DE102011004341B4 - Säge-Vorrichtung - Google Patents
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Abstract
Description
- Die Erfindung betrifft eine Säge-Vorrichtung zum Sägen von Siliziumblöcken. Die Erfindung betrifft außerdem ein Verfahren zum Sägen eines Siliziumblocks.
- Im Fertigungsprozess der Waferherstellung gibt es einen Prozessschritt, bei welchem aus Siliziumblöcken Säulen geschnitten werden müssen. Hierzu wird beispielsweise eine Drahtsäge eingesetzt. Beim Betrieb der Drahtsäge kommt es zu einem Verschleiß des Sägedrahtes, was von Zeit zu Zeit zu Drahtrissen führen kann.
- Eine Drahtsäge zum Sägen von Siliziumblöcken ist beispielsweise aus der
DE 10 2009 012 679 A1 bekannt. - Es besteht daher fortwährender Bedarf, derartige Drahtsägen zu verbessern.
- Der Erfindung liegt die Aufgabe zu Grunde, eine Säge-Vorrichtung zum Sägen von Siliziumblöcken zu verbessern. Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst.
- Der Kern der Erfindung besteht darin, das Drahtfeld der Drahtsäge in zwei hintereinander geschaltete Teilfelder aufzuteilen, wobei der Sägedraht jedes Teilfeldes einfach zusammenhängend und überlappungsfrei zum Sägedraht des jeweils anderen Teilfeldes ausgebildet ist.
- Es wurde erkannt, dass sich hierdurch einerseits das Auflegen des Drahtfeldes vereinfachen lässt, andererseits unterschiedliche Drahtspannungen innerhalb des Drahtfeldes vermindert werden.
- Dadurch, dass jeder der Teilfelder eine Vielzahl von Drahtschlaufen, insbesondere mindestens zwei, insbesondere mindestens drei, insbesondere mindestens vier, insbesondere mindestens fünf, insbesondere mindestens sechs, insbesondere mindestens sieben, insbesondere mindestens acht Drahtschlaufen umfasst, können mit der erfindungsgemäßen Säge-Vorrichtung Siliziumblöcke effizient in eine große Anzahl von Säulen, insbesondere mit identischem Querschnitt, geschnitten werden.
- Die Drahtschlaufen umfassen jeweils einen Schneid- und einen Umlenkbereich. Im Schneidbereich ist das erste Teilfeld abschnittsweise quer, insbesondere senkrecht zum zweiten Teilfeld ausgerichtet. Die einzelnen Schneid-Abschnitte jedes Teilfelds verlaufen hierbei jeweils parallel zueinander. Hierdurch wird ein Sägen von Säulen mit einem quadratischen Querschnitt ermöglicht. Im Umlenkbereich ist das erste Teilfeld abschnittsweise quer, insbesondere senkrecht zum zweiten Teilfeld ausgerichtet. Die Drahtführung von einer Drahtschlaufe zur nächsten erfolgt mit einem minimal möglichen Auslenkungswinkel, welcher von den Achsabständen der Drahtführungsrollen und deren Abständen zur einander bestimmt wird.
- Vorzugsweise weist die Säge-Vorrichtung eine Steuer-Einrichtung zur Steuerung der Spannung des Sägedrahts auf. Alternativ oder zusätzlich kann mittels der Steuer-Einrichtung auch die Drahtgeschwindigkeit, insbesondere in den beiden Teilfeldern, gesteuert werden. Die Steuer-Einrichtung weist mindestens eine Spannungs-Steuer-Einheit auf. Diese wird auch als Tensor bezeichnet. Vorzugsweise weist die Steuer-Einrichtung mindestens zwei, insbesondere mindestens drei Tenoren auf. Vorzugsweise ist mindestens ein Tensor im Bereich zwischen den beiden Teilfeldern des Drahtfeldes angeordnet. Mit anderen Worten umfasst die Steuer-Einrichtung mindestens eine Spannungs-Steuer-Einheit, welche mit dem Sägedraht im Bereich zwischen den Teilfeldern in Wirkverbindung steht. Hierdurch ist es möglich, durch Steuerung der Drahtspannung im Bereich zwischen den beiden Teilfeldern und/oder durch Steuerung der Drahtgeschwindigkeit in einem oder beiden der Teilfelder, insbesondere in dem nachlaufenden Teilfeld, zu erreichen, dass der Sägedraht in beiden Teilfeldern, d. h. im gesamten Drahtfeld, mit einer vorgegebenen Spannung gespannt ist. Hierdurch lässt sich einerseits der Sägeprozess verbessern, andererseits wird die Haltbarkeit des Drahtes hierdurch erhöht.
- Die Tenoren weisen jeweils ein bewegliches Element zur Auslenkung des Sägedrahts quer zur Bewegungsrichtung auf. Dieses Element ist vorzugsweise als drehbar gelagerte Andruckrolle oder Umlenkrolle ausgebildet. Mit Hilfe dieses Elements lässt sich die Spannung im Sägedraht auf einfache Weise sehr flexibel steuern. Zur Erzeugung der Vorspannung ist insbesondere ein Motor, insbesondere ein Elektromotor, vorgesehen, welcher mit einem vorbestimmten Drehmoment auf einen Hebelarm, auf welchem die Andruckrolle oder Umlenkrolle angeordnet ist, wirkt. Vorzugsweise ist das von dem Elektromotor erzeugbare Drehmoment einstellbar.
- Das Spannungs-Steuer-Element kann selbst mit einer einstellbaren Vorspannung federnd gelagert sein. Dies erleichtert es, den Sägedraht in den beiden Teilfeldern beim Betrieb der Vorrichtung jeweils unter einer vorgegebenen Spannung zu halten. Zur Erzeugung der Vorspannung ist insbesondere ein Motor, insbesondere ein Elektromotor, vorgesehen, welcher mit einem vorbestimmten Drehmoment auf einen Hebelarm, auf welchen die Andruckrolle oder Umlenkrolle angeordnet ist, wirkt. Vorzugsweise ist das von dem Elektromotor erzeugbare Drehmoment einstellbar.
- Außerdem ist in einer vorteilhaften Ausführungsform vorgesehen, Verdrehungen des Sägedrahts beim Auflegen des Drahtfeldes zu verringern. Dies wird vorzugsweise dadurch erreicht, dass der Sägedraht beim Betrieb der Säge-Vorrichtung im Bereich zwischen zwei benachbarten Drahtschlaufen, bei dem Übergang vom Schneidabschnitt zum Umlenkabschnitt um weniger als 45°, insbesondere weniger als 30°, insbesondere weniger als 15° verdreht wird.
- Eine Verminderung der Drahtverdrehung wird auch dadurch erreicht, dass der Sägedraht in den Drahtschlaufen jeweils im Gleichschlag aufgelegt ist.
- Vorzugsweise umfasst die Säge-Vorrichtung eine Geschwindigkeits-Steuerungs-Einheit zur Steuerung der Drahtgeschwindigkeit in den beiden Teilfeldern, wobei die Drahtgeschwindigkeit in den beiden Teilfeldern insbesondere unabhängig voneinander steuerbar ist. Die Geschwindigkeits-Steuer-Einheit ist insbesondere in datenübertragender Weise mit mindestens einer der Spannungs-Steuer-Einheiten verbunden. Sie ist Teil der Steuer-Einrichtung.
- Vorzugsweise ist die Wickel-Spann-Einrichtung derart ausgebildet, dass die Bewegungsrichtung des Sägedrahts umkehrbar ist.
- Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Verfahren zum Sägen eines Siliziumblocks zu verbessern.
- Diese Aufgabe wird durch die Merkmale des Anspruchs 14 gelöst. Der Kern der Erfindung besteht darin, die Drahtgeschwindigkeit in den beiden Teilfeldern mittels der Steuer-Einrichtung derart zu steuern, dass die Drahtspannung in den beiden Teilfeldern weitgehend identisch ist. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Drahtspannung in den beiden Teilfeldern insbesondere um höchstens 10% voneinander abweicht.
- Es ist vorzugsweise vorgesehen, die Drahtgeschwindigkeit in den beiden Teilfeldern in Abhängigkeit von der Drahtspannung im Sägedraht im Bereich zwischen den Teilfeldern derart zu steuern, dass die Drahtgeschwindigkeit im jeweils nachlaufenden Teilfeld an die Drahtgeschwindigkeit im jeweils vorlaufenden Teilfeld angepasst, insbesondere synchronisiert wird. Der Tensor im Bereich zwischen den beiden Teilfeldern ist mit einem konstanten Moment beaufschlagt. Ändert sich die Drahtspannung so verändert die Andruckrolle ihre Position. Dies wird von einem Aufnehmer am Tensormotor erfasst. Um die Position der Andruckrolle und somit die korrekte Drahtspannung wieder herzustellen muss das nachlaufende Teilfeld gedrosselt oder beschleunigt werden. Es ist somit ein Regelkreis ausgebildet. Vorzugsweise werden die Drahtgeschwindigkeiten in den beiden Teilfeldern derart gesteuert, dass sie um höchstens 10% voneinander abweichen.
- Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung eines Ausführungsbeispieles anhand der Zeichnungen. Es zeigen:
-
1 Eine perspektivische Ansicht der Säge-Vorrichtung, -
2 eine Seitenansicht der Säge-Vorrichtung gemäß1 , -
3 eine Ansicht der Säge-Vorrichtung gemäß1 von oben, -
4 eine schematisierte Darstellung der Ansicht gemäß3 , -
5 eine schematische Darstellung des Verlaufs des Sägedrahts im Drahtfeld und -
6 eine weitere schematische Darstellung des Drahtfelds zur Verdeutlichung der Wickel-Spann-Einrichtung und der Spannungsverhältnisse im Sägedraht. - Eine Säge-Einrichtung
1 zum Sägen von auch als Ingots2 bezeichneten Siliziumblöcken weist einen Rahmen3 auf, an welchem eine Vielzahl von Drahtführangsrollen4 und Umlenkrollen5 gelagert sind. Die Anzahl der Umlenkrollen5 entspricht gerade der Anzahl der Drahtführungsrollen4 . Es ist insbesondere jeder Umlenkrolle5 gerade eine Drahtführungsrolle4 zugeordnet. Hierbei ist die Position der Umlenkrolle5 jeweils an die der zugehörigen Drahtführungsrolle4 angepasst. Die Umlenkrollen5 sind insbesondere derart angeordnet, dass sie beim Betrieb der Säge-Vorrichtung1 vertikal über den zugehörigen Drahtführungsrollen4 angeordnet sind. Zusammenfassend werden die Drahtführungsrollen4 und die Umlenkrollen5 im Folgenden als Führungs-Rollen4 ,5 bezeichnet. - Der Rahmen
3 hat eine viereckigen, insbesondere einen quadratischen Querschnitt. Hierbei ist auf jeder Seite des Rahmens3 eine drehbare, insbesondere drehantreibbare Antriebs-Welle6 angeordnet. Die Antriebs-Wellen6 können insbesondere jeweils paarweise synchronisiert drehantreibbar sein. Hierbei sind jeweils zwei einander gegenüberliegend angeordnete Antriebs-Wellen6 miteinander synchronisiert. Benachbarte Antriebswelle-Wellen6 können unabhängig voneinander drehantreibbar sein. Es ist insbesondere möglich, eine Geschwindigkeit benachbarter Antriebs-Wellen6 unabhängig voneinander zu steuern. Auf der Antriebs-Welle6 sind jeweils mehrere Drahtführungsrollen4 angeordnet. Es sind insbesondere jeweils mindestens zwei, insbesondere jeweils mindestens drei, insbesondere jeweils mindestens vier, insbesondere jeweils mindestens fünf, vorzugsweise mindestens sechs, vorzugsweise mindestens sieben, vorzugsweise mindestens acht, Drahtführungsrollen4 auf jeder Antriebs-Welle6 angeordnet. - Die Drahtführungsrollen
4 sind vorzugsweise äquidistant auf den Antriebs-Wellen6 angeordnet. Sie können verstellbar auf den Antriebs-Wellen6 angeordnet sein. Für weitere Details der Drahtführungsrollen4 und deren Anordnung am Rahmen3 sei auf dieDE 10 2008 044 845 A1 verwiesen. - Weiterhin umfasst die Säge-Vorrichtung
1 einen Sägedraht7 zum Sägen von Siliziumblöcken. Als Sägen wird hier jede Art des Zerteilen von Material mittels der Säge-Vorrichtung1 verstanden, insbesondere auch das sogenannte Drahttrennläppen insbesondere auch das Trennen mittels Diamantdraht. Der Sägedraht7 ist durchgehend ausgebildet und erstreckt sich im Grundzustand in einer Längsrichtung. Er ist durch eine Antriebs/Führungs-Einrichtung8 in einem vorgegebenen, eine Vielzahl von Drahtschlaufen aufweisenden Drahtfeld9 geführt. Er ist mittels einer nur schematisch dargestellten Wickel-Spann-Einrichtung10 in einer Bewegungsrichtung mit einer Drahtgeschwindigkeit vD bewegbar. - Die Wickel-Spann-Einrichtung
10 umfasst eine Abwickel-Spule11 , eine Aufwickel-Spule12 und zwei Tenoren17 zum Abwickeln, Aufwickeln, sowie Spannen des Sägedrahts7 . - Der Sägedraht
7 hat einen Durchmesser von höchstens 0,5 mm, insbesondere von höchstens 0,25 mm. - Der Sägedraht
7 ist antreibbar auf den Drahtführungsrollen4 und mitlaufend auf den Umlenkrollen5 gelagert. Hierbei sind insbesondere die Antriebs-Wellen6 antreibbar. Die Führung-Rollen bilden zusammen mit der Wickel-Spann-Einrichtung10 einen Treibscheibenantrieb zum Antrieb des Sägedrahts7 . Die Drahtführungsrollen4 sind ebenso wie die Umlenkrollen5 Teil der Antriebs/Führungs-Einrtchtung8 . - Eine Drahtschlaufe des Sägedrahts
7 im Drahtfeld9 ist jeweils von einem Abschnitt des Sägedrahts7 gebildet, welcher von einer ersten Umlenkrolle5 zu einer ersten Drahtführungsrolle4 , von der ersten Drahtführungsrolle4 zu einer dieser gegenüber liegenden zweiten Drahtführungsrolle4 , von dieser zu einer zugehörigen Umlenkrolle5 und von dieser zu einer gegenüber liegenden Umlenkrolle, welche benachbart zur ersten Umlenkrolle angeordnet ist, verläuft. Der Abschnitt des Sägedrahts7 zwischen zwei einander gegenüberliegenden Drahtführungsrollen4 bildet hierbei jeweils einen Schneid-Abschnitt. Der restliche Abschnitt jeder Drahtschlaufe, insbesondere der Abschnitt des Sägedrahts7 zwischen zwei gegenüberliegenden Umlenkrollen5 , bildet jeweils einen Umlenk-Abschnitt. Aufgrund der Vielzahl der Drahtführungsrollen4 weist das Drahtfeld eine Vielzahl von Schneid-Abschnitten auf. Diese bilden zusammen einen Schneid-Bereich. Hierbei dient jeder einzelne Schneid-Abschnitt zum Sägen eines Siliziumblocks entlang einer vorgegebenen Richtung, der Bewegungsrichtung des Sägedrahts7 . - Die einzelnen Drahtschlaufen sind im Wesentlichen identisch ausgebildet. Insbesondere weisen die Abschnitte des Sägedrahts
7 zwischen zwei aufeinander folgenden Umlenkrollen5 jeder der Drahtschlaufen dieselbe Länge auf. Hierdurch wird eine ungleiche Drahtdehnung in den unterschiedlichen Drahtschlaufen vermieden. Dies ermöglicht es, den Verlauf der Drahtspannung in den einzelnen Drahtschlaufen im Wesentlichen identisch zu halten. - In einer vorteilhaften Ausführungsform kann vorgesehen sein, die Säge-Vorrichtung
1 mit einer Überwachungs-Einrichtung zum Überwachen der Position und des Verlaufs des Sägedrahts7 zu versehen. Für Details der Überwachungs-Einrichtung sei auf dieDE 10 2008 044 805 A1 verwiesen. - Erfindungsgemäß umfasst das Drahtfeld
9 zwei Teilfelder13 ,14 , wobei das erste Teilfeld13 durch einen ersten Abschnitt des Sägedrahts7 gebildet ist, und das zweite Teilfeld14 durch einen zweiten Abschnitt des Sägedrahts7 gebildet ist. Die Abschnitte des Sägedrahts7 , welche die beiden Teilfelder13 ,14 bilden, sind jeweils einfach zusammenhängend ausgebildet. Sie sind im Grundzustand des Sägedrahts7 überlappungsfrei. - Jedes der beiden Teilfelder
13 ,14 umfasst eine Vielzahl von Drahtschlaufen. Diese sind innerhalb eines der Teilfelder13 ,14 jeweils im Wesentlichen parallel zueinander ausgerichtet. Sie weisen jedoch jeweils einen schräg von einer der Umlenkrollen5 zu der der gegenüber liegenden, benachbarten Umlenkrolle5 verlaufenden Drahtabschnitt auf. Die Drahtschlaufen des ersten Teilfelds13 sind im Wesentlichen senkrecht zu den Drahtschlaufen des zweiten Teilfelds14 ausgerichtet. Insbesondere die Schneid-Abschnitte des Sägedrahts7 im ersten Teilfeld13 sind quer, insbesondere senkrecht, zu den Schneid-Abschnitten des Sägedrahts7 im zweiten Teilfeld14 ausgerichtet. Im Umlenkbereich ist der Sägedraht7 im ersten Teilfeld13 abschnittsweise quer, insbesondere senkrecht, zum Sägedraht7 im zweiten Teilfeld14 ausgerichtet. Die Schneid-Abschnitte des Sägedrahts7 in den beiden Teilfeldern13 ,14 sind berührungsfrei zueinander angeordnet. Sie sind insbesondere in einer Vertikalrichtung voneinander beabstandet. Die Vertikalrichtung ist hierbei senkrecht zur Bewegungsrichtung des Sägedrahts7 . Sie ist insbesondere parallel zu einer Längsachse eines zu zersägenden Ingots2 . Sie bildet die Richtung entlang welcher der Ingot2 zersägt werden soll. Im Umlenkbereich ist der Sägedraht7 in den beiden Teilfeldern13 ,14 berührungsfrei zueinander angeordnet. - Der Sägedraht
7 ist zunächst vollständig durch das erste Teilfeld13 geführt und wird nach dem Austritt aus dem ersten Teilfeld13 über einen Zwischen-Abschnitt15 zum zweiten Teilfeld14 geführt, welches er dann vollständig durchläuft. Jedes der beiden Teilfelder13 ,14 dient der Einbringung von Sägeschnitten in den Ingot2 insbesondere parallel zu einer Seite des Rahmens3 der Säge-Vorrichtung1 , welche beim Zersägen eines Ingots2 mit quadratischem Querschnitt üblicherweise parallel zu einer der Seitenflächen des Ingots2 ausgerichtet wird. - Durch die Aufteilung des Drahtfelds
9 in zwei Teilfelder13 ,14 ist es möglich, eine Verdrehung des Sägedrahts7 , d. h. eine Torsion desselben, zu verringern. Hierzu sind die Führungs-Rollen4 ,5 derart angeordnet, dass der Sägedraht7 im Bereich zwischen zwei aufeinander folgenden Drahtschlaufen, insbesondere beim Übergang vom Schneidabschnitt zum Umlenkabschnitt und im Bereich des Umlenkabschnitts, und im Bereich zwischen zwei aufeinanderfolgenden Führungs-Rollen4 ,5 um weniger als 45°, insbesondere weniger als 30°, insbesondere weniger als 15° verdreht ist. Unter Verdrehung sei hierbei und im Folgenden stets eine Torsion um eine Achse parallel zur Längsrichtung des Sägedrahts7 verstanden. - Außerdem ist der Sägedraht
7 jeweils derart auf die Führungs-Rollen aufgelegt, dass er, insbesondere beim Betrieb der Säge-Vorrichtung1 , im Bereich jeder der Drahtschlaufen, insbesondere bei deren Übergang vom Schneidabschnitt zum Umlenkabschnitt jeweils um weniger als 45°, insbesondere weniger als 30°, insbesondere weniger als 15° verdreht ist. - Schließlich wird eine Verdrehung des Sägedrahts
7 dadurch vermieden, dass er in jedem der Teilfelder13 ,14 im Gleichschlag auf die Führungs-Rollen4 ,5 aufgelegt ist. Der Sägedraht7 ist insbesondere in jedem der Teilfelder13 ,14 im Gleichschlag auf aufeinanderfolgende Führungs-Rollen4 ,5 aufgelegt. - Außerdem umfasst die Säge-Vorrichtung
1 eine Steuer-Einrichtung16 zur Steuerung der Spannung des Sägedrahts7 . Alternativ oder zusätzlich kann die Steuer-Einrichtung16 auch zur Steuerung der Drahtgeschwindigkeit vD des Sägedrahts7 ausgebildet sein. Die Steuer-Einrichtung16 weist drei als Tenor17 bezeichnete Spannungs-Steuer-Einheiten auf. Sie weist insbesondere mindestens eine, insbesondere mindestens zwei, insbesondere mindestens drei Spannungs-Steuer-Einheiten auf. - Erfindungsgemäß ist vorgesehen, mindestens einen der Tenoren
17 derart anzuordnen, dass er mit dem Sägedraht7 im Zwischen-Abschnitt15 , das heißt zwischen den Teilfeldern13 ,14 in Wirkverbindung steht. Weitere Tenoren17 können in Bewegungsrichtung hinter der Abwickel-Spule11 und/oder vor der Aufwickel-Spule12 vorgesehen sein. - Im Folgenden wird der Tensor
17 , welcher zwischen den Teilfeldern13 ,14 angeordnet ist, näher beschrieben. Der Tensor17 umfasst ein als Anpress-Rolle18 ausgebildetes Spannungs-Steuer-Element. Mittels der Anpress-Rolle18 kann der Sägedraht7 zur Steuerung der Spannung in Richtung quer zur Bewegungsrichtung ausgelenkt werden. Die Anpress-Rolle18 ist hierzu über einen Hebelarm19 um eine Vertikalachse20 im Bereich einer Ecke des Rahmens3 verschwenkbar gelagert. Zur Verschwenkung der Anpress-Rolle18 mittels des Hebelarms19 dient ein Motor21 . Beim Motor21 handelt es sich insbesondere um einen Elektromotor, welcher ein vorgebbares Drehmoment erzeugen kann. Das vom Motor21 erzeugbare Drehmoment ist einstellbar. Durch das vom Motor21 erzeugte Drehmoment wird die Anpresskraft, mit welcher die Anpress-Rolle18 quer zur Bewegungsrichtung auf den Sägedraht7 drückt, bestimmt. Je nach Spannung im Sägedraht7 wird dieser hierbei mehr oder weniger aus seiner Bewegungsrichtung ausgelenkt. Der Sägedraht7 wird mittels der Anpress-Rolle18 insbesondere aus einem geradlinigen Verlauf zwischen zwei drehbar gelagerten Hilfs-Führungs-Rollen23 ausgelenkt. Die Hilfs-Führungs-Rollen23 sind drehbar auf fest mit dem Rahmen3 verbundenen Hilfs-Armen24 gelagert. Die Hilfs-Führungs-Rollen23 dienen der Führung des Sägedrahts7 im Zwischen-Abschnitt15 , das heißt im Bereich zwischen den Teilfeldern13 ,14 . - Die Auslenkung des Sägedrahts
7 aus seiner Bewegungsrichtung, das heißt insbesondere die Spannung im Sägedraht7 , kann über einen mit dem Hebelarm19 verbundenen Sensor22 gemessen werden. Der Sensor22 steht in datenübertragender Weise mit der Steuer-Einrichtung16 in Verbindung. Die Steuer-Einrichtung16 steht ihrerseits in datenübertragender Weise mit der Wickel-Spann-Einrichtung10 in Verbindung. Je nach Spannung des Sägedrahts7 , welche über den Tensor17 bestimmbar ist, kann beim Betrieb der Säge-Vorrichtung1 die Drahtgeschwindigkeit vD des Sägedrahts7 im ersten und zweiten Teilfeld13 ,14 unabhängig voneinander gesteuert, insbesondere aneinander angepasst werden. Hierdurch ist es insbesondere möglich, den Sägedraht7 in den beiden Teilfeldern13 ,14 beim Betrieb der Säge-Vorrichtung1 jeweils unter einer vorgegebenen Spannung zu halten. - Die Wickel-Spann-Einrichtung
10 ist derart ausgebildet, dass die Bewegungsrichtung des Sägedrahts7 umkehrbar ist. - Im Folgenden wird der Betrieb der Säge-Vorrichtung, d. h. das erfindungsgemäße Verfahren zum Sägen eines Siliziumblocks, beschrieben. Zunächst wird die erfindungsgemäße Säge-Vorrichtung
1 bereitgestellt. Gegebenenfalls werden die Positionen der Drahtführungsrollen4 und der zugehörigen Umlenkrollen5 eingestellt. - Beim Betrieb der Säge-Vorrichtung
1 wird der Sägedraht7 von der Abwickel-Spule11 abgewickelt. Er verläuft von der Abwickel-Spule11 mit einer vorgegebenen Spannung, welche mittels des Tenors17 steuerbar ist, zu einer ersten Umlenkrolle5 des ersten Teilfelds13 . Von dieser durchlauft der Sägedraht7 das erste Teilfeld13 , sodann über den Zwischen-Abschnitt15 zum zweiten Teilfeld14 , durch dieses und von dort über einen weiteren Tensor17 zur Aufwickel-Spule12 . Im Bereich des Zwischen-Abschnitts15 ist der Tensor17 mit dem Sägedraht7 in Eingriff. Zum Antreiben des Sägedrahts7 werden die Antriebs-Wellen6 mit den Drahtführungsrollen4 von der Wickel-Spann-Einrichtung10 angetrieben. Hierbei ist insbesondere jeweils die Antriebs-Welle6 welche in Bewegungsrichtung am Ende eines Schneid-Abschnitts des Drahtfelds9 angeordnet ist, angetrieben. Die jeweils gegenüberliegende Antriebs-Welle6 kann ebenfalls angetrieben sein. Sie kann insbesondere synchronisiert zur gegenüber liegenden Antriebs-Welle6 angetrieben sein. Sie kann auch passiv, das heißt nicht angetrieben, sondern lediglich drehbar gelagert sein. - Erfindungsgemäß ist vorgesehen, die Drahtgeschwindigkeit vD in den beiden Teilfeldern
13 ,14 mittels der Steuer-Einrichtung16 derart zu steuern, dass die Drahtspannung in den beiden Teilfeldern13 ,14 im Wesentlichen identisch ist. Die mittlere Drahtspannung in den beiden Teilfeldern13 ,14 weicht insbesondere um höchstens 10% voneinander ab. Die Drahtspannung des Sägedrahts7 im Drahtfeld9 ist schematisch in6 dargestellt. - Sie steigt jeweils im Bereich der in Bewegungsrichtung am Ende eines Schneid-Abschnitts angeordneten Drahtführungsrolle
4 an, nimmt im Schneid-Abschnitt, in welchem der Sägedraht7 mit dem Ingot2 in Berührung steht aufgrund der beim Sägen des Ingots2 auftretenden Reibung ab und bleibt im Wesentlichen im Bereich zwischen der in Bewegungsrichtung am Anfang eines Schneid-Abschnitts angeordneten Drahtführungsrolle4 und der zur benachbarten Drahtschlaufe gehörigen in Bewegungsrichtung am Ende eines Schneid-Abschnitts angeordneten Drahtführungsrolle4 konstant. Das ist bei dieser Art von Maschine immer so (auch ohne unser Dual-Drahtfeld) Da die Drahtführungsrollen4 jeweils gruppenweise auf den Antriebs-Wellen6 angeordnet sind und somit die Drahtführungsrollen4 und von diesen der Sägedraht7 in einem der Teilfelder13 ,14 insbesondere in den Schneid-Abschnitten, synchronisiert angetrieben werden, ist der Verlauf der Drahtspannung in den einzelnen Drahtschlaufen der Teilfelder13 ,14 im Wesentlichen identisch. - Damit es zu einer schlupffreien Drahtmitnahme durch die Drahtführungsrollen
4 kommt, ist eine Mindestdrahtspannung vorgesehen. - Mittels des Tenors
17 , welcher zwischen den beiden Teilfeldern13 ,14 angeordnet ist und im Bereich des Zwischen-Abschnitts15 mit dem Sägedraht7 in Eingriff steht, lässt sich die Drahtspannung, insbesondere ein Unterschied der Drahtspannung, in den beiden Teilfeldern13 ,14 überwachen. Sofern der Unterschied der Drahtspannung in den beiden Teilfeldern13 ,14 einen vorgegebenen Grenzwert übersteigt, wird die Antriebsgeschwindigkeit der Antriebs-Wellen6 mindestens eines der Teilfelder13 ,14 geeignet gesteuert, um eine Verringerung des Unterschieds der Drahtspannung in den Teilfeldern13 ,14 zu erreichen. Es wird insbesondere die Drahtgeschwindigkeit vD im jeweils nachlaufenden Teilfeld13 ,14 gesteuert. - Je größer die Drahtspannung im Zwischen-Abschnitt
15 , insbesondere im Bereich zwischen den Hilfs-Führungs-Rollen23 , um so weniger wird der Sägedraht7 bei einem vorgegebenen Drehmoment des Motors21 von der Anpress-Rolle18 des Tenors17 in Richtung quer zur Bewegungsrichtung ausgelenkt. Das Maß der Auslenkung, welches mittels des Sensors22 feststellbar ist, ist somit direkt abhängig von der Drahtspannung im Sägedraht7 . Durch Erhöhen der Drahtgeschwindigkeit vD im nachlaufenden Teilfeld13 ,14 kann die Drahtspannung im Sägedraht7 , insbesondere im Zwischen-Abschnitt15 , verringert werden. Entsprechend kann die Drahtspannung des Sägedrahts7 , insbesondere im Zwischen-Abschnitt15 , durch Verringerung der Drahtgeschwindigkeit vD im nachlaufenden Teilfeld13 ,14 erhöht werden. Da die Bewegungsrichtung des Sägedrahts7 mittels der Wickel-Spann-Einrichtung10 umkehrbar ist, kann sowohl das erste Teilfeld13 als auch das zweite Teilfeld14 das nachlaufende Teilfeld bilden. - Es ist mit anderen Worten vorgesehen, die Drahtspannung des Sägedrahts
7 im Zwischen-Abschnitt15 zwischen den beiden Teilfeldern13 ,14 mittels des Tenors17 , insbesondere mittels des Sensors22 zu überprüfen und in Abhängigkeit von der gemessenen Drahtspannung die Geschwindigkeit des Antriebs der Drahtführungsrollen4 des nachlaufenden Teilfelds13 ,14 mittels der Steuer-Einrichtung16 zu regeln. Somit kann die Drahtspannung in den beiden Teilfeldern13 ,14 aneinander angeglichen werden. - Erfindungsgemäß ist vorgesehen, die Drahtgeschwindigkeit vD in den beiden Teilfeldern
13 ,14 in Abhängigkeit von der Drahtspannung im Sägedraht7 im Bereich zwischen den Teilfeldern13 ,14 derart zu steuern, dass die Drahtgeschwindigkeit vD im jeweils nachlaufenden Teilfeld13 ,14 um höchstens 10% von der Drahtgeschwindigkeit vD im jeweils vorlaufenden Teilfeld13 ,14 abweicht. Die Drahtgeschwindigkeit vD im jeweils nachlaufenden Teilfeld13 ,14 wird insbesondere an die Drahtgeschwindigkeit vD im jeweils vorlaufenden Teilfeld13 ,14 angeglichen. - Prinzipiell kann vorgesehen sein, den Betrieb der Säge-Vorrichtung
1 zu unterbrechen, insbesondere automatisch zu unterbrechen, sofern die Drahtspannung, insbesondere im Zwischen-Abschnitt15 einen vorgegebenen Grenzwert überschreitet. - Zum Sägen der Siliziumblöcke wird der Sägedraht
7 im Bereich der Schneid-Abschnitte mit dem Siliziumblock in Eingriff gebracht.
Claims (15)
- Säge-Vorrichtung (
1 ) zum Sägen von Siliziumblöcken umfassend a. mindestens einen Sägedraht (7 ) zum Sägen von Siliziumblöcken, welcher i. sich im Grundzustand in einer Längsrichtung erstreckt, ii. durch mindestens eine Führungs-Einrichtung (8 ) in einem vorgegebenen, eine Vielzahl von Drahtschlaufen aufweisenden Drahtfeld (9 ) geführt ist und iii. mittels einer Wickel-Spann-Einrichtung (10 ) in einer Bewegungsrichtung, welche abschnittsweise mit der Längsrichtung des Sägedrahtes (7 ) übereinstimmt, mit einer Drahtgeschwindigkeit (vD) bewegbar ist, b. wobei das Drahtfeld (9 ) zwei Teilfelder (13 ,14 ) umfasst, i. wobei das erste Teilfeld (13 ) durch einen ersten Abschnitt des Sägedrahts (7 ) gebildet ist, und ii. wobei das zweite Teilfeld (14 ) durch einen zweiten Abschnitt des Sägedrahts (7 ) gebildet ist, iii. wobei die Abschnitte in Längsrichtung jeweils einfach zusammenhängend und im Grundzustand überlappungsfrei ausgebildet sind. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Teilfelder (13 ,14 ) jeweils eine Vielzahl von Drahtschlaufen umfassen. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das erste Teilfeld (13 ) mittels der mindestens einen Führungs-Einrichtung (8 ) abschnittsweise quer zum zweiten Teilfeld (14 ) geführt ist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch eine Steuer-Einrichtung (16 ) zur Steuerung der Spannung und/oder der Drahtgeschwindigkeit (vD) des Sägedrahts (7 ). - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuer-Einrichtung (16 ) mindestens eine, insbesondere mindestens zwei, insbesondere mindestens drei Spannungs-Steuer-Einheiten (17 ) aufweist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens eine der Spannungs-Steuer-Einheiten (17 ) mit dem Sägedraht (7 ) im Bereich zwischen den Teilfeldern (13 ,14 ) in Wirkverbindung steht. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der Ansprüche 5 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Spannungs-Steuer-Einheiten (17 ) jeweils ein Spannungs-Steuer-Element (18 ) aufweisen, mittels welchem der Sägedraht (7 ) zur Steuerung der Spannung in Richtung quer zur Bewegungsrichtung ausgelenkt werden kann. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Steuer-Einrichtung (16 ) derart ausgebildet ist, dass die Drahtgeschwindigkeit (vD) in den beiden Teilfeldern (13 ,14 ) unabhängig von einander steuerbar ist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass mittels der Steuer-Einrichtung (16 ) der Sägedraht (7 ) in den beiden Teilfeldern (13 ,14 ) beim Betrieb der Säge-Vorrichtung (1 ) jeweils unter einer vorgegebenen Spannung gehalten werden kann. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungs-Einrichtung (8 ) eine Vielzahl von Führungs-Rollen (4 ,5 ) umfasst, welche derart angeordnet sind, dass der Sägedraht (7 ) im Bereich zwischen zwei aufeinanderfolgenden Drahtschlaufen um weniger als 45°, insbesondere weniger als 30°, insbesondere weniger als 15° bezüglich einer Achse parallel zu seiner Längsrichtung verdreht ist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungs-Einrichtung (8 ) eine Vielzahl von Führungs-Rollen (4 ,5 ) umfasst, wobei der Sägedraht (7 ) jeweils derart auf die Führungs-Rollen (4 ,5 ) aufgelegt ist, dass er im Bereich jeder der Drahtschlaufen jeweils um weniger als 45°, insbesondere weniger als 30°, insbesondere weniger als 15° bezüglich einer Achse parallel zu seiner Längsrichtung verdreht ist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Führungs-Einrichtung (8 ) eine Vielzahl von Führungs-Rollen (4 ,5 ) umfasst, wobei der Sägedraht (7 ) in den Drahtschlaufen in jedem der Teilfelder (13 ,14 ) jeweils im Gleichschlag auf die Führungs-Rollen (4 ,5 ) aufgelegt ist. - Säge-Vorrichtung (
1 ) gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Bewegungsrichtung des Sägedrahts (7 ) umkehrbar ist. - Verfahren zum Sägen eines Siliziumblocks (
2 ) umfassend die folgenden Schritte: a. Bereitstellen einer Säge-Vorrichtung (1 ) zum Sägen von Siliziumblöcken mit i. einem Sägedraht (7 ), welcher mittels mindestens einer Führungs-Einrichtung (8 ) in einem vorgegebenen Drahtfeld (9 ) geführt ist, wobei das Drahtfeld (9 ) zwei Teilfelder (13 ,14 ) umfasst, ii. einer Wickel-Spann-Einrichtung (10 ), mittels welcher der Sägedraht (7 ) in einer Bewegungsrichtung, mit einer Drahtgeschwindigkeit (vD) durch das Drahtfeld (9 ) bewegbar ist, und iii. einer Steuer-Einrichtung (16 ) zur Steuerung der Drahtgeschwindigkeit (vD) des Sägedrahts (7 ), b. Antreiben des Sägedrahts (7 ) mittels der Wickel-Spann-Einrichtung (10 ), c. Ineingriffbringen des Sägedrahts (7 ) mit dem Siliziumblock (2 ), d. Steuern der Drahtgeschwindigkeit (vD) in den beiden Teilfeldern (13 ,14 ) mittels der Steuer-Einrichtung (16 ) derart, dass sich unterschiedliche Drahtspannungen in den beiden Teilfeldern (13 ,14 ) angleichen. - Verfahren gemäß Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass die Drahtgeschwindigkeit (vD) in den beiden Teilfeldern (
13 ,14 ) in Abhängigkeit von der Drahtspannung im Sägedraht (7 ) im Bereich zwischen den Teilfeldern (13 ,14 ) derart gesteuert wird, dass die Drahtgeschwindigkeit (vD) im jeweils nachlaufenden Teilfeld (13 ,14 ) an die Drahtgeschwindigkeit (vD) im jeweils vorlaufenden Teilfeld (13 ,14 ) angeglichen wird.
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