CN103558734B - 感光性树脂组合物和固化膜 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及感光性树脂组合物和固化膜以及隔壁。提供一种即便在得到厚膜的固化膜的情况下也可以得到图案尺寸稳定性等出色的良好的图案、且即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分的情况下体积电阻也不会降低的感光性树脂组合物、使用其形成的固化膜和隔壁。本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以（i）光固化性树脂和/或光固化性单体、及（ii）丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，（ii）成分的丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的（ii）丙烯酸树脂粒子和（i）光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比（（ii）/（i））为0.1～2.0的范围。另外，使用该感光性树脂组合物形成固化膜及隔壁。

Description

感光性树脂组合物和固化膜
本申请为专利申请201010159043.6（申请日：2010年4月23日，发明创造名称：感光性树脂组合物和固化膜以及隔壁）的分案申请。
技术领域
本发明涉及感光性碱水溶液显影型的树脂组合物、和使用其而形成的固化膜、以及隔壁，特别是涉及适合在基板上形成微细隔壁的黑色抗蚀剂用的感光性树脂组合物、以及由其形成的隔壁。
背景技术
滤色器通常是在玻璃、塑料片等透明基板的表面形成黑色的矩阵（黑色矩阵），接着顺次以条纹状或马赛克状等颜色图案形成红、绿、蓝等3种以上的不同色相。图案尺寸因滤色器的用途以及各自的颜色而不同，但通常为5～700μm左右。另外，重叠的位置精度为数μm～数十μm，利用尺寸精度高的微细加工技术来制造。
作为滤色器的代表性制造方法，有染色法、印刷法、颜料分散法、电沉积法等。其中，特别是通过将含有颜色材料的光聚合性组合物涂布在透明基板上反复进行图像曝光、显影、根据需要的固化而形成滤色器图像的颜料分散法，可以得到滤色器像素的位置、膜厚等的精度高、耐光性·耐热性等耐久性出色、且针孔等缺陷少的滤色器，所以被广泛采用。
其中，黑色矩阵通常是在红、绿、蓝的颜色图案之间配置成格子状、条纹状或马赛克状，具有防止由各种颜色之间的混色抑制所致的对比度提高或由漏光所致的TFT的故障的作用。为此，要求黑色矩阵具有高遮光性。以往，通常采用由铬等的金属膜形成黑色矩阵的方法。该方法是在透明基板上蒸镀铬等金属并经过光刻工序对铬层实施蚀刻处理的方法，所以能以高精度得到较薄的膜厚且获得高遮光性。相反，是制造工序长且生产率低的方法，存在成本高、产生由蚀刻处理的废液等所致的环境问题等问题。
因此，作为解决这些问题的对策，专利文献1提出了使用感光性树脂的光刻法。但是，关于由该方法得到的树脂遮光膜，为了体现出与铬等的金属膜所致的黑色矩阵同等的遮光性（光学浓度），有必要增加遮光性的颜料等的含量，但当像树脂黑色矩阵那样在光的全波长区域要求遮光能力时，在照射紫外线进行光固化的过程中，遮光性的颜料吸收紫外线，所以在如下方面存在问题：1）即便在被曝光的部分也会产生相对膜厚方向的交联密度的差，即便在涂膜表面充分进行光固化，也难以在基底面进行光固化；2）对曝光部分和未曝光部分赋予交联密度差是非常困难的；3）因为配合大量不溶于显影液的遮光性颜料而使显影性显著降低等所谓黑色抗蚀剂的光敏度、清晰度、密合性、显影性、边缘形状的清楚度等方面。
另外，在专利文献2中有如下的报告，即，使特定的芳香族环氧化合物与（甲基）丙烯酸的反应产物进一步与多元羧酸或其酸酐发生反应而得到含有不饱和基团的化合物，含有该含不饱和基团化合物作为树脂主成分的黑色抗蚀剂，具有高遮光率，容易通过光刻法形成精密图案（fine pattern），而且成为绝缘性、耐热性、密合性、及室温保存稳定性也出色遮光性薄膜形成用组合物。但是，该专利文献2是适合作为黑色矩阵的标准膜厚的1μm左右的薄膜用黑色抗蚀剂，对于超过1.5μm之类的膜厚相关的光固化性、显影特性等尚未提及。
为了实现高明彩化、高精细化，作为滤色器相关材料之一的树脂黑色矩阵，以膜厚1μm左右的薄膜的使用范围是主流，但近年来要求具有更高的高遮光化，膜厚超过1.5μm的树脂黑色矩阵也重新粉墨登场。另外，最近已导入滤色器阵列（color filter on array）技术的面板备受瞩目。该技术是使滤色器基板和TFT阵列基板一体化的技术，不需要两个基板的精密对位，可以使滤色器的红、蓝、绿各像素微细化至极限，所以与面板的高精细化有关。不过，这样的滤色器阵列用的树脂黑色矩阵需要高遮光性，所以通常膜厚需要为2μm以上。
但是，随着树脂黑色矩阵膜厚的增加，在被曝光的部分，相对膜厚方向的交联密度的差扩大，所以实现高灵敏度化得到形状良好的黑色图案变得更难。进而，在随后的热煅烧过程中，在被曝光的部分有相对膜厚方向的交联密度的差，所以涂膜表面和在基板附近的热固化收缩出现差异，涂膜表面粗糙度增大，表面平滑性恶化，表面发生皱褶，或会对其后的红、蓝、绿各像素的形成造成不良影响。
因此，适于厚膜的滤色器相关材料的例示见于专利文献3～6等。不过，专利文献3公开的方法是反复进行基于印刷法的薄膜印刷而成膜为1.5～1.8μm左右的方法，因此制膜需要较长时间，而且，不是涉及树脂黑色矩阵的形成方法的内容，而是涉及红、蓝、绿等彩色矩阵的形成方法的内容，所以被用作遮光膜时遮光能力不足。另外，专利文献4是通过背光形成厚膜的方法，但这也不是将黑色用作遮光膜，而是将蓝色用作遮光膜，在遮光性方面不足，进而，由于进行与普通工艺不同的背面曝光，所以在生产率或成品率方面存在问题。进而，专利文献5是涉及配合有无机氧化物溶胶的平坦化性能出色的滤色器用保护膜的内容，在使用该文献记载的组合物形成了遮光膜的情况下，遮光能力大大不足。
