CN205873192U - 清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置，清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含滚轮。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头，且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内，且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。当滚轮朝一旋转方向转动，刮除单元位于一区域内，区域的第一边界为一通过滚轮轴心的铅垂面，区域的第二边界是第一边界沿所述旋转方向旋转45度角所形成的一通过滚轮轴心的边界面。

Description

清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置

技术领域

本实用新型是关于一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置。

背景技术

传统搬移玻璃基板的方式例如是透过多个并排滚轮的转动，而将玻璃基板带动至特定的位置，以便对玻璃基板进行后续的处理。

然而，当滚轮转动并移动玻璃基板的载板时，滚轮难免因摩擦载板而于滚轮表面产生污染物(如微粒、摩擦生成物)，且扬起的污染物可能会掉落在玻璃基板上，导致玻璃基板在后续制程中造成交叉污染。

实用新型内容

本实用新型的一目的在于提供一种清洁装置以及具有清洁装置的高温制程装置，藉以解决先前技术所述的问题，意即，移除并送走污染物，减少污染物掉落在玻璃基板上的机会，进而降低玻璃基板在后续制程中造成交叉污染的机会。

依据本实用新型的一实施方式，此种清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含可转动的滚轮，滚轮具有一轴心。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头，且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内，且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。当滚轮朝一旋转方向转动，刮除单元位于一区域内，区域的第一边界为一通过所述轴心的铅垂面，区域的第二边界是铅垂面沿所述旋转方向旋转45度角所形成的一通过所述轴心的边界面。

在本实用新型一或多个实施方式中，刮除单元具有接触面。接触面接触滚轮，接触面的长轴方向平行滚轮的轴心。

在本实用新型一或多个实施方式中，刮除单元包含本体及包覆层。包覆层包覆本体，且包覆层的硬度小于滚轮的硬度。

在本实用新型一或多个实施方式中，滚轮容纳于抽气口内，使得滚轮于其垂直方向上的投影面积位于抽气口内。

在本实用新型一或多个实施方式中，抽气口为弧面，且弧面的弧度相同于滚轮的弧度。

依据本实用新型的另一实施方式，此种高温制程装置包含腔室、加热器、进气部、排气部及清洁装置。腔室具有内部空间。加热器对内部空间加热。进气部位于内部空间内，且进气部提供气体。排气部位于内部空间内，且排气部排出所述气体。清洁装置包含输送平台、吸气模块与刮除单元。输送平台包含可转动的滚轮。吸气模块包含抽气泵与吸嘴头。抽气泵连接吸嘴头，且吸嘴头具有抽气口。刮除单元位于抽气口内，且刮除单元介于滚轮与吸嘴头之间。刮除单元位于一区域内，此区域的第一边界为一通过滚轮轴心的铅垂面，区域的第二边界是以第一边界为依据，而以顺时针方向或逆时针方向旋转45度角所形成的一通过所述轴心的边界面。

在本实用新型一或多个实施方式中，滚轮以顺时针方向转动时，第二边界以第一边界为依据，而以顺时针方向旋转45度角形成边界面。

在本实用新型一或多个实施方式中，滚轮以逆时针方向转动时，第二边界以第一边界为依据，而以逆时针方向旋转45度角形成边界面。

在本实用新型一或多个实施方式中，刮除单元的硬度小于滚轮的硬度。

在本实用新型一或多个实施方式中，刮除单元为刮刀。刮刀具有本体与包覆层，且包覆层位于本体的外表面。本体为氧化铝，包覆层为陶瓷材料。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1绘示依据本实用新型一实施方式的清洁装置的侧视图；

图2绘示图1的局部的放大示意图；

图3绘示图2的侧视图；

图4绘示依据本实用新型一实施方式的刮除单元的立体图；

图5绘示依据本实用新型一实施方式的高温制程装置的侧视图；以及

图6绘示图4沿AA线段的剖视图。

其中，附图标记

10：清洁装置

100：输送平台

110：滚轮

110A：轴心

120：端面

130：圆周面

140：底座

200：吸气模块

210：抽气泵

220：管路

230：吸嘴头

231：抽气口

232：弧面

300：刮除单元

300A：长轴方向

310、311：第一长侧面

311A：长轴方向

320、321：第二长侧面

330：短端面

350：本体

360：包覆层

400：特定区域

410：铅垂面

420：边界面

500：第一净空区

600：第二净空区

700：高温制程装置

710：腔室

711：内部空间

720：加热器

730：进气部

740：排气部

750：入口

760：出口

C：载板

D1：第一旋转方向

D2：第二旋转方向

L1、L2：长度

M：局部

P：投影面积

S：基板

X、Y、Z：轴

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型技术方案进行详细的描述，以更进一步了解本实用新型的目的、方案及功效，但并非作为本实用新型所附权利要求保护范围的限制。

