JP2011096579A - 放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクター - Google Patents

Abstract

【課題】本発明では、発光管の失透を効果的に且つ長期的に抑制することができ、ランプ寿命を大幅に改善することのできる放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクターを提供する。
【解決手段】本発明の放電ランプ３は、発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３膜および保護膜がこの順で積層されてなる酸化物多層膜が形成されているが形成されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクターに関するものである。

従来、プロジェクターは、映像投写装置として会議でのプレゼンテーション用や家庭におけるホームシアター用など各方面に利用されている。このようなプロジェクターに使用される光源装置としては、例えば、ハロゲンランプ、メタルハライドランプ、及び高圧水銀ランプなどの電極を有する放電式ランプが主に用いられている。

しかしながら、このような放電式ランプは、点灯中に高温になるために、発光管の材質として用いられている石英ガラスの結晶化による失透現象により、透過光を低下させたり、発光管自体の強度を低下させてしまうなどの問題があった。これらの問題を解決するために、発光管内部に保護膜として立方晶系窒化硼素（ｃ−ＢＮ）薄膜を用いたもの（特許文献１）、窒化珪素硼素（ＳｉＢＮ）薄膜を用いたもの（特許文献２）、酸化イットリウム等の保護膜を用いたものがある（特許文献３）。

特開平６−３３３５３５号公報 特許３４６７９３９号 特開２００８−２７００７４号公報

しかしながら、特許文献１，２のいずれの成膜法においても化学気相析出（ＣＶＤ法）を用いており、発光管内面に均一に成膜を行うことが困難であるという問題があった。また、酸化イットリウム保護膜を用いた場合、点灯中に失透して透過率が低下するという問題がある。

本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、発光管の失透を効果的に且つ長期的に抑制することができ、ランプ寿命を大幅に改善することのできる放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクターを提供することを目的の一つとしている。

本発明の放電ランプは、上記課題を解決するために、前記発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３膜および保護膜がこの順で積層されてなる酸化物多層膜が形成されていることを特徴とする。

本発明によれば、発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３膜および保護膜がこの順で積層されてなる酸化物多層膜が形成されていることから、発光管の失透を長期的に抑制することが可能である。

また、発光管内にタングステンからなる電極を備え、前記保護膜がＧｅＯ_２膜であることが好ましい。
本発明によれば、ＧｅＯ_２膜はＢ_２Ｏ_３膜と同じくらいの失透抑制効果を有する。また、発光管の内面からＢ_２Ｏ_３膜およびＧｅＯ_２膜をこの順で積層することにより、Ｂ_２Ｏ_３膜がＧｅＯ_２膜で覆われて最外層がＧｅＯ_２膜となる。これにより、点灯時のＢ_２Ｏ_３膜の蒸発を抑制し、蒸発したＢ_２Ｏ_３の影響によるタングステンからなる放電ランプの電極の劣化を抑制することができる。

また、前記Ｂ_２Ｏ_３膜が、Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を焼成してなる薄膜であり、前記ＧｅＯ_２膜が、ＧｅＯ_２の微粒子を焼成してなる薄膜であることが好ましい。
本発明のＢ_２Ｏ_３膜は、Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を焼成してなる薄膜であり、ＧｅＯ_２膜は、ＧｅＯ_２の微粒子を焼成してなる薄膜である。これにより、化学的に安定しているとともに耐熱性にも優れており、ランプ点灯時に高温に晒されたとしても変質しにくい。これにより、発光管の失透を効果的且つ長期的に抑制することができ、放電ランプとしての寿命を大幅に改善することができる。

また、前記酸化物多層膜の膜厚が、０．１μｍ以上１０μｍ以下であることが好ましい。
本発明によれば、複合酸化単層膜の膜厚が０．１μｍ未満の場合には失透抑制効果があまり期待できない。一方、膜厚が１０μｍを超える場合には厚みが増して膜割れや剥離が生じるおそれがある。

また、前記酸化物多層膜の膜厚が、０．２μｍ以上５μｍ以下であることが好ましい。
本発明によれば、膜割れや剥離なども生じず、高い失透抑制効果が期待できるので、高い発光光率を長時間維持することが可能となる。

