JP2009076289A - 発光管の製造方法、光源装置及びプロジェクタ - Google Patents
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Abstract
【課題】熱CVD法によって管球部の外面に光学薄膜を形成する場合においても、エネルギーの省力化を図ることが可能な発光管の製造方法を提供する。
【解決手段】一対の電極42,52を内蔵する管球部30及び管球部30の両側に延びる一対の封止部40,50を有する発光管20を準備する発光管準備工程と、熱CVD法により管球部30の外面に光学薄膜としての反射防止膜60を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含む発光管の製造方法。光学薄膜形成工程においては、発光管20に電流を流すことにより管球部30を所定温度まで昇温させることとしている。
【選択図】図2
【解決手段】一対の電極42,52を内蔵する管球部30及び管球部30の両側に延びる一対の封止部40,50を有する発光管20を準備する発光管準備工程と、熱CVD法により管球部30の外面に光学薄膜としての反射防止膜60を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含む発光管の製造方法。光学薄膜形成工程においては、発光管20に電流を流すことにより管球部30を所定温度まで昇温させることとしている。
【選択図】図2
Description
本発明は、発光管の製造方法、光源装置及びプロジェクタに関する。
従来、プロジェクタに用いる光源装置として、管球部の外面に保温膜などの光学薄膜が形成された発光管を備える光源装置が知られている(例えば、特許文献1及び2参照。)。また、このような発光管を製造する方法として、熱CVD法によって管球部の外面に光学薄膜を形成する方法が知られている(例えば、特許文献1及び2参照。)。従来の発光管の製造方法によれば、熱CVD法によって光学薄膜を形成することとしているため、管球部の外面に比較的均一な膜を形成することができる。
ところで、エネルギー問題が声高に叫ばれている昨今、上述のように熱CVD法によって管球部の外面に光学薄膜を形成する場合においても、エネルギーの省力化を図りたいという要望がある。
そこで、本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、熱CVD法によって管球部の外面に光学薄膜を形成する場合においても、エネルギーの省力化を図ることが可能な発光管の製造方法を提供することを目的とする。また、そのような優れた方法によって製造された発光管を備える光源装置及びプロジェクタを提供することを目的とする。
本発明者らは、上記目的を達成するため、エネルギーの省力化を図るための手段を探るべく鋭意研究を重ねた結果、従来の発光管の製造方法においては、外部熱源(発光管を外部から加熱するための加熱装置)を用いて発光管を昇温させている、という点に着目し、外部熱源を用いるのではなく、発光管自身を熱源として発光管(管球部)を昇温させれば、外部熱源を用いる場合よりもエネルギーの省力化を図ることが可能となることに想到し、本発明を完成させるに至った。
本発明の発光管の製造方法は、一対の電極を内蔵する管球部及び前記管球部の両側に延びる一対の封止部を有する発光管を準備する発光管準備工程と、熱CVD法により前記管球部の外面に光学薄膜を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含み、前記光学薄膜形成工程においては、前記発光管に電流を流すことにより前記管球部を所定温度まで昇温させることを特徴とする。
このため、本発明の発光管の製造方法によれば、発光管に電流を流すことにより(発光管を点灯させることにより)管球部の温度を所定温度まで昇温させることとしているため、発光管自身を熱源とすることが可能となる。その結果、従来よりもエネルギーの省力化を図ることが可能となる。
また、本発明の発光管の製造方法によれば、外部熱源(発光管を外部から加熱するための加熱装置)が不要となるため、光学薄膜を形成するための装置の簡素化を図ることができるとともに、発光管の製造コストの低廉化を図ることが可能となる。
また、本発明の発光管の製造方法によれば、発光管自身を熱源として管球部の温度を所定温度まで昇温させているため、外部熱源を用いた場合(従来の発光管の製造方法)に比べて、管球部の温度管理が容易となる。その結果、管球部の外面に従来よりも均一な膜を形成することが可能となる。
ところで、光学薄膜の原料ガスとしては、光学薄膜の用途(保温用、反射用など)等に応じて種々の原料ガスが使い分けられているが、膜付けに最適な温度範囲は原料ガスによってそれぞれ違いがある。
本発明の発光管の製造方法によれば、発光管に流す電流を調整することによって管球部の温度を容易に調整することが可能となるため、用いる原料ガスにとっての最適な温度範囲となるように、管球部の温度を調整することが可能となる。つまり、本発明の発光管の製造方法は、種々の原料ガスに対応可能な発光管の製造方法であるといえる。
本発明の発光管の製造方法によれば、発光管に流す電流を調整することによって管球部の温度を容易に調整することが可能となるため、用いる原料ガスにとっての最適な温度範囲となるように、管球部の温度を調整することが可能となる。つまり、本発明の発光管の製造方法は、種々の原料ガスに対応可能な発光管の製造方法であるといえる。
本発明の発光管の製造方法において、前記光学薄膜形成工程においては、前記発光管は、前記一対の封止部が略水平となるように配置され、前記管球部における前記一対の封止部の中心軸に対して下側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となるように、前記管球部を昇温させることが好ましい。
