CN102730416B - 基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。在加热台(10)上，将2片玻璃基板(1a、1b)沿机械臂(3)的移动方向成列地排列配置，在加热台设置升降部件，该升降部件为了将玻璃基板举起到相同高度而上升，通过玻璃基板下降而将其交付至机械臂，并且在加热台具备升降部件控制装置，其为了在机械臂的温度上升过程中将玻璃基板以相同温度交付至机械臂，而使玻璃基板向机械臂的交付在该机械臂的叉(16)的前端(16a)侧先进行且在基端(16b)侧后进行。由此，即便用一个机械臂一次搬送多个基板也能使各基板的温度历史记录相同，能防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送。

Description

基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置
技术领域
本发明涉及即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。
背景技术
在搬送各种基板的同时进行干燥处理或热处理的处理设备中，为了防止处理产生不均，提出了各种方案。例如，专利文献1的“抗蚀液涂敷处理装置”的课题在于提供一种抗蚀液涂敷处理装置，能够消除因基板背面与其他部件接触而产生的接触转印不均、干燥不均，该抗蚀液涂敷处理装置具备：对表面涂敷了抗蚀液的基板进行减压干燥的减压干燥机、对上述减压干燥后的基板进行加热而使上述抗蚀液固化的烘焙装置、以及在减压干燥机与上述烘焙装置之间搬送基板的搬送机器人。在上述搬送机器人中，按照从下侧载置前述基板的状态支承该基板的搬送手配置为手主体、隔热部、和手表面部成层叠状态，上述隔热部使上述基板与上述手主体之间隔热，上述手表面部由热传导率比上述隔热部高的材料构成并具有支承基板的突起。
专利文献1：日本特开2008-166623号公报
对于基板而言，有从等离子显示面板中使用的大型且厚的基板到便携终端(例如智能手机等)的触摸面板等中使用的小型且超薄的基板。
在进行大量生产时，在等离子显示面板用的玻璃基板中采用下述方法，即，在对约2m×2m这样大尺寸的基板实施加工处理之后，将其切取为所需的小尺寸。与之相对，触摸面板用的玻璃基板为了使便携性方面更优越而追求轻型化，关于其厚度，相对于等离子显示面板用的约2mm而言，该触摸面板用的玻璃基板的厚度约为0.2mm，因此强度弱，与等离子显示面板用的玻璃基板不同，难以用大尺寸进行操作。
因此，为了高效地大量生产便携终端用的玻璃基板，需要同时搬送多个薄型的玻璃基板来进行处理。若考虑大量生产中的设备的自动化，优选搬送作业与操作等离子显示面板用的玻璃基板的情况同样利用机械臂。
因此，存在着在用一个机械臂一次搬送多个玻璃基板的情况下对玻璃基板实施的各种处理可能会产生不均的课题。
具体而言，在用一个机械臂操作被高温气氛的加热台加热处理后的多个玻璃基板时，机械臂通常为常温状态，在为了接收玻璃基板而进入高温气氛的加热台的阶段被加热。先进入加热台的机械臂的前端侧在较早的定时(timing)变热并开始升温，之后，后进入加热台的机械臂的基端侧以较迟的定时变热并开始升温。
因而存在下述课题：尽管在机械臂的前端侧和基端侧温度不同，但若机械臂同时接收多个玻璃基板，则前端侧的玻璃基板被交付至温度高的机械臂部分，基端侧的玻璃基板被交付至温度低的机械臂部分，因此在这些前端侧和基端侧的玻璃基板中温度历史记录会产生差，导致完成情况不均匀。
另外，这种情况下，若等待机械臂整体的温度收敛为一定温度之后交付玻璃基板，则存在搬送耗时长的问题。
发明内容
本发明是鉴于上述现有的课题而完成的，其目的在于提供一种即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。
本发明涉及的基板搬送装置具有机械臂，该机械臂能够在生产线中配备的加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧在比先进入该加热台的前端侧迟的定时升温的特性，在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且通过下降而将这些基板交付至所述机械臂，而且，在所述加热台具备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。
其中，按照将这些基板分别单独地举起到相同高度而上升、且通过单独地下降而将这些基板分别交付至所述机械臂的方式，设置多个所述升降部件，所述定时调整部件是使位于所述机械臂的基端侧的所述升降部件比位于所述机械臂的前端侧的所述升降部件更迟地下降的升降部件控制装置。
其中，所述定时调整部件是为了使所述机械臂的基端侧上表面比该机械臂的前端侧上表面更远离所述基板，而在该机械臂上按照从基端侧上表面向前端侧上表面逐渐变高的方式倾斜设置的倾斜面。
其中，所述机械臂具有按照在搭载了全部所述基板时的重量下所述倾斜面变得大致水平的方式弯曲的特性。
本发明的基板加工装置具备上述基板搬送装置，该基板加工装置还包括：第1作业机器人，其将所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；涂覆台，其将由该第1作业机器人搬送的所述基板以2片一组的方式进行涂覆处理；真空干燥台，其对由所述第1作业机器人从所述涂覆台搬送的2片一组的所述基板进行真空干燥处理；第2作业机器人，其将被该真空干燥台真空干燥处理后的所述基板以2片一组的方式进行操作、搬送；加热台，其对由该第2作业机器人从所述真空干燥台搬送的2片一组的基板实施用于烧成的加热处理；和冷却台，其对由所述第2作业机器人从所述加热台搬送的2片一组的所述基板实施冷却处理。
(发明效果)
在本发明涉及的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置中，即便在用一个机械臂一次搬送多个基板的情况下也能使各基板的温度历史记录相同，能够防止在各基板彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成多个基板，并且能够迅速地进行搬送。
附图说明
图1是表示具备本发明涉及的基板搬送装置，并对薄型的玻璃基板进行加工的基板加工装置的生产线的构成的概略图。
图2是说明被交付至本发明涉及的基板搬送装置所配备的机械臂的多个基板的排列的说明图。
图3是本发明涉及的基板搬送装置的第1实施方式，是说明机械臂接收多个基板的顺序的说明图。
图4是本发明涉及的基板搬送装置的第2实施方式，是说明机械臂接收多个基板的顺序的说明图。
图5是表示具备本发明涉及的基板搬送装置，并对薄型的玻璃基板进行加工的基板加工装置的其他生产线的构成的概略图。
符号说明：1、1a、1b-玻璃基板；2、20-生产线；3-机械臂；4、22-搬入输送机；5、7、8、11、23、25、29-台；6、9、24、26、28、30-作业机器人(handling robot)；10、27-加热台；12、31-搬出输送机；13-升降部件；14、21、32-转台；15-支承部；16-叉；16a-叉的前端；16b-叉的基端；17-屈伸臂；18-升降部件控制装置；19-倾斜面。
具体实施方式
以下，参照附图，详细说明本发明涉及的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置的优选实施方式。图1～图3示出第1实施方式涉及的基板搬送装置及具备该基板搬送装置的基板加工装置。
图1是表示具备第1实施方式涉及的基板搬送装置，并对薄型的玻璃基板1进行加工的基板加工装置的生产线2的构成的概略图，图2是说明被交付至第1实施方式涉及的玻璃基板搬送装置所配备的机械臂3的2片玻璃基板1a、1b的排列的说明图，图3是说明第1实施方式涉及的玻璃基板搬送装置所配备的机械臂3接收2片玻璃基板1a、1b的顺序的说明图。
图1的基板加工装置的生产线2由下述部件构成：搬入输送机4，其一片一片地搬送触摸面板式便携终端用的玻璃基板1；联结台5，其朝向搬入输送机4设置，将由搬入输送机4搬入的玻璃基板1以2片(1a、1b)组成一组；第1作业机器人6，其朝向联结台5设置，将玻璃基板1以2片一组的方式进行操作；涂覆台7，其设置于第1作业机器人6的左侧，将玻璃基板1以2片一组的方式进行涂覆处理；真空干燥台8，其设置于第1作业机器人6的右侧，对被涂覆台7涂覆处理后的2片一组的玻璃基板1进行真空干燥处理；第2作业机器人9，其朝向真空干燥台8设置，与第1作业机器人6同样地对玻璃基板1以2片一组的方式进行操作；加热台10，其夹着第2作业机器人9而设置于真空干燥台8的相反侧，对被真空干燥台8干燥处理后的2片一组的玻璃基板1进行用于烧成的加热处理；冷却/分离台11，其朝向第2作业机器人9设置，用于在对2片一组的玻璃基板1实施冷却处理的同时，将2片一组的玻璃基板1的操作分为一片一片的方式；和搬出输送机12，其朝向冷却/分离台11设置，一片一片地将玻璃基板1搬出。
在所有的台5、7、8、10、11中，基本上为了能够使作业机器人6、9操作玻璃基板1而都设置了升降部件13，该升降部件13用于将玻璃基板1举起而使其浮起(参照图3(b))。升降部件13由升降销13a和驱动部13b构成，该升降销13a从台5、7、8、10、11的上表面推出来支承玻璃基板1(1a、1b)，并向台5、7、8、10、11的内部没入，驱动部13b对升降销13a进行上下驱动。
作业机器人6、9被设置在常温环境，基本上具备机械臂3，该机械臂3能够进入到通过升降部件13而上升的玻璃基板1之下，并从下降的升降部件13接收玻璃基板1，然后后退沿着将玻璃基板1向下一个台(下一个工序)搬送的水平方向移动。
在联结台5，按照不妨碍升降销13a的动作的配置方式设置了输送带(未图示)。联结台5在输送带上为空的状态下，当从搬入输送机4一片一片地搬入了2片玻璃基板1时，成为等待第1作业机器人6搬送的等待状态。
在冷却/分离台11，为了将以2片一组的方式操作处理的玻璃基板1分开，与联结台5同样地按照不妨碍升降销13a的动作的配置方式设置了输送带(未图示)，在输送带上载置了2片玻璃基板1的状态下，向搬出输送机12一片一片地搬出玻璃基板1。在为空的状态下等待第2作业机器人9进行玻璃基板1的搬送。
作业机器人6、9具备转台14，并在转台14上设置了机械臂3。通过转台14的旋转，机械臂3的朝向能以360°全方位地变更。另外，机械臂3如上述可以沿着水平方向移动，并且通过前后方向的往复动作而进入各台5、7、8、10、11或从各台后退，由此从各台5、7、8、10的其中一个接收玻璃基板1后交付给下一个台7、8、10、11。
机械臂3由搭载于转台14上的支承部15和多根叉16构成，以悬梁状的方式推出前端16a的叉16的基端16b被支承部15支承。机械臂3具体而言为叉16由金属或碳等导热材料形成。作业机器人6、9通过自动控制装置(未图示)，按照生产线2的工艺定时进行玻璃基板1的交付动作。
关于2片一组的玻璃基板1a、1b和一并处理玻璃基板1a、1b的机械臂3，考虑如图2(A)所示那样将2片玻璃基板1a、1b沿着机械臂3的移动方向D成列地排列配置的处理方式、和如图2(B)所示那样将2片玻璃基板1a、1b沿着与机械臂3的移动方向D正交的方向并排地排列配置的处理方式这两种方式。
在并排配置的方式中，横向排列接收的玻璃基板1a、1b的重量平衡容易被打破，引起振动，因此无法适当进行搬送。因此，在第1实施方式中，按照相对于将玻璃基板1a、1b并排配置而言，能够以可稳定地操作玻璃基板1a、1b的成列配置将玻璃基板1a、1b交付至机械臂3的方式，在所有的台5、7、8、10、11中玻璃基板1a、1b被设定为以成列配置等待作业机器人6、9搬送的等待状态。在图2的例子中，示出了被设置于支承部15的机械臂3的水平移动用的屈伸臂17。
第1实施方式涉及的玻璃基板搬送装置，尤其优选适用于如图3所示那样从加热台10向冷却/分离台11搬送玻璃基板1a、1b的情况。在玻璃基板1a、1b的加热处理完成、且用第2作业机器人9的机械臂3搬出玻璃基板1a、1b的阶段，加热台10为高温气氛。其中，也可取代转台14，采用屈伸臂17本身绕中心17’旋转360°的构造。
向加热台10进入、后退的机械臂3的叉16由导热材料形成，在该叉16的前端16a侧与基端16b侧之间，具有后进入加热台10的基端16b侧在比先进入加热台10的前端16a侧迟的定时进行升温的特性，或者存在前端16a侧先被加热而基端16b侧后被加热的状况。
在加热台10设置有第1及第2升降部件13。这两台升降部件13单独地上下驱动升降销13a，使升降销13a上升来将2片玻璃基板1a、1b分别单独地举起到相同高度，并且使其下降来将这些玻璃基板1a、1b交付至机械臂3。
如上述，因为将2片玻璃基板1a、1b沿着机械臂3的移动方向D排列配置，所以这两台升降部件13也对应于玻璃基板1a、1b的配置，沿着机械臂3的移动方向D排列设置。关于其他台5、7、8、11而言，当然也可以与加热台10相同的方式设置两台升降部件13。
在加热台10的两台升降部件13，为了控制这些升降部件的升降销13a的下降定时，来调整各玻璃基板1a、1b向机械臂3交付的交付定时，而连接着作为定时调整部件的升降部件控制装置18。
具体而言，升降部件控制装置18使位于叉16的基端16b侧的第2升降部件13的升降销13a比位于叉16的前端16a侧的第1升降部件13的升降销13a更迟地下降。换言之，使玻璃基板1a、1b向机械臂3交付的交付定时，在叉16的前端16a侧较早(先进行交付)，在基端16b侧较迟(后进行交付)。
位于常温环境的机械臂3在移动至高温气氛的加热台10并进入玻璃基板1a、1b之下时，具有前端16a侧较快地变热而基端16b侧较迟地变热的倾向，所以，在高温气氛下的机械臂3的温度上升过程中，在叉16的前端16a侧较早地交付，对于基端16b侧，在基端16b侧的温度追上前端16a侧的温度的较迟的定时进行交付，从而将2片玻璃基板1a、1b以相同的温度向机械臂3交付。
交付定时被设定成叉16的基端16b侧的温度变成与前端16a侧的温度相同的定时，该交付定时详细而言能够基于叉16的导热系数和2片玻璃基板1a、1b之间的距离而通过实际设备实施试验来容易地求出。简而言之，使基于第2升降部件13的交付定时，延迟机械臂3从基端16b侧的玻璃基板1b到达前端16a侧的玻璃基板1a所需的时间即可。
接着，对第1实施方式涉及的玻璃基板搬送装置的作用进行说明。执行对玻璃基板1的各种加工处理的基板加工装置如上所述(参照图1)。
如图3(a)所示，在加热台10完成了玻璃基板1a、1b的加热处理之后，滞留了高温气氛。在将玻璃基板1a、1b从加热台10搬送至冷却/分离台11之际，第1及第2升降部件13的各驱动部13b如图3(b)所示那样，使升降销13a上升，将玻璃基板1a、1b举起到相同高度。升降销13a的上升动作既可以是相同的定时，也可以是不同的定时。
接着，如图3(c)所示，第2作业机器人9的机械臂3朝向加热台10移动，从前端16a侧开始进入玻璃基板1a、1b之下，然后如图3(d)所示，从前端16a侧到基端16b侧均位于玻璃基板1a、1b之下后停止移动。
此时，先进入的叉16的前端16a侧先开始升温，后进入的基端16b侧随后以较迟的定时开始升温。因此，机械臂3的叉16在刚进入玻璃基板1a、1b下之后的时刻，处于前端16a侧的温度高而基端16b侧的温度低的这样的不均匀的升温状态。
在叉16的这种温度上升过程中，对升降部件控制装置18设定了使基端16b侧温度追上将玻璃基板1a交付到前端16a侧时的前端16a侧温度的定时，升降部件控制装置18首先如图3(e)所示，使将位于叉16的前端16a侧的玻璃基板1a举起的第1升降部件13的升降销13a下降。
然后，在基端16b侧变为与前端16a侧相同的温度的定时，如图3(f)所示，使将位于叉16的基端16b侧的玻璃基板1b举起的第2升降部件13的升降销13a下降。由此，2片玻璃基板1a、1b被交付到在前端16a侧及基端16b侧均升温至相同温度的叉16。
在以上说明的第1实施方式涉及的玻璃基板搬送装置及具备该搬送装置的基板加工装置中，在基端16b侧的温度变为与交付前端16a侧的玻璃基板1a时的前端16a侧的温度相等的定时，交付基端16b侧的玻璃基板1b，即便在用一个机械臂3一次搬送2片玻璃基板1a、1b的情况下，也能使各玻璃基板1a、1b的温度历史记录相同，能够防止在玻璃基板1a、1b彼此之间产生温度不均，从而能够均匀地完成2片玻璃基板1a、1b。
另外，若等待在加热台10的高温气氛中被加热的叉16从前端16a到基端16b都收敛为相同的一定温度之后交付玻璃基板1a、1b，则搬送耗时长，但是在第1实施方式中因为能够在机械臂3的温度上升过程中进行交付，所以能够迅速地进行玻璃基板1a、1b的搬送，能够确保高的生产效率。
而且，因为将2片玻璃基板1a、1b沿着机械臂3的移动方向D排列配置，所以较之并排配置的情况，机械臂3能够稳定地接收玻璃基板1a、1b并进行搬送。
图4中示出本发明涉及的玻璃基板搬送装置的第2实施方式。第2实施方式取代单独地动作的第1及第2升降部件13，而构成为同时动作的两台升降部件13或用单一的升降部件13操作2片玻璃基板1a、1b。
第2实施方式的定时调整部件，为了使机械臂3的叉16的基端16b侧上表面比叉16的前端16a侧上表面更远离玻璃基板1a、1b，在叉16设置了按照从基端16b侧上表面向前端16a侧上表面逐渐变高的方式倾斜的倾斜面19。
这样，在前端16a侧及基端16b侧，通过使叉16的上表面即接收面相对于玻璃基板1a、1b的距离不同，从而即便同时下降升降销13a也能使各玻璃基板1a、1b的交付定时不同。倾斜面19的倾斜角度被设定成：使在基端16b侧的玻璃基板1b的交付与在前端16a侧的玻璃基板1a的交付相比，成为上述第1实施方式的升降部件控制装置18中说明过的较迟的定时。
机械臂3的叉16如上所述为悬梁状，由按照在搭载了2片玻璃基板1a、1b时的重量下倾斜面19变为大致水平的方式弯曲的特性的素材构成(参照图4中的箭头X)。
说明第2实施方式涉及的玻璃基板搬送装置及具备该搬送装置的基板加工装置的作用，如图4(a)所示，在将玻璃基板1a、1b从加热台10向冷却/分离台11搬送时，升降部件13的驱动部13b使升降销13a上升，将玻璃基板1a、1b举起到相同高度。第2作业机器人9的机械臂3朝向加热台10移动，从前端16a侧开始进入到玻璃基板1a、1b之下，从前端16a侧到基端16b侧均位于玻璃基板1a、1b之下后停止移动。
此时，先进入的叉16的前端16a侧先开始升温，后进入的基端16b侧随后在较迟的定时开始升温。因此，叉16在刚进入到玻璃基板1a、1b下之后的时刻，处于前端16a侧的温度高、基端16b侧的温度低的这种不均匀的升温状态。另外，机械臂3的叉16，通过设置于其上的倾斜面19，使得前端16a侧上表面比基端16b侧上表面更靠近玻璃基板1a、1b。
由此，在机械臂3的温度上升过程中，设定了基端16b侧温度追上在前端16a侧交付玻璃基板1a时的前端16a侧温度的定时。
随后，使将2片玻璃基板1a、1b举起的升降部件13的升降销13a下降，从而使2片玻璃基板1a、1b同时下降。于是，如图4(b)、(c)所示，在较早的定时，前端16a侧的玻璃基板1a被交付至机械臂3，在较迟的定时，基端16b侧的玻璃基板1b被交付至机械臂3，由此2片玻璃基板1a、1b被交付至前端16a侧及基端16b侧均升温为相同温度的机械臂3。
即便在该第2实施方式中，也能起到与上述第1实施方式相同的作用效果。尤其是，在第2实施方式中，能够用单一的升降部件13操作2片玻璃基板1a、1b，并且仅通过在叉16设置倾斜面19就能调整交付定时，所以与第1实施方式具有构造简单且定时控制容易的优越的作用效果。
另外，在第2实施方式中，因为采用使支承2片玻璃基板1a、1b的升降销13a同时下降的方式，所以在机械臂3具备升降机构的情况下，能够取代升降销13a的下降，而通过机械臂3的上升来完成玻璃基板1a、1b的接收，因此能对应多种多样的控制。
而且，因为机械臂3的叉16具有按照在搭载了2片玻璃基板1a、1b时的重量下倾斜面19变得大致水平的方式弯曲的特性，所以即便在设置了倾斜面19的情况下，也能够确保稳定的水平搬送。
图5示出了本实施方式涉及的具备玻璃基板搬送装置的基板加工装置的生产线的其他例。
图5的基板加工装置的生产线20由下述部件构成：搬入用转台21，其将触摸面板式便携终端用的玻璃基板1改变方向后一片一片地搬入；搬入输送机22，其朝向搬入用转台21设置，将从该搬入用转台21送入的玻璃基板1以2片一组的方式搬入；第1作业机器人24，其朝向搬入输送机22设置，将玻璃基板1以2片一组的方式从搬入输送机22向下一级的涂覆台23搬送；涂覆台23，其夹着第1作业机器人24而设置于搬入输送机22的相反侧，将玻璃基板1以2片一组的方式进行涂覆处理；第2作业机器人26，其朝向涂覆台23设置，将玻璃基板1从涂覆台23向下一级的真空干燥台25搬送；真空干燥台25，其夹着第2作业机器人26而设置于涂覆台23的相反侧，将2片一组的玻璃基板1进行真空干燥处理；第3作业机器人28，其朝向真空干燥台25设置，将玻璃基板1从真空干燥台25向下一级的加热台27搬送；加热台27，其夹着第3作业机器人28而设置于真空干燥台25的相反侧，将2片一组的玻璃基板1进行加热处理；第4作业机器人30，其朝向加热台27设置，将玻璃基板1从加热台27向下一级的冷却台29进行搬送；冷却台29，其夹着第4作业机器人30而设置于加热台27的相反侧，对2片一组的玻璃基板1进行冷却处理；搬出输送机31，其朝向冷却台29设置，将玻璃基板1以2片一组的方式搬出；和搬出用转台32，其朝向搬出输送机31设置，将玻璃基板1一片一片改变方向后搬出。作为这种生产线20的第1～第4作业机器人24、26、28、30，当然能够应用第1或第2实施方式涉及的玻璃基板搬送装置。

Claims (5)

1.一种基板搬送装置，其特征在于，
该基板搬送装置具有：在生产线中配备的加热台；和机械臂，该机械臂能够在该加热台上进入上升后的基板之下，并通过该基板下降而接收该基板，然后该机械臂后退而沿着将该基板向下一个台搬送的水平方向移动，
并且，该机械臂在其前端侧与基端侧之间，具有后进入该加热台的基端侧升温的定时迟于先进入该加热台的前端侧升温的定时的特性，
在所述加热台上，将多个所述基板沿着所述机械臂的移动方向成列地排列配置，
在所述加热台设置升降部件，该升降部件为了将这些基板举起到相同高度而上升，并且为了将这些基板交付至所述机械臂而下降，而且，
在所述加热台配备定时调整部件，该定时调整部件为了在所述机械臂的温度上升过程中将多个所述基板以相同温度交付至该机械臂，而使这些基板向该机械臂的交付在该机械臂的前端侧先进行且在基端侧后进行。
2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，
为了对多个所述基板分别单独地进行举起和交付，按照能够单独地上升和下降的方式设置多个所述升降部件，
所述定时调整部件是使位于所述机械臂的基端侧的所述升降部件比位于所述机械臂的前端侧的所述升降部件更迟地下降的升降部件控制装置。
3.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其特征在于，
所述定时调整部件是为了使所述机械臂的基端侧上表面比该机械臂的前端侧上表面更远离所述基板，而在该机械臂上按照从基端侧上表面向前端侧上表面逐渐变高的方式倾斜设置的倾斜面。
4.根据权利要求3所述的基板搬送装置，其特征在于，
所述机械臂具有按照在搭载了全部所述基板时的重量下所述倾斜面变得大致水平的方式弯曲的特性。
5.一种基板加工装置，其特征在于，
该基板加工装置具备权利要求1至4中任一项所述的基板搬送装置，
该基板加工装置还包括：
第一作业机器人，其将所述基板以两片一组的方式进行操作、搬送；
涂覆台，其将由该第一作业机器人搬送的所述基板以两片一组的方式进行涂覆处理；
真空干燥台，其对由所述第一作业机器人从所述涂覆台搬送的两片一组的所述基板进行真空干燥处理；
第二作业机器人，其将由该真空干燥台真空干燥处理后的所述基板以两片一组的方式进行操作、搬送；
加热台，其对由该第二作业机器人从所述真空干燥台搬送的两片一组的基板实施用于烧成的加热处理；和
冷却台，其对由所述第二作业机器人从所述加热台搬送的两片一组的所述基板实施冷却处理。
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