CN107098140B - 运载体清洁装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种运载体清洁装置和方法，属于显示技术领域。所述运载体清洁装置包括：至少一个清除组件和收集组件；所述至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中，用于清除掉运载体的底部的微粒；所述收集组件与所述至少一个清除组件连接，用于收集所述至少一个清除组件清除掉的微粒。本发明通过设置在导轨中的清除组件将微粒从运载体的底部清除掉，再通过收集组件收集这些微粒，解决了相关技术中在清除微粒时，运载体难以正常工作的问题。达到了能够及时的清洁运载体底部，在清洁运载体底部时运载体能够正常的工作的效果。

Description

运载体清洁装置和方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种运载体清洁装置和方法。

背景技术

运载体(英文：Carrier)是一种用于在对基板镀膜时运载基板的器具，运载体呈板状，并位于基板的下方以支撑基板。运载体的下方为传输导轨，该传输导轨用于移动运载体。运载体在使用过程中会随基板一起进入镀膜机，其底部(该底部为运载体远离基板的一侧)承载梁(英文：Carrier Bar)会聚集大量由空气中的异物和镀膜材料构成的微粒(英文：Particle)，该微粒可能会在镀膜机对基板镀膜时飘浮至基板上，并对基板上形成的膜层的质量造成严重影响。

相关技术中有一种运载体清洁方法，在该方法中，由操作人员定期将运载体从传输导轨上拆下，并对运载体的底部承载梁进行打磨与冲洗，以清除底部承载梁的微粒。

在实现本发明的过程中，发明人发现相关技术至少存在以下问题：上述方法在清除微粒时，运载体难以正常工作。

发明内容

为了解决现有技术中在清除运载体的底部承载梁的微粒时，运载体难以正常工作的问题，本发明实施例提供了一种运载体清洁装置和方法。所述技术方案如下：

根据本发明的第一方面，提供了一种运载体清洁装置，所述运载体清洁装置包括：

至少一个清除组件和收集组件；

所述至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中，用于清除掉运载体的底部承载梁的微粒；

所述收集组件与所述至少一个清除组件连接，用于收集所述至少一个清除组件清除掉的微粒。

可选的，所述至少一个清除组件中的任一清除组件包括清洁头和导管，

所述清洁头和所述导管连接，用于使所述运载体的底部承载梁的微粒与所述运载体脱离；

所述导管与所述收集组件连接，用于将与所述运载体脱离的微粒导向所述收集组件。

可选的，，所述收集组件包括管道、抽气机和收集仓，

所述管道的一端与所述至少一个清除组件连接，另一端与所述收集仓连接；

所述抽气机设置在所述管道中，用于将所述管道中的气体抽入所述收集仓。

可选的，所述收集仓中设置有粘尘纸。

可选的，所述抽气机包括扩压器，所述扩压器用于调整通过所述抽气机的风量。

可选的，所述至少一个清除组件设置在镀膜机的入口处；

和/或，

所述至少一个清除组件设置在所述镀膜机的出口处。

可选的，所述任一清除组件还包括子传输导轨，

所述子传输导轨与所述运载体下方的传输导轨连接。

可选的，所述运载体清洁装置还包括微粒计数器，所述微粒计数器用于获取所述运载体底部承载梁的微粒的数量。

根据本发明的第二方面，提供一种运载体清洁方法，所述方法用于第一方面提供的运载体清洁装置，所述运载体清洁装置包括：至少一个清除组件和收集组件，所述方法包括：

将所述至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中；

通过所述至少一个清除组件使所述运载体的底部承载梁的微粒与所述运载体脱离；

通过所述收集组件收集与所述运载体脱离的所述微粒。

可选的，所述运载体清洁装置还包括微粒计数器，所述收集组件包括管道、抽气机和收集仓，所述管道的一端与所述至少一个清除组件连接，另一端与所述收集仓连接，所述抽气机设置在所述管道中，所述方法还包括：

通过所述微粒计数器获取所述运载体底部的微粒的数量；

根据所述微粒的数量调整所述抽气机的风量以及所述传输导轨的速度，所述风量与所述微粒的数量正相关，所述传输导轨的速度与所述微粒的数量负相关。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

