CN103081058A - 电介质阻挡放电灯装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电介质阻挡放电灯装置。电介质阻挡放电灯装置(10)具备：灯罩(11)，其具有光照射开口(12)；网格状电极(30)，其被设置于该灯罩(11)的光照射开口(12)、且由多孔状的导电体构成；放电容器(32)，在透光性的容器中封入放电气体而形成；电极兼容器保持部件(40)，其在与所述网格状电极(30)之间夹持该放电容器(32)、且与放电容器(32)独立形成；和电源装置，其在网格状电极(30)与电极兼容器保持部件(40)之间施加放电用的电压。放电容器(32)被网格状电极(30)支撑。

Description

电介质阻挡放电灯装置

技术领域

本发明涉及电介质阻挡放电灯装置。

背景技术

电介质阻挡放电灯装置具备多个电介质阻挡放电灯，为了光清洗例如使用半导体晶片、或液晶显示装置中用到的玻璃基板等。作为以往的电介质阻挡放电灯，例如公知：将在内周面设置了电极的玻璃管作为内管、且将在外周面设置了电极的玻璃管作为外管的双管构造(参照专利文献1)；和在角筒状的玻璃管的大致半周面具备网格状电极、且在相反侧的半周面具备满电极的单管构造(参照专利文献2)。

专利文献1：日本特开2003-257375号公报

专利文献2：日本特开2005-322632号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

上述专利文献1以及2所记载的任何电介质阻挡放电灯都是在内部封入了放电气体的玻璃管中使一对电极一体化而成的构造。这些灯是按如下方式制造的，即：在玻璃管内填充了放电气体的状态下熔敷玻璃管的端部来进行密封，进而在该玻璃管的表面例如通过蒸渡或溅射来附着一对电极，在这一对电极之上钎焊从连接器向各电极导出的导线。这样，不仅经过玻璃管的气体密封工序还需要经过电极形成工序以及导线安装工序，因此以往的电介质阻挡放电灯不得不变得非常昂贵。

此外，在电介质阻挡放电灯装置中组合灯之际，不仅针对每个灯而需要与电源装置连接的布线构造，当然针对每个灯也需要固定于装置框体的安装构造，所以作为灯装置而趋向于成为复杂的构造。

本发明是基于上述这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够使电介质阻挡放电灯自身的构造简化，并且作为灯装置也能简化构造的电介质阻挡放电灯装置。

(用于解决课题的技术方案)

作为解决上述课题的技术方案，本发明提供一种电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，具备：灯罩，其具有光照射开口；网格状电极，其被设置于该灯罩的所述光照射开口、且由多孔状的导电体构成；放电容器，其是在透光性的容器中封入放电气体而形成的；放电容器保持部件，其在与所述网格状电极之间夹持该放电容器、且与所述放电容器独立形成；电极部件，其被配置在夹着所述放电容器而与所述网格状电极对置的位置；和电源装置，其在所述网格状电极与所述电极部件之间施加放电用的电压，所述放电容器被所述网格状电极支撑。

在本发明中，因为电介质阻挡放电灯是通过用网格状电极、电极部件、和放电容器保持部件来夹持在透光性的容器中封入放电气体而形成的放电容器所获得到的，所以不需要如制造以往的灯时那样在放电容器通过蒸镀等的方法形成电极的工序。

在本发明中，因为是放电容器仅被网格状电极支撑的构成，所以在照射光的路径上除了网格状电极以外无需设置用于支撑放电容器的元件。因此，根据本发明，较之除了网格状电极以外还设置了用于支撑放电容器的元件的情况，能够提高光的透过率。进而，在除了网格状电极以外还设置了用于支撑放电容器的元件的情况下，当进行放电的光中包含紫外线时，可能会产生该元件因紫外线而劣化的问题，但是根据本发明，因为这种元件被省略了，所以能够提高灯的耐久性。

而且，在将灯组合到本发明的电介质阻挡放电灯装置中之际，在用网格状电极、电极部件、和放电容器保持部件夹持了规定个数的放电容器之后，只要将网格状电极以及电极部件分别与电源装置连接即可。也就是说，在本发明中，在将灯组合到电介质阻挡放电灯装置中之际，因为针对每个灯也不需要与电源装置连接的布线构造、固定于灯罩的安装构造，所以作为灯装置也能够简化构造。