ところで、発光管を点灯させたときの管球部の温度は、管球部における一対の封止部の中心軸に対して下側の頂点部分を含む領域(以下、「管球部の下半球」ということもある。)の方が、管球部における一対の封止部の中心軸に対して上側の頂点部分を含む領域(以下、「管球部の上半球」ということもある。)に比べて低温となる。このため、管球部の全面(上半球及び下半球)に光学薄膜を形成する場合において、仮に管球部の下半球の温度が光学薄膜の原料ガスの分解温度よりも低いと、管球部の下半球に光学薄膜がうまく形成されない。
これに対し、本発明の発光管の製造方法によれば、管球部の下半球の温度が光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となるように、管球部の温度を所定温度まで昇温させることとしているため、管球部の下半球に光学薄膜を形成することが可能となる。なお、管球部の上半球の温度については、管球部の下半球の温度よりも高温であることから、必然的に光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となり、管球部の上半球にも光学薄膜を形成することが可能となる。すなわち、本発明の発光管の製造方法によれば、管球部の全面に光学薄膜を形成することが可能となる。
本発明の発光管の製造方法において、前記光学薄膜形成工程においては、前記発光管は、前記一対の封止部が略水平となるように配置され、前記管球部における一対の封止部の中心軸に対して下側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度よりも低く、かつ、前記管球部における一対の封止部の中心軸に対して上側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となるように、前記管球部を昇温させることが好ましい。
ところで、発光管を点灯させたときには、一般に管球部における上側の頂点部分の温度が特に高くなり易く、管球部を構成する基材の許容温度を超えてしまった場合には、管球部における上側の頂点部分において局所的な膨れが発生したり白化したりする場合がある。白化とは、管球部を構成する基材が白濁して失透する現象のことである。管球部に局所的な膨れが発生すると、強度低下によって発光管が破裂する場合がある。また、管球部が白化すると、白化した箇所において光の透過が妨げられてしまい、これに起因して熱が発生して発光管の温度がさらに上昇する結果、発光管が破裂する場合がある。
なお、管球部における上側の頂点部分の温度上昇を抑制するためには、プロジェクタの使用時に発光管を冷却ファンで冷却することが考えられる。しかしながら、管球部における上側の頂点部分の温度と管球部における下側の頂点部分の温度との温度差が大きいため、管球部における上側の頂点部分の温度を所定温度以下まで冷却した場合に、管球部における下側の頂点部分が必要以上に冷却されてしまい、管球部における下側の頂点部分が黒化するおそれがある。黒化とは、管球部内において温度が低くなりすぎることにより、ハロゲンサイクルが円滑に行われず、電極から蒸発したタングステンが管球部の内壁に付着する現象のことである。このように管球部が黒化すると、黒化した箇所において光が吸収されるため、発光管の光量が低下したり発光管が破損したりする場合がある。
このように、従来の発光管においては、管球部における上側の頂点部分の温度が高くなり易いこと及び管球部における上側の頂点部分の温度と管球部における下側の頂点部分の温度との温度差が大きいことに起因して、発光管の長寿命化を図ることが容易ではないという問題があるが、本発明の発光管の製造方法によれば、光学薄膜を形成する際に上記のようにして管球部を昇温させることにより、管球部の上半球に光学薄膜を形成することが可能となる。このとき、原料ガスとして保温膜の原料ガスを用いれば、管球部の上半球に保温膜を形成することが可能となる。このようにして管球部の上半球に保温膜を形成した後で発光管の上下を反転させることにより、管球部の下半球に保温膜が形成された発光管を製造することが可能となる。管球部の下半球に保温膜が形成された発光管を用いることにより、管球部における上側の頂点部分の温度と管球部における下側の頂点部分の温度との温度差を小さくすることが可能となるため、管球部における上側の頂点部分の温度を所定温度以下まで冷却した場合であっても、管球部における下側の頂点部分が必要以上に冷却されてしまうのを抑制することが可能となる。その結果、黒化による発光管の光量低下や発光管の破損の発生を抑制することが可能となる。
すなわち、本発明の発光管の製造方法は、長寿命化を図ることが可能な発光管を、比較的容易に製造することが可能な発光管の製造方法であるといえる。
すなわち、本発明の発光管の製造方法は、長寿命化を図ることが可能な発光管を、比較的容易に製造することが可能な発光管の製造方法であるといえる。
本発明の光源装置は、本発明の発光管の製造方法によって製造された発光管を備えることを特徴とする。
このため、本発明の光源装置は、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れた光源装置となる。
本発明のプロジェクタは、本発明の光源装置を備えることを特徴とする。
このため、本発明のプロジェクタは、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れたプロジェクタとなる。
以下、本発明の発光管の製造方法、光源装置及びプロジェクタについて、図に示す実施の形態に基づいて説明する。
[実施形態1]
まず、実施形態1に係るプロジェクタ1000の構成について、図1を用いて説明する。
まず、実施形態1に係るプロジェクタ1000の構成について、図1を用いて説明する。
図1は、実施形態1に係るプロジェクタ1000を説明するために示す図である。図1(a)はプロジェクタ1000の光学系を示す図であり、図1(b)は光源装置110を側面から見たときの断面図である。
