CN103390654B - 一种多沟槽终端肖特基器件及其制备方法 - Google Patents
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- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 61
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 39
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 11
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 9
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 5
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 3
- 239000002210 silicon-based material Substances 0.000 description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 9
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 7
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 6
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 3
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 3
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
本发明公开了一种多沟槽终端肖特基器件，本发明的半导体器件具有多个沟槽结构的终端，将浮空场限环加入到器件的沟槽终端结构中，同时简化了器件的制造流程。本发明还提供了一种多沟槽终端肖特基器件的制备方法。
Description
技术领域
本发明涉及到一种多沟槽终端肖特基器件，本发明还涉及一种多沟槽终端肖特基器件的制备方法。
背景技术
功率半导体器件被大量使用在电源管理和电源应用上，特别涉及到肖特基结的半导体器件已成为器件发展的重要趋势，肖特基器件具有正向开启电压低开启关断速度快等优点。
肖特基二极管可以通过多种不同的布局技术制造，最常用的为平面布局，传统的平面肖特基二极管具有较为复杂的制造工艺，需要三次光刻腐蚀工艺完成器件的生产制造。
发明内容
本发明针对上述问题提出，提供一种多沟槽终端肖特基器件及其制备方法。
一种多沟槽终端肖特基器件，其特征在于：包括：衬底层，为半导体材料；漂移层，为第一传导类型的半导体材料，位于衬底层之上；多个
沟槽，位于器件边缘漂移层中，沟槽内壁表面有绝缘材料，临靠沟槽侧壁区域设置有第二传导类型半导体材料；肖特基势垒结，位于漂移层表面。
一种多沟槽终端肖特基器件的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：在衬底层上通过外延生产形成第一传导类型的半导体材料层；在表面形成第一钝化层，在待形成沟槽区域表面去除第一钝化层；进行杂质掺杂；进行刻蚀半导体材料，形成沟槽；在沟槽内壁形成第二钝化层，腐蚀去除器件表面第一钝化层；在器件表面淀积金属，进行烧结形成肖特基势垒结。
本发明的半导体器件具有多个沟槽结构的终端，将浮空场限环加入到 器件的沟槽终端结构中，同时简化了器件的制造流程。
附图说明
图1为本发明的一种多沟槽终端肖特基器件剖面示意图；
图2为本发明的第二种多沟槽终端肖特基器件剖面示意图；
图3为本发明的第三种多沟槽终端肖特基器件剖面示意图。
其中，
1、衬底层；
2、二氧化硅；
3、第一导电半导体材料；
4、第二导电半导体材料；
5、肖特基势垒结；
10、上表面金属层；
11、下表面金属层。
具体实施方式
实施例1
图1为本发明的一种多沟槽终端肖特基器件剖面图，下面结合图1详细说明本发明的半导体装置。
一种多沟槽终端肖特基器件，包括：衬底层1，为N导电类型半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E19/CM3，在衬底层1下表面，通过下表面金属层11引出电极；第一导电半导体材料3，位于衬底层1之上，为N传导类型的半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E16/CM3；第二导电半导体材料4，位于沟槽侧壁和底部，为P传导类型的半导体硅材料；肖特基势垒结5，位于第一导电半导体材料3的表面，为半导体硅材料与势垒金属形成的硅化物；二氧化硅2，位于沟槽内壁；器件边缘的沟槽间距为3um，沟槽深度为5um；器件上表面附有上表面金属层10，为器件引出另一电极。
其制作工艺包括如下步骤：
第一步，在衬底层1表面外延形成第一导电半导体材料层3；
第二步，表面淀积氮化硅，进行光刻腐蚀工艺，半导体材料表面去除部分氮化硅；
第三步，进行硼扩散，形成第二导电半导体材料4；
第四步，干法刻蚀，去除部分裸露半导体硅材料形成沟槽；
第五步，进行热氧化工艺，在沟槽内壁形成二氧化硅2，腐蚀去除氮化硅；
第六步，在半导体材料表面淀积势垒金属，进行烧结形成肖特基势垒结5，然后在表面淀积金属形成上表面金属层10，进行光刻腐蚀工艺腐蚀去除表面部分金属；
第七步，进行背面金属化工艺，在背面形成下表面金属层11，器件结构如图1所示。
实施例2
图2为本发明的一种多沟槽终端肖特基器件剖面图，下面结合图2详细说明本发明的半导体装置。
一种多沟槽终端肖特基器件，包括：衬底层1，为N导电类型半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E19/CM3，在衬底层1下表面，通过下表面金属层11引出电极；第一导电半导体材料3，位于衬底层1之上，为N传导类型的半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E16/CM3；第二导电半导体材料4，位于沟槽侧壁和底部，为P传导类型的半导体硅材料；肖特基势垒结5，位于第一导电半导体材料3的表面，为半导体硅材料与势垒金属形成的硅化物；二氧化硅2，位于沟槽内壁；器件边缘的沟槽间距为3um，沟槽深度为3um；器件上表面附有上表面金属层10，为器件引出另一电极。
其制作工艺包括如下步骤：
第一步，在衬底层1表面外延形成第一导电半导体材料层3；
第二步，表面淀积氮化硅，进行光刻腐蚀工艺，半导体材料表面去除部分氮化硅；
第三步，进行硼扩散，形成第二导电半导体材料4；
第四步，干法刻蚀，去除部分裸露半导体硅材料形成沟槽；
第五步，进行热氧化工艺，在沟槽内壁形成二氧化硅2，腐蚀去除氮化硅；
第六步，在半导体材料表面淀积势垒金属，进行烧结形成肖特基势垒结5，然后在表面淀积金属形成上表面金属层10，进行光刻腐蚀工艺腐蚀去除表面部分金属；