本发明也可以是以下的构成。

所述网格状电极也可以为板材。通过采用这种构成，则加工变得容易。

也可在所述灯罩中，和所述网格状电极的与所述放电容器相反侧的面相接且支撑所述网格状电极的支撑部件被设置于从所述放电容器偏离的位置。

如果放电容器和电极(网格状电极以及电极部件)的非接触区域变多，则在向电极施加电压时在电极与放电容器之间容易产生微小的放电(微型溅射)，通过该放电可能导致放电容器、电极劣化，从而导致光透过率降低等、寿命变短。然而，通过采用上述这种构成，则因为网格状电极被设置于从放电容器偏离的位置处的支撑部件支撑，所以来自放电容器的光的照射不会被遮挡，可以使网格状电极以及电极部件与放电容器的接触状态变得良好(密接化)。其结果，能够防止放电容器、电极的劣化，且能够抑制光透过率降低。

也可具备多个所述放电容器，所述网格状电极被设置成与多个所述放电容器相接。通过采用这种构成，则即便在具备多个放电容器的电介质阻挡放电灯装置的情况下，因为仅用电极部件以及电容器保持部件、和多个放电容器所共用的网格状电极进行夹持就能够组合多个放电容器，所以也能够简化构造。在此，例如通过设置成使一个网格状电极与多个放电容器接触，由此能够将网格状电极作为公共电极。

也可具备多个所述放电容器，所述电极部件被设置成与多个所述放电容器相接。通过采用这种构成，即便在具备多个放电容器的电介质阻挡放电灯装置的情况下，因为仅用网格状电极、多个放电容器所公共的电极部件、和放电容器保持部件进行夹持就能组合多个放电容器，所以也能够简化构造。在此，例如通过设置成使一个电极部件与多个放电容器接触，由此能够将电极部件设为公共电极部件。

在上述构成中，如果所述支撑部件沿着所述放电容器的整个长边方向设置，则能够沿着整个长边方向支撑放电容器，能够使网格状电极以及电极兼容器保持部件与放电容器的接触状态变得更良好。

所述电极部件和所述放电容器保持部件也可以为一体式电极兼容器保持部件。通过采用这种构成，由此能够减少元件个数，故能够简化电介质阻挡放电灯自体的构造。

在上述构成中，如果具备多个所述放电容器、所述电极兼容器保持部件被设置成与多个所述放电容器相接，则在用网格状电极、和电极兼容器保持部件夹持规定个数的放电容器之后，仅通过将网格状电极以及电极兼保持部件分别与电源装置连接，就能将灯组合到电介质阻挡放电灯装置中。也就是说，在该构成中，在将灯组合到电介质阻挡放电灯装置中之际，因为针对每个灯也不需要与电源装置连接的布线构造、固定于灯罩的安装构造，所以作为灯装置也能够简化构造。在此，例如通过设置成使一个电极兼容器保持部件与多个放电容器接触，由此能够将电极兼容器保持部件设为公共的部件。

在上述构成中，也可所述电极兼容器保持部件由能反射通过所述放电容器内的电介质阻挡放电所产生的光的材料构成，且在与所述放电容器相接的接触部的两侧具有将来自所述放电容器内的光反射到所述网格状电极侧的反射面。通过采用这种构成，则因为电极兼放容器保持部件作为反射板发挥功能，所以能够提高通过网格状电极被照射的光的透过率，并且无需另行设置反射板，故能够进一步简化构造。

在上述构成中，也可在所述电极兼容器保持部件设置了气体供给孔，该气体供给孔供给用于将所述灯罩的光照射开口部分的空间设为低氧状态或惰性气体气氛的气体。由于通过电介质阻挡放电所产生的光之中的、例如波长为172nm的紫外线容易与氧结合，因此存在难以在空气中通过的光透过率下降的顾虑。因此，通过采用这种构成，则因为设为低氧状态或惰性气体气氛的气体被导入到灯罩的光照射开口部分的空间中，所以通过电介质阻挡放电所产生的光容易通过该空间，故光透过率得到提高。