なお、以下の説明においては、互いに直交する3つの方向をそれぞれz軸方向(図1(a)における照明光軸100ax方向)、x軸方向(図1(a)における紙面に平行かつz軸に直交する方向)及びy軸方向(図1(a)における紙面に垂直かつz軸に直交する方向)とする。
実施形態1に係るプロジェクタ1000は、図1(a)に示すように、照明装置100と、照明装置100からの照明光束を赤色光、緑色光及び青色光の3つの色光に分離して被照明領域に導光する色分離導光光学系200と、色分離導光光学系200で分離された3つの色光のそれぞれを画像情報に応じて変調する3つの液晶光変調装置400R,400G,400Bと、3つの液晶光変調装置400R,400G,400Bによって変調された色光を合成するクロスダイクロイックプリズム500と、クロスダイクロイックプリズム500によって合成された光をスクリーンSCR等の投写面に投写する投写光学系600とを備えたプロジェクタである。
照明装置100は、被照明領域側に照明光束を射出する光源装置110と、凹レンズ90と、凹レンズ90から射出される照明光束を複数の部分光束に分割するための複数の第1小レンズ122を有する第1レンズアレイ120と、第1レンズアレイ120の複数の第1小レンズ122に対応する複数の第2小レンズ132を有する第2レンズアレイ130と、第2レンズアレイ130からの各部分光束を偏光方向の揃った略1種類の直線偏光に変換して射出する偏光変換素子140と、偏光変換素子140から射出される各部分光束を被照明領域で重畳させるための重畳レンズ150とを有する。
光源装置110は、図1(b)に示すように、リフレクタとしての楕円面リフレクタ10と、楕円面リフレクタ10の第1焦点近傍に発光中心を有する発光管1と、発光管1の管球部30の外面に形成された光学薄膜としての反射防止膜60とを有する。光源装置110は、照明光軸100axを中心軸とする光束を射出する。
楕円面リフレクタ10は、発光管1の封止部(一方の封止部)40を挿通・固定するための開口部12と、発光管1から放射された光を第2焦点位置に向けて反射する反射凹面14とを有する。楕円面リフレクタ10は、楕円面リフレクタ10の開口部12に充填されたセメントなどの無機系接着剤によって発光管1の封止部40に固着されている。
反射凹面14を構成する基材の材料としては、例えば、結晶化ガラスやアルミナ(Al2O3)などを好適に用いることができる。反射凹面14の内面には、例えば、酸化チタン(TiO2)と酸化シリコン(SiO2)との誘電体多層膜からなる可視光反射層が形成されている。
光学薄膜としての反射防止膜60は、例えば、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化シリコン(SiO2)との多層膜で構成されている。管球部30の外面に反射防止膜60が形成されていることにより、管球部30の外面を通過する際の可視光の反射損を抑制することができ、光利用効率を向上することが可能となる。
なお、発光管1の構成及び製造方法については詳細に後述する。
凹レンズ90は、図1(a)に示すように、楕円面リフレクタ10の被照明領域側に配置されている。そして、楕円面リフレクタ10からの光を第1レンズアレイ120に向けて射出するように構成されている。
第1レンズアレイ120は、凹レンズ90からの光を複数の部分光束に分割する光束分割光学素子としての機能を有し、複数の第1小レンズ122が照明光軸100axと直交する面内に複数行・複数列のマトリクス状に配列された構成を有する。図示による説明は省略するが、第1小レンズ122の外形形状は、後述する液晶パネルの画像形成領域の外形形状に関して相似形である。
第2レンズアレイ130は、重畳レンズ150とともに、第1レンズアレイ120の各第1小レンズ122の像を液晶パネルの画像形成領域近傍に結像させる機能を有する。第2レンズアレイ130は、第1レンズアレイ120と略同様な構成を有し、複数の第2小レンズ132が照明光軸100axに直交する面内に複数行・複数列のマトリクス状に配列された構成を有する。
偏光変換素子140は、第1レンズアレイ120により分割された各部分光束の偏光方向を、偏光方向の揃った略1種類の直線偏光として射出する偏光変換素子である。
偏光変換素子140は、光源装置110からの照明光束のうち一方の偏光成分(例えばP偏光成分)を有する光を透過し他方の偏光成分(例えばS偏光成分)を有する光を照明光軸100axに垂直な方向に反射する偏光分離層と、偏光分離層で反射された他方の偏光成分を有する光を照明光軸100axに平行な方向に反射する反射層と、偏光分離層を透過した一方の偏光成分を有する光を他方の偏光成分を有する光に変換する位相差板とを有する。
偏光変換素子140は、光源装置110からの照明光束のうち一方の偏光成分(例えばP偏光成分)を有する光を透過し他方の偏光成分(例えばS偏光成分)を有する光を照明光軸100axに垂直な方向に反射する偏光分離層と、偏光分離層で反射された他方の偏光成分を有する光を照明光軸100axに平行な方向に反射する反射層と、偏光分離層を透過した一方の偏光成分を有する光を他方の偏光成分を有する光に変換する位相差板とを有する。
重畳レンズ150は、第1レンズアレイ120、第2レンズアレイ130及び偏光変換素子140を経た複数の部分光束を集光して液晶パネルの画像形成領域近傍に重畳させるための光学素子である。重畳レンズ150の光軸と照明装置100の照明光軸100axとが略一致するように、重畳レンズ150が配置されている。なお、重畳レンズ150は、複数のレンズを組み合わせた複合レンズで構成されていてもよい。
色分離光学系200は、ダイクロイックミラー210,220と、反射ミラー230,240,250と、入射側レンズ260と、リレーレンズ270とを有する。色分離光学系200は、重畳レンズ150から射出される照明光束を、赤色光、緑色光及び青色光の3つの色光に分離して、それぞれの色光を照明対象となる3つの液晶光変調装置400R,400G,400Bに導く機能を有する。
