朝向透镜15的外周侧时，表面流16由于凸透镜面15a的弯曲而剥离。因此形成朝向下方侧的落下流16b。

在本实施方式中，通过从光轴O沿水平方向分离的驱动辊3a和保持辊3b从下方保持透镜15。因此落下流16b从驱动辊3a、保持辊3b之间的凸透镜面15a的外缘部与污染物18一起向下方侧移动。

如图4A、图4B所示，在清洗区域S的周围，由于喷射流16喷射到凸透镜面15a时的冲击，飞散物D朝从凸透镜面15a离开的各个方向分散。此外，图4A、图4B是示意图。因此没有特别明确示出喷射流16为流体喷射。

作为飞散物D，可以举出从凸透镜面15a剥离的微粒、被清洗液L的液滴吸收的微粒、凸透镜面15a上的杂质溶解于清洗液L而出现的飞沫、清洗液L的液滴导致的飞沫等。

若飞散物D再次附着于清洗完毕区域C，则飞散物D所含的污染物18（微粒或杂质）会再次附着，或者飞散物D的清洗液L中含有的水分存留于凸透镜面15a上而产生玻璃的污点，或弄脏凸透镜面15a，成为形成缺陷的原因。

在本实施方式中，层状气流17被喷射到清洗位置p的移动方向的后方侧的位置处。因此从清洗完毕区域C侧观察时，喷射流16和清洗区域S被层状气流17覆盖。

其结果，例如图4A所示，当飞散物D0向清洗完毕区域C侧飞散时，与层状气流17冲突，例如如飞散物D₁那样朝清洗位置p的移动方向弹回。或者如飞散物D₂那样与层状气流17一起喷射到凸透镜面15a并在清洗位置p的移动方向上移动。

因此，无法如双点划线所示的飞散物D₃那样穿过层状气流17移动至清洗完毕区域C侧。即，层状气流17覆盖喷射流16的后方侧，构成遮蔽飞散物D的气帘。

另外，喷射到凸透镜面15a的层状气流17与喷射流16同样地形成朝向清洗位置p的移动方向的表面流17a，形成表面流17a的压缩空气G在凸透镜面15a上向清洗区域S侧扫去。因此具有将凸透镜面15a上的污染物18、液滴19和喷射到清洗区域S的喷射流16的前端向与清洗位置p的移动方向大致相同的方向推出的作用。

由此，层状气流17通过后的凸透镜面15a清洗干净。

沿着凸透镜面15a的方向的速度分量越大，则这种层状气流17的推出作用也越大。因此，中心轴Q的入射角θ_Q比中心轴P的入射角θ_P越大，则越能够有效地进行推出。

另外，层状气流17的表面流17的流速是越接近喷射区域T附近则越大，因而喷射区域T越接近清洗区域S，就越能有效地推出污染物18等。

另外，喷射区域T与清洗区域S的间隔越窄，则飞散物D落入其间的概率越小，即使落下也能在短时间内被层状气流17的表面流16a推出，因而易于防止飞散物D的再次附着。

另外，表面流17a是不含有液体的压缩空气G的流，因而如图4B所示，凸透镜面15a的表面的液滴19的干燥得以促进。因此，在喷射流16的后方侧，流动或飞散的液滴19被表面流17a迅速干燥。因此能够抑制水分的附着导致的玻璃的污点。

如上，表面流16a、飞散物D（来自表面流16a的飞散物）、附着在凸透镜面15a表面的污染物18、液滴19全体以被层状气流17吹拭的方式向清洗位置p的移动方向移动，与表面流16a合流。因此，污染物18与表面流16a一起从凸透镜面15a剥离，成为落下流16b落下，被从凸透镜面15a去除。

根据这种清洗装置1，在由于清洗液L的喷射而产生了来自透镜15的凸透镜面15a的飞散物D的情况下，层状气流17从清洗位置p的移动方向的后方侧覆盖清洗区域S的周围，能够阻止飞散物D向层状气流17的后方侧的飞散。因此，在向凸透镜面15a喷射清洗液L进行清洗的情况下，即使来自凸透镜面15a的飞散物D向各个方向飞散也能防止再次附着。