在上述构成中，也可所述放电容器呈圆筒状，在所述电极兼容器保持部件的所述接触部形成有沿着所述放电容器的外周面的剖面为弧状的凹部。通过采用这种构成，则即便在放电容器为圆筒状的情况下，也能在与电极兼容器保持部件的接触部所设置的凹部内按着沿着放电容器的外周面的方式进行配置，所以难以错开放电容器。

在本发明中，所述网格状电极也可以为以下的构成。

所述网格状电极的厚度为0.03mm以上且0.3mm以下。

所述网格状电极为从铝合金、不锈钢(SUS)、铜、铍铜选出的导电体。

所述网格状电极的开口率为50％以上。

通过采用上述这种构成，则网格状电极具备支撑放电容器所需的充分的强度。

在本发明中，所述放电容器也可为圆筒状。通过采用这种构成，则能够将通用的圆管直接用作放电容器而几乎不进行复杂的加工，故能够减低加工负担以及成本。

(发明效果)

根据本发明，可以提供一种能够使电介质阻挡放电灯自身的构造简化，并且作为灯装置也能简化构造的电介质阻挡放电灯装置。

附图说明

图1是实施方式1的电介质阻挡放电灯装置的底视图。

图2是卸下具有光照射开口的下框部的电介质阻挡放电灯装置的底视图。

图3是电介质阻挡放电灯装置的顶视图。

图4是图3的状态的电介质阻挡放电灯装置的侧视图。

图5是图1的X-X线处的剖视图。

图6是图1的Y-Y线处的剖视图。

图7是实施方式2的电介质阻挡放电灯装置的底视图。

图8是电介质阻挡放电灯装置的顶视图。

图9是图7的A-A线处的剖视图。

图10是图7的B-B线处的剖视图。

符号说明：

10、50...电介质阻挡放电灯装置(灯装置)

11...灯罩

12...光照射开口

15S...光照射开口部分的空间

30...网格状电极

30A...与(网格状电极的)放电容器相反侧的面

31...支撑部件

32...放电容器

40、52...电极兼容器保持部件(使放电容器保持部件和电极部件一体化而成的部件)

41...上侧电极

42...第1气体供给孔

43...下侧电极

45、55...第2气体供给孔

48、56...接触部(凹部)

49、57...反射面

具体实施方式

<实施方式1>

通过图1～图6来说明本发明的实施方式1。

图1是从照射面侧(下面侧)示出实施方式1的电介质阻挡放电灯装置10(以下也称为“灯装置10”)的图，图3是从与照射面侧相反的上侧示出灯装置10的图。图2是表示从灯装置10中卸下下面侧的盖13(下盖13)的状态的底视图，图4是卸下下盖13的状态下的灯装置10的侧视图。图5是图1的灯装置10的X-X线处的剖视图，图6是图1的灯装置10的Y-Y线处的剖视图、且是图5的Z-Z线的位置处的剖视图。

如图1～图3所示，实施方式1的灯装置10具备：具有光照射开口12的灯罩11、网格状电极30、放电容器32、电极兼容器保持部件40、以及在网格状电极30与电极兼容器保持部件40之间施加放电用的电压的电源装置(未图示)。

在本实施方式中，灯罩11呈大致长方体状，如图1所示具备：被照射光的面侧(下侧面)开口的灯罩主体15、和被配置于灯罩主体15的光照射开口12处的下盖13。

下盖13由铝合金等的金属材料构成，具有方形形状的下盖开口部14，且呈框状。下盖13的周缘通过螺合第1螺钉21而被固定在重叠于上侧的灯罩主体15，且在方形形状的下盖开口部14中虽然没有详细叙述，但是配置有由多孔状的导电体构成的网格状电极30、和对网格状电极30进行支撑的支撑部件31。从放电容器32照射的光经由网格状电极30而从该下盖开口部14照射出去。