通过设置在导轨中的清除组件将微粒从运载体的底部承载梁清除掉，再通过收集组件收集这些微粒，解决了相关技术中在清除微粒时，运载体难以正常工作的问题。达到了能够及时的清洁运载体的底部承载梁，在清洁运载体的底部承载梁时运载体能够正常的工作的效果。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是承载体各处的微粒数量示意图；

图2是本发明实施例示出的一种运载体清洁装置的结构示意图；

图3-1是发明实施例提供的另一种运载体清洁装置的结构示意图；

图3-2是发明实施例提供的另一种运载体清洁装置的结构示意图；

图4本发明实施例提供的一种运载体清洁方法的流程图；

图5-1是本发明一个实施例中承载体的底部承载梁的微粒数量变化示意图；

图5-2是本发明另一个实施例中承载体的底部承载梁的微粒数量变化示意图。

通过上述附图，已示出本发明明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

运载体的底部承载梁是微粒漂浮聚集凝结的主要区域。主要原因有三个：

第一，微粒在自身重力作用下，易于在运载体的底部承载梁漂浮聚集。

第二，运载体的底部承载梁在动力部件驱动下在位于其下方的传输导轨上运动，致使运载体的底部承载梁与导轨存在物理摩擦，这使运载体的底部承载梁的表面温度较高、表面活性能较大以及物理吸附能力强，这些特性进而使得运载体的底部承载梁易于吸附凝结微粒。

第三，运载体进入镀膜机后，镀膜时的工作气体中的Ar+(氩)离子对靶材(溅射源)的轰击，致使溅射的部分靶材粒子在运载体的底部承载梁的沉积凝结。

如图1所示，其为承载体各处的微粒数量示意图，横坐标表示承载体的各个区域，纵坐标表示微粒的数量。线条y1为直径0.3微米的微粒的数量曲线，线条y2为直径0.5微米的微粒的数量曲线，线条y3为直径1微米的微粒的数量曲线。q1表示承载体的顶部，q2代表承载体的侧面，q3代表承载体的底部，q4代表承载体的底部承载梁。可以看出，底部承载梁q4的各种尺寸的微粒数量最多。

微粒在运载体的底部承载梁漂浮聚集凝结，对基板上镀制的薄膜的品质以及设备的稼动率(英文：activation)会造成严重的影响。这些影响可以包括：

第一，运载体的底部承载梁的微粒在高温镀膜制程中，易于漂浮移动并吸附于高温的基板上，致使微粒可能存在于镀制的膜层的下方、内部或者表面，在后续清洗制程中难以完全清除，造成膜层的电学性能不良(如断路和短路)

第二，运载体的底部承载梁的凝结的微粒可能致使位于传输导轨的传感器发射到运载体的底部承载梁的光被吸收，造成传感器感应不灵敏甚至感应不到运载体的存在，进而可能通过传输导轨控制运载体停止运动，造成设备宕机。

本发明各个实施例所涉及基板可以是各种进行镀膜的基板，如玻璃基板等各种透明基板。

图2是本发明实施例示出的一种运载体清洁装置的结构示意图。该运载体清洁装置可以包括：

至少一个清除组件11和收集组件12。

至少一个清除组件11设置在运载体下方的传输导轨31中，用于清除掉运载体的底部承载梁的微粒。

收集组件12与至少一个清除组件11连接，用于收集至少一个清除组件11清除掉的微粒。

图2示出的是清洁组件11的数量为2的情况，但清洁组件11的数量还可以是其他数值(如1、3、4等)，本发明实施例不作出限制。

图2中的镀膜机以及传输导轨31可以并不包括在本发明实施例提供的运载体清洁装置中。

综上所述，本发明实施例提供的运载体清洁装置，通过设置在导轨中的清除组件将微粒从运载体的底部承载梁清除掉，再通过收集组件收集这些微粒，解决了相关技术中在清除微粒时，运载体难以正常工作的问题。达到了能够及时的清洁运载体的底部承载梁，在清洁运载体的底部承载梁时运载体能够正常的工作的效果。