[第2实施方式]

接着说明本发明第2实施方式的清洗装置。

图5A是表示本发明第2实施方式的清洗装置的概要构成的示意性俯视图。图5B是表示本发明第2实施方式的清洗装置的概要构成的示意性主视图。图6是本发明第2实施方式的清洗装置的控制框图。图7A是图5B的E视图。图7B是图5B的F视图。

本实施方式的清洗装置1A与清洗装置1同样是向清洗对象物喷射清洗液L进行清洗对象物表面的清洗的装置。清洗方式既可以是喷射清洗方式，也可以是2流体喷射清洗方式，以下作为一例说明采用喷射清洗方式时的例子。

另外，清洗对象物只要是能够在保持的状态下进行旋转，能够进行喷射清洗方式的清洗的形状即可，不做特别限定。

如图5A、图5B所示，作为一例以下说明清洗对象物为玻璃制透镜25的情况的例子。

透镜15为具有凹透镜面25a、凸透镜面25b的凹凸透镜，透镜侧面25c形成为与光轴O同轴的圆筒面。

凹透镜面25a、凸透镜面25b的面形状既可以是球面，也可以是球面以外的、轴对称非球面或自由曲面等凸面。另外，清洗对象面可以为凹透镜面25a、凸透镜面25b中的任一个，以下作为一例说明凹透镜面25a为清洗对象面的情况。

清洗装置1A构成为具有固定台5A（倾斜运动保持部）、压缩空气喷射部8A（层状气流形成部）代替上述第1实施方式的清洗装置1的固定台5、压缩空气喷射部8，并追加了移动台24（移动部、清洗区域移动部、层状气流移动部）和控制部26（参照图6、倾斜运动控制部）。

下面以与上述第1实施方式的清洗装置1的不同之处为中心进行说明。

固定台5A是将清洗液喷射部7和压缩空气喷射部8A以相对于旋转保持部2的保持中心轴的倾斜角度可变的方式进行固定并一体地保持的部件。固定台5A具有基座5a、一对支撑板5c、转动块23（保持部）、电动机22。一对支撑板5c彼此相对地竖立设置于基座5a的端部。转动块23被以能够以转动轴23a为中心转动的方式保持于一对支撑板5c之间。电动机22向转动轴23a传递旋转驱动力，根据来自控制部26的控制信号使转动块23的转动位置改变。

转动块23配置于与被旋转保持部2保持的透镜25的清洗对象面即凹透镜面25a相对的位置处。

支撑板5c在水平面内与和透镜25的光轴O垂直的方向相对地配置，转动块23的转动轴23a也在水平面内沿与透镜25的光轴O垂直的方向延伸。

转动块23上固定着清洗液喷射部7和一对压缩空气喷射部8A。

本实施方式的清洗液喷射部7与上述第1实施方式的清洗液喷射部7同样地由在前端部形成有喷射口7a的筒状部件构成。然而本实施方式与上述第1实施方式的不同之处在于，仅将清洗液L作为喷射流16A向被旋转保持部2保持的透镜25的清洗对象面喷射。

因此，本实施方式中删除了上述第1实施方式的供给管7c、过滤器11、调节器12。

另外，本实施方式中为了能够仅利用清洗液L的压力来进行清洗所需的压力的喷射，具有高压泵9A来代替上述第1实施方式的泵9。

进而，在清洗液喷射部7与高压泵9A之间的供给管7b上追加了用于在清洗过程中调整从喷射口7a喷射的清洗液L的流量的流量阀21。

如图6所示，流量阀21与控制部26电连接，能够根据从控制部26发送的控制信号来调整流量。

另外，如图5B所示，本实施方式的清洗液喷射部7在将转动块23的转动位置固定为作为基准的转动位置（以下称之为转动基准位置）时，在包含光轴O的铅直面内，以喷射口7a朝向下方，清洗液喷射部7的中心轴P相对于光轴O倾斜角度θ_PA的姿势，被固定于转动块23上。