灯罩主体15由包围放电容器32周缘的框状的部分16(框体部16)、和螺纹固定于框体部16的上侧面的上盖部20构成(参照图2、图3)。

上盖部20由陶瓷或聚四氟乙烯(PTFE)等的绝缘性材料构成，其周缘部分通过第2螺钉22的螺合而被固定于框体部16的上侧面。在上盖部20的大致中央部的被挖成圆形的部分20A，配置有电极兼容器保持部件40的上侧电极41(详细见后面叙述)的一部分，且在形成于上侧电极41的气体供给孔42中从设置于灯罩11外部的气体供给源(未图示)供给气体。从气体供给源供给出氮气体等的使灯罩主体15内的光照射开口部分的空间15S成为非氧状态(惰性气体气氛)的气体。

框体部16由铝合金等的导电性的材料构成，在其下侧面形成有对下盖13的周缘进行固定的第1螺钉21被螺合的第1螺孔16A，在其上侧面形成有对上盖部20进行固定的第2螺钉22被螺合的螺孔(未图示)。在框体部16之中的、被配置于放电容器32的长边方向上的端部侧(图3中的左右的端部侧)的部分中，形成有第1螺孔16A的外侧的部件17(外框部件17)可以从框体部主体18拆卸下来。

在外框部件17的侧面可以螺合用于将外框部件17固定于框体部主体18的螺钉部件23(第3螺钉23)。在框体部主体18的安装有外框部件17的部分19(内框部19)的侧面，形成有用于将外框部件17安装于内框部19的第3螺钉23所穿过的第3螺孔17A。此外，在内框部19的侧面，如图4所示，从侧面方向能穿过支撑部件31的多个支撑部件插通孔19A隔开能配置放电容器32的间隔而形成。虽然支撑部件插通孔19A的一部分形成至内框部19的下侧面，但是内框部19的下侧面的开口直径被设定得小于支撑部件31的口径，且支撑部件31不会从内框部19的下侧面脱落。

在本实施方式中，在被上盖部20和框体部16包围的空间内，按照从上盖部20侧开始的顺序依次配置有电极兼容器保持部件40、放电容器32、网格状电极30以及支撑部件31。详细而言，在被上盖部20和框体部16包围的空间内，放电容器32以被电极兼容器保持部件40和网格状电极30夹持的状态进行收容。

在本实施方式中，优选网格状电极30例如是通过由铝合金、不锈钢(SUS)、铜、铍铜等导电体构成的多孔状的导电体而构成的板材，其开口直径为2mm、开口率为50％以上、且网格状电极30的厚度为0.03mm以上。其原因在于，如果采用这种构成，则具备用于支撑放电容器的强度的缘故。如果考虑操作性，则进一步优选网格状电极30的厚度为0.1mm以上。优选网格状电极30的厚度的下限值被设定成在进行冲孔加工等加工之后能维持形状这样的厚度，网格状电极30的厚度的上限值被设定成通过冲孔加工等能变形的值。例如，网格状电极30的厚度能够设为0.3mm以下。在本实施方式中，1个网格状电极30按照与6根(多个)放电容器32的外周面32A相接触的方式，相对于这些放电容器32而被公共地设置，且支撑放电容器32。在本实施方式中，通过将1个网格状电极30设置成与多个放电容器32相接触，由此将网格状电极30作为公共电极。

网格状电极30与电源装置的接地端子(未图示)侧电连接。如果将网格状电极30与接地端子连接，则能够使受到光照射的被处理物与灯装置10之间的距离靠近，故能够提高照射光的照度。

对于支撑网格状电极30的支撑部件31，沿着放电容器32的长度方向延伸的扁平棒状形状的部件是剖面为圆形的圆管。在形成于放电容器32内部的放电空间32S内，填充了电介质阻挡放电用气体。在本实施方式的灯装置10中，将通用的圆管直接用作放电容器32而几乎不进行复杂的加工。即，按照具有排气管(尖端管)的方式将圆筒形的原管(圆管)的两端加工成前端尖状，从尖端管封入放电用气体。而且，通过去尖端的密封加工而成为放电容器32。因此，较之使用扁平角筒状的放电容器32的构成，能够减低加工负担与成本。

作为被填充到放电容器32的电介质阻挡放电用气体，使用氙(Xe)、氩(Ar)及氪(Kr)等的稀有气体、以及氟(F₂)、氯(Cl₂)等的卤素气体等。灯装置10根据气体的种类而发出不同波长(172nm、222nm、308nm等的波长)的准分子光。例如，为了清洗电子元件、即将附着于电子元件的有机化合物分解，而使用将172nm作为中心波长的准分子光。因此，此时使用含有氙(Xe)的气体。另外，气体的封入压力并不特别进行限定，通常以10～100kPa程度的压力进行封入。

