JP2008270074A - ランプおよびその製造装置ならびに製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ランプ、該ランプの製造装置および製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるランプの製造装置1000は、化学的気相成長法によってランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成するランプの製造装置であって、原料収容部10と、原料収容部10から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部20と、ランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部30と、処理ガス生成部20から成膜部30のチャンバ32内に処理ガスを供給する処理ガス供給管46と、チャンバ32内を通過した処理ガスを排出する処理ガス排出管48と、を含む。
【選択図】図1
【解決手段】本発明にかかるランプの製造装置1000は、化学的気相成長法によってランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成するランプの製造装置であって、原料収容部10と、原料収容部10から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部20と、ランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部30と、処理ガス生成部20から成膜部30のチャンバ32内に処理ガスを供給する処理ガス供給管46と、チャンバ32内を通過した処理ガスを排出する処理ガス排出管48と、を含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、ランプおよびその製造装置ならびに製造方法に関する。
従来、例えばプロジェクターなどに用いられる光源ランプとしては、高圧水銀ランプなどが用いられている(例えば特開2005−309372号公報参照)。かかるプロジェクターの光源ランプは、可視光領域が利用されるが、紫外光は利用されないのでできるだけカットされることが望ましい。このように、ランプにおいて、その外壁に紫外線吸収機能などの機能膜を設けることが望ましい場合がある。
特開2005−309372号公報
本発明の目的は、外壁に機能セラミックス膜を有するランプ、当該ランプを形成するための製造装置および製造方法を提供することにある。
本発明にかかるランプは、
発熱を伴う発光部を有するランプ本体と、
前記ランプ本体の少なくとも前記発光部の外壁に形成されたセラミックス膜と、
を含む。
発熱を伴う発光部を有するランプ本体と、
前記ランプ本体の少なくとも前記発光部の外壁に形成されたセラミックス膜と、
を含む。
本発明のランプによれば、ランプ本体の外壁に、特定の特性、例えば後述する失透防止機能を有するセラミックス膜を形成することによって、ランプの寿命を長くすることができる。
本発明のランプにおいて、前記セラミックス膜は、前記ランプ本体の失透防止機能を有することができる。かかる機能を有する前記セラミックス膜は、酸化イットリウム、酸化マグネシウムおよび酸化亜鉛から選択される少なくとも1種であることができる。
本発明のランプにおいて、前記セラミックス膜は、紫外線吸収機能を有することができる。かかる、前記セラミックス膜は、酸化チタンであることができる。
本発明にかかるランプの製造装置は、
化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成するランプの製造装置であって、
原料収容部と、
前記原料収容部から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部と、
前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部と、
前記処理ガス生成部から前記成膜部のチャンバ内に処理ガスを供給する処理ガス供給管と、
前記チャンバ内を通過した処理ガスを排出する処理ガス排出管と、
を含む。
化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成するランプの製造装置であって、
原料収容部と、
前記原料収容部から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部と、
前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部と、
前記処理ガス生成部から前記成膜部のチャンバ内に処理ガスを供給する処理ガス供給管と、
前記チャンバ内を通過した処理ガスを排出する処理ガス排出管と、
を含む。
本発明の製造装置によれば、ランプ本体の発熱による熱を利用して化学的気相成長法によって、ランプ本体の外壁に再現性がよく良好なセラミックス膜を形成することができる。
本発明の製造装置において、前記成膜部は、さらに、前記ランプ本体を保持する保持部を有することができる。
本発明の製造装置において、前記処理ガス生成部は、
間隔を空けて配置された複数のガス室部と、
前記複数のガス室部のそれぞれを連結する複数の連通管と、
前記複数のガス室部および前記複数の連通管を加熱する加熱部と、
を有することができる。
間隔を空けて配置された複数のガス室部と、
前記複数のガス室部のそれぞれを連結する複数の連通管と、
前記複数のガス室部および前記複数の連通管を加熱する加熱部と、