其中，当转动块23通过电动机22而旋转了角度φ时，中心轴P相对于光轴O的角度θ变化为θ=θ_PA+φ。

在本实施方式中，控制部26以使中心轴P相对于凹透镜面25a的入射角固定的方式来控制角度θ。

中心轴P的入射角优选设定为1°～60°范围内的固定值。在本实施方式中，作为一例，将中心轴P的入射角设定为30°。

在本实施方式中，采取了在转动块23的转动基准位置处中心轴P入射到凹透镜面25a的面顶处的设定，因而θ_PA=30（°）。

喷射流16A的放射范围随着喷射口7a的喷嘴形状、清洗液L的流量等条件的不同而不同。在本实施方式中，通过使喷射口7a的喷嘴形状为圆筒状，从而即使清洗液L的流量发生变化也能喷射为大致均匀截面的束状。

因此，如图7B所示，在凹透镜面25a上喷射为小于凸透镜面15a的大小的点状（参照标号S_A所示的双点划线）。

喷射流16A被喷射的区域S_A是凭借喷射流16A被喷射而产生的压力和冲击而有效地进行表面的清洗的区域，因此以下将其称作清洗区域S_A。

在本实施方式中，喷射口7a的形状为直径2mm的圆形。另外，在凹透镜面25a的面顶处位于被喷射流16A喷射到的位置处的清洗区域S大于直径为2mm的圆形，形成为大致椭圆状的纵长区域。

在以下内容中，表示清洗区域S_A在凹透镜面25a上的位置时，使用中心轴P与凹透镜面25a的交点。将该交点称为清洗位置p_A。清洗位置p_A与清洗区域S_A的中心大致一致。

基于这种构成，固定台5A构成将清洗液喷射部7保持为能够倾斜运动的倾斜运动保持部。

另外，控制部26构成控制倾斜运动保持部的倾斜运动量以使清洗液喷射部7的喷射口7a的中心轴P相对于清洗位置p_A处的凹透镜面25a的法线N的角度为固定角度的倾斜运动控制部。

压缩空气喷射部8A是形成以从上方覆盖清洗区域S_A的周围的方式入射到凹透镜面25a的层状气流17A的部件。

在本实施方式中，压缩空气喷射部8A由在前端部形成喷射口8c的一对筒状部件构成，其中该喷射口8c具有层状地喷射压缩空气G的圆弧缝状的开口。

如图5B所示，在固定为转动块23的转动基准位置时，这些压缩空气喷射部8A都在包含光轴O的铅直面内，以喷射口8c朝下方，压缩空气喷射部8A的中心轴Q_A相对于光轴O倾斜角度θ_QA的姿势，被固定于转动块23。

角度θ_QA被设定为大于等于角度θ_P的大小。本实施方式中作为一例设定为θ_Q=35（°）。

此外，在本实施方式中，角度θ_QA与角度θ_PA同样为中心轴Q_A对于凹透镜面25a的入射角。

如上，在θ_PA＜θ_QA时，易于隔开间隔以使得即使缩小清洗区域S_A与喷射区域T_A之间的间隔，清洗液喷射部7与压缩空气喷射部8A也不会互相干扰，因而易于实现装置布局。

另外，能够隔开间隔以使得即使减小从凹透镜面25a到喷射口7a、8a的距离，清洗液喷射部7与压缩空气喷射部8A也不会互相干扰，因此能够防止喷射流16A、层状气流17A的喷射压力的降低。另外，还能实现装置的进一步的小型化。

另外，如图7A所示，一对压缩空气喷射部8A配置为各喷射口8c在清洗液喷射部7的喷射口7a的左右的上方作为整体排列成相对于中心轴P的1个同心圆，并且上部在水平方向上稍微分离。