电极兼容器保持部件40是与放电容器32单独形成的部件，通过第4螺钉24而被螺纹固定于上盖部20。电极兼容器保持部件40是按照与6根(多个)放电容器32接触的方式，相对于这些放电容器32而被公共地设置，且与网格状电极30一起作为电介质阻挡放电灯的电极发挥功能的电极部件。此外，电极兼容器保持部件40还具有与网格状电极30一起支撑放电容器32的功能、即保持放电容器32的功能(放电容器保持部件的一例)。也就是说，电极兼容器保持部件40是使电极部件和放电容器保持部件一体化而成的部件。另外，在本实施方式中，电极兼容器保持部件40电连接有用于施加交流电压的电源装置的高电压端子(未图示)。

电极兼容器保持部件40由具有导电性、且能反射通过放电容器32内的电介质阻挡放电所产生的光的材料即铝合金等构成。电极兼容器保持部件40由在下侧面43A交替地形成有山部46和谷部46的电极43、和重叠在电极43之上的平板状的电极41构成。将构成电极兼容器保持部件40的2个电极41、43之中的、配置于上侧的平板状的电极41设为上侧电极41，将配置于下侧且在下侧面43A形成有山部46和谷部46的电极43设为下侧电极43。

在上侧电极41的大致中央部分形成有用于向灯罩主体15内导入由气体供给源供给的气体的气体供给孔42(第1气体供给孔42)。上侧电极41的形成有第1气体供给孔42的部分被配置于上盖部20的大致中央部的被挖成圆形的部分20A，从而在第1气体供给孔42中导入了由气体供给源供给的气体。

在下侧电极43的上侧面(与上侧电极41的接合面)形成有凹部44，且在该凹部44形成有第2气体供给孔45，该第2气体供给孔45与下侧电极43的下侧面43A的谷部46连通、且将从第1气体供给孔42导入的气体导入到灯罩主体15内的光照射开口部分的空间15S。

在下侧电极43的下侧面43A，在与放电容器32的接触部48即山部46的顶点如图5所示那样形成有沿着放电容器32的外周面32A的形状的弧状的凹部48，且接触部48的两侧的倾斜面49被作为将来自放电容器32内的光反射到网格状电极30侧的反射面49。

其次，对本实施方式的灯装置10的装配方法进行说明。

首先，使上侧电极41和下侧电极43按该顺序重叠在上盖部20的下侧面43A，通过螺合第4螺钉24来安装这些电极41、43(电极兼容器保持部件40)，并且从框体部16中卸下外框部件17。然后，通过第2螺钉22的螺合将安装了电极兼容器保持部件40的上盖部20安装于卸掉了外框部件17的状态的框体部16。

其次，在将放电容器32配置于在电极兼容器保持部件40的下侧电极43的山部46的顶点所形成的凹部48时，放电容器32的外周面32A沿着弧状的凹部48配置。

其次，按照覆盖在电极兼容器保持部件40的凹部48所配置的放电容器32的方式配置网格状电极30，在该网格状电极30的与放电容器32相反侧的面30A配置支撑部件31。详细而言，使支撑部件31沿着放电容器32的长度方向配置在每个相邻的放电容器32之间。在配置支撑部件31时，使支撑部件31穿过在框体部主体18的内框部19的侧壁所形成的支撑部件插通孔19A。在此，虽然支撑部件插通孔19A的一部分形成至内框部19的下侧面，但是因为内框部19的下侧面的开口直径被设定得小于支撑部件31的口径，所以支撑部件31不会从内框部19的下侧面脱落。

其次，通过使第3螺钉23螺合到外框部件17的第3螺孔17A，将外框部件17螺纹固定于框体部主体18，将下盖13叠加在框体部16，在其周缘螺合第1螺钉21，由此在将下盖13安装于灯罩主体15的框体部16时，放电容器32被网格状电极30和电极兼容器保持部件40夹持(参照图6)。

