CN103361631A - 一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 - Google Patents
一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103361631A CN103361631A CN2013102642709A CN201310264270A CN103361631A CN 103361631 A CN103361631 A CN 103361631A CN 2013102642709 A CN2013102642709 A CN 2013102642709A CN 201310264270 A CN201310264270 A CN 201310264270A CN 103361631 A CN103361631 A CN 103361631A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- titanium oxide
- cleaning
- zinc oxide
- seconds
- deposition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 54
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 40
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 title claims abstract description 27
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 11
- 230000001699 photocatalysis Effects 0.000 title abstract description 12
- 238000007146 photocatalysis Methods 0.000 title abstract description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 26
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N diethylzinc Chemical compound CC[Zn]CC HQWPLXHWEZZGKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 6
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 claims abstract description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 230000004087 circulation Effects 0.000 claims description 23
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 22
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 21
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 230000001839 systemic circulation Effects 0.000 claims description 12
- ZLOKVAIRQVQRGC-UHFFFAOYSA-N CN(C)[Ti] Chemical compound CN(C)[Ti] ZLOKVAIRQVQRGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 7
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 5
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 claims description 5
- RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N zinc;oxygen(2-) Chemical group [O-2].[Zn+2] RNWHGQJWIACOKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 2
- -1 pottery Substances 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 abstract description 6
- 239000002243 precursor Substances 0.000 abstract description 5
- 238000000137 annealing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 abstract 1
- MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N tetrakis(dimethylamido)titanium Chemical compound CN(C)[Ti](N(C)C)(N(C)C)N(C)C MNWRORMXBIWXCI-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 15
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 14
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 14
- 238000000034 method Methods 0.000 description 8
- PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N rhodamine B Chemical compound [Cl-].C=12C=CC(=[N+](CC)CC)C=C2OC2=CC(N(CC)CC)=CC=C2C=1C1=CC=CC=C1C(O)=O PYWVYCXTNDRMGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229940043267 rhodamine b Drugs 0.000 description 8
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 7
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 5
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000006555 catalytic reaction Methods 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 231100000252 nontoxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000003000 nontoxic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 239000002957 persistent organic pollutant Substances 0.000 description 1
- 239000011941 photocatalyst Substances 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000006862 quantum yield reaction Methods 0.000 description 1
