KR102585543B1 - 광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치 - Google Patents

광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 실시예는 램프의 교체가 용이하고 광 조사 효율 및 냉각 효율이 높으며 소형화가 가능한 광 조사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및 상기 엑시머 램프의 출입을 위한 출입구를 갖는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 고정하는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치가 제공된다.

Description

광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치 {EXIMER LAMP AND CASE, AND LIGHT IRRADIATION DEVICE HAVING THE SAME}
본 발명의 실시예는 램프의 교체가 용이하고 광 조사 효율 및 냉각 효율이 높으며 소형화가 가능한 광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치에 관한 것이다.
최근에 자외선을 이용한 광 조사 장치는 산업, 환경, 의료, 살균 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이러한 광 조사 장치에 사용되는 광원 중, 엑시머 램프는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)을 이용한 램프의 일 종류이다. 이때, 유전체 배리어 방전이란, 절연 유전체에 의해 분리된 두 전극 사이에 발생하는 방전을 의미하며, 이에 의해 발광관 내부에 봉입된 방전 가스를 여기 후 가스 분자가 기저 상태로 복귀하는 과정에서 특정 파장을 갖는 광을 방출할 수 있다. 이와 같이 엑시머 램프는 발광관 내부에 봉입된 방전 가스의 종류에 따라 방출되는 광의 파장이 다르고, 다양한 광의 파장에 따라 광 세정, 공기정화, 표면 개질, 피부 치료, 살균 등 다양한 용도로 사용될 수 있다.
종래의 엑시머 램프는 단일관 형태의 엑시머 램프, 이중관 형태의 엑시머 램프, 외부 전극 형태의 엑시머 램프, 사각형 엑시머 램프 등 다양한 종류의 엑시머 램프가 존재하며, 광 조사 장치 내부에 장착되어 유전체 배리어 방전에 의해 특정 파장을 방출한다.
이 중 종래의 사각형 엑시머 램프를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래 사각형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 1을 참조하면, 종래 사각형 엑시머 램프는, 내부에 방전 가스가 봉입되는 방전 공간을 가지며 사각형 단면 형태를 갖는 발광관(1)과, 상기 발광관(1)의 상면과 하면에 구비되어 고전압이 인가되는 한 쌍의 전극(2, 3)을 포함하여 구성된다.
이에 따라, 상기 한 쌍의 전극(2, 3)에 고주파 및 고전압의 전원이 인가됨으로써, 유전체 배리어 방전이 발생되고 이 방전에 의해 상기 발광관(1)으로부터 광이 방출된다. 이때, 방출된 광의 파장에 따라 광 세정, 공기 정화, 표면 개질, 피부 치료, 세균 및 바이러스 등 다양한 용도로 사용된다.
이때, 엑시머 램프는 세균 및 바이러스 제거를 위하여 UV-C 영역 중 207nm 또는 222nm 파장 영역의 광을 방출하는데, 특히 207nm 또는 222nm 파장 영역은 UV-C 영역 중 Far UV-C 영역에 분류 해당된다. 상기 Far UV-C 영역의 광은 세균 및 바이러스 제거에 효과적이면서, 파장의 세포 침투력 특성에 의해 사람에게 노출되더라도 인체에 무해하다.
그러나, 종래 엑시머 램프로부터 방출되는 UV-C 광의 스펙트럼을 확인하면 실제로 방출되는 광은 일정 선폭(Spectral Narrow Width)을 가지되, 그 중심 파장은 Far UV-C 파장 영역을 가지나 상기 중심 파장 외의 영역에서는 240nm이상 즉 240nm~300nm의 파장 영역을 가짐으로써 중심 파장보다 낮은 광의 세기(Intensity)를 가지는 밴드 스펙트럼(Band Spectrum)을 포함한다. 이때, 상기 240nm~300nm의 파장 영역의 광은 인체에 유해한 파장 영역이다.
따라서, 종래 엑시머 램프를 광 조사 장치에 적용할 경우 유해한 파장 영역의 광을 선택적으로 차단하거나 감소시키기 위한 별도의 필터부재를 광 조사 장치 내부에 설치하여야 한다.
그리고, 종래 엑시머 램프를 광 조사 장치에 적용할 경우 한 쌍의 전극(2, 3)에 전원을 인가하기 위해서는 전원장치와 연결된 리드 와이어(lead wire)를 엑시머 램프에 전기적으로 연결하여야 한다.