另外，各喷射口8c以包含中心轴P的铅直面为对称面配置于面对称的位置处。

其中，在上部使各喷射口8c在水平方向上分离的配置是考虑到了从喷射口8c喷射的层状气流17A沿着喷射口8c的开口的圆周方向扩展的情况。

各层状气流17A从喷射口8c喷射之后，沿着喷射口8c的圆周方向扩展，从而随着接近凹透镜面25a，各层状气流17A彼此接近，形成上方封闭的圆弧状的层状气流17A。

该连成圆弧状的层状气流17A入射到凹透镜面25a，如图7B所示，被喷射到凹透镜面25a的圆弧状的区域。以下将被喷射该层状气流7A的区域称作喷射区域T_A。

如图5A所示，与上述第1实施方式同样地，各压缩空气喷射部8的基端部连接着供给管8b、过滤器13、调节器14。

如图5B所示，移动台24设置于升降台6与基座5a之间，是使固定台5A朝着被旋转保持部2保持的透镜25在沿着光轴O的方向上进退的部件。

另外，如图6所示，移动台24与控制部26电连接，能够根据从控制部26发送的控制信号改变移动量。

作为移动台24的构成，例如可以采用使用电动机和进给螺丝机构的1轴工作台或线性电动机等。

控制部26是控制清洗装置1A的清洗动作的部件。如图6所示，控制部26构成为与升降台6、移动台24、电动机22、流量阀21电连接，能够分别与它们进行通信。

另外，控制部26与存储部27电连接，该存储部27存储着与透镜25的清洗对象面的形状有关的信息、旋转保持部2与固定台5A的位置关系的信息。

控制部26进行的控制的目的在于，在清洗位置p_A进行了移动时，将清洗区域S_A处的清洗力保持为大致恒定。例如可以举出如下的控制：根据伴随着清洗位置p_A的移动的、凹透镜面25a相对于喷射流16A的形状变化，变更清洗液喷射部7和压缩空气喷射部8A相对于光轴O的角度。另外，还可以举出将从清洗液喷射部7的喷射口7a到清洗位置p_A为止的距离保持为恒定的控制。

在本实施方式中，控制部26的装置构成采用具备CPU、存储器、输入输出接口、外部存储装置等的计算机。

下面以清洗装置1A的清洗方法为中心说明清洗装置1A的动作。

图8是本发明第2实施方式的清洗装置在正面观察时的动作说明图。

本发明的清洗动作是通过控制部26在清洗过程中控制被旋转保持部2保持的透镜25的凹透镜面25a与清洗液喷射部7的相对位置关系。如图8所示，与上述第1实施方式的不同之处在于，在如下的状态下进行上述动作：使中心轴P相对于各清洗位置p_A处的法线的入射角为固定的角度θ_PA，使清洗位置p_A与喷射口7a的距离为固定值，例如距离M。

因此，在开始清洗之前，控制部26根据预先存储于存储部27中的凹透镜面25a的形状信息，计算清洗位置p_A的轨迹，计算出在该轨迹上沿光轴O方向的位移和清洗位置p_A的法线的变化，求出控制目标值，该控制目标值与用于使针对每个清洗位置p_A，中心轴P的入射角为固定的角度θ_PA且到喷射口7a的距离为距离M的固定台5A的位置和转动块23的转动位置对应。

只要清洗对象物的形状固定，就能共享该控制目标值。因此在本实施方式中，预先计算出基于多个清洗对象物的形状的控制目标值。例如以表或函数等形式存储于存储部27。

由此，控制部26在清洗开始前从存储部27选择性地读入与清洗对象面对应的控制目标值。

在使用清洗装置1A清洗透镜25的凹透镜面25a时，首先将作为清洗对象面的凹透镜面25a朝向固定台5A侧，使旋转保持部2保持透镜25。

接着，控制部26从存储部27读入与透镜25的凹透镜面25a对应的控制目标值。

控制部26根据用于在清洗开始位置形成清洗区域S_A的控制目标值，驱动升降台6、移动台24，进行固定台5A的平行移动，驱动电动机22进行转动块23的转动。由此，进行相对位置的设定，使得清洗液喷射部7的中心轴P的延长线在凹透镜面25a上的清洗开始位置处交叉，中心轴P的入射角成为角度θ_PA，从清洗开始位置到喷射口7a的距离为距离M。