また、前記Ｂ_２Ｏ_３膜の膜厚が、前記ＧｅＯ_２膜の膜厚よりも薄いことが好ましい。
本発明によれば、Ｂ_２Ｏ_３膜の膜厚がＧｅＯ_２膜の膜厚よりも薄いことから、Ｂが電極に与える影響を抑えることができる。これにより、タングステンからなる電極の劣化を抑制できる。

本発明の放電ランプの製造方法は、石英ガラスからなる発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３を含む第１の液体材料を発光管の内面に塗布する工程と、塗布された前記第１の液体材料を焼成することで前記発光管の内面にＢ_２Ｏ_３膜を形成する工程と、前記Ｂ_２Ｏ_３膜上に酸化物材料を含む第２の液体材料を塗布する工程と、塗布された前記第２の液体材料を焼成して前記Ｂ_２Ｏ_３膜上に保護膜を形成する工程と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、石英ガラスからなる発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３を含む第１の液体材料を発光管の内面に塗布する工程と、塗布された第１の液体材料を焼成することで発光管の内面上にＢ_２Ｏ_３膜を形成する工程と、Ｂ_２Ｏ_３膜上に第２の液体材料を塗布する工程と、塗布された第２の液体材料を焼成してＢ_２Ｏ_３膜上に保護膜を形成する工程と、を有することから、発光管の内面にＢ_２Ｏ_３膜および保護膜からなる多層膜が形成される。このようにして得られた多層膜は、透光性が高いだけでなく化学的に安定したものとなり、耐熱性にも優れていることから、放電ランプの点灯時における高温に晒されたとしても変質しにくい。
また、発光管の内面の内面に上記液体材料を塗布した後に加熱することによってＢ_２Ｏ_３膜を形成しているので、発光管との密着性が高められて、密着不良等による剥離等を防止できる。

また、前記第１の液体材料が、前記Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料であり、前記第２の液体材料が、ＧｅＯ_２の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料であることが好ましい。
本発明によれば、各微粒子の凝集を防いで分散性を高めることができ、発光管の内面全体に均一な膜厚で失透抑制膜を形成することができる。

本発明の光源装置は、本発明の放電ランプを備えたことを特徴とする。
この構成によれば、備えられた放電ランプの失透が長期的に抑制されるものであるため高輝度な照明光を長期に亘って照射することが可能である。

本発明のプロジェクターは、本発明の光源装置を備えたことを特徴とする。
本発明の電子機器は、本発明の高輝度な照明光を長期に亘って照射することが可能な光源装置を備えていることから、表示品位が高く信頼性の高い投写像を得ることができる。

本発明の一実施形態である光源装置の概略構成を示す断面図。 本発明の一実施形態である放電ランプの概略構成を示す断面図。 放電ランプの断面拡大図。 発光管の各構成における透過率の違いを表すグラフ。 加速試験によって得られた失透抑制効果を表わすグラフ。 放電ランプの製造方法のフローチャートを示す図。 放電ランプの製造方法の各製造工程を示す発光管の部分拡大断面図。 プロジェクターの概略構成図。

以下、本発明の実施形態につき、図面を参照して説明する。なお、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。

（第１実施形態）
図１は、本発明の一実施形態である光源装置の概略構成を示す断面図、図２は、放電ランプの概略構成を示す断面図、図３は、発光管の要部拡大断面図である。
本実施形態の光源装置１は、後述するプロジェクターに好適に採用されるもので、リフレクター１２と、リフレクター１２の内部に配置される放電ランプ３と、を有している。放電ランプ３は、石英ガラス（ＳｉＯ_２）から構成される発光管１０と、発光管１０内に配置された一対の電極１１ａ，１１ａとを有し、発光管１０内には発光物質が封入されている。

発光管１０は、中央部が球状に膨出した膨出部１０Ａと、膨出部１０Ａの両側に延在する封止部１０Ｂ、１０Ｂと、からなり、膨出部１０Ａの内部に発光物質を充填した発光領域１４（発光ガスを封入した発光空間）が形成されている。発光領域１４の内径は例えば、略１ｍｍ〜２ｍｍ程度である。

