CN102808165A

CN102808165A - 粉尘吸附器

Info

Publication number: CN102808165A
Application number: CN2012102833203A
Authority: CN
Inventors: 郑建宇; 宋晓彬; 郝晓明; 王广明
Original assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Current assignee: Beijing Sevenstar Electronics Co Ltd
Priority date: 2012-08-09
Filing date: 2012-08-09
Publication date: 2012-12-05

Abstract

本发明涉及一种粉尘吸附装置，公开了一种粉尘吸附器，该粉尘吸附器安装在卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的波纹管道和真空管道之间，所述粉尘吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端设有真空入口，其另一端密封，所述真空入口与所述波纹管道连接，所述吸附罐的侧面设有真空出口，所述真空出口与所述真空管道连接，所述吸附罐内壁的周向上设有第一过滤网。本发明在吸附罐内采用第一过滤网将从反应室真空出气口排出的混合气体中的粉尘颗粒过滤出来，清除了从真空出口处排出的混合气体中的粉尘颗粒，提高了真空管道和真空元器件的洁净度和使用寿命，可避免泵的损害，从而提高了泵的使用寿命，减少了设备维修时间和成本。

Description

粉尘吸附器

技术领域

本发明涉及一种粉尘吸附装置，特别是涉及一种用于卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的粉尘吸附器。

背景技术

PECVD装置（又称等离子体增强化学气相沉积装置）制备Al₂O₃过程中，在高真空石英腔体内利用高频电场激发，分解通入工艺气体N₂O和TMA源，通过粒子在样品表面的沉积形成Al₂O₃薄膜，研究发现，晶硅电池氧化铝（Al₂O₃）膜的钝化效果、质量密度和折射率都很好，可以极大地提高电池片转换效率，是太阳能电池生产线上最关键的设备之一。

在卧式PECVD装置中，与反应室的真空出气口连接的真空系统是设备的关键部件，是保证工艺的最重要的结构之一，如图1所示，真空系统主要由依次连接的波纹管道1、真空管道2、真空元器件3、泵4等组成，波纹管道1与反应室的真空出气口连接。在该真空系统中，没有吸附粉尘的装置，由于SiN薄膜和Al₂O₃的制备过程中容易产生粉尘，长时间工作后会在真空管道2的内壁和真空元器件3上形成粉尘垢，就容易造成元器件的失灵或损坏，甚至影响泵4的功能，需要定期清理，但如果清洗频繁，就会增加装卸元器件工作量和增加了维修成本。

发明内容

（一）要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题是如何清除卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的粉尘颗粒的问题。

（二）技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供的一种粉尘吸附器，安装在卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的波纹管道和真空管道之间，所述粉尘吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端设有真空入口，其另一端密封，所述真空入口与所述波纹管道连接，所述吸附罐的侧面设有真空出口，所述真空出口与所述真空管道连接，所述吸附罐内壁的周向上设有第一过滤网。

其中，所述第一过滤网呈螺旋状分布在所述吸附罐内壁的周向上。

其中，所述第一过滤网采用不锈钢材料制成。

其中，所述真空出口处设有第二过滤网。

其中，所述第二过滤网采用不锈钢材料制成。

其中，所述吸附罐需要密封的一端焊接有法兰盘，并在所述法兰盘上安装法兰盖。

其中，所述法兰盖和法兰盘采用卡钳螺钉进行固定安装。

其中，所述法兰盖和法兰盘之间设有密封槽，所述密封槽内设有密封圈。

（三）有益效果

上述技术方案所提供的一种粉尘吸附器，在吸附罐内采用第一过滤网将从反应室真空出气口排出的混合气体中的粉尘颗粒过滤出来，清除了从真空出口处排出的混合气体中的粉尘颗粒，提高了真空管道和真空元器件的洁净度和使用寿命，可避免泵的损害，从而提高了泵的使用寿命，减少了设备维修时间和成本。

