JP5196283B2 - 可撓性基板の位置制御装置 - Google Patents
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Description
帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送しその搬送経路にて前記基板に処理を行なう処理装置における可撓性基板の上下幅方向の位置制御装置であって、
前記可撓性基板の上側縁部を挟持しつつ送出可能な第1および第2の上側挟持ローラ対を備え、前記第1の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記可撓性基板の第1の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜し、前記第2の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記第1の搬送方向と反対の第2の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜しており、前記第1および第2の上側挟持ローラ対をそれぞれ回転可能に支持しかつ各ローラ対を構成するローラの一方が他方に対してまたは相互に接離可能となるように支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記各ローラ対に挟圧力を付与する付勢手段と、前記第1の搬送方向への搬送時に前記第2の上側挟持ローラ対を離反させ、前記第2の搬送方向への搬送時に前記第1の上側挟持ローラ対を離反させることにより、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の作用/不作用状態を切替える切替え手段と、をさらに備え、
前記付勢手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対に対応して前記支持機構に介装された第1および第2のスプリングと、前記各上側挟持ローラ対の挟圧力を調整すべく前記各スプリングの支持点を変位させる付勢力調整手段とを含み、
前記付勢力調整手段は、前記各スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達機構と、前記各スプリングの支持点を前記伝達機構との連結点の周りで角変位させる回動部材とを含み、前記回動部材による前記支持点の角変位が、前記挟持ローラ対を離反させる角位置を含むことで、前記回動部材が前記切替え手段を兼ねることを特徴とする。
帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送しその搬送経路にて前記基板に処理を行なう処理装置における可撓性基板の上下幅方向の位置制御装置であって、
前記可撓性基板の上側縁部を挟持しつつ送出可能な第1および第2の上側挟持ローラ対を備え、前記第1の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記可撓性基板の第1の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜し、前記第2の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記第1の搬送方向と反対の第2の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜しており、前記第1および第2の上側挟持ローラ対をそれぞれ回転可能に支持しかつ各ローラ対を構成するローラの一方が他方に対してまたは相互に接離可能となるように支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記各ローラ対に挟圧力を付与する付勢手段と、前記第1の搬送方向への搬送時に前記第2の上側挟持ローラ対を離反させ、前記第2の搬送方向への搬送時に前記第1の上側挟持ローラ対を離反させることにより、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の作用/不作用状態を切替える切替え手段と、をさらに備え、
前記付勢手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対に対応して前記支持機構に介装された第1および第2のスプリングと、前記各上側挟持ローラ対の挟圧力を調整すべく前記各スプリングの支持点を変位させる付勢力調整手段とを含み、
前記切替え手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の接離動作に対応した前記支持機構の可動部に交互に係脱可能な操作部材を含み、該操作部材の回動または往復動により、前記第1および第2のスプリングの付勢力に抗して前記第1および第2の上側挟持ローラ対を交互的に離反させるように構成されていることを特徴とする。
図4〜図6は、本発明に係る第1実施形態の位置制御装置130を示している。位置制御装置130の第1および第2の上側挟持ローラ対31,32は、支持機構40により接離可能に支持された固定ローラ33,35と可動ローラ34,36で構成されている。図5に示されるように、各固定ローラ33,35は、いずれも固定支持部材43,45の先端(下端)に設けた支軸にベアリングを介して回転自在に支持され、金属製のローラ本体と、その周面に被着された耐熱性のゴム被覆部で構成されている。ベアリングは、軸方向荷重を受圧可能なボールベアリングやアンギュラーコンタクトボールベアリングなどが用いられる。各可動ローラ34,36も、可動支持部材44,46に前記同様に回転自在に支持されている。
(a) 駆動アーム65,66を、最小加圧位置65x,66x(回動原点)と最大加圧位置65y,66yとの間で回動変位させ、その角変位に応じた付勢力がクランクアーム59,60を介して挟持ローラ対31,32に付加されるような作用位置(65x〜65y,66x〜66y)、
(b) クランクアーム59,60(55,56)を図中59z,60z(55z,56z)で示されるように強制的に反転させて挟持ローラ対31,32の可動ローラ34,36を固定ローラ33,35から離反させる不作用位置(65z,66z)、および、
(c) 図中右側の挟持ローラ対31に対してのみ示されているが、クランクアーム59,60が、加圧位置(59,60)と反転位置(59z,60z)の両方で保持され得る双安定状態とするトグル位置(65m)を切替え可能となっている。
図7は、上述した第1実施形態の変形例として、アクティブな位置制御装置130の付勢力調整手段61におけるアクチュエータ71を、手動操作用のハンドル171に置換したプリセットタイプの付勢力調整手段161を示している。
図8(a)〜(c)は、本発明に係る第2実施形態の位置制御装置230を示している。この位置制御装置230においても、第1実施形態と同様に、第1および第2の上側挟持ローラ対231,232が、支持機構240により接離可能に支持された固定ローラ33,35と可動ローラ34,36で構成されている。各可動ローラ34,36の各可動支持部材244,246は、その基端部(上端部)において、ブラケット247,248の下面に固着された支持部241,242に回動軸244a,246aを介して回動自在に支持されている。
図9(a)〜(c)は、本発明に係る第3実施形態の位置制御装置330を示している。この位置制御装置330は、図3に示した第2の基本的態様に相当しており、第1および第2の上側挟持ローラ対331,332が、支持機構340により相互に接離可能に支持された各一対の可動ローラ34,34および36,36で構成され、可動支持部材344,344および346,346は、それらの基端部(上端部)において、ブラケット347,348の下面に固着された支持部341,342に回動軸344a,346aを介して回動自在に支持され、各可動支持部材344,344および346,346の間に、調整ネジ367,368を介してスプリング363,364が張架されている。
図10(a)(b)は、本発明に係る第4実施形態の位置制御装置430を示している。この位置制御装置430は、先述した第2実施形態と同様に、第1および第2の上側挟持ローラ対431,432が、支持機構440により接離可能に支持された固定ローラ33,35と可動ローラ34,36で構成され、各可動支持部材444,446は、その基端部(上端部)において支持部441,442に回動自在に支持され、各可動支持部材444,446と対応する固定支持部材443(445)との間に、調整ネジ(467)468を介してスプリング463,464が張架されている。
10 真空室
11 薄膜積層体製造装置
13 主構造材
20 成膜ユニット
30,130,230,330,430 位置制御装置(上側ユニット)
30′ 位置制御装置(下側ユニット)
31,231,331,431 第1の上側挟持ローラ対
32,232,332,432 第2の上側挟持ローラ対
33,35 固定ローラ
34,36 可動ローラ
40,240,340,440 支持機構
43,45,243,245,445 固定支持部材
44,46,244,246,344,346,444,446 可動支持部材
47,48,247,248,347,348,447,448 ブラケット
51,52 付勢力伝達機構
53,54 延長アーム
61,62,161 付勢力調整手段(切替え手段)
63,64,263,264,363,364,463,464 スプリング(付勢手段)
65,66 駆動アーム(回動部材)
67,68,267,268,367,368,467,468 調整ネジ(付勢力調整手段)
69,69z センサ(検知手段)
171,455 ハンドル(操作部)
250,350 カム軸
251,252,351,352 カム(操作部材)
261,361,461 切替え装置(切替え手段)
451,452 延出部
453 操作アーム(操作部材)
454 回動軸
471,472 保持部材(センサ)
α,β 偏角
F,R 搬送方向
Claims (5)
- 帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送しその搬送経路にて前記基板に処理を行なう処理装置における可撓性基板の上下幅方向の位置制御装置であって、
前記可撓性基板の上側縁部を挟持しつつ送出可能な第1および第2の上側挟持ローラ対を備え、前記第1の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記可撓性基板の第1の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜し、前記第2の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記第1の搬送方向と反対の第2の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜しており、前記第1および第2の上側挟持ローラ対をそれぞれ回転可能に支持しかつ各ローラ対を構成するローラの一方が他方に対してまたは相互に接離可能となるように支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記各ローラ対に挟圧力を付与する付勢手段と、前記第1の搬送方向への搬送時に前記第2の上側挟持ローラ対を離反させ、前記第2の搬送方向への搬送時に前記第1の上側挟持ローラ対を離反させることにより、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の作用/不作用状態を切替える切替え手段と、をさらに備え、
前記付勢手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対に対応して前記支持機構に介装された第1および第2のスプリングと、前記各上側挟持ローラ対の挟圧力を調整すべく前記各スプリングの支持点を変位させる付勢力調整手段とを含み、
前記付勢力調整手段は、前記各スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達機構と、前記各スプリングの支持点を前記伝達機構との連結点の周りで角変位させる回動部材とを含み、前記回動部材による前記支持点の角変位が、前記挟持ローラ対を離反させる角位置を含むことで、前記回動部材が前記切替え手段を兼ねることを特徴とする可撓性基板の位置制御装置。 - 帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送しその搬送経路にて前記基板に処理を行なう処理装置における可撓性基板の上下幅方向の位置制御装置であって、
前記可撓性基板の上側縁部を挟持しつつ送出可能な第1および第2の上側挟持ローラ対を備え、前記第1の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記可撓性基板の第1の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜し、前記第2の上側挟持ローラ対は、挟持部における回転方向が前記第1の搬送方向と反対の第2の搬送方向に対して斜上方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜しており、前記第1および第2の上側挟持ローラ対をそれぞれ回転可能に支持しかつ各ローラ対を構成するローラの一方が他方に対してまたは相互に接離可能となるように支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記各ローラ対に挟圧力を付与する付勢手段と、前記第1の搬送方向への搬送時に前記第2の上側挟持ローラ対を離反させ、前記第2の搬送方向への搬送時に前記第1の上側挟持ローラ対を離反させることにより、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の作用/不作用状態を切替える切替え手段と、をさらに備え、
前記付勢手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対に対応して前記支持機構に介装された第1および第2のスプリングと、前記各上側挟持ローラ対の挟圧力を調整すべく前記各スプリングの支持点を変位させる付勢力調整手段とを含み、
前記切替え手段は、前記第1および第2の上側挟持ローラ対の接離動作に対応した前記支持機構の可動部に交互に係脱可能な操作部材を含み、該操作部材の回動または往復動により、前記第1および第2のスプリングの付勢力に抗して前記第1および第2の上側挟持ローラ対を交互的に離反させるように構成されていることを特徴とする可撓性基板の位置制御装置。 - 前記切替え手段は、前記回動部材または前記操作部材を作業者が人為的に操作するための操作部と、前記回動部材または前記操作部材を各切替え位置で保持する保持手段とをさらに含むことを特徴とする請求項1または2に記載の可撓性基板の位置制御装置。
- 前記切替え手段は、前記回動部材または前記操作部材が各切替え位置で保持されていることを検知する検知手段をさらに含むことを特徴とする請求項3に記載の可撓性基板の位置制御装置。
- 前記可撓性基板の下側縁部を挟持しつつ送出可能な第1および第2の下側挟持ローラ対をさらに備え、前記第1の下側挟持ローラ対は、前記第1の上側挟持ローラと前記可撓性基板の搬送方向に対して略同位置に配設され、挟持部における回転方向が前記第1の搬送方向に対して斜下方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜し、前記第2の下側挟持ローラ対は、前記第2の上側挟持ローラと前記可撓性基板の搬送方向に対して略同位置に配設され、挟持部における回転方向が前記第2の搬送方向に対して斜下方に向かう偏角を有するようにそれぞれの回転軸が傾斜しており、前記第1および第2の下側挟持ローラ対をそれぞれ回転可能に支持しかつ各ローラ対を構成するローラの一方が他方に対してまたは相互に接離可能となるように支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記各ローラ対に挟圧力を付与する付勢手段と、前記第1の搬送方向への搬送時に前記第2の下側挟持ローラ対を離反させ、前記第2の搬送方向への搬送時に前記第1の下側挟持ローラ対を離反させることにより、前記第1および第2の下側挟持ローラ対の作用/不作用状態を切替える切替え手段と、をさらに備えたことを特徴とする請求項1または2に記載の可撓性基板の位置制御装置。
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Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9428359B2 (en) * | 2011-11-30 | 2016-08-30 | Corning Incorporated | Methods and apparatuses for conveying flexible glass substrates |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH066127Y2 (ja) * | 1987-06-16 | 1994-02-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 自動原稿送り装置 |
JPH0710334A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-13 | Bridgestone Corp | 蛇行修正装置 |
JP2000118815A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-25 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | フィルム移送装置 |
WO2009122836A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 富士電機システムズ株式会社 | 薄膜積層体の製造装置および方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007261773A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Toray Ind Inc | フィルムの加工装置および加工方法 |
JP2009203055A (ja) * | 2008-02-29 | 2009-09-10 | Toray Ind Inc | ウェブロールの製造方法 |
-
2010
- 2010-12-07 JP JP2011546064A patent/JP5196283B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-12-07 WO PCT/JP2010/071868 patent/WO2011074438A1/ja active Application Filing
- 2010-12-07 EP EP10837467A patent/EP2407403A4/en not_active Withdrawn
- 2010-12-07 US US13/138,744 patent/US20130199442A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH066127Y2 (ja) * | 1987-06-16 | 1994-02-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 自動原稿送り装置 |
JPH0710334A (ja) * | 1993-06-21 | 1995-01-13 | Bridgestone Corp | 蛇行修正装置 |
JP2000118815A (ja) * | 1998-10-16 | 2000-04-25 | Kokusai Gijutsu Kaihatsu Kk | フィルム移送装置 |
WO2009122836A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | 富士電機システムズ株式会社 | 薄膜積層体の製造装置および方法 |
Also Published As
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