封止部１０Ｂ、１０Ｂには、それぞれ棒状の電極１１ａ，１１ａが互いの端部を離間させた状態で配置されている。電極１１ａ，１１ａは導電性材料であって、特に、熱膨張係数が小さく耐熱性が高い材料、具体的にはタングステンが適している。

なお、電極１１ａ，１１ａの先端が発光管１０の発光領域１４に侵入する場合は、内部に充填するガスの種類にもよるが、ガスとの反応により電極材料の金属が腐食することが考えられるので、その場合は耐食膜などを備えることが望ましい。

封止部１０Ｂ、１０Ｂの内部には、一対の電極１１ａ，１１ａと電気的に接続されるモリブデン製の金属箔１１ｂが挿入され、ガラス材料等で封止されている。この金属箔１１ｂには、さらに電極引き出し線としてのリード線３３が接続され、このリード線３３は、放電ランプ３の外部まで延出している。

発光領域１４内に充填される発光物質としては、水銀、希ガスおよびハロゲン化合物で構成される。ここで、水銀は、例えば０．１５ｍｇ／ｍｍ^３〜０．３２ｍｇ／ｍｍ^３の封入量であり、１５０ｂａｒ〜１９０ｂａｒの蒸気圧で封入されることが好ましい。
また、希ガスは、発光部における発光を補助するために用いられるものであり、特に限定されないが、常用されるアルゴンガス、キセノンガス等を用いることができる。
さらにハロゲン化化合物は、塩素、臭素、および沃素のうちのいずれかのハロゲンを用いることができ、特に臭素を用いることが好ましい。

図２に示すように、本実施形態の発光管１０には、膨出部１０Ａの内面１０ａに発光管１０の失透を抑制するための失透抑制膜１８が設けられている。
失透抑制膜１８は、図３に示すように、発光管１０の内面１０ａからＢ_２Ｏ_３膜１８ＡおよびＧｅＯ_２膜（保護膜）１８Ｂがこの順で積層されてなるＢ_２Ｏ_３−ＧｅＯ_２酸化物多層膜であり、膨出部１０Ａの内面１０ａ全体を覆っている。このような薄膜は耐熱性を有するため、ランプ使用温度で結晶化しにくいという効果を有している。

Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａは、ホウ素酸化物（Ｂ_２Ｏ_３）の微粒子を焼成してなる薄膜である。また、ＧｅＯ_２膜１８Ｂは、二酸化ゲルマニウム（ＧｅＯ_２）の微粒子を焼成してなる薄膜である。このＧｅＯ_２膜１８Ａは、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ｂの表面が露出することがないようにＢ_２Ｏ_３膜１８Ｂの表面全体を覆って形成されている。

Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ｂは、放電ランプ３の点灯時に高温に晒されると蒸発する虞がある。Ｂ（ホウ素）が蒸発する量が多いと、タングステンからなる電極１１ａ，１１ａが劣化してしまうことから、これを抑制するため本実施形態では、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａ上にＧｅＯ_２膜１８Ｂを形成して、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ｂが直接高温に晒されるのを防止した構成となっている。

失透抑制膜１８の膜厚は、発光管１０内に封入される発光物質などによっても異なってくるが、例えば、０．１μｍ以上１０μｍ以下に設定する。より好ましくは、０．２μｍ以上５μｍ以下の範囲内が好ましい。
ここで、Ｂ_２Ｏ_３膜はＧｅＯ_２膜に対して薄く形成されていることが好ましく、具体的には約０．２μｍ〜０．３μｍが好ましい。

Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａを覆う保護膜としてはＧｅ以外の材料からなる酸化膜を用いることも可能であるが、ＧｅＯ_２膜が最も好ましい。ＧｅＯ_２膜は非晶質系の酸化物膜であって無機系のガラス物質であることから、耐熱温度が高く失透を長期的に抑制し得る。