ダイクロイックミラー210,220は、基板上に所定の波長領域の光束を反射し、他の波長領域の光束を透過する波長選択膜が形成された光学素子である。光路前段に配置されるダイクロイックミラー210は、赤色光成分を反射し、その他の色光成分を透過させるミラーである。光路後段に配置されるダイクロイックミラー220は、緑色光成分を反射し、青色光成分を透過させるミラーである。
ダイクロイックミラー210で反射された赤色光成分は、反射ミラー230により曲折され、集光レンズ300Rを介して赤色光用の液晶光変調装置400Rに入射する。集光レンズ300Rは、重畳レンズ150からの各部分光束を各主光線に対して略平行な光束に変換するために設けられている。なお、他の集光レンズ300G,300Bも、集光レンズ300Rと同様に構成されている。
ダイクロイックミラー210を通過した緑色光成分及び青色光成分のうち緑色光成分は、ダイクロイックミラー220で反射され、集光レンズ300Gを通過して緑色光用の液晶光変調装置400Gに入射する。一方、青色光成分は、ダイクロイックミラー220を透過し、入射側レンズ260、入射側の反射ミラー240、リレーレンズ270、射出側の反射ミラー250及び集光レンズ300Bを通過して青色光用の液晶光変調装置400Bに入射する。入射側レンズ260、リレーレンズ270及び反射ミラー240,250は、ダイクロイックミラー220を透過した青色光成分を液晶光変調装置400Bまで導く機能を有する。
液晶光変調装置400R,400G,400Bは、画像情報に応じて照明光束を変調するものであり、照明装置100の照明対象となる。
液晶光変調装置400R,400G,400Bは、ここでは図示による説明を省略するが、液晶パネルと、液晶パネルの光入射側に配置される入射側偏光板と、液晶パネルの光射出側に配置される射出側偏光板とを有する。
液晶光変調装置400R,400G,400Bは、ここでは図示による説明を省略するが、液晶パネルと、液晶パネルの光入射側に配置される入射側偏光板と、液晶パネルの光射出側に配置される射出側偏光板とを有する。
液晶パネルは、一対の透明なガラス基板(対向基板とTFT基板)に電気光学物質である液晶を密閉封入したものであり、TN型の液晶パネルである。例えば、ポリシリコンTFTをスイッチング素子として、与えられた画像情報に従って、入射側偏光板から射出される1種類の直線偏光の偏光方向を変調する。
入射側偏光板、液晶パネル及び射出側偏光板によって入射する各色光の光変調が行われる。
クロスダイクロイックプリズム500は、射出側偏光板から射出された各色光毎に変調された光学像を合成してカラー画像を形成する光学素子である。このクロスダイクロイックプリズム500は、4つの直角プリズムを貼り合わせた平面視略正方形状をなし、直角プリズム同士を貼り合わせた略X字状の界面には、誘電体多層膜が形成されている。略X字状の一方の界面に形成された誘電体多層膜は、青色光を反射するものであり、他方の界面に形成された誘電体多層膜は、赤色光を反射するものである。これらの誘電体多層膜によって青色光及び赤色光は曲折され、緑色光の進行方向と揃えられることにより、3つの色光が合成される。
クロスダイクロイックプリズム500から射出されたカラー画像は、投写光学系600によって拡大投写され、スクリーンSCR上で大画面画像を形成する。
次に、実施形態1に係る発光管の製造方法について、図2及び図3を用いて説明する。
図2は、実施形態1に係る発光管の製造方法を説明するために示す図である。図2(a)〜図2(d)は各工程を模式的に示す図であって、図2(a)は発光管準備工程における発光管20の側面図であり、図2(b)は発光管準備工程における発光管20の断面図であり、図2(c)は光学薄膜形成工程において発光管20に電流を流した様子を示す図であり、図2(d)は光学薄膜形成工程終了後の発光管1を示す側面図である。
図3は、成膜装置700を説明するために示す図である。
図2は、実施形態1に係る発光管の製造方法を説明するために示す図である。図2(a)〜図2(d)は各工程を模式的に示す図であって、図2(a)は発光管準備工程における発光管20の側面図であり、図2(b)は発光管準備工程における発光管20の断面図であり、図2(c)は光学薄膜形成工程において発光管20に電流を流した様子を示す図であり、図2(d)は光学薄膜形成工程終了後の発光管1を示す側面図である。
図3は、成膜装置700を説明するために示す図である。
実施形態1に係る発光管の製造方法は、上述の発光管1を製造するための方法であって、「発光管準備工程」及び「光学薄膜形成工程」が順次実施される。以下、これら各工程を順次説明する。
1.発光管準備工程
まず、管球部30の外面に光学薄膜が形成される前の発光管20を準備する。発光管20は、図2(b)に示すように、一対の電極42,52を内蔵する管球部30と、管球部30の両側に延びる一対の封止部40,50と、一対の封止部40,50内にそれぞれ封止された一対の金属箔44,54と、一対の金属箔44,54にそれぞれ電気的に接続された一対のリード線46,56とを有する。
まず、管球部30の外面に光学薄膜が形成される前の発光管20を準備する。発光管20は、図2(b)に示すように、一対の電極42,52を内蔵する管球部30と、管球部30の両側に延びる一対の封止部40,50と、一対の封止部40,50内にそれぞれ封止された一対の金属箔44,54と、一対の金属箔44,54にそれぞれ電気的に接続された一対のリード線46,56とを有する。
なお、発光管20の構成要素の条件等を例示的に示すと、管球部30及び封止部40,50は、例えば石英ガラス製であり、管球部30内には、水銀、希ガス及び少量のハロゲンが封入されている。電極42,52は、例えばタングステン電極であり、金属箔44,54は、例えばモリブデン箔である。リード線46,56は、例えばモリブデン又はタングステンから構成されている。
