CN102853436A - 尾气处理系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及尾气处理技术领域，特别是涉及一种尾气处理系统。该尾气处理系统，包括：加热单元、燃烧管和粉尘管；燃烧管包括基体管、进气管和排气管，所述基体管的顶端盖有盖板，所述进气管和排气管穿过盖板插入到基体管内；加热单元位于盖板上，并可拆卸地包围在处于基体管外部的进气管上；燃烧管的底部连接用于收集固体颗粒物的粉尘管。本发明提供的尾气处理系统，结构简单，装卸容易，更换粉尘管方便；同时最大程度地净化排向大气中尾气含量，减少对环境的污染，促进环保。

Description

尾气处理系统
技术领域
本发明涉及尾气处理技术领域，特别是涉及一种尾气处理系统。
背景技术
目前，通常采用单管卧式PECVD（Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition，等离子体增强化学气相沉积法）来制备Al2O3，在高真空石英腔体内利用高频电场激发，分解通入工艺气体N2O和TMA（三甲基铝，Al(CH3)3）源，通过粒子在样品表面的沉积形成Al2O3薄膜，研究发现，晶硅电池氧化铝（Al2O3）膜的钝化效果、质量密度和折射率都很好，可以极大的提高电池片转换效率，是太阳能电池生产线上最关键的设备之一。
在镀Al2O3膜单管卧式PECVD中，理论上的尾气成分有N2、H2O、CO2以及过量N2O。根据国家尾气处理标准，以上几种气体不需要处理可直接排放，但实际上尾气中仍会有TMA存在。由于TMA在空气中能够自燃发出对人体有害的氧化铝烟雾；与水能发生爆炸性分解反应；接触皮肤能引起组织破坏和烧伤，因此，必须对其进行专业处理。
现有技术中尾气处理装置通常造成维护上的许多问题：因反应产物中可溶与不可溶粉末会堆积在排风管沿线上，只有一小部分粉末被送到终端废气处理机去处理，堆积越来越多的粉末会堵塞排风管路，因此，排风管路得经常维修，清除堆积粉末，增加了维修成本。
发明内容
（一）要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是如何提供一种尾气处理系统，以克服现有的尾气处理装置可溶与不可溶物质容易堵塞在排风管内造成装置需要经常维修且不能较好地处理掉TMA等缺陷。
（二）技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供一种尾气处理系统，包括：加热单元、燃烧管和粉尘管；
所述燃烧管包括基体管、进气管和排气管，所述基体管的顶端盖有盖板，所述进气管和排气管穿过盖板插入到基体管内；
所述加热单元位于盖板上，并可拆卸地包围在处于基体管外部的进气管上；
所述燃烧管的底部连接用于收集固体颗粒物的粉尘管。
进一步地，所述加热单元包括两个对接在一起的加热块，每个加热块由保护罩和端盖板夹紧固定，所述两个加热块采用合页连接，由搭扣锁固定。
进一步地，所述进气管的底端深入燃烧管的底部，所述该进气管的底端位置低于所述排气管底端部位置。
进一步地，所述粉尘管包括管体，所述管体与所述基体管通过螺钉、中心圈支架和O型密封圈连接。
进一步地，所述管体采用不锈钢材料制成。
进一步地，所述燃烧管采用不锈钢材料制成，并采用全焊缝焊接。
进一步地，所述排气管连通排风管系统。
进一步地，所述进气管上设有干空气子进气管。
（三）有益效果
上述技术方案具有如下优点：本发明提供的尾气处理系统，结构简单，装卸容易，更换粉尘管方便；同时最大程度地净化排向大气中尾气含量，减少对环境的污染，促进环保。
附图说明
图1为本发明实施例尾气处理系统结构示意图；
图2为本发明实施例尾气处理系统结构剖面示意图。
图中：
1：加热单元；2：燃烧管；3：粉尘管；4、5：加热块；6、7：保护罩；8：合页；9：端盖板；10：进气管；11：排气管；12：干空气子进气管；13：盖板；14：基体管；15：LF卡钳法兰；16：LF卡钳螺钉；17：管体；18：中心圈支架；19：O型密封圈。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1-2所示，本发明实施例提供提供一种尾气处理系统，包括：加热单元1、燃烧管2和粉尘管3。
具体的，燃烧管2包括基体管14、进气管10、排气管11和干空气子进气管12，基体管14的顶端盖有盖板13，所述进气管10和排气管11穿过盖板13插入到基体管14内。该进气管10上连接干空气子进气管12。
由于设备产生尾气在燃烧管2内反应，因此，燃烧管2的各组成零件全部采用不锈钢材料，采用全焊缝焊接连接，保证尾气在进入装置后不会有泄漏。设置进气管的长度较长，且其底端深入燃烧管2的底部，同时该进气管的底端位置低于所述排气管底端部位置，这样可保证混合气体反应彻底，并使反应产物中的固体颗粒物被送往粉尘管不至于被排气管11吸入排风系统中。
加热单元1位于盖板13上，并可拆卸地包围在处于基体管14外部的进气管10上；燃烧管2的底部连接用于收集固体颗粒物的粉尘管3。
加热单元1包括两个对接在一起的加热块4、5，每个加热块由保护罩和端盖板夹紧固定，具体的加热块4由保护罩和端盖板夹紧固定，加热块5由保护罩和端盖板夹紧固定，两者采用合页连接，由搭扣锁固定连接。加热单元1的设计是为混合了CDA（Compressed DryAir，干燥空气）的尾气加热，让混合气体反应更完全，提高尾气的反应率。
粉尘管3包括管体17，管体17采用不锈钢材料制成。管体17与基体管14通过LF卡钳螺钉16、中心圈支架18和O型密封圈19固定，这样可保证燃烧管2和粉尘管3之间具有良好的密封性。当需要清洗或更换管体17时，只需拧开LF卡钳螺钉16便可，保证了拆装方便。
本发明的尾气处理系统的原理是：将设备排放的剩余气体送进尾气处理系统入口并混合作为氧化源的干燥空气，利用TMA在空气中自燃的原理使其燃烧。燃烧产物中固体颗粒物被收集，剩余气体被送往排气管排入排风管系统中。
本发明提供的尾气处理系统，结构简单，装卸容易，更换粉尘管方便；同时最大程度地净化排向大气中尾气含量，减少对环境的污染，促进环保同时也减少了太阳能电池生产厂商排风管路系统的维修时间，满足规模化生产的要求。它小巧的结构非常适合装置在专用制程设备旁边。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种尾气处理系统，其特征在于，包括：加热单元、燃烧管和粉尘管；
所述燃烧管包括基体管、进气管和排气管，所述基体管的顶端盖有盖板，所述进气管和排气管穿过盖板插入到基体管内；
所述加热单元位于盖板上，并可拆卸地包围在处于基体管外部的进气管上；
所述燃烧管的底部连接用于收集固体颗粒物的粉尘管。
2.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述加热单元包括两个对接在一起的加热块，每个加热块由保护罩和端盖板夹紧固定，所述两个加热块采用合页连接，由搭扣锁固定。
3.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述进气管的底端深入燃烧管的底部，所述该进气管的底端位置低于所述排气管底端部位置。
4.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述粉尘管包括管体，所述管体与所述基体管通过螺钉、中心圈支架和O型密封圈连接。
5.如权利要求4所述的尾气处理系统，其特征在于，所述管体采用不锈钢材料制成。
6.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述燃烧管采用不锈钢材料制成，并采用全焊缝焊接。
7.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述排气管连通排风管系统。
8.如权利要求1所述的尾气处理系统，其特征在于，所述进气管上设有干空气子进气管。
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