本实施方式的清洗开始位置与上述第1实施方式同样地被设定为凹透镜面25a的面顶处的稍靠上侧。

接着与上述第1实施方式同样地使透镜25旋转。

在透镜25的旋转到达额定旋转后，驱动泵9从供给管7b开始清洗液L的供给。此时，控制部26控制流量阀21以便能够获得预先设定的一定流量。

此外，通过在清洗液供给部10中产生蒸汽，从而即使没有泵9也能够利用蒸汽压力来供给清洗液L。由此能抑制清洗液L的消耗，还能获得基于热的去污效果。

另外，与上述第1实施方式同样地，驱动调节器14从供给管8b向各压缩空气喷射部8A内供给压缩空气G。

另外，控制部26对应于这些情况使升降台6下降，使清洗位置p_A从清洗开始位置向铅直下方进行相对移动。

此时，控制部26根据从存储部27读入的控制目标值，驱动升降台6、移动台24、电动机22，因此即使清洗位置p_A移动，中心轴P的入射角、从清洗位置p_A到喷射口7a的距离也分别保持为固定值θ_PA、M。

能够根据凹透镜面25a的脏的程度等适当设定清洗条件。

在本实施方式中，作为一例设定如下的清洗条件。在清洗液喷射部7中，将清洗液L的流量设定为240mL/分钟。在压缩空气喷射部8A中将压缩空气G的压力（表压）设定为0.5MPa。升降台6的移动速度与上述第1实施方式同样地被设定为0.2mm/旋转。

另外，与第1实施方式同样地，可以采取使用水类清洗液和纯水这2种液体，在用水类清洗液清洗后再用纯水清洗的组合。

如上，如图4A、图4B所示，在清洗区域S_A及其周围，随着清洗位置p_A的移动，与上述第1实施方式大致相同地进行清洗。

例如，喷射流16A、层状气流17A到达凹透镜面25a后，分别形成表面流16a、17a。表面流16a、17a主要形成朝向清洗位置p_A的移动方向的流。

另外，本实施方式的喷射流16A、表面流16a仅由清洗液L构成，因此仅由微粒构成的飞散物D变少，然而与飞散物D有关的上述第1实施方式的说明也能同样用于本实施方式。

以下以与上述第1实施方式的不同之处为中心进行说明。

在本实施方式中，清洗区域S_A形成于与喷射口7a距离M的位置处，喷射流16A的流量固定，中心轴P的入射角固定，因此与清洗位置p_A的位置无关，沿着中心轴P行进的喷射流16A引起的压力和冲击都固定。因此，与凹透镜面25a的形状和位置无关，各处的清洗力保持恒定，能够抑制清洗不均。

另外，由于中心轴P的入射角固定，因而来自喷射流16A的飞散物D在飞散方向上的分布与清洗位置p_A的位置无关而大致恒定。

进而，各压缩空气喷射部8A与清洗液喷射部7一起固定于转动块上，因而中心轴Q_A的入射角也与中心轴P的入射角同样地保持固定，喷射流16A和层状气流17A的相对位置关系与清洗位置p_A的位置无关而保持恒定。

因此，即使将层状气流17A覆盖喷射流16A的范围设定得小于上述第1实施方式，也能同等程度地阻止飞散物D。

因此尤其适用于清洗对象物为曲率半径较小的透镜时的清洗。

另外，在本实施方式中，层状气流17A形成为以中心轴P为中心的同心圆弧状。由层状气流17A在清洗区域S_A的周围形成大致均匀的气帘。因此，存在飞散物D飞散的可能性的清洗区域S_A与喷射区域T_A之间的间隔大致均等，因而能够进一步抑制清洗不均。

另外，由于层状气流17A呈圆弧状弯曲，因此尤其在清洗对象面为接近球面的凹凸面的情况下，相比平面状的层状气流，层状气流17A相对于清洗对象面的入射角的偏差变小。因此能够提高清洗区域S_A周围的层状气流17A的表面流17a的稳定性，使得向移动方向侧推出喷射流16A的端部和飞散物D的作用更为稳定，能进行更有效的推出。

如上，根据清洗装置1A，在即使由于清洗液L的喷射而产生了来自透镜25的凹透镜面25a的飞散物D的情况下，由层状气流17A从清洗位置p_A的移动方向的后方侧覆盖清洗区域S_A的周围，能够阻止飞散物D向层状气流17A的后方侧的飞散。因此，在向凹透镜面25a喷射清洗液L进行清洗的情况下，即使来自凹透镜面25a的飞散物D向各个方向飞散的情况下也能防止再次附着。

