CN103165858A - 电极的制造方法 - Google Patents

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Abstract

一种电极的制造方法，具有涂布工序和干燥工序，涂布工序对送出的金属箔（3）涂布涂布材料（4）形成涂膜箔（2），干燥工序是通过送出而移动的涂膜箔（2）通过沿着送出路径的线上配置的干燥装置（10）的干燥炉（20），并且通过加热使涂膜箔（2）干燥的工序，干燥炉（20）由在三处区划配置的4个干燥室（21、22、23、24）构成，至少具有干燥工序中涂膜箔（2）最先通过的第1干燥室（21）和接着第1干燥室（21）通过的第2干燥室（22），通过在相对于沿着送出路径的送出方向F正交的截面使第1干燥室（21）的截面（S1）面积比第2干燥室（22）的截面（S2）面积小，使第1干燥室（21）的容积（V1）比第2干燥室（22）的容积（V2）小。

Description

电极的制造方法
技术领域
本发明涉及电极的制造方法，对于电池的电极，将对送出的金属箔涂布糊状的涂布材料而形成有涂膜的涂膜箔，一边送出一边通过线上的干燥装置的炉内使其干燥。 
背景技术
近年来，锂离子电池等的二次电池在例如混合动力车、电动汽车之外，还被用于便携电话和便携设备等的电源。在锂离子电池的情况下，电池的制造工序之中进行涂布工序，上述涂布工序一边利用送出装置将金属箔从卷绕成辊状的生箔（raw foil roll）呈平面状地送出，一边在涂布装置中，在由支承辊（backup roller）支持的该金属箔（集电体）上，涂布由模（die）吐出的涂布材料而形成涂布箔。接下来的工序的干燥工序，将涂布箔通过设置在涂布箔的送出路径的线上的干燥装置的炉内使其干燥。涂布材料是糊状的涂布液，上述涂布液是在涂布工序前预先将多种活性物质以及将这些活性物质彼此、和活性物质与集电体进行粘结的粘合剂树脂等在溶剂（水或有机溶剂）中混合来制作的。该涂布材料在电极为正极的情况下，作为活性物质含有正极活性物质，还含有对该正极活性物质赋予导电性的导电材料。另外，在电极为负极的情况下，作为活性物质含有负极活性物质。 
然而，在干燥工序中，如果在干燥装置的炉内使涂布箔急剧地干燥，则由于涂膜中所含有的溶剂的蒸发，在涂膜表层发生龟裂，此外在干燥中粘合剂树脂向涂膜的表层侧移动并固化，由此出现涂膜中发生偏析（迁移、migration）的问题。如果在涂膜中发生龟裂和/或迁移，则涂膜和集电体的密合力降低，在干燥工序及其以后的工序中，有涂膜和集电体剥离之虞，这样的电池在品质管理方面不能够作为制品使用。以往，作为避免上述问 题的干燥工序的一例，公开了专利文献1、2。 
图9表示说明专利文献1涉及的干燥工序的图。在专利文献1中，如图9所示，将干燥炉170分为沿着运送路径连续的3个区域（area）172、174、176，涂布工序后，一边利用运送装置将形成为集电体片120的涂膜从入口侧的第1区域172经由第2区域174向出口侧的第3区域176运送，一边以该顺序使其通过来进行干燥。涂膜首先在第1区域172，与加热器192一同通过加湿器100喷吹100℃、90%RH以上的热风后，在第2区域174喷吹120℃的热风，在最后的第3区域176喷吹150℃的热风使其干燥。 
另外，专利文献2为了使涂布了树脂液的片坯料干燥，通过预先对片坯料的表面喷吹高温的水蒸气（约100℃的饱和蒸气），将树脂液的干燥速度调整为与不引起偏析的干燥速度大致同等。 
现有技术文献 
专利文献1：日本特开2004-319117号公报 
专利文献2：日本特开平11-14250号公报 
发明内容
但是，在专利文献1、2中存在如下的问题。在专利文献1中，在干燥炉内的三个区域之中的入口侧的第1区域172，喷吹预先以90%RH以上提高了湿度的热风使涂膜含有湿气，因此在干燥装置中，除了加湿热风的加湿器100以外，还需要由水供给源对加湿器100供给水的设备。因此，干燥装置大型化，并且随着加湿器100的设置，加湿额外地花费了成本。另外，在专利文献1中，必须同时地进行在第1区域172中的热风的湿度管理、和在第2区域174与第3区域176中的相应于第1区域172内的湿度的各自的温度调整，需要温度和湿度的复杂控制，以使得处于加湿的状态的涂膜不引起偏析。 
在专利文献2中，对涂布有树脂液的片坯料喷吹高温的水蒸气，使该片坯料含有湿气，因此需要同时地进行对于加湿了的片坯料的湿度管理和在不引起偏析的干燥速度下加热的温度调整，与专利文献1同样需要温度 和湿度的复杂控制。 
本发明是为了解决上述问题完成的，其目的是提供一种电极的制造方法，该制造方法能够对于在金属箔上涂布了糊状的涂布材料的涂膜箔，抑制迁移并且效率良好地干燥，能够以低成本制造电极。 
（1）为了解决上述课题，本发明的一方式涉及的电极的制造方法，其特征在于，具有涂布工序和干燥工序，上述涂布工序对送出的金属箔涂布涂布材料形成涂膜箔，上述干燥工序是通过送出而移动的上述涂膜箔一边通过沿着送出路径的线上配置的干燥装置的干燥炉，一边通过加热使上述涂膜箔干燥的工序，上述干燥炉由在多个部位区划配置而成的多个干燥室构成，至少具有在上述干燥工序中上述涂膜箔最先通过的第1干燥室和接着上述第1干燥室通过的第2干燥室，通过在相对于沿着上述送出路径的送出方向正交的截面使上述第1干燥室的面积比上述第2干燥室的面积小，上述第1干燥室的容积变得比上述第2干燥室的容积小。 
（2）在上述构成（1）中，优选：在上述涂布材料中含有溶剂，上述第1干燥室形成为使从上述涂膜箔蒸发出的上述溶剂的浓度接近饱和状态的气氛。 
（3）在上述构成（1）中，优选：在上述第1干燥室中，在阻止了热风的输送的气氛下，上述涂膜箔通过红外线加热器被加热。 
（4）在上述构成（2）中，优选：在上述第1干燥室中，在阻止了热风的输送的气氛下，上述涂膜箔通过红外线加热器被加热。 
（5）在上述构成（3）中，优选：在上述第2干燥室及其以后的上述干燥室中，上述涂膜箔暴露在输送有热风的气氛下。 