其次，在将网格状电极30与电源装置的接地电极端子连接、将电极兼容器保持部件40与电源装置的高电压端子连接时，获得本实施方式的灯装置10。

在对由此获得到的本实施方式的灯装置10的电源装置施加电压时，在放电容器32中通过电介质阻挡放电所产生的光经由配置于光照射开口12的网格状电极30而被照射到被照射物。

其次，对本实施方式的作用以及效果进行说明。

在本实施方式中，因为电介质阻挡放电灯是通过由网格状电极30和电极兼容器保持部件40来夹持在透光性的容器中封入放电气体而形成的放电容器32从而能够获得到的，所以不需要如制造以往的灯时那样在放电容器32通过蒸镀等的方法形成电极的工序。此外，因为电极兼容器保持部件40是兼具作为具有保持放电容器32的功能的放电容器保持部件和电极部件的功能的部件，所以能够减少元件个数。因此，根据本实施方式，能够简化电介质阻挡放电灯自体的构造。

此外，在将灯组合到本实施方式的电介质阻挡放电灯装置10中之际，在用网格状电极30和电极兼容器保持部件40夹持了多个放电容器32之后，只要将网格状电极30以及电极兼容器保持部件40分别与电源装置连接即可。也就是说，在本实施方式中，在将灯组合到电介质阻挡放电灯装置10中之际，因为针对每个灯也不需要与电源装置连接的布线构造、固定于灯罩11的安装构造，所以作为灯装置10也能够简化构造。

此外，在本实施方式中，不仅设置成将一个网格状电极30与多个放电容器32相接，还设置成多个放电容器32所公共的电极兼容器保持部件40与多个放电容器32相接。因此，根据本实施方式，无论是否为具备多个放电容器32的电介质阻挡放电灯装置10，都仅通过用多个放电容器32所公共的电极兼容器保持部件40和多个放电容器32所公共的网格状电极30进行夹持就能组合多个放电容器32，所以能够简化构造。

此外，在本实施方式中，电极兼容器保持部件40由能反射通过放电容器32内的电介质阻挡放电所产生的光的材料构成，且在与放电容器32相接的接触部48的两侧具有将来自放电容器32内的光反射到网格状电极30侧的反射面49。因此，根据本实施方式，电极兼放容器保持部件40也作为反射板发挥功能，不但能够提高通过网格状电极30被照射的光的透过率，还无需另行设置反射板，所以能够简化构造。

由于通过电介质阻挡放电所产生的光之中的、例如波长为172nm的紫外线容易与氧结合，因此存在难以在空气中通过而光透过率下降的顾虑。然而，根据本实施方式，由于在电极兼容器保持部件40设置有对用于将灯罩11的光照射开口部分的空间15S设为非氧状态(惰性气体气氛)的气体进行供给的第1气体供给孔42以及第2气体供给孔45，因此使所述空间15S成为非氧状态的气体被导入到该空间15S，所以通过电介质阻挡放电所产生的光容易通过所述空间15S，从而光透过率得到提高。

如果放电容器32和电极(网格状电极30以及电极兼容器保持部件40)的非接触区域变多，则在向电极施加电压时在电极之间容易产生放电，通过该放电可能导致放电容器32和电极劣化，从而寿命变短。然而，在本实施方式中，在灯罩11中，和网格状电极30的与放电容器32相反侧的面30A相接且支撑网格状电极30的支撑部件31被设置在与放电容器32偏离的位置，且通过该支撑部件31支撑网格状电极30。因此，根据本实施方式，来自放电容器32的光的照射不会被遮挡，可以使网格状电极30以及电极兼容器保持部件40与放电容器32之间的接触状态变得良好，所以能够防止放电容器32、电极30、40的劣化，并且能够可靠地抑制光透过率的降低。

尤其是，在本实施方式中，由于支撑部件31沿着放电容器32的整个长边方向设置，因此能够沿着整个长边方向支撑放电容器32，能够使网格状电极30以及电极兼容器保持部件40与放电容器32之间的接触状态变得更良好。