また、発光管20としては、高輝度発光する種々の発光管を採用でき、例えば高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等を採用できる。
また、発光管20としては、高輝度発光する種々の発光管を採用でき、例えば高圧水銀ランプ、超高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ等を採用できる。
2.光学薄膜形成工程
次に、成膜装置700内に発光管20をセットして、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)法により管球部30の外面に光学薄膜としての反射防止膜60を形成する。
次に、成膜装置700内に発光管20をセットして、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)法により管球部30の外面に光学薄膜としての反射防止膜60を形成する。
成膜装置700は、発光管20における管球部30の外面に光学薄膜を形成するための装置であって、図3に示すように、チャンバ710と、ガス供給口712と、ガス排出口714と、チャンバ710内において発光管20を保持する保持部716(図示せず。)と、チャンバ710内に配置された発光管20に電流を流すための電源部720とを備える。電源部720は、発光管20に流す電流を調整する機能も有する。
光学薄膜形成工程を具体的に説明すると、まず、保持部716によってチャンバ710内に発光管20を一対の封止部40,50が略水平となるようにを配置し、電源部720と発光管20とを接続した後、電源部720から発光管20に電流を流して発光管20を点灯させ、管球部30を所定温度(管球部30の外面に反射防止膜60が形成される温度)まで昇温させる。このとき、管球部30における一対の封止部40,50の中心軸70に対して下側の頂点部分34の温度が、反射防止膜60の原料ガスの分解温度以上となるように、管球部30を昇温させている。
次に、原料ガス及び酸化性ガスをガス供給口712からチャンバ710内に供給する。このとき、窒素やアルゴンなどのキャリアガスを用いてもよい。酸化タンタル(Ta2O5)と酸化シリコン(SiO2)との多層膜で構成された反射防止膜60を形成するための原料ガスとしては、Taを含むアルコキシド及びSiを含むアルコキシドを用いることができる。酸化性ガスとしては、例えば、酸素やオゾンなどを用いることができる。
これらのガスを所定のタイミングで切り替えながらチャンバ710内に供給することによって、管球部30の外面を覆うように反射防止膜60が形成される(図2(d)参照。)。なお、電源部720は、原料ガスの種類にあわせて発光管20に流す電流を調整してもよい。
以上の工程を実施することにより、図1に示す発光管1(管球部30の外面に反射防止膜60が形成された発光管1)を製造することができる。
このように、実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、発光管20に電流を流すことにより(発光管20を点灯させることにより)管球部30の温度を所定温度まで昇温させることとしているため、発光管自身を熱源とすることが可能となる。その結果、従来よりもエネルギーの省力化を図ることが可能となる。
また、実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、外部熱源(発光管を外部から加熱するための加熱装置)が不要となるため、光学薄膜(反射防止膜60)を形成するための装置の簡素化を図ることができるとともに、発光管の製造コストの低廉化を図ることが可能となる。
また、実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、発光管自身を熱源として管球部30の温度を所定温度まで昇温させているため、外部熱源を用いた場合(従来の発光管の製造方法)に比べて、管球部の温度管理が容易となる。その結果、管球部の外面に従来よりも均一な膜を形成することが可能となる。
ところで、光学薄膜の原料ガスとしては、光学薄膜の用途(保温用、反射用など)等に応じて種々の原料ガスが使い分けられているが、膜付けに最適な温度範囲は原料ガスによってそれぞれ違いがある。
実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、発光管20に流す電流を調整することによって管球部30の温度を容易に調整することが可能となるため、用いる原料ガスにとっての最適な温度範囲となるように、管球部30の温度を調整することが可能となる。つまり、実施形態1に係る発光管の製造方法は、種々の原料ガスに対応可能な発光管の製造方法であるといえる。
実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、発光管20に流す電流を調整することによって管球部30の温度を容易に調整することが可能となるため、用いる原料ガスにとっての最適な温度範囲となるように、管球部30の温度を調整することが可能となる。つまり、実施形態1に係る発光管の製造方法は、種々の原料ガスに対応可能な発光管の製造方法であるといえる。
実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、管球部30における一対の封止部40,50の中心軸70に対して下側の頂点部分34を含む領域(管球部30の下半球)の温度が、反射防止膜60の原料ガスの分解温度以上となるように、管球部30の温度を所定温度まで昇温させることとしているため、管球部30の下半球に反射防止膜60を形成することが可能となる。なお、管球部30における一対の封止部40,50の中心軸70に対して上側の頂点部分32を含む領域(管球部30の上半球)の温度については、管球部30の下半球の温度よりも高温であることから、必然的に反射防止膜60の原料ガスの分解温度以上となり、管球部30の上半球にも反射防止膜60を形成することが可能となる。すなわち、実施形態1に係る発光管の製造方法によれば、管球部30の全面に反射防止膜60を形成することが可能となる。