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Catalysts (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明提供一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，包括以下步骤：20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，清洗反应腔；将衬底清洗，吹干，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗；水蒸汽脉冲，再清洗水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。薄膜厚度和成分能精确可调，具有优异的光学透过率和光催化效率。
Description
技术领域
本发明涉及一种用于光催化的薄膜的制备方法，特别是涉及一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的方法。
背景技术
工业化促进全球经济迅猛发展，但因各种工业污染引起的环境问题已成为当今世界的焦点问题之一，为处理工业生产中产生的有害物质，各种生物、化学、物理等方法相应而生，但大部分方法存在周期长、投入大、降解不够彻底等缺点。光催化是二十世纪逐步发展起来的一门新兴学科。它指半导体材料在光的照射下通过将光能转化为化学能，促使化合物的合成或降解。因而利用太阳光来分解有机污染物的光催化技术成为一个热门的课题。光催化技术具有工艺简单，能耗低，操作条件容易控制，降解物质彻底和无二次污染的特点，被认为是具有良好发展前景的环保新技术。光催化技术多以n型半导体为光催化氧化剂，其中TiO2由于具有稳定的物理化学性质和光化学性质，且无毒、价廉、光催化活性高，无选择性，可在常温常压工作，反应次数多、持续作用时间长，容易获得等优点，而备受青睐。起初的研究主要集中在粉末上面，但是粉末有它难以避免的缺点，如在水中易凝聚、失去活性、且使光的穿透力受阻，难于分离和回收和不适用于连续流体体系，于是薄膜的光催化研究引起了各国科学家的注意。
但是，单一的TiO2薄膜存在光吸收波长范围狭窄、利用率低，载流子的率高，量子效率较低等缺点，采用半导体薄膜可以进一步提高TiO2的光催化活性。半导体可提高电荷分离的效果，扩展光谱响应的范围。本发明运用原子层沉积技术制备氧化锌掺杂氧化钛半导体薄膜，表现出高于单个半导体的光催化性质。这是因为氧化锌与氧化钛可以提高氧化钛的光化学稳定性，有利于对连续光谱的光源的吸收；氧化锌的掺杂引起的晶相、晶型转变对光催化活性提高都有积极的影响。此外，原子层沉积技术制备的薄膜具有极好的均匀性和保型性，可以在较复杂表面沉积厚度和成分都高度均一的薄膜，且附着力较好，与其他光催化薄膜制备方法相比具有天然的优势。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本发明提供一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法。
一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；
步骤二，将衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，用高纯氮枪吹干，保持玻璃衬底有清洁的表面；
步骤三，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8秒；然后通入4秒的水蒸汽脉冲，再用10秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；
步骤四，将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为6秒；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗脉冲时间10秒，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；
步骤五，多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。
步骤二所述的衬底为玻璃、陶瓷、金属、高分子聚合物中的一种。
步骤五所述多个沉积氧化钛的循环数为20-200，所述多个大循环为10-100。
按上述步骤制备厚度约为200nm的不同浓度比的氧化锌掺杂氧化钛薄膜，并在450摄氏度的温度下退火2小时，然后进行罗丹明B溶液降解实验，考察其光催化效率。薄膜厚度和成分能精确可调，具有优异的光学透过率和光催化效率。
具体实施方式
以下结合具体实施例对本发明做进一步说明。
实施例1：
用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到特定反应温度，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔。将玻璃衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，高纯氮枪吹干，放入反应腔，待反应腔温度达到100摄氏度。将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔，脉冲时间3s，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8s；然后通入4s的水蒸汽脉冲，再用10s脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽。至此完成一个循环的氧化钛薄膜的沉积，厚度约0.1nm。进行100个这样的循环后，通入2s脉冲时间的前驱体二乙基锌，使其以化学的方式饱和吸附在氧化钛层的表面，再用6s脉冲清洗掉多余的锌前驱体；然后通入水蒸汽脉冲4s，再用10s的高纯氮气脉冲清洗掉多余的水蒸汽，完成一个循环的氧化锌的沉积，厚度约0.2nm。100个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成20个大循环后得到约200nm厚的氧化锌掺杂氧化钛薄膜。将薄膜在450摄氏度的温度下退火2小时后进行罗丹明B溶液降解实验。膜中锌与钛的摩尔比为2 at.%，在可见光波段的光学透过率大于80%，2小时对罗丹明B溶液的降解率为81.2%，远远高于单纯氧化钛薄膜降解率28.2%。
实施例2：
用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到特定反应温度，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔。将玻璃衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，高纯氮枪吹干，放入反应腔，待反应腔温度达到150摄氏度。将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔，脉冲时间3s，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8s；然后通入4s的水蒸汽脉冲，再用10s脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽。至此完成一个循环的氧化钛薄膜的沉积，厚度约0.08nm。进行63个这样的循环后，通入2s脉冲时间的前驱体二乙基锌，使其以化学的方式饱和吸附在氧化钛层的表面，再用6s脉冲清洗掉多余的锌前驱体；然后通入水蒸汽脉冲4s，再用10s的高纯氮气脉冲清洗掉多余的水蒸汽，完成一个循环的氧化锌的沉积，厚度约0.25nm。63个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成38个大循环后得到约200nm厚的氧化锌掺杂氧化钛薄膜。薄膜在450摄氏度的温度下退火2小时后进行罗丹明B溶液降解实验。膜中锌与钛的摩尔比为5 at.%，在可见光波段的光学透过率大于82%，2小时对罗丹明B溶液的降解率为86%，是单纯氧化钛薄膜降解率的3倍多。
