JP5488997B2 - 薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置 - Google Patents
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Description
帯状の可撓性基板(1)を縦姿勢で横方向に搬送し、前記基板の搬送経路に設置された成膜部(20)にて、前記基板の表面に薄膜を積層形成する薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置(30,30′)であって、前記基板の縁部を挟持する一対の挟持ローラ(31,32)と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構(33〜36)と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリング(42,52)と、を備え、前記基板の縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた展張力を作用させるものにおいて、前記スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達部材(37〜39)と、前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点(41b,51b)を前記伝達部材との連結点(39a)の周りで角変位させる操作部材(41,51)と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段(44,46,52,54f,54r)とを備えたことを特徴とする。
帯状の可撓性基板(1)を縦姿勢で横方向に搬送し、前記基板の搬送経路に設置された成膜部(20)にて、前記基板の表面に薄膜を積層形成する薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置(30,30′)であって、前記基板の縁部を挟持する一対の挟持ローラ(31,32)と、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構(33〜36)と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリング(68)と、を備え、前記基板の縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた展張力を作用させるものにおいて、前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点(68b,69a)を変位させるカム(67a)と、前記カムを回動操作する操作部材(61)と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段(44,46)とを備えたことを特徴とする。
図2〜図3は、本発明に係る第1実施形態の位置制御ユニット30(上側のみ)を示しており、図において、位置制御ユニット30は、可撓性基板1の上側縁部を挟持する一対の挟持ローラ31,32と、各挟持ローラ31,32を回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構(33〜36)、該支持機構を介して挟持ローラ31,32に挟圧力を付与するスプリング42、該スプリング42の付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達部材(37〜39)、および、スプリング42の付勢力を調整するとともに正逆各搬送方向F,Rに応じて切り替える操作部40からなる。また、操作部40は、挟持ローラ31,32の挟圧力を調整すべくスプリング42の支持点(41b)を伝達部材(37〜39)との連結点(39a)の周りで角変位させる操作アーム41と、該操作アーム41を所定の角変位に保持可能な保持手段(44〜46)を備えている。
図4(a)(b)は、本発明の第2実施形態に係る位置制御ユニット30とその操作部50(上側のみ)を示している。この第2実施形態では操作部50のみが第1実施形態と異なり、位置制御ユニット30(挟持ローラ31,32)の基本構造は第1実施形態と同様であるので、同様の部材には同様の符号を付すことで説明を省略し、以下、変更点について述べる。
図5(a)〜(c)は、本発明の第3実施形態に係る位置制御ユニット30とその操作部60(上側のみ)を示している。この第3実施形態では、挟持ローラ31,32に挟圧力を付与するスプリング68が、成膜室20内にスパイラルスプリングとして配設されている点、および、スプリング68の支持点(68b)がカム67aによって変位される点、回動軸67を介してカム67aを回動操作する操作力(角変位)が伝達される点が異なっている。
図6は、第3実施形態に係る位置制御ユニット30の変形例を示す、図5(b)に相当する断面図である。上述した第3実施形態では、スプリング68としてスパイラルスプリングを用いる場合を示したが、この変形例では、スプリング69としてコイルスプリングを用いている。スプリング69の基端は、第1実施形態と同様に可動側支持部材33に剛結され一体的に回動する延長アーム35の上端部に固定され、スプリング69の先端には、カム67aのフォロワ69aが取り付けられている。
20 成膜室
23 成膜ユニット
30,30′ 位置制御装置
31,32 挟持ローラ
33,34 支持部材
35 延長アーム
37,65,67 回動軸
37a 第2アーム
38 シール軸受
39 第1アーム
39a 連結ピン
40,50,60 操作部
41,51,61 操作アーム
41b,51b 支持ピン
41h,61h ハンドル
42,52,68,69 スプリング
43,53 調整ネジ
44 位置決めピン
45,55 ブラケット
46 位置決め孔
54f,54r ストッパー
66 第2操作アーム
67a カム
Claims (5)
- 帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送し、前記基板の搬送経路に設置された成膜部にて、前記基板の表面に薄膜を積層形成する薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置であって、前記基板の縁部を挟持する一対の挟持ローラと、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリングと、を備え、前記基板の縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた展張力を作用させるものにおいて、
前記スプリングの付勢力を前記支持機構にトルクとして伝達する伝達部材と、前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点を前記伝達部材との連結点の周りで角変位させる操作部材と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段とを備えたことを特徴とする薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置。 - 前記操作部材は、前記伝達部材との連結点を通りかつ前記伝達部材の回動軸と平行な軸を中心として回動可能に設けられ、前記スプリングの弾性変位を一定に維持しつつ前記スプリングの支持点を角変位させるように構成されていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置。
- 前記操作部材は、前記伝達部材との連結点とずれた軸を中心として回動可能に設けられ、かつ、前記操作部材を、前記連結点と前記軸を結ぶ線の延長上にある中立点の各側で所定の角変位に規制するストッパーを有し、前記スプリングが前記保持手段を兼ねていることを特徴とする請求項1に記載の薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置。
- 帯状の可撓性基板を縦姿勢で横方向に搬送し、前記基板の搬送経路に設置された成膜部にて、前記基板の表面に薄膜を積層形成する薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置であって、前記基板の上側縁部を挟持する一対の挟持ローラと、前記一対の挟持ローラを回転可能かつ相互に接離可能に支持する支持機構と、前記支持機構を介して前記一対の挟持ローラに挟圧力を付与するスプリングと、を備え、前記基板の上側縁部に、前記一対の挟持ローラの挟圧力に応じた持ち上げ力を作用させるものにおいて、
前記一対の挟持ローラの挟圧力を調整すべく、前記スプリングの支持点を変位させるカムと、前記カムを回動操作する操作部材と、前記操作部材を所定の角変位に保持可能な保持手段とを備えたことを特徴とする薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置。 - 前記一対の挟持ローラを構成する各ローラが、軸方向に対して傾斜した周面を有する円錐ローラであり、前記各円錐ローラの小径側が前記基板の幅方向中央側に位置しかつ前記基板の挟持面における回転方向が前記基板の搬送方向と同方向になるように、前記支持機構によって支持されていることを特徴とする請求項1〜4の何れか一項に記載の薄膜積層体製造装置の基板位置制御装置。
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