実施形態1に係る光源装置110は、実施形態1に係る発光管の製造方法によって製造された発光管1を備えるため、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れた光源装置となる。
実施形態1に係るプロジェクタ1000は、実施形態1に係る光源装置110を備えるため、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れたプロジェクタとなる。
[実施形態2]
図4は、実施形態2に係るプロジェクタ1002を説明するために示す図である。図4(a)はプロジェクタ1002の光学系を示す図であり、図4(b)は光源装置112を側面から見たときの断面図である。
なお、図4において、図1と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
図4は、実施形態2に係るプロジェクタ1002を説明するために示す図である。図4(a)はプロジェクタ1002の光学系を示す図であり、図4(b)は光源装置112を側面から見たときの断面図である。
なお、図4において、図1と同一の部材については同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
実施形態2に係る光源装置112及びプロジェクタ1002は、基本的には実施形態1に係る光源装置110及びプロジェクタ1000と同様の構成を有するが、発光管の構成が、実施形態1に係る光源装置110及びプロジェクタ1000とは異なる。
実施形態2に係るプロジェクタ1002においては、図4に示すように、発光管2は、光学薄膜として、反射防止膜に代えて、保温膜62を有する。保温膜62は、可視光を透過し、紫外光を吸収する機能を有する。保温膜62は、例えば、酸化亜鉛(ZnO)からなる。
ところで、上述したように、従来の発光管においては、管球部における上側の頂点部分の温度が高くなり易いこと及び管球部における上側の頂点部分の温度と管球部における下側の頂点部分の温度との温度差が大きいことに起因して、発光管の長寿命化を図ることが容易ではないという問題があるが、実施形態2における発光管2においては、管球部30の下半球に保温膜62が形成されているため、管球部30における上側の頂点部分32の温度と管球部30における下側の頂点部分34の温度との温度差を小さくすることが可能となる。このため、管球部30における上側の頂点部分32の温度を所定温度以下まで冷却した場合であっても、管球部30における下側の頂点部分34が必要以上に冷却されてしまうのを抑制することが可能となる。その結果、黒化による発光管の光量低下や発光管の破損の発生を抑制することが可能となる。
次に、実施形態2に係る発光管の製造方法について、図5を用いて説明する。
図5は、実施形態2に係る発光管の製造方法を説明するために示す図である。図5(a)〜図5(e)は各工程を模式的に示す図であって、図5(a)は発光管準備工程における発光管20の側面図であり、図5(b)は発光管準備工程における発光管20の断面図であり、図5(c)は光学薄膜形成工程において発光管20に電流を流した様子を示す図であり、図5(d)は光学薄膜形成工程終了後の発光管2を示す側面図であり、図5(e)は発光管2の上下を反転させた様子を示す図である。
図5は、実施形態2に係る発光管の製造方法を説明するために示す図である。図5(a)〜図5(e)は各工程を模式的に示す図であって、図5(a)は発光管準備工程における発光管20の側面図であり、図5(b)は発光管準備工程における発光管20の断面図であり、図5(c)は光学薄膜形成工程において発光管20に電流を流した様子を示す図であり、図5(d)は光学薄膜形成工程終了後の発光管2を示す側面図であり、図5(e)は発光管2の上下を反転させた様子を示す図である。
実施形態2に係る発光管の製造方法は、上述の発光管2を製造するための方法であって、「発光管準備工程」及び「光学薄膜形成工程」が順次実施される。以下、これら各工程を順次説明する。
1.発光管準備工程
まず、管球部30の外面に光学薄膜が形成される前の発光管20を準備する(図5(a)及び図5(b)参照。)。発光管20は、実施形態1で説明したものと同様である。
まず、管球部30の外面に光学薄膜が形成される前の発光管20を準備する(図5(a)及び図5(b)参照。)。発光管20は、実施形態1で説明したものと同様である。
2.光学薄膜形成工程
次に、図3に示した成膜装置700内に発光管20をセットして、熱CVD法により管球部30の外面に光学薄膜としての保温膜62を形成する。
次に、図3に示した成膜装置700内に発光管20をセットして、熱CVD法により管球部30の外面に光学薄膜としての保温膜62を形成する。
具体的には、電源部720(図3参照。)から発光管20に電流を流して発光管20を点灯させ(図5(c)参照。)、管球部30を所定温度まで昇温させる。このとき、管球部30における一対の封止部40,50の中心軸70に対して下側の頂点部分34(管球部30の下半球)の温度が、保温膜62の原料ガスの分解温度よりも低く、かつ、管球部30における一対の封止部40,50の中心軸70に対して上側の頂点部分32(管球部30の上半球)の温度が、保温膜62の原料ガスの分解温度以上となるように、管球部30を昇温させている。
このように管球部30を昇温させることにより、図5(d)に示すように、管球部30の上半球に保温膜62を形成することが可能となる。このようにして管球部30の上半球に保温膜を形成した後で発光管2の上下を反転させることにより、図5(e)に示すように、管球部30の下半球に保温膜62が形成された発光管2を製造することが可能となる。