进而，在专利文献6中，例示有含有粒状二氧化硅的树脂黑色矩阵用感光性树脂组合物。当使在透明基板上涂布的感光性树脂组合物（涂膜）固化而形成隔壁（黑色矩阵）时，通常使涂膜发生光固化，显影为形成规定图案的隔壁，然后进行热处理（后烘焙）。如上所述，仅通过光固化有可能会使涂膜的厚度方向的基底面侧的固化不充分，通过后烘焙最终形成隔壁。不过，如图2所示，对显影后的涂膜2（图2（a）所示的状态，2a是经光固化的部分）进行后烘焙时，成为在基板侧具有下摆的隔壁（图2（b）所示的状态）。这是因为，部分树脂受热软化，是被称为所谓塌边（ダレ）的现象。因此，专利文献6中记载的发明是通过在树脂组合物中含有粒状二氧化硅，来确保后烘焙后的形状稳定性，最终如图2（b）的符号3所示，目的在于形成尽可能地保持显影后的涂膜形状的隔壁。
但是，粒状二氧化硅的凝集力高，所以在分散稳定性方面尚有改善余地。另外，在将含有该粒状二氧化硅的感光性树脂组合物涂布在基板上之后，在使其干燥时或进行后烘焙时，由于二氧化硅粒子具有高凝集力，所以粒子彼此凝集，所以用作遮光性成分的炭黑粒子间的距离变小，由此也有可能使体积电阻率降低。进而，由于粒状二氧化硅相对于有机溶剂的亲和性低，所以为了确保后烘焙后的形状稳定性，所以需要配合一定量以上，但粒状二氧化硅的含量增加时，有可能对图案直线性等显影特性造成不良影响。
不过，作为高遮光化的手段，也尝试使用大量遮光性成分，但在使用碳等导电性材料作为颜料的情况下，黑色矩阵的体积电阻率降低，有可能使显示装置等的可靠性降低。
专利文献1：特开平4－177202号公报
专利文献2：特开平8－278629号公报
专利文献3：特开平5－045513号公报
专利文献4：特开平5－181009号公报
专利文献5：特开平5－288926号公报
专利文献6：特开2008－304583号公报
发明内容
因此，本发明人等对使涂布有感光性树脂组合物的涂膜固化时的形状稳定性出色、特别是在含有遮光性成分制成厚膜时也可以得到显影特性出色的固化膜、且分散稳定性出色的感光性树脂组合物进行了潜心研究，结果发现，通过配合规定的丙烯酸树脂粒子，可以完全解决以往的问题，完成了本发明。
因此，本发明的目的在于，提供一种可以解决上述问题的下述感光性树脂组合物，即便在得到超过例如1.5μm那样的厚膜的固化膜的情况下，也可以得到图案尺寸稳定性出色、同时显影界限（現像マージン）、图案的边缘形状的清楚度等良好的图案，且即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分的情况下，体积电阻率也不会降低。
另外，本发明的其他目的还在于，提供使用该感光性树脂组合物形成的固化膜。
即，本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以（i）光固化性树脂和/或光固化性单体、及（ii）丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，（ii）成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子，并且一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的（ii）丙烯酸树脂粒子和（i）光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比（（ii）/（i））为0.1～2.0的范围。
另外，本发明的感光性树脂组合物，其特征在于，是以（i）光固化性树脂和/或光固化性单体、及（ii）丙烯酸树脂粒子为必须成分进而含有（iii）从黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料中选择的至少一种遮光性成分而成的感光性树脂组合物，（ii）成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子，并且一次粒径的平均值为50～200nm，上述组合物中的（ii）丙烯酸树脂粒子及（iii）遮光性成分的总重量和光固化性树脂和/或光固化性单体（i）的重量比（（ii）＋（iii）/（i））为0.1～2.0的范围。
进而，本发明是如下所述的固化膜，其在将上述感光性树脂组合物涂布到基板上并干燥之后，以（a）利用紫外线曝光装置的曝光、（b）利用碱水溶液的显影、以及（c）热处理各工序为必须工序而得到固化膜。
进而，另外，本发明是如下所述的隔壁，其特征在于，其在将上述感光性树脂组合物涂布到基板上并干燥之后，以下述各工序为必须工序而得到的、在基板上划分多个像素区域的隔壁，所述各工序为（a）利用紫外线曝光装置的曝光工序、（b）利用碱水溶液的显影工序、以及（c）热处理工序，所述隔壁的高度为1.5～4μm，且锥角为60°以上。
本发明的感光性树脂组合物具有出色的分散稳定性、且固化时的形状稳定性出色，同时显影特性也出色，所以用作以滤色器为代表的EL元件等显示元件材料。特别适合在含有遮光性成分得到厚膜的固化膜时使用，例如即便在得到1.5μm左右或超过如此程度的厚膜的黑色矩阵的情况下，也可以得到图案尺寸稳定性出色、显影界限、图案的边缘形状的清楚度等良好的图案。进而，本发明的感光性树脂组合物即便在使用碳等导电性材料作为遮光性成分时也可以尽可能地减少体积电阻的降低。
附图说明
图1是表示在基板上形成的固化膜（隔壁）的状况的截面说明图。