（6）在上述构成（4）中，优选：在上述第2干燥室及其以后的上述干燥室中，上述涂膜箔暴露在输送有热风的气氛下。 
（7）在上述构成（5）中，优选：上述金属箔的送出使用辊，该辊配置为与上述涂膜箔或上述金属箔的至少任一个接触，并由从被输送有热风的上述干燥室排放的排放热而被加热，上述涂膜箔利用在上述加热了的辊上所蓄积的热而被预热。 
（8）在上述构成（6）中，优选：上述金属箔的送出使用辊，该辊配置为与上述涂膜箔或上述金属箔的至少任一个接触，并由从被输送有热风的上述干燥室排放的排放热加热，上述涂膜箔利用在上述加热了的辊上所蓄积的热而被预热。 
（9）在上述构成（1）或（2）中，优选：上述第1干燥室内的内部压力和在上述第1干燥室的上游侧邻接的上述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者上述第1干燥室的上述内部压力在容许误差的范围内比上述外部压力高。 
（10）在上述构成（3）或（4）中，优选：上述第1干燥室内的内部压力和在上述第1干燥室的上游侧邻接的上述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者上述第1干燥室的上述内部压力在容许误差的范围内比上述外部压力高。 
（11）在上述构成（5）或（6）中，优选：上述第1干燥室内的内部压力和在上述第1干燥室的上游侧邻接的上述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者上述第1干燥室的上述内部压力在容许误差的范围内比上述外部压力高。 
（12）在上述构成（7）或（8）中，优选：上述第1干燥室内的内部压力和在上述第1干燥室的上游侧邻接的上述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者上述第1干燥室的上述内部压力在容许误差的范围内比上述外部压力高。 
再者，在上述构成（9）~（12）中，所谓「容许误差的范围」，以在第1干燥室内、和第1干燥室的外部，起因于例如空气层的密度分布的不均、空气层的温度分布的不均、人为的计测误差等而微妙地产生的误差为对象。并且，对于这样的误差，例如10Pa以内的范围等纳入对从涂膜箔蒸发的溶剂的蒸发速度基本上不造成影响的程度，称为可容许的范围。 
根据上述方式（1），涂布工序后，涂膜中具有湿气的状态的涂膜箔在干燥工序中，进入加热了的干燥室中。涂布材料中所含有的溶剂（例如有机溶剂系溶剂、水系溶剂等）首先在第1干燥室内从涂膜开始蒸发。此时， 在以第1干燥室为首的各干燥室中，干燥工序中，流出流入干燥室的空气的流动分别为恒定状态，在干燥室内空气的流动处于平衡状态，因此如果第1干燥室的容积与第2干燥室的容积相比，减小上述截面的面积而变小，则在第1干燥室内的空气中蒸发的溶剂的浓度变得比在第2干燥室内的空气中蒸发的溶剂的浓度高。在第1干燥室内，蒸发出的溶剂的浓度处于越高的状态，室内的溶剂气氛就越在较短时间成为饱和状态，从该状态开始在第1干燥室内，能够抑制涂膜箔的涂膜上残存的溶剂从涂膜的涂膜表面蒸发。因而，即使涂膜箔通过加热了的气氛下的第1干燥室，也难以引起湿润状态的涂膜在第1干燥室急剧地干燥，能够抑制起因于涂膜的急剧干燥的迁移的产生。 
即，涂膜箔的涂膜由糊状的涂布液构成，上述涂布液是在涂布工序前预先将多种活性物质（在电极为正极的情况下为正极活性物质、为负极的情况下为负极活性物质）以及将这些活性物质彼此、和活性物质与集电体进行粘结的粘合剂树脂等在溶剂（水或有机溶剂）中混合来制作的。如果涂膜箔（涂膜）进入处于加热状态的气氛的干燥炉内，则涂膜中所含有的溶剂蒸发，第1干燥室内的气氛由于蒸发出的溶剂，浓度逐渐变高，接近饱和状态。 
另一方面，如果涂膜箔进入处于加热状态的气氛下的干燥炉内，则涂膜中所含有的溶剂蒸发，并且除了活性物质彼此以外，活性物质和金属箔也由粘合剂树脂粘结，得到干燥的状态的涂膜。涂膜箔首先通过第1干燥室时，首先存在于涂膜的表面侧的溶剂开始蒸发，涂膜表面侧的溶剂的浓度逐渐变小。与此相对，在涂膜的厚度方向内部，在金属箔和涂膜的界面附近，存在于与涂膜表面相反侧（涂膜背面侧）的溶剂的浓度处于接近进入第1干燥室前的初始浓度的状态，在涂膜表面侧和涂膜背面侧之间产生溶剂的浓度差。 
如果在该溶剂的浓度差的大小较大、并且引起该浓度差的时间短的急剧的干燥速度下使涂膜干燥，则残存于涂膜背面侧的溶剂在干燥室内的气氛下急剧地蒸发，随着该急剧的溶剂蒸发，处于涂膜背面侧的粘合剂树脂 也向涂膜表面侧移动。并且，残存于涂膜背面侧的溶剂结束蒸发时，移动到涂膜表面侧的粘合剂树脂在涂膜表面侧固化，在涂膜中，在涂膜表面侧和涂膜背面侧引起粘合剂树脂带来的偏析（迁移）。如果发生迁移，则特别是在金属箔和涂膜的界面，金属箔和涂膜（活性物质等）的密合力降低。 
在上述方式的电极的制造方法中，在第1干燥室内的空气中蒸发的溶剂的浓度比在第2干燥室的空气中蒸发的溶剂的浓度高，在第1干燥室内，蒸发出的溶剂的浓度处于越高的状态，室内的溶剂气氛就越在较短时间成为饱和状态。在第1干燥室内，由该状态开始能够抑制残存于涂膜箔的涂膜中的溶剂从涂膜的涂膜表面蒸发，因此残存于涂膜表面侧的溶剂的浓度降低可抑制为较小，对于残存于涂膜背面侧的溶剂的浓度，也容易维持在接近涂膜箔进入第1干燥室前的初始浓度的状态。因此，即使涂膜箔进入第1干燥室，在涂膜中也能够在残存于涂膜表面侧的溶剂的浓度和残存于涂膜背面侧的溶剂的浓度之间抑制溶剂的浓度差更小。 
这样在涂膜中，通过在涂膜表面侧和涂膜背面侧之间将溶剂的浓度差抑制为较小，进入到第1干燥室的涂膜箔的涂膜能够使干燥速度更低地进行干燥，因此能够抑制在涂膜中，涂膜背面侧的粘合剂树脂随着残存于涂膜背面侧的溶剂的急剧蒸发而向涂膜表面侧移动。即，在涂膜中，由于残存于涂膜背面侧的溶剂的急剧蒸发，移动到涂膜表面侧的粘合剂树脂在涂膜表面侧固化而产生的迁移被抑制，能够抑制金属箔和涂膜（活性物质等）的密合力降低。 