以上のように、実施形態2に係る発光管の製造方法によれば、発光管20に電流を流すことにより(発光管20を点灯させることにより)管球部30の温度を所定温度まで昇温させることとしているため、発光管自身を熱源とすることが可能となる。その結果、従来よりもエネルギーの省力化を図ることが可能となる。
したがって、実施形態2に係る発光管の製造方法は、実施形態1に係る発光管の製造方法と同様に、熱CVD法によって管球部の外面に光学薄膜を形成する場合においても、エネルギーの省力化を図ることが可能な発光管の製造方法となる。
また、実施形態2に係る発光管の製造方法によれば、外部熱源(発光管を外部から加熱するための加熱装置)が不要となるため、光学薄膜(保温膜62)を形成するための装置の簡素化を図ることができるとともに、発光管の製造コストの低廉化を図ることが可能となる。
また、実施形態2に係る発光管の製造方法によれば、発光管自身を熱源として管球部30の温度を所定温度まで昇温させているため、外部熱源を用いた場合(従来の発光管の製造方法)に比べて、管球部の温度管理が容易となる。その結果、管球部の外面に従来よりも均一な膜を形成することが可能となる。
実施形態2に係る発光管の製造方法によれば、保温膜62を形成する際に上記のようにして管球部30を昇温させた後、発光管2の上下を反転させることにより、管球部30の下半球に保温膜62が形成された発光管2を製造することが可能となる。発光管2をプロジェクタ1002に用いることにより、黒化による発光管の光量低下や発光管の破損の発生を抑制することが可能となる。
すなわち、実施形態2に係る発光管の製造方法は、長寿命化を図ることが可能な発光管2を、比較的容易に製造することが可能な発光管の製造方法であるといえる。
すなわち、実施形態2に係る発光管の製造方法は、長寿命化を図ることが可能な発光管2を、比較的容易に製造することが可能な発光管の製造方法であるといえる。
実施形態2に係る光源装置112は、実施形態2に係る発光管の製造方法によって製造された発光管2を備えるため、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れた光源装置となる。
実施形態2に係るプロジェクタ1002は、実施形態2に係る光源装置112を備えるため、従来よりも製造コストが安価で、管球部の外面に従来よりも均一な膜が形成された発光管を備える優れたプロジェクタとなる。
以上、本発明の発光管の製造方法及びプロジェクタを上記の各実施形態に基づいて説明したが、本発明は上記の各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の態様において実施することが可能であり、例えば次のような変形も可能である。
(1)上記各実施形態においては、光学薄膜が反射防止膜及び保温膜である場合を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、他の光学薄膜(例えば反射膜)を形成する場合にも適用可能である。
(2)上記実施形態1においては、反射防止膜として、酸化タンタル(Ta2O5)と酸化シリコン(SiO2)との多層膜で構成された反射防止膜60を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、高屈折率層が酸化チタン(TiO2)又は酸化ジルコニウム(ジルコニア・ZrO2)からなり、低屈折率層がフッ化マグネシウム(MgF2)又は酸化アルミニウム(アルミナ・Al2O3)からなる反射防止膜であってもよいし、他の材料からなる反射防止膜であってもよい。
(3)上記実施形態2においては、保温膜として、酸化亜鉛(ZnO2)からなる保温膜62を例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、酸化チタン(TiO2)、酸化ジルコニウム(ジルコニア・ZrO2)、酸化ニオブ(Nb2O5)、チタン酸ストロンチウム(SrTiO3)からなる保温膜であってもよいし、他の材料からなる保温膜であってもよい。なお、保温膜は、実施形態1に係る発光管の製造方法を用いて、管球部の外面全面に形成してもよい。
(4)上記各実施形態においては、リフレクタとして、楕円面リフレクタを用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、放物面リフレクタも好ましく用いることができる。
(5)上記各実施形態においては、光均一化光学系として、レンズアレイからなるレンズインテグレータ光学系を用いたが、本発明はこれに限定されるものではなく、ロッド部材からなるロッドインテグレータ光学系をも好ましく用いることができる。
(6)上記各実施形態に係るプロジェクタ1000,1002は透過型のプロジェクタであるが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明は反射型のプロジェクタにも適用することが可能である。ここで、「透過型」とは、透過型の液晶装置等のように光変調手段としての電気光学変調装置が光を透過するタイプであることを意味しており、「反射型」とは、反射型の液晶装置等のように光変調手段としての電気光学変調装置が光を反射するタイプであることを意味している。反射型のプロジェクタにこの発明を適用した場合にも、透過型のプロジェクタと同様の効果を得ることができる。
(7)上記各実施形態においては、3つの液晶光変調装置400R,400G,400Bを用いたプロジェクタを例示して説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、1つ、2つ又は4つ以上の液晶光変調装置を用いたプロジェクタにも適用可能である。
(8)上記各実施形態においては、電気光学変調装置として液晶光変調装置を用いたが、本発明はこれに限定されるものではない。電気光学変調装置としては、一般に、画像情報に応じて入射光を変調するものであればよく、マイクロミラー型光変調装置などを利用してもよい。マイクロミラー型光変調装置としては、例えば、DMD(デジタルマイクロミラーデバイス)(TI社の商標)を用いることができる。