除此之外，根据本实施方式，由于放电容器32呈圆筒状，在电极兼容器保持部件40的接触部48形成有沿着放电容器32的外周面32A的剖面为弧状的凹部48，因此即便在放电容器32为圆筒状的情况下，也能够在与电极兼容器保持部件40的接触部48所设置的凹部48内按沿着放电容器32的外周面32A的方式进行配置，所以放电容器32难以错开，由此作为放电容器32和电极兼容器保持部件40的接触状态良好的情形，能够抑制光透过率的降低。

<实施方式2>

其次，通过图7～图10来说明本发明的实施方式2。本实施方式与实施方式1不同之处在于：不具备支撑部件31，以及电极兼容器保持部件52的下侧面53A(下侧电极的下侧面53A)的形状。关于与实施方式1同样的构成，赋予同一符号，并省略重复的说明。

图7是从下侧示出本实施方式的电介质阻挡灯装置50的图，图8是从上侧示出灯装置50的图，图9是图7的A-A线处的剖视图，图10是图7的B-B线处的剖视图。

在本实施方式中，框体部51被设置成一体式，且在被上盖部20和框体部51包围的空间内，从上盖部20侧开始依次配置有电极兼容器保持部件52、9个放电容器32、网格状电极30。

此外，在本实施方式中，电极兼容器保持部件52的下侧电极53构成为：在平板状的电极53的一个面53A(下侧的面53A)沿着放电容器32的外周面32A形成有呈弧状的9个凹部56。下侧电极53的凹部56(接触部56)的两侧的面57是与网格状电极30大致平行的面，但是该面57是将来自放电容器32内的光反射到网格状电极30侧的反射面57。另外，在下侧电极53的相邻的凹部56、56之间形成有第2气体供给孔55。

其次，对本实施方式的灯装置的装配方法进行说明。

首先，使上侧电极41以及下侧电极53按该顺序重叠在上盖部20的下侧面，通过螺合第4螺钉24，从而将电极兼容器保持部件52安装到上盖部20的下侧面。

其次，在电极兼容器保持部件52的凹部配置9个放电容器32时，放电容器32的外周面32A沿着弧状的凹部进行配置。

其次，按照覆盖在电极兼容器保持部件52的凹部所配置的放电容器32的方式配置网格状电极30，将下盖13重叠在该网格状电极30，当通过在下盖13的周缘螺合第1螺钉21而将下盖13安装于灯罩主体15的框体部51时，放电容器32被网格状电极30和电极兼容器保持部件52夹持(参照图9以及图10)。

其次，在将网格状电极30与电源装置的接地电极端子连接、将电极兼容器保持部件52与电源装置的高电压端子连接时，获得本实施方式的灯装置50。

在对由此获得到的本实施方式的灯装置50的电源装置施加电压时，在放电容器32中通过电介质阻挡放电所产生的光经由配置于光照射开口12的网格状电极30而被照射到被照射物。

其次，对本实施方式的作用以及效果进行说明。

根据本实施方式，因为无需安装支撑部件31的作业，所以能够提供构造更简化的灯装置50。

此外，在本实施方式中，因为是放电容器32仅被网格状电极30支撑的构成，所以在照射光的路径上没有网格状电极30以外的元件。因此，根据本实施方式，较之在照射光的路径上设置了网格状电极30以外的支撑元件的情况，能够提高光的透过率。进而，在除了网格状电极30以外还设置了用于支撑放电容器32的元件的情况下，当进行放电的光中包含紫外线时，可能会产生该元件因紫外线而劣化的问题，但是根据本实施方式，因为这种元件被省略了，所以能够提高灯装置50的耐久性。

<其他实施方式>

本发明并不限定于通过上述描述以及附图说明过的实施方式，例如如下那样的实施方式也包含在本发明的技术范围内。

(1)在上述实施方式中，虽然示出具备多个放电容器的情形，但是也可具备一个放电容器。

(2)在上述实施方式中，虽然示出具备剖面为圆形的圆筒状的放电容器的情形，但是放电容器也可为具有扁平面的形状、剖面为多角形的角筒状等。

(3)在上述实施方式中，虽然示出作为网格状电极而相对于多个放电容器被公共地设置的情形，但是也可在每个放电容器中具备网格状电极。如果采用这种构成，则能够部分性更换网格状电极。