因而，即使涂膜箔通过加热了的气氛下的第1干燥室，也难以引起湿润状态的涂膜在第1干燥室急剧地干燥，能够抑制起因于涂膜的急剧干燥的迁移的发生。特别是上述方式的发明涉及的电极的制造方法，能够无论电极是正电极或负电极、并且无论溶剂的种类而抑制这样的迁移的发生。 
另外，第1干燥室通过使沿着送出方向的第1干燥室的总长（室内长）至少不比第2干燥室的总长（室内长）小而减小截面的面积，由此设定容积比第2干燥室小。因此，可避免涂膜箔通过第1干燥室的时间比涂膜的加热所需要的时间短从而不能够有效地加热涂膜，能够效率良好地进行对 涂膜的加热、干燥。 
另外，以往为了不引起迁移，涂膜的加湿后进行用热风干燥该涂膜的操作。因此，干燥装置中除了干燥炉以外还需要设置加湿器，而且在涂膜的干燥时，在干燥装置中需要温度和湿度的复杂控制。与此相对，上述方式的发明涉及的电极的制造方法，不需要对涂膜加湿，例如，仅利用第1干燥室的温度控制等即可，因此为使涂膜干燥所需要的控制没有复杂化。另外，不需要加湿涂膜，因此不设置加湿器，相应地干燥装置能够小型化，不花费与加湿相伴的额外的成本，能够以低成本实现涂膜的干燥。 
因此，根据上述方式的电极的制造方法，发挥下述优异的效果，对于在金属箔上涂布了糊状的涂布材料的涂膜箔，抑制迁移并且效率良好地使其干燥，从而能够以低成本制造电极。 
另外，根据上述构成（2），在涂膜箔通过第1干燥室时，能够抑制来自涂膜表面的溶剂的蒸发，在残存于涂膜中的溶剂包含在涂膜内部的状态下将涂膜箔送到第2干燥室。 
另外，根据上述构成（3）或（4），从红外线加热器发射出的红外线被涂膜吸收而加热该涂膜时，涂膜表面和涂膜内部以更均匀的温度分布被加热，能够将涂膜同样地进行预热。 
另外，根据上述构成（5）或（6），在例如利用将第1干燥室设定为在超过300℃的温度的高温下进行加热的气氛，并将第2干燥室设定为输送温度为100℃附近的热风的气氛的干燥炉等，使涂膜箔干燥的情况下，如果在第2干燥室输送热风并且进行与该送风相伴的排气，则第2干燥室内的压力比不进行送风和排气的第1干燥室内的压力低。如果溶剂暴露在压力低的气氛下，则溶剂在物性方面变得容易蒸发。由此，通过将在第1干燥室中，抑制残存的溶剂的蒸发，并且利用高温的加热器均匀地预热了的涂膜箔（涂膜），在与第1干燥室相比低温且低压的第2干燥室中通过，能够在比引起迁移的急剧的干燥速度缓慢的干燥速度下，从涂膜表面向涂膜内部逐渐地除去残存在涂膜中的溶剂的湿气，能够抑制迁移的发生并效率良好地干燥涂膜。 
另外，根据上述构成（7）或（8），在例如对于与金属箔接触的送出辊、与涂膜箔接触的送出辊等的辊，从辊的芯材向辊外周面传递排放热，在辊上蓄积热时，在送出时，在辊上所蓄积的热向与辊接触的涂布中的金属箔、涂膜箔传递从而加热涂膜。此时，辊与金属箔的一面、在涂膜箔形成有涂膜的面的相反侧的面（金属箔的一面）直接接触并且旋转。由此，在辊上所蓄积的热向即将涂布的金属箔的一面侧全面、涂布后的涂膜箔的涂膜上分别均匀地传递，可以在其面方向上没有不均地加热涂布了的涂膜。因而，通过除了在第1干燥室中从表面侧加热涂膜以外，利用在辊上所蓄积的热从表面侧及其相反侧（与金属箔的另一面的界面侧，涂膜的背面侧）两方加热涂膜，涂膜对于其厚度方向和面方向，以更加均匀的状态效率良好地被预热，能够抑制涂膜的干燥从表面侧单方地进行。 
另外，根据上述构成（9）~（12），能够抑制第1干燥室外部的外界气体，在第1干燥室的上游侧，从涂膜箔的送出路径上的开口部流入到第1干燥室内。由此，在第1干燥室中，蒸发的溶剂的浓度不因外界气体的流入而暂时地变低，容易快速地成为饱和状态。另外，由于没有外界气体的流入，能够促进对涂膜箔的预热。 
即，第1干燥室外部的外界气体，与在第1干燥室内的空气中蒸发出的溶剂的浓度相比为低浓度，而且与第1干燥室内的气氛相比为低温。如果这样的第1干燥室外部的外界气体流入第1干燥室内，则在第1干燥室蒸发出的溶剂的浓度比流入前变低，从成为饱和状态的浓度远离。另外，通过低温的外界气体流入第1干燥室内，第1干燥室的气氛的温度降低。其结果，发生残存于涂膜箔中的溶剂的蒸发，不能够充分地阻止涂膜快速地干燥，而且由于低温的外界气体，涂膜的预热被阻碍，从而不优选。 
附图说明
图1是作为代表性的概略图表示实施方式涉及的电极的制造方法的干燥工序的说明图。 
图2是用图1中的A-A向视截面图表示实施方式涉及的涂膜箔的图。 
图3是图1中的B-B向视截面图，是表示涂膜箔通过的第1干燥室内的图。 
图4是图1中的C-C向视截面图，是表示涂膜箔通过的第2干燥室内的图。 
图5是说明实施例1~6涉及的电极的制造方法的概略图。 
图6是对于实施方式涉及的电极的制造方法，将实施例1~6及其比较例1~8涉及的干燥工序的设定条件、以及涂膜的剥离强度进行归纳表示的表。 
图7是对于实施例1、5和比较例1~6的涂膜的剥离强度，再次表示图6示出的测定结果的表。 
图8是说明变形例涉及的电极的制造方法的概略图。 
图9是概略地示出现有技术中的干燥工序的说明图。 
具体实施方式
以下，将本发明具体化并对于最佳的方式，一边参照附图一边详细地说明。 
在本实施方式的电极的制造方法中，以例如作为用于混合动力车或电动汽车等的驱动电源的电池的锂离子电池等的二次电池所使用的电极为对象，对于该电极的制造工序之中的、涂布工序和干燥工序进行说明。图1是作为代表性的概略图表示本实施方式涉及的电极的制造方法的干燥工序的说明图。图2是用图1中的A-A向视截面图表示实施方式涉及的涂膜箔的图。 
首先，对于涂膜箔2简单地说明。涂膜箔2由金属箔3和涂布材料4构成，经过规定的制造工序成为电极1。在电极1为正极的情况下，涂布材料4是糊状的涂布液，上述糊状的涂布液是在涂布工序前预先将多种正极活性物质、对这些正极活性物质赋予导电性的导电材料、和将这些正极活性物质彼此粘结并且将正极活性物质、导电材料和金属箔3（集电体）进行粘结的粘合剂树脂等在溶剂（水或有机溶剂）中混合来制作的。另外， 在电极1为负极的情况下，涂布材料4是糊状的涂布液，上述糊状的涂布液是在涂布工序前预先将多种负极活性物质、和将这些负极活性物质彼此粘结并且将负极活性物质和金属箔3（集电体）进行粘结的粘合剂树脂等在溶剂（水或有机溶剂）中混合来制作的。 