따라서, 종래 광 조사 장치는 내부에 전원장치와 엑시머 램프를 연결하는 리드 와이어의 설치 공간 확보 등에 의해 소형화에 한계가 존재하며, 엑시머 램프의 사용 수명 종료 후 엑시머 램프 교체시 리드 와이어의 분리 및/또는 필터부재를 분리해야 함으로써 엑시머 램프의 교체 작업이 복잡하고 불편하며 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1949001호 (2019.02.11.)
본 발명의 실시예는 엑시머 램프의 교체가 용이한 광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예는 광 조사 효율 및 냉각 효율을 높일 수 있는 광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예는 소형화가 가능한 광 조사 장치용 엑시머 램프와 케이스, 그리고 이를 포함하는 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및 상기 엑시머 램프의 출입을 위한 출입구를 갖는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 고정하는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치가 제공된다.
여기서, 상기 접속 지지부는 상기 케이스 본체의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 이루어질 수 있다.
그리고, 상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지도록 상기 발광관의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지며 상기 발광관의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어질 수도 있다.
이때, 상기 램프 전극은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 접속 지지부와 전기적으로 연결 가능하고 상기 발광관으로부터 광이 방출될 수 있도록 개구부가 형성된 다양한 구조의 적용이 가능하다.
한편, 상기 케이스 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 반대측 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면을 가질 수 있다.
이때, 상기 접촉면은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 이루어질 수 있다.
또한, 상기 케이스 전극은 상기 접속 지지부와 대향된 상기 케이스 본체의 내측면에 밀착 고정될 수 있다.
한편, 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되는 상기 케이스 본체의 일측면에는 개방된 투과부가 형성될 수 있으며, 이때 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는 상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 여과되는 필터;를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 필터는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는 것이 바람직하다.
이때, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는 상기 필터 대신, 상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되는 윈도우;를 포함할 수도 있다.
한편, 상기 출입구는 상기 엑시머 램프의 출입되는 외관 사이즈 이상의 사이즈로 형성될 수 있다.
이때, 상기 출입구에는 상기 출입구를 개방 또는 차단하는 출입문;을 구비할 수도 있다. 여기서, 상기 출입문은 후크 탈부착, 자석 탈부착, 벨크로 탈부착 중 적어도 어느 하나의 탈부착 방식으로 상기 출입구에 구비될 수 있다.
한편, 상기 발광관은 내부에 방전 공간을 가지며, 원형, 타원형, 다각형 중 적어도 어느 하나의 단면을 갖는 밀폐된 관 형태로 이루어질 수 있다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 광 조사 장치의 케이스 본체에 형성된 출입구를 통해 상기 케이스 본체에 결합되거나 탈거 가능하게 구비되는 광 조사 장치용 엑시머 램프로서, 광을 방출하는 발광관; 및 상기 발광관의 외측에 구비되어, 상기 발광관이 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 케이스 본체의 일측에 구비된 접속 지지부와 착탈 가능하게 고정되는 램프 전극;을 포함하는, 광 조사 장치용 엑시머 램프가 제공된다.
본 발명의 다른 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프가 결합되거나 탈거 가능하게 구비되는 광 조사 장치용 케이스로서, 상기 엑시머 램프의 출입을 위한 출입구를 갖는 케이스 본체; 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어, 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 고정하는 접속 지지부; 및 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어, 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극;을 포함하는, 광 조사 장치용 케이스가 제공된다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 광 조사 장치의 케이스에 엑시머 램프를 간편하게 탈부착하면서 설치 및 제거가 가능하여 엑시머 램프의 교체가 용이한 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 리드 와이어 없이 광 조사 장치의 케이스에 엑시머 램프를 간단하게 삽입함으로써 동시에 엑시머 램프의 전기적 연결을 수행하고, 광 조사 장치의 케이스로부터 엑시머 램프를 빼냄으로써 동시에 엑시머 램프의 전기적 연결을 해제하면서 제거가 가능하여 광 조사 장치의 소형화가 가능한 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 엑시머 램프에 구비된 단일 전극만으로 전원 공급이 가능하여 엑시머 램프의 소형화 및 제조비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 케이스의 내측면에 구비된 케이스 전극을 통해 발광관으로부터 발생되는 열을 케이스 외부로 방열 가능하여 엑시머 램프의 냉각 효과를 향상시키고 이에 성능을 향상할 수 있는 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관으로부터 방출되는 일부 광을 케이스 전극을 통해 반사하여 조사함으로써 엑시머 램프의 광 조사 효율 및 성능을 향상할 수 있는 이점이 있다.
도 1은 종래 사각형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스를 개략적으로 나타낸 단면도
도 3b는 도 3a의 케이스를 교차 측면에서 개략적으로 나타낸 단면도
도 3c는 도 3b의 케이스를 광 조사 측면에서 개략적으로 나타낸 평면도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스에 엑시머 램프가 결합되기 전의 상태를 개략적으로 나타낸 사시도
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스에 엑시머 램프가 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도
도 5b는 도 5a의 평면도
도 5c는 도 5a의 Ⅰ-Ⅰ’선을 따른 단면도
도 5d는 도 5a의 Ⅱ-Ⅱ’선을 따른 단면도
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 개시되는 실시예들은 이에 제한되지 않는다.
실시예들을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 개시되는 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 개시되는 실시예들에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도이며, 도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스를 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 3b는 도 3a의 케이스를 교차 측면에서 개략적으로 나타낸 단면도이며, 도 3c는 도 3b의 케이스를 광 조사 측면에서 개략적으로 나타낸 평면도이다.
먼저, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 엑시머 램프(100)는, 내부에 방전 가스가 봉입되어 유전체 배리어 방전시 광을 방출하는 발광관(110)과, 상기 발광관(110)의 상측면에 구비되는 램프 전극(120)을 포함할 수 있다.
다음, 도 3a 내지 도 3c를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스(200)는, 일측에 상기 엑시머 램프(100)가 출입되는 출입구(211)가 형성된 케이스 본체(210)와, 상기 엑시머 램프(100)가 수용될 시 상기 램프 전극(120)이 탈부착 가능하게 전기적으로 연결되는 접속 지지부(220)와, 상기 엑시머 램프(100)가 수용될 시 상기 발광관(110)이 접촉되는 케이스 전극(230)을 포함할 수 있다.
여기서, 상기 접속 지지부(220)는 상기 케이스 본체(210)의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 형성된 탄성체일 수 있으며, 상기 출입구(211)는 상기 엑시머 램프(100)의 출입되는 외관 사이즈 이상의 사이즈로 형성될 수 있다.
이에 따라, 상기 엑시머 램프(100)가 상기 출입구(211)를 통해 상기 케이스 본체(210)에 삽입될 시 상기 램프 전극(120)이 상기 접속 지지부(220)에 착탈 가능하게 결합됨으로써, 상기 엑시머 램프(100)가 상기 케이스 본체(210)에 안정적으로 고정될 수 있다.
이때, 상기 접속 지지부(220)는 전도성 소재로 이루어진 탄성체를 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성편, 탄성클립, 후크 등 상기 램프 전극(120)과 전기적으로 연결되면서 상기 램프 전극(120)을 탈부착 가능하게 고정 지지하는 다양한 구조를 가질 수 있다.
그리고, 상기 케이스 전극(230)은 상기 발광관(110)의 표면 중 광이 조사되는 방향 반대측 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면(231)을 가질 수 있다.
즉, 상기 엑시머 램프(100)가 상기 케이스 본체(210)에 삽입되면 상기 케이스 전극(230)의 상측면이 접촉면(231)이 되어 상기 발광관(110)의 하측면과 접촉함으로써, 상기 케이스 전극(230)은 상기 램프 전극(120)과 함께 상기 발광관(110)의 유전체 배리어 방전을 위한 한 쌍의 전극 역할을 수행할 수 있다.
이때, 상기 케이스 전극(230)은 상기 접속 지지부(220)와 대향된 상기 케이스 본체(210)의 내측면에 밀착 고정될 수 있다.
즉, 상기 접속 지지부(220)가 상기 케이스 본체(210)의 내부 상측면에 구비될 경우, 상기 케이스 전극(230)은 상기 케이스 본체(210)의 내부 하측면에 구비될 수 있다.
그리고, 상기 접속 지지부(220)에는 그라운드(GND) 전압이 연결될 수 있고 상기 케이스 전극(230)에는 플러스(+) 전압이 연결될 수 있으며, 이에 따라 상기 접속 지지부(220) 및 상기 케이스 전극(230)에 전압이 인가되면 상기 램프 전극(120) 및 케이스 전극(230)에 의한 유전체 배리어 방전을 통해 상기 발광관(110)으로부터 광이 방출될 수 있다.
여기서, 상기 케이스 전극(230)의 접촉면(231)은 상기 발광관(110)으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 작용할 수 있다. 따라서, 상기 접촉면(231)을 통해 반사되는 광이 상기 발광관(110)의 내부로 유입된 후 다시 반대측으로 방출됨으로써, 상기 엑시머 램프(100)의 광 조사 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에서 상기 케이스 전극(230)은 사각형 구조의 발광관(110)과 대응되는 사각형 구조를 가짐으로써 상기 접촉면(231)이 평면 형태로 광을 반사하여 광 균일도를 증가시킬 수 있다.
그리고, 상기 케이스 전극(230)은 상기 접촉면(231)을 통해 상기 발광관(110)으로부터 발생되는 열을 상기 케이스 본체(210) 측으로 전달하여 외부로 방출하는 매개체 역할을 함으로써, 상기 발광관(110)의 광 방출시 발생하는 열을 효과적으로 냉각할 수 있다.
도 4 내지 도 5d를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 엑시머 램프 및 케이스 구조, 그리고 엑시머 램프의 탈부착 구조를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스에 엑시머 램프가 결합되기 전의 상태를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스에 엑시머 램프가 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 5b는 도 5a의 평면도, 도 5c는 도 5a의 Ⅰ-Ⅰ’선을 따른 단면도, 그리고 도 5d는 도 5a의 Ⅱ-Ⅱ’선을 따른 단면도이다.
도 4 내지 도 5d를 참조하면, 상기 엑시머 램프(100)의 램프 전극(120)은 상기 발광관(110)의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가질 수 있다.
즉, 상기 케이스(100)에 상기 엑시머 램프(100)가 결합될 시 상기 발광관(110)으로부터 방출되는 광은 상기 램프 전극(120)의 개구부를 통해 외부로 조사될 수 있다.
여기서, 상기 램프 전극(120)은 상기 발광관(110)의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어질 수 있으며, 일 예로 상기 램프 전극(120)은 상기 발광관(110)의 표면에 전도성 물질을 패턴 형성하여 전극층으로 제조할 수 있다.
이때, 상기 램프 전극(120)의 형태는 메쉬 형태로 형성되거나 교차되는 복수의 선 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 접속 지지부(220)와 전기적으로 연결 가능하고 상기 발광관(110)으로부터 광이 방출될 수 있도록 개구부를 갖는 다양한 구조의 적용이 가능하다. 또한, 상기 램프 전극(120)의 형태는 외부에서 광 조사 장치를 응시할 경우 다양한 표현과 표시 등을 위한 디자인적인 형태를 가질 수도 있다.
그리고, 상기 램프 전극(120)은 상기 발광관(110)의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어질 수도 있다.
즉, 상기 램프 전극(120)은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태를 갖는 전도성 물질로 전극부재를 별도로 제작하여 상기 발광관(110)의 표면에 상기 전극부재를 부착함으로써 전술한 전극층을 대체할 수도 있다.
한편, 상기 케이스 본체(210)의 일측면에는 개방된 투과부(212)가 형성될 수 있다. 따라서, 상기 케이스 본체(210)에 상기 엑시머 램프(100)가 결합될 시 상기 발광관(110)으로부터 방출되는 광이 상기 투과부(212)를 통해 외부로 조사될 수 있다.
여기서, 상기 투과부(212)에는 필터(240)가 구비되어, 상기 발광관(110)으로부터 방출되는 광을 여과함으로써 여과된 광이 외부로 조사되도록 할 수 있다.
이때, 상기 필터(240)는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는 것이 바람직하다.
그리고, 상기 필터(240)는 사용 용도에 따라 숏 패스 필터(Short Pass Filter), 롱 패스 필터(Long Pass Filter), 밴드 패스 필터(Band Pass Filter), 밀도 필터(Density Filter) 등이 적용될 수 있다.
즉, 상기 필터(240)는 투과되는 광(UV광)이 240nm 이내의 파장을 가지도록 투과되는 광의 세기를 조절하고, 이에 따라 최종적으로 상기 엑시머 램프(100)는 인체에 무해하고 안전한 240nm 이내의 파장을 갖는 광을 선택하여 방출할 수 있다.
그리고, 광원의 사용 용도에 따라 상기 필터(240)에 의한 광 여과가 불필요한 경우 상기 투과부(212)에는 필터 대신, 광 투과가 가능한 재질의 윈도우가 구비될 수도 있다.
이때, 상기 윈도우는 설치되지 않을 수도 있으나, 상기 케이스 본체(210) 내부에 구비된 엑시머 램프(100) 등을 보호하기 위한 목적으로 구비되는 것이 바람직하다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치용 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도로서, 도 6을 참조하면, 케이스 본체(210)의 출입구(211)에는 출입구의 개방 또는 차단을 위한 출입문(250)이 구비될 수 있다. 이에 따라, 상기 출입문(250)을 통해 상기 케이스 본체(210) 내부에 구비된 엑시머 램프(100) 등 부품들을 보호할 수 있고 외부 먼지나 벌레의 유입을 차단함으로써 성능 저하 방지 및 유지 보수의 편리성을 향상할 수 있다.