(4)在上述实施方式中，虽然示出作为电极兼容器保持部件而相对于多个放电容器被公共地设置的情形，但是也可在每个放电容器中具备电极兼容器保持部件。如果采用这种构成，则能够部分性更换电极兼容器保持部件。

(5)在上述实施方式中，虽然示出作为电极兼容器保持部件而由能反射通过电介质阻挡放电所产生的光的材料构成，且在与放电容器的接触部的两侧具有反射面的情形，但是并不限定于此。电极兼容器保持部件可以是不能反射通过电介质阻挡放电所产生的光的材料，可以与电极兼容器保持部件单独地设置反射板，可以在放电容器接合反射膜。

(6)在上述实施方式中，虽然示出作为电极兼容器保持部件而形成了气体供给孔的情形，但是也可不形成气体供给孔。

(7)在上述实施方式中，虽然示出作为电极兼容器保持部件而重叠上侧电极和下侧电极的构成，但是电极兼容器保持部件也可由1个部件构成。

(8)在上述实施方式1中，虽然示出在每个相邻的放电容器之间沿着放电容器的整个长度方向设置多个支撑部件的情形，但是并不限定于此。例如，可以沿着配置于端部的放电容器来设置支撑部件。

(9)在上述实施方式中，虽然示出作为电极兼容器保持部件而在与放电容器的接触部形成了沿着放电容器的外周形状的弧状的凹部的情形，但是在放电容器为具有扁平面的形状、且利用扁平面而与电极兼容器保持部件接触这种情况等下，也可不形成凹部。

(10)在上述实施方式中，示出了具备使电极部件和放电容器保持部件一体化而成的电极兼保持部件的情形，但是电极部件和放电容器保持部件也可独立形成。

Claims (15)

1.一种电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，具备：

灯罩，其具有光照射开口；

网格状电极，其设置于该灯罩的所述光照射开口、且由多孔状的导电体构成；

放电容器，在透光性的容器中封入放电气体而形成；

放电容器保持部件，其在与所述网格状电极之间夹持该放电容器、且与所述放电容器独立形成；

电极部件，其被配置在夹着所述放电容器而与所述网格状电极对置的位置；和

电源装置，其在所述网格状电极与所述电极部件之间施加放电用的电压，

所述放电容器被所述网格状电极支撑。

2.根据权利要求1所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述网格状电极为板材。

3.根据权利要求1或2所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

在所述灯罩中，和所述网格状电极的与所述放电容器相反侧的面相接来支撑所述网格状电极的支撑部件被设置于与所述放电容器偏离的位置。

4.根据权利要求1至3任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

具备多个所述放电容器，所述网格状电极被设置成与多个所述放电容器相接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

具备多个所述放电容器，所述电极部件被设置成与多个所述放电容器相接。

6.根据权利要求3至5任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述支撑部件沿着所述放电容器的整个长边方向设置。

7.根据权利要求1至6任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述电极部件和所述放电容器保持部件是一体的电极兼容器保持部件。

8.根据权利要求7所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

具备多个所述放电容器，所述电极兼容器保持部件被设置成与多个所述放电容器相接。

9.根据权利要求7或8所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述电极兼容器保持部件由能反射通过所述放电容器内的电介质阻挡放电所产生的光的材料构成，并且在与所述放电容器相接的接触部的两侧具有将来自所述放电容器内的光反射到所述网格状电极侧的反射面。

10.根据权利要求7至9任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

在所述电极兼容器保持部件设置了气体供给孔，该气体供给孔供给用于使所述灯罩的光照射开口部分的空间成为低氧状态或惰性气体气氛的气体。

11.根据权利要求7至10任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述放电容器呈圆筒状，在所述电极兼容器保持部件的所述接触部形成有沿着所述放电容器的外周面的剖面为弧状的凹部。

12.根据权利要求1至11任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述网格状电极的厚度为0.03mm以上且0.3mm以下。

13.根据权利要求1至12任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述网格状电极是从铝合金、不锈钢SUS、铜、铍铜中选出的导电体。

14.根据权利要求1至13任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述网格状电极的开口率为50％以上。

15.根据权利要求1至14任一项所述的电介质阻挡放电灯装置，其特征在于，

所述放电容器为圆筒状。

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