接着，对于涂布工序进行说明。在涂布工序中，对送出的金属箔3涂布涂布材料4形成涂膜箔2。具体地讲，通过未图示的运送装置的卷出部，金属箔3如图1所示地，以挂绕在支承辊61和送出辊62上旋转的状态移动，朝向卷绕部64沿送出方向F送出。支承辊61在与模63的模口（die slit）63a对向的位置夹持金属箔3，以规定间隔离间地配置。在涂布工序中，以规定速度送出金属箔3，同时供给到模63的涂布材料4如图1和图2所示，由支承辊61的外周面，在支持作为金属箔3的一面的未涂布面3b的状态下，从模口63a以一定的流量吐出，在作为金属箔3的另一面的涂布面3a上涂布。于是，通过涂布材料4在金属箔3的涂布面3a涂布为规定厚度（图2中，上下方向的大小），可得到在金属箔3的涂布面3a上形成了涂膜5的涂膜箔2。 
接着，对于干燥工序进行说明。干燥工序，利用卷出部送出沿着送出方向F移动的涂膜箔2如图1所示，一边通过沿着送出路径的线上配置的干燥装置10的干燥炉20，一边通过加热使涂膜箔2干燥。 
干燥装置10大致区分具有干燥炉20和供气部40。干燥炉20在本实施方式中，如图1所示，由在3个部位区划配置而成的4个干燥室（第1干燥室21、第2干燥室22、第3干燥室23、第4干燥室24）构成。第1~第4干燥室21、22、23、24以各个干燥室中各自的气氛尽量保持固定的方式，将处于相邻的干燥室间的送出路径上的开口部确保为移动的涂膜箔2不干涉的程度来进行区划。 
第1干燥室21是在干燥工序中涂膜箔2首先通过的干燥室。第2干燥室22是接着第1干燥室21通过的干燥室。图3是图1中的B-B向视截面图，是表示涂膜箔通过的第1干燥室21的内部的图。图4是图1中的C-C向视截面图，是表示涂膜箔通过的第2干燥室22的内部的图。 
第1~第4干燥室21、22、23、24，将沿着送出方向F的室内长在各干燥室都形成为相同长度。在第1干燥室21和第2干燥室22，如图3和图4所示，相对于沿着送出路径的送出方向F正交的截面的面积，使第1干燥室21的截面积S1比第2干燥室22的截面积S2小，第1干燥室21的容积V1变得比第2干燥室22的容积V2小。 
在第1干燥室21中，红外线加热器31配置在室内的顶棚侧和底板侧的两侧（图1中，上下两侧），以使得红外线能够均匀地辐射到图2所示的涂膜箔2中的涂膜5的涂膜表面（图2中上表面）5a的整个面、和金属箔3的未涂布面（图2中下表面）3b整个面。在干燥工序中，始终处于送出状态的涂膜箔2在第1干燥室21内通过时，涂膜箔2在不输送热风的气氛下，利用红外线加热器31，在300℃以上的高温下进行加热。 
另外，第1干燥室21的上游侧（图1中，左侧）开口部形成为移动的涂膜箔2不干涉的程度的大小，以满足第1干燥室21内的压力（第1干燥室的内压P1i）和在第1干燥室21的上游侧邻接的第1干燥室21的外部压力（第1干燥室的外压P1o）的差压为零，或者第1干燥室的内压P1i在容许误差的范围内比第1干燥室的外压P1o高的条件。再者，所谓「容许误差的范围」，以在第1干燥室21内、和第1干燥室21的外部，起因于例如空气层的密度分布的不均、空气层的温度分布的不均、人为的计测误差等而微妙地产生的误差为对象。并且，对于这样的误差，例如10Pa以内的范围等纳入对从涂膜箔2蒸发的溶剂的蒸发速度基本上不造成影响的程度称为可容许的范围。 
另外，第2~第4干燥室22、23、24中，吹出热风的送风喷嘴42、43、44，以能够对涂膜箔2中的涂膜5的涂膜表面5a整个面、和金属箔3的未涂布面3b整个面进行喷吹的方式，配置在室内的顶棚侧和底板侧的两侧。在干燥工序中，在第2干燥室22及其以后的干燥室（第2~第4干燥室22、23、24），通过第1干燥室22后的涂膜箔2被暴露在输送有热风HF的气氛下。 
具体地讲，供气部40具备送风机等的送风单元，能够通过连接的供气 管42I、供气管43I和供气管44I，分别向第2干燥室22内的送风喷嘴42、第3干燥室23内的送风喷嘴43、第4干燥室24内的送风喷嘴44，可调整风量地供给常温的空气。在供气管42I内设置有加热器32，在供气管43I内设置有加热器33，在供气管44I内设置有加热器34。 
在供气部40被输送的空气，被加热器32加热到规定的设定温度，成为热风并从送风喷嘴42喷吹到第2干燥室22内。同样地，在供气部40被输送的空气，被加热器33加热到与加热器32独立的规定的设定温度，成为热风并从送风喷嘴43喷吹到第3干燥室23内。同样地，在供气部40被输送的空气，被加热器34加热到与加热器32、33独立的规定的设定温度，成为热风并从送风喷嘴44喷吹到第4干燥室24内。 
另外，通过从输送有热风的第2~第4干燥室22、23、24排放的排放热HT，分别加热作为用于送出的辊的、与金属箔3接触的支承辊61和与涂膜箔2接触的送出辊62，涂膜箔2利用在支承辊61和送出辊62上所蓄积的热而被预热。 
另一方面，在第2干燥室22中配置排气管52E，与来自送风喷嘴42的送风相伴，从排气管52E进行第2干燥室22内的排气。同样地，在第3干燥室23中配置排气管53E，与来自送风喷嘴43的送风相伴，从排气管53进行第3干燥室23内的排气。同样地，在第4干燥室24中配置排气管54E，与来自送风喷嘴44的送风相伴，从排气管54E进行第4干燥室24内的排气。 
排气管52E、排气管53E和排气管54E，与排气管50E并列地连接，来自第2~第4干燥室22、23、24的排气EG通过排气管50E，被供给到公知技术的热交换器55的输入侧。热交换器55的输出侧与排放热路径56E和排放热路径57E连接。排放热路径56E被构成为：相对于支承辊61的芯部和送出辊62的芯部并列地排列，能够将排气EG的排放热HT从热交换器55向支承辊61的芯部和送出辊62的芯部分别地传热。 
