CN102642255A - 锯切装置 - Google Patents

锯切装置 Download PDF

Info

Publication number
CN102642255A
CN102642255A CN2012100377282A CN201210037728A CN102642255A CN 102642255 A CN102642255 A CN 102642255A CN 2012100377282 A CN2012100377282 A CN 2012100377282A CN 201210037728 A CN201210037728 A CN 201210037728A CN 102642255 A CN102642255 A CN 102642255A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sawline
sub
cutting device
saw cutting
field domain
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012100377282A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102642255B (zh
Inventor
J·莫德勒
V·布林斯特
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SolarWorld Industries Sachsen GmbH
Original Assignee
Deutsche Solar GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Deutsche Solar GmbH filed Critical Deutsche Solar GmbH
Publication of CN102642255A publication Critical patent/CN102642255A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102642255B publication Critical patent/CN102642255B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/0007—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires
    • B23D57/0023—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00 using saw wires with a plurality of saw wires or saw wires having plural cutting zones
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

Abstract

本发明涉及一种用于锯切硅块的锯切装置(1)，该锯切装置包括至少一个用于锯切硅块的锯线(7)，该锯线在基本状态下在纵向上延伸，通过至少一个导向装置(8)在预先给定的、具有多个锯线回环的锯线场域(9)中引导并且能利用卷绕-张紧装置(10)在分段地与锯线(7)的纵向一致的运动方向上以锯线速度(vD)运动通过锯线场域，其中所述锯线场域(9)包括两个子场域(13、14)，它们分别包括多个锯线回环，其中第一子场域(13)通过锯线(7)的第一部段形成，而第二子场域(14)通过锯线(7)的第二部段形成，其中所述部段构造成在基本状态中在纵向上分别简单相关且无重叠。

Description

锯切装置
技术领域
本发明涉及一种用于锯切硅块的锯切装置。本发明还涉及一种用于锯切硅块的方法。
背景技术
在晶片生产的加工工艺中存在着下述工艺步骤，即在该步骤中必需从硅块中切割出柱。为此例如使用线锯/金属丝锯。在线锯工作时线锯会磨损，这时不时地可能导致锯线/金属丝断裂。因此不断存在改善这种线锯的需求。
发明内容
本发明的目的是，改善一种用于锯切硅块的锯切装置。这个目的通过一种用于锯切硅块的锯切装置得以实现，该锯切装置包括至少一个用于锯切硅块的锯线，所述锯线在基本状态中在纵向上延伸，通过至少一个导向装置在预先给定的、具有多个锯线回环的锯线场域中被引导并且能利用卷绕-张紧装置在分段地/局部地与锯线的纵向一致的运动方向上以一锯线速度来运动，其中锯线场域包括两个子场域，其中第一子场域通过锯线的第一部段形成，而第二子场域通过锯线的第二部段形成，其中所述部段构造成在纵向上分别简单地相关/连续
Figure BDA0000136541740000011
且在基本状态中无重叠。
本发明的核心在于，将线锯的锯线场域分成两个顺次接续的子场域，其中每个子场域的锯线构造成与另一子场域的锯线无重叠且简单相关。
已知，由此一方面能够简化锯线场域的敷设，另一方面能减少锯线场域内的不同锯线张力。
通过使每个子场域包括多个锯线回环、尤其是至少两个、尤其是至少三个、尤其是至少四个、尤其是至少五个、尤其是至少六个、尤其是至少七个、尤其是至少八个锯线回环，利用按照本发明的锯切装置可以将硅块有效地锯割成多个尤其具有一致横截面的柱。
所述锯线回环分别包括一切割区域和一转向区域。在切割区域中第一子场域分段地横向于、尤其垂直于第二子场域。在此，每个子场域的各个切割段分别相互平行地延伸。由此能够锯割具有方形横截面的柱。在转向区域中第一子场域分段地横向于、尤其垂直于第二子场域。从一个锯线回环到下一锯线回环的锯线导向以最小可能的转向角实现，该最小可能的转向角由锯线引导轮的轴线间距和锯线引导轮相互间的间距来确定。
所述锯切装置优选具有一用于控制锯线张力的控制装置。替代地或附加地也可以利用控制装置控制锯线速度、尤其两个子场域中的锯线速度。该控制装置具有至少一个张力控制单元。这个张力控制单元也称为伸张器。所述控制装置优选具有至少两个、尤其至少三个伸张器。优选地，至少一个伸张器设置在锯线场域的两个子场域之间的区域中。换言之，所述控制装置包括至少一个与位于子场域之间的区域中的锯线处于作用连接的张力控制单元。由此能够通过控制位于两个子场域之间的区域中的锯线张力和/或通过控制在所述子场域的一个或两个中、尤其在在后运行/随动的子场域中的锯线速度，使所述锯线在两个子场域中、即在整个锯线场域中以预先给定的张力张紧。由此一方面可以改善锯切工艺，另一方面还可以由此提高锯线耐久性。
所述伸张器分别具有用于使锯线横向于运动方向偏转的活动部件。这个部件优选构造成以可转动的方式支承的顶压轮或转向轮。借助于这个部件能够以简单的方式非常灵活地控制锯线中的张力。为了产生预张力，尤其设有一马达、尤其是一电动机，该电动机以预先给定的转矩作用在用于设置顶压轮或转向轮的杠杆臂上。优选可以调整由电动机产生的转矩。
所述张力控制部件本身可以以可调整的预张力弹性地支承。这易于使两个子场域中的锯线在装置运行时分别保持在预先给定的张力下。为了产生预张力尤其设有一马达、尤其是一电动机，该电动机以预先给定的转矩作用在用于设置顶压轮或转向轮的杠杆臂上。由电动机产生的转矩优选可调。
此外在一种有利的实施例中，在敷设锯线场域时使锯线的旋转减少。这优选通过使锯线在锯切装置运行时在两个相邻的锯线回环之间的区域中、在从切割段向转向段过渡时旋转小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度而实现。
通过使所述锯线在各个锯线回环中分别以单向捻制(Gleichschlag)的方式敷设，也减小锯线旋转。
所述锯切装置优选包括一速度控制单元，该速度控制单元用于控制在两个子场域中的锯线速度，其中尤其可以相互独立地控制在两个子场域中的锯线速度。该速度控制单元尤其以数据传递的方式与张力控制单元中的至少一个连接。该张力控制单元是控制装置的一部分。
所述卷绕-张紧装置优选构造成，使得所述锯线的运动方向可以反转。
本发明的目的还在于，改善一种用于锯切硅块的方法。
这个目的通过一种用于锯切硅块的方法得以实现，该方法包括下面的步骤：
a.提供/准备一用于锯切硅块的锯切装置，该锯切装置具有
i.一锯线，借助至少一个导向装置在预先给定的锯线场域中引导该锯线，其中该锯线场域包括两个子场域，
ii.一卷绕-张紧装置，利用该卷绕-张紧装置能使锯线在运动方向上以一锯线速度运动通过锯线场域，和
iii.一用于控制锯线的锯线速度的控制装置，
b.利用卷绕-张紧装置驱动锯线，
c.将锯线与硅块置于相互作用，
d.利用控制装置这样控制两个子场域中的锯线速度，使得两个子场域中的不同锯线张力相互适应/均衡。本发明的核心在于，利用控制装置这样控制两个子场域中的锯线速度，使得锯线张力在两个子场域中基本一致。按照本发明，锯线张力在两个子场域中尤其是相互偏差最多10％。
优选地，在两个子场域中根据锯线在子场域之间的区域中的锯线张力这样控制锯线速度，使得各个在后运行的子场域中的锯线速度匹配于、尤其是同步于相应的在前运行/主动的子场域中的锯线速度。在两个子场域之间的区域中的伸张器被加载以恒定的转矩。如果锯线张力变化，则顶压轮的位置改变。这一点由伸张器马达上的接收器获得。为了再次设置顶压轮的位置进而正确的锯线张力，必须使在后的子场域减速或加速。因此构造一调节回路。优选这样控制两个子场域中的锯线速度，使得它们彼此间的偏差最多达10％。
附图说明
由借助于附图对实施例的描述给出本发明的其它优点和细节。附图中：
图1示出锯切装置的透视图，
图2示出按照图1的锯切装置的侧视图，
图3示出按照图1的锯切装置从上方看的视图，
图4示出按照图3视线方向的示意图，
图5示出锯线在锯线场域中的走向的示意图，
图6示出锯线场域的另一示意图，用于说明卷绕-张紧装置和在锯线中的张力特性。
具体实施方式
用于锯切也称为锭料2的硅块的锯切装置1具有一框架3，在该框架上支承有多个锯线引导轮4和转向轮5。转向轮5的数量正好等于锯线引导轮4的数量。尤其是每个转向轮5正好配设有一个锯线引导轮4。在此转向轮5的位置分别适配于属于转向轮的锯线引导轮4。尤其这样设置转向轮5，使得它们在锯切装置1运行时设置在所属的锯线引导轮4的正上方。下面将锯线引导轮4和转向轮5统称为导向滚子/导向辊4、5。
所述框架3具有四角形的、尤其是方形的横截面。在此在框架3的每一侧上均设置有一个可转动的、尤其可被驱动转动的驱动轴6。该驱动轴6尤其可以分别成对地同步地被驱动着转动。在此分别使两个相互对置的驱动轴6彼此同步。相邻的驱动轴6可以被相互独立地驱动转动。尤其能够彼此独立地控制相邻驱动轴6的速度。在驱动轴6上分别设置有多个锯线引导轮4。尤其在每个驱动轴6上分别设置有至少两个、尤其至少三个、尤其至少四个、尤其至少五个、优选至少六个、优选至少七个、优选至少八个锯线引导轮4。
所述锯线引导轮4优选等距地设置在驱动轴6上。它们能以可调整的方式设置在驱动轴6上。对于锯线引导轮4和其在框架3上的布置的其它细节请参阅DE 10 2008 044 845 A1。
此外，所述锯切装置1还包括一用于锯切硅块的锯线7。在这里锯切指的是，各种形式的利用锯切装置1将材料的分开，尤其也指所谓的锯线研磨分离、尤其是利用金刚石锯线的分离。所述锯线7构造成连续的并且在基本状态下在纵向上延伸。锯线通过驱动/导向装置8在预先给定的、具有多个锯线回环的锯线场域9中被引导。借助一仅示意性表示的卷绕-张紧装置10能在一运动方向上以锯线速度vD运动。
所述卷绕-张紧装置10包括一退绕线轴11、一卷绕线轴12和两个伸张器17用以退绕、卷绕以及张紧锯线7。
所述锯线7的直径为最多0.5mm、尤其最多0.25mm。
所述锯线7以可被驱动的方式支承在锯线引导轮4上，并且以随着一起运动的方式支承在转向轮5上。在此尤其是，驱动轴6可被驱动。所述导向滚子与卷绕-张紧装置10一起形成一用于驱动锯线7的带轮驱动装置。所述锯线引导轮4与转向轮5一样都是驱动/导向装置8的一部分。
所述锯线7在锯线场域9中的一个锯线回环分别由锯线7的一部段构成，所述部段从第一转向轮5延伸到第一锯线引导轮4，从第一锯线引导轮4延伸到与该第一锯线引导轮对置的第二锯线引导轮4、从这个第二锯线引导轮延伸到所属的转向轮5并且从该转向轮延伸到对置的、与第一转向轮相邻的转向轮。在此，锯线7在两个相互对置的锯线引导轮4之间的部段分别形成一切割段。每个锯线回环的其余部段、尤其是锯线7在两个对置的转向轮5之间的部段分别形成转向段。由于存在多个锯线引导轮4，所述锯线场域具有多个切割段。这些切割段共同形成切割区域。在此每个单个锯割段用于沿着预先给定的方向、即锯线7的运动方向锯切硅块。
各个锯线回环基本一致地构造。所述锯线7在每个锯线回环的两个相互衔接的转向轮5之间的部段具有相同的长度。由此避免在不同的锯线回环中不同的锯线伸长。这能够使各个锯线回环中的锯线张力的分布(Verlauf)基本保持一致。
在一种有利的实施例中可以规定，所述锯切装置1配备有用于监控锯线7的走向和位置的监控装置。该监控装置的细节请参阅DE 10 2008 044805 A1。
按照本发明，所述锯线场域9包括两个子场域13、14，其中第一子场域13通过锯线7的第一部段构成，第二子场域14通过锯线7的第二部段构成。形成两个子场域13、14的锯线7的这些部段分别简单相关地构造。它们在锯线7的基本状态中不重叠。
两个子场域13、14中的每一个均包括多个锯线回环。这些锯线回环在子场域13、14之一内分别基本相互平行地取向。但是它们分别具有倾斜地从转向轮5中的一个向与该转向轮对置的相邻转向轮5延伸的锯线段。第一子场域13的锯线回环基本垂直于第二子场域14的锯线回环。尤其是，第一子场域13中的锯线7的切割段横向于、尤其垂直于第二子场域14中的锯线7的切割段。在转向区域中，第一子场域13中的锯线7分段地横向于、尤其垂直于第二子场域14中的锯线7。所述锯线7在两个子场域13、14中的切割段相互间无接触地设置。锯线7在两个子场域13、14中的切割段尤其在竖直方向上相互间隔开。在此该竖直方向垂直于锯线7的运动方向。该竖直方向尤其平行于要被锯开的锭料2的纵轴线。该竖直方向形成应沿着其锯开锭料2的方向。在转向区域中，两个子场域13、14中的锯线7相互间无接触地设置。
所述锯线7首先被引导完全通过第一子场域13并且在从第一子场域13出来后经过中间段15被引导到第二子场域14，然后锯线完全穿过该第二子场域。两个子场域13、14中的每一个子场域都用于将锯切面引入到锭料2中——尤其以平行于锯切装置1的框架3的一侧的方式，该侧在锯开具有方形横截面的锭料2时通常平行于锭料2的一侧。
通过将锯线场域9分成两个子场域13、14，能够减少锯线7的旋转、即锯线的扭转。为此这样设置导向滚子4、5，使得锯线7在两个相互衔接的锯线回环之间的区域中、尤其在从切割段向转向段过渡时和在转向段区域中、以及在两个相互衔接的导向滚子4、5之间的区域中旋转小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度。在这里和下文中所述“旋转”总是指围绕与锯线7纵向方向平行的轴线的扭转。
此外，所述锯线7分别这样敷设在导向滚子上，使得锯线尤其在锯切装置1运行时在每个锯线回环的区域中、尤其在其从切割段向转向段过渡时分别旋转小于45°、尤其小于30°、尤其小于15°的角度。
最后，通过使锯线7在每个子场域13、14中呈单向捻制(Gleichschlag)地敷设在导向滚子4、5上，避免锯线7的旋转。所述锯线7尤其在每个子场域13、14中以单向捻制敷设在相互衔接的导向滚子4、5上。
此外，所述锯切装置1包括一用于控制锯线7张力的控制装置16。替代地或附加地，控制装置16也可以构造用于控制锯线7的锯线速度vD。控制装置16具有三个称为伸张器17的张力控制单元。该控制装置尤其具有至少一个、尤其至少两个、尤其至少三个张力控制单元。
按照本发明规定，伸张器17中的至少一个这样设置，使得它与锯线7在中间段15中、即在子场域13、14之间处于作用连接。其它伸张器17可以在运动方向上设置在退绕线轴11后面和/或卷绕线轴12前面。
下面详细描述设置在子场域13、14之间的伸张器17。该伸张器17包括一构造成顶压轮18的张力控制部件。利用顶压轮18可以使锯线7为了控制张力而在横向于运动方向的方向上偏转。为此顶压轮18通过杠杆臂19以可围绕竖直轴线20在框架3角部区域中摆动的方式支承。马达21用于使顶压轮18利用杠杆臂19摆动。该马达21尤其是电动机，该电动机可以产生预先给定的转矩。能由马达21产生的转矩可以调整。通过由马达21产生的转矩来决定使顶压轮18横向于运动方向压在锯线7上的顶压力。在此根据锯线7中的张力，使锯线或多或少地从其运动方向偏转出去。所述锯线7利用顶压轮18尤其从两个以可转动的方式支承的辅助导向轮23之间的的直线走向中偏转出去。辅助导向轮23以可转动的方式支承在与框架3固定连接的辅助臂24上。所述辅助导向轮23用于在中间段15中、即在两个子场域13、14之间的区域中引导锯线7。
所述锯线7从其运动方向的偏转、即尤其是锯线7中的张力可以通过与杠杆臂19连接的传感器22来测量。该传感器22以传递数据的方式与控制装置16连接。该控制装置16本身以传递数据的方式与卷绕-张紧装置10连接。根据锯线7的可由伸张器17决定的张力的不同，可以在锯切装置1运行时相互独立地控制锯线7在第一子场域13和第二子场域14中的锯线速度vD、尤其是使所述锯线速度vD相互匹配。由此尤其能够使两个子场域13、14中的锯线7在锯切装置1运行时分别保持在预先给定的张力下。
所述卷绕-张紧装置10这样设计，使得锯线7的运动方向可以反转。
下面描述锯切装置的运行，即按照本发明的用于锯切硅块的方法。首先提供/准备按照本发明的锯切装置1。必要时调整锯线引导轮4和所属的转向轮5的位置。
在锯切装置1运行时，由退绕线轴11退绕锯线7。锯线从退绕线轴11以可利用伸张器17控制的、预先给定的张力延伸到第一子场域13的第一转向轮5。锯线7从该第一转向轮穿过第一子场域13，然后经中间段15延伸到第二子场域14，穿过该第二子场域并且从那里通过另一伸张器17延伸到卷绕线轴12。在中间段15的区域中，伸张器17与锯线7相接合。为了驱动锯线7，通过卷绕-张紧装置10驱动带有锯线引导轮4的驱动轴6。在此尤其分别驱动在运动方向上设置在锯线场域9的切割段的尾端处的驱动轴6。同样也可驱动相应对置的驱动轴6。它尤其可以与对置的驱动轴6同步地被驱动。它也可以是被动的，即不被驱动，而是仅以可转动的方式被支承。
按照本发明，所述锯线速度vD在两个子场域13、14中利用控制装置16这样控制，使得锯线张力在两个子场域13、14中基本一致。尤其是，两个子场域13、14中的平均锯线张力彼此间的偏差最大为10％。在图6中示意性示出锯线7在锯线场域9中的锯线张力。所述锯线张力分别在沿运动方向设置在切割段尾端处的锯线引导轮4的区域中提高，在锯线7与锭料2处于接触的切割段中由于在锯切锭料2时产生的摩擦而减小，而在沿运动方向设置在切割段始端处的锯线引导轮4与属于相邻锯线回环的、沿运动方向设置在切割段尾端处的锯线引导轮4之间的区域中保持基本恒定。在这种形式的设备中总是这样(在没有我们的双锯线场域的情况下也是如此)。因为锯线引导轮4分别成组地设置在驱动轴6上进而锯线引导轮4被同步地驱动并且由所述锯线引导轮同步地驱动子场域13、14中的一个、尤其是切割段中的锯线7，所以锯线张力的分布在子场域13、14的各个锯线回环中基本一致。
为了通过锯线引导轮4实现无滑差的锯线同步，设有最小锯线张力。
利用设置在两个子场域13、14之间且在中间段15区域中与锯线7处于接合的伸张器17，能够监控两个子场域13、14中的锯线张力、尤其是锯线张力差。如果两个子场域13、14中的锯线张力的差超过预先给定的极限值，则适当地控制子场域13、14中的至少一个的驱动轴6的驱动速度，以便减少子场域13、14中的锯线张力的差。尤其控制在相应的在后运行/随动的子场域13、14中的锯线速度vD。
在中间段15中、尤其在位于辅助导向轮23之间的区域中的锯线张力越大，锯线7在预先给定的马达21转矩时由伸张器17的顶压轮18造成的在横向于运动方向的方向上的偏转就越少。因此，可利用传感器22确定的偏转的大小直接取决于锯线7中的锯线张力。通过提高在后运行的子场域13、14中的锯线速度vD可以减小锯线7中、尤其中间段15中的锯线张力。相应地，可通过减小在后的子场域13、14中的锯线速度vD来提高尤其在中间段15中的锯线7的锯线张力。因为可利用卷绕-张紧装置10反转锯线7的运动方向，所以不仅第一子场域13而且第二子场域14都能形成在后运行的子场域。
换言之，利用伸张器17、尤其利用传感器22检验所述锯线7在两个子场域13、14之间的中间段15中的锯线张力并且根据测得的锯线张力利用控制装置16调节在后运行的子场域13、14的锯线引导轮4的驱动(装置)的速度。由此可以使两个子场域13、14中的锯线张力相互适应/均衡。
按照本发明，根据在子场域13、14之间的区域中的锯线7中的锯线张力这样控制两个子场域13、14中的锯线速度vD，使得各个在后运行的子场域13、14中的锯线速度vD分别与相应的在前运行的子场域13、14中的锯线速度vD的偏差最多达10％。各个在后运行的子场域13、14中的锯线速度vD尤其是分别适应于相应的在前运行的子场域13、14中的锯线度vD。
原则上可以规定，如果锯线张力、尤其在中间段15中的锯线张力超过预先给定的极限值，就中断、尤其自动中断锯切装置1的运行。
为了锯切硅块，使锯线7在切割段的区域中与硅块接合。

Claims (21)

1.一种用于锯切硅块的锯切装置(1)，
a.包括至少一个用于锯切硅块的锯线(7)，该锯线
i.在基本状态下在纵向上延伸，
ii.在预先给定的、具有多个锯线回环的锯线场域(9)中通过至少一个导向装置(8)来引导并且
iii.能利用卷绕-张紧装置(10)在分段地与锯线(7)的纵向一致的运动方向上以锯线速度(vD)运动，
b.其中，所述锯线场域(9)包括两个子场域(13、14)，
i.第一子场域(13)通过锯线(7)的第一部段形成，而
ii.第二子场域(14)通过锯线(7)的第二部段形成，
iii.其中，所述部段被构造成在纵向上分别简单相关且在基本状态中无重叠。
2.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述子场域(13、14)分别包括多个锯线回环。
3.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述第一子场域(13)利用所述至少一个导向装置(8)以分段地横向于第二子场域(14)的方式被引导。
4.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，设有一控制装置(16)，该控制装置用于控制锯线(7)的张力和锯线速度(vD)中的至少一个。
5.根据权利要求4所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述控制装置(16)具有至少一个张力控制单元(17)。
6.根据权利要求4所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述控制装置(16)具有至少两个张力控制单元(17)。
7.根据权利要求4所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述控制装置(16)具有至少三个张力控制单元(17)。
8.根据权利要求5所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述张力控制单元(17)中的至少一个在子场域(13、14)之间的区域中与锯线(7)处于作用连接。
9.根据权利要求5所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述张力控制单元(17)分别具有一张力控制部件(18)，利用所述张力控制部件，锯线(7)能在横向于运动方向的方向上偏转以控制张力。
10.根据权利要求4所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述控制装置(16)构造成，使得锯线速度(vD)能在两个子场域(13、14)中相互独立地被控制。
11.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，利用所述控制装置(16)，锯线(7)能在两个子场域(13、14)中在锯切装置(1)运行时分别保持在预先给定的张力下。
12.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，这些导向滚子这样设置，使得锯线(7)在两个相互衔接的锯线回环之间的区域中关于一与纵向平行的轴线旋转小于45°的角度。
13.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，这些导向滚子这样设置，使得锯线(7)在两个相互衔接的锯线回环之间的区域中关于一与纵向平行的轴线旋转小于15°的角度。
14.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，这些导向滚子这样设置，使得锯线(7)在两个相互衔接的锯线回环之间的区域中关于一与纵向平行的轴线旋转小于30°的角度。
15.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，其中所述锯线(7)分别这样敷设在导向滚子(4、5)上，使得锯线在每个锯线回环的区域中分别关于一与纵向平行的轴线旋转小于45°的角度。
16.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，其中所述锯线(7)分别这样敷设在导向滚子(4、5)上，使得锯线在每个锯线回环的区域中分别关于一与纵向平行的轴线旋转小于30°的角度。
17.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，其中所述锯线(7)分别这样敷设在导向滚子(4、5)上，使得锯线在每个锯线回环的区域中分别关于一与纵向平行的轴线旋转小于15°的角度。
18.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述导向装置(8)包括多个导向滚子(4、5)，其中所述锯线(7)在子场域(13、14)的每一个的锯线回环中分别以单向捻制的方式敷设在导向滚子(4、5)上。
19.根据权利要求1所述的锯切装置(1)，其特征在于，所述锯线(7)的运动方向能反转。
20.一种用于锯切硅块(2)的方法，该方法包括下面的步骤：
a.提供一用于锯切硅块的锯切装置(1)，该锯切装置具有
i.一锯线(7)，该锯线在预先给定的锯线场域(9)中借助至少一个导向装置(8)来引导，其中该锯线场域(9)包括两个子场域(13、14)，
ii.一卷绕-张紧装置(10)，锯线(7)能利用该卷绕-张紧装置在运动方向上以锯线速度(vD)运动通过锯线场域(9)，
iii.一用于控制锯线(7)的锯线速度(vD)的控制装置(16)，
b.利用卷绕-张紧装置(10)驱动锯线(7)，
c.将锯线(7)与硅块(2)置于相互作用，
d.在两个子场域(13、14)中利用控制装置(16)这样控制锯线速度(vD)，使得两个子场域(13、14)中的不同锯线张力相互适应。
21.根据权利要求20所述的方法，其特征在于，在两个子场域(13、14)中根据锯线(7)在子场域(13、14)之间的区域中的锯线张力这样控制所述锯线速度(vD)，使得在各个在后的子场域(13、14)中的锯线速度(vD)分别适应于相应的在前的子场域(13、14)中的锯线速度(vD)。
CN201210037728.2A 2011-02-17 2012-02-17 锯切装置 Expired - Fee Related CN102642255B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102011004341.1 2011-02-17
DE201110004341 DE102011004341B4 (de) 2011-02-17 2011-02-17 Säge-Vorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102642255A true CN102642255A (zh) 2012-08-22
CN102642255B CN102642255B (zh) 2015-05-27

Family

ID=46604725

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210037728.2A Expired - Fee Related CN102642255B (zh) 2011-02-17 2012-02-17 锯切装置

Country Status (3)

Country Link
CN (1) CN102642255B (zh)
CH (1) CH704548B1 (zh)
DE (1) DE102011004341B4 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103909584A (zh) * 2013-01-04 2014-07-09 德国太阳能有限公司 用于分割硅块的系统和方法
CN107364025A (zh) * 2017-09-15 2017-11-21 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 金刚石线单线单向多刀切割装置
CN111283887A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 玉山机械(株) 棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102013206520A1 (de) 2013-04-12 2014-10-16 Deutsche Solar Gmbh Drahtsäge
CN104827124B (zh) * 2015-05-12 2017-01-18 佛山市三水区希望火炬教育科技有限公司 一种青少年国防科学素养教育培训专用的kt板军事模型丝锯线切割机
CN106313351B (zh) * 2015-07-06 2018-02-23 天津职业技术师范大学 一种多线切割机线网张力测量装置及方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2515331A (en) * 1948-07-09 1950-07-18 Bell Telephone Labor Inc Holding fixture for crystals
EP1110652B1 (en) * 1998-08-20 2003-06-11 Super Silicon Crystal Research Institute Corp. A wire sawing machine with saw wire tension control
DE10232667A1 (de) * 2002-07-18 2004-02-12 Wacker Siltronic Ag Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
DE102006033699A1 (de) * 2006-07-20 2008-01-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Drahtsäge mit kontrollierbarem Drahtfeld
CN201205661Y (zh) * 2008-05-08 2009-03-11 中国人民解放军63983部队 金刚石链绳切割机切割速度控制装置
DE102009012679A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-16 Schott Solar Ag Drahtsäge-Vorrichtung
WO2010128011A1 (en) * 2009-05-04 2010-11-11 Meyer Burger Ag Wire saw

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102007016316A1 (de) * 2007-04-04 2008-10-09 Siemens Ag Verfahren und System zum Trennen einer Vielzahl von keramischen Bauelementen aus einem Bauelementeblock
DE102008044805B4 (de) 2008-08-28 2016-06-09 Solarworld Industries Sachsen Gmbh Drahtüberwachung
DE102008044845B4 (de) 2008-08-28 2015-04-09 Epcos Ag Bias-Netzwerk

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2515331A (en) * 1948-07-09 1950-07-18 Bell Telephone Labor Inc Holding fixture for crystals
EP1110652B1 (en) * 1998-08-20 2003-06-11 Super Silicon Crystal Research Institute Corp. A wire sawing machine with saw wire tension control
DE10232667A1 (de) * 2002-07-18 2004-02-12 Wacker Siltronic Ag Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück
DE102006033699A1 (de) * 2006-07-20 2008-01-24 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Drahtsäge mit kontrollierbarem Drahtfeld
DE102006033699B4 (de) * 2006-07-20 2009-07-09 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Drahtsäge mit kontrollierbarem Drahtfeld
CN201205661Y (zh) * 2008-05-08 2009-03-11 中国人民解放军63983部队 金刚石链绳切割机切割速度控制装置
DE102009012679A1 (de) * 2009-03-13 2010-09-16 Schott Solar Ag Drahtsäge-Vorrichtung
WO2010128011A1 (en) * 2009-05-04 2010-11-11 Meyer Burger Ag Wire saw

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103909584A (zh) * 2013-01-04 2014-07-09 德国太阳能有限公司 用于分割硅块的系统和方法
CN103909584B (zh) * 2013-01-04 2017-01-18 德国太阳能有限公司 用于分割硅块的系统和方法
CN103909584B8 (zh) * 2013-01-04 2017-03-08 太阳世界工业萨克森有限公司 用于分割硅块的系统和方法
CN107364025A (zh) * 2017-09-15 2017-11-21 中国有色桂林矿产地质研究院有限公司 金刚石线单线单向多刀切割装置
CN111283887A (zh) * 2018-12-10 2020-06-16 玉山机械(株) 棒形状加工物的纵向截断装置及安装在其的线锯

Also Published As

Publication number Publication date
DE102011004341A1 (de) 2012-08-23
CH704548A2 (de) 2012-08-31
CH704548B1 (de) 2012-12-14
DE102011004341B4 (de) 2014-05-28
CN102642255B (zh) 2015-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102642255A (zh) 锯切装置
CN204474873U (zh) 多幅织机中的织布卷取装置
EP2684827A3 (en) A drum inter-storage of yarn at an operating unit of a textile machine and method of controlling it
CN203794346U (zh) 一种线缆收线装置
US20150209850A1 (en) Straightening Roller Unit
CN101863398B (zh) 一种多头收线机的排线机构
CN109809231A (zh) 热轧机张力调节机构
CN105035803B (zh) 卷绕系统
CN203781499U (zh) 一种线缆收线结构
KR20080088080A (ko) 라운드형 경계석 제조장치
CN107848728A (zh) 用纤维条填充条筒的设备
JP4465400B2 (ja) ワイヤソー
JP5259248B2 (ja) ワイヤソー
CN105645155B (zh) 一种应用于经编机的牵拉卷取一体装置
CN101078147A (zh) 利用步进马达的分丝卷绕机驱动装置
CN204898186U (zh) 一种单锭单控捻线机
CN102101147A (zh) 具有延伸功能的压轮式钢筋调直方法及调直机
CN103046411A (zh) 丝绳绕制机自动收线排线机构
CN107672069B (zh) 一种可实现柱状曲面加工的多线切割机
JP6173149B2 (ja) ワイヤソー及びワイヤによるワークの切断方法
CN101879994B (zh) 一种钢/铝带自动纠偏装置
CN112538689B (zh) 一种高性能纤维编织机用放线收紧装置
CN206047197U (zh) 一种异型材自动牵引切割机
CN108044821A (zh) 一种u型短轴距高速高效多线切割方法
CN104210877B (zh) 用于帘布切割设备的可升降架

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: SOLARWORLD INDUSTRIES SACHSEN GMBH

Free format text: FORMER OWNER: DEUTSCHE SOLAR GMBH

Effective date: 20150814

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20150814

Address after: Germany Freiberg

Patentee after: SOLARWORLD INDUSTRIES SACHSEN GMBH

Address before: Germany Freiberg

Patentee before: Deutsche Solar GmbH

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20150527

Termination date: 20210217