を有することができる。
本発明の製造装置において、前記ガス室部に対して、上下に隣り合う前記複数の連通管は、平面視において、重なっていないことができる。
本発明の製造装置において、前記チャンバは、前記ランプ本体の発熱部を収容することができる。
本発明にかかるランプの製造方法は、
化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する製造方法であって、
前記ランプ本体を製造装置のチャンバ内にセットする工程と、
少なくとも原料を処理ガス生成部に供給する工程と、
前記処理ガス生成部から処理ガスを前記処理ガス供給管によって前記チャンバ内に供給する工程と、
前記チャンバ内に前記処理ガスを流した状態で前記ランプ本体を点灯し、該ランプ本体の熱による化学的気相成長法によって前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する工程と、
前記チャンバを通過した処理ガスを前記処理ガス排出管から排出する工程と、
を含む。
化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する製造方法であって、
前記ランプ本体を製造装置のチャンバ内にセットする工程と、
少なくとも原料を処理ガス生成部に供給する工程と、
前記処理ガス生成部から処理ガスを前記処理ガス供給管によって前記チャンバ内に供給する工程と、
前記チャンバ内に前記処理ガスを流した状態で前記ランプ本体を点灯し、該ランプ本体の熱による化学的気相成長法によって前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する工程と、
前記チャンバを通過した処理ガスを前記処理ガス排出管から排出する工程と、
を含む。
本発明の製造方法において、前記ランプ本体は、前記チャンバ内に複数配列されることができる。
本発明の製造方法において、前記処理ガス生成部は、複数のガス室部を有し、隣り合うガス室部は複数の連通管によって連結され、前記原料のガスは、前記ガス室部および前記連通管を経ることにより、圧縮と衝突を繰り返した状態で混合されることができる。
以下、本発明に好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1.ランプ
まず、本実施形態にかかるランプについて、図2および図3を参照しながら説明する。図2は、被処理体であるランプ本体100を模式的に示す斜視図であり、部分的に断面が示されている。図3は、ランプ100Aを模式的に示す斜視図であり、部分的に断面が示されている。
まず、本実施形態にかかるランプについて、図2および図3を参照しながら説明する。図2は、被処理体であるランプ本体100を模式的に示す斜視図であり、部分的に断面が示されている。図3は、ランプ100Aを模式的に示す斜視図であり、部分的に断面が示されている。
図3に示すように、ランプ100Aは、発熱を伴う発光部150を有するランプ本体100と、ランプ本体100の少なくとも発光部150の外壁に形成されたセラミックス膜112と、を有する。
図2に示すように、被処理体であるランプ本体100は、例えば高圧水銀ランプなどである。かかるランプ本体100は、公知の構成を有することができる。
例えば、ランプ本体100は、ガラス管110と、第1電極130と、第2電極131と、第1端子132と、第2端子133と、内部空間134と、を有する。内部空間134は、第1領域120に形成され、球状に膨らんでいる。この膨らんだ部分が発熱を伴う発光部150を構成する。内部空間134には、例えば、水銀、希ガス、およびハロゲンなどが封入されている。内部空間134内には、第1電極130および第2電極131が配置されている。第1電極130および第2電極131は、放電用の電極である。第1電極130および第2電極131は、例えば、タングステンなどからなることができる。第1電極130は、例えば、第2領域122の内側に密封された金属箔(図示せず)などにより、第1端子132と電気的に接続されている。同様にして、第2電極131は、第2端子133と電気的に接続されている。第1端子132および第2端子133は、電力供給用の端子であり、ガラス管110の両端から引き出されている。
ランプ本体100は、例えば、ガラス管110内のプラズマ輻射により放出される光を用いるデバイス(例えばプロジェクターランプ)などに適用されることができる。また、ランプ本体100は、高圧水銀ランプに限定されず、例えば、メタルハライドランプ、キセノンランプなどでも良い。
本実施形態においては、ランプ100Aを構成するセラミックス膜112は、その機能に応じて、発光部150(第1領域120)の外壁のみならず、第2領域122におけるガラス管110の外壁も覆うことができる。また、セラミックス膜112は、1層構造あるいは2層以上の多層構造でもよい。
また、セラミックス膜112は、その機能によって材質が選択される。例えば、セラミックス膜112としては、失透防止機能や紫外線吸収機能を有するセラミックス膜を用いることができる。
失透防止機能を有するセラミックス膜は、酸化イットリウム、酸化マグネシウムおよび酸化亜鉛から選択される少なくとも1種であることができる。紫外線吸収機能を有するセラミックス膜は、酸化チタンであることができる。
セラミックス膜112が失透防止機能を有することにより、ランプの透明度が低下する失透を抑制することができ、ランプの長寿命を図ることができる。また、セラミックス膜112が紫外線吸収機能を有する場合には、本実施形態にかかるランプ100Aは、発光部150から照射される光のうちの紫外線を吸収するので、可視光のみを有効に利用できる。紫外線をセラミックス膜112によって吸収することにより、人体に有害な影響を与えることがある紫外線の放射を抑制できる。
