JP2008304851A - 近接スキャン露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】近接スキャン露光装置は、複数のマスクMに近接しながらX方向に搬送される基板に対して複数のマスクMを介して露光用光を照射し、基板に複数のマスクMのパターンを露光する。露光装置は、複数のマスクMをそれぞれ保持し、Y方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部71と、各マスク保持部71の側方に配置され、各マスク保持部71をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、を備える。
【選択図】図2
Description
(1) 複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、
前記各マスク保持部の側方に配置され、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光装置。
(2) 前記マスク駆動部は、前記所定方向、前記交差方向、前記所定方向及び交差方向との水平面に対する鉛直方向、及び、該水平面の法線回りに、前記マスク保持部を駆動することを特徴とする(1)に記載の近接スキャン露光装置。
(3) 前記千鳥状に配置される複数のマスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを備え、
前記複数のマスク駆動部は、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とが対向する側と反対側に延びて配置され、
前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部との間には、前記マスクを交換するためのマスクチェンジャーが配置されることを特徴とする(1)又は(2)に記載の近接スキャン露光装置。
2 装置ベース
3,4,8 レベルブロック
13 メインフレーム
15 サブフレーム
20 基板搬送機構
21 浮上ユニット
23,24 排気エアパッド(エアパッド)
25a,25b 吸排気エアパッド(エアパッド)
26 排気孔
27 吸気孔
40 基板駆動ユニット
50 基板プリアライメント機構
51,52 基準ピン
53,54 押し当てピン
60 基板アライメント機構
61 アライメント用カメラ
62 θ補正用吸着ピン
70 マスク保持機構
71 マスク保持部
72 マスク駆動部
80 照射部
82 ガイドレール
83 スライダ
84a,84b ストッパ部材
90 遮光装置
92 ブラインド駆動ユニット
108,109 ブラインド部材
108a,109a 一端部
120 マスクチェンジャー
121 マスクトレー部
125 エアパッド
126 位置決めピン
140 マスクプリアライメント機構
141 排気エアパッド(エアパッド)
143 押し付け板
144 押し付けピン
160,160a,160b,161 レーザー変位計(検出手段、ギャップセンサ)
171 マスクアライメント用カメラ(検出手段)
172 追従用カメラ(検出手段)
173 追従用照明(検出手段)
190 制御部
CP 交換位置
WP 受け渡し位置
EP 露光位置
RP 後退位置
IA 基板搬入側領域
EA マスク配置領域
OA 基板搬出領域
Claims (3)
- 複数のマスクに近接しながら所定方向に搬送される基板に対して前記複数のマスクを介して露光用光を照射し、前記基板に前記複数のマスクのパターンを露光する近接スキャン露光装置であって、
前記複数のマスクをそれぞれ保持し、前記所定方向と交差する方向に沿って千鳥状に配置される複数のマスク保持部と、
前記各マスク保持部の側方に配置され、前記各マスク保持部をそれぞれ駆動する複数のマスク駆動部と、
を備えることを特徴とする近接スキャン露光装置。 - 前記マスク駆動部は、前記所定方向、前記交差方向、前記所定方向及び交差方向との水平面に対する鉛直方向、及び、該水平面の法線回りに、前記マスク保持部を駆動することを特徴とする請求項1に記載の近接スキャン露光装置。
- 前記千鳥状に配置される複数のマスク保持部は、上流側に配置される複数の上流側マスク保持部と下流側に配置される複数の下流側マスク保持部とを備え、
前記複数のマスク駆動部は、前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部とが対向する側と反対側に延びて配置され、
前記複数の上流側マスク保持部と前記複数の下流側マスク保持部との間には、前記マスクを交換するためのマスクチェンジャーが配置されることを特徴とする請求項1又は2に記載の近接スキャン露光装置。
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