CN102806753A - 网版印刷装置 - Google Patents

Abstract

一种网版印刷装置包括：印刷执行部，对基板实施网版印刷；至少一个基板支撑台，沿与搬送方向正交的方向移动，将基板保持以供印刷执行部在印刷位置执行印刷工序，并搬出基板；台驱动机构，使基板支撑台沿所述方向至少在基板搬入位置和基板搬出位置之间往返移动。基板搬入位置与基板搬出位置被设定为相对于沿所述方向的装置中心线非对称。该网版印刷装置还包括：印刷执行部驱动机构，沿着所述方向驱动印刷执行部；控制装置，控制印刷执行部驱动机构来让印刷执行部驱动机构驱动印刷执行部以让该印刷执行部将印刷位置设定在从基板的搬入至基板的搬出的基板搬送路径上。由此，通过利用沿与基板的搬入搬出方向正交的方向移动的基板支撑台能提高吞吐量。

Description

网版印刷装置

技术领域

本发明涉及网版印刷装置，特别是涉及作为在印刷线路板（PrintedWiring Board:PWB）等基板上安装电子元件的前处理而在该基板上印刷膏状焊料、导电性糊剂等的网版印刷装置。

背景技术

网版印刷装置例如如日本专利公开公报特开平7-205399号所公开那样，其被组装在印刷电路板的生产线中，在对从上游侧搬送来的基板实施导电性糊剂等的网版印刷后，将基板送出到下游侧的元件安装装置。这种网版印刷装置的大多数通常在装置内的一个印刷部一片片地接受基板，一边对基板实施印刷处理一边将基板送出到元件安装装置。因此，将相对于网版印刷装置搬入搬出的基板的路径设定在该网版印刷装置的中央部，将实施网版印刷的印刷位置也固定设定在基板搬送路径上的中央位置。

然而，近年来以下的要求日益强烈，即，通过使支撑基板的基板支撑台能够沿与基板的搬送方向正交的特定方向移动，从而使基板支撑台具备将基板的搬送路径的方向切换向沿与该基板的搬送方向正交的特定方向的换向功能。在采用如此结构的情况下，若印刷位置固定地设定在基板搬送路径上的中央位置，会产生徒劳的移动路线，从而存在吞吐量（throughput）低的问题。

发明内容

本发明鉴于上述的问题而作，其目的在于提供一种通过利用能够沿与基板的搬入搬出方向正交的方向移动的基板支撑台而能够提高吞吐量的网版印刷装置。

为了达到上述目的，本发明涉及一种将沿着指定的搬送方向搬送的基板从基板搬入位置搬入以实施网版印刷并将印刷后的基板从设定在所述搬送方向的下游侧的基板搬出位置搬出的网版印刷装置，其包括：印刷执行部，对所述基板实施网版印刷；至少一个基板支撑台，能够沿与所述搬送方向正交的特定方向移动，将从所述基板搬入位置搬入的基板保持，以供所述印刷执行部在该印刷执行部所设定的印刷位置执行印刷工序，并且将印刷后的基板从所述基板搬出位置搬出；台驱动机构，使所述基板支撑台沿所述特定方向至少在所述基板搬入位置和所述基板搬出位置之间往返移动；其中，所述基板搬入位置与所述基板搬出位置被设定为相对于沿所述特定方向的装置中心线非对称，所述网版印刷装置还包括：印刷执行部驱动机构，沿着所述特定方向驱动所述印刷执行部；控制装置，控制所述印刷执行部驱动机构来让该印刷执行部驱动机构驱动所述印刷执行部，以让该印刷执行部将所述印刷位置设定在所述基板支撑台从所述基板的搬入至所述基板的搬出而需移动的基板搬送路径上。

根据本发明的网版印刷装置，即使在基板搬入位置与基板搬出位置被设定为相对于沿着特定方向的装置中心线非对称的情况下，由于能够在所述基板支撑台从基板的搬入至基板的搬出而需移动的基板搬送路径上执行印刷工序，因此与单纯地在装置中央部设置印刷位置的情形相比，能够缩短移动距离。因此，基板支撑台在特定方向上的移动路径整体缩短，能够有助于改善吞吐量。并且，通过使印刷执行部沿特定方向移动，能够根据需要调整印刷位置。其结果，能够根据基板搬入位置及基板搬出位置的布局方式、基板支撑台的运转状况，变更印刷位置，能够更高效地处理印刷工序。

本发明的目的、特征和优点，根据以下的详细说明和附图变得更加明白。

附图说明

图1是本发明的一实施方式所涉及的网版印刷装置的概略俯视图。

图2是图1的网版印刷装置的概略侧视图。

图3是表示图1的网版印刷装置的印刷执行部的立体图。

图4是表示图1的网版印刷装置的印刷执行部的概略俯视图。

图5是表示图1的网版印刷装置的印刷执行部的概略俯视放大图。

图6是表示图1的网版印刷装置的印刷执行部的立体图。

图7是表示图1的网版印刷装置的头部的具体的结构的侧视图。

图8是表示图1的网版印刷装置的头部的具体的结构的立体图。

图9是表示图1的网版印刷装置的模板保持机构的概略俯视图。

图10是表示图1的网版印刷装置的控制结构的框图。

图11是表示存储于图1的网版印刷装置中的数据的一部分的实体关系（ER）的图。

图12是表示图1所涉及的网版模板的尺寸关系的概略俯视图。

图13是表示图1的网版印刷装置的尺寸关系的概略俯视图。

图14是表示能够应用本发明的网版印刷装置的另一布局/尺寸关系的概略俯视图。

图15是表示能够应用本发明的网版印刷装置的再一布局/尺寸关系的概略俯视图。

图16是表示本发明的第一实施方式所涉及的生产流程的流程图。

图17是表示图16中的初始印刷位置设定子程序的流程图。

图18是表示图16中的初始印刷位置设定子程序的另一方式的流程图。

图19是表示图16中的印刷位置调整处理子程序的流程图。

图20是表示基于图19的执行结果的基板支撑台的移动范围的说明图。

图21是表示图16中的印刷位置调整处理子程序的另一方式的流程图。

图22是表示本发明的第二实施方式所涉及的生产流程的流程图。

图23是表示图22中的初始印刷位置设定子程序的流程图。

图24是表示本发明的另一方式的概略俯视图。

图25是表示本发明的再一方式的概略俯视图。

图26是表示本发明的再一方式的概略俯视图。

图27是表示本发明的再一方式的概略俯视图。

图28是表示能够应用于图24至图27的方式的印刷位置调整处理子程序的流程图。

图29是表示能够应用于图24至图27的方式的印刷位置调整处理子程序的另一方式的流程图。

图30是表示本发明的再一方式的概略俯视图。

具体实施方式

以下，参照附图说明用于实施本发明的具体实施方式。

参照图1和图2，本实施方式所涉及的网版印刷装置1以在下游测连接有双搬送型的元件安装装置Mt的状态被组装在印刷电路板（PCB）的制造线中。在图示的例子中，网版印刷装置1被设置在并列设置的两个装载器L1、L2（也称为第一装载器L1、第二装载器L2）与一个元件安装装置Mt之间，其对从上游侧的各装载器L1、L2输出来的基板W实施网版印刷后，将基板W送出到下游侧的元件安装装置Mt。

另外，在以下的说明中，以制造线中的基板W的搬送方向为X轴方向，以在水平面上与X轴方向正交的方向为Y轴方向，以与上述X轴、Y轴两方向正交的方向（铅垂方向）为Z轴方向，来说明网版印刷装置1。在本实施方式中，Y轴方向是本发明的“特定方向”的一例。

在第一装载器L1、第二装载器L2中，分别设有第一传送带对CL1、第二传送带对CL2。另一方面，在元件安装装置Mt中设有传送带对CM1、CM2（也称为第一传送带对CM1、第二传送带对CM2）。基板W沿这些传送带对CL1、CL2、CM1、CM2而被搬送。并且，在网版印刷装置1中，面临第一装载器L1、第二装载器L2的基板搬入位置EnP1、EnP2被设定在该基板搬送方向的上游侧，并且设定有面临第一传送带对CM1、第二传送带对CM2的基板搬出位置ExP1、ExP2。如图示那样，本实施方式所涉及的基板搬入位置EnP1、EnP2与基板搬出位置ExP1、ExP2被设定为相对于沿着该网版印刷装置1的Y轴方向的中心线OY非对称。

网版印刷装置1在其基座2上包括用于支撑基板W的两个基板支撑台10A、10B（也称为第一基板支撑台10A、第二基板支撑台10B）、和针对上述每个基板支撑台10A、10B设置而成对的印刷执行部20A、20B（也称为第一印刷执行部20A、第二印刷执行部20B）。

各基板支撑台10A、10B在其X轴方向上游侧端部具有基板搬入部En1、En2（也称为第一基板搬入部En1、第二基板搬入部En2），另一方面，在X轴方向下游侧端部具有基板搬出部Ex1、Ex2（也称为第一基板搬出部Ex1、第二基板搬出部Ex2）。在图示的实施方式中，第一基板搬入部En1、第二基板搬入部En2设于第一基板搬入位置EnP1、第二基板搬入位置EnP2上。网版印刷装置1构成为，从第一基板搬入部En1搬入自第一装载器L1输出的基板W，在由印刷执行部20A设定的印刷位置SP1实施网版印刷，将该印刷工序后的基板W从第一基板搬出部Ex1搬出到元件安装装置Mt中的第一传送带对CM1，另一方面，将自第二装载器L2输出的基板W从第二基板搬入部En2搬入到装置内，在由印刷执行部20B设定的印刷位置SP2实施网版印刷，将该印刷工序后的基板W从第二基板搬出部Ex2搬出到元件安装装置Mt中的第二传送带对CM2。如此，在网版印刷装置1内，设定有从面向装载器L1（L2）的基板搬入位置EnP1(EnP2)到面向装载器CM1(CM2)的基板搬出位置ExP2（ExP1）为止的移动而需要的基板搬送路径PH1、PH2。

各基板支撑台10A、10B具有在X轴方向上细长的俯视大致长方形的形状，利用由螺杆轴4A、4B、马达5A、5B等具体化的台驱动机构，分别沿Y轴方向移动。即，各基板支撑台10A、10B移动自如地被支撑在设于基座2上的沿Y轴方向延伸的共用的固定轨道3上，分别借助螺杆轴4A、4B，由马达5A、5B驱动。并且，基于后述的控制单元60对马达的控制，第一基板支撑台10A在接收位置以及送出位置与在印刷工序中实施网版印刷的印刷位置SP1之间移动，该接收位置为能够在第一基板搬入部En1接收自第一装载器L1输出的基板W的位置，该送出位置为能够将基板W从第一基板搬出部Ex1送出到下游侧的元件安装装置Mt的传送带对CM1的位置。第二基板支撑台10B在接收位置以及送出位置与在印刷工序中实施网版印刷的印刷位置SP2之间移动，该接收位置为能够在第二基板搬入部En2接收自第二装载器L2输出的基板W的位置，该送出位置为能够将基板W从第二基板搬出部Ex2送出到下游侧的元件安装装置Mt的传送带对CM2的位置。除此之外，第一基板支撑台10A和第二基板支撑台10B按预先设定的顺序交替地移至印刷工序。在螺杆轴4A、4B上安装有旋转编码器，后述的控制单元60基于旋转编码器的检测值，能够获取对应的基板支撑台10A、10B的位置信息和速度信息。在本实施方式中，将在Y轴方向上任一个基板支撑台10A（10B）能够移动的范围称为台可动间隔Tph（参照图2以及图13至图15）。由于基板支撑台10A（10B）要处理后述的前工序、后工序，因此该台可动间隔Tph被设定得比所述基板搬入位置EnP1、EnP2之间（以及基板搬出位置ExP1、ExP2之间）稍大（参照后述的图20）。

各基板支撑台10A、10B包括沿X轴方向延伸的传送带对12A、12B、能够印刷地保持该传送带对12A、12B上的基板W的夹持单元14、和用于使该夹持单元14沿着传送带对12A、12B在X轴方向上移动的夹持单元驱动机构等。

上述传送带对12A、12B由传送带构成，在基板支撑台10A上，X轴方向上游侧的端部成为基板搬入部En1,X轴方向下游侧的端部成为基板搬出部Ex1，在基板支撑台10B上，X轴方向上游侧的端部成为基板搬入部En2,X轴方向下游侧的端部成为基板搬出部Ex2。传送带在基板搬入部En1、En2接收自第一装载器L1、第二装载器L2输出的基板W，从基板搬入部En1、En2搬送到设定在基板支撑台10A、10B上的指定的位置（将以上称为基板的搬入），并且将印刷工序后的基板W搬送到基板搬出部Ex1、Ex2，并且从基板搬出部Ex1、Ex2向元件安装装置Mt的第一传送带对CL1、第二传送带对CL2搬送（将以上称为基板的搬出）。

参照图2，基板支撑台10A、10B的各底座部件140能够沿Y轴方向移动地被支撑在固定规定3上，在各底座部件140上相对于底座部件140能够沿X轴方向移动地设有X台141。在X台141的Y方向两端部设有分别支撑传送带12A（12B）的臂部件161、161。

上述夹持单元14包括：在两臂部件161的中间设于X台141上，自传送带对12A、12B举起并支撑基板W的推举机构；以及设于臂部件161、161，固定由推举机构举起的基板W的夹持机构。

推举机构包含推举台150和滚珠螺杆机构等的驱动用马达152等，该推举台150具有指定排列的多个推举销151，且借助滚珠螺杆机构等能够升降地支撑在上述X台141上，滚珠螺杆机构等利用该马达152的驱动而动作，推举台150变位至指定的释放位置或从该位置上升了的动作位置。这里，释放位置是推举销151的顶端位置低于被支撑在传送带对12A、12B上的基板W的下表面的位置（在图2的右侧的基板支撑台10B中显示的位置），动作位置是推举销151的顶端位置高于该基板W的下表面的位置（在图2的左侧的基板支撑台10A中显示的位置）。因此，如图2的左侧所述，该推举机构在推举台150设置于动作位置时从传送带对12A、12B举起基板W。

夹持机构包含在传送带对12A、12B的上方位置设置于一对臂部件161、161上且沿X轴方向彼此平行地延伸的一对夹持部件160、和夹持部件驱动用的致动器，例如双向型的气缸162。两夹持部件160当中的一侧的夹持部件相对于臂部件161以能够沿Y轴方向变位的方式被组装，利用所述气缸162的驱动，沿Y轴方向变位至释放位置或夹持位置。换句话说，夹持机构通过一侧的夹持部件160从释放位置变位至夹持位置，与另一侧的夹持部件160一起沿Y轴方向夹住由所述推举机构举起的基板W地进行夹持，通过从夹持位置变位至释放位置，释放所夹持的基板W。

另外，在印刷工序中，将后述的网版模板206重叠于如此利用夹持单元14从传送带对12A、12B举起并由夹持部件160夹持的状态下的基板W。夹持单元14以能够进行所述印刷执行部20的网版印刷的状态从传送带对12A、12B举起并保持基板。

各臂部件161以从外侧（Y轴方向上的外侧）抱住传送带对12A、12B的方式形成，并且，一臂部件161被固定于X台141上一端部，另一臂部件161能够沿着X台141上沿Y轴方向固定的固定轨道164滑动地设置。通过调整另一臂部件161的滑动量，调整传送带对12A、12B的传送带间隔，能够对应于各种Y方向基板宽度的基板W。并且，通过不受与Y方向基板宽度对应的传送带对12A、12B的传送带间隔限制地将传送带对12A、12B与各夹持部件160在Y轴方向上的相对位置保持为一定，能够不受基板W的Y方向基板宽度限制地准确地夹持基板W。

参照图3、图4，在基座2上设置有承载印刷执行部20的装置框架6。装置框架6是门型的结构体，具有立设于基座2的四个角的支柱6a。在沿Y轴方向相向的支柱6a的对上一体地设有梁部6b，在梁部6b的上表面安装有沿Y轴方向延伸的两根一组的导轨7。在本实施方式中，印刷执行部20设置于该导轨7上，沿Y轴方向能够往返移动。印刷执行部20的移动范围与图2所示的台可动间隔Tph对应。

印刷执行部20包括网版模板保持机构200和沿X轴方向设置网版模板保持机构200的刮板单元保持机构400。

网版模板保持机构200包括：设置于装置框架6的导轨7上的滑块201；相对于该滑块201借助位置调整机构300连接的主体202；相对于主体202能够上下升降地连接的模板升降部203；设于模板升降部203的下端的夹持部204；由夹持部204承载的模板固定部件205；以及固定于模板固定部件205的网版模板206。

滑块201设置于X轴方向的一端侧和另一端侧而成对，分别连接于设于装置框架6的省略图示的滚珠螺杆机构。该滚珠螺杆机构由Y轴伺服马达210（参照图10）驱动，滑块201借助滚珠螺杆机构被Y轴伺服马达210驱动，从而沿Y轴方向往返移动。

主体202是俯视时形成为矩形的框架状的结构体，一体地包括：立设于装置框架6的X轴方向上游侧的滑块201上的上游侧结构体202a；立设于装置框架6的X轴方向下游侧的滑块201上的下游侧结构体202b；以及沿X轴方向连接两结构体202a、202b的横梁202c。

模板升降部203借助升降机构211连接于主体202的内侧部。升降机构211包括：设置于各结构体202a、202b的前后两个部位的4组滚珠螺杆机构211a；设于各滚珠螺杆机构211a的顶部的滑轮211b；设置于各结构体202a、202b以及前方的横梁202c的多个空转滑轮211c；张设于这些滑轮211b、211c之间的动力传递带211d；以及安装于下游侧结构体202b的模板Z轴伺服马达211e，模板Z轴伺服马达211e的绕铅垂线的转矩从该模板Z轴伺服马达211e的输出滑轮211f借助动力传递带211g传递到下游侧结构体202b的空转滑轮211c，并且从动力传递带211d借助滑轮211b传递到各滚珠螺杆机构211a的螺杆部，由此，各滚珠螺杆机构211a的螺杆部同时向同一方向转动，与螺合于螺杆部的螺母部连接的模板升降部203升降。由此，模板升降部203能够使网版模板206在将网版模板206重叠于位于正下方的基板支撑台10A（10B）提升到动作位置的基板W的重叠位置与使网版模板206上升到该重叠位置的上方的释放位置之间升降。

夹持部204设于模板升降部203的下端部分，装卸自如地夹持模板固定部件205的四个角。夹持部204包括利用气缸沿Z轴方向被驱动的可动部件、和在该可动部件之间夹持模板固定部件205的固定部件，通过操作员的操作，能够牢固地保持被省略图示的定位部件定位了的模板固定部件205。

模板固定部件205利用在中央形成有网版印刷用的开口部205a的矩形的框架体来具体化，以堵住该开口部205a的方式预先组装的网版模板206装卸自如地被固定。

网版模板206形成有印刷区域207，该印刷区域207形成有与被印刷在基板W上的电路图案相对应的孔。

连接上述滑块201与主体202的位置调整机构300包含借助沿Z轴方向能够转动的连接轴连接滑块201与主体202的多个连接部件301、驱动连接部件301的一部分绕该连接轴转动的驱动部件302；以及使驱动部件302沿Y轴方向往返移动的模板Y轴伺服马达303等，能够使主体202相对于滑块201绕Z轴摇动。由此，通过基于由拍摄单元50识别到的网版模板206的安装位置与基板W的位置驱动模板Y轴伺服马达303，能够对被支撑在基板支撑台10A、10B上的基板W与网版模板206的印刷区域207的平行度进行微调整。

上述刮板单元保持机构400是在网版模板206上碾压（rolling）膏状焊料、导电糊剂等糊剂而使其扩张的单元。在图示的例子中，在模板升降部203的内侧壁设有沿Y’轴方向延伸的一对固定轨道203a，在该固定轨道203a上横架刮板单元保持机构400，沿Y轴方向能够往返移动地连接。这里，所谓Y’轴方向，是设定于网版模板保持机构200的主体202上的坐标系中的方向，在网版模板保持机构200的主体202在R轴方向上的转动量为0的情况下，与设定于基座2上的坐标系的Y轴方向一致。以下，将与该Y’轴方向正交的水平方向称为X’轴方向。

参照图5，刮板单元保持机构400包括：沿基座2的X轴方向延伸，连接于两固定轨道203a的框体401；设置于该框体401的上部的刮板往返驱动机构（Y’轴驱动机构）402；相对于框体401能够上下升降地连接的刮板单元403；以及上下升降驱动刮板单元403的刮板头部升降机构404。

Y’轴驱动机构402包括：轴心沿X’轴设置的伺服马达402a；相对于该伺服马达402a的输出滑轮402b平行地设置的动力传递轴402c；设于动力传递轴402c的两端部，利用该动力传递轴402c的旋转力变换为使框体401相对于固定轨道203a沿Y’轴方向相对地移动的平行运动力的动力传递部402d；安装在动力传递轴402c的滑轮402e；卷绕在滑轮402e与输出滑轮402b之间的动力传递带402f，利用伺服马达402a的旋转力，框体401相对于模板升降部203能够相对地在预先设定的行程范围内往返移动。

另一方面，刮板头部升降机构404包括：立设于框体401的上端后部的门型框架状的框架体404a；设置于框架体404a内，轴心沿着Z轴方向的伺服马达404b；以及并设于框架体404a的伺服马达404b的侧部的滚珠螺杆机构404c。伺服马达404b的输出滑轮404d设置于框架体404a的上方，在其侧部，滚珠螺杆机构404c的输入滑轮404e沿X’轴相向。在两滑轮404d、404e之间卷绕动力传递带404f，滚珠螺杆机构404c的螺杆部被双方向旋转驱动，从而与该螺杆部螺合的省略图示的螺母部上下升降。上述螺母与刮板单元403一体化，通过该螺母部的升降，刮板单元403在印刷位置与退避到该印刷位置的上方的退避位置之间升降，该印刷位置为使该刮板单元403承载的刮板41到达网版模板206上的位置。

如图6所示，在框架体404a的前部，固定有上下延伸的一对导轨405，刮板单元403利用该导轨405能够上下往返移动地连接。

参照图7至图9，刮板单元403具有主框架410、和连接于主框架410的副框架420。

在主框架410的上部壁的下表面，垂直设置夹装有测压元件等压力传感器411的支撑部412，在支撑部412固定有沿Y’轴方向延伸的第一支撑轴413。副框架420通过借助轴承连接于第一支撑轴413，相对于该支撑部412绕第一支撑轴413摇动自如地被支撑。在图示的例子中，在主框架410的背面，形成有与框架体404a的导轨405连接的凹部410a。

在副框架420上，相当于刮板组装部的单元组装部件421借助第二支撑轴422（刮板支撑用的横轴）能够转动地被支撑，并且搭载有驱动该单元组装部件421的刮板转动机构。

单元组装部件421是沿X’轴方向细长的长方形的板状部件，在该单元组装部件421上装卸自如地组装有刮板41与保持该刮板41的刮板托架42。并且，刮板41的单面被作为用于按压糊剂的作业面41a，在第二支撑轴422（刮板支撑用的横轴）位于与该作业面41a相反侧的面的侧旁的状态下，在该第二支撑轴422上，刮板41借助单元组装部件421能够转动地被支撑。

支撑单元组装部件421的所述第二支撑轴422贯穿副框架420并向相反侧突出，在该突出部分通过键接合安装固定有滑轮423。并且，作为驱动源的伺服马达424固定于副框架420，横架于安装在该伺服马达424的输出轴上的滑轮425与所述滑轮423地安装驱动带426，并且通过相对于该驱动带426从其外周侧压接张力滑轮427而张设有驱动带426。换言之，利用这些伺服马达424、滑轮425、423、427以及驱动带426等构成上述刮板转动机构，通过伺服马达424运转，单元组装部件421被驱动而绕第二支撑轴422正反旋转。另外，检测单元组装部件421相对于副框架420的原点位置，求出伺服马达424的旋转角控制用的基准位置。并且，通过该单元组装部件421的正反旋转，所述作业面41a相对于网版模板206从平行地面对的状态变化为向单侧倾斜的状态和向相反侧倾斜的状态，刮板41通过绕第二支撑轴422转动而能够改变姿势。

刮板单元保持机构400的刮板托架42是由铝合金等轻合金形成的X’轴方向上细长的板状部件。另一方面，刮板41例如是由硬质聚氨酯或不锈钢形成的X’轴方向上细长的长方形的板状部件，如图8所示，以重合于刮板托架42的状态被保持于该托架42。

刮板41的宽度尺寸被设定为，刮板41往动时所述作业面41a接触糊剂的范围与刮板41复动时所述作业面41a接触糊剂的范围重叠。

省略详细图，但是为了清洁印刷执行部20A、20B的网版模板206，在第一基板支撑台10A、第二基板支撑台10B的适当的部位一并设置清洁单元30A、30B（参照图10）。清洁单元30A、30B包括清洁头，该清洁头包含能够滑动接触于网版模板206的下表面的垫以及隔着该垫负压吸引网版模板206的吸嘴等，在基板支撑台10A、10B沿Y轴方向移动时，通过使该清洁头滑动接触于对应的网版模板206的下表面，以去除该网版模板206的下表面、图案孔内所积存的糊剂。清洁头相对于基板支撑台10A、10B能够升降，仅在清扫时设置在能够滑动接触于网版模板206的动作位置，除此之外设置在自该动作位置下降了的退避位置。

如图2所示，在印刷执行部20一并设置有拍摄单元50。拍摄单元50用于对网版模板206与基板W的相对的位置关系进行图像识别，包括：两个模板识别摄像机50A，从下侧拍摄被标记于网版模板206的下表面的标记、符号等多个标识；以及两个基板识别摄像机50B，从上侧拍摄被支撑于基板支撑台10A、10B的基板W的标记、符号等多个标识。各模板识别摄像机50A能够沿X’轴方向、Y’轴方向移动地设置于网版模板保持机构200的主体202，各基板识别摄像机50B固定设置于网版模板保持机构200的主体202。各模板识别摄像机50A连接于图外的X’－Y’机器人，从而沿水平方向能够二维移动地设置，基于后述的控制单元60对X’－Y’机器人的控制，在配置网版模板206时等进入网版模板206的下侧，拍摄网版模板206的下表面的上述各标识。另一方面，各基板识别摄像机50B在基板支撑台10A（10B）被搬送到印刷执行部20上时，拍摄基板W上述各标识。由两摄像机50A、50B识别出的网版模板206的两个标识（基准标记）位置与基板上的两个标识（基准标记）位置基于以与网版模板206的基板W在R轴方向对位为前提的R轴方向角度，从X’Y’坐标系被坐标变换为基座2上的X-Y坐标系后，实施网版模板206的R轴方向位置调整与基板W的XY位置调整。

如图10所示，控制单元60（是本发明的印刷位置设定装置、台移动控制单元的一例）具有由微处理器等构成的运算处理部61、存储用于印刷处理的处理数据等的印刷程序存储部62、存储控制所需要的主数据等的数据存储部63、驱动所述马达5A、5B等致动器类的致动器控制部64、由各种接口等构成的外部输入输出部65、以及由采集板等构成的图像处理部66，各致动器类、模板识别摄像机50A等摄像机类全部由该控制单元60能够控制地电连接。因此，所述基板支撑台10A、10B以及印刷执行部20的一连串的印刷处理动作，即，在基板搬入部En1、En2接收从第一装载器L1、第二装载器L2输出来的基板W，对基板W进行网版印刷以及从基板搬出部Ex1、Ex2搬出基板W的一连串的动作由该控制单元60综合控制。此外，在控制单元60上连接有能够由GUI等显示处理状态的显示单元70和由指示装置等构成的省略图示的输入装置，通过操作员的操作，能够进行处理用的数据输入、实现控制处理的程序的设定、变更等。另外，印刷程序存储部62与数据存储部63均是通过组合ROM、RAM、辅助存储装置等而实现的逻辑概念。

参照图11，在控制单元60的数据存储部63中包括保存与网版模板206相关的数据的网版模板数据表601、保存与印刷执行部相关的数据的印刷执行部数据表602、保存与基板支撑台10A、10B相关的数据的基板支撑台数据表603、保存与网版印刷装置1相关的数据的印刷装置数据表604、动作项目数据表605、和干涉管理数据表606。这些数据表601～606均是指在数据库系统中，以二维矩阵（行和列）保存数据的数据集合，在以下的说明中，将数据表601～606的项目（列）称为属性，将数据表601～606的实现值（分配给列的实际的值）称为行。此外，在图中，（PK）表示主关键词，（FK）表示外关键词。主关键词具有在数据表601～606内对行进行唯一地识别的属性。外关键词通过与主关键词具有相同的值，用于参照具有该主关键词的数据表601～606的数据。并且，图中的箭头表示数据表601～606间的关系（联系），表示位于箭头的终点侧的目标中的外关键词参照位于箭头的起点侧的目标中的主关键词。各数据表601～606是逻辑存在的，安装时，既可以分别由单一的数据文件（例如CSV文件）构成，或者也可以考虑标准化而由多个数据文件构成。

网版模板数据表601以模板的产品型号为主关键词，以纵向尺寸My、横向尺寸Mx、模板中心坐标、印刷区域中心坐标等为属性（参照图12）。通过参照该网版模板数据表601，控制单元60能够将安装在网版印刷装置1中的网版模板206的种类、其尺寸关系作为控制的参数而进行参照。这里，网版模板数据表601的X轴中心坐标是指确定网版模板206的沿着X轴方向的中心线XC1、XC2（参照图12）的坐标。

印刷执行部数据表602以印刷执行部的产品型号为主关键词，具有模板的产品型号、纵向尺寸、横向尺寸、中心坐标、模板偏移量Os等的属性。模板的产品型号是用于确定安装在该印刷执行部20中的网版模板206的外关键词，利用该关键词，网版模板数据表601与印刷执行部数据表602相关联。另外，为了容易理解，在以下的说明中，将印刷执行部20A、20B的中心坐标Yd1、Yd2（参照图12）与网版模板206的中心坐标分别等同。

此外，模板偏移量Os表示在相关联的网版模板206与印刷执行部20的X轴中心线之间产生的Y轴方向的偏移量Os1、Os2（参照图12）。通过预先登录该偏移量Os，控制单元60如后述那样能够实现高效率的网版印刷。

基板支撑台数据表603以台的产品型号为主关键词，保存构成基板支撑台10A或10B的单元的属性。

印刷装置数据表604以印刷装置的产品型号为主关键词，以为了控制网版印刷装置1而必要的各要素为属性。在印刷装置数据表604中，以将A侧（图1的下侧所示的Y轴方向的一端侧。以下相同。）的基板支撑台10A所采用的单元与基板支撑台数据表603相关联的A侧基板支撑台的产品型号、和将B侧（图1的上侧所示的Y轴方向的另一端侧。以下相同。）的基板支撑台10B所采用的单元与基板支撑台数据表603相关联的B侧基板支撑台的产品型号为外关键词，由此，能够参照网版印刷装置1所采用的基板支撑台10A、10B的移动范围、移动速度等信息。此外，在印刷装置数据表604中，以与该网版印刷装置1所采用的A侧的印刷执行部20A相关联的印刷执行部的产品型号、和与B侧的印刷执行部20B相关联的印刷执行部的产品型号为外关键词，通过该联系，能够参照该网版印刷装置1所采用的第一印刷执行部20A、第二印刷执行部20B的各要素。在图示的例子中，在印刷装置数据表604中，设定有包含图2所示的台可动间隔Tph、作为第一基板搬入部En1与第二基板搬入部En2在Y轴方向上的相向间隔的搬入侧Y轴间隔Pin（P入）、作为第一基板搬出部Ex1与第二基板搬出部Ex2在Y轴方向上的相向间隔的搬出侧Y轴间隔Pout（P出）、设定在网版印刷装置1的共有区域（参照图1）、清洁时的最大清洁移动量、接收位置和送出位置的坐标的属性（参照图13～图15）。由此，能够与网版印刷装置1的规格相对应地实现各基板支撑台10A、10B以及第一印刷执行部20A、第二印刷执行部20B的干涉管理。另外，在本实施方式中，假设被应用于基板支撑台10A、10B不产生干涉的规格的情况，但是为了避免基板的干涉，当然能够应用与印刷执行部20A、20B相同的方法。并且，在印刷装置数据表604中，包含识别该网版印刷装置1是采用了图13至图15的的某一型式的装置的装置型式、和排他型标识。

装置型式具有通过网版印刷装置1的型式，用于变更算法的属性。例如，作为相对于沿着Y轴方向的装置中心线OY非对称的方式，如图1、图13所示那样，各基板搬入部En1、En2以及基板搬出部Ex1、Ex2相对于网版印刷装置1的X轴中心线OX设置为对称形，另一方面，有时基板搬入部En1、En2间的Y轴方向的距离（搬入侧Y轴间隔Pin）比基板搬出部Ex1、Ex2间的Y轴方向的距离（搬出侧Y轴间隔Pout）长，或者有时如图14所示那样，搬入侧Y轴间隔Pin比搬出侧Y轴间隔Pout短。在如此的情况下，如后所述，较为理想的是适当变更设定印刷位置的算法。

并且，也有时如图15所示那样，基板搬入位置EnP1、EnP2彼此的组合以及基板搬出位置ExP1、ExP2彼此的组合当中的任一者（图示的例子中为两者）相对于网版印刷装置1的X轴中心轴OX设置为非对称。在如此的情况下，较为理想的是采取另外的方法。在本实施方式中，通过使印刷装置数据表604具有装置型式，能够与网版印刷装置1的设置方式对应地切换后述的子程序。

接着，印刷装置数据表604的排他型标识判定在图13至图15所例示的各规格的网版印刷装置1中，是否是完全不能允许第一印刷执行部20A、第二印刷执行部20B同时进入共有区域的排他型式。排他型标识是在决定网版印刷装置1中的组合，设定基板搬入位置EnP1、EnP2、基板搬出位置ExP1、ExP2时预先被设定的值。例如，若是图13、图14的型式，第一基板搬入位置EnP1和第一基板搬出位置ExP1相对于第二基板搬入位置EnP2和第二基板搬出位置ExP2，相对于网版印刷装置1的X轴方向的中心线OX成为对称形，因此，通过双方沿Y轴方向退避指定量（将该指定量间隔称为退避距离RL），能够不产生干涉地使一部分进入共有区域。另一方面，若是图15的型式，在任一者占有作为印刷位置的共有区域时，另一者有可能妨碍基板的搬入或搬出。因此，在本实施方式中，能够利用排他型标识识别每个网版印刷装置1是否是排他的。排他型标识例如是Boolean型（布尔型），在为“正确”的情况下，表示该网版印刷装置1是排他型的型式。另外，在设定排他型标识的情况下，由于无需为了判别避免干涉而参照其他的参数或运算，因此在判断处理迅速而不妨碍运算的情况下，也可以省略排他型标识，基于基板搬入位置EnP1、EnP2、基板搬出位置ExP1、ExP2动态地运算（导出）有无干涉。

接着，动作项目数据表605在实现网版印刷的基础上，用于存储控制单元60应检查的基板支撑台10A、10B的动作，以动作项目为主关键词，保存动作时期。动作项目例如是“基板搬入动作”、“基准标记识别动作”、“印刷后检查动作”、“模板清洁动作”、“基板搬出时动作”等，动作时期是“印刷前”、“印刷后”等。

干涉管理数据表606是以印刷装置的产品型号和动作项目为主关键词的关联实体，针对每个网版印刷装置1，设定干涉管理必要的动作项目和用于避免干涉的移动量（必要位移量）SF的所需时间。由于在该干涉管理数据表606中设有所需时间，因此控制单元606基于该所需时间，能够预测能够进入的时间带，或预见在一对所述印刷执行部20A（20B）的并行动作中能够进入两印刷执行部20A（20B）的干涉共有区域的时间带。

在本实施方式中，如图11所示，由于设有动作项目数据表605和干涉管理数据表606，因此例如能够存储如以下的表1所示那样的数据，并作为控制参数。

表1

动作项目	图13	图14	图15	动作时期	所需时间（秒）
						搬入基板	0	300	500	印刷前	7
标识识别（前工序）	0	300	500	印刷前	6
						印刷后检查（后工序）	300	300	300	印刷后	6
清洁（后工序）	200	200	200	印刷后	12
						搬出基板	300	0	800	印刷后	7

表1表示在与各图13至图15对应的装置中，避免干涉所必要的每个动作项目的必要位移量SF。为了执行该动作，以进入共有区域的Y轴方向的长度的绝对值设定必要位移量SF。

接着，说明基于该控制单元60的控制的网版印刷装置1的印刷工序。

参照图16，控制单元60首先执行初始印刷位置设定子程序（步骤S1），在开始对各基板支撑台10A、10B的基板W进行网版印刷之后，设定较为理想的印刷位置SP1、SP2。接着，控制单元60使第一基板支撑台10A和第二基板支撑台10B并行动作，分别重复执行以下步骤相当于生产片数的次数，即，基板的搬入（步骤S2）、前工序（步骤S3）、印刷位置调整处理子程序（步骤S30）、网版定位（通过X台141的X方向位置调整而产生基板W的X方向位置调整、由基板支撑台10A、10B的马达5A、5B对基板W的Y方向位置调整、由网版模板保持机构的旋转驱动机构对网版模板保持机构的主体的R轴方向位置调整而产生网版模板206的R轴方向位置调整）（步骤S5）、刮抹膏状焊料的刮抹动作（步骤S6）、网版分离（步骤S7）、包含基板支撑台10A、10B从印刷位置SP1、SP2退出的动作的后工序（步骤S8）、和退出后搬出印刷完成后的基板W的搬出动作（步骤S9）。在各步骤中的前工序（步骤S3）中，例如包含识别基板W的标识的“标记识别”、识别设定在元件安装后被分割的多片拼接的基板W中的部分基板上的不良标记的“损坏标记识别”、以及检查附着于基板W上的异物的“异物检查”等工序。此外，后工序（步骤S8）例如包含根据需要清洗印刷工序后的网版模板206的重叠面的“清洁处理”工序或检查印刷后的基板W上的印刷状态的“印刷后检查”工序。

接着，参照图17以及图18说明图16的初始印刷位置设定子程序S1。这里，初始印刷位置设定子程序S1例如能够采取图17所示的方式和图18所示的方式这两种方式。

首先，说明图17的方式。控制单元60根据基板支撑台数据表603和印刷装置数据表604，参照对应的接收位置的坐标（步骤S101）。接着，基于印刷装置数据表604的设定值判定该坐标是否在共有区域内（步骤S102）。假设在共有区域内，控制单元60进一步参照印刷装置数据表604的排他型标识（步骤S103），判定排他型标识是否为“正确”（步骤S104）。

假设排他型标识为“正确”的情况下，由于无法在共有区域设定印刷位置SP1(SP2)，因此控制单元60向远离对方的印刷执行部20B(20A)的方向退避，在基板搬送路径PH1、PH2上的共有区域外设定印刷位置，返回到主程序（步骤S105）。另一方面，在假设排他型标识为“错误”的情况下，控制单元60基于下述（1）式运算退避距离RL（步骤S106）。

如通过图12明确可知，（1）式的退避距离RL是两印刷执行部20A、20B不产生干涉的指定的相向间隔WL的一半，由此，印刷执行部20A、20B均能够在均等地退避的位置执行印刷工序。这里，相向间隔WL在台可动间隔Tph中，以自A侧的原点起，A侧的基板支撑台10A沿Y轴方向移动的距离为C1，以自B侧的原点起，B侧的基板支撑台10B沿Y轴方向移动的距离为C2，以从A侧的基板支撑台10A的中心（印刷执行部20A的中心Yd1）到与B侧的基板支撑台10B相向的相向部分的距离为Ly1，以从B侧的基板支撑台10B的中心（印刷执行部20B的中心Yd2）到与A侧的基板支撑台10A相向的相向部分的距离为Ly2的情况下，由以下所示的（2）式定义。

相向间隔WL=Tph-(C1+C2)-|Ly1+Ly2|        (2)

另外，为了区别A侧与B侧，在图12中，除了上述的各距离C1、C2、Ly1、Ly2之外，将网版模板206的X轴方向尺寸分别记为Mx1、Mx2，将Y轴方向尺寸分别记为My1、My2，将X轴方向的中心线分别记为XC1、XC2，将印刷区域207的X轴方向中心线分别记为MC1、MC2。

接着，基于该退避距离RL，补正最初参照的接收位置的值，将该位置设定为初始的印刷位置（步骤S107）。通过该处理，基板支撑台10A(10B)在基板W的搬入完成的时刻能够直接移至印刷工序，能够尽可能减少徒劳的移动路线。

另外，在步骤S102的判定中，基板搬入位置不位于共有区域的情况下，控制单元60直接将接收位置设定为基板搬入位置EnP1(EnP2)（步骤S108）。

接着，在图18的方式中，在将图17的方式中的步骤S101作为步骤S111，分别将步骤S107、S108作为步骤S117、S118这一点上与图17不同。

即，在图18的方式中，在步骤S111中，代替接收位置，将退出位置的坐标作为参照，印刷位置为所参照的退出位置的坐标或对退出位置进行补正后的坐标这一点不同。通过在控制单元60中安装如图17、图18所例示那样的方式的程序，控制单元60能够将印刷位置SP1(SP2)设定在基板搬入位置EnP1(EnP2)或基板搬出位置ExP1(ExP2)。

在控制单元60中基于印刷装置数据表604的“装置型式”属性，例如预先设定为，在图13所示的方式（型式）的网版印刷装置1的情况下，选择图17，在图14所示的方式（型式）的网版印刷装置1的情况下，选择图18。预先设定为，在图15所示的方式（型式）的网版印刷装置1的情况下，采用任一程序。由此，各印刷执行部20A、20B均能够与对方侧不产生干涉且将印刷位置SP1(SP2)设定在基板搬送路径PH1(PH2)上。

接着，参照图19说明图16的印刷位置调整处理子程序S30。

如图16所示，该子程序在步骤S3的前工序实施后执行。如上所述，在前工序中，为了拍摄基板W的识别对象（基准标记、损坏标记、包含异物的包括概念）的位置，支撑该基板W的基板支撑台10A(10B)沿Y轴方向移动。通过该移动，处于与该基板支撑台10A(10B)相对移动的关系的拍摄单元50的两个基板识别摄像机50B拍摄分别对应的识别对象，基板支撑台10A(10B)在拍摄到最终的识别对象的时刻停止。

参照图19，在该状态下，控制单元60基于马达5A(5B)的编码器等的信息，首先，判定停止的基板支撑台10A(10B)是否位于共有区域内（步骤S301）。

假设位于共有区域的情况下，控制单元60进一步参照干涉管理数据表606的所需时间等，判定在该基板支撑台10A(10B)结束印刷之前对方侧的基板支撑台10B(10A)是否进入共有区域，即，在印刷中是否存在产生干涉的可能性（步骤S302）。

假设判定在印刷中存在产生干涉的可能性的情况下，控制单元60参照印刷装置数据表604的排他型标识，判定排他型标识是否为“正确”（步骤S303）。

假设排他型标识为“正确”的情况下，控制单元60向远离对方的印刷执行部20B(20A)的方向退避，将印刷位置设定在共有区域外，返回主程序（步骤S304）。另一方面，在排他型标识为“错误”的情况下，控制单元60基于（1）式运算退避距离RL（步骤S305）。接着，控制单元60基于该退避距离RL，补正停止的基板支撑台10A(10B)的停止位置坐标，将补正后的坐标设定为印刷位置的坐标（步骤S306）。通过该处理，基板支撑台10A(10B)通过移动非常小的距离就能够自完成前工序的位置避免干涉，能够移至印刷工序，能够尽可能地减少徒劳的移动路线。

另一方面，通过步骤S301的判定，基板支撑台的停止位置位于共有区域外的情况下，或通过步骤S302的判定，判定不产生干涉的情况下，控制单元60将前工序结束位置设定为印刷位置（步骤S307）。由此，基板支撑台10A(10B)能够在完成了前工序的位置直接移至印刷工序，能够尽可能地减少徒劳的移动路线。

参照图20，在前工序中基板支撑台10A(10B)停止的位置如模式1至模式3所例示那样，采取多种方式，但是在任一种情况下，通过基于图19的流程设定印刷位置SP1(SP2)，将前工序结束了的最终位置作为基准地决定印刷位置的设定，因此，基板支撑台10A(10B)能够从一端停止了的位置排除如以假想线所示那样的中央固定印刷位置的情况下的徒劳的移动路线，能够移至印刷工序。因此，在本实施方式中，能够在非常短的时间内顺利地移至前工序后的印刷工序，而且能够避免干涉而实现并行动作。另外，如图20的实线箭头所示，印刷位置SP1(SP2)的设定若在结束该前工序时的该基板支撑台10A、10B的停止位置与基板搬出位置ExP1、ExP2之间，则可以是任何位置。例如，在印刷工序后基板支撑台10A、10B与印刷执行部20A、20B相对地变位并实施清洁处理的情况下，也可以设定在该清洁处理的开始位置。由此，在基板W的搬送路径不返回的范围内能够设定为各种范围。

另外，在图13、图14所示的方式的网版印刷装置1中，在印刷工序同步执行的状况下，也能够执行图21所示的印刷位置调整处理子程序S30。

参照图21，在该图所示的方式中，代替图19的步骤S301、S302，运算此时与对方的相向间隔WL（参照图12）（步骤S311），接着，通过（3）式运算干涉区域（干涉极限）Li（步骤S312）。

这里，所谓干涉区域Li，是在两基板支撑台10A、10B不产生干涉的范围内能够接近的最短距离。接着，比较相向间隔WL与干涉区域Li（步骤S313），在相向间隔WL比干涉区域Li小的情况下，执行步骤S305、步骤S306。通过该流程，能够一边避免干涉一边在完成了前工序的位置直接移至印刷工序，能够尽可能地减少徒劳的移动路线。

另一方面，上述的图16的生产流程根据前工序的动作位置设定了印刷位置SP1(SP2)的调整，但是也能够基于后工序的动作位置设定。例如，作为后工序的一例，在实施清洁工序的情况下，基板支撑台10A（10B）移动，伴随着该移动，设置于该基板支撑台10A（10B）的省略图示的清洁单元的清洁头去除附着于网版模板下表面的剩余的膏状焊料，从而网版模板被清洁。在此情况下，每次产品型号变更时，基板支撑台10A（10B）移动量、移动开始位置也变更。因此，在图22中，代替初始印刷位置设定子程序S1、印刷位置调整处理子程序S30，最初以后工序为基准，设定印刷位置（步骤S40）。

参照图23，在该图中所示的初始印刷位置设定子程序S40中，开始后工序时，判定是否需要进入共有区域（步骤S401），在需要的情况下，判定排他型标识是否为“正确”（步骤S403）。

假设排他型标识为“正确”的情况下，由于无法在共有区域设定印刷位置SP1(SP2)，因此控制单元60向远离对方的印刷执行部20B(20A)的方向退避，在基板搬送路径PH1（PH2）上的共有区域外设定印刷位置SP1(SP2)，返回到主程序（步骤S404）。

另一方面，在排他型标识为“错误”的情况下，控制单元60基于（1）式运算退避距离RL（步骤S405）。接着，控制单元60基于该退避距离RL，在基板搬送路径PH1(PH2)上补正基板支撑台10A(10B)开始后工序的坐标，将补正后的坐标设定为印刷位置的坐标（步骤S406）。通过该处理，基板支撑台10A(10B)通过移动非常小的距离就能够自能够避免干涉的印刷位置移至后工序，能够尽可能地减少徒劳的移动路线。

另一方面，在步骤S401的判定中，基板支撑台10A(10B)的后工序开始位置位于共有区域外的情况下，控制单元60将前工序结束位置设定为印刷位置（步骤S407）。由此，基板支撑台10A(10B)能够在结束了印刷工序的位置直接开始后工序，能够尽可能地减少徒劳的移动路线。

如以上所说明的那样，本实施方式的网版印刷装置1是将沿着沿X轴方向的基板搬送方向搬送的基板W从基板搬入位置EnP1、EnP2搬入以实施网版印刷并将印刷后的基板W从设定在搬送方向的下游侧的基板搬出位置ExP1、ExP2搬出的网版印刷装置，其包括：印刷执行部20A、20B，对基板W实施网版印刷；至少一个基板支撑台10A、10B，能够沿与沿X轴方向的基板搬送方向正交的作为特定方向的Y轴方向移动，将从基板搬入位置EnP1、EnP2搬入的基板W保持，以供印刷执行部20A、20B在该印刷执行部20A、20B所设定的印刷位置SP1、SP2执行印刷工序，并且将印刷后的基板W从基板搬出位置ExP1、ExP2搬出；台驱动机构，使基板支撑台10A、10B沿Y轴方向至少在基板搬入位置EnP1、EnP2和基板搬出位置ExP1、ExP2之间往返移动；其中，基板搬入位置EnP1、EnP2与基板搬出位置ExP1、ExP2被设定为相对于沿Y轴方向的装置中心线OY非对称，印刷位置SP1、SP2被设定在基板支撑台10A、10B从基板W的搬入至基板W的搬出而需移动的基板搬送路径PH1、PH2上。因此，在本实施方式中，即使在基板搬入位置EnP1、EnP2与基板搬出位置ExP1、ExP2被设定为相对于沿Y轴方向的装置中心线OY非对称的情况下，由于能够在基板支撑台10A、10B从基板W的搬入至基板W的搬出而需移动的基板搬送路径PH1、PH2上执行印刷工序，因此与单纯地在装置中央部设置印刷位置SP1、SP2的情形相比，能够缩短移动距离。因此，基板支撑台10A、10B在Y轴方向上的移动路径整体缩短，能够有助于改善吞吐量。

此外，在本实施方式中，印刷位置SP1、SP2设定在基板搬送路径PH1、PH2中相对于该基板搬送路径PH1、PH2的中央位置靠近基板支撑台10A、10B从基板搬入位置EnP1、EnP2接收基板W的接收位置和基板支撑台10A、10B将基板W向基板搬出位置ExP1、ExP2送出的送出位置中的任一者。因此，本实施方式中，由于能够尽可能地缩短从基板搬入位置EnP1、EnP2到印刷位置SP1、SP2的动作时间或从印刷位置SP1、SP2到基板搬出位置ExP1、ExP2的动作时间，因此能够更理想地谋求改善吞吐量。

此外，在本实施方式中，网版印刷装置1还包括作为前工序处理装置的拍摄单元50等、以及作为印刷位置设定装置的控制单元60，其中，该拍摄单元50等基于在印刷工序前使基板支撑台10A、10B沿Y轴方向移动，来对该基板支撑台10A、10B所支撑的基板W执行指定的前工序；该控制单元60控制印刷执行部驱动机构，以让印刷执行部20A、20B将印刷位置SP1、SP2设定在该前工序结束时的该基板支撑台10A、10B的停止位置和基板搬出位置ExP1、ExP2之间。因此，在本实施方式中，在印刷工序之前，在使基板支撑台10A、10B沿Y轴方向移动而实施各种前工序的情况下，在该前工序结束时的基板支撑台10A、10B的停止位置与基板搬出位置ExP1、ExP2之间设定印刷位置SP1、SP2，因此，移向印刷工序的基板W无需从该基板支撑台10A、10B的停止位置向搬出方向的相反方向移动就能够移至印刷工序。此外，印刷工序后的基板W无需向基板搬出位置ExP1、ExP2的相反方向移动就可被搬出。因此，能够消除从前工序到搬出为止的徒劳的移动路线。

此外，在本实施方式中，控制单元60控制印刷执行部驱动机构，以让印刷执行部20A、20B将结束前工序时的该基板支撑台10A、10B的停止位置设定为印刷位置SP1、SP2。因此，在本实施方式中，能够在前工序结束的时刻，使基板支撑台10A、10B停止并过渡至印刷工序，因此前工序后的基板W不会因之后的移动而引起位置偏离。因此，具有的优点是印刷工序中的基板W与网版模板之间的定位变得精细。

此外，在本实施方式中，网版印刷装置1还包括后工序处理机构（拍摄单元50等）和控制单元60，该后工序处理机构在印刷工序后使基板支撑台10A、10B沿Y轴方向移动，来执行指定的后工序；该控制单元60控制印刷执行部驱动机构，以让印刷执行部20A、20B将印刷位置SP1、SP2设定在后工序处理机构开始该后工序时的该基板支撑台10A、10B的位置。因此，在本实施方式中，由于在印刷工序后使基板支撑台10A、10B沿Y轴方向移动来执行后工序时，在开始该后工序时的基板支撑台10A、10B的位置设定印刷位置SP1、SP2，因此移向后工序的基板W无需从该印刷位置SP1、SP2向搬出方向的相反方向移动就可地直接移至后工序。因此，能够消除从印刷工序到搬出为止的徒劳的移动路线。

此外，在本实施方式中，设置有沿Y轴方向驱动印刷执行部20A、20B的、以Y轴伺服马达210等为构成要素的印刷执行部驱动机构。因此，在本实施方式中，通过使印刷执行部20A、20B沿Y轴方向移动，能够根据需要调整印刷位置SP1、SP2。其结果，能够根据基板搬入位置EnP1、EnP2或基板搬出位置ExP1、ExP2的布局方式、基板支撑台10A、10B的运转状况等，能够变更印刷位置SP1、SP2，更高效地处理印刷工序。

此外，在本实施方式中，基板支撑台为10A、10B两个，沿Y轴方向并列设置而成对，印刷执行部为20A、20B两个，其中一个印刷执行部20A设定与一对基板支撑台10A、10B中的一个基板支撑台10A对应的印刷位置，其中另一个印刷执行部20B设定与一对基板支撑台10A、10B中的另一个基板支撑台10B对应的印刷位置，台驱动机构个别地驱动一对基板支撑台10A、10B中的各基板支撑台，印刷执行部驱动机构个别地驱动一对印刷执行部20A、20B中的各印刷执行部，控制单元60控制印刷执行部驱动机构来让每一印刷执行部20A、20B设定印刷位置，基板搬入位置EnP1、EnP2与基板搬出位置ExP1、ExP2中的至少一者为两个一组（即：基板搬入位置为由EnP1和EnP2的两个组成的一组而基板搬出位置仅为ExP1（或ExP2）的一个；基板搬入位置仅为EnP1（或EnP2）的一个而基板搬出位置为由ExP1和ExP2的两个组成的一组；或者，基板搬入位置由EnP1和EnP2的两个组成的一组，并且基板搬出位置为由ExP1和ExP2的两个组成的一组）。因此，在本实施方式中，由于分别使基板支撑台10A、10B、印刷执行部20A、20B为两个一组而改善吞吐量，因此即使在网版印刷装置的上游侧和下游侧中的至少一侧具有两系统的基板W搬送线的双搬送式的制造线中，也能够发挥充分的处理能力（吞吐量）。

此外，在本实施方式中，控制单元60作为分别驱动一对印刷执行部20A、20B，针对对应的每个基板支撑台10A、10B设定印刷位置的印刷执行部驱动机构而发挥作用。

此外，在本实施方式中，设定有共有区域，该共有区域是一对印刷执行部20A、20B中的各印刷执行部的移动路线在Y轴方向上重合的区域，控制单元60（是本发明的干涉发生预见装置的一例）预见一对印刷执行部20A、20B的并行动作中两印刷执行部20A、20B之间的干涉的发生，在预见到一对印刷执行部20A、20B的并行动作中两印刷执行部20A、20B发生干涉的情况下，控制单元60（是本发明的印刷位置设定装置的一例）控制印刷执行部驱动机构，以让一对印刷执行部20A、20B中的至少一者变更印刷位置SP1、SP2。因此，在本实施方式中，在预见到发生干涉的情况下，控制单元60控制印刷执行部驱动机构而变更针对至少任一印刷执行部20A、20B而设定的印刷位置SP1、SP2。由此，一对印刷执行部20A、20B在设定有共有区域的情况下也能够避免干涉地并行印刷工序。

此外，在本实施方式中，在控制单元60（干涉发生预见装置）预见到发生干涉的情况下，控制单元60（印刷位置设定装置）控制印刷执行部驱动机构来让印刷执行部20A、20B设定印刷位置SP1、SP2，以使一对印刷执行部20A、20B双方退避退避距离，该退避距离为一对印刷执行部20A、20B能够避免干涉的相向间隔WL的一半的长度。因此，在本实施方式中，在一对印刷执行部20A、20B欲同时进入共有区域的情况下，由于将双方的能避免干涉的相向间隔WL对半分配，因此两印刷执行部20A、20B的退避动作被平均分配，能够使退避时间不偏向任一印刷执行部地执行退避处理。

如图24至图27所示，本发明也能够同样地应用于基板支撑台和印刷执行部分别设定为各一个的网版印刷装置1。在该情况下，由于消除了上述的“干涉”的概念，因此在采用图17、图18以及图23的子程序时，如图28以及图29所示，仅执行步骤S101、S108（或步骤S111、S118），或如图23所示，仅执行步骤S407即可。

此外，通过仅执行图19或图21的步骤S307，能够如图20所示那样地设定印刷位置，消除移动路线损失。

如以上说明那样，根据本实施方式，即使在基板搬入位置EnP1、EnP2与基板搬出位置ExP1、ExP2被设定为相对于沿Y轴方向的中心线OY非对称的情况下，由于能够在基板W的搬送所需的基板搬送路径PH1、PH2上执行印刷工序，因此基板支撑台10A（10B）在Y轴方向上的移动路线整体缩短，能够发挥有助于吞吐量的改善这样的显著的效果。

上述的网版印刷装置1是本发明的具体实施方式的例示，其具体的结构可在不脱离本发明的主旨的范围内适当变更。

虽未具体图示，但是作为相对于网版印刷装置1搬入或搬出基板W的方式，也可以采用在基板搬入部En1、基板搬入部En2设置交接传送带对的结构。在该情况下，由于第一装载器L1、第二装载器L2的各传送带对CL1、CL2与第一、第二基板支撑台10A、20A的对应的传送带对12A、12B的定位被机械地决定，因此具有容易控制的优点。

同样，也可以采用在基板搬出部Ex1、基板搬出部Ex2设置交接传送带对的结构。

此外，也可以仅在基板搬入部和基板搬出部的任一方设置交接传送带。

此外，基板支撑台10A等中的基板W的具体的支撑结构、印刷执行部20等中的具体的网版模板206的保持结构、或刮板单元保持机构400中的具体的结构等不一定限定于上述实施方式的网版印刷装置1的结构。

并且，若基板搬入位置与基板搬出位置被设定为相对于网版印刷装置1的沿着Y轴方向的中心线OY非对称，则例如如图30所示，基板搬入位置与基板搬出位置也可以均是单条路径。

此外，前工序中的最终停止位置、后工序中的移动开始位置也可以是由基板支撑台10A、10B与印刷执行部20A、20B的相对移动、及印刷执行部20A、20B的移动所决定的位置。

此外，勿庸置疑，在本发明的发明内容的范围内是能够进行各种设计变更的。

如上所述，本发明是一种将沿着指定的搬送方向搬送的基板从基板搬入位置搬入以实施网版印刷并将印刷后的基板从设定在所述搬送方向的下游侧的基板搬出位置搬出的网版印刷装置，其包括：印刷执行部，对所述基板实施网版印刷；至少一个基板支撑台，能够沿与所述搬送方向正交的特定方向移动，将从所述基板搬入位置搬入的基板保持，以供所述印刷执行部在该印刷执行部所设定的印刷位置执行印刷工序，并且将印刷后的基板从所述基板搬出位置搬出；台驱动机构，使所述基板支撑台沿所述特定方向至少在所述基板搬入位置和所述基板搬出位置之间往返移动；其中，所述基板搬入位置与所述基板搬出位置被设定为相对于沿所述特定方向的装置中心线非对称，所述网版印刷装置还包括：印刷执行部驱动机构，沿着所述特定方向驱动所述印刷执行部；控制装置，控制所述印刷执行部驱动机构来让该印刷执行部驱动机构驱动所述印刷执行部，以让该印刷执行部将所述印刷位置设定在所述基板支撑台从所述基板的搬入至所述基板的搬出而需移动的基板搬送路径上。根据所述结构，即使在基板搬入位置与基板搬出位置被设定为相对于沿着特定方向的装置中心线非对称的情况下，由于能够在所述基板支撑台从基板的搬入至基板的搬出而需移动的基板搬送路径上执行印刷工序，因此与单纯地在装置中央部设置印刷位置的情形相比，能够缩短移动距离。因此，基板支撑台在特定方向上的移动路径整体缩短，能够有助于改善吞吐量。并且，通过使印刷执行部沿特定方向移动，能够根据需要调整印刷位置。其结果，能够根据基板搬入位置及基板搬出位置的布局方式、基板支撑台的运转状况，变更印刷位置，能够更高效地处理印刷工序。

在所述结构中，较为理想的是：所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述基板搬送路径中相对于该基板搬送路径的中央位置靠近所述基板支撑台从所述基板搬入位置接收所述基板的接收位置和所述基板支撑台将所述基板向所述基板搬出位置送出的送出位置中的任一者。根据所述结构，由于尽可能地缩短从基板搬入位置到印刷位置的动作时间或从印刷位置到基板搬出位置的动作时间，因此能够更理想地谋求改善吞吐量。

在所述结构中，另外较为理想的是：所述网版印刷装置还包括：前工序处理装置，基于所述印刷工序前使所述基板支撑台与所述印刷执行部在所述特定方向上相对移动，对支撑在该基板支撑台上的所述基板执行指定的前工序；其中，所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述前工序处理装置结束所述前工序时的所述基板支撑台的停止位置和所述基板搬出位置之间。根据所述结构，在印刷工序之前，在所述前工序结束时的基板支撑台的停止位置与所述基板搬出位置之间设定所述印刷位置，因此，移向印刷工序的基板无需从该基板支撑台的停止位置向搬出方向的相反方向移动就能够移至印刷工序。此外，印刷工序后的基板无需向基板搬出位置的相反方向移动就能被搬出。因此，能够消除从前工序到搬出的徒劳的移动路线。这里，“前工序”例如可以是识别被设定在基板上的标识的“标记识别”工序。此外，也可以是识别设定在元件安装后被分割的多片拼接的基板中的部分基板上的不良标记的“损坏标记识别”工序。或者也可以是检查附着于基板上的异物的“异物检查”工序。此外，“基板支撑台的停止位置与所述基板搬出位置之间”能够在基板的搬送路径不返回的范围内设定为各种范围。例如，在印刷工序后基板支撑台与印刷执行部相对地位移而实施清洁处理的情况下，也可以设定在该清洁处理的开始位置。

在所述结构中，进一步理想的是：所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述前工序处理装置结束所述前工序时的所述基板支撑台的所述停止位置。根据所述结构，能够在前工序结束的时刻，使基板支撑台停止并过渡至印刷工序，因此前工序后的基板不会因之后的移动而引起位置偏离。因此，具有的优点是印刷工序中的基板与网版模板的定位变得精细。

在所述结构中，另外较为理想的是：所述网版印刷装置还包括：后工序处理装置，基于所述印刷工序后使所述基板支撑台与所述印刷执行部在所述特定方向上相对移动，执行指定的后工序；其中，所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述后工序处理装置开始所述后工序时的所述基板支撑台的位置。根据所述结构，在实施后工序时，由于在开始该后工序时的基板支撑台的位置设定所述印刷位置，因此移向后工序的基板无需从该印刷位置向搬出方向的相反方向移动就可直接移至后工序。因此，能够消除从印刷工序到搬出的徒劳的移动路线。这里，“后工序”例如可以是清洁印刷工序后的网版模板的重叠面的“清洁处理”工序。或者也可以是检查印刷后的基板上的印刷状态的“印刷后检查”工序。

在所述结构中，另外较为理想的是：所述基板支撑台为两个，沿所述特定方向并列设置而成对，所述印刷执行部为两个，其中一个印刷执行部设定与一对所述基板支撑台中的一个基板支撑台相对应的印刷位置，其中另一个印刷执行部设定与一对所述基板支撑台中的另一个基板支撑台相对应的印刷位置，所述台驱动机构个别地驱动一对所述基板支撑台中的各基板支撑台，所述印刷执行部驱动机构个别地驱动一对所述印刷执行部中的各印刷执行部，所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构来让每一所述印刷执行部设定所述印刷位置，所述基板搬入位置与所述基板搬出位置中的至少一者为两个一组。根据所述结构，由于分别使基板支撑台、印刷执行部为两个一组而改善吞吐量，因此即使在网版印刷装置的上游侧和下游侧中的至少一侧具有两系统的基板W搬送线的双搬送式的制造线中，也能够发挥充分的处理能力（吞吐量）。

在所述结构中，进一步理想的是：所述网版印刷装置中设定有共有区域，该共有区域是一对所述印刷执行部中的各印刷执行部的移动路线在所述特定方向上重合的区域，所述控制装置包括：干涉发生预见装置，预见一对所述印刷执行部并行动作中两印刷执行部之间的干涉的发生；印刷位置设定装置，在所述干涉发生预见装置预见到发生所述干涉的情况下，控制所述印刷执行部驱动机构，以让一对所述印刷执行部中的至少一者变更所述印刷位置。根据所述结构，在预见到发生干涉的情况下，印刷位置设定装置控制印刷执行部驱动机构而变更针对至少任一印刷执行部而设定的印刷位置。由此，一对印刷执行部在设定有共有区域的情况下也能够避免干涉地并行印刷工序。

在所述结构中，更进一步理想的是：在所述干涉发生预见装置预见到发生所述干涉的情况下，所述印刷位置设定装置控制所述印刷执行部驱动机构来让所述印刷执行部设定所述印刷位置，以使一对所述印刷执行部双方退避退避距离，其中，所述退避距离为一对所述印刷执行部能够避免干涉的相向间隔的一半长度。根据所述结构，在一对印刷执行部欲同时进入共有区域的情况下，由于将双方的能避免干涉的相向间隔对半分配，因此两印刷执行部的退避动作被平均分配，能够使退避时间不偏向任一印刷执行部地执行退避处理。

如以上所说明那样，根据本发明，即使在基板搬入位置与基板搬出位置被设定为相对于沿特定方向的装置中心线非对称的情况下，由于能够在基板的搬送路径上执行印刷工序，因此基板支撑台在特定方向上的移动路径整体缩短，能够发挥有助于吞吐量的改善的显著的效果。

Claims (8)

1.一种网版印刷装置，将沿着指定的搬送方向搬送的基板从基板搬入位置搬入，实施网版印刷，将印刷后的基板从设定在所述搬送方向的下游侧的基板搬出位置搬出，其特征在于包括：

印刷执行部，对所述基板实施网版印刷；

至少一个基板支撑台，能够沿与所述搬送方向正交的特定方向移动，将从所述基板搬入位置搬入的基板保持，以供所述印刷执行部在该印刷执行部所设定的印刷位置执行印刷工序，并且将印刷后的基板从所述基板搬出位置搬出；

台驱动机构，使所述基板支撑台沿所述特定方向至少在所述基板搬入位置和所述基板搬出位置之间往返移动；其中，

所述基板搬入位置与所述基板搬出位置被设定为相对于沿所述特定方向的装置中心线非对称，

所述网版印刷装置还包括：

印刷执行部驱动机构，沿着所述特定方向驱动所述印刷执行部；

控制装置，控制所述印刷执行部驱动机构来让该印刷执行部驱动机构驱动所述印刷执行部，以让该印刷执行部将所述印刷位置设定在所述基板支撑台从所述基板的搬入至所述基板的搬出而需移动的基板搬送路径上。

2.根据权利要求1所述的网版印刷装置，其特征在于：

所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述基板搬送路径中相对于该基板搬送路径的中央位置靠近所述基板支撑台从所述基板搬入位置接收所述基板的接收位置和所述基板支撑台将所述基板向所述基板搬出位置送出的送出位置中的任一者。

3.根据权利要求1所述的网版印刷装置，其特征在于还包括：

前工序处理装置，基于所述印刷工序前使所述基板支撑台与所述印刷执行部在所述特定方向上相对移动，对支撑在该基板支撑台上的所述基板执行指定的前工序；其中，

所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述前工序处理装置结束所述前工序时的所述基板支撑台的停止位置和所述基板搬出位置之间。

4.根据权利要求3所述的网版印刷装置，其特征在于：

所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述前工序处理装置结束所述前工序时的所述基板支撑台的所述停止位置。

5.根据权利要求1所述的网版印刷装置，其特征在于还包括：

后工序处理装置，基于所述印刷工序后使所述基板支撑台与所述印刷执行部在所述特定方向上相对移动，执行指定的后工序；其中，

所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构，以让所述印刷执行部将所述印刷位置设定在所述后工序处理装置开始所述后工序时的所述基板支撑台的位置。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的网版印刷装置，其特征在于：

所述基板支撑台为两个，沿所述特定方向并列设置而成对，

所述印刷执行部为两个，其中一个印刷执行部设定与一对所述基板支撑台中的一个基板支撑台相对应的印刷位置，其中另一个印刷执行部设定与一对所述基板支撑台中的另一个基板支撑台相对应的印刷位置，

所述台驱动机构个别地驱动一对所述基板支撑台中的各基板支撑台，

所述印刷执行部驱动机构个别地驱动一对所述印刷执行部中的各印刷执行部，

所述控制装置控制所述印刷执行部驱动机构来让每一所述印刷执行部设定所述印刷位置，

所述基板搬入位置与所述基板搬出位置中的至少一者为两个一组。

7.根据权利要求6所述的网版印刷装置，其特征在于：

设定有共有区域，该共有区域是一对所述印刷执行部中的各印刷执行部的移动路线在所述特定方向上重合的区域，

所述控制装置包括：

干涉发生预见装置，预见一对所述印刷执行部的并行动作中两印刷执行部之间的干涉的发生；

印刷位置设定装置，在所述干涉发生预见装置预见到发生所述干涉的情况下，控制所述印刷执行部驱动机构，以让一对所述印刷执行部中的至少一者变更所述印刷位置。

8.根据权利要求7所述的网版印刷装置，其特征在于：

在所述干涉发生预见装置预见到发生所述干涉的情况下，所述印刷位置设定装置控制所述印刷执行部驱动机构来让所述印刷执行部设定所述印刷位置，以使一对所述印刷执行部双方退避退避距离，其中，所述退避距离为一对所述印刷执行部能够避免干涉的相向间隔的一半长度。

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