另外，在本实施方式中，被构成为排放热路径57E与模63连接，能够通过排气EG的排放热HT加热从模口63a吐出的涂布材料4。由此， 将涂布材料4在金属箔3的涂布面3a上涂布时，涂布材料4能够以更高的温度从模口63a吐出，由于涂布材料4的高温化，涂布时的涂布材料4的粘性可以更低，因此能够得到涂膜5以更均匀的涂覆量（coating thickness，coating weight）形成于涂布面3a上的涂膜箔2。 
接着，为了确认本实施方式的电极的制造方法的重要意义，进行实施例1~6的调查和比较例1~8的调查。对于该确认调查，使用图5和图6进行说明。图5是说明实施例1～6的电极的制造方法的概略图。图6是对于实施方式涉及的电极的制造方法，将实施例1~6及其比较例1~8涉及的干燥工序的设定条件、以及涂膜的剥离强度进行归纳表示的表。 
首先，对于实施例1~6和比较例1~8的调查的相同条件进行说明。相同条件如下。 
[相同条件] 
A.涂膜箔 
（1）制造对象的电极的正负：负极 
（2）涂布材料的成分比例： 
负极活性物质：CMC：粘合剂SBR＝98.3：0.7：1 
（3）溶剂：水 
（4）糊固体成分分率：54% 
（5）涂布面、涂覆量：金属箔3的单面、95g/m2
（6）涂布速度：10m/分钟 
B.干燥室 
（7）干燥室的数目和室内长度：3个（第1干燥室21、第2干燥室22、第3干燥室23）、各4m 
（8）第2干燥室22的高度：图4所示的h2＝50cm 
（9）气氛温度：第1干燥室21为350℃、 
第2干燥室22为110℃、 
第3干燥室23为130℃ 
（10）第2干燥室22的内外的压力差（差压）：室内压力P2i比室外 压力P1o低20Pa 
（11）第3干燥室23的内外的压力差（差压）：室内压力比室外压力低10Pa 
（12）热风：有（第2干燥室22、第3干燥室23） 
[不同的条件] 
B.干燥室 
（13）第1干燥室21的热源：红外线加热器31（在图6等中表示为「IR」）或者热风 
（14）第1干燥室21中有热风的情况的温度：90℃ 
（15）第1干燥室21的高度：图3所示的h1＝20、25、30、40、50cm 
（16）第1干燥室21的内外的压力差（差压）： 
·室内压力P1i和室外压力p1o为相同压力的情况、 
·室内压力P1i比室外压力p1o低10或20Pa的情况、 
·室内压力P1i比室外压力p1o高5Pa的情况 
C.其他 
（17）由排放热HT进行的辊（支承辊61和送出辊62）的加热的有无：有加热（60℃）或者无加热 
（18）涂膜箔的送出路径的位置： 
·各干燥室的高度方向中央（在图6中表示为「中」）、 
·距各干燥室的高度方向最上端7cm的下方的位置（在图6中表示为「上」） 
接着，对于确认调查的评价方法进行说明。在评价确认调查时，对干燥后的涂膜箔2进行取样制作试件，在该试件的涂膜5的涂膜表面5a上贴附例如在表面具有粘着性的带等的粘结构件。贴附后，在将该粘结构件和试件的金属箔3相互离间的方向上作用外力，利用每单位长度的试件，获得涂膜5从金属箔3的涂布面3a剥离时的外力的大小（剥离强度N/m）。 
确认调查的评价判定，在本实施方式中，以剥离强度2.0N/m左右作为是否良好的判断基准，剥离强度的数值与2.0N/m相比越大，金属箔3和涂 膜5的密合力就越高，涂膜5越牢固地稳定附着在金属箔3上。即，金属箔3和涂膜5的密合力高是由于在进行涂膜箔2的干燥工序的中途，混合有涂布材料4的溶剂中所含有的粘合剂树脂没有向涂膜5的涂膜表面5a侧移动固化，涂膜5在均匀的状态下逐渐干燥的缘故。因此，意味着涂膜箔2（电极1）难以在涂膜5中引起起因于涂膜箔的涂膜急剧干燥所引起的偏析（迁移）。 
接着，将确认调查的结果示于图6和图7。图7是对于实施例1、5和比较例1~6的涂膜的剥离强度，再次表示图6所示的测定结果的表。 
可从图6所示的表容易地理解，在比较例1~7的确认调查中，判断任一剥离强度都低于评价判定的判断基准值2.0N/m。另一方面，在实施例1~6和比较例8中，判断任一剥离强度都以1.5~2倍以上的大小高于判断基准值2.0N/m。 
接着，对于确认调查的结果进行考察。首先，比较除了辊加热的有无的条件以外的调查条件相同的比较例1和比较例3，加热了辊的比较例3的剥离强度与没有加热辊的比较例1的剥离强度相比增大了20%。认为这是由于在第1干燥室21和第2干燥室22中，从涂膜表面5a侧加热涂膜5，并且利用支承辊61和送出辊62送出涂膜箔2时，由排放热HT带来的热经由金属箔3从涂膜背面5b侧向涂膜5传递，涂膜5在更均匀的状态下被加热的缘故。 
接着，比较除了第1干燥室21的容积比的条件以外的调查条件相同的比较例3和比较例6，比较例3和比较例6基本上没有剥离强度的差异。即，在比较例3和比较例6中，仅靠单纯地减小第1干燥室21的容积，剥离强度没有特别地变大。因此，比较除了第1干燥室21的加热方式和第1干燥室21的差压的条件以外的调查条件相同的比较例6和比较例8时，比较例8的剥离强度3.1N/m，成为比较例6的剥离强度1.1N/m的约3倍的大小。认为其主要原因是在比较例8中，利用红外线加热器31进行了第1干燥室21的加热，证实了红外线加热器31进行的加热具有重要意义。对于红外线加热器31的重要意义以后详述。 
另外，也考虑第1干燥室21的差压的不同带来的重要因素。比较除了第1干燥室21的差压的条件以外的调查条件相同的比较例8和实施例1时，实施例1的剥离强度4.2N/m与比较例8的剥离强度3.1N/m相比增大了30%以上。认为这是由于在实施例1中，通过室内压力P1i比室外压力P1o高5Pa，第1干燥室21外的低温的外界气体不向第1干燥室21的室内流入，可维持第1干燥室21内的气氛的缘故。 