图2是表示以往例中的感光性树脂组合物（涂膜）的固化的状况的截面说明图。
图中：1－基板，2－涂膜，2a－涂膜的固化部分，3－固化后的涂膜的理想形状。
具体实施方式
以下详细说明本发明。
本发明的组合物，含有（i）及（ii）成分为必须成分，在得到遮光性的固化膜时，还含有（iii）成分为必须成分。在这里，作为（i）成分的光固化性树脂例如优选如下所述的含不饱和基团化合物。即，使从双酚类衍生的具有2个缩水甘油醚基的环氧化合物与（甲基）丙烯酸（其意思是“丙烯酸和/或甲基丙烯酸”）发生反应，再使得到的具有羟基的化合物与多元羧酸或其酸酐发生反应，而得到环氧（甲基）丙烯酸加成物。在这里，由双酚类衍生的环氧化合物是指使双酚类和表氯醇发生反应而得到的环氧化合物。该环氧化合物及由该环氧化合物衍生的含不饱和基团化合物（环氧（甲基）丙烯酸加成物）因上述专利文献2等而为人所知，该化合物可以广泛使用。
在上述的情况下，作为（i）成分的光固化性树脂同时具有烯属不饱和双键和羧基，所以对感光性树脂组合物赋予出色的光固化性、优良的显影性、图案形成特性，使得固化膜的物性提高。
即，作为（i）成分的光固化性树脂优选衍生自用下述通式（1）表示的环氧化合物。该环氧化合物衍生自双酚类。因此，通过说明双酚类来理解含不饱和基团化合物，所以利用双酚类来说明优选的具体例。
（其中，式中，R1及R2独立地为氢原子、碳数1～5的烷基、苯基或卤原子中的任意一个，X独立地表示单键、－CO－、－SO2－、－C（CF3）2－、－Si（CH3）2－、－CH2－、－C（CH3）2－、－O－或下述式（2）表示的9，9－芴基，n为0～10的数。）
作为优选的带来含不饱和基团化合物的双酚类，可以举出如下所述的化合物。可以举出含有双（4－羟基苯基）酮、双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）酮、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）酮、双（4－羟基苯基）砜、双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）砜、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）砜、双（4－羟基苯基）六氟丙烷、双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）六氟丙烷、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）六氟丙烷、双（4－羟基苯基）二甲基硅烷、双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）二甲基硅烷、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）二甲基硅烷、双（4－羟基苯基）甲烷、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）甲烷、双（4－羟基－3，5－二溴苯基）甲烷、2，2－双（4－羟基苯基）丙烷、2，2－双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）丙烷、2，2－双（4－羟基－3，5－二氯苯基）丙烷、2，2－双（4－羟基－3－甲基苯基）丙烷、2，2－双（4－羟基－3－氯苯基）丙烷、双（4－羟基苯基）醚、双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）醚、双（4－羟基－3，5－二氯苯基）醚等的化合物，X为上述的9，9－芴基的9，9－双（4－羟基苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3－甲基苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3－氯苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3－溴苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3－氟苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3－甲氧基苯基）芴、9，9－双双（4－羟基－3，5－二甲基苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3，5－二氯苯基）芴、9，9－双（4－羟基－3，5－二溴苯基）芴等；进而还可以举出4，4’－双酚、3，3’－双酚等化合物。
作为（i）成分的光固化性树脂，由衍生自如上所述的双酚类的环氧化合物而得到，由此透明性、耐热性、显影特性等出色，所以优选。除了该环氧化合物之外，苯酚酚醛清漆型环氧化合物、甲酚酚醛清漆型环氧化合物等只要是有意含有具有2个缩水甘油醚基的化合物，就可以使用。另外，在对双酚类实施缩水甘油醚化时，会有低聚物单元混入，但只要式（1）中的n的平均值在0～10、优选0～2的范围，则在本树脂组合物的性能方面没有问题。
另外，作为可以与这样的由环氧化合物和（甲基）丙烯酸发生反应得到环氧（甲基）丙烯酸酯分子中的羟基反应的多元羧酸或其酸酐，例如可以举出马来酸、琥珀酸、衣康酸、邻苯二甲酸、四氢邻苯二甲酸、六氢邻苯二甲酸、甲基内亚甲基四氢邻苯二甲酸、氯菌酸、甲基四氢邻苯二甲酸、苯偏三酸、苯均四酸等或其酸酐，进而可以举出二苯甲酮四羧酸、联苯基四羧酸、联苯基醚四羧酸等芳香族多元羧酸或其酸二酐等。此外，关于酸酐和酸二酐的使用比例，可以选择适合通过碱显影操作形成微细图案的比例。