リフレクター１２は、放電ランプ３の封止部１０Ｂが挿通される首状部２１およびこの首状部２１から拡がる曲面状の反射部２２を備えたガラス製の一体成形品である。
首状部２１には、中央に挿入孔２３が形成されており、この挿入孔２３の中心に封止部１０Ｂが配置される。
反射部２２は、曲面状のガラス内面に金属薄膜を蒸着形成して構成され、この反射部２２の反射面は、可視光を反射して赤外線を透過するコールドミラーとなっている。

放電ランプ３は、この反射部２２の内部に配置され、膨出部１０Ａの内の電極１１ａ，１１ａ間の発光中心が反射部２２の曲面の焦点位置と一致するように配置される。

そして、放電ランプ３を点灯すると、図１に示されるように、膨出部１０Ａから放射された光束は、反射部２２の反射面で反射して、平行光となる。

このようなリフレクター１２に放電ランプ３を固定する際には、放電ランプ３の封止部１０Ｂをリフレクター１２の挿入孔２３に挿入し、挿入孔２３内部にシリカ、アルミナを主成分とする無機系接着剤を充填する。

副反射鏡１３は、膨出部１０Ａの発光領域１４の光束射出方向前側を覆う反射部材であり、その反射面は、発光領域１４の球面（発光管１０の内面１０ａ）に倣う凹曲面状に形成され、反射面はリフレクター１２と同様にコールドミラーとなっている。ここで、副反射鏡１３は、膨出部１０Ａの発光領域１４の光束射出方向前側の略半分以上、１／３以下の範囲を覆うことが好ましい。

上述した放電ランプ３において、封止部１０Ｂから外側に延出するリード線３３に電圧を印加すると、電極１１ａ，１１ａ間で放電が生じて発光部１５が発光する。そして、放電ランプ３の膨出部１０Ａから前方側に射出された光束の一部は、この副反射鏡１３の反射面にて反射され、膨出部１０Ａに再度戻る。そして、この戻り光の一部が膨出部１０Ａの発光領域１４に封入された封入物にエネルギーを吸収されるとともに、その他の戻り光がリフレクター１２側に向けて進み、リフレクター１２の反射部２２から射出される。

このように本実施形態の光源装置１は、発光管１０の内面１０ａに、Ｂ_２Ｏ_３膜１８ＡおよびＧｅＯ_２膜１８Ｂを積層した酸化物多層膜からなる失透抑制膜１８によって、発光管１０の失透を長期的に抑制することが可能である。この失透抑制膜１８は、透光性が高いだけでなく化学的な安定性及び耐熱性に非常に優れていることから、ランプ点灯時に高温に晒されたとしても変質しにくい。これにより、発光管１０の失透を効果的且つ長期的に抑制することができ、放電ランプ３としての寿命を大幅に改善することができる。

また、本実施形態では、失透抑制膜１８の膜厚が０．１μｍ以上１０μｍ以下とされている。失透抑制膜１８の膜厚が０．１μｍ未満の場合には失透抑制効果があまり期待できない。一方、膜厚が１０μｍを超える場合には厚みが増して膜割れや剥離が生じるおそれがある。よって、上記範囲内の膜厚で形成するようにし、０．２μｍ以上５μｍ以下の膜厚がより好ましい。これにより、膜割れや剥離なども生じず、高い失透抑制効果が期待できるので、高い発光光率を長時間維持することが可能となる。

なお、本実施形態では、発光管１０の内面１０ａからＢ_２Ｏ_３膜１８Ａ及びＧｅＯ_２膜１８Ｂがこの順で形成されており、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａの表面がＧｅＯ_２膜１８Ｂによって覆われた構成とされている。さらに、ＧｅＯ_２膜１８Ｂに比べてＢ_２Ｏ_３膜１８Ａの方が薄く形成されていることから、ランプ点灯時にＢ_２Ｏ_３膜１８Ａが蒸発してしまうのを抑制でき、蒸発したホウ素（Ｂ）がタングステンからなる電極１１ａ，１１ａに影響を及ぼして劣化させてしまうことを防止することができる。これにより、電極１１ａ，１１ａの長寿命化が期待できる。