实施例3：
用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到特定反应温度，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔。将玻璃衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，高纯氮枪吹干，放入反应腔，待反应腔温度达到200摄氏度。将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔，脉冲时间3s，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8s；然后通入4s的水蒸汽脉冲，再用10s脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽。至此完成一个循环的氧化钛薄膜的沉积，厚度约0.06nm。进行42个这样的循环后，通入2s脉冲时间的前驱体二乙基锌，使其以化学的方式饱和吸附在氧化钛层的表面，再用6s脉冲清洗掉多余的锌前驱体；然后通入水蒸汽脉冲4s，再用10s的高纯氮气脉冲清洗掉多余的水蒸汽，完成一个循环的氧化锌的沉积，厚度约0.2nm。100个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成74个大循环后得到约200nm厚的氧化锌掺杂氧化钛薄膜。薄膜在450摄氏度的温度下退火2小时后进行罗丹明B溶液降解实验。膜中锌与钛的摩尔比为8 at.%，在可见光波段的光学透过率大于81%，2小时对罗丹明B溶液的降解率为77%，降解率较Zn:Ti摩尔浓度为1 at.%和5 at.%要低，但还是要远远高于纯氧化钛薄膜降解率。
由实施例1至实施例3可以看出，运用原子层沉积技术低温下沉积的氧化锌掺杂氧化钛薄膜在可见光波段的光学透过率达到80%以上，2小时对罗丹明B溶液的降解率大大高于纯二氧化钛薄膜的降解率。
Claims (3)
1.一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一，用真空泵将反应腔抽到20hPa以下的低真空并加热到100～200℃，再用纯度为5N的高纯氮清洗反应腔；
步骤二，将衬底在高纯去离子水中超声清洗10-30分钟，用高纯氮枪吹干，保持玻璃衬底有清洁的表面；
步骤三，将前驱体四（二甲氨基）钛通入反应腔脉冲时间3秒，清洗四（二甲氨基）钛的脉冲时间为8秒；然后通入4秒的水蒸汽脉冲，再用10秒脉冲时间清洗掉多余的水蒸汽，至此完成一个循环的氧化钛的沉积；
步骤四，将前驱体二乙基锌通入2秒脉冲时间，清洗脉冲时间为6秒；通入水蒸汽脉冲4秒，清洗脉冲时间10秒，至此完成一个循环的氧化锌的沉积；
步骤五，多个沉积氧化钛的循环和1个沉积氧化锌的循环组成一个大循环，在完成多个大循环后即完成氧化锌掺杂氧化钛薄膜沉积过程，然后在450℃的温度下退火2小时。
2.根据权利要求1所述一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于，步骤二所述的衬底为玻璃、陶瓷、金属、高分子聚合物中的一种。
3.根据权利要求1所述一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法，其特征在于, 步骤五所述多个沉积氧化钛的循环数为20-200，所述多个大循环为10-100。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310264270.9A CN103361631B (zh) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201310264270.9A CN103361631B (zh) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN103361631A true CN103361631A (zh) | 2013-10-23 |
| CN103361631B CN103361631B (zh) | 2015-10-28 |
Family
ID=49363866
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201310264270.9A Expired - Fee Related CN103361631B (zh) | 2013-06-28 | 2013-06-28 | 一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN103361631B (zh) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104888612A (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用原子层沉积对微滤膜进行复合光催化剂改性的方法 |
| CN105084452A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-11-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于水处理无机膜的表面光催化改性的方法 |
| CN105483650A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-13 | 青岛水务集团有限公司科技中心 | 一种用于净水设备的光触媒二氧化钛镀膜玻璃丝及其制备方法 |
| CN106378198A (zh) * | 2016-08-17 | 2017-02-08 | 上海戊丰环保科技有限公司 | 一种光催化空气净化镀膜及其制备方法和应用方法 |
| CN106629839A (zh) * | 2016-11-10 | 2017-05-10 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种锐钛矿晶型二氧化钛光催化薄膜及原子层沉积制备方法和应用 |
| CN106884156A (zh) * | 2017-02-08 | 2017-06-23 | 复旦大学 | 一种靶板上修饰二氧化钛纳米薄膜的方法及其应用 |
| CN111822001A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-27 | 山东建筑大学 | 一种多层复合光催化薄膜材料及其制备方法和应用 |
| CN115558906A (zh) * | 2022-04-07 | 2023-01-03 | 天津大学 | 一种光催化消毒的金属氧化物超晶格异质结薄膜、制备方法及应用 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101003020A (zh) * | 2007-01-11 | 2007-07-25 | 南京大学 | 敏化的TiO2和ZnS的可见光响应光催化剂及制备方法 |
| CN101036886A (zh) * | 2007-02-09 | 2007-09-19 | 南京大学 | 介孔大比表面积二氧化钛和氧化锌的应用 |
| WO2012121677A1 (en) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | Nanyang Technological University | Method for depositing gradient films on a substrate surface by atomic layer deposition |
-