另外，比较除了涂膜箔的送出路径的位置的条件以外的调查条件相同的实施例3和实施例6时，由于涂膜箔2将涂膜5形成于金属箔3的上侧，因此实施例6与实施例3相比，涂膜5和红外线加热器31的距离更小。因此，实施例6的涂膜5效率良好地吸收从红外线加热器31辐射的红外线而被加热。另外，在实施例6中，第1干燥室21的截面S1，被在干燥工序中送出第1干燥室21的涂膜箔2，以涂膜箔2为边界不完全地上下隔开，第1干燥室21之中的占据涂膜箔2上侧的部分的容积实质上比占据涂膜箔2下侧的部分的容积小。由此，溶剂难以从涂膜表面5a急剧地干燥，其结果，推测实施例6的剥离强度比实施例3的剥离强度大。 
归纳对于调查结果的考察，如图6和图7所示，判断出如果满足下述四个重要因素，则可得到剥离强度更大的涂膜箔2： 
（a）第1干燥室21的加热方式采用红外线加热器31（IR）， 
（b）将第1干燥室21相对于第2干燥室22的容积比设为60%以下， 
（c）通过排放热HT，支承辊61和送出辊62被加热， 
（d）在第1干燥室21中，室内压力P1i和室外压力P1o为相同压力，或室内压力P1i比室外压力P1o高到5Pa左右。 
对于具有上述的构成的本实施方式涉及的电极的制造方法的作用和效果进行说明。 
本实施方式涉及的电极的制造方法，是具有涂布工序和干燥工序的电极的制造方法，上述涂布工序对送出的金属箔3涂布涂布材料4形成涂膜箔2，上述干燥工序是通过送出而移动的涂膜箔2一边通过沿着送出路径的线上配置的干燥装置10的干燥炉20，一边通过加热使涂膜箔2干燥的 工序，干燥炉20由在多个部位（在实施方式中为3个部位）区划配置而成的4个干燥室（第1~第4干燥室21、22、23、24）构成，另外在实施例中由在两个部位区划配置而成的3个干燥室（第1~第3干燥室21、22、23）构成，至少具有在干燥工序中涂膜箔2最先通过的第1干燥室21和接着第1干燥室21通过的第2干燥室22，通过在相对于沿着送出路径的送出方向F正交的截面使第1干燥室21的截面S1的面积比第2干燥室22的截面S2的面积小，第1干燥室21的容积V1变得比第2干燥室22的容积V2小，因此，涂布工序后，在涂膜5中具有湿气的状态的涂膜箔2在干燥工序中进入被加热了的第1干燥室21中时，涂布材料4中所含有的溶剂（例如，有机溶剂系溶剂、水系溶剂等）最先在第1干燥室21内从涂膜开始蒸发。 
此时，在第1~第3干燥室21、22、23等的各干燥室中，干燥工序中，流入流出干燥室的空气的流动分别在恒定状态下，在干燥室内空气的流动处于平衡状态。因此，如果使上述截面S1的面积比上述截面S2的面积小，第1干燥室21的容积V1变得比第2干燥室22的容积V2小，则在第1干燥室21内的空气中蒸发的溶剂的浓度变得比第2干燥室22内的空气中蒸发的溶剂的浓度高。 
在第1干燥室21内，蒸发出的溶剂的浓度处于越高的状态，室内的溶剂的气氛就在越短的时间成为饱和状态，从该状态开始，在第1干燥室21内，能够抑制残存于涂膜箔2的涂膜5的溶剂从涂膜5的涂膜表面5a蒸发。因而，即使涂膜箔2通过被加热了的气氛下的第1干燥室21，也难以引起湿润状态的涂膜5在第1干燥室21中急剧地干燥，能够抑制起因于涂膜5的急剧干燥的迁移的产生。 
即，涂膜箔2的涂膜5由糊状的涂布液构成，上述涂布液是在涂布工序前预先将多种活性物质（电极1为正极的情况下是正极活性物质，为负极的情况下是负极活性物质）以及将这些活性物质彼此粘结并且将活性物质和金属箔3进行粘结的粘合剂树脂等在溶剂（水或有机溶剂）中混合来制作的。涂膜箔2（涂膜5）进入到处于加热状态的气氛的干燥炉20内时， 涂膜5中所含有的溶剂蒸发，由于蒸发出的溶剂，第1干燥室21内的溶剂的浓度逐渐变高，第1干燥室21内的气氛接近饱和状态。 
另一方面，涂膜箔2进入处于加热状态的气氛的干燥炉20内时，涂膜5中所含有的溶剂一边蒸发，活性物质彼此、以及活性物质和金属箔3一边通过粘合剂树脂被粘结，可得到干燥的状态的涂膜5 
涂膜箔2最先通过第1干燥室21时，首先在涂膜5的涂膜表面5a侧存在的溶剂开始蒸发，涂膜表面5a侧的溶剂的浓度逐渐变小。与此相对，在涂膜5的厚度方向内部，金属箔3的涂布面3a和涂膜5的涂膜背面5b的界面附近的存在于涂膜5的涂膜背面5b侧的溶剂的浓度，处于接近涂膜箔2进入第1干燥室21之前的初始浓度的状态，在涂膜表面5a侧和涂膜背面5b侧之间产生溶剂的浓度差。 
如果在该溶剂的浓度差的大小较大，并且引起该浓度差的时间较短的急剧的干燥速度下使涂膜5干燥，则残存于涂膜背面5b侧的溶剂在干燥室内的气氛下急剧地蒸发，伴随着该急剧的溶剂的蒸发，处于涂膜背面5b侧的粘合剂树脂也向涂膜表面5a侧移动。并且，残存于涂膜背面5b侧的溶剂结束蒸发后，移动到涂膜表面5a侧的粘合剂树脂在涂膜表面5a侧固化，在涂膜5中，粘合剂树脂引起的偏析（迁移）在涂膜表面5a侧和涂膜背面5b侧之间产生。如果发生迁移，则特别是在金属箔3的涂布面3a和涂膜5的涂膜背面5b的界面，金属箔3和涂膜5（活性物质等）的密合力降低。 
本实施方式的电极的制造方法，在第1干燥室21内的空气中蒸发的溶剂的浓度，比在第2干燥室22内的空气中蒸发的溶剂的浓度高，在第1干燥室21内，蒸发出的溶剂的浓度处于越高的状态，室内的溶剂的气氛就在越短的时间成为饱和状态。在第1干燥室21内，从该状态开始，能够抑制残存于涂膜5中的溶剂从涂膜5的涂膜表面5a蒸发，因此残存于涂膜表面5a侧的溶剂的浓度的降低被抑制为较小，对于残存于涂膜背面5b侧的溶剂的浓度，在越接近涂膜箔2进入第1干燥室21之前的初始浓度的状态下就越容易维持。因此，即使涂膜箔2进入第1干燥室21，在涂膜5中， 残存于涂膜表面5a侧的溶剂的浓度和残存于涂膜背面5b侧的溶剂的浓度之间溶剂的浓度差也能够抑制为较小。 
这样，在涂膜5中，通过在涂膜表面5a侧和涂膜背面5b侧之间，将溶剂的浓度差抑制为较小，进入到第1干燥室21的涂膜箔2的涂膜5可以更加降低干燥速度进行干燥，因此能够抑制在涂膜5中，涂膜背面5b侧的粘合剂树脂伴随残存于涂膜背面5b侧的溶剂的急剧蒸发而向涂膜表面5a侧移动。即，在涂膜5中，由于残存于涂膜背面5b侧的溶剂的急剧的蒸发，移动到涂膜表面5a侧的粘合剂树脂在涂膜表面5a侧固化而产生的迁移被抑制，能够抑制金属箔3和涂膜5（活性物质等）的密合力降低。 