以下将以图式揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，熟悉本领域的技术人员应当了解到，在本实用新型部分实施方式中，这些实务上的细节并非必要的，因此不应用以限制本实用新型。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与元件在图式中将以简单示意的方式绘示之。另外，为了便于读者观看，图式中各元件的尺寸并非依实际比例绘示。

图1绘示依据本实用新型一实施方式的清洁装置10的侧视图。图2绘示图1的局部M的放大示意图。图3绘示图2的侧视图。请参阅图1与图2所示，清洁装置10包含输送平台100、吸气模块200与多个刮除单元300。输送平台100包含多个可独立转动的滚轮110。这些滚轮110彼此间隔地并列。每一滚轮110具有一穿过本身的轴心110A(即自转轴，如Y轴)，使得滚轮110得以沿其轴心110A朝第一旋转方向D1(图中为顺时针方向)旋转，以依序带动一物体(例如用以承载基板S的载板C)沿X轴的方向移动。于本实施方式中，滚轮110可透过马达与齿轮组来带动旋转，但本实用新型不以此为限。

吸气模块200包含抽气泵210、管路220与多个吸嘴头230。抽气泵210透过管路220分别连接这些吸嘴头230，而每一吸嘴头230的一侧具有抽气口231，且抽气口231面对且位置对应于滚轮110。于本实施方式中，刮除单元300位于吸嘴头230的抽气口231内，并且介于滚轮110与吸嘴头230之间。请参阅图1与图2，刮除单元300是定位于吸嘴头230，且可接触于滚轮110表面，故，当滚轮110朝第一旋转方向D1旋转时，刮除单元300得以刮除滚轮110表面所附着的污染物(如微粒、摩擦生成物等)，且被刮除的污染物得以迅速从抽气口231被抽气泵210带走。

更具体地，在本实施方式中，刮除单元300被配置于滚轮110与吸嘴头230之间的一特定区域400中，此特定区域400具有相对的第一边界与第二边界。请参阅图2，第一边界为一通过所述轴心110A的铅垂面410。第二边界是以铅垂面410为依据，而以第一旋转方向D1(顺时针方向)旋转45度角所形成的一边界面420，且边界面420亦通过所述轴心110A。于另一实施方式中，滚轮110则以逆时针方向所转动(未提供图示说明)，其中第一边界依旧为通过轴心110A的铅垂面410。第二边界则是以铅垂面410为依据，而依逆时针方向旋转45度角所形成的一边界面，且边界面亦通过所述轴心110A。

在本实施方式中，滚轮110与抽气口231之间更具有第一净空区500与第二净空区600。特定区域400分别紧邻于第一净空区500与第二净空区600，使得特定区域400位于第一净空区500与第二净空区600之间，且第一净空区500大于第二净空区600。更具体地，第一净空区500的范围为以上述铅垂面410为起点，沿着相反所述第一旋转方向D1的第二旋转方向D2(逆时针方向)开始旋转90度角后所形成的区域。第二净空区600的范围为以上述边界面420为起点，沿着所述第一旋转方向D1继续旋转45度角后所形成的区域。须了解到，上述净空区分别意指一个其内只有空气的空间。

如此，透过第一净空区500，抽气泵210(图1)不仅可以带走空气中的一部分粉尘，更可以带走滚轮110表面尚未被刮除单元300接触但附着力不佳的部分污染物。另外，透过第二净空区600，抽气泵210(图1)亦可带走空气中的另一部分粉尘，更可以带走滚轮110表面上已被刮除单元300接触后且即将脱离滚轮110表面的污染物。

于本实施方式中，将刮除单元300配置于特定区域400为较佳区域选择，反观，若刮除单元300改配置于上述第一净空区500或第二净空区600时，将容易导致刮除单元300断裂或刮除率不佳的情形。

请参阅图2与图3，其中图2为从Y方向的视角来绘示出滚轮、吸气模块与刮除单元的侧示图，而图3为从X方向的视角而绘示出滚轮、吸气模块与刮除单元的另一侧示图。在此实施方式中，刮除单元300的长轴方向300A平行滚轮110的轴向(如轴心110A)，且刮除单元300的长度L1大于滚轮110的长度L2。举例来说，滚轮110呈圆筒状，具有二相对端面120与圆周面130，圆周面130位于滚轮110的二相对端面120之间，且圆周面130分别围绕且邻接滚轮110的各个端面120。滚轮110的二相对端面120之间的最小直线距离即为上述滚轮110的长度L2。