(9)本発明は、投写画像を観察する側から投写するフロント投写型プロジェクタに適用する場合にも、投写画像を観察する側とは反対の側から投写するリア投写型プロジェクタに適用する場合にも可能である。
1,2…発光管(管球部の外面に光学薄膜が形成された後の発光管)、10…楕円面リフレクタ、12…開口部、14…反射凹面、20…発光管(管球部の外面に光学薄膜が形成される前の発光管)、30…管球部、32…管球部における上側の頂点部分、34…管球部における下側の頂点部分、40,50…封止部、42,52…電極、44,54…金属箔、46,56…リード線、60…反射防止膜、62…保温膜、70…一対の封止部の中心軸、90…凹レンズ、100,102…照明装置、100ax,102ax…照明光軸、110,112…光源装置、120…第1レンズアレイ、122…第1小レンズ、130…第2レンズアレイ、132…第2小レンズ、140…偏光変換素子、150…重畳レンズ、200…色分離導光光学系、210,220…ダイクロイックミラー、230,240,250…反射ミラー、260…入射側レンズ、270…リレーレンズ、300R,300G,300B…集光レンズ、400R,400G,400B…液晶光変調装置、500…クロスダイクロイックプリズム、600…投写光学系、700…成膜装置、710…チャンバ、712…ガス供給口、714…ガス排出口、720…電源部、1000,1002…プロジェクタ、SCR…スクリーン
Claims (5)
- 一対の電極を内蔵する管球部及び前記管球部の両側に延びる一対の封止部を有する発光管を準備する発光管準備工程と、
熱CVD法により前記管球部の外面に光学薄膜を形成する光学薄膜形成工程とをこの順序で含み、
前記光学薄膜形成工程においては、前記発光管に電流を流すことにより前記管球部を所定温度まで昇温させることを特徴とする発光管の製造方法。 - 請求項1に記載の発光管の製造方法において、
前記光学薄膜形成工程においては、
前記発光管は、前記一対の封止部が略水平となるように配置され、
前記管球部における前記一対の封止部の中心軸に対して下側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となるように、前記管球部を昇温させることを特徴とする発光管の製造方法。 - 請求項1に記載の発光管の製造方法において、
前記光学薄膜形成工程においては、
前記発光管は、前記一対の封止部が略水平となるように配置され、
前記管球部における前記一対の封止部の中心軸に対して下側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度よりも低く、かつ、前記管球部における前記一対の封止部の中心軸に対して上側の頂点部分の温度が、前記光学薄膜の原料ガスの分解温度以上となるように、前記管球部を昇温させることを特徴とする発光管の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の発光管の製造方法によって製造された発光管を備えることを特徴とする光源装置。
- 請求項4に記載の光源装置を備えることを特徴とするプロジェクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007243443A JP2009076289A (ja) | 2007-09-20 | 2007-09-20 | 発光管の製造方法、光源装置及びプロジェクタ |
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JP2007243443A Withdrawn JP2009076289A (ja) | 2007-09-20 | 2007-09-20 | 発光管の製造方法、光源装置及びプロジェクタ |
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JP (1) | JP2009076289A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2011033420A3 (en) * | 2009-09-15 | 2011-06-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp with an anti - reflection layer for improving efficiency |
US11081762B2 (en) | 2017-06-27 | 2021-08-03 | Lg Chem, Ltd. | Electrode assembly and lithium secondary battery including the same |
-
2007
- 2007-09-20 JP JP2007243443A patent/JP2009076289A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2011033420A3 (en) * | 2009-09-15 | 2011-06-16 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Lamp with an anti - reflection layer for improving efficiency |
US11081762B2 (en) | 2017-06-27 | 2021-08-03 | Lg Chem, Ltd. | Electrode assembly and lithium secondary battery including the same |
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