因而，即使涂膜箔2通过被加热了的气氛下的第1干燥室21，也难以引起湿润的状态的涂膜5在第1干燥室21中急剧地干燥，能够抑制涂膜5的急剧干燥引起的偏析的产生。特别是本实施方式的电极的制造方法，无论电极1是正电极或负电极、并且无论溶剂的种类都可以抑制这样的迁移的产生。 
另外，通过使第1干燥室21沿着送出方向F的第1干燥室21的室内长度至少不比第2干燥室22的室内长度小而使截面S1的面积比第2干燥室22的截面S2的面积小，将容积V1设定得比第2干燥室22的容积V2小。因此，可避免涂膜箔2通过第1干燥室21的时间比涂膜5的加热所需要的时间短从而不能够有效地加热涂膜5，能够效率良好地进行对涂膜5的加热、干燥。 
另外，以往，为了不引起迁移，涂膜的加湿后，进行用热风干燥该涂膜的操作。因此，在干燥装置中，除了干燥炉以外还需要配置加湿器，而且在涂膜的干燥时，需要在干燥装置中，进行温度和湿度的复杂控制。与此相对，本实施方式的电极的制造方法，不需要对涂膜5进行加湿，例如，仅利用第1干燥室21的温度控制等即可，因此为使涂膜5干燥所需要的控制没有复杂化。另外，由于不需要加湿涂膜5，因此没有设置加湿器，相应地干燥装置10可以小型化，不花费与加湿相伴的多余的成本，能够以低成本实现涂膜5的干燥。 
因此，根据本实施方式的电极的制造方法，可发挥下述优异的效果：对于在金属箔3上涂布了糊状的涂布材料4的涂膜箔2，抑制迁移并且效率良好地使其干燥，能够以低成本制造电极1。 
另外，在本实施方式的电极的制造方法中，上述涂布材料4中包含溶剂，第1干燥室21将从涂膜箔2蒸发出的溶剂的浓度设为接近饱和状态的气氛，因此涂膜箔2在通过第1干燥室21中，抑制来自涂膜表面5a的溶剂的蒸发，能够在将残存于涂膜5中的溶剂保持在包含于涂膜5内部的状态下，将涂膜箔2送至第2干燥室22。 
另外，根据本实施方式的电极的制造方法，在第1干燥室21中，在阻止了热风的输送的气氛下，涂膜箔2通过红外线加热器31被加热，因此从红外线加热器31辐射出的红外线被涂膜5吸收从而加热该涂膜5时，涂膜表面5a和涂膜5内以更加均匀的温度分布被加热，能够将涂膜5同样地预热。 
另外，根据本实施方式的电极的制造方法，在第2干燥室22及其以后的干燥室（第3干燥室23等），涂膜箔2被暴露在输送有热风HF的气氛下，因此如本实施方式那样，在利用将第1干燥室21设定为在超过300℃的温度的高温下进行加热的气氛，并将第2干燥室22设定为输送有温度为100℃附近的热风HF的气氛的干燥炉20等，使涂膜箔2干燥的情况下，在第2干燥室22，输送热风HF并且进行与该送风相伴的排气EG时，第2干燥室22内的压力P2i比不进行热风HF的送风和排气EG的第1干燥室21内的压力P1i低。 
如果溶剂被暴露在压力低的气氛下，则溶剂在物性方面变得容易蒸发。由此，通过在第1干燥室21中，抑制残存的溶剂的蒸发，并且将利用高温的红外线加热器31均匀地预热了的涂膜箔2（涂膜5）在与第1干燥室21相比低温且低压的第2干燥室22中通过，能够将残存于涂膜5中的溶剂的湿气，在比引起迁移的急剧的干燥速度缓慢的干燥速度下，从涂膜表面5a朝向涂膜5内部缓慢地去除，能够抑制迁移的产生从而效率良好地干燥涂膜5。 
另外，在本实施方式的电极的制造方法中，作为用于送出的辊的与金属箔3接触的支承辊61和与涂膜箔2接触的送出辊62，通过来自输送有热风HF的干燥室（第2~第4干燥室22、23、24）的排气EG带来的排放热HT而被加热，并且涂膜箔2利用在支承辊61和送出辊62上所蓄积的热而被预热，因此如本实施方式那样，对于支承辊61和送出辊62，使排放热HT从支承辊61和送出辊62的各芯材向辊外周面传热，如果热在支承辊61和送出辊62上蓄积，则在支承辊61和送出辊62上所蓄积了的热在涂膜箔2的送出时，向与支承辊61接触的涂布中的金属箔3、与送出辊62接触的涂布后的涂膜箔2传播从而加热涂膜5。 
此时，支承辊61和送出辊62一边与金属箔3的未涂布面3b、涂膜箔2的与涂膜5的涂膜表面5a相反侧的面（金属箔3的未涂布面3b）直接接触一边旋转。由此，在支承辊61和送出辊62上所蓄积的热，向即将涂布的金属箔3的未涂布面3b的整个面、和涂布后的涂膜箔2的涂膜5分别均匀地传播，能够在其面方向上没有不均地加热被涂布了的涂膜5。因而，除了在第1干燥室21中从涂膜表面5a侧加热涂膜5以外，由在支承辊61和送出辊62上所蓄积的热，从涂膜表面5a和其相反侧的涂膜背面5b的双方加热涂膜5，由此涂膜5在其厚度方向（图2中的上下方向）和面方向（表示图2的纸面的垂直方向）上，在更加均匀的状态下被效率良好地预热，能够抑制涂膜5的干燥从涂膜表面5a侧单方向地进行。 
另外，在本实施方式的电极的制造方法中，第1干燥室21内的内部压力P1i和在第1干燥室21的上游侧邻接的第1干燥室21的外部压力P1o的差压为零，或者第1干燥室21的内部压力P1i在容许误差的范围内比外部压力P1o高，因此能够抑制第1干燥室21外部的外界气体在第1干燥室21的上游侧，从涂膜箔2的送出路径上的开口部流入第1干燥室21内。由此，在第1干燥室21中，蒸发的溶剂的浓度不会因外界气体的流入而暂时地降低，容易快速地成为饱和状态。另外，由于没有外界气体的流入，能够促进对涂膜箔2的预热。 
即，第1干燥室21外部的外界气体与在第1干燥室21内的空气中蒸 发出的溶剂的浓度相比为低浓度，而且与第1干燥室21内的气氛相比为低温。如果这样的第1干燥室21外部的外界气体流入第1干燥室21内，则在第1干燥室21蒸发出的溶剂的浓度与流入前相比变低，从成为饱和状态的浓度远离。另外，由于低温的外界气体流入第1干燥室21内，第1干燥室21的气氛的温度降低。其结果，发生残存于涂膜箔2中的溶剂的蒸发，不能够充分地阻止涂膜5快速地干燥，而且由于低温的外界气体阻碍涂膜5的预热，从而不优选。 