图4绘示依据本实用新型一实施方式的刮除单元300的立体图。如图4所示，刮除单元300呈片状，且刮除单元300包含二相对的短端面330、二相对的第一长侧面310、311与二相对的第二长侧面320、321，第一长侧面310、311与第二长侧面320、321皆位于此二短端面330之间。故，此二短端面330之间的最小直线距离即为上述刮除单元300的长度L1。

当刮除单元300的长度L1大于滚轮110的长度L2时，刮除单元300能够依序接触滚轮110的圆周面130的所有区域，滚轮110的圆周面130所附着的污染物便能依序被刮除单元300刮除，以提高清洁效率并缩短清洁时间。

于其他实施方式中，刮除单元的长度也可以等于滚轮的长度，使得刮除单元能够依序接触滚轮的圆周面的所有区域。

如图2、图4所示，此实施方式中，刮除单元300藉由第一长端面311作为接触面，以部分地接触滚轮110的圆周面130，刮除滚轮110的圆周面130所附着的污染物。第一长端面311呈长方形，且第一长端面311的长轴方向311A平行于刮除单元300的长轴方向300A。如此，刮除单元300可藉由第一长端面311部分地接触滚轮110的圆周面130，使得刮除单元300较不容易伤害滚轮110。但本实用新型不限于此，刮除单元300可透过不同的材料或形状设计，减少对于滚轮110的伤害，亦可使第一长端面以全面方式来接触滚轮表面。

如图1所示，滚轮110可部分地容纳于抽气口231内，使得滚轮110沿一垂直方向(如Z轴)的投影面积P全部都位于抽气口231内。举例来说，如图2所示，抽气口231为一弧面232，弧面232的弧度相同或大致相同于滚轮110的圆周面130的弧度，使得滚轮110能够匹配地位于抽气口231内，提高污染物被吸入吸嘴头230内的效率。然而，本实用新型不限于此，抽气口的底部不限必须具有弧面，且也不限其底部必须相同于滚轮的圆周面的弧度。

于本实施方式中，刮除单元300的硬度小于滚轮110的硬度，以保护滚轮110不致受到刮除单元300的磨损。举例而言，滚轮110可为陶瓷材料或其他类似材料，而刮除单元300可为金属或其他硬性材料。于本实施方式中，刮除单元300可为一刮刀结构，助于使用于高温的环境中。但本实用新型并不以此限，其他实施方式中，如常温或低温的环境中，刮除单元可依需求而选择研磨器或毛刷。

在本实施方式中，如图1所示，输送平台100包含底座140，而滚轮110可枢转地设置于底座140上。详言之，滚轮110的轴心110A设有轴心杆，而滚轮110可依轴心杆而进行转动，且轴心杆可设置或连接于底座140。如此一来，滚轮110能够相对底座140枢转，且底座140亦可支撑着滚轮110。但本实用新型不限于此，亦可选择其他元件来支撑滚轮，且确保滚轮的转动与传送功能可以正常运作即可。

图5绘示依据本实用新型一实施方式的高温制程装置700的侧视图。上述的清洁装置可应用于一高温制程装置700上，高温制程装置700例如为基板快速升降温的制程(rapidthermal process，RTP)机台。然而，本实用新型不限于高温制程装置的种类。

如图5所示的实施方式中，高温制程装置700包含腔室710、加热器720、进气部730、排气部740、入口750、出口760及清洁装置10。腔室710可形成内部空间711，而加热器720则位于内部空间711，且可对内部空间711加热至一温度(例如摄氏600度)。进气部730可连通于内部空间711，用以对内部空间711提供气体(例如氮气或其他)，如图5所示，进气部730设置于内部空间711的上方。排气部740亦可连通的一端位于内部空间711内，用以排出内部空间711内所述气体，如图5所示，排气部740安排于内部空间711的下方。如此一来，当进气部730与排气部740于操作期间，则会在内部空间711形成流场，使得内部空间711中的微粒、污染物或摩擦生成物，于此流场中被吸进排气部740而离开腔室710。

于本实施方式中，清洁装置10的滚轮110、刮除单元300、吸嘴头230皆位于进气部730与排气部740之间。高温制程装置700更包含载板C，用以承载基板S自入口750进入内部空间711，且透过滚轮110的带动与传送，载板C可自出口760离开内部空间711，藉此将基板传送至腔室710内进行高温制程。载板C可为石英材料所制成，助于在高温环境使用，亦可有足够的支撑力能够承载受到高温影响而软化的基板S，而基板S可为玻璃基板、高分子基板、软质或硬质基板，但本实用新型并不特别限制其载板C与基板S的材料或形式。