図４は、発光管の各構成における透過率の違いを表すグラフであって、縦軸に透過率Ｔ（％）、横軸に波長λ（ｍｍ）を示す。
図４では、内面に何も形成されていない発光管の透過率を実線で示し、内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成された直後の発光管の透過率を一点鎖線で示し、内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成されてから２日間経過した後の発光管の透過率を破線で示す。

図４に示すように、いずれの波長においても、Ｂ_２Ｏ_３膜を有した発光管の方が内面に何も形成されていない発光管よりも透過率が高い。
内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成された直後の発光管の場合、ランプ光の波長λが低波長のときほど高い透過率が得られ、ランプの波長λが高くなるに従い透過率が低下する傾向が見られる。

しかしながら、内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成されて２日間経過した後の発光管の場合、いずれのランプ光の波長λにおいても６９％前後の透過率Ｔが得られ、略一定の透過率Ｔとなっている。ランプ波長λが５５０ｍｍ以下の場合はＢ_２Ｏ_３膜が形成された直後の発光管の透過率の方が高いが、ランプ波長λが５５０ｍｍを超えた場合においてはＢ_２Ｏ_３膜が形成されて所定時間が経過した後の発光管の方が高い透過率が得られていることが分かる。

このように、内面に何も形成されておらず、内面（ＳｉＯ_２）が露出している発光管よりも、内面にＢ_２Ｏ_３膜を有する発光管の方がランプ光の透過率が高いことが判明した。
また、Ｂ_２Ｏ_３膜が形成された直後よりもある程度時間が経過したときの方が、高い透過率が得られることも分かった。これにより、Ｂ_２Ｏ_３膜によって発光管の失透を長期的に抑制できることができ、本発明の有効性を確認することができた。

図５に、加速試験によって得られた失透抑制効果を表わすグラフであって、縦軸に失透深さ（μｍ）、横軸に放置時間（Ｈ）を示す。
図５では、内面に何も形成されていない発光管の失透深さを○のプロット線で示し、内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成された発光管の失透深さを●のプロット線で示す。

１４００℃に加熱された窒素ガス（Ｎ_２）雰囲気内に各発光管を放置した場合の失透状態について比較する。内面に何も形成されていない発光管の場合、放置時間が経過するにつれて発光管の失透深さが急速に進行していき、放置時管が約１５０時間になると内面からの失透深さがすでに３００μｍにまでに達している。一方、内面にＢ_２Ｏ_３膜が形成されている発光管の場合、加熱時間が１５０時間に達した時点においても内面からの失透深さが２００μｍ未満である。

このように、内面に何も形成されていない発光管よりも、発光管の内面にＢ_２Ｏ_３膜を形成しておくことによって大幅に失透抑制効果が得られることが判明した。これにより、Ｂ_２Ｏ_３膜によって発光管の失透を長期的に抑制することができ、発明の有効性を確認することができた。

次に、本実施形態の光源装置における放電ランプの製造方法について説明する。以下の説明では、本願発明の特徴部分である放電ランプ３の内面に失透抑制膜を形成する工程について詳しく説明し、他の工程については説明を省略する。

図６に、本実施形態の放電ランプの製造方法のフローチャートを示す。
本実施形態の放電ランプの製造方法は、第１塗布工程Ｓ１、第１熱処理工程Ｓ２、第２塗布工程Ｓ３、第２熱処理工程Ｓ４、および発光物質封入工程Ｓ５を有している。

図７に、放電ランプの製造方法の各工程を示す発光管の要部拡大断面図を示す。
まず、図７（ａ）に示すように、発光管１０の内面１０ａに、Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料１８ａを塗布する（Ｓ１）。
なお、Ｂ_２Ｏ_３微粒子は比較的低温でエタノールに溶解することから、液体材料としてＢ_２Ｏ_３微粒子をエタノールに溶解させたＢ_２Ｏ_３溶液を用いてもよい。