此外，在上述各实施方式的说明中，说明的是清洗液喷射部、层状气流形成部一体地设置于保持部中，使保持部相对于旋转保持部移动的情况的例子。然而保持部和旋转保持部只要能够使清洗区域从旋转中心朝外周侧相对移动即可，可以仅某一方进行移动，也可以两方进行移动。

另外，在上述各实施方式的说明中，说明的是清洗液喷射部、层状气流形成部一体地设置于保持部中，使保持部相对于旋转保持部移动的情况的例子。然而也可以构成为独立地具有清洗区域移动部和层状气流移动部，该清洗区域移动部使旋转保持部和清洗液喷射部中的至少一方移动，使清洗区域从清洗对象物的旋转中心朝外周侧相对移动，该层状气流移动部使层状气流的入射位置追随清洗区域的相对移动而进行相对移动。

另外，在上述第2实施方式的说明中，说明的是清洗液喷射部7、压缩空气喷射部8A一体地设置于作为保持部的转动块23上的情况的例子。然而也可以构成为压缩空气喷射部8A能够独立于清洗液喷射部7进行倾斜运动。

这种情况下，由于能够分别独立地控制清洗液喷射部7的倾斜运动量与压缩空气喷射部8A的倾斜运动量，因此既能够与上述第2实施方式同样地使相对的倾斜运动量一致，又能使清洗液喷射部7与压缩空气喷射部8A的倾斜运动量不同。

例如，随着喷射区域T_A向外周侧移动而增大中心轴Q_A的入射角，从而能够进行越向外周侧越增强层状气流17A的推出作用的控制。

另外，在上述各实施方式的说明中，说明的是由一对压缩空气喷射部8形成截面为倒V字状的层状气流17以及由一对压缩空气喷射部8A形成截面为圆弧状的层状气流17A的情况的例子。然而，也可以构成为具有如下的层状气流形成部，其具备与层状气流17的截面形状对应的开口形状形成倒V字状的缝的1个喷射口。还可以构成为具有如下的层状气流形成部，其具备与层状气流17A的截面形状对应的开口形状形成圆弧状的缝的1个喷射口。

另外，在上述各实施方式的说明中，说明的是沿水平方向配置旋转保持部2的保持中心轴的情况的例子。然而，在使清洗区域从旋转中心朝外周侧移动时，能够通过喷射流16（16A）、层状气流17（17A）的作用、重力和离心力的平衡，阻止清洗液L向清洗完毕区域C的倒流的情况下，对于保持中心轴的朝向不做特别限定。例如也可以使保持中心轴与铅直轴对齐。

另外，在上述第2实施方式的说明中，说明的是对每个清洗位置p_A进行使中心轴P的入射角为固定的角度θ_PA且与喷射口7a的距离为距离M的控制时的例子，然而将在凹透镜面25a上的压力和冲击保持恒定的控制不限于此。

例如，也可以构成为删除移动台24，利用流量阀21对每个清洗位置p_A调整喷射流16A的流量。即，在凹透镜面25a的外周侧，喷射口7a与凹透镜面25a的距离变近，因而通过减少流量，从而能够将在凹透镜面25a上的压力和冲击保持恒定。在清洗对象面为凸面的情况下，反之越靠向外周侧越增大流量即可。

另外，在上述第2实施方式的说明中，说明的是对每个清洗位置p_A进行使中心轴P的入射角为固定的角度θ_PA且与喷射口7a的距离为距离M的控制，从而将在凹透镜面25a上的压力和冲击保持恒定的情况的例子。然而在由于脏的性质导致压力和冲击的大小与清洗力不对应的情况下，也可以构成为压力和冲击发生变化。

另外，在喷射流16A的压力和冲击发生某种程度的变化而能够获得大致同样的清洗力的情况下，可以使压力和冲击在允许范围内发生变化。

即，可以并非使距离M和流量与清洗对象面的形状的变化一对一对应起来连续发生变化，而是阶段性地变化。例如可以进行以透镜半径的3分之2为界限，在其内周侧与外周侧切换距离M和流量的设定值这样的控制。

