CN103286056B - 超声波换能器元件芯片、探测器以及电子设备 - Google Patents

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Families Citing this family (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5990930B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5900107B2 (ja) * 2012-03-30 2016-04-06 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6102075B2 (ja) 2012-03-30 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6175780B2 (ja) 2013-01-28 2017-08-09 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP6206033B2 (ja) * 2013-09-24 2017-10-04 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサーデバイス及び超音波測定装置
JP6442821B2 (ja) * 2013-09-30 2018-12-26 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス及び電子機器
JP6229431B2 (ja) * 2013-10-28 2017-11-15 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波プローブヘッド、超音波プローブ、電子機器および超音波画像装置
JP2015097733A (ja) * 2013-11-20 2015-05-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びに電子機器および超音波画像装置
JP6281262B2 (ja) * 2013-11-29 2018-02-21 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置
JP6326833B2 (ja) * 2014-01-31 2018-05-23 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、プローブ、電子機器、超音波画像装置
CN106664494A (zh) * 2014-07-04 2017-05-10 精工爱普生株式会社 超声波传感器
JP6299511B2 (ja) * 2014-07-31 2018-03-28 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス並びにプローブおよび電子機器
JP2016033970A (ja) * 2014-07-31 2016-03-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイスおよびその製造方法並びにプローブおよび電子機器
JP6402983B2 (ja) * 2014-08-29 2018-10-10 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波デバイスの製造方法、超音波プローブ、超音波測定装置、電子機器
JP6314777B2 (ja) * 2014-09-30 2018-04-25 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー並びにプローブおよび電子機器
JP6536792B2 (ja) * 2015-03-25 2019-07-03 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー及びその製造方法
JP6610058B2 (ja) * 2015-07-29 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、及び電子機器
JP2017046811A (ja) * 2015-08-31 2017-03-09 セイコーエプソン株式会社 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定機
JP6610883B2 (ja) 2015-12-17 2019-11-27 セイコーエプソン株式会社 超音波センサー用の圧電デバイス
JP6693154B2 (ja) * 2016-02-04 2020-05-13 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波プローブ、超音波装置、超音波トランスデューサーの製造方法、及び振動装置
US11039814B2 (en) * 2016-12-04 2021-06-22 Exo Imaging, Inc. Imaging devices having piezoelectric transducers
JP2018129402A (ja) 2017-02-08 2018-08-16 セイコーエプソン株式会社 圧電素子及びその製造方法
CN109087999A (zh) * 2018-08-22 2018-12-25 京东方科技集团股份有限公司 柔性基底及其制备方法、柔性有机发光二极管显示基板
WO2020188866A1 (ja) * 2019-03-18 2020-09-24 株式会社村田製作所 圧電デバイス
JP1650087S (enExample) * 2019-05-23 2020-01-20
USD941168S1 (en) * 2019-10-22 2022-01-18 Kabushiki Kaisha Toshiba Vibration sensor
JP6776481B1 (ja) * 2020-01-30 2020-10-28 サンコール株式会社 超音波トランスデューサー及びその製造方法
JP7645086B2 (ja) * 2021-01-29 2025-03-13 株式会社ディスコ 剥離装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1802036A (zh) * 2004-10-15 2006-07-12 株式会社东芝 超声波探头
CN101237947A (zh) * 2005-08-05 2008-08-06 皇家飞利浦电子股份有限公司 弯曲的二维阵列换能器
WO2009061970A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-14 Akrion Technologies, Inc. Composite transducer apparatus and system for processing a substrate and method of constructing the same
WO2010044312A1 (ja) * 2008-10-17 2010-04-22 コニカミノルタエムジー株式会社 アレイ型超音波振動子

Family Cites Families (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2794720B2 (ja) * 1988-08-23 1998-09-10 松下電器産業株式会社 複合圧電振動子
JP2000233158A (ja) * 1999-02-12 2000-08-29 Omron Corp 噴霧装置
TW449486B (en) * 2000-07-24 2001-08-11 Ind Tech Res Inst Composite ultrasonic therapeutic energy converter and method for making the same
JP4228827B2 (ja) * 2003-07-31 2009-02-25 パナソニック電工株式会社 圧電型超音波センサ及びその共振周波数調節方法
JP4688213B2 (ja) * 2003-10-02 2011-05-25 株式会社日立メディコ 超音波探触子、超音波撮像装置および超音波撮像方法
US7449821B2 (en) 2005-03-02 2008-11-11 Research Triangle Institute Piezoelectric micromachined ultrasonic transducer with air-backed cavities
CN101160098B (zh) * 2005-05-09 2011-01-05 株式会社日立医药 超声波诊断装置
FR2940579B1 (fr) * 2008-12-23 2012-09-28 Ixsea Transducteur d'ondes acoustiques et antenne sonar de directivite amelioree.
JP5434109B2 (ja) 2009-02-06 2014-03-05 セイコーエプソン株式会社 超音波センサーユニット
JP5310119B2 (ja) 2009-03-06 2013-10-09 セイコーエプソン株式会社 超音波センサーユニット
JP2010233609A (ja) * 2009-03-30 2010-10-21 Fujifilm Corp 超音波診断装置及び接触状態判断方法
KR101068918B1 (ko) * 2009-06-23 2011-09-30 삼성메디슨 주식회사 초음파 진단기의 트랜스듀서 및 그 트랜스듀서의 제조 방법
JP4947115B2 (ja) 2009-09-30 2012-06-06 株式会社村田製作所 超音波トランスデューサ
JP2011082624A (ja) 2009-10-02 2011-04-21 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 近接超音波センサ
JP5671876B2 (ja) 2009-11-16 2015-02-18 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー、超音波センサー、超音波トランスデューサーの製造方法、および超音波センサーの製造方法
US8710717B2 (en) * 2010-01-29 2014-04-29 Research Triangle Institute Piezoelectric ultrasonic transducer apparatus
JP2011250119A (ja) * 2010-05-26 2011-12-08 Toshiba Corp 超音波プローブ
CN202037116U (zh) * 2011-05-05 2011-11-16 重庆市伟岸测器制造股份有限公司 超声换能器
JP5990930B2 (ja) * 2012-02-24 2016-09-14 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP5900107B2 (ja) * 2012-03-30 2016-04-06 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置
JP6102075B2 (ja) * 2012-03-30 2017-03-29 セイコーエプソン株式会社 超音波トランスデューサー素子チップおよびプローブ並びに電子機器および超音波診断装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1802036A (zh) * 2004-10-15 2006-07-12 株式会社东芝 超声波探头
CN101237947A (zh) * 2005-08-05 2008-08-06 皇家飞利浦电子股份有限公司 弯曲的二维阵列换能器
WO2009061970A1 (en) * 2007-11-06 2009-05-14 Akrion Technologies, Inc. Composite transducer apparatus and system for processing a substrate and method of constructing the same
WO2010044312A1 (ja) * 2008-10-17 2010-04-22 コニカミノルタエムジー株式会社 アレイ型超音波振動子

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Publication number Publication date
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US9592534B2 (en) 2017-03-14
KR20130097655A (ko) 2013-09-03

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