次に、図７（ｂ）に示すように、塗布した液体材料（塗布膜）１８ａを乾燥させた後、発光管１０を所定の温度（１０００℃以上）で加熱・焼成して固化微粒子を溶融させ、発光管１０の内面１０ａ全体にＢ_２Ｏ_３膜１８Ａを形成する（Ｓ２）。

次に、図７（ｃ）に示すように、発光管１０の内面１０ａに形成したＢ_２Ｏ_３膜１８Ａを覆うようにして、その表面にＧｅＯ_２の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料１８ｂを塗布する（Ｓ３）。

次に、図７（ｄ）に示すように、塗布した液体材料（塗布膜）を乾燥させた後、発光管１０を所定の温度（１０００℃以上）で加熱・焼成して固化微粒子を溶融させた後、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａ上にＧｅＯ_２膜１８Ｂを形成する（Ｓ４）。このようにして、発光管１０の内面１０ａにＢ_２Ｏ_３膜１８Ａ及びＧｅＯ_２膜１８Ｂからなる失透抑制膜１８を形成する。

次に、発光管１０の発光空間Ｋ内に電極１１ａ，１１ａ等を設置するとともに発光物質を充填する（Ｓ５）。発光物質として、水銀、希ガスおよびハロゲン化合物を所定の蒸気圧下で所定量封入する。このようにして、本実施形態における放電ランプ３を得る。

以上述べたように、Ｂ_２Ｏ_３微粒子を分散媒に分散させてなる液体材料、およびＧｅＯ_２微粒子を分散媒に分散させてなる液体材料、を用いることで、各液体材料中における微粒子の凝集を防いで分散性を高めることができ、発光管１０の内面１０ａ全体に均一な膜厚でＢ_２Ｏ_３膜及びＧｅＯ_２膜を形成することができ、所望の失透抑制膜１８を得ることができる。

また、第１熱処理工程および第２熱処理工程において、所定の温度でＢ_２Ｏ_３微粒子を含む塗布膜及びＧｅＯ_２微粒子含む塗布膜をそれぞれ焼成することにより、Ｂ_２Ｏ_３微粒子やＧｅＯ_２微粒子などの固化微粒子が溶融してガラス化したＢ_２Ｏ_３膜及びＧｅＯ_２膜が得られる。このようにして得られた失透抑制膜１８は、透光性が高いだけでなく、化学的に安定したものとなり、また耐熱性にも優れていることから、放電ランプ３の点灯時における高温に晒されたとしても変質しにくい。

また、発光管１０の内面１０ａの内面に上記Ｂ_２Ｏ_３微粒子を含有した液体材料を塗布した後に加熱することによってＢ_２Ｏ_３膜１８Ａを形成しているので、発光管１０との密着性が高められて、密着不良による剥離等を防止することができる。また、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａの表面にＧｅＯ_２微粒子を含有した液体材料を塗布した後に加熱することによってＧｅＯ_２膜１８Ｂを形成しているので、Ｂ_２Ｏ_３膜１８Ａとの密着性が高められて、密着不良による剥離等を防止することができる。

また、本実施形態においては、上記各液体材料をＤＩＰ法（浸漬法）にて発光管１０の内面１０ａあるいはＢ_２Ｏ_３膜１８Ａ上に塗布している。このため、発光管１０の内面１０ａおよびＢ_２Ｏ_３膜１８Ａ上に均一な膜厚で失透抑制膜１８を形成することができる。

（プロジェクター）
次に、上記実施形態の光源装置を用いたプロジェクターについて説明する。
図８は、プロジェクターの構成例を示す平面図である。この図に示されるように、プロジェクター１１００内部には、上記した本発明の光源装置１を備えたランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル（光変調部）１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。

液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４（投射部）を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。ここで、各液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇによる表示像について着目すると、液晶パネル１１１０Ｇによる表示像は、液晶パネル１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。

プロジェクター１１００は、上述した実施形態の光源装置１を備えている。光源装置１は失透が長期的に抑制されるものであるため高輝度な照明光を長期に亘って照射することが可能である。このため、プロジェクター１１００は、長寿命化され、表示品位が高く信頼性の高い投写像を得ることができる。