关于（i）成分的光固化性树脂，可以仅使用其中的一种，也可以使用2种以上的混合物。另外，就环氧化合物与（甲基）丙烯酸的反应、由该反应得到的环氧（甲基）丙烯酸酯与多元酸或其酸酐的反应，可以采用在上述专利文献2等中的公知方法，但没有特别限制。
另外，本发明中的（i）成分能通过光发生固化（聚合）即可，所以包括仅含有在感光性树脂组合物未固化的状态下未树脂化的成分（单体）的情况。即，作为用作（i）成分的光固化性单体，可以举出具有至少一个以上烯属不饱和键的光聚合性单体，例如（甲基）丙烯酸2－羟乙酯、（甲基）丙烯酸2－羟丙酯、（甲基）丙烯酸2－乙基己酯等具有羧基的单体、二（甲基）丙烯酸乙二醇酯、二（甲基）丙烯酸二乙二醇酯、二（甲基）丙烯酸三乙二醇酯、二（甲基）丙烯酸四乙二醇酯、二（甲基）丙烯酸丁二醇酯、三羟甲基丙烷三（甲基）丙烯酸酯、三羟甲基乙烷三（甲基）丙烯酸酯、二（甲基）丙烯酸季戊四醇酯、三（甲基）丙烯酸季戊四醇酯、四（甲基）丙烯酸季戊四醇酯、四（甲基）丙烯酸二季戊四醇酯、六（甲基）丙烯酸二季戊四醇酯、（甲基）丙烯酸甘油酯等（甲基）丙烯酸酯类，这些化合物可以仅单独使用其中的一种，除此之外还可以并用2种以上。
本发明的感光性树脂组合物含有（i）成分的光聚合性的化合物，但为了使其进行光固化，优选含有光聚合引发剂。光聚合引发剂通过紫外线照射而生成自由基种，加成于光聚合性的化合物上而引发自由基聚合，使树脂组合物固化。
作为光聚合引发剂，可以举出二苯甲酮、米蚩酮、N，N’－四甲基－4，4’－二氨基二苯甲酮、4－甲氧基－4’－二甲基氨基二苯甲酮、4，4’－二乙基氨基二苯甲酮、2－乙基蒽醌、菲等芳香族酮，苯偶姻甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻苯醚等苯偶姻醚类，甲基苯偶姻、乙基苯偶姻等苯偶姻，2－邻氯苯基－4，5－苯基咪唑二聚体、2－邻氯苯基－4，5－二（间甲氧基苯基）咪唑二聚体、2－邻氟苯基－4，5－二苯基咪唑二聚体、2－邻甲氧基苯基－4，5－二苯基咪唑二聚体、2，4，5－三芳基咪唑二聚体、2－苄基－2－二甲基氨基－1－（4－吗啉代苯基）－丁酮、2－三氯甲基－5－苯乙烯基－1，3，4－氧杂二唑、2－三氯甲基－5－对氰基苯乙烯基－1，3，4－氧杂二唑、2－三氯甲基－5－对甲氧基苯乙烯基－1，3，4－氧杂二唑等卤甲基噻唑化合物、2，4，6－三（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－甲基－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－苯基－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－（4－氯苯基）－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－（4－甲氧基苯基）－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－（4－甲氧基萘基）－4，6－双（三氯R甲基）－1，3，5－三嗪、2－（4－甲氧基苯乙烯基）－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、2－（3，4，5-三甲氧基苯乙烯基）－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪、（2－（4－甲基硫代苯乙烯基）－4，6－双（三氯甲基）－1，3，5－三嗪等卤代甲基－S－三嗪系化合物，2，2－二甲氧基－1，2-二苯基乙烷－1－酮、2－甲基－1－[4－（甲基硫代）苯基]－2－吗啉代丙酮、2－苄基－2－二甲基氨基－1－[4－吗啉代苯基]－丁酮－1，1－羟基－环己基－苯基酮等光聚合引发剂，特表2004－534794号公报中记载的肟酯系引发剂。
这些光聚合引发剂可以单独使用，或可以混合使用2种以上。另外，其自身未起到光聚合引发剂、增感剂的作用，但也可以添加能够通过和上述的化合物组合使用来使光聚合引发剂、增感剂的能力增大之类的化合物。作为这样的化合物，例如可以举出在与二苯甲酮组合使用时有效的三乙醇胺等叔胺。
关于光聚合引发剂的使用量，以（i）成分的总计100重量份为基准适合为7～50重量份。在光聚合引发剂的配合比例不到7重量份的情况下，光聚合的速度变慢，灵敏度降低，另一方面，在超过50重量份的情况下，可能会发生如下所示的问题，即灵敏度过强，成为图案线宽相对于图案掩模较粗的状态，无法相对于掩模忠实地再现线宽，或图案边缘呈锯齿状而不清楚。
作为（ii）成分的丙烯酸树脂粒子，并不被制造法、形状（球状、非球状、单核结构、核壳结构等）限制，但为了使凝集性小且分散性出色，在将该感光性树脂组合物涂布在基板上并干燥之后，经过利用紫外线曝光装置的曝光、利用碱水溶液的显影、热处理各工序而得到固化膜，该固化膜的锥角为60°以上，所以优选球状、单核结构。在这里，固化膜的锥角是指如图1的截面说明图所示显影为规定形状、经热处理得到的固化膜（为滤色器等时是隔壁）在基板侧所成的角θ。锥角为60°以上是说得到的固化膜的形状稳定性出色。需要说明的是，关于锥角的上限，除了为倒锥形的情况之外，理论上为90°。
