CN102623293A

CN102623293A - 放电灯、光源装置以及投影仪

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Publication number: CN102623293A
Application number: CN2012100220568A
Authority: CN
Inventors: 西山佳秀
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2011-01-31
Filing date: 2012-01-31
Publication date: 2012-08-01
Anticipated expiration: 2032-01-31
Also published as: US20120194788A1; JP2012160278A; US9152026B2; JP5678694B2; CN102623293B

Abstract

本发明涉及一种放电灯、光源装置以及投影仪，该放电灯具备放电用的一对电极以及放电容器，该放电容器由石英玻璃形成，并且具有：内部空间，其用于将所述一对电极分离配置并且在该内部空间中封入放电介质；包围所述内部空间的膨出部；一对密封部，其从所述膨出部的两端延伸，分别支承所述一对电极；内侧保护层，其设置于所述膨出部的内表面，且是从与所述一对电极之间的中心对置的头顶部设置到位于所述一对密封部侧的周边部，并且所述周边部的膜厚与所述头顶部的膜厚相比相对地变薄。

Description

放电灯、光源装置以及投影仪

技术领域

本发明涉及具有石英玻璃制的放电容器的放电灯以及使用了该放电灯的光源装置、投影仪。

背景技术

作为投影仪中使用的光源装置，主要使用例如超高压水银灯等放电灯。作为构成放电灯的放电容器，多使用高纯度的石英玻璃。高纯度的石英玻璃具有粘度高、硬而很难变形的性质。此外，高纯度的石英玻璃即使在高温时也很难结晶化，从而作为放电容器能够在一定程度的期间，确保充分的透光性。

然而，即使在使用了石英玻璃的情况下，也存在若长时间/长期间持续使用，则最终导致结晶化(失透)这样的问题。另外，还存在伴随长时间/长期间的使用，钨制的电极变细这样的问题。

为了解决上述的问题，尝试通过在放电容器内表面形成硼氧化物膜来抑制二氧化硅玻璃的结晶化(专利文献1)。然而，使用这样的方法即使能够在一定程度上抑制石英玻璃的结晶化，也未必能够抑制例如钨制的电极变细的情况。另外，已知使用了立方氮化硼(c-BN)薄膜、氮化硅硼(SiBN)薄膜的放电容器或者使用了氧化钇等保护膜的放电容器(专利文献2～4)，但是在这些情况下均使用化学气相沉积(CVD：Chemicalvapor deposition)法，难以在放电容器内表面较厚地成膜。

专利文献1：日本特开2010-198977号公报

专利文献2：日本特开平6-333535号公报

专利文献3：日本特开平9-147801号公报

专利文献4：日本特开2008-270074号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能够有效地减少放电容器的失透并且能够抑制电极变细、从而大幅度地改善灯寿命的放电灯以及使用了该放电灯的投影仪。

为了解决上述课题，本发明所涉及的的放电灯具备：放电用的一对电极以及放电容器，该放电容器由石英玻璃形成，并具有：内部空间，其用于将一对电极分离配置并且在该内部空间中封入放电介质；膨出部，其包围所述内部空间；一对密封部，其从膨出部的两端延伸，分别支承一对电极；内侧保护层，其设置于膨出部的内表面，且是从与一对电极之间的中心对置的头顶部设置到位于一对密封部侧的周边部，并且周边部的膜厚与头顶部的膜厚相比相对地变薄。在此，头顶部是指放电容器之中最膨胀的腰身部分的整体。例如放电容器为以通过一对电极之间的中心线为轴的旋转体并且膨出部之中的一对电极之间的中心的侧方形成为最膨胀的形状的情况下，该最膨胀的带状部分整体为头顶部。

在上述放电灯中，由于在膨出部的内表面具有周边部的膜厚与头顶部的膜厚相比相对地变薄的内侧保护层，因此能够通过利用内侧保护层之中比较厚的部分覆盖容易受到放电的影响且容易失透的头顶部，能够充分地保护头顶部从而减少失透。另外，通过利用内侧保护层之中比较薄的部分覆盖容易产生形成失透的主要原因的黑化的周边部，能够抑制黑化的产生。这样，通过抑制黑化的产生，能够防止热量的蓄积、进一步减少失透。根据以上所述，能够有效地减少在内表面侧的失透的产生。另外，如上述那样，内侧保护层在周边部为比较薄的形状，因此相比于膜厚恒定的情况，能够抑制硼蒸发而使钨制的电极劣化、即该电极变细的情况。

根据本发明的具体的一个方面，内侧保护层的膜厚阶梯性地变化。该情况下，通过例如包括部分区域的成膜的多次的阶梯性的成膜，能够比较容易地形成具有膜厚差的内侧保护层。

根据本发明的另一个方面，在内侧保护层中，比较厚的第1保护膜部分与比较薄的第2保护膜部分的边界部形成于与形成为作为一对密封部的端部和膨出部的端部的接合部的收缩部分对应的位置。该情况下，能够将膨出部的内表面之中特别是容易失透的位置进行较厚地成膜。

根据本发明的又一个方面，内侧保护层通过在上述膨出部的内表面上涂敷并熔融三氧化二硼而形成。该情况下，膨出部的内表面即使为例如球状那样的曲面，也能够以所希望膜厚成膜，并且，比较容易进行例如部分区域的成膜。

根据本发明的又一个方面，内侧保护层包含使硼扩散到石英玻璃中而成的层。该情况下，该扩散层由Si-B-O系的玻璃形成，不仅具有高透光性，还具有十分优异的化学稳定性以及耐热性，因此即使在使用灯时暴露于高温也很难变质。

根据本发明的又一个方面，内侧保护层的膜厚在头顶部为1μm以上20μm以下，在一对密封部侧的周边部为0.1μm以上且小于1μm。该情况下，能够充分减少在头顶部的失透，并且能够实现在周边部的黑化的抑制。

本发明所涉及的光源装置具备上述的放电灯、以及反射从放电灯射出的光束的反射器。本发明的光源装置具备能够长期地照射光束的光源灯，故具有可靠性。

本发明所涉及的投影仪具备上述的光源装置、被来自光源装置的照明光照射的光调制装置、以及投射被光调制装置调制过的光的投射透镜。本发明的投影仪具备能够长期地照射高亮度的照明光的光源装置，故具有较高的显示品质以及可靠性。

附图说明

图1是表示安装有实施方式的放电灯的光源装置的构成的剖视图。

图2是表示实施方式的放电灯的构成的剖视图。

图3(A)、(B)是分别表示位于放电灯的头顶部附近以及周边部附近的膨出部的内表面的图。

图4是示出表示放电灯的制造工序的流程图的图。

图5(A)、(B)是表示放电灯的制造工序的中途的发光管的部分放大剖视图。

图6(A)、(B)是表示变形例的图。

图7(A)～(C)是表示随着放电时间的经过的电极的变化的情况的图。

图8(A)～(I)是表示比较例的放电灯随着放电时间的经过的电极的变化的情况的图。

图9(A)是表示实施例的放电灯的放电容器的状态的图，(B)是表示比较例的放电灯的放电容器的状态的图。

图10是投影仪的示意结构图。

具体实施方式

1)安装有放电灯的光源装置

以下，参照图1等对安装有本发明的一实施方式所涉及的放电灯的光源装置进行说明。

图1所示的光源装置1具备反射器12以及配置于反射器12的内部的放电灯3。放电灯3具有基本上由石英玻璃形成的发光管10、以及配置于发光管10内的一对电极11a、11a，并且发光管10内封入有放电介质。

如图2所示，发光管10是由石英玻璃即二氧化硅(SiO₂)玻璃形成并具有透光性的管状的放电容器。发光管10是以作为通过一对电极11a、11a之间的中心线的光轴OA为轴的旋转体，该发光管10具有在中央部球状地膨出的膨出部10A、以及向膨出部10A的两侧延伸的一对密封部10B、10B，并且在两个密封部10B、10B所夹着的膨出部10A的内部形成有填充了放电介质的内部空间14。内部空间14的内径例如约为1mm～数mm左右。在此，将具有旋转体形状的膨出部10A之中最膨胀的腰身部分的整体设为头顶部TP，将头顶部TP的周边侧即一对密封部10B、10B侧的部分设为周边部PP。该情况下，头顶部TP形成为在从发光中心、即内部空间14内的发光部15的中心起与光轴OA垂直的侧方，与发光中心对置。因此，头顶部TP容易受到从发光中心放射状地射出的光的影响。

具有棒状地延伸且前端块状地膨胀的外形的电极11a、11a以使彼此的端部分离了的状态分别配置于密封部10B、10B。作为电极11a、11a的材料，适合用导电性材料、特别是热膨胀系数小且耐热性高的材料，具体而言，适合用钨作为电极11a、11a的材料。

与一对电极11a、11a电连接的钼制的金属箔11b插入于密封部10B、10B的内部，并以玻璃材料等密封。该金属箔11b还连接有作为电极引线的导线33，该导线33延伸到放电灯3的外部，从而能够与未图示的电源连接。

作为在内部空间14内填充的放电介质，除了水银那样的发光物质之外，还可以包含稀有气体、卤素化合物等。在此，优选水银的封入量例如为0.15mg/mm³～0.32mg/mm³、并利用150bar～190bar的蒸气压将其封入。另外，稀有气体是为了辅助发光而使用的物质，并无特别限定，可以使用氩气、氙气等。此外，卤素是用于通过卤素循环来防止灯泡内表面的黑化的物质，可以使用氯、溴以及碘中的任意一种以上，特别优选使用溴。

如图2所示，在作为放电容器的发光管10的从中央的膨出部10A至密封部10B、10B的内表面10c上形成有用于提高放电灯3的耐用性的内侧保护层18。内侧保护层18从膨出部10A之中的与一对电极11a、11a之间的发光中心、即内部空间14内的发光部15的中心对置的头顶部TP朝向位于一对密封部10B、10B侧的周边部PP，以周边部PP的膜厚与头顶部TP相比相对地变薄的方式成膜。

另外，内侧保护层18是例如图3(A)等所示那样含有氧化硼的表皮层，并且其具有与由石英玻璃形成的主体部10b邻接的扩散层18a、以及覆盖扩散层18a的被覆层18b。扩散层18a是通过使硼扩散到发光管10的整个内表面10c而形成的层，并且形成为向SiO₂添加了B₂O₃等而成的Si-B-O系的玻璃材料层。该扩散层18a形成为具有硼的浓度从最上层朝向内部(发光管10的管壁的深层)逐渐减小的分布，并且成为被覆发光管10的主体部10b的表面改质层。被覆层18b是基本上由B₂O₃形成的膜，扩散层18a的整个表面被该B₂O₃膜覆盖。

以下，对内侧保护层18更具体地进行说明。如图2所示，内侧保护层18具有覆盖头顶部TP侧的比较厚的第1保护膜部分MP1、以及覆盖周边部PP侧的比较薄的第2保护膜部分MP2。由此，内侧保护层18形成为使其膜厚以2级阶梯阶梯性地变化的构造，并且周边部PP一方的膜厚与头顶部TP相比相对地变薄。即，如图3(A)以及3(B)示意性地表示那样，若将第1保护膜部分MP1所包含的部分CP1的膜厚T1与第2保护膜部分MP2所包含的部分CP2的膜厚T2进行比较，则为T1＞T2。此时，作为能够充分减少在头顶部的失透并且能够避免制作的困难性的薄膜，优选膜厚T1为1μm以上20μm以下、特别是10μm以下。另外，为了通过实现黑化的抑制来减少失透、并且不使电极11a、11a变细，优选膜厚T2为0.1μm以上且小于1μm。另外，该情况下，各保护膜部分MP1、MP2的扩散层18a的厚度以及被覆层18b的厚度也因膜厚T1、T2的厚度之差而不同，并且具有同样的大小关系。

另外，如图2所示，第1保护膜部分MP1与第2保护膜部分MP2的边界部SP形成于与一对密封部10B、10B的端部与膨出部10A的端部的接合部、即收缩部分WP对应的位置。具体而言，在图中，边界部SP形成于从电极11a、11a之间的发光中心、即内部空间14内的发光部15的中心朝向收缩部分WP延伸的虚线Q1、Q2上。

如以上那样，在发光管10中，首先，利用内侧保护层18之中比较厚的第1保护膜部分MP1覆盖保护容易受到放电的影响且容易失透的头顶部TP。由此，能够充分地减少在膨出部10A的失透。另外，利用内侧保护层18之中比较薄的第2保护膜部分MP2覆盖容易产生成为失透的主要原因的黑化的周边部PP。由此，能够避免由于因黑化引起热量蓄积，而在黑化了的部分的周边产生失透，进而热量变得容易蓄积，失透了的部分扩大而使照明光受到影响的情况。根据以上所述，能够有效地减少在膨出部产生失透。另外，由于在周边部PP上的内侧保护层18为比较薄的形状，因此相比于膜厚恒定不变的情况，能够抑制硼蒸发而使钨制的电极11a、11a劣化、即电极11a、11a变细的情况。

返回图1，反射器12是具备供放电灯3的密封部10B插通的颈状部21、以及从该颈状部21开始扩展的曲面状的反射部22的玻璃制的一体成形品。在颈状部21的中央形成有插入孔23，放电灯3的一个密封部10B配置固定于该插入孔23的中心。在固定密封部10B时，将上述一个密封部10B插入至反射器12的插入孔23，并在插入孔23内部的间隙填充以二氧化硅、氧化铝等为主要成分的无机系粘合剂。由此，放电灯3可靠地固定于反射器12。反射器12的反射部22是通过将无机材料膜、金属薄膜等蒸镀于曲面状的玻璃内表面而形成的，该反射部22的反射面例如形成为反射可见光并透过红外线的冷镜。

放电灯3配置于该反射部22的内部，并且以支承于膨出部10A内的电极11a、11a之间的发光中心、即内部空间14内的发光部15的中心与反射部22的曲面反射镜的焦点位置一致的方式配置。若点亮放电灯3，则从膨出部10A放射的光束被反射部22的反射面向光束射出方向AB侧反射。

副反射镜13是覆盖膨出部10A的光束射出方向AB侧的反射部件，其反射面形成为仿照膨出部10A的内表面10c(即界定内部空间14的球状面)、膨出部10A的外表面10a的凹曲面状。副反射镜13的反射面与反射器12同样地形成为冷镜。

在上述的放电灯3中，若向从一对密封部10B向外侧延伸出的一对导线33之间施加电压，则在电极11a、11a之间产生放电、从而发光部15发光。而且，从放电灯3的膨出部10A向前方侧射出的光束的一部分被该副反射镜13的反射面反射后，再度返回至膨出部10A内。然后，该返回光的一部分被膨出部10A的内部空间14中所封入的放电介质吸收的同时，其它返回光朝向反射器12侧前进，并且由反射器12的反射部22反射而整体向光束射出方向AB的方向射出。

在以上的光源装置1中，发光管(放电容器)10具备被内侧保护层18被覆的放电灯3，能够长期地减少发光管10的失透，并且能够抑制电极11a、11a变细的劣化，因此能够大幅度地改善灯寿命。

2)放电灯的制造方法

在以下的说明中，对作为本申请发明的特征部分的在放电灯3的发光管10的内表面10c形成内侧保护层18的工序详细地进行说明，对其他工序省略或者简略说明。

图4是表示放电灯3的制造工序的流程图，图5(A)以及5(B)是表示在内表面10c的形成过程中的发光管10的部分放大剖视图。

如图4所示，放电灯3的制造方法具有阶梯层形成工序(步骤S1)、热处理工序(步骤S2)、和电极设置以及放电介质封入工序(步骤S3)。在此，在步骤S1的阶梯层形成工序中包括涂敷液体材料的多个液体材料涂敷工序。

首先，准备用于成为发光管10的主体部10b的石英玻璃管。该石英玻璃管在与膨出部10A对应的中央部内径较大，在与密封部10B、10B对应的两端部剖面积较小。

如图5(A)所示，在发光管10的内表面10c涂敷将三氧化二硼(B₂O₃)在溶剂中溶解而成的液体材料，并且使涂敷的液体状材料干燥成为涂敷膜(氧化硼的固化微粒子层17)(步骤S1)。另外，此时，通过分多次地边改变涂敷区域边进行涂敷以及干燥，从而能够在固化微粒子层17上设置膜厚差，从而能够在完成时形成边界部SP(参照图2)。即，例如在第1次的涂敷中，仅在内表面10c之中要形成第1保护膜部分MP1的位置，部分地进行液体状材料的涂敷/干燥，在第2次的涂敷中，在与整个内表面10c对应的位置进行液体状材料的涂敷/干燥。由此，能够将固化微粒子层17设置为具有2级阶梯的膜厚的状态。

接下来，对在步骤S1形成了的固化微粒子层17，通过在炉内加热/烧结发光管10而使氧化硼的固化微粒子层17熔融，如图5(B)所示，使硼扩散到发光管10的内表面10c的管壁中(步骤S2)。通过硼扩散到形成发光管10的石英玻璃(SiO₂)中来形成扩散层18a、从而内表面10c(管壁的最表层)改质。在此，通过加热固化微粒子层17，硼从氧化硼的固化微粒子层17所接触的内表面10c的最表层朝向深层逐渐扩散开。因此，硼的浓度具有在最表面侧最大、随着朝向管壁的厚度方向逐渐变小的分布。这样一来，具有硼的浓度从内表面10c的最表层朝向管壁的厚度方向的深层逐渐变小这样的浓度倾斜的扩散层18a作为改质层，以覆盖主体部10b的方式形成于基底的主体部10b上。另外，在形成扩散层18a的同时，由玻璃状的B₂O₃膜形成的被覆层18b残留在该扩散层18a上。

在通过步骤S2制成的发光管10的内部设置电极11a、11a，并且封入水银以及卤素气体(步骤S3)。由此，完成放电灯3。该放电灯3在组装图1所示的光源装置1时，作为构成部件被利用。即，将副反射镜13、反射器12固定于放电灯3，从而得到光源装置1。

另外，如图6(A)以及6(B)所示，在内侧保护层18中，还能够省略被覆层18b。即，例如在上述步骤S2中，通过利用蚀刻等去除残留的被覆层18b，能够仅由扩散层18a构成内侧保护层18。由此，能够进一步抑制硼在内部空间的蒸发。

3)实施例

图7(A)～7(C)是表示使用放电灯3而引起的电极11a的变化的图。具体而言，图7(A)是表示使用开始后经过了307小时后的电极11a的形状的图，图7(B)是表示使用开始后经过了539小时后的电极11a的形状的图，图7(C)是表示使用开始后经过了800小时后的电极11a的形状的图。如图所示，该情况下，在电极11a的前端侧出现一些劣化，但是轴侧保持比较粗的状态。与此相对，图8(A)～8(I)所示的比较例中，电极11a的劣化都较为严重。具体而言，图8(A)～8(C)是表示在放电灯3中、在内侧保护层18没有设置膜厚差而由同样厚的膜成膜时的电极11a的变化的图。图8(A)～8(C)是分别表示使用开始后经过了261小时、450小时以及739小时的电极11a的形状的图。同样，图8(D)～8(F)是表示在放电灯3中、在内侧保护层18没有设置膜厚差而由同样薄的膜成膜时的电极11a的变化的图。图8(D)～8(F)是分别表示使用开始后经过了261小时、450小时以及739小时的电极11a的形状的图。另外，图8(G)～8(I)是表示在放电灯3中未设置内侧保护层18时的电极11a的变化的图。图8(G)～8(I)是分别表示使用开始后经过了261小时、450小时以及739小时的电极11a的形状的图。在图8(A)～8(F)的情况下，特别是轴侧变得细。另外，在图8(G)～8(I)的情况下，特别是前端侧的形状的损坏严重。与这些相比较便可理解在本实施方式中能够抑制电极11a的劣化。

另外，图9(A)是表示使用放电灯3而引起的发光管10的膨出部10A的变化的图。具体而言，图9(A)是表示放电灯3的使用开始后经过了750小时后的膨出部10A的形状的图。该情况下，在膨出部10A的内表面几乎未产生失透。与此相对，图9(B)是表示使用作为比较例的未设置内侧保护层18的放电灯3而引起的膨出部10A的变化的图，是表示使用开始后经过了750小时后的膨出部10A的形状的图。该情况下，如图所示，膨出部10A的一部分10P失透。

4)投影仪

接下来，对使用了上述实施方式的放电灯的投影仪进行说明。

图10是表示投影仪的构成例的俯视图。在图示的投影仪100的内部设置有具备图1所示的光源装置1的灯单元102，作为照明系统。该灯单元102除了光源装置1以外还具有：将光束平行化的准直透镜51；将光束均匀化的积分器52；使光束的偏振方向一致的偏振变换装置53；以及将光束重叠的重叠透镜54等。

从灯单元102射出的投射光通过配置于光导104内的4个反射镜106以及2个分色镜108分离为RGB的三原色，进而射入作为与各原色对应的光阀的液晶面板(光调制部)110R、110B、110G。

各液晶面板110R、110B、110G是具有将作为光调制用的有源元件的液晶元件61配置于一对偏振薄膜62、62之间的构造的光调制装置，分别由从未图示的图像信号处理电路供给的R、G、B的原色信号驱动。并且，由这些液晶面板110R、110B、110G调制过的光从3个方向射入分色棱镜112。在该分色棱镜112中，R以及B的光折射为90度而G的光直线前进。因此，合成各种颜色的图像后，经由投射透镜114向屏幕等投射彩色图像。在此，若着眼于各液晶面板110R、110B、110G的显示图像，则液晶面板110G的显示图像需要相对于液晶面板110R、110B的显示图像左右反转。

在投影仪100中，灯单元102中具备图1所示的放电灯3。该放电灯3能够长期地抑制失透、并抑制电极变细。因此，投影仪100能够实现长寿命化、并且得到显示品质高且可靠性高的投影图像。另外，通过具备小型的放电灯3乃至光源装置1，能够得到整体小型化且轻量的投影仪。

5)其它

虽然结合以上各实施方式对本发明进行了说明，但是本发明并不局限于上述的实施方式，能够在不脱离其要点的范围内、在各种的方式中实施，例如能够进行如下的变形。

在上述说明中，在发光管10中，通过设为内侧保护层18具有2级阶梯的膜厚差，以从头顶部TP朝向周边部PP膜厚相对地变薄的方式成膜，但并不局限于此，也可以具有多级阶梯的膜厚差。另外，也可以设置为不具有阶梯性的膜厚差、厚度渐渐地变化。

另外，在发光管10中，内侧保护层18设置为第1保护膜部分MP1形成为旋转体状，以使得以比较厚的第1保护膜部分MP1覆盖头顶部TP整体，但是也可以设置为如下。例如，考虑使用状态，只有头顶部TP之中的与重力方向相反的一侧的上表面侧容易失透这种情况下，利用第1保护膜部分MP1仅覆盖头顶部TP的上表面侧，利用比较薄的第2保护膜部分MP2覆盖头顶部TP的侧面以及下表面侧。

另外，也可以在发光管10的从膨出部10A至密封部10B、10B的外表面10a形成用于提高发光管10的强度的外侧保护层。

另外，在用于形成放电灯3的内侧保护层18的B₂O₃中，只要不损害作为本发明的效果的放电容器的损坏抑制、失透抑制，也可以含有其他元素。

另外，上述实施方式中的投影仪100使用液晶面板110R、110B、110G作为光调制部。但是，光调制部并不局限于此，通常是根据图像信息来调制入射光的部件即可，也可以使用微镜型光调制装置等。其中，作为微镜型光调制装置，能够使用例如DMD(Digital Micromirror Device：数字微镜设备)(登录商标)。在使用了微镜型光调制装置的情况下，能够不用入射偏振板、射出偏振板等，并且还能够不用偏振变换元件。

安装有上述实施方式的放电灯3的光源装置1作为一个例子使用于透过型液晶方式的投影仪100中。但是，并不局限于透过型液晶方式，光源装置1即便是在采用了作为反射型液晶方式的LCOS(LiquidCrystal On Silicon：硅基液晶)方式等的投影仪中，也能够起到相同的效果。

作为投影仪100的光调制部，可以利用使用3个液晶面板的3板方式，也可以利用使用1个液晶面板的单板方式。其中，在使用了单板方式的情况下，能够不用照明光学系统的色分离光学系统、色合成光学系统等。

另外，安装有上述实施方式的放电灯3的光源装置1应用于向设置于外部的投射面进行光学图像的投射的前置型的投影仪。但是并不局限于此，也可以应用于在投影仪的内部具有屏幕、并向该屏幕投射光学图像的后置型的投影仪。