另外，在上述说明中，说明的是层状气流形成部的喷射压固定的情况下的例子，然而也可以使层状气流形成部的喷射压沿着移动方向发生变化。

另外，在上述说明中，说明的是层状气流形成部为利用压缩空气G形成层状气流17、17A的压缩空气喷射部8、8A的情况的例子，然而层状气流也可以通过空气以外的气流、例如Ar气体或氮气等气流形成。

另外，在上述各实施方式说明的所有构成要素可以在本发明技术思想的范围内适当组合或删除来加以实施。

产业利用性

根据上述清洗装置，即使由于清洗液的喷射而产生来自清洗对象物的表面的飞散物，通过层状气流从清洗位置的移动方向的后方侧覆盖清洗位置的周围，可阻止飞散物向层状气流的后方侧的飞散。因此，在对清洗对象物的表面喷射清洗液进行清洗的情况下，即使来自清洗对象物的表面的飞散物向各个方向飞散，也能防止再次附着。

标号说明

1、1A清洗装置；2旋转保持部；5固定台（保持部）；5A固定台（倾斜运动保持部）；6升降台（移动部、清洗区域移动部、层状气流移动部）；7清洗液喷射部；7a喷射口；8、8A压缩空气喷射部（层状气流形成部）；8a、8c喷射口；9泵；9A高压泵；10清洗液供给部；15、25透镜（清洗对象物）；15a凸透镜面（清洗对象面）；16、16A喷射流；17、17A层状气流；20压缩空气供给源；21流量阀；22电动机；23转动块（保持部）；24移动台（移动部、清洗区域移动部、层状气流移动部）；25a凹透镜面（清洗对象面）；26控制部（倾斜运动控制部）；27存储部；C清洗完毕区域；D、D₁、D₂飞散物；G压缩空气；L清洗液；O光轴；P、Q、Q_A中心轴；S、S_A清洗区域；T、T_A喷射区域；p、p_A清洗位置。

Claims

1.一种清洗装置，其具有：

旋转保持部，其保持清洗对象物并使其旋转；

清洗液喷射部，其向被所述旋转保持部所保持的所述清洗对象物上的点状的清洗区域喷射清洗液；

清洗区域移动部，其使所述旋转保持部和所述清洗液喷射部中的至少一方移动，从而使所述清洗区域从所述清洗对象物的旋转中心朝外周侧相对移动；

层状气流形成部，其以从所述清洗区域相对于所述旋转中心的相对移动方向的后方侧覆盖所述清洗区域的周围的方式，形成入射到所述清洗对象物的表面的层状气流；以及

层状气流移动部，其使所述层状气流的入射位置追随所述清洗区域的相对移动而进行相对移动。

2.根据权利要求1所述的清洗装置，所述清洗装置还具有：

保持部，其一体地保持所述清洗液喷射部和所述层状气流形成部；以及

移动部，其使所述保持部和所述旋转保持部中的至少一方移动，

所述清洗区域移动部和所述层状气流移动部由所述移动部构成。

3.根据权利要求1或2所述的清洗装置，其中，

所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜。

4.根据权利要求3所述的清洗装置，其中，

所述层状气流的喷射方向相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线而朝向所述清洗区域的所述相对移动方向的相反侧倾斜，并且比所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴的倾斜幅度大。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的清洗装置，所述清洗装置还具有：

倾斜运动保持部，其将所述清洗液喷射部以能够倾斜运动的方式进行保持；以及

倾斜运动控制部，其控制所述倾斜运动保持部的倾斜运动量，使得所述清洗液喷射部的喷射口的中心轴相对于所述清洗区域的中心位置处的所述清洗对象物的表面的法线的角度为固定角度。

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的清洗装置，其中，

所述旋转保持部使所述清洗对象物的旋转中心轴相对于铅直轴倾斜来保持所述清洗对象物，

所述清洗对象物为光学元件，

所述清洗区域的相对移动方向被设定为沿着铅直面的方向，该铅直面包含所述光学元件的光轴。