另外，丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值需要为50～200nm的范围，优选为70～150nm的范围。在这里，粒子的一次粒径的平均值通过透射型电子显微镜进行粒径观察，随机选定100个粒子，测量粒子的长轴长和短轴长，通过它们的算术平均而求得。此时，在构成凝集块或聚集体的情况下，一次粒子是指构成它们的粒子。如果丙烯酸树脂粒子的一次粒径的平均值不到50nm，在分散性方面不优选。相反，在超过200nm的情况下，表面粗糙度恶化，在体积电阻值维持方面不优选。另外，在使形状稳定性提高的基础上，粒径过度增大时，相对于粒子重量的粒子体积比降低，所以有必要添加大量的丙烯酸树脂粒子，难以维持相对于碱水溶液的良好显影性。将在能够维持良好的显影性的范围内添加了粒径超过200nm的丙烯酸树脂粒子的该感光性树脂组合物涂布在基板上并进行干燥后，经过利用紫外线曝光装置的曝光、利用碱水溶液的显影、热处理各工序而得到固化膜，该固化膜向所谓塌边现象那样成为倒塌形状，其侧面成为圆弧状。需要说明的是，对丙烯酸树脂粒子的粒度分布没有特别限制，但为了确保粒子分散性，相对于由上述方法求出的一次粒径的平均值优选在±3σ的范围内为80％以上。
关于丙烯酸树脂粒子的配合比例，组合物中的丙烯酸树脂粒子（ii）和光固化性树脂及/或光固化性单体（i）的重量比（（ii）/（i））为0.1～2.0的范围，优选为0.5～1.5的范围。如果重量比不到0.1，则缺乏固化膜的形状稳定性的提高效果，相反，超过2.0时，有可能显影性能降低，或体积电阻值降低。另外，在本发明中，树脂组合物有时含有（iii）的遮光性成分，但认为此时可以用遮光性成分置换丙烯酸微粒的一部分，所以丙烯酸树脂粒子（ii）及遮光性成分（iii）的总重量和光固化性树脂及/或光固化性单体（i）的重量比（（ii）＋（iii）/（i））为0.1～2.0的范围，优选为0.5～1.5的范围。此时的重量比的下限和上限各自的意思与前面所述的相同。
关于丙烯酸树脂粒子（ii），优选其表面被实施酸处理。通过实施表面酸处理来提高粒子分散性，且将感光性树脂组合物涂布在基板上并干燥之后，使在利用紫外线曝光装置的曝光之后进行的利用碱水溶液的显影性进一步提高，可以得到直线性良好的图案。
另外，本发明的感光性树脂组合物也可以为配合遮光性成分（iii）得到遮光性的固化膜的实施方式。作为遮光性成分（iii），是从黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料中选择的至少一种，（iii）成分的遮光性成分优选具有出色的耐热性、耐光性和耐溶剂性。在这里，作为黑色有机颜料，例如可以举出二萘嵌苯黑、花青黑等。作为混色有机颜料，可以将从红、蓝、绿、紫、黄色、青、品红等中选择的至少2种颜料混合进行假黑色化的颜料。作为遮光材料，可以举出炭黑、氧化铬、氧化铁、钛黑、苯胺黑、花青黑，也可以适当选择2种以上使用，对于炭黑，在遮光性、表面平滑性、分散稳定性、与树脂的相溶性良好方面特别优选。
关于（iii）成分的配合比例，相对于上述的（i）成分的总计100重量份（在含有光聚合引发剂成分时，包括其在内总计100重量份）为50～150重量份即可。在比50重量份少时，遮光性不充分。超过150重量份时，原本的成为粘合剂的感光性树脂的含量减少，所以会产生所谓有损显影特性同时有损膜形成能力的不优选问题。
在本发明的感光性树脂组合物中，优选除了上述（i）～（iii）成分之外使用溶剂。作为溶剂，例如可以举出甲醇、乙醇、正丙醇、异丙醇、乙二醇、丙二醇等醇类，α－或β－萜品醇等萜类等，丙酮、甲乙酮、环己酮、N－甲基－2－吡咯烷酮等酮类，甲苯、二甲苯、四甲基苯等芳香族烃类，溶纤剂、甲基溶纤剂、乙基溶纤剂、卡必醇、甲基卡必醇、乙基卡必醇、丁基卡必醇、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、二丙二醇单甲醚、二丙二醇单乙醚、三乙二醇单甲醚、三乙二醇单乙醚等二醇醚类，乙酸乙酯、乙酸丁酯、纤维素乙酸酯、乙基溶纤剂乙酸酯、丁基溶纤剂乙酸酯、卡必醇乙酸酯、乙基卡必醇乙酸酯、丁基卡必醇乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚乙酸酯等乙酸酯类等，通过使用它们并将它们溶解、混合，可以制成均匀的溶液状的组合物。
另外，在本发明的感光性树脂组合物中，可以根据需要配合固化促进剂、热聚合抑制剂、增塑剂、填充材料、溶剂、流平剂、消泡剂等添加剂。作为热聚合抑制剂，可以举出氢醌、氢醌单甲醚、邻苯三酚、叔丁基儿茶酚、吩噻嗪等，作为增塑剂，可以举出邻苯二甲酸二丁酯、邻苯二甲酸二辛酯、三甲苯酯等，另外，作为消泡剂或流平剂，例如可以举出硅系、氟系、丙烯酸系的化合物。
本发明的感光性树脂组合物优选在除去溶剂后的固体成分（固体成分中包括固化后成为固体成分的单体）中含有（i）～（iii）成分总计为70wt%以上，优选含有80wt%以上，更优选含有90wt%以上。关于树脂组合物中的溶剂的含有比例，由于涂敷中使用的涂敷机而成为最佳的粘度范围发生变化，但优选50～90wt％的范围。
另外，关于本发明的固化膜，可以使用上述的本发明的感光性树脂组合物利用光刻法形成。作为其制造工序，可以举出如下所述的方法，即，首先，使感光性树脂组合物为溶液并涂布在基板表面上，接着，在使溶剂干燥（预烘焙）之后，在如此得到的被膜上放置光掩模，照射紫外线使曝光部固化，进而使用碱水溶液使未曝光部洗脱而进行显影，形成图案，进而进行后烘焙作为后干燥的方法。
作为涂布感光性树脂组合物的溶液的基板，可以使用在玻璃、透明膜（例如聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚醚砜等）上使ITO、金等透明电极蒸镀或形成图案而得到的基板等。
作为在基板上涂布该感光性树脂组合物的溶液的方法，可以应用公知的方法，例如除了溶液浸渍法、喷射法之外，也可以采用使用了辊涂机、平台涂布机（ランドコーター機）、旋转机的方法等任意方法。在通过这些方法涂布成所需厚度之后，除去溶剂（预烘焙），由此形成被膜。预烘焙通过利用烘箱、加热板等加热来进行。预烘焙中的加热温度及加热时间根据所使用的溶剂适当选择，例如在80～120℃的温度下进行1～10分钟。