另外，安装有上述实施方式的放电灯3的光源装置1并不局限于作为投影仪的光源，作为小型轻量的光源装置，也可以应用于其他光学设备。另外，所涉及的光源装置1也能够适当地应用于航空、船舶、车辆等的照明装置以及屋内照明装置等。

符号说明

1...光源装置；3...放电灯，10...发光管；11a...电极；10A...膨出部；TP...头顶部；CP...周边部；10B...密封部；10a...外表面；10b...主体部；10c...内表面；11a、11a...电极；12...反射器；13...副反射镜；14...内部空间；15...发光部；17...固化微粒子层；18...内侧保护层；MP1...第1保护膜部分；MP2...第2保护膜部分；18a...扩散层；18b...被覆层；61...液晶元件；62，62...偏振薄膜；100...投影仪；102...灯单元；108...分色镜；110R、110B、110G...液晶面板；112...分色棱镜；114...投射透镜

Claims

1.一种放电灯，其特征在于，具备：

放电用的一对电极；以及

放电容器，该放电容器由石英玻璃形成，并具有：内部空间，其用于将所述一对电极分离配置并且在该内部空间中封入放电介质；膨出部，其包围所述内部空间；一对密封部，其从所述膨出部的两端延伸，分别支承所述一对电极；内侧保护层，其设置于所述膨出部的内表面，且是从与所述一对电极之间的中心对置的头顶部设置到位于所述一对密封部侧的周边部，并且所述周边部的膜厚与所述头顶部的膜厚相比相对地变薄。

2.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，

所述内侧保护层的膜厚阶梯性地变化。

3.根据权利要求2所述的放电灯，其特征在于，

在所述内侧保护层中，比较厚的第1保护膜部分与比较薄的第2保护膜部分的边界部形成于与形成为所述一对密封部的端部和所述膨出部的端部的接合部的收缩部分对应的位置。

4.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，

所述内侧保护层通过在所述膨出部的内表面上涂敷并熔融三氧化二硼而形成。

5.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，

所述内侧保护层包含使硼扩散到所述石英玻璃中而成的扩散层。

6.根据权利要求1所述的放电灯，其特征在于，

所述内侧保护层的膜厚在所述头顶部为1μm以上20μm以下，在所述一对密封部侧的所述周边部为0.1μm以上且小于1μm。

7.根据权利要求5所述的放电灯，其特征在于，

所述扩散层形成为具有硼的浓度从最上层朝向内部逐渐变小的分布。

8.根据权利要求5所述的放电灯，其特征在于，

所述扩散层被基本上由三氧化二硼形成的被覆层覆盖整个表面。

9.一种光源装置，其特征在于，具备：

权利要求1所述的放电灯；以及

反射从所述放电灯射出的光束的反射器。

10.一种投影仪，其特征在于，具备：

光源装置，该光源装置具备放电灯、以及反射从所述放电灯射出的光束的反射器，所述放电灯具备放电用的一对电极以及放电容器，该放电容器由石英玻璃形成，并具有：内部空间，其用于将所述一对电极分离配置并且在该内部空间中封入放电介质；膨出部，其包围所述内部空间；一对密封部，其从所述膨出部的两端延伸，分别支承所述一对电极；内侧保护层，其设置于所述膨出部的内表面，且是从与所述一对电极之间的中心对置的头顶部设置到位于所述一对密封部侧的周边部，并且所述周边部的膜厚与所述头顶部的膜厚相比相对地变薄；

光调制装置，该光调制装置被来自所述光源装置的照明光照射；以及

投射透镜，该投射透镜投射被所述光调制装置调制过的光。

11.根据权利要求10所述的投影仪，其特征在于，

所述内侧保护层的膜厚阶梯性地变化。

12.根据权利要求11所述的投影仪，其特征在于，

13.根据权利要求10所述的投影仪，其特征在于，

14.根据权利要求10所述的投影仪，其特征在于，

15.根据权利要求10所述的投影仪，其特征在于，

16.根据权利要求14所述的投影仪，其特征在于，

17.根据权利要求14所述的投影仪，其特征在于，