2013
- 2013-06-28 CN CN201310264270.9A patent/CN103361631B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101003020A (zh) * | 2007-01-11 | 2007-07-25 | 南京大学 | 敏化的TiO2和ZnS的可见光响应光催化剂及制备方法 |
| CN101036886A (zh) * | 2007-02-09 | 2007-09-19 | 南京大学 | 介孔大比表面积二氧化钛和氧化锌的应用 |
| WO2012121677A1 (en) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | Nanyang Technological University | Method for depositing gradient films on a substrate surface by atomic layer deposition |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| LAURA BORGESE ET AL.: "Tailoring phase and composition at the nanoscale: atomic layer deposition of Zn-Ti-O thin films", 《CRYSTENGCOMM》, vol. 13, no. 22, 5 October 2011 (2011-10-05) * |
| XU QIAN, ET AL.: "Preparation and phase structures of Zn-Ti-O ternary compounds by atomic layer deposition", 《JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A》, vol. 31, no. 1, 30 November 2012 (2012-11-30) * |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104888612A (zh) * | 2015-05-25 | 2015-09-09 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用原子层沉积对微滤膜进行复合光催化剂改性的方法 |
| CN104888612B (zh) * | 2015-05-25 | 2017-06-20 | 哈尔滨工业大学 | 一种利用原子层沉积对微滤膜进行复合光催化剂改性的方法 |
| CN105084452A (zh) * | 2015-08-17 | 2015-11-25 | 哈尔滨工业大学 | 一种用于水处理无机膜的表面光催化改性的方法 |
| CN105483650A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-04-13 | 青岛水务集团有限公司科技中心 | 一种用于净水设备的光触媒二氧化钛镀膜玻璃丝及其制备方法 |
| CN105483650B (zh) * | 2015-12-14 | 2017-12-22 | 青岛水务集团有限公司科技中心 | 一种用于净水设备的光触媒二氧化钛镀膜玻璃丝及其制备方法 |
| CN106378198A (zh) * | 2016-08-17 | 2017-02-08 | 上海戊丰环保科技有限公司 | 一种光催化空气净化镀膜及其制备方法和应用方法 |
| CN106629839A (zh) * | 2016-11-10 | 2017-05-10 | 上海纳米技术及应用国家工程研究中心有限公司 | 一种锐钛矿晶型二氧化钛光催化薄膜及原子层沉积制备方法和应用 |
| CN106884156A (zh) * | 2017-02-08 | 2017-06-23 | 复旦大学 | 一种靶板上修饰二氧化钛纳米薄膜的方法及其应用 |
| CN111822001A (zh) * | 2020-07-24 | 2020-10-27 | 山东建筑大学 | 一种多层复合光催化薄膜材料及其制备方法和应用 |
| CN115558906A (zh) * | 2022-04-07 | 2023-01-03 | 天津大学 | 一种光催化消毒的金属氧化物超晶格异质结薄膜、制备方法及应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN103361631B (zh) | 2015-10-28 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN103361631B (zh) | 一种用于光催化的氧化锌掺杂氧化钛薄膜的制备方法 | |
| Wang et al. | Efficient hydrogen production by photocatalytic water splitting using N-doped TiO2 film | |
| CN102641732B (zh) | 多形貌稀土掺杂BiVO4复合光催化剂及其制备方法 | |
| CN107570190B (zh) | 碳掺杂氮化碳薄膜电极的制备方法 | |
| CN107768524B (zh) | 一种高效稳定的钙钛矿太阳能电池及其制备方法 | |
| CN102534531A (zh) | 一种带隙可调的二氧化钛/氮化钛复合薄膜的制备方法 | |
| CN104525221A (zh) | 一种可见光响应的二氧化钛/硫化银复合薄膜制备的方法 | |
| CN101439873B (zh) | 一种氟基水溶液生长二氧化钛薄膜的方法 | |
| CN103736500B (zh) | 一种二氧化钛/硫化镉/二氧化钛复合薄膜及其应用 | |
| CN105948530A (zh) | 一种多孔网状结构BiVO4薄膜及其制备方法 | |
| CN101279761B (zh) | 一种制备氧化铜掺杂二氧化钛梯度薄膜的方法 | |
| CN103088295A (zh) | 一种巨红移高吸收钒镓共掺杂氧化钛薄膜的制备方法 | |
| WO2022127182A1 (zh) | 一种三元气体混合浴的钙钛矿薄膜的制备方法 | |
| CN108816264B (zh) | 一种超薄g-C3N4覆盖的TiO2同质异形阵列薄膜及其制备方法 | |
| CN104761152B (zh) | 一种沿(040)晶面取向生长的BiVO4薄膜的制备方法 | |
| CN105428542A (zh) | 高效率钙钛矿电池的制备方法 | |
| CN103007977B (zh) | 一种可见光响应改性纳米TiO2的制备方法 | |
| CN101710568B (zh) | 用醋酸镍溶液诱导晶化非晶硅薄膜的方法 | |
| CN105618037A (zh) | 一种二氧化钛-银复合光催化薄膜及其制备方法和应用 | |
| CN108389727B (zh) | 半导体复合异质结光电极及其制备方法 | |
| CN106076352A (zh) | 一种光电催化薄膜及其制备方法 | |
| CN113889580A (zh) | 一种提升杂化钙钛矿薄膜对光的吸收并增强其光电化学响应的改性方法 | |
| CN106268765B (zh) | 一种金属离子掺杂二氧化钛薄膜制备方法 | |
| CN109999848B (zh) | 一种化学气相沉积法制备的掺Ca正交相Ⅲ-Ⅵ族光催化材料 | |
| CN101875007A (zh) | 二氧化钛和掺硼金刚石复合光电协同电极的制备方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20151028 Termination date: 20180628 |
|
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |