CN103072377A - 液体排出头以及图像形成装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及液体排出头及图像形成装置。流路部件(5)包括：第一面(21)，形成个别液室(6)的入口侧开口(9)；第二面(22)，设在喷嘴配列方向的两端部，从第一面(21)，朝着液体流入方向的相反方向突出；以及第三面(23)，连接第二面(22)和第一面(21)；在从第二面(22)到第三面(23)的区域和共用液室部件(20)之间，用作为密封部件的粘结剂(24)密封；通过粘结剂(24)，形成流路部件(5)和共用液室部件(20)之间的喷嘴配列方向的共用液室(10)的壁面(25)。实现液体排出头的小型化。

Description

液体排出头以及图像形成装置

技术领域

本发明涉及液体排出头以及图像形成装置。

背景技术

作为打印机，传真机，复印装置，绘图器，上述复合机等的图像形成装置，例如，使用由排出墨液滴的液体排出头(液滴排出头)构成的记录头的液体排出记录方式的图像形成装置，例如喷墨记录装置为人们所公知。

作为液体排出头，以下液体排出头为人们所公知：例如，使得形成排出液滴的多个喷嘴的喷嘴板、形成与喷嘴连通的多个个别流路的流路板、形成个别流路的局部壁面的振动板部件叠层接合，形成将液体供给多个个别流路的共用流路，夹着振动板部件，将共用流路部件配置在流路板的相反侧。

【专利文献1】日本特开2011-086896号公报

但是，为了实现液体排出头的小型化，需要实现形成个别流路的流路部件的小型化。

发明内容

本发明是为了解决上述课题而提出来的，其目的在于，实现液体排出头的小型化。

为了实现上述目的，本发明提出以下技术方案：

(1)一种液体排出头，其特征在于：

该液体排出头包括：

喷嘴板，包括配列排出液滴的多个喷嘴的喷嘴列；

流路部件，形成与上述喷嘴连通的多个个别流路；

压力发生手段，产生对上述个别流路内的液体加压的能量；以及

共用流路部件，向上述多个个别流路供给上述液体；

上述流路部件包括：

第一面，对着上述共用流路，形成通向上述个别流路的入口侧开口；

第二面，设在喷嘴配列方向的两端部，从上述第一面，朝着流向上述个别流路的液体流入方向的相反方向突出；以及

第三面，连接上述第二面和第一面；

至少在上述第二面的局部和上述共用流路部件之间，用密封部件密封；

通过上述密封部件形成上述流路部件和上述共用流路部件之间的喷嘴配列方向的上述共用流路的壁面。

(2)在上述技术方案(1)所述的液体排出头中，其特征在于：

上述第三面是斜面，在喷嘴配列方向，从上述第一面向着上述第二面扩展；

上述流路部件的从上述第二面到上述第三面的区域和上述共用流路部件之间，由上述密封部件密封。

(3)在上述技术方案(1)或(2)所述的液体排出头中，其特征在于：

上述第一面是刻蚀加工面，上述第二面是机械加工面。

(4)在上述技术方案(1)或(2)所述的液体排出头中，其特征在于：

上述第一面是在刻蚀加工面形成保护膜的面，上述第二面是机械加工面。

(5)在上述技术方案(4)所述的液体排出头中，其特征在于：

上述保护膜是硅氧化膜，树脂膜，无机物的涂布膜的至少某一种。

(6)一种图像形成装置，其特征在于：

设有上述技术方案(1)-(5)任一个记载的液体排出头。

下面说明本发明的效果：

按照本发明涉及的液体排出头，流路部件包括：第一面，对着上述共用流路，形成通向上述个别流路的入口侧开口；第二面，设在喷嘴配列方向的两端部，从上述第一面，朝着流向上述个别流路的液体流入方向的相反方向突出；以及第三面，连接上述第二面和第一面；至少在上述第二面的局部和上述共用流路部件之间，用密封部件密封；通过上述密封部件形成上述流路部件和上述共用流路部件之间的喷嘴配列方向的上述共用流路的壁面；因此，能实现液体排出头的小型化。

附图说明

图1是本发明第一实施形态涉及的液体排出头的外观立体说明图。

图2是沿图3的X1-X1线(与图1的A-A线相当)的液室长方向(与喷嘴排列方向垂直的方向)的主要部分截面说明图。

图3是沿图2的Y1-Y1线的平截面说明图。

图4是沿图1的B-B线的液室短方向(喷嘴配列方向)的主要部分截面说明图。

图5是用于比较例说明的沿图6的X2-X2线的液室长方向的主要部分截面说明图。

图6是沿图5的Y2-Y2线的平截面说明图。

图7是沿图8的X3-X3线的液室长方向的主要部分截面说明图。

图8是沿图7的Y3-Y3线的平截面说明图。

图9是用于说明本发明第二实施形态涉及的液体排出头的沿图10的X4-X4线的液室长方向的主要部分截面说明图。

图10是沿图9的Y4-Y4线的平截面说明图。

图11是用于说明本发明第三实施形态涉及的液体排出头的沿图12的X5-X5线的液室长方向的主要部分截面说明图。

图12是沿图11的Y5-Y5线的平截面说明图。

图13是沿图12的X6-X6线的液室长方向的主要部分截面说明图。

图14是说明本实施形态涉及的液体排出头组装工序的对准时状态的与图13相同截面的截面说明图。

图15是用于说明本发明涉及的液体排出头的流路板的制造工序一例的说明图。

图16是用于说明图15后工序的说明图。

图17是用于说明图16后工序的说明图。

图18是用于说明图17后工序的说明图。

图19是用于说明图18后工序的说明图。

图20是用于说明图19后工序的说明图。

图21是用于说明图20后工序的说明图。

图22是用于说明图21后工序的说明图。

图23是用于说明图22后工序的说明图。

图24是用于说明图23后工序的说明图。

图25是用于说明图24后工序的说明图。

图26是制作流路板状态的硅片的平面说明图。

图27是说明本发明涉及的图像形成装置一例的机构部的概略侧面说明图。

图28是该机构部的主要部分平面说明图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的实施形态，在以下实施形态中，虽然对构成要素，种类，组合，位置，形状，数量，相对配置等作了各种限定，但是，这些仅仅是例举，本发明并不局限于此。

参照图1-图4说明本发明第一实施形态涉及的液体排出头。图1是该液体排出头100的外观立体说明图，图2是沿图3的X1-X1线(与图1的A-A线相当)的液室长方向(与喷嘴配列方向垂直的方向)的主要部分截面说明图，图3是沿图2的Y1-Y1线的平截面说明图，图4是沿图1的B-B线的液室短方向(喷嘴配列方向)的主要部分截面说明图。

该液体排出头100叠层接合喷嘴板1、流路板(液室基板)2、振动板部件3。并且，包括使得振动板部件3变位的压电驱动器11，以及作为构成该头框架的共用流路部件的共用液室部件20。在此，由流路板2和振动板部件3构成流路部件5。

由喷嘴板1、流路板2、以及振动板部件3形成个别液室(也称为加压液室、压力室、加压室、流路等)6、液体供给通道7，所述个别液室6也作为与排出液滴的多个喷嘴4连通的个别流路，所述液体供给通道7兼作为向个别液室6供给液体的流体阻力部。

并且，从共用液室部件20的作为共用流路的共用液室10，经液体供给通道7将液体供给到多个个别液室6。在此，通向个别液室6的液体供给通道7的入口侧开口9对着共用液室10，成为通向个别液室6的入口侧开口。

在此，喷嘴板1由镍(Ni)金属板形成，用电铸法制造。但是，并不局限于此，可以使用其它金属部件，树脂部件，树脂层和金属层的叠层部件等。在喷嘴板1上形成与各液室6对应，例如直径10～35μm的喷嘴4，用粘结剂和流路板2接合。并且，在该喷嘴板1的液滴排出侧面(排出方向表面：排出面或与液室6侧相反的面)设有防水层。

流路板2系将单晶硅基板刻蚀，形成构成个别液室6、液体供给通道7等的槽部6a。又，在流路板2的表面形成后述保护膜30。流路板2也可以使用酸性刻蚀液刻蚀例如SUS基板等的金属板，或者进行压力加工等机械加工形成。

振动板部件3兼作为形成流路板2的个别液室6的槽部6a的壁面的壁面部件。该振动板部件3与各个别液室6对应，包括形成其壁面一部分的各振动区域(振动片部)3a，在振动区域3a形成岛状凸部3b。

并且，该振动板部件3的与个别液室6的相反侧，配置压电驱动器11，其包含作为使得振动板部件3的振动区域3a变形的驱动手段(驱动器手段，压力发生手段)的电气机械变换元件。

该压电驱动器11包括通过粘结剂接合在基体部件13上的多个叠层型压电部件12，在压电部件12，通过半切割槽加工，相对一个压电部件12，以所定间隔梳齿状地形成所需要数量的压电柱12A，12B。

压电部件12的压电柱12A，12B虽然相同，但区别为驱动压电柱(驱动柱)12A以及非驱动压电柱(非驱动柱)12B，所述驱动压电柱12A给与驱动波形，使得压电柱驱动，所述驱动压电柱12B不给与驱动波形，作为单纯支柱使用。

并且，使得驱动柱12A的上端面与振动板部件3的振动区域3a接合。该压电部件12使得压电层和内部电极交替叠层，内部电极分别引出到端面，设置外部电极，作为用于给与驱动信号的具有可挠性的柔性配线基板的FPC15与驱动柱12A的外部电极连接。

共用液室部件20兼作为该头整体的框架部件，用例如环氧类树脂或作为热可塑性树脂的聚苯撑亚硫酸盐等通过注塑成型形成。并且，该共用液室部件20在与喷嘴配列方向垂直方向，与喷嘴板1的周缘部以及构成流路部件5的振动板部件3的端部，高度不同地用粘结剂接合。

在这样构成的液体排出头中，例如，因施加到驱动柱12A的电压从基准电位降低，驱动柱12A收缩，形成振动板部件3的液室壁面的振动区域3a下降，个别液室6容积膨胀，液体流入个别液室6内，此后，施加到驱动柱12A的电压上升，使得驱动柱12A朝叠层方向伸长，使得振动板部件3的振动区域3a在喷嘴4方向变形，使得个别液室6容积收缩，个别液室6内的液体被加压，从喷嘴4排出(喷射)液滴。

并且，因施加到驱动柱12A的电压回到基准电位，振动板部件3的振动区域3a回复到初始位置，个别液室6膨胀，产生负压，因此，这时，液体从共用液室10通过液体供给通道7充填到个别液室6内。于是，喷嘴4的弯液面的振动衰减稳定后，移到用于下次排出液滴的动作。

关于该头的驱动方法并不局限于上述例子(吸引-推压)，也可以由给与驱动波形一方，进行吸引或推压等。

于是，参照图3说明本实施形态的由形成个别液室6的流路板2及振动板部件3构成的流路部件5和共用液室部件20的在喷嘴配列方向的接合。

流路部件5的沿着向个别液室6的液体流入方向(从共用液室10侧向喷嘴4侧的方向)的端部，对着共用液室10。

在此，流路部件5包括第一面21，第二面22，以及第三面23，所述第一面21形成个别液室6的入口侧开口9，所述第二面22设在喷嘴配列方向的两端部，与第一面21相比，朝着液体流入方向的相反方向突出，所述第三面23连接第一面21和第二面22。

该第三面23在喷嘴配列方向，从第一面21向着第二面22设为斜面，朝着喷嘴配列方向两端部侧扩展。第三面23既可以是平坦面也可以是曲面。

并且，从第二面22到第三面23的区域和共用液室部件20之间用作为密封部件的粘结剂24密封。

因此，通过作为密封部件的粘结剂24，形成流路部件5和共用液室部件20之间的喷嘴配列方向的共用液室10的壁面25。

这样，通过将流路部件5的与共用液室部件20接合的面设为第二面22，其从设有个别液室6的入口侧开口9的第一面21突出，能使得接合面和作为框架部件的共用液室部件20的接合部宽度(间隔)L1狭。

因此，能减少因流路部件5和共用液室部件20接合而使用的粘结剂量，能减少因粘结剂流出而堵塞个别液室6的入口侧开口9的危险。

另一方面，流路部件5的设有个别液室6的入口侧开口9的第一面21为从成为接合面的第二面22朝个别液室侧(朝着液体流入方向的方向)后退的面，因此，能扩展由流路部件5、喷嘴板1以及共用液室部件20形成的共用液室10的宽度(流路部件5的端面和共用液室部件20的间隔)L2，降低流入液体供给通道7的液体阻力，能向个别液室6稳定地供给液体，因此，能稳定地排出液滴形成图像。

关于其作用效果，通过与图5-图8表示的比较例对比说明。图5是用于比较例说明的沿图6的X2-X2线的液室长方向的主要部分截面说明图，图6是沿图5的Y2-Y2线的平截面说明图，图7是沿图8的X3-X3线的液室长方向的主要部分截面说明图，图8是沿图7的Y3-Y3线的平截面说明图。

在该比较例中，与流路部件5的喷嘴配列方向垂直方向的端面设为平坦端面521(仅仅相当于上述实施形态的第一面21)。并且，用粘结剂24接合该流路部件5的喷嘴配列方向的端部和共用液室部件20，用粘结剂24形成共用液室10的喷嘴配列方向的壁面25。

但是，共用液室10相对个别液室6需要稳定供给液体，例如，即使从全部喷嘴4排出液滴，也必须备作此后排出液滴，确保能快速地向各个别液室6供给液体的容量。

为此，在流路部件5的与喷嘴配列方向垂直方向的端面521和共用液室部件20之间，在与喷嘴配列方向垂直方向必须确保所需要的间隔(将其设为上述实施形态的间隔L2)。

于是，如图5及图6所示，确保流路部件5的端面521和共用液室部件20之间的间隔L2场合，必须涂布多量的粘结剂24，用于填满流路部件5的端面521和共用液室部件20之间的间隙。

其结果，在粘结剂24硬化前，存在粘结剂24流出的危险，因此，需要在离开形成个别液室6的入口侧开口9的区域的位置涂布粘结剂24(例如图6上侧的粘结剂24场合)。

这样，若使得粘结剂24离开喷嘴配列方向端部的个别液室6的入口侧开口9，则端面521和粘结剂24之间形成凹部，产生难以发生液体流动的死水区域，气泡550滞留，存在不能通过的危险。

该气泡550若在形成图像中的某时间因搭载头的滑架往复运动等侵入个别液室6，则产生不排出或喷射弯曲等，导致图像品质降低。

这种场合，如图6下侧粘结剂24那样，若将粘结剂24涂布在靠近喷嘴配列方向的端部的个别液室6的入口侧开口9处，则粘结剂24沿着箭头方向G流出，存在堵塞附近的个别液室6的入口侧开口9的危险，由此，不能供给液体，发生排出不良。

于是，如图7及图8所示，流路部件5的端面521和共用液室部件20之间的间隔变狭为间隔L1场合，粘结剂24的涂布量变少，与喷嘴配列方向垂直方向的涂布宽度也变狭，因此，粘结剂位置控制成为容易，如图5所示凹部引起的死水区域或发生粘结剂向入口侧开口9流入的危险变少。

但是，如上所述，通过使得流路部件5的端面521和共用液室部件20之间的间隔变狭，共用液室10的容量变小，该部分的流体阻力变大。其结果，对于个别液室6的液体供给不能追随液滴排出，发生不排出的可能性变高。

又，通过使得流路部件5的端面521和共用液室部件20之间的间隔变狭，如图7所示，由流路部件5的端面521、共用液室部件20、以及喷嘴板1形成狭小凹部，气泡550易滞留在该凹部。该气泡550难以在液体充填动作(相对头的初始充填动作等)中排出，因此，在图像形成动作等中上升，从入口侧开口9侵入个别液室6，产生液滴排出不良，存在产生图像脱落等危险。

与此相反，如本实施形态那样，沿着与液体流入方向相反方向，换句话说，与喷嘴配列方向垂直方向，使得流路部件5的与共用液室部件20接合的面设为第二面，其从设有个别液室6的入口侧开口9的第一面21朝共用液室部件20侧突出，通过将第二面22设为粘结面(接合面)，一边能确保与图5及图6所示场合相同的共用液室容量，一边还能得到与图7及图8所示场合相同的粘结剂的涂布控制容易性。

下面，详细说明本实施形态的第一面21，第二面22，以及第三面23。

首先，第三面23如上所述设为斜面，在喷嘴配列方向，从第一面21向着第二面22，朝着喷嘴配列方向端部侧扩展。

由此，当用粘结剂24接合流路部件5和共用液室部件20时，若剩余粘结剂24流出，则被更宽广区域吸收，因此，能确实防止粘结剂24流入到个别液室6的入口侧开口9。

当例如从单晶硅基板形成流路板2场合，成为这种斜面的第三面23可以在刻蚀速度慢的面形成。

从单晶硅基板形成流路板2场合，较好的是，第一面21包含流路板2的刻蚀加工面，设为形成保护膜30的面。由此，能防止暴露在液体中的流路部件5的第一面21因液体溶解。

保护膜30可以例如使得刻蚀加工后的硅基板全面热氧化，形成硅热氧化膜，或涂布聚四氟乙烯(登录商标)，硅酮，聚酰亚胺等树脂膜，或通过烧成等固结在基板上。又，作为上述保护膜，可以镀以金属或SiN，SiO₂等无机物。

第二面22可以设为由粘结剂24密封的区域，或共用液室10外部的区域，与液体不直接接触。因此，第二面22可以没有保护膜30，可以通过机械加工形成。

这样，通过使得第二面22成为机械加工面，例如，在硅基板上由刻蚀加工形成包括多个个别液室6及液体供给通道7的流路板2，一下子形成保护膜30后，能通过机械加工分割为各流路板2，能大大改善流路板2生产性。

作为该场合的机械加工，可以使用磨粒切割机，激光切割机，通过分裂(cleavage)进行分离等。

在这种机械加工中，用磨粒切割机产生被磨粒切削的切屑，若将流路板2的入口侧开口9作为切割面，则切屑混入成为液体供给通道7及个别液室6的槽部6a，液滴排出时，存在引起喷嘴堵塞的危险。

又，即使在激光切割机中，也因照射激光而引起磨耗或形成脆弱层，易发生屑类物，液滴排出时，存在引起喷嘴堵塞的危险。

即使通过分裂进行分离，也因分裂时裂缝或形成脆弱层，易发生屑类物，液滴排出时，存在引起喷嘴堵塞的危险。

又，机械加工面易发生屑类，存在因屑类引起异物堵塞喷嘴的危险。

但是，本实施形态的第二面22即使作为机械加工面，也成为用粘结剂24密封的区域，或共用液室10外侧的区域，因此，能确实防止机械加工切屑、分裂时屑类、屑类引起的异物等混入共用液室10，能防止这种屑类等异物混入个别液室6内。

又，在第一面21和第二面22之间设有第三面23，即，将流路部件5的共用液室部件20侧的最外侧的端面设为第二面22，其从设有个别液室6的入口侧开口9的第一面21朝共用液室部件20侧突出，即使在形成保护膜后进行机械加工，也能防止形成在与液体接触的第一面21的保护膜30受到损伤。

即，在磨粒切割机等的机械加工中，存在机械加工面周围的保护膜因进行机械加工的刀片受到损伤的危险。又，即使不直接接触刀片等，也存在因机械加工时加工屑损伤保护膜局部的危险。

该保护膜如上所述系为了不使得因与液体接触而导致流路板2等溶解，因此，若在机械加工时保护膜局部受到损伤，则会从损伤处开始溶解，从溶解部分发生保护面剥离，存在过不多久蔓延到宽广区域引起溶解的危险。

于是，使得机械加工形成的第二面22与形成保护膜30的第一面21错开，能大幅度减少因机械加工损伤第一面21的保护膜30的危险。

又，通过将第二面22设为机械加工面，能提高流路部件5和共用液室部件20的接合力。

即，在上述图5至图8的关于比较例的说明中，端面521为平坦面，在整体形成保护膜，用粘结剂24密封的区域也形成保护膜。但是，保护膜使用化学耐性高的化学物质，因此，一般，对于粘结剂结合弱，粘结力弱，因此，存在流路部件5和共用液室部件20的接合强度不充分的危险。

与此相反，流路部件5和共用液室部件20接合，通过将构成流路部件5的流路板2的第二面22设为机械加工面，粘结剂24粘接无保护膜的第二面22和共用液室部件20，与带有保护膜的面的粘接相比，结合力高，能得到高的接合强度。由此，能防止接合部的经时劣化引起的粘接力降低，能长期进行稳定的液滴排出。

下面，参照图9及图10说明本发明第二实施形态涉及的液体排出头。图9是用于说明本发明第二实施形态涉及的液体排出头的沿图10的X4-X4线的液室长方向的主要部分截面说明图，图10是沿图9的Y4-Y4线的平截面说明图。

在本实施形态中，将连接第一面21和第二面22的第三面23设为阶梯面。即，第三面23系从第一面21沿着与液体流入方向相反方向，大致垂直(包含垂直)地立起，与第二面22连接。

通过这种构成，即使粘结剂24流出，粘结剂24流入到个别液室6的入口侧开口9，能减少闭塞入口侧开口9的危险。又，通过将个别液室6的入口侧开口9形成直到第一面21的端部，共用液室10的喷嘴配列方向的凹部变小，能减少充填时的气泡残留。

这种场合，通过采用下文详细说明的制造工序(处理)，大致垂直地连接第一面21和第二面22的第三面23能使用刻蚀速度慢的面形成。

通过用刻蚀速度慢的面形成，能正确得到大致垂直面的位置，能尽可能小地制造流路部件端部的凹部。

下面，参照图11-图13说明本发明第三实施形态涉及的液体排出头。图11是用于说明本发明第三实施形态涉及的液体排出头的沿图12的X5-X5线的液室长方向的主要部分截面说明图，图12是沿图11的Y5-Y5线的平截面说明图，图13是沿图12的X6-X6线的液室长方向的主要部分截面说明图。

在本实施形态中，以平面形状看，将共用液室部件20的与流路部件5的喷嘴配列方向垂直方向的端面对向的部分，设为与流路部件5的端面形状逆形状。即，将与流路部件5的第一面21对向的部分设为第一面51，在喷嘴配列方向两端部，设有从第一面51向流路部件5侧突出的第二面52，第三面53连接第一面51和第二面52，形成斜面状，向着喷嘴配列方向两端部，共用液室部件20的截面积扩大。

通过这样构成，能使得流路部件5的第二面22和用粘结剂24接合的共用液室部件20侧的第二面52之间的间隔L3比上述实施形态狭(L3＜L1)，使得粘结剂24流出更少。与此同时，流路部件5的第一面21和共用液室部件20的第一面51之间的间隔L2不狭小，因此，能确保与上述实施形态同样的必要的共用液室10的容量。

在此，第一面51如图11所示，设为斜面，随着从喷嘴板1离开，朝着从流路部件5的端面离开方向倾斜。又，第二面52如图13所示，设为斜面，随着从喷嘴板1离开，朝着靠近流路部件5的端面的方向倾斜。

再有，即使粘结剂24一部分流出，伴随流出，在流路部件5的第三面23以及共用液室部件20的第三面53变宽，因此，能减少粘结剂24流出到个别液室6的入口侧开口9导致闭塞的危险。

下面，参照图14说明本实施形态涉及的液体排出头组装工序。图14是说明本实施形态涉及的液体排出头组装工序的对准时状态的与图13相同截面的截面说明图。

喷嘴板1和流路部件5组装成组件，接合该组件和共用液室部件20时，使得共用液室部件20的斜面即第二面52沿着流路部件5的第二面22对准接合。

这样，将作为流路部件5的突出面的第二面22设为组装基准，第一面21相对第二面22朝着液体流动方向后退，能确实确保共用液室10的宽度，减少流入到入口侧开口9的液体的流体阻力，能进行稳定的供给。

下面，参照图15-图26说明本发明涉及的液体排出头的流路板的制造工序一例。在图15至图25中，各图(a)是主要部分平面说明图，各图(b)、(c)是沿着(a)的截面线的截面说明图，图26是制作流路板状态的硅片的平面说明图。

首先，如图15所示，对于例如晶体取向<110>的硅基板(晶片，wafer)304，形成表面湿法刻蚀用抗蚀图形303，背面湿法刻蚀用抗蚀图形305，以及背面保护抗蚀图形306，接着，分别形成表面湿法刻蚀用抗蚀图形302，干法刻蚀用抗蚀图形301。

接着，如图16所示，使用干法刻蚀用抗蚀图形301的开口，在硅基板304形成贯通孔307。这种贯通刻蚀可以通过例如作为干法刻蚀方法之一的ICP刻蚀装置的Bosch法，很容易形成。

接着，如图17所示，剥离干法刻蚀用抗蚀图形301，露出表面湿法刻蚀用抗蚀图形302。

此后，如图18所示，进行湿法刻蚀，形成贯通孔308。

接着，若使得湿法刻蚀进展，则如图19所示，晶体取向<111>的面309具有慢的刻蚀速度，在横向几乎没有被刻蚀，大致掩模状态，在晶片厚度方向被刻蚀。

另一方面，晶体取向<110>及<100>的面310具有快的刻蚀速度，沿着抗蚀图形下面的横向，进行刻蚀。

接着，若刻蚀进展，则如图20所示，邻接的贯通孔308之间接触连接，成为贯通孔312。

于是，从连接部逆向进行刻蚀，如图21所示。在刻蚀进展到某种程度阶段，如图22所示，为了形成槽部，剥离表面湿法刻蚀用抗蚀图形302及背面保护抗蚀图形306。

此后，若刻蚀再次进展，则如图23所示，形成槽部的刻蚀同时，贯通孔连接形成的角部也被刻蚀。

若在所希望的槽部313的深度停止刻蚀，则如图24所示，形成槽部313和大的贯通孔312。

此后，若全部剥离图形，则如图25所示，可以在硅基板304内形成槽部313和贯通孔312。

在此，剥离表面湿法刻蚀用抗蚀图形302及背面保护抗蚀图形306的时间可以根据形成的贯通孔312的大小和槽部313的深度决定。

又，在上述处理中，为了形成宽度狭的贯通孔307，308，使用通过刻蚀连接各孔，在连接前后，使得刻蚀方向变化，使用上述这样的图形(将其称为“补偿图形”)，但形成贯通孔的方法并不局限于此。

接着，图26表示进行上述那样的处理的硅晶片304的平面图。在上述处理后，通过热氧化硅晶片304，能用成为保护膜30的热氧化膜包覆槽部313和贯通孔312。

此后，用图26所示切断线404切断，能得到包括第一面21以及第二面22的流路板2，第一面21露出流路部件5的流路板2的槽部313(槽部6a)，所述第二面22从第一面21突出。

在此，若使用形成槽部的硅晶片的晶体取向<110>的基板进行刻蚀加工，则因晶体取向不同，刻蚀速度有很大差别，纵向的刻蚀面相对刻蚀底面垂直残留，容易形成矩形槽部。

通过使得形成槽部及开口面的基板热氧化，通过在基板表面形成氧化膜，能制作保护膜。

硅基板场合，相对碱性液体，没有氧化的硅溶解，氧化后的氧化硅与氧化前相比，溶解速度大幅度延迟，能作为保护膜使用。

作为热氧化膜以外的保护膜，可以对形成槽及开口面的基板进行涂布树脂形成，涂布树脂可以使用喷涂或浸渍涂布。

又，作为热氧化膜以外的保护膜，也可以通过CVD或蒸镀涂布保护材料的方法。

上述硅片的切断可以使用磨粒切割机，激光切割机，通过分裂进行分离，粘接切割带的扩展切断等方法。

通过上述一系列加工法，能简单地形成流路板2，槽端部开口的面包括在刻蚀加工面形成保护膜的面。

在上述实施形态中，壁面部件形成构成流路部件的个别流路的壁面，该壁面部件是振动板部件，用压电型头进行说明，但是，即使基板设有发热电阻体，将该基板作为壁面部件的热型头，或者其它静电型头也同样能适用本发明。

又，通过使得上述液体排出头和向该液体排出头供给液体的罐一体化，能得到头一体型液体盒(盒一体型头)。

下面参照图27和图28说明设有本发明涉及的液体排出头的本发明涉及的图像形成装置一例。图27是该装置的机构部的侧面说明图，图28是上述机构部的主要部分平面说明图。

该图像形成装置200是串列型图像形成装置，作为导向部件的主从导向杆231，232横架在左右侧板221A，221B上，以所述主从导向杆231，232保持滑架233沿主扫描方向滑动自如，由没有图示的主扫描电机通过同步带朝着箭头方向(滑架主扫描方向)移动扫描。

液体排出头将用于排出黄色(Y)、青色(C)、品红色(M)、黑色(K)各色墨滴的本发明涉及的液体排出头和收纳供给所述液体排出头的墨液的罐一体化，由所述液体排出头构成记录头234，将所述记录头234安装在该滑架233上，将由多个喷嘴构成的喷嘴列沿着与主扫描方向正交的副扫描方向配列，使得墨滴排出方向向着下方。

记录头234分别具有二个喷嘴列，记录头234a的一喷嘴列排出黑色(K)液滴，另一喷嘴列排出青色(C)液滴，记录头234b的一喷嘴列排出品红色(M)液滴，另一喷嘴列排出黄色(Y)液滴。在此，构成为用二个头结构排出四色液滴，但是，也可以设为每一个头配置四个喷嘴列，以一个头排出四色。

又，通过供给单元224，从各色墨盒210，各色墨液通过各色供给管236补充供给到记录头234的罐235。

另一方面，纸242载置在供纸盒202的纸载置部(压板)241上，作为用于供给所述纸242的供纸部，包括从纸载置部241一张一张分离供给纸242的半月形辊(供纸辊)243，以及与供纸辊243对向、由摩擦系数大的材质构成的分离垫244，对该分离垫244朝着供纸辊243侧赋能。

并且，为了将从该供纸部供纸的纸242送入记录头234的下方侧，设有对纸242进行导向的导向部件245，逆向辊246，运送导向部件247，具有前端加压辊249的推压部件248，且设有作为运送手段的运送带251，用于静电吸附供给的纸242，运送到与记录头234对向的位置。

该运送带251为环状带，架设在运送辊252和张力辊253之间，构成为沿着带运送方向(副扫描方向)周向移动。又，设有用于使得该运送带251表面带电的作为充电手段的充电辊256。该充电辊256与运送带251的表层接触，随着运送带251的回转而从动回转。由没有图示的副扫描电机通过同步带驱动运送辊252回转，该运送带251沿着带运送方向周向移动。

再有，作为用于对在记录头234作记录的纸242进行排纸的排纸部，包括用于从运送带251分离纸242的分离爪261，排纸辊262，以及排纸滚263，在排纸辊262的下方设有排纸盘203。

又，在装置本体的背面部装卸自如地安装有双面单元271。该双面单元271取入通过运送带251的逆向回转而返回的纸242，使其翻转，再次供纸到逆向辊246和运送带251之间。该双面单元271的上面设为手工送纸盘272。

再有，在滑架233的扫描方向一侧的非印字区域，配置作为本发明涉及的头的维持回复装置的维持回复机构281，其包括用于维持、回复记录头234的喷嘴状态的回复手段。在该维持回复机构281，设有用于盖住记录头234的各喷嘴面的各盖部件(以下，称为“盖”)282a，282b(不区分时称为“盖282”)，用于擦拭喷嘴面的作为刮板部件的擦拭刮板283，以及空排出接受器284等，为了排出增粘的记录液，所述空排出接受器284接受对于记录不起贡献作用的液滴的空排出时的液滴。

又，在滑架233的扫描方向另一侧的非印字区域，配置空排出接受器288，记录中等为了排出增粘的记录液，所述空排出接受器288接受对于记录不起贡献作用的液滴的空排出时的液滴，在该空排出接受器288，设有沿着记录头234的喷嘴列方向的开口部289等。

在这样构成的该图像形成装置中，从供纸盘202一张张分离纸242供纸，供纸到大致铅垂上方的纸242由导向件245导向，夹入运送带251和逆向辊246之间运送，进而，前端受运送导向件237导向，在前端加压辊249被推压在运送带251上，转换为大致90度的运送方向。

这时，对于充电辊256，施加交变电压，即，反复交替施加正输出及负输出，运送带251成为交变的带电电压图案，即，在作为周向的副扫描方向，正和负以所定宽度带状地交替带电。在该正、负交替带电的运送带251上，若供给纸242，纸242吸附在运送带251上，因运送带251的周向移动，纸242朝着副扫描方向被运送。

于是，一边使得滑架233移动，一边根据图像信号驱动记录头234，向停止的纸242排出墨滴，记录一行份，运送纸242所定量后，进行下一行记录。通过接收到记录结束信号，或纸242的后端到达记录区域的信号，结束记录动作，将纸242排纸到排纸盘203。

这样，在本图像形成装置中，设有本发明涉及的液体排出头，作为记录头，因此，能稳定地形成高质量的图像。

在本发明中，所谓“纸”并不是将材质限定为纸，也包含OHP、布、玻璃、基板等，意味墨滴或其它液体等可附着者，也称为被记录介质、记录介质、记录纸等。又，图像形成、记录、印字、打印、印刷都作为同义语。

又，在本发明中，“图像形成装置”意味将液体排出到纸、丝、纤维、布、皮革、金属、塑料、玻璃、木材、陶瓷等介质上形成图像的装置，又，所谓“图像形成”不仅对介质赋与具有文字或图形等意义的图像，而且也意味对介质赋与不具有图形等意义的图像(包含仅仅使得液滴附着在介质上)。

又，所谓“墨”并不作特别限定，并不局限于称为墨者，而是用于作为称为记录液、定影处理液、液体等能形成图像的所有液体的总称，例如，也包括DNA试料、抗蚀剂、图形材料、树脂等。

又，所谓“图像”并不局限于平面图像，也包含赋与形成立体物的图像，或将立体自身三元造型形成的像。

又，作为图像形成装置，不作特别限定，可以包含串行型图像形成装置及行型图像形成装置。

上面参照附图说明了本发明的实施形态，但本发明并不局限于上述实施形态。在本发明技术思想范围内可以作种种变更，它们都属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种液体排出头，其特征在于：

该液体排出头包括：

喷嘴板，包括配列排出液滴的多个喷嘴的喷嘴列；

流路部件，形成与上述喷嘴连通的多个个别流路；

压力发生手段，产生对上述个别流路内的液体加压的能量；以及

共用流路部件，向上述多个个别流路供给上述液体；

上述流路部件包括：

第一面，对着上述共用流路，形成通向上述个别流路的入口侧开口；

第二面，设在喷嘴配列方向的两端部，从上述第一面，朝着流向上述个别流路的液体流入方向的相反方向突出；以及

第三面，连接上述第二面和第一面；

至少在上述第二面的局部和上述共用流路部件之间，用密封部件密封；

通过上述密封部件形成上述流路部件和上述共用流路部件之间的喷嘴配列方向的上述共用流路的壁面。

2.根据权利要求1所述的液体排出头，其特征在于：

上述第三面是斜面，在喷嘴配列方向，从上述第一面向着上述第二面扩展；

上述流路部件的从上述第二面到上述第三面的区域和上述共用流路部件之间，由上述密封部件密封。

3.根据权利要求1或2所述的液体排出头，其特征在于：

上述第一面是刻蚀加工面，上述第二面是机械加工面。

4.根据权利要求1或2所述的液体排出头，其特征在于：

上述第一面是在刻蚀加工面形成保护膜的面，上述第二面是机械加工面。

5.根据权利要求4所述的液体排出头，其特征在于：

上述保护膜是硅氧化膜，树脂膜，无机物的涂布膜的至少某一种。

6.一种图像形成装置，其特征在于：

设有权利要求1-5任一个记载的液体排出头。

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