CN2780292Y - 化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置 - Google Patents
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Abstract
一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，它包括有冷凝室、过滤室、吸附室，所述的冷凝室上连接有冷凝室进气管和冷凝室出气管，在冷凝室内设置有螺旋水冷管，该螺旋水冷管上连接有进水管和出水管；所述的过滤室内设置有带支架的过滤罩，该过滤罩上部穿入有过滤室进气管，在过滤罩的底部设置有粉尘收集罐，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管；所述的吸附室内设置有吸附剂层，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管。在该吸附剂层的上端设置有丝网，在该丝网上设置有重物块。本实用新型的优点是：经过三道过滤作用后保证了真空泵长期稳定运行，还具有清理简便，成本低廉特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置。
背景技术
目前，除尘过滤技术是化学气相沉积系统中至关重要的一环，它稳定工作是沉积得以长时间稳定进行的关键。
在化学气相沉积硫化锌系统中的沉积过程中，不可避免的会产生大量的ZnS及Zn粉，沉积室内反应： 。氩气作为载气携带Zn蒸气和H2S气体进入沉积室，未参与反应的原料离开沉积室后进入排气管道，尤其是超细的Zn粉，一般过滤手段很难拦截，会直接堵塞抽气管道、阀门，进而进入真空泵造成卡泵迫使沉积中断。
发明内容
本实用新型的目的是提供一种经过三道过滤作用后保证真空泵长期稳定运行，还具有清理简便，成本低廉特点的除尘过滤装置。
为实现上述目的，本实用新型采取以下设计方案：
一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，其特征在于：它包括有冷凝室、过滤室、吸附室，所述的冷凝室上连接有冷凝室进气管和冷凝室出气管，在冷凝室内设置有螺旋水冷管，该螺旋水冷管上连接有进水管和出水管；所述的过滤室内设置有带支架的过滤罩，该过滤罩上部穿入有过滤室进气管，在过滤罩的底部设置有粉尘收集罐，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管；所述的吸附室内设置有吸附剂层，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管。
在该吸附剂层的上端设置有丝网，在该丝网上设置有重物块。
使用时，刚从沉积室出来的气体在冷凝室中进行降温冷却处理，使气体中Zn原子在急冷下形成颗粒状粉尘沉降到冷却室的底部；然后从冷凝室出来的含有粉尘的气体(主要是Zn粉)还要经过过滤室及吸附室的双层过滤最后才进入真空泵。
本实用新型的优点是：经过三道过滤作用后保证了真空泵长期稳定运行，还具有清理简便，成本低廉特点。
附图说明
图1为本实用新型的冷凝室结构示意图
图2为本实用新型的过滤室结构示意图
图3为本实用新型的吸附室结构示意图
具体实施方式
参见图1、图2、图3所示：一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，它包括有冷凝室2、过滤室11、吸附室17，所述的冷凝室2上连接有冷凝室进气管1和冷凝室出气管5，在冷凝室内设置有螺旋水冷管3，该螺旋水冷管3上连接有进水管4和出水管6；所述的过滤室11内设置有带支架的过滤罩8，该过滤罩8上部穿入有过滤室进气管7，在过滤罩8的底部设置有粉尘收集罐9，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管10；所述的吸附室17内设置有吸附剂层15，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管12，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管16。
在该吸附剂层15的上端设置有丝网14，在该丝网14上设置有重物块13。
使用时，冷凝室进气管1连接沉积室出来的气体，冷凝室出气管5连接滤室进气管7，滤室出气管10连接吸附室进气管16，吸附室出气管12连接真空泵，经过上述三道过滤的作用后保证了真空泵长期稳定运行。
冷却室的结构是在一个金属箱体内通有螺旋型冷却水对气体进行充分冷却，使大部分Zn粉会降到冷凝室的底部。
过滤室结构，其中过滤罩8由过滤布及支撑它的金属框架构成。从冷凝室出来的气体将在经过过滤罩8的时候，其中颗粒相对较大的粉尘将被粘附在过滤布上，而最为细小的颗粒将透过过滤罩。过滤室11的下端是起收集过滤罩内壁上多余粉末作用的富集的收集罐9。
针对颗粒最为细小的Zn粉所采用的最后一道手续是活性吸附。在吸附室17内放置大量小颗粒吸附材料层，它们对进入的气体中小颗粒Zn粉进行充分的吸附吸收。
Claims (2)
1、一种化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，其特征在于：它包括有冷凝室(2)、过滤室(11)、吸附室(17)，所述的冷凝室(2)上连接有冷凝室进气管(1)和冷凝室出气管(5)，在冷凝室内设置有螺旋水冷管(3)，该螺旋水冷管(3)上连接有进水管(4)和出水管(6)；所述的过滤室(11)内设置有带支架的过滤罩(8)，该过滤罩(8)上部穿入有过滤室进气管(7)，在过滤罩(8)的底部设置有粉尘收集罐(9)，在过滤罩外部的过滤室侧壁上设有过滤室出气管(10)；所述的吸附室(17)内设置有吸附剂层(15)，在吸附室的顶部设置有吸附室出气管(12)，在吸附剂层下部设置有吸附室进气管(16)。
2、根据权利要求1所述的化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置，其特征在于：在该吸附剂层(15)的上端设置有丝网(14)，在该丝网(14)上设置有重物块(13)。
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| CN 200520018057 CN2780292Y (zh) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | 化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置 |
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| CN 200520018057 CN2780292Y (zh) | 2005-05-09 | 2005-05-09 | 化学气相沉积硫化锌系统中的除尘过滤装置 |
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101760725B (zh) * | 2008-12-25 | 2011-09-07 | 北京有色金属研究总院 | 一种高光学质量硫化锌头罩的制备方法 |
| CN102808165A (zh) * | 2012-08-09 | 2012-12-05 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 粉尘吸附器 |
| CN108176154A (zh) * | 2017-12-25 | 2018-06-19 | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 | 集尘设备 |
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- 2005-05-09 CN CN 200520018057 patent/CN2780292Y/zh not_active Expired - Lifetime
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| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: BEIJING GUOJING INFRARED OPTICAL TECHNOLOGY CO., L Free format text: FORMER OWNER: BEIJING CENTRAL INST.OF THE NONFERROUS METAL Effective date: 20130807 Free format text: FORMER OWNER: BEIJING GUOJING INFRARED OPTICAL TECHNOLOGY CO., LTD. Effective date: 20130807 |
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| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130807 Address after: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee after: Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd. Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing Patentee before: General Research Institute for Nonferrous Metals Patentee before: Beijing Guojing Infrared Optical Technology Co., Ltd. |
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| C17 | Cessation of patent right | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Expiration termination date: 20150509 Granted publication date: 20060517 |