在预烘焙之后进行的曝光可以通过曝光机来进行，通过经由光掩模进行曝光而仅使与图案对应的部分的抗蚀剂感光。适当选择曝光机及其曝光照射条件，使用超高压水银灯、高压水银灯、金属卤化物灯、远红外线灯等光源进行曝光，使涂膜中的树脂组合物光固化。
曝光后的碱显影的进行目的是要除去未曝光部分的抗蚀剂，通过该显影形成所需的图案。作为适于该碱显影的显影液，例如可以举出如下所述碱金属或碱土金属的碳酸盐的水溶液、碱金属的氢氧化物的水溶液等，特别是使用含有碳酸钠、碳酸钾、碳酸锂等碳酸盐0.05～3重量％的弱碱性水溶液在20～30℃的温度下进行显影即可，可以使用市售的显影机或超声波清洗机等精密形成微细图像。
在如此显影之后，例如在180～250℃的温度、及20～100分钟的条件进行热处理（后烘焙）。该后烘焙的进行目的是为了提高已形成图案的遮光膜和基板的密合性等。这与预烘焙一样，通过利用烘箱、加热板等加热来进行。本发明的已形成图案的固化膜经过以上的基于光刻法的各工序而形成。此外，由本发明的树脂组合物得到的固化膜，其体积电阻值为1010Ωcm以上，优选为1012Ωcm以上。特别是在形成隔壁的情况下，可以得到高度为1.5～4μm、且锥角为60°以上的隔壁。另外，OD值（光学浓度）可以实现2.0～4.5/μm，所以适合作为面向具有高遮光性、高电阻值的滤色器的滤色器用黑色矩阵。另外，可以适当用作与喷墨工艺对应的滤色器用黑色矩阵。
本发明的感光性树脂组合物如前所述适合通过曝光、碱显影等操作形成微细图案，但即便利用以往的丝网印刷形成图案，也可以得到相同的固化膜。
本发明的感光性树脂组合物可以适当用作形成固化膜之类的涂敷材料，特别是除了液晶的显示装置或摄影元件中使用的R、G、B等各色滤色器用油墨、黑色矩阵（隔壁）之类的遮光膜的形成之外，作为液晶投影用的黑色矩阵等是有用的。进而，本发明的感光性树脂组合物如上所述除了彩色液晶显示器的滤色器油墨之外，也可以用于彩色液晶显示装置、彩色传真机、图像传感器等各种多色显示体油墨材料、EL元件等中的显示元件材料。
实施例
<含有丙烯酸树脂粒子的分散液的制造例A-1～A-7、及a-1～a-2>
按照表1所示的比例混合丙烯酸树脂粒子（日本油漆公司制ファインスフェア）、高分子分散剂及丙二醇单甲醚乙酸酯，用珠磨机进行分散，制备含有丙烯酸树脂粒子的分散液A-1～A-4、及a-1。另外，按照表1所示的比例混合丙烯酸树脂粒子（日本油漆公司制ファインスフェア）、作为遮光性颜料（遮光性成分）的树脂被覆炭黑（三菱化学公司制MS18E、粒径25nm）、高分子分散剂及丙二醇单甲醚乙酸酯，用珠磨机进行分散，制成含有丙烯酸树脂粒子/遮光性颜料双方的分散液A-5。同样地，作为遮光性颜料，除了炭黑之外，使用钛黑（日本三菱物资公司制，粒径30nm）或混合有机颜料黑（御国色素制，粒径30nm），制备含有丙烯酸树脂粒子/遮光性颜料双方的分散液A-6～A-7。制造编号9的分散液a-2是未配合丙烯酸树脂粒子且仅含有树脂被覆炭黑（三菱化学公司制MS18E，粒径25nm）作为遮光性颜料的分散液。需要说明的是，以制造编号1～8使用的丙烯酸树脂粒子是按照使单一组成的丙烯酸树脂（单核组成）均为球状进行控制而制造的粒子，一次粒径的平均值如表1所示。另外，制造编号1、4～8的分散液是按照使粒子表面有酸性官能团存在的方式对表面实施了处理的分散液，制造编号3的分散液是按照使粒子表面有碱性官能团存在的方式对表面实施了处理的分散液，制造编号2的分散液是表面未处理的分散液。需要说明的是，粒子的一次粒径的平均值是通过透射型电子显微镜进行粒径观察，随机选定100个粒子测量粒子的长轴长和短轴长，将利用它们的算术平均而求得。此时，在构成凝集块或聚集体的情况下，一次粒子是指构成它们的粒子。
表1
对于上述制备的分散液的粘度，使用E型粘度计，以20rpm、25.0±0.5℃进行测定。测定进而室温下放置1个月之后、及40℃下保管1周后的粘度，利用其粘度变化率来评价粘度稳定性。其结果，测定将含有酸处理及单核结构的丙烯酸树脂粒子的分散液A-1、A-4～A-7、及a-1、以及不含丙烯酸树脂粒子的分散液a-2室温下放置1个月后、及40℃下保管1周后的粘度，结果其粘度变化率不到10％（表1中用○标记）。未处理的丙烯酸树脂粒子分散液A-2、及碱处理的丙烯酸树脂粒子分散液a-2的粘度变化率为10％以上（表中用×标记）。
[实施例1～2、5～11、比较例1～4、参考例3～4]
<隔壁用感光性树脂组合物的制备>
分别以表中所示的比例混合上述得到的分散液和表2记载的各成分，并且添加硅烷偶联剂S－510（信越化学制）0.30份和丙二醇单甲醚乙酸酯，使总量为100重量份，固体成分浓度为20重量％。进而，添加硅系表面活性剂SH3775M（东丽道康宁制）0.005重量份，使用2μm的聚丙烯制薄膜滤器，以0.2kg/cm2的加压进行过滤，制备感光性树脂组合物。需要说明的是，表2中记载的各成分的简记分别表示以下的化合物。
a-3：纳米二氧化硅分散液、NANO BYK-3650（ビックケミ·ジャパン制，粒径20～25nm）
B-1：具有芴骨架的环氧丙烯酸酯的酸酐缩聚物的丙二醇单甲醚乙酸酯溶液（树脂固体成分浓度＝56.1重量％，新日铁化学公司制商品名V259ME）
C-1：六丙烯酸二季戊四醇酯和五丙烯酸二季戊四醇酯的混合物（日本化药公司制商品名DPHA）
C-2：三羟甲基丙烷三丙烯酸酯（巴工业制商品名SARTOMER SR-351S）
D-1：光聚合引发剂、IRGACURE OXE01（汽巴日本制）
D-2：光聚合引发剂、IRGACURE OXE02（汽巴日本制）
表2