また、上記実施形態でのプロジェクター１１００は、光変調部として液晶パネルを用いている。しかし、これに限らず、一般に、入射光を画像情報に応じて変調するものであればよく、マイクロミラー型光変調装置などを使用しても良い。なお、マイクロミラー型光変調装置としては、例えば、ＤＭＤ（Digital Micro mirror Device）（登録商標）を用いることができる。なお、マイクロミラー型光変調装置を用いた場合には、入射偏光板や射出偏光板などは不要とすることができ、偏光変換素子も不要とすることができる。

上記実施形態での光源装置１は、透過型液晶方式のプロジェクター１１００に用いられている。しかし、これに限らず、反射型液晶方式であるＬＣＯＳ（Liquid Crystal On Silicon）方式などを採用したプロジェクターに用いられても同様の効果を奏することが可能である。

先の実施形態での光変調部は、液晶パネルを３枚使用する３板方式であっても、液晶パネルを１枚使用する単板方式を用いても良い。なお、単板方式を用いた場合には、照明光学系の色分離光学系や色合成光学系などは不要とすることができる。

また、光源装置１は、外部に設置される投射面に光学像の投射を行うフロントタイプのプロジェクターに適用している。しかし、これに限らず、プロジェクターの内部にスクリーンを有して、そのスクリーンに光学像を投射するリアタイプのプロジェクターにも適用可能である。

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されないことは言うまでもなく、上記各実施形態を組み合わせても良い。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。

先の実施形態での光源装置１は、プロジェクターの光源として適用している。しかし、これに限らず、小型軽量の光源装置は、他の光学機器に適用しても良い。また、航空、船舶、車輌などの照明機器や、屋内照明機器などへも好適に適用することができる。

１…光源装置、３…放電ランプ、１０…発光管、１０ａ…内面、１８…失透抑制膜、１８Ａ…Ｂ_２Ｏ_３膜、１８Ｂ…ＧｅＯ_２膜（保護膜）、１１００…プロジェクター

Claims (10)

1. 発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３膜および保護膜がこの順で積層されてなる酸化物多層膜が形成されていることを特徴とする放電ランプ。
2. 前記発光管内にタングステンからなる電極を備え、
   前記保護膜がＧｅＯ_２膜であることを特徴とする請求項１記載の放電ランプ。
3. 前記Ｂ_２Ｏ_３膜が、Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を焼成してなる薄膜であり、
   前記ＧｅＯ_２膜が、ＧｅＯ_２の微粒子を焼成してなる薄膜であることを特徴とする請求項２記載の放電ランプ。
4. 前記酸化物多層膜の膜厚が、０．１μｍ以上１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の放電ランプ。
5. 前記酸化物多層膜の膜厚が、０．２μｍ以上５μｍ以下であることを特徴とする請求項４記載の放電ランプ。
6. 前記Ｂ_２Ｏ_３膜の膜厚が、前記ＧｅＯ_２膜の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項２ないし５のいずれか一項に記載の放電ランプ。
7. 石英ガラスからなる発光管の内面に、Ｂ_２Ｏ_３を含む第１の液体材料を発光管の内面に塗布する工程と、
   塗布された前記第１の液体材料を焼成することで前記発光管の内面にＢ_２Ｏ_３膜を形成する工程と、
   前記Ｂ_２Ｏ_３膜上に酸化物材料を含む第２の液体材料を塗布する工程と、
   塗布された前記第２の液体材料を焼成して前記Ｂ_２Ｏ_３膜上に保護膜を形成する工程と、を有することを特徴とする放電ランプの製造方法。
8. 前記第１の液体材料が、前記Ｂ_２Ｏ_３の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料であり、
   前記第２の液体材料が、ＧｅＯ_２の微粒子を媒体に分散させてなる液体材料であることを特徴とする請求項７記載の放電ランプの製造方法。
9. 請求項１から６のいずれかに記載の放電ランプを備えたことを特徴とする光源装置。
10. 請求項９に記載の光源装置を備えたことを特徴とするプロジェクター。