再者，上述方式只不过是单纯的例示，丝毫不限定本发明，本发明在不脱离其要旨的范围可以进行各种改良、变形。 
例如，在本实施方式中，如图1所示，将涂膜箔2的送出路径的位置在第1~第4干燥室21、22、23、24中都配置在高度方向（图1中的上下方向）中央，涂膜5从上下两侧同样地被加热干燥而构成。另外，在第1干燥室21中，通过红外线加热器31将涂膜箔2（涂膜5）在300℃以上的高温下进行加热。图8是说明变形例涉及的电极的制造方法的概略图。 
变形例在上述的实施例6中也简单涉及，在第1干燥室21中，将涂膜箔2的送出路径的位置如图8所示，配置在第1干燥室21的高度方向（图3中的上下方向）的靠上侧，将涂膜5的涂膜表面5a接近红外线加热器31地配置。由此，在第1干燥室21中，能够将通过红外线加热器31加热涂膜箔2（涂膜5）的温度设为例如150℃左右等比较低温的温度。当然，在第1干燥室21中，室内压力P1i和室外压力P1o为相同压力或者室内压力P1i与室外压力P1o相比，作为一例高5Pa左右是重要的。另外，在第2干燥室22中，室内压力P2i和室外压力P2o为相同压力或者室内压力P2i与室外压力P2o相比，作为一例低20Pa左右是重要的。另外，如图1和图8所示，将来自热交换器55的排放热HT，除了支承辊61和送出辊62以外，还通过排放热路径57E向模63传热，因此成为谋求加热的涂膜5的温度均匀化的手段之一。 
产业上的可利用性 
本发明的电极的制造方法，对于在金属箔上涂布了糊状的涂布材料的 涂膜箔，抑制迁移并效率良好地进行干燥，能够以低成本制造电极。 
附图标记说明 
1电极 
2涂膜箔 
3金属箔 
4涂布材料 
10干燥装置 
20干燥炉 
21第1干燥室 
22第2干燥室 
23第3干燥室 
24第4干燥室 
31红外线加热器 
61支承辊 
62送出辊 
S1第1干燥室的截面 
S2第2干燥室的截面 
V1第1干燥室的容积 
V2第2干燥室的容积 
HF热风 
EG排气 
F送出方向 
P1i第1干燥室内的压力 
P1o第1干燥室外的压力。 

Claims (12)

1.一种电极的制造方法，其特征在于，
具有涂布工序和干燥工序，所述涂布工序对送出的金属箔涂布涂布材料形成涂膜箔，所述干燥工序是通过送出而移动的所述涂膜箔一边通过沿着送出路径的线上配置的干燥装置的干燥炉，一边通过加热使所述涂膜箔干燥的工序，
所述干燥炉由在多个部位区划配置而成的多个干燥室构成，至少具有在所述干燥工序中所述涂膜箔最先通过的第1干燥室和接着所述第1干燥室通过的第2干燥室，
通过在相对于沿着所述送出路径的送出方向正交的截面使所述第1干燥室的面积比所述第2干燥室的面积小，所述第1干燥室的容积变得比所述第2干燥室的容积小。
2.根据权利要求1所述的电极的制造方法，其特征在于，
在所述涂布材料中含有溶剂，
所述第1干燥室形成为使从所述涂膜箔蒸发出的所述溶剂的浓度接近饱和状态的气氛。
3.根据权利要求1所述的电极的制造方法，其特征在于，
在所述第1干燥室中，在阻止了热风的输送的气氛下，所述涂膜箔通过红外线加热器被加热。
4.根据权利要求2所述的电极的制造方法，其特征在于，
在所述第1干燥室中，在阻止了热风的输送的气氛下，所述涂膜箔通过红外线加热器被加热。
5.根据权利要求3所述的电极的制造方法，其特征在于，
在所述第2干燥室及其以后的所述干燥室中，所述涂膜箔暴露在输送有热风的气氛下。
6.根据权利要求4所述的电极的制造方法，其特征在于，
在所述第2干燥室及其以后的所述干燥室中，所述涂膜箔暴露在输送有热风的气氛下。
7.根据权利要求5所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述金属箔的送出使用辊，该辊配置为与所述涂膜箔或所述金属箔的至少任一个接触，并由从被输送有热风的所述干燥室排放的排放热而被加热，
所述涂膜箔利用在所述加热了的辊上所蓄积的热而被预热。
8.根据权利要求6所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述金属箔的送出使用辊，该辊配置为与所述涂膜箔或所述金属箔的至少任一个接触，并由从被输送有热风的所述干燥室排放的排放热而被加热，
所述涂膜箔利用在所述加热了的辊上所蓄积的热而被预热。
9.根据权利要求1或2所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述第1干燥室内的内部压力和在所述第1干燥室的上游侧邻接的所述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者
所述第1干燥室的所述内部压力在容许误差的范围内比所述外部压力高。
10.根据权利要求3或4所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述第1干燥室内的内部压力和在所述第1干燥室的上游侧邻接的所述第1干燥室的外部压力的差压为零，或者
所述第1干燥室的所述内部压力在容许误差的范围内比所述外部压力高。
11.根据权利要求5或6所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述第1干燥室内的内部压力和在所述第1干燥室的上游侧邻接的所述第1干燥室的外部压力的差压为零，
或者所述第1干燥室的所述内部压力在容许误差的范围内比所述外部压力高。
12.根据权利要求7或8所述的电极的制造方法，其特征在于，
所述第1干燥室内的内部压力和在所述第1干燥室的上游侧邻接的所述第1干燥室的外部压力的差压为零，
或者所述第1干燥室的所述内部压力在容许误差的范围内比所述外部压力高。
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