使用旋涂机将上述得到的各感光性树脂组合物涂布在125mm×125mm的玻璃基板上并使后烘焙后的膜厚为2.1μm，在80℃下预烘焙1分钟。随后，将曝光孔隙调整为80μm，在干燥涂膜上覆盖线/间距＝20μm/20μm的负像掩模，用I线照度30mW/cm2的超高压水银灯照射100mj/cm2的紫外线，进行感光部分的光固化反应。
接着，将该已曝光涂板在0.05％氢氧化钾水溶液中在23℃下以1kgf/cm2的压力进行喷淋显影，将观察到图案的时间设为显影脱落时间（BT秒），进而进行20秒的显影，然后以5kgf/cm2的压力进行喷射水洗，除去涂膜的未曝光部，在玻璃基板上形成像素图案，随后使用热风干燥机在230℃下进行30分钟的热后烘焙。各实施例及比较例中得到的固化膜的评价项目和方法如下所述。
[涂布异物]
将旋涂后的涂膜观察到放射状条纹的情况记为×<不良>，将未观察到的情况记为○<良好>。
[灵敏度]
使用步进式掩模，测定以BT（间断时间）＋20秒观测残膜的曝光量（mj/cm2）。
[显影密合性]
将以BT（间断时间）＋40秒残留20μm图案的情况设为○，将已剥离的设为×。
[图案直线性]
用显微镜观察后烘焙后的20μm线，将观察到锯齿的情况设为×，没有锯齿的情况设为○。另外，将局部观测到锯齿的情况设为△。
[膜厚以及表面粗糙度（表面粗糙度Ra：JIS B0601-1994）]
使用触针式膜厚计（テンコール（株）制）进行测定。表面粗糙度记为黑色矩阵表面上间隔2mm宽度的将不到的情况记为○，将超过的情况记为×。
[锥形状]
在显影时间为脱落时间＋10～30秒，用操作型电子显微镜观察后烘焙后的20μm线截面，基板和构造物（固化膜）锥形部所成角度，总是将60°以上记为○，将不到60°记为△，将圆弧形状（图2（b））的情况记为×。
[体积电阻值]
在全面蒸镀有铬的玻璃基板上，与上述一样形成后烘焙后的膜厚为2.1μm的涂膜。在涂膜上形成有10mmφ的Al蒸镀膜，向Cr－Al之间施加1～10V的电压，测定电流值，求出电阻。
[OD测定]
使用后烘焙后的2.1μm的涂膜，使用大冢电子制OD计，记载了每1μm的OD值。
对于实施例1、6～11、及参考例3～4，锥角均为60°以上，体积电阻值也示出良好的值。但是，在使用了粒径大的丙烯酸树脂粒子的比较例1、及不存在丙烯酸树脂粒子的比较例2中，锥形状总为圆弧状，特别是在比较例2中，可见体积电阻降低。另外，含有二氧化硅粒子的比较例3、及丙烯酸树脂粒子的添加量多的比较例4的显影特性不良。
[实施例12]
使用实施例6～11中使用的感光性树脂组合物，形成了开口部（像素区域）为300μm×100μm且具有线宽为30μm、膜厚（高度）为2.1μm的遮光性隔壁的矩阵。随后，以氧大气压等离子体进行3秒钟的处理之后，以CF4大气压等离子体进行3秒钟的处理。在该遮光性隔壁（遮光膜）上，使用水或丁基卡必醇乙酸酯（BCA）测定静态接触角，结果分别为100°、50°。朝向该黑色矩阵中，使用东芝泰格制喷墨头，打入粘度9mPa·sec、固体成分浓度20％的红色、蓝色、绿色的油墨，在230℃下进行后烘焙，形成了滤色器。其结果，可以得到良好的滤色器。

Claims (6)

1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，是以(i)光固化性树脂和/或光固化性单体、及(ii)丙烯酸树脂粒子为必须成分的感光性树脂组合物，(ii)成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子，并且一次粒径的平均值为70～150nm，所述组合物中的(ii)丙烯酸树脂粒子与(i)光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比(ii)/(i)为0.1～2.0的范围。
2.一种感光性树脂组合物，其特征在于，是以(i)光固化性树脂和/或光固化性单体、及(ii)丙烯酸树脂粒子为必须成分进而含有(iii)从黑色有机颜料、混色有机颜料及遮光材料中选择的至少一种遮光性成分而成的感光性树脂组合物，(ii)成分的丙烯酸树脂粒子是经过表面酸处理的丙烯酸树脂粒子，并且一次粒径的平均值为70～150nm，所述组合物中的(ii)丙烯酸树脂粒子及(iii)遮光性成分的总重量与(i)光固化性树脂和/或光固化性单体的重量比[(ii)+(iii)]/(i)为0.1～2.0的范围。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其特征在于，(i)成分含有使下述通式(1)所表示的环氧化合物和(甲基)丙烯酸的反应产物进一步与多元羧酸或其酸酐发生反应得到的含不饱和基团化合物，
式(1)中，R1及R2独立地为氢原子、碳数1～5的烷基、苯基或卤原子中的任意一个，X独立地表示单键、－CO－、－SO2－、－C(CF3)2－、－Si(CH3)2－、－CH2－、－C(CH3)2－、－O－或下述式(2)表示的9，9－芴基，n为0～10的数，
4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，其特征在于，(iii)成分的遮光性成分是炭黑。
5.一种固化膜，其特征在于，是在将权利要求1～4中任意一项所述的感光性树脂组合物涂布到基板上并干燥之后以下述各工序为必须工序而得到的固化膜，即(a)利用紫外线曝光装置的曝光工序、(b)利用碱水溶液的显影工序、以及(c)热处理工序。
6.根据权利要求5所述的固化膜，其特征在于，体积电阻值为1010Ωcm以上。
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JP5690490B2 (ja) * 2010-02-18 2015-03-25 東京応化工業株式会社 感光性組成物