여기서, 상기 출입문(250)은 후크 탈부착, 자석 탈부착, 벨크로 탈부착, 억지끼움 탈부착, 탄성력을 이용하여 고정 지지되는 탈부착 방식 등 다양한 탈부착 방식을 적용하여 상기 출입구(211)에 구비할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 볼트와 같은 기계 요소를 이용하는 체결하는 방식을 적용할 수도 있다.
한편, 본 발명에서 엑시머 램프는 사각형 발광관으로 이루어진 실시 형태를 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 내부에 방전 가스가 봉입되는 방전 공간을 가지면서 원형, 타원형, 다각형 등 다양한 단면으로 이루어진 밀폐된 관 형태로 구성될 수도 있다.
이때, 상기 엑시머 램프의 발광관의 달라지는 형태에 대응하여 램프 전극과 접속 지지부의 형태가 달라질 수 있으며, 특히 케이스 전극은 상기 발광관의 형태가 달라짐에 따라 발광관의 표면과 대응되는 형태의 접촉면을 가짐으로써 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 효율적으로 반사하고 상기 발광관으로부터 발생되는 열을 효과적으로 방열할 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 엑시머 램프
110 : 발광관
120 : 램프 전극
200 : 케이스
210 : 케이스 본체
211 : 출입구
212 : 투과부
220 : 접속 지지부
230 : 케이스 전극
231 : 접촉면
240 : 필터
250 : 출입문

Claims (18)

  1. 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및
    상기 엑시머 램프의 출입을 위한 출입구를 갖는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 탄력적으로 고정함과 동시에 상호 전기적으로 연결되는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 접속 지지부는 상기 케이스 본체의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 이루어진, 광 조사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지도록 상기 발광관의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어진, 광 조사 장치.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지며 상기 발광관의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어진, 광 조사 장치.
  5. 청구항 3 또는 청구항 4에 있어서,
    상기 램프 전극은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태로 이루어진, 광 조사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이스 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 반대측 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면을 가지는, 광 조사 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 접촉면은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 이루어진, 광 조사 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되는 상기 케이스 본체의 일측면에는 개방된 투과부가 형성되는, 광 조사 장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 여과되는 필터;를 포함하는, 광 조사 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 필터는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는, 광 조사 장치.
  11. 청구항 8에 있어서,
    상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 외부로 조사되는 윈도우;를 포함하는, 광 조사 장치.
  12. 청구항 1에 있어서,
    상기 출입구는 상기 엑시머 램프의 출입되는 외관 사이즈 이상의 사이즈로 형성되는, 광 조사 장치.
  13. 청구항 1 또는 청구항 12에 있어서,
    상기 출입구에 구비되어 상기 출입구를 개방 또는 차단하는 출입문;을 포함하는, 광 조사 장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 출입문은 후크 탈부착, 자석 탈부착, 벨크로 탈부착 중 적어도 어느 하나의 탈부착 방식으로 상기 출입구에 구비되는, 광 조사 장치.
  15. 청구항 1에 있어서,
    상기 케이스 전극은 상기 접속 지지부와 대향된 상기 케이스 본체의 내측면에 밀착 고정되는, 광 조사 장치.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 발광관은 내부에 방전 공간을 가지며, 원형, 타원형, 다각형 중 적어도 어느 하나의 단면을 갖는 밀폐된 관 형태로 이루어진, 광 조사 장치.
  17. 광 조사 장치의 케이스 본체에 형성된 출입구를 통해 상기 케이스 본체에 결합되거나 탈거 가능하게 구비되는 광 조사 장치용 엑시머 램프로서,
    광을 방출하는 발광관; 및
    상기 발광관의 외측에 구비되어, 상기 발광관이 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 케이스 본체의 일측에 구비된 접속 지지부에 의해 착탈 가능하게 탄력적으로 고정됨과 동시에 상호 전기적으로 연결되는 램프 전극;을 포함하는, 광 조사 장치용 엑시머 램프.
  18. 광을 방출하는 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프가 결합되거나 탈거 가능하게 구비되는 광 조사 장치용 케이스로서,
    상기 엑시머 램프의 출입을 위한 출입구를 갖는 케이스 본체;
    상기 케이스 본체의 일측에 구비되어, 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 탄력적으로 고정함과 동시에 상호 전기적으로 연결되는 접속 지지부; 및
    상기 케이스 본체의 타측에 구비되어, 상기 엑시머 램프가 상기 케이스 본체에 결합될 시 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극;을 포함하는, 광 조사 장치용 케이스.
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