附图说明

图1是现有技术中卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统的结构示意图；

图2是本发明粉尘吸附器在卧式等离子体增强化学气相沉积装置中的连接图；

图3是本发明粉尘吸附器的剖视图；

图4是本发明粉尘吸附器的外观图。

其中，1、波纹管道；2、真空管道；3、真空元器件；4、泵；5、吸附罐；6、真空入口；7、真空出口；8、第一过滤网；9、第二过滤网；10、法兰盘；11、法兰盖；12、卡钳螺钉；13、密封槽；14、密封圈。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图2、图3和图4，本发明一种粉尘吸附器，安装在卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的波纹管道1和真空管道2之间，该粉尘吸附器包括吸附罐5，该吸附罐5的一端设有真空入口6，其另一端密封，真空入口6与波纹管道1连接，吸附罐5的侧面设有真空出口7，该真空出口7与真空管道2连接，吸附罐5内壁的周向上设有第一过滤网8。在吸附罐5中采用第一过滤网8将从反应室真空出气口排出的混合气体中的粉尘颗粒过滤出来，清除了从真空出口7处排出的混合气体中的粉尘颗粒，提高了真空管道2和真空元器件3的洁净度和使用寿命，可避免泵4的损害，从而提高了泵4的使用寿命，减少了设备维修时间和成本。

其中，真空入口6与波纹管道1通过法兰紧固连接，真空出口7与真空管道2通过法兰紧固连接。

为了使吸附罐5内部达到多级粉尘颗粒过滤效果，以提高对粉尘颗粒的过滤效果，以提高气体的纯度，本实施例的第一过滤网8呈螺旋状分布在吸附罐5内壁的周向上，采用螺旋状分布的第一过滤网8使得带有粉尘颗粒的气流在吸附罐5中得到彻底地除尘。进一步地，在真空出口7处设有第二过滤网9，该第二过滤网9可通过可拆卸紧固件固定在真空出口7处，以便于清洁和更换。该第二过滤网9可对经吸附罐5进行粉尘颗粒吸附后的气体进一步进行过滤，以进一步提高气体的纯度。

由于该粉尘吸附器在使用一段时间后，第一过滤网8上会吸附大量的粉尘颗粒，应对吸附罐5和第一过滤网8进行定期清洗，为避免由于清洗使得第一过滤网8生锈或腐蚀，同时满足在高温状态下的使用条件，本实施例的第一过滤网8采用不锈钢材料制成。同理，第二过滤网9也采用不锈钢材料制成。

为了方便吸附罐5的定期清洗，上述吸附罐5需要密封的一端采用可拆卸机构进行密封连接，该端部与一法兰盘10焊接，并在该法兰盘10上安装法兰盖11。法兰盖11和法兰盘10采用卡钳螺钉12进行固定安装，该卡钳螺钉12采用LF卡钳螺钉。法兰盖11和法兰盘10之间设有密封槽13，该密封槽13内设有密封圈14，密封圈14使得法兰盖11和法兰盘10之间的连接更加紧密，提高了吸附罐5的密闭性。优选地，密封槽13开在法兰盘10的上表面，用于放置密封圈14。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种粉尘吸附器，安装在卧式等离子体增强化学气相沉积装置的真空系统中的波纹管道和真空管道之间，其特征在于，所述粉尘吸附器包括吸附罐，所述吸附罐的一端设有真空入口，其另一端密封，所述真空入口与所述波纹管道连接，所述吸附罐的侧面设有真空出口，所述真空出口与所述真空管道连接，所述吸附罐内壁的周向上设有第一过滤网。

2.如权利要求1所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述第一过滤网呈螺旋状分布在所述吸附罐内壁的周向上。

3.如权利要求1所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述第一过滤网采用不锈钢材料制成。

4.如权利要求1所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述真空出口处设有第二过滤网。

5.如权利要求4所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述第二过滤网采用不锈钢材料制成。

6.如权利要求1所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述吸附罐需要密封的一端焊接有法兰盘，并在所述法兰盘上安装法兰盖进行密封。

7.如权利要求6所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述法兰盖和法兰盘采用卡钳螺钉进行固定安装。

8.如权利要求6所述的粉尘吸附器，其特征在于，所述法兰盖和法兰盘之间设有密封槽，所述密封槽内设有密封圈。