JP5966278B2 (ja) * 2010-08-26 2016-08-10 住友大阪セメント株式会社 黒色膜、黒色膜付き基材及び画像表示装置、並びに黒色樹脂組成物及び黒色材料分散液
TWI451449B (zh) * 2011-06-09 2014-09-01 Shih Hua Technology Ltd 圖案化導電元件的製備方法
JP6068085B2 (ja) * 2011-12-06 2017-01-25 東京応化工業株式会社 エッチングマスク用組成物およびパターン形成方法
JP2013167687A (ja) * 2012-02-14 2013-08-29 Mitsubishi Chemicals Corp 感光性着色樹脂組成物、及びカラーフィルタ、及び液晶表示装置
JP5858835B2 (ja) * 2012-03-16 2016-02-10 新日鉄住金化学株式会社 カラーフィルター用紫外線硬化性インキ受容層及びカラーフィルターの製造方法
US9341946B2 (en) 2012-05-25 2016-05-17 Lg Chem, Ltd. Photosensitive resin composition, pattern formed using same and display panel comprising same
CN104781706B (zh) * 2012-11-08 2018-01-02 日产化学工业株式会社 形成有固化膜的膜、取向材料及相位差材料
KR102344138B1 (ko) * 2014-03-31 2021-12-28 닛테츠 케미컬 앤드 머티리얼 가부시키가이샤 차광막용 감광성 수지 조성물, 이것을 경화한 차광막 및 컬러 필터
TWI660241B (zh) * 2014-05-21 2019-05-21 日商旭化成電子材料股份有限公司 Photosensitive resin composition and method for forming circuit pattern
JP6424052B2 (ja) * 2014-09-25 2018-11-14 東京応化工業株式会社 感光性樹脂組成物
JP6410540B2 (ja) * 2014-09-25 2018-10-24 東京応化工業株式会社 感光性樹脂組成物
JP6607682B2 (ja) 2015-03-05 2019-11-20 日鉄ケミカル＆マテリアル株式会社 遮光膜用黒色樹脂組成物、当該組成物を硬化させた遮光膜を有する遮光膜付基板、並びに当該遮光膜付基板を有するカラーフィルター及びタッチパネル
KR102374939B1 (ko) 2016-09-16 2022-03-16 가부시키가이샤 아데카 경화성 조성물, 경화물 및 경화물의 제조 방법
CN106654060B (zh) * 2016-12-19 2018-12-28 纳晶科技股份有限公司 黑膜的制作方法、黑膜以及发光器件
WO2020008969A1 (ja) * 2018-07-05 2020-01-09 東レ株式会社 樹脂組成物、遮光膜、遮光膜の製造方法および隔壁付き基板
CN109100917A (zh) * 2018-07-19 2018-12-28 江苏博砚电子科技有限公司 一种彩色感光性树脂组合物及其制备方法
CN112180683B (zh) * 2020-08-28 2021-10-08 上海玟昕科技有限公司 一种正性高弹性感光树脂组合物
CN114488691B (zh) * 2022-02-28 2022-07-22 河源诚展科技有限公司 一种感光阻焊干膜及其制备方法

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3455296B2 (ja) * 1993-07-30 2003-10-14 新日本製鐵株式会社 タッチパネル用スペーサー材料及びこれを用いたタッチパネル
JP4465752B2 (ja) * 1998-10-08 2010-05-19 凸版印刷株式会社 電極基板および液晶表示装置
JP2001281856A (ja) * 2000-01-24 2001-10-10 Fuji Photo Film Co Ltd 赤外線感応性画像形成材料
JP2005271576A (ja) * 2004-01-09 2005-10-06 Fuji Photo Film Co Ltd 平版印刷版原版及びそれを用いた平版印刷方法
JP4477920B2 (ja) * 2004-03-31 2010-06-09 凸版印刷株式会社 スペーサ付きカラーフィルタ
JP2007156404A (ja) * 2005-11-08 2007-06-21 Fujifilm Corp 重合性組成物の製造方法、感光性フィルム及びその製造方法、並びに、永久パターンの形成方法
JP2007206328A (ja) * 2006-02-01 2007-08-16 Mitsubishi Rayon Co Ltd フォトスペーサー用樹脂組成物、フォトスペーサー、および液晶表示装置
JP5270113B2 (ja) * 2007-06-06 2013-08-21 新日鉄住金化学株式会社 ブラックレジスト用感光性樹脂組成物及びこれを用いた遮光膜並びにカラーフィルター
JP2009244687A (ja) * 2008-03-31 2009-10-22 Dainippon Printing Co Ltd カラーフィルター用赤色硬化性樹脂組成物、カラーフィルター、及び表示装置

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