第七步，进行背面金属化工艺，在背面形成下表面金属层11，器件结构如图2所示。
实施例3
图3为本发明的一种多沟槽终端肖特基器件剖面图，下面结合图3详细说明本发明的半导体装置。
一种多沟槽终端肖特基器件，包括：衬底层1，为N导电类型半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E19/CM3，在衬底层1下表面，通过下表面金属层11引出电极；第一导电半导体材料3，位于衬底层1之上，为N传导类型的半导体硅材料，磷原子的掺杂浓度为1E16/CM3；第二导电半导体材料4，位于沟槽侧壁和底部，为P传导类型的半导体硅材料；肖特基势垒结5，位于第一导电半导体材料3的表面，为半导体硅材料与势垒金属形成的硅化物；二氧化硅2，位于沟槽内壁；器件边缘的沟槽间距为1um，沟槽深度为3um；器件上表面附有上表面金属层10，为器件引出另一电极。
其制作工艺包括如下步骤：
第一步，在衬底层1表面外延形成第一导电半导体材料层3；
第二步，表面淀积氮化硅，进行光刻腐蚀工艺，半导体材料表面去除部分氮化硅；
第三步，进行硼扩散，形成第二导电半导体材料4；
第四步，干法刻蚀，去除部分裸露半导体硅材料形成沟槽；
第五步，进行热氧化工艺，在沟槽内壁形成二氧化硅2，腐蚀去除氮化硅；
第六步，在半导体材料表面淀积势垒金属，进行烧结形成肖特基势垒结5，然后在表面淀积金属形成上表面金属层10，进行光刻腐蚀工艺腐蚀去除表面部分金属；
第七步，进行背面金属化工艺，在背面形成下表面金属层11，器件结构如图3所示。
通过上述实例阐述了本发明，同时也可以采用其它实例实现本发明，本发明不局限于上述具体实例，因此本发明由所附权利要求范围限定。
Claims (7)
1.一种多沟槽终端肖特基器件，其特征在于：包括：
衬底层，为半导体材料；
漂移层，为第一传导类型的半导体材料，位于衬底层之上；多个
沟槽，位于器件边缘漂移层中，临靠沟槽整个侧壁区域设置有第二传导类型半导体材料，器件边缘沟槽之间的漂移层中设置有第二传导类型半导体材料，第二传导类型半导体材料的结深大于沟槽的深度；
绝缘材料，位于沟槽内壁，漂移层表面不设置绝缘材料；
肖特基势垒结，位于漂移层表面。
2.如权利要求1所述的肖特基器件，其特征在于：所述的沟槽底部位于漂移层中。
3.如权利要求1所述的肖特基器件，其特征在于：所述的器件边缘沟槽之间的第二传导类型半导体材料作为器件的浮空场环。
4.如权利要求1所述的肖特基器件，其特征在于：所述的靠近肖特基势垒结沟槽侧壁的第二传导类型半导体材料作为肖特基势垒结边缘保护环。
5.如权利要求1所述的肖特基器件，其特征在于：所述的肖特基势垒结边缘被第二传导类型半导体材料包裹。
6.如权利要求1所述的肖特基器件，其特征在于：所述的肖特基势垒结被沟槽包围。
7.一种如权利要求1所述的多沟槽终端肖特基器件的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
1)在衬底层上通过外延生长形成第一传导类型的半导体材料层，形成漂移层；
2)在表面形成第一钝化层，在器件边缘待形成多个沟槽区域表面去除第一钝化层；
3)进行第二传导类型杂质掺杂；
4)进行刻蚀半导体材料，在漂移层中形成沟槽；
5)在沟槽内壁形成第二钝化层，为绝缘材料，同时扩散第二传导类型杂质，使得第二传导类型半导体材料的结深大于沟槽的深度，腐蚀去除器件表面第一钝化层；
6)在器件表面淀积金属，进行烧结形成肖特基势垒结。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210158561.5A CN103390654B (zh) | 2012-05-10 | 2012-05-10 | 一种多沟槽终端肖特基器件及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201210158561.5A CN103390654B (zh) | 2012-05-10 | 2012-05-10 | 一种多沟槽终端肖特基器件及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103390654A CN103390654A (zh) | 2013-11-13 |
| CN103390654B true CN103390654B (zh) | 2017-02-15 |
Family
ID=49534873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201210158561.5A Active CN103390654B (zh) | 2012-05-10 | 2012-05-10 | 一种多沟槽终端肖特基器件及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103390654B (zh) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103531617B (zh) * | 2012-07-02 | 2017-09-08 | 朱江 | 一种具有沟槽终端结构肖特基器件及其制备方法 |
| CN110246892A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-17 | 天津环鑫科技发展有限公司 | 一种肖特基终端结构 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3287269B2 (ja) * | 1997-06-02 | 2002-06-04 | 富士電機株式会社 | ダイオードとその製造方法 |
| JPH11297994A (ja) * | 1998-04-07 | 1999-10-29 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
| JP2009177028A (ja) * | 2008-01-25 | 2009-08-06 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
| WO2011141981A1 (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-17 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置 |
-
2012
- 2012-05-10 CN CN201210158561.5A patent/CN103390654B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103390654A (zh) | 2013-11-13 |
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| PB01 | Publication | ||
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