CN102770579A - 膜基板传送装置 - Google Patents

Abstract

一种用于膜基板的传送装置，该传送装置能高精度地调节分别沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的各个基板的位置。一种用于膜基板的传送装置，该传送装置构造成沿垂直方向传送带状膜基板（2），其中，膜基板沿其宽度方向的一端定位在上侧。用于膜基板的传送装置设有至少一对第一夹持辊子（6）以及第一角度调节机构（11），该对第一夹持辊子（6）设置成夹住膜基板的上端，而第一角度调节机构（11）能以调节第一夹持辊子（6）的转动轴线的角度的方式来调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，从而第一夹持辊子（6）的转动轴线指向传送方向上方。

Description

膜基板传送装置

技术领域

本发明涉及一种膜基板传送装置，该膜基板传送装置在将膜基板竖直放置的同时传送膜基板（下文称为“基板”），该膜基板关于其宽度方向的一端部位于上侧。

背景技术

用于制造薄膜层叠体的装置（下文称为“制造装置”）用于在基板的表面上形成由薄膜光电变换元件构成的光电变换层。该制造装置构造成在其成膜室内密封地形成基板。此外，为了将基板传送到成膜室内，由退绕芯部卷绕的基板朝向成膜室运送，穿过成膜室，然后由卷绕芯部卷绕。

作为主要设置在上述制造装置内的膜基板传送装置（下文称为“传送装置”）的基板传送方法，采用竖直传送方法，其中基板在被竖直放置的同时被传送，膜基板关于其宽度方向的一端部位于上侧。使用这种竖直传送方法的传送装置在防止基板受污染方面极佳，这是因为颗粒不会积聚到基板的表面上，并且通过将基板竖直放置而在减小制造装置的空间方面也极佳。同时，主要在退绕芯部与卷绕芯部之间拉动和保持基板。因此，基板倾向于沿宽度方向下垂和可能会弯曲。在这种情况下，基板的位置沿宽度方向位移，从而致使基板沿宽度方向翘曲。由于这种翘曲，应力不均匀地集中在基板内，从而引起在基板上起皱。由于起皱，在基板上形成的薄膜光电变换元件等的特性变差。

为此，采用在专利文献1中公开的基板，其中，在用于沿前进馈送方向传送基板的传送装置中设置用于调节基板沿宽度方向的位置的夹持辊子。在此制造装置中，多对夹持辊子设置成夹住基板的上端部和下端部。保持上端部的成对的夹持辊子相对于基板的前进馈送方向向上倾斜，而保持下端部的成对的夹持辊子相对于基板的馈送方向向下倾斜。

每对夹持辊子的外周表面设有用于保护基板的弹性体。然而，当弹性体磨损并变弱时，作用于每个夹持辊子与基板之间的夹持力变小，因此，不能获得用于提升基板的足够提升力。为此，设计专利文献1以通过增大夹持辊子的夹住位于夹持辊子之间的基板的力来加强成对的夹持辊子的夹持力（下文称为“基板夹持力”），以解决弹性体变差的问题。

专利文献1：日本专利特开第2009-38276号公报

然而，在专利文献1中，保持上端部的夹持辊子仅相对于基板的前进馈送方向向上倾斜，而保持下端部的夹持辊子仅相对于基板的前进馈送方向向下倾斜。因此，当基板沿前进馈送方向和后退馈送方向传送时，这些夹持辊子可精确地调节沿前进馈送方向传送的基板的位置，但不能调节沿后退馈送方向传送的基板的位置。

此外，在专利文献1中，当增大由外周表面上的弹性体获得的夹持辊子的基板夹持力时，外周表面上的弹性体可能受到挤压，从而使外周表面的横截面变成椭圆形并改变夹持辊子的直径。在这种情况下，不能获得期望的夹持力和用于提升基板的足够的提升力，这使基板难以运动到期望的位置。这导致调节基板的位置的精度降低。

发明内容

鉴于上述情况来设计本发明，并且本发明的目的是提供一种膜基板传送装置，该膜基板传送装置能以高精度来调节沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的每个基板的位置。

为了实现上述目的，本发明的膜基板传送装置是用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，膜基板沿其宽度方向的一端部位于上侧，此膜基板传送装置具有：至少一对第一夹持辊子，其设置成将膜基板的上端部夹在第一夹持辊子之间；以及第一角度调节机构，该第一角度调节机构能调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第一夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而第一夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于上侧。

根据本发明的膜基板装置还具有：至少一对第二夹持辊子，其设置成将膜基板的下端部夹在第二夹持辊子之间；以及第二角度调节机构，该第二角度调节机构能调节第二夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第二夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于下侧。

根据本发明的膜基板传送装置还具有用于检测膜基板的宽度方向端部的高度的检测装置，其中，当检测装置检测到膜基板的位移时，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制来使第一夹持辊子和/或第二夹持辊子沿对应于膜基板的传送方向的倾斜方向倾斜。

在根据本发明的膜基板传送装置中，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制来改变第一夹持辊子和/或第二夹持辊子的倾斜度，以为了校正基板的位移。

本发明的膜基板传送装置可实现以下作用。

根据本发明的膜基板传送装置是用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，膜基板沿其宽度方向的一端部位于上侧并传送该基板，此膜基板传送装置具有：至少一对第一夹持辊子，其设置成将膜基板的上端部夹在第一夹持辊子之间；以及第一角度调节机构，该第一角度调节机构能调节第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第一夹持辊子的转动角度倾斜，从而第一夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于上侧。

膜基板传送装置还具有：至少一对第二夹持辊子，其设置成将膜基板的下端部夹在第二夹持辊子之间；以及第二角度调节机构，该第二角度调节机构能调节第二夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能使第二夹持辊子的转动角度倾斜，从而第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向位于下侧。

膜基板传送装置还具有用于检测膜基板的宽度方向端部的高度的检测装置，其中，当检测装置检测到膜基板的位移时，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制，以使第一夹持辊子和/或第二夹持辊子沿着对应于膜基板的传送方向的倾斜方向倾斜。

这样，能以高精度来调节沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的膜基板的位置。

在根据本发明的膜基板传送装置中，第一角度调节机构和/或第二角度调节机构执行控制，以改变第一夹持辊子和/或第二夹持辊子的倾斜角度，以校正基板的位移。例如，当第一夹持辊子的夹持力由于第一夹持辊子的磨损而变弱且不能获得用于提升膜基板的足够的提升力时，膜基板的位置可通过增大第一夹持辊子的倾斜度以及膜基板沿宽度方向运动的距离来校正。由此，不必增大第一夹持辊子的夹住膜基板的力，可防止将过度负荷施加于膜基板。另一方面，当第一夹持辊子的夹持力波动且因此变得高到用于提升膜基板的提升力变得过强时，膜基板的位置可通过减小第一夹持辊子的倾斜度和膜基板沿宽度方向运动的距离来校正。由此，可防止调节膜基板的位置的精度下降。

附图说明

图1是示意地示出根据本发明的第一实施例、用于制造薄膜层叠体的装置的剖视平面图；

图2(a)是示意地示出图1的成膜室的放大图的剖视平面图，而图2(b)是沿图2(a)中所示线C-C剖取的剖视图；

图3(a)是示出根据本发明的第一实施例、当夹持辊子的转动轴线沿膜基板的宽度方向放置时所用的角度调节机构的示意正视图，图3(b)是图3(a)中所示的角度调节机构的示意侧视图，而图3(c)是沿图3(a)中所示的线D-D剖取的剖视图；

图4(a)是示出根据本发明的第一实施例、使夹持辊子倾斜以调节沿前进馈送方向传送的基板的位置的角度调节机构的示意正视图，而图4(b)是沿图4(a)中所示的线D’-D’剖取的剖视图；

图5是示出图4(a)的夹持辊子的示意放大前视图；

图6(a)是示出根据本发明的第一实施例、使夹持辊子倾斜以调节沿后退馈送方向传送的基板的位置的角度调节机构的示意正视图，而图6(b)是沿图6(a)中所示的线D”-D”剖取的剖视图；

图7是示出图6(a)的夹持辊子的示意放大正视图；

图8是根据本发明的第二实施例、沿图2(a)中所示的线C-C剖取的剖视图；以及

图9是示出夹持辊子的倾斜角度和用于提升膜基板的夹持辊子的提升力之间的关系的图。

具体实施方式

[第一实施例]

下面描述根据本发明的第一实施例的膜基板传送装置。

如图1中所示，在用于制造薄膜层叠体的、包括膜基板传送装置（下文称为“传送装置”）的装置（下文称为“制造装置”）中，带状膜基板（下文称为“基板”）2竖直放置，基板沿其宽度方向的一端部位于上侧，随后进行传送。然后，在基板2的表面上形成薄膜。第一实施例说明了基板2的宽度方向与垂直方向相符的情况，但本发明不限于此。

为了传送基板2，制造装置1设有用于退绕基板2的退绕室3和用于卷绕基板2的卷绕室4。例如六个成膜室5a至5f设置在退绕室3和卷绕室4之间。此外，基板2可沿前进馈送方向从退绕室3传送到卷绕室4（由图中箭头A示出）并沿后退馈送方向从卷绕室4传送到退绕室3（由图中箭头B示出）。此外，位于退绕室3与成膜室5a之间的传送部段、位于五个相邻的成膜室之间的传送部段和位于卷绕室4与成膜室5f之间的传送部段都设有例如一对第一夹持辊子6。

能使已卷绕的基板2退绕的退绕芯部3a以如下方式设置在退绕室3的内部上，即，能绕其自身的、沿基板2的宽度方向的转动轴线转动。被驱动以传送基板2并控制基板的张力的例如五个辊子3b至3f设置在退绕室3的内部且在退绕芯部3a沿前进馈送方向的下游侧处，其设置方式为能绕其自身的、沿基板2的宽度方向的转动轴线转动。退绕芯部3a和辊子3b至3f构造成以能沿前进传送方向和后退传送方向传送基板2的方式转动。注意到，如图1中所示的被设置成为传送基板2而驱动并控制基板张力的辊子的数目仅仅是示例，并且可以不仅是上述数目，而是根据制造装置1的规格可作变化的任何数目。不必提供被驱动以传送基板2并控制基板张力的辊子。

能卷绕基板2的卷绕芯部4a在卷绕室4的内部设置成能绕其自身的、沿基板2的宽度方向的转动轴线转动。例如，用于传送基板2并控制基板张力的七个辊子4b至4h设置在卷绕室4的内部且在退绕芯部4a沿前进馈送方向的上游侧处，其设置方式为能绕其自身的、沿基板2的宽度方向的转动轴线转动。卷绕芯部4a和辊子4b至4h构造成能沿前进传送方向和后退传送方向传送基板2。注意到，如图1中所示的为传送基板2而设并控制基板张力的辊子的数目仅仅是示例，并可以不仅是上述数目，而是根据制造装置1的规格可作变化的任何数目。不必提供用于传送基板2并控制其张力的辊子。

参照图2(a)和2(b)来描述成膜室5a至5f中的每个的结构。如图2(a)和2(b)中所示，沿前进馈送方向（箭头A）馈送基板2，并且第一夹持辊子6适应于沿前进馈送方向馈送的基板2。高压电极7a至7f以及接地电极8a至8f分别面对面地放置在成膜室5a至5f中。基板2穿过高压电极7a至7f中的每个与接地电极8a至8f中的每个之间。高压电极7a至7f和接地电极8a至8f沿基板2的宽度方向比沿基板2的宽度短。薄膜层叠体并不形成于基板2沿宽度方向的上端部或下端部上。将成膜气体供给到成膜室5a至5f。成膜室5a至5f可保持密封。在这些成膜室5a至5f中，当基板2定位在高压电极7a至7f中的每个和接地电极8a至8f中的每个之间时，薄膜形成于基板2上。用于在基板2的表面上形成膜的方法的示例包括CVD（化学气相沉积）、PVD（物理气相沉积）等。图1中所示的成膜室的数目是用作示例，并不限于以上所述并且可根据制造装置1的规格来作变化。除了成膜室，可设置用于加热基板2的加热室。

制造装置1还设有用于检测基板2沿宽度方向的位置的检测装置9。检测装置9可构造成能例如检测到基板2的边缘部分沿宽度方向的位置。此外，特别较佳地，检测装置9是非接触式传感器或例如是透过型激光传感器或反射型光电传感器。检测装置9连接到控制装置10。

每对第一夹持辊子6构造成能绕其转动轴线6a转动，并放置在相邻的成膜室之间，其放置方式为将基板2的上端部夹在第一夹持辊子之间。换言之，成对的第一夹持辊子6夹住基板2上没有形成薄膜层叠体的部段。第一夹持辊子6的每个的外周表面6b可由弹性体构成。弹性体的示例包括硅橡胶、氟橡胶和其它耐热橡胶。在另一情况下，第一夹持辊子6每一个的外周表面6b可由诸如PTFE和聚酰亚胺的合成树脂制成或者可由敷加有不锈钢、铁或铬的材料制成。此外，第一夹持辊子6中每一个的外周表面6b可由任何材料制成，只要可获得诸如用于保护和夹持基板2的力之类的预定性能即可。

第一夹持辊子6构造成能调节其倾斜度。参见图3(a)至3(c)来描述用于调节第一夹持辊子6的倾斜度的第一角度调节机构11。如图3(a)至3(c)中所示，借助于第一角度调节机构11，将第一夹持辊子6中每一个的转动轴线6a调节成沿基板2的宽度方向中立地放置。辊子轴6c以从第一夹持辊子6的上端沿基板2的宽度方向向上延伸的方式设置在第一夹持辊子6内。辊子轴6c的上端可转动地附连于辊子附连部12。连接件13也设置成从辊子附连部12沿基板2的宽度方向向上延伸。连接件13的上部设有配合辊子14。在连接件13中，连接件附连部13a设置在沿基板2的宽度方向的中间，该连接件附连部位于辊子附连部12与配合辊子14之间。该连接件附连部13a构造成能使连接件13绕连接件转动轴线13b转动并附连于支承部15，该连接件转动轴线13b沿关于基板2的表面的宽度方向延伸。因此，连接件13可相对于支承部15转动。此外，偏置装置16在连接件13与支承部15之间并沿基板2的传送方向设置。该偏置装置16可构造成能够通过使用卷簧、板簧、扭簧、橡胶构件等来使连接件13返回到其中立位置。

致动件17设置在连接件13上方。致动件17具有相对于基板2的表面沿宽度方向放置的臂18。臂18的末端部18a与附连至连接件13的配合辊子14配合。另一方面，沿基板2的宽度方向延伸的转动轴19附连于臂18的基端部18b。转动轴19的下端附连于臂18的基端部18b，且转动轴19的上端附连于驱动源20。因此，臂18可通过驱动源20的转动驱动来转动。注意到驱动源20由支承部15来支承，且致动件17的驱动源20连接到控制装置10。

现在描述根据本发明的第一实施例的制造装置1的操作。

再次参见图1来描述传送基板2并在制造装置1内的基板2上形成膜。在退绕室3中，由退绕芯部3a卷绕的基板2在由辊子3b至3f驱动和引导时退绕。基板2离开退绕室3，然后沿前进馈送方向依次传送经过成膜室5a至5f。然后，在成膜室5a至5f中，各种薄膜形成于基板2的表面上。在膜形成之后获得的基板2被传送到卷绕室4中并在由辊子4b至4h驱动和引导时由卷绕芯部4a卷绕。如需要，基板2沿后退馈送方向传送。

参见图4(a)、4(b)和5描述对沿前进馈送方向传送的基板2的位置调节。当检测装置9（参见图2(b)）检测到沿前进馈送方向传送的基板2的向下位移时，检测装置9向控制装置10（参见图2(b)）发送信号。接下来，控制装置10将信号发送到致动件17的驱动源20，且驱动源20受转动控制，从而臂18的末端部18a沿后退馈送方向运动。此时，与臂18的末端部18a配合的配合辊子14也沿后退馈送方向运动，且连接件13绕连接件转动轴线13b转动。由此，第一夹持辊子6相对于基板2的宽度方向倾斜倾斜角度θ₁，从而第一夹持辊子6的下侧沿基板2的表面指向前进馈送方向。换言之，第一夹持辊子6相对于基板2的前进馈送方向向上倾斜。注意到，在第一夹持辊子6倾斜倾斜角度θ₁的状态下，连接件13由偏置装置16偏置，从而第一夹持辊子6返回到其中立位置。

参见图6(a)、6(b)和7描述对沿后退馈送方向传送的基板2的位置的调节。当检测装置9（参见图2(b)）检测到沿后退馈送方向传送的基板2的向下位移时，检测装置9向控制装置10（参见图2(b)）发送信号。接下来，控制装置10将信号发送到致动件17的驱动源20，且驱动源20受转动控制，从而臂18的末端部18a沿前进馈送方向运动。此时，与臂18的末端部18a配合的配合辊子14也沿前进馈送方向运动，且连接件13绕连接件转动轴线13b转动。由此，第一夹持辊子6相对于基板2的宽度方向倾斜倾斜角度θ₂，从而第一夹持辊子6的下侧沿基板2的表面指向后退馈送方向。换言之，第一夹持辊子6相对于基板2的后退馈送方向向上倾斜。注意到，在第一夹持辊子6倾斜了倾斜角度θ₂的状态下，连接件13由偏置装置16偏置，从而第一夹持辊子6返回到其中立位置。

在此，当检测装置9检测到由于第一夹持辊子6夹持力降低而不能获得足够的提升力并且甚至在对基板2上进行位置校正之后基板2仍然向下位移时，控制装置10以增大第一夹持辊子6的倾斜角度θ₁或θ₂的方式控制致动件17的驱动源20。由此，校正基板2的位置。然而，当检测装置9检测到由于第一夹持辊子6夹持力过度增大而使提升力较强并且在对基板2进行位置校正之后基板2向上位移时，控制装置10减小第一夹持辊子6的倾斜角度θ₁或θ₂的方式控制致动件17的驱动源20。由此，校正基板2的位置。

[第二实施例]

下面描述根据本发明的第二实施例的用于制造薄膜层叠体的装置。根据本发明的第二实施例的用于制造薄膜层叠体的装置的基本构造与根据本发明的第一实施例的用于制造薄膜层叠体的装置相同。与第一实施例的附图标记和名称相同的附图标记和名称用于描述第一实施例的相同部件。现在描述与第一实施例的那些不同的构造。

如图8中所示，还设置一对第二夹持辊子6’来夹住基板2的位于第二夹持辊子之间的下端部。与第一夹持辊子6相同，第二夹持辊子6’中的每一个具有转动轴线6a’和外周表面6b’。尽管未示出，设置能调节第二夹持辊子6’的倾斜方向和倾斜角度的第二角度调节机构以使第二夹持辊子6’相对于传送方向向下并相对于传送方向朝向前进馈送方向和后退馈送方向倾斜，而外周表面6b沿基板2的表面定位。该第二角度调节机构对应于第二夹持辊子6’并具有如第一角度调节机构的基本构造。注意到图8示出这样一种状态：基板2沿前进馈送方向（箭头A）馈送，且第二夹持辊子6’的上侧沿前进馈送方向倾斜，以对应于沿前进馈送方向馈送的基板2。

根据上述本发明的第一实施例和第二实施例，第一夹持辊子和/或第二夹持辊子6、6’的倾斜方向与倾斜角度通过第一角度调节机构11和/或第二角度调节机构来如此调节，调节方式为第一和/或第二夹持辊子6、6’沿基板2的传送方向朝向前进馈送方向和后退馈送方向倾斜。这样，能高精度地调节沿前进馈送方向和后退馈送方向传送的基板2的位置。

根据本发明的第一实施例和第二实施例，例如当第一夹持辊子6的夹持力由于第一夹持辊子6的磨损而变弱且不能获得用于提升基板2的足够的提升力时，基板2的位置可通过增大第一夹持辊子6的倾斜度和基板2沿宽度方向运动的距离来校正。由此，不必增大第一夹持辊子6的夹住基板2的力，可防止将过度负荷施加于基板2。另一方面，当第一夹持辊子6的夹持力波动且因此变得高到用于提升基板2的提升力变得过强时，基板2的位置可通过减小第一夹持辊子6的倾斜度和基板2沿宽度方向运动的距离来校正。由此，可防止调节基板2的位置的精度下降。

上面已描述本发明的各实施例。然而，本发明不限于这些上述实施例，并能基于本发明的技术思想以各种方式来作修改和变化。

在本发明的实施例的第一改型中，第一和/或第二夹持辊子6、6’可构造成这些夹持辊子的将基板2夹在两辊子之间的力（下文称为“基板夹持力”）可调节。例如，当检测装置9检测到由于第一夹持辊子6的夹持力降低而不能获得用于提升基板2的足够的提升力并且甚至在基板2上进行位置校正之后基板2仍然向下位移时，控制装置10能以增大成对的第一夹持辊子6的基板夹持力的方式控制成对的第一夹持辊子6以校正基板2的位置。然而，当检测装置9检测到由于第一夹持辊子6的过度增大的夹持力而使用于提升基板2的提升力较强并且在对基板2进行位置校正之后基板2向上位移时，控制装置10以减小成对的第一夹持辊子6的基板夹持力的方式控制成对的第一夹持辊子6以校正基板2的位置。这样，可获得与本发明的那些相同的效果。

在本发明的实施例的第二改型中，第一和/或第二夹持辊子6、6’可设置在退绕室3与成膜室5a之间的传送部段、五个相邻成膜室之间的传送部段和卷绕室4与成膜室5f之间的传送部段中的至少一个传送部段内。设有第一和/或第二夹持辊子6、6’的传送部段的数目可改变成能适当地调节基板2的位置。此外，设置在每个传送部段内的第一和/或第二夹持辊子6、6’的数目可以是两个或更多个。这样，可获得与本发明的那些相同的效果。

在本发明的实施例的第三变型中，作为对辊子附连部12的替代，用于使第一和/或第二夹持辊子6、6’转动的驱动源可设置成第一和/或第二夹持辊子6、6’可通过此驱动源来转动。此驱动源可连接到控制装置10以使第一和/或第二夹持辊子6、6’转动。这样，可获得与本发明的那些相同的效果。

[示例]

现在描述采用本发明的第一实施例的制造装置1的示例。在根据本发明的示例中，一对第一夹持辊子6的基板夹持力设定在4.4N、8.9N或16.3N，并当第一夹持辊子6的倾斜角度θ₁或θ₂在0°至8°之间变化时，测量用于提升基板2的成对的第一夹持辊子6的提升力F（下文称为“提升力”）的变化。

图9示出第一夹持辊子6的倾斜角度θ₁或θ₂与用于提升基板2的第一夹持辊子6的提升力F之间的关系，其中，实线P示出基板夹持力为4.4N，虚线Q示出基板夹持力为8.9N，而点划线R示出基板夹持力为16.3N。

如图9中所示，清楚的是提升力F与倾斜角度θ₁或θ₂成比例地增大。例如，为了获得约2N的用于提升基板2的提升力F，并且当基板夹持力为4.4N时，倾斜角度θ₁或θ₂可以是约3.5°。当基板夹持力为8.9N时，倾斜角度θ₁或θ₂可以是约2°。当基板夹持力为16.3N时，倾斜角度θ₁或θ₂可以是约1°。根据本发明的上述示例，已证实提升力F可通过增大第一夹持辊子6的倾斜角度θ₁或θ₂来增大，而不是通过增大成对的第一夹持辊子6的基板夹持力。

附图标记的说明

1用于制造薄膜层叠体的装置（制造装置）

2膜基板（基板）

6第一夹持辊子

6’第二夹持辊子

6a,6a’转动轴线

6b,6b’外周表面

9检测装置

11角度调节机构

A,B,C,D,D’,D”箭头

F提升力

θ₁,θ₂倾斜角度

P实线

Q虚线

R点划线

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.一种用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，所述膜基板沿所述其宽度方向的一端部位于上侧，

所述膜基板传送装置包括：

至少一对第一夹持辊子，所述至少一对第一夹持辊子设置成将所述膜基板的上端部夹在所述第一夹持辊子之间；以及

第一角度调节机构，所述第一角度调节机构能调节所述第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能够使所述第一夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而所述第一夹持辊子的转动方向相对于传送方向而位于上侧。

2.如权利要求1所述的膜基板传送装置，其特征在于，还包括：

至少一对第二夹持辊子，所述至少一对第二夹持辊子设置成将所述膜基板的下端部夹在所述第二夹持辊子之间；以及

第二角度调节机构，所述第二角度调节机构能调节所述第二夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能够使所述第二夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而所述第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向而位于下侧。

3.如权利要求1或2所述的膜基板传送装置，其特征在于，还包括：

检测装置，所述检测装置用于检测所述膜基板的宽度方向端部的高度，

其中，当所述检测装置检测到所述膜基板的位移时，所述第一角度调节机构和/或所述第二角度调节机构执行控制，以使所述第一夹持辊子和/或所述第二夹持辊子沿对应于所述膜基板的所述传送方向的倾斜方向倾斜。

4.如权利要求1至3中任一项所述的膜基板传送装置，其特征在于，所述第一角度调节机构和/或所述第二角度调节机构执行控制来改变所述第一夹持辊子和/或所述第二夹持辊子的倾斜角度，以校正所述基板的位移。

5.如权利要求2所述的膜基板传送装置，其特征在于，

所述第二角度调节机构具有：

辊子附连部，所述第二夹持辊子可转动地附连于所述辊子附连部，并且所述辊子附连部能运动以使所述第二夹持辊子的转动方向在相对于所述传送方向的所述上侧和所述下侧之间变化；

偏置装置，所述偏置装置用于偏置所述辊子附连部，以使所述第二夹持辊子的转动方向朝向相对于所述传送方向的所述上侧或所述下侧变化；

配合辊子，所述配合辊子构造成与所述辊子附连部的运动相结合地运动；

臂，由于所述偏置装置作用于所述辊子附连部的偏置运动，所述臂抵抗所述配合辊子的运动而与所述配合辊子配合；以及

致动件，所述致动件用于驱动所述臂；以及其中

对所述臂的驱动使所述配合辊子和所述辊子附连部运动，由此改变所述第二夹持辊子的所述转动方向。

6.如权利要求1至5中任一项所述的膜基板传送装置，其特征在于，

所述第一角度调节机构具有：

辊子附连部，所述第一夹持辊子可转动地附连于所述辊子附连部，并且所述辊子附连部能运动以使所述第一夹持辊子的转动方向在相对于所述传送方向的所述上侧和所述下侧之间变化；

偏置装置，所述偏置装置用于偏置所述辊子附连部，以使所述第一夹持辊子的转动方向朝向相对于所述传送方向的所述上侧或所述下侧变化；

配合辊子，所述配合辊子构造成与所述辊子附连部的运动相结合地运动；

臂，由于所述偏置装置作用于所述辊子附连部的偏置运动，所述臂抵抗所述配合辊子的运动而与所述配合辊子配合；以及

致动件，所述致动件用于驱动所述臂；以及其中

对所述臂的驱动使所述配合辊子与所述辊子附连部运动，由此改变所述第一夹持辊子的所述转动方向。

Claims (4)

1.一种用于在将膜基板竖直放置的同时传送带状膜基板的膜基板传送装置，所述膜基板沿所述其宽度方向的一端部位于上侧，

所述膜基板传送装置包括：

至少一对第一夹持辊子，所述至少一对第一夹持辊子设置成将所述膜基板的上端部夹在所述第一夹持辊子之间；以及

第一角度调节机构，所述第一角度调节机构能调节所述第一夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能够使所述第一夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而所述第一夹持辊子的转动方向相对于传送方向而位于上侧。

2.如权利要求1所述的膜基板传送装置，其特征在于，还包括：

至少一对第二夹持辊子，所述至少一对第二夹持辊子设置成将所述膜基板的下端部夹在所述第二夹持辊子之间；以及

第二角度调节机构，所述第二角度调节机构能调节所述第二夹持辊子的倾斜方向和倾斜角度，以能够使所述第二夹持辊子的转动轴线角度倾斜，从而所述第二夹持辊子的转动方向相对于传送方向而位于下侧。

3.如权利要求1或2所述的膜基板传送装置，其特征在于，还包括：

检测装置，所述检测装置用于检测所述膜基板的宽度方向端部的高度，

其中，当所述检测装置检测到所述膜基板的位移时，所述第一角度调节机构和/或所述第二角度调节机构执行控制，以使所述第一夹持辊子和/或所述第二夹持辊子沿对应于所述膜基板的所述传送方向的倾斜方向倾斜。

4.如权利要求1至3中任一项所述的膜基板传送装置，其特征在于，所述第一角度调节机构和/或所述第二角度调节机构执行控制来改变所述第一夹持辊子和/或所述第二夹持辊子的倾斜角度，以校正所述基板的位移。

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