进一步的，请参考图3-1，其示出了本发明实施例提供的另一种运载体清洁装置的结构示意图，该运载体清洁装置在图2所示的运载体清洁装置的基础上增加了更优选的部件，从而使得本发明实施例提供的运载体清洁装置具有更好的性能。

可选的，至少一个清除组件11中的任一清除组件包括清洁头111和导管112，清洁头111和导管112连接，用于使运载体的底部承载梁的微粒与运载体脱离。清洁头可以包括尼龙毛刷，而根据该尼龙毛刷的损耗情况，可以对其定期进行更换。

导管112与收集组件12连接，用于将与运载体脱离的微粒导向收集组件12。

可选的，收集组件12包括管道121、抽气机122和收集仓123，管道121的一端(该端可以与导管112连接)与至少一个清除组件11连接，另一端与收集仓123连接。

抽气机122设置在管道121中，用于将管道121中的气体抽入收集仓123。抽气机122可以包括至少一个滑片式鼓风机，该滑片式鼓风机可以包括吸风口、排风口和压缩空气组件。吸风口和排风口可以和管道121连通。此外，收集组件12还可以包括动力电源124，动力电源124与抽气机122电连接，用于为抽气机122提供电源。此外，在滑片式鼓风机为多个时，这多个滑片式鼓风机可以串联在管道121中。多个滑片式鼓风机能够提供强大的吸力。

可选的，收集仓123中设置有粘尘纸123a。粘尘纸123a能够将被抽气机122吸入收集仓123中的微粒粘附，避免微粒再次不受控制的漂浮，并对基板造成二次污染。粘尘纸123a可以为双面粘尘纸，一面贴附在收集仓123中。可以根据粘尘纸上微粒的数量，定期更换粘尘纸。

可选的，抽气机122包括扩压器122a，扩压器122a用于调整通过抽气机的风量。扩压器是一种用于将抽气机出口处的动能转换静压能的装置，扩压器能够在保证抽气机效率的情况下，调整通过抽气机的风量。

可选的，任一清除组件11还包括子传输导轨113，子传输导轨113与运载体下方的传输导轨31连接。子传输导轨113能够在清洁头111清洁运载体的底部承载梁时，对运载体提供足够的动力，以避免运载体被清洁头111阻挡，难以移动。可选的，清洁头111可以设置在子传输导轨113之间。

可选的，至少一个清除组件11设置在镀膜机32的入口321处；和/或，至少一个清除组件设置在镀膜机32的出口322处。在镀膜机的入口处，和/或，出口处设置清除组件，能够进一步的减少运载体底部承载梁的微粒的数量，提高微粒的清洁效果。

可选的，运载体清洁装置还包括微粒计数器13，微粒计数器13用于获取运载体底部承载梁的微粒的数量。该微粒计数器13可以包括有多个，这多个微粒计数器13可以设置在镀膜机32的入口321处的清除组件11之前，和/或，镀膜机32的出口322处的清除组件11之后。该微粒计数器13可以为激光尘埃粒子计数器。需要说明的是，这里的之前之后是相对于传输导轨的运行方向的前后，示例性的，图3-1所示的运载体清洁装置中，传输导轨31自左向右运行，则清除组件11的左侧即为其之前，清除组件11的右侧即为其之后。

图3-1示出的是镀膜机32的入口321处以及镀膜机32的出口322处各设置有一个清除组件的情况，但本发明实施例不对清除组件的设置方式和数量进行限制。

如图3-2所示，其为本发明实施例示出的另一种运载体清洁装置的结构示意图，在该运载体清洁装置中，镀膜机32的入口321处以及镀膜机32的出口322处各设置有两个清除组件11，这样能够进一步的减少运载体底部承载梁的微粒的数量。图3-2中其他标记的含义可以参考图3-1，在此不再赘述。

需要说明的是，本发明实施例提供的运载体清洁装置还可以对承载体底部的微粒进行清洁。

本发明实施例提供的运载体清洁装置结构简单且维护成本低。

综上所述，本发明实施例提供的运载体清洁装置，通过设置在导轨中的清除组件将微粒从运载体的底部承载梁清除掉，再通过收集组件收集这些微粒，解决了相关技术中在清除微粒时，运载体难以正常工作的问题。达到了能够及时的清洁运载体的底部承载梁，在清洁运载体的底部承载梁时运载体能够正常的工作的效果。

如图4所示，其为本发明实施例提供的一种运载体清洁方法的流程图，该方法用于图3-1提供的运载体清洁装置，该方法包括：

步骤301、将至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中。

清除组件的设置方式可以参考图3-1所示实施例，在此不再赘述。

步骤302、通过至少一个清除组件使运载体的底部承载梁的微粒与运载体脱离。

运载体在传输导轨上移动，经过清除组件时，运载体的底部承载梁会与清除组件中的清洁头产生摩擦，运载体的底部承载梁的微粒会与运载体脱离。

步骤303、通过收集组件收集与运载体脱离的微粒。

运载体的底部承载梁的微粒与运载体脱离后，会被收集组件中的抽气机吸入收集仓中，并粘附在收集仓中的粘尘纸上。

步骤304、通过微粒计数器获取运载体底部承载梁的微粒的数量。

本发明实施例体用的运载体清洁方法中，还可以通过微粒计数器获取运载体底部承载梁的微粒的数量。该微粒计数器可以位于各个位置，如镀膜机的入口处，和/或，镀膜机的出口处。位于这些位置的微粒计数器记录的微粒数量能够实时且准确的反应运载体清洁方法对于运载体的底部承载梁的微粒的清洁效果。

步骤305、根据微粒的数量调整抽气机的风量以及传输导轨的速度，风量与微粒的数量正相关，传输导轨的速度与微粒的数量负相关。

在获取了运载体底部承载梁的微粒的数量后，可以根据微粒的数量调整抽气机的风量以及传输导轨的速度。示例性的，在微粒的数量较大时，可以降低传输导轨的速度，和/或，提高抽气机的风量。

本发明实施例提供的运载体清洁方法能够在镀膜机以及承载体正常工作时，清洁承载体的底部承载梁，节省了大量人力物力、并降低了生产成本、提高了设备稼动率。

综上所述，本发明实施例提供的运载体清洁方法，通过设置在导轨中的清除组件将微粒从运载体的底部承载梁清除掉，再通过收集组件收集这些微粒，解决了相关技术中在清除微粒时，运载体难以正常工作的问题。达到了能够及时的清洁运载体底部承载梁，在清洁运载体底部承载梁时运载体能够正常的工作的效果。

在一个实施例中，本发明实施例提供的运载体清洁方法可以包括：

1)按一定的镀膜工艺进行镀膜(该镀膜工艺可以参考相关技术，在此不再赘述)。

在进行镀膜时，可以以磁控溅射镀膜仪先预打靶2h(小时)，承载基板温度为120℃，靶材转速为18r/min(圈/分钟)，运载体运载基板(该基板可以为玻璃基板)的移动速率为0.85m/min(米/分钟)至1.7m/min。

2)调整抽气机的风量，使风量保持为0.01m³/s(立方米/秒)至30m³/s；

3)运载体A运载基板，经过位于镀膜机入口处的清洁组件之前，第一微粒计数器对运载体底部的微粒的数量进行统计，作为第一数据d；运载体A经过位于镀膜机出口处的清洁组件之后，采用第二微粒计数器运载体底部的微粒数量进行统计，第一次经过第二微粒计数器记为数据N1、第二次经过第二微粒计数器记为数据N2、第三次经过第二微粒计数器记为数据N3，以此类推。如图5-1所示，其为该实施例微粒的统计结果。其中纵坐标为微粒的数量，线条x1为直径0.3微米的微粒的数量曲线，线条x2为直径0.5微米的微粒的数量曲线，线条x3为直径1微米的微粒的数量曲线。可以看出，随着清洁次数的增加，各种尺寸的微粒的数量显著减少，本发明实施例提供的运载体清洁方法达到了提高产品良率的效果。

在另一个实施例中，本发明实施例提供的运载体清洁方法可以包括：

1)按一定的镀膜工艺进行镀膜。

在进行镀膜时，可以以磁控溅射镀膜仪先预打靶2h(小时)，基板温度为120℃，靶材转速为18r/min(圈/分钟)，运载体运载基板(该基板可以为玻璃基板)的移动速率为0.01m/min至0.85m/min。

2)调整抽气机的风量，使风量保持为0.01m³/s至30m³/s；

3)运载体A运载基板，经过位于镀膜机入口处的清洁组件之前，第一微粒计数器对运载体底部的微粒的数量进行统计，作为第一数据d；运载体A经过位于镀膜机出口处的清洁组件之后，采用第二微粒计数器运载体底部的微粒数量进行统计，第一次经过第二微粒计数器记为数据N1、第二次经过第二微粒计数器记为数据N2、第三次经过第二微粒计数器记为数据N3，以此类推。如图5-2所示，其为该实施例微粒的统计结果。其中纵坐标为微粒的数量，线条x4为直径0.3微米的微粒的数量曲线，线条x5为直径0.5微米的微粒的数量曲线，线条x6为直径1微米的微粒的数量曲线。可以看出，随着清洁次数的增加，各种尺寸的微粒的数量显著减少，本发明实施例提供的运载体清洁方法达到了提高产品良率的效果。

本发明中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分步骤可以通过硬件来完成，也可以通过程序来指令相关的硬件完成，所述的程序可以存储于一种计算机可读存储介质中，上述提到的存储介质可以是只读存储器，磁盘或光盘等。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种运载体清洁装置，其特征在于，所述运载体清洁装置包括：

至少一个清除组件和收集组件；

所述至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中，用于清除掉运载体的底部承载梁的微粒；

所述收集组件与所述至少一个清除组件连接，用于收集所述至少一个清除组件清除掉的微粒；

所述至少一个清除组件设置在镀膜机的入口处；

和/或，

所述至少一个清除组件设置在所述镀膜机的出口处。

2.根据权利要求1所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述至少一个清除组件中的任一清除组件包括清洁头和导管，

所述清洁头和所述导管连接，用于使所述运载体的底部承载梁的微粒与所述运载体脱离；

所述导管与所述收集组件连接，用于将与所述运载体脱离的微粒导向所述收集组件。

3.根据权利要求1所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述收集组件包括管道、抽气机和收集仓，

所述管道的一端与所述至少一个清除组件连接，另一端与所述收集仓连接；

所述抽气机设置在所述管道中，用于将所述管道中的气体抽入所述收集仓。

4.根据权利要求3所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述收集仓中设置有粘尘纸。

5.根据权利要求3所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述抽气机包括扩压器，所述扩压器用于调整通过所述抽气机的风量。

6.根据权利要求2所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述任一清除组件还包括子传输导轨，

所述子传输导轨与所述运载体下方的传输导轨连接。

7.根据权利要求1-6任一所述的运载体清洁装置，其特征在于，所述运载体清洁装置还包括微粒计数器，所述微粒计数器用于获取所述运载体底部承载梁的微粒的数量。

8.一种运载体清洁方法，其特征在于，所述方法用于权利要求1-7任一所述的运载体清洁装置，所述运载体清洁装置包括：至少一个清除组件和收集组件，所述方法包括：

将所述至少一个清除组件设置在运载体下方的传输导轨中；

通过所述至少一个清除组件使所述运载体的底部承载梁的微粒与所述运载体脱离；

通过所述收集组件收集与所述运载体脱离的所述微粒。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，当所述运载体清洁装置包括微粒计数器，所述收集组件包括管道、抽气机和收集仓，所述管道的一端与所述至少一个清除组件连接，另一端与所述收集仓连接，所述抽气机设置在所述管道中时，所述方法还包括：

通过所述微粒计数器获取所述运载体底部承载梁的微粒的数量；

根据所述微粒的数量调整所述抽气机的风量以及所述传输导轨的速度，所述风量与所述微粒的数量正相关，所述传输导轨的速度与所述微粒的数量负相关。