如此，本实施方式的清洁装置10可有效清除滚轮110表面的污染物，可以减少污染物因为气流扰动而掉落在基板S上的机会，进而降低基板S在后续制程中造成交叉污染的机会。此外，当载板C进入腔室710后，会影响进气部730与排气部740于操作期间的流场，使得部分微粒或污染物无法顺利透过排气部740而离开腔室710。因此，更可透过清洁装置10将其残留的微粒或污染物排除于腔室710，以提升制程良率。

更进一步地，图6绘示图4沿AA线段的剖视图。考量配合高温制程装置的高温环境(如摄氏600度)，如图5与图6的实施方式中，刮除单元300为一刮刀，且刮除单元300包含本体350及包覆层360。刮除单元300的本体350为氧化铝或氧化钛等金属化合物，其中氧化铝的材质较轻，并得以承受至摄氏1200度的高温，且保有些微弹性，可减少刮除单元300于操作刮除时，产生断裂问题。然而，氧化铝在高温时会剥落而产生粉尘，使得设置包覆层360来包覆本体350所有表面，亦即包覆层360位于本体350的外表面，用以保护本体350不致受高温剥落而产生粉尘。包覆层360可为陶瓷材料，助于使用于高温环境，但本实用新型不限于此，包覆层360亦可受到其他考量而选择另外的材料。于本实施方式中，包覆层360的硬度小于滚轮110的硬度，以保护滚轮110不致受到刮除单元301的磨损，而滚轮110与包覆层360可分别包含其硬度不同的陶瓷，适于高温环境。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种清洁装置，其特征在于，包含：

一输送平台，包含一滚轮，且该滚轮具有一轴心；

一吸气模块，包含一抽气泵与一吸嘴头，该抽气泵连接该吸嘴头，且该吸嘴头具有一抽气口；以及

一刮除单元，该刮除单元位于该抽气口内，且该刮除单元介于该滚轮与该吸嘴头之间，

其中，当该滚轮朝一旋转方向转动，该刮除单元位于一区域内，该区域的一第一边界为一通过该轴心的铅垂面，该区域的一第二边界是以该第一边界为依据，而以该旋转方向旋转45度角所形成的一通过该轴心的边界面。

2.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，该刮除单元具有一接触面，该接触面接触该滚轮，其中该接触面的一长轴方向平行该滚轮的该轴心。

3.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，该刮除单元包含：

一本体；以及

一包覆层，包覆该本体，其中该包覆层的硬度小于该滚轮的硬度。

4.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，该滚轮容纳于该抽气口内，使得该滚轮于一垂直方向上的投影面积位于该抽气口内。

5.如权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，该抽气口为一弧面，且该弧面的弧度相同于该滚轮的弧度。

6.一种高温制程装置，其特征在于，包含：

一腔室，具有一内部空间；

一加热器，用以对该内部空间加热；

一进气部，位于该内部空间内，用以提供一气体；

一排气部，位于该内部空间内，用以排出该气体；以及

一清洁装置包含：

一输送平台，包含一滚轮，且该滚轮具有一轴心；

一吸气模块，包含一抽气泵与一吸嘴头，该抽气泵连接该吸嘴头，且该吸嘴头具有一抽气口；以及

至少一刮除单元，位于该抽气口内、介于该滚轮与该吸嘴头之间，

其中，该刮除单元位于一区域内，该区域的一第一边界为一通过该轴心的铅垂面，该区域的一第二边界是以该第一边界为依据，而以顺时针方向或逆时针方向旋转45度角所形成的一通过该轴心的边界面。

7.如权利要求6所述的高温制程装置，其特征在于，该滚轮以顺时针方向转动时，该第二边界以该第一边界为依据，而以顺时针方向旋转45度角形成该边界面。

8.如权利要求6所述的高温制程装置，其特征在于，该滚轮以逆时针方向转动时，该第二边界以该第一边界为依据，而以逆时针方向旋转45度角形成该边界面。

9.如权利要求6所述的高温制程装置，其特征在于，该刮除单元的硬度小于该滚轮的硬度。

10.如权利要求6所述的高温制程装置，其特征在于，该刮除单元为一刮刀，且该刮刀具有一本体与一包覆层，而该包覆层位于本体的外表面，其中该本体为氧化铝，而该包覆层为陶瓷材料。