本実施形態にかかるランプ100Aは、失透防止機能や紫外線吸収機能を有するセラミックス膜112に限定されず、他の機能を有するセラミックス膜を有することができる。
2.製造装置
本実施形態に係るランプの製造装置の一例について、図1を参照しながら説明する。図1は、本実施形態にかかる製造装置1000の概略図である。
本実施形態に係るランプの製造装置の一例について、図1を参照しながら説明する。図1は、本実施形態にかかる製造装置1000の概略図である。
ランプの製造装置1000は、熱CVD(Chemical Vapor Deposition)法によってランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成する製造装置である。製造装置1000は、原料収容部10と、原料収容部10から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部20と、ランプ本体100の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部30と、処理ガス供給管46と、処理ガス排出管48とを有する。処理ガス供給管46は、処理ガス生成部20から成膜部30のチャンバ32内に処理ガスを供給する。処理ガス排出管48は、成膜部30のチャンバ32を通過した処理ガスを排出する。
原料収容部10には、成膜されるセラミックス膜によって各種の原料が収容される。例えば、セラミックス膜をMOCVDによって形成する場合には、原料収容部10にはセラミックス膜の前駆体材料として有機金属化合物の溶液が収容される。
原料収容部10には、窒素、アルゴンなどのキャリアガスを供給するためのキャリアガス供給管40が接続されている。原料収容部10と処理ガス生成部20とは、原料を処理ガス生成部20に供給するための原料供給管42によって接続されている。また、処理ガス生成部20には、酸化性ガス、例えば酸素、オゾンなどを供給するための酸化性ガス供給管44が接続されている。図示の例では、酸化性ガス供給管44は、処理ガス生成部20に接続されているが、処理ガス供給管46に接続されていてもよい。
処理ガス生成部20で形成された処理ガスは、処理ガス供給管46によって成膜部30のチャンバ32に供給される。
成膜部30は、被処理体である複数のランプ本体100を収容するチャンバ32を有する。チャンバ32は、複数のランプ本体100を収容しかつ保持することができれば、構造は特に限定されない。図示の例の場合、チャンバ32は、ランプ本体100の少なくとも発光部(発熱部)150が密閉されていればよい。図示の例では、チャンバ32の外壁によってランプ本体100が支持されている。チャンバ32におけるランプ本体100の支持手段および密閉手段としては、公知の方法を用いることができる。チャンバ32内では、処理ガスがランプ本体100の周囲を円滑に流れるように構成される。また、チャンバ32は、当該チャンバ32内で、処理ガスの温度が断熱膨張でできるだけ低下しないように、必要最小限の体積を持つように形成されることができる。例えば、チャンバ32は、処理ガスの流路が直線的になるようなパイプ状に形成されることができる。
なお、図1に示す例では、図示されていないが、必要に応じて、チャンバ32を加熱する加熱部を有することができる。
本実施形態では、図4に示す処理ガス生成部20を用いることができる。
処理ガス生成部20は、複数のガス室部24と、複数の連通管25と、導入部26と、加熱部28と、を有する。
複数のガス室部24は、図4に示す例では、7段に形成されているが、この数は特に限定されず、必要に応じて増減可能である。複数の連通管25は、これら複数のガス室部24のそれぞれを連結している。各段に配置される連通管25の数は、特に限定されず、必要に応じて増減可能である。図5に示すように、ガス室部24に対して、上下に隣り合う複数の連通管25は、平面視において、重なっていないことができる。また、ガス室部24に対して、上下に隣り合う複数の連通管25は、平面視において、位置をずらして配置されていることができる。図示の例では、平面視において、ガス室部24の中心に対して、45度ずらして配置されている。なお、図5は、処理ガス生成部20の要部を模式的に示す斜視図であり、便宜上、部材の数、サイズなどを簡略化して示している。ガス室部24は、図示のように、例えば、平たい円柱管であることができる。また、連通管25は、図示のように、例えば、細長い円柱管であることができる。ガス室部24の平面視における径は、図示のように、連通管25の平面視における径よりも大きい。なお、ガス室部24および連通管25の形状や大きさなどは、図示の例に限定されるわけではなく、必要に応じて変更可能である。
導入部26には、原料および酸素ガスなどの処理ガスに必要なガスが導入される。導入部26は、図示のように、例えば、円柱管であることができる。加熱部28は、複数のガス室部24および複数の連通管25を加熱することができる。
なお、ガス室部24および連通管25は、例えば、図6に示すような形状および配置とすることもできる。図6は、処理ガス生成部20の要部の変形例を模式的に示す斜視図であり、便宜上、部材の数、サイズなどを簡略化して示している。ガス室部24は、図示のように、例えば、環状管であることができる。ガス室部24の平面視における外径は、図示のように、連通管25の平面視における径よりも大きい。図示の例では、ガス室部24に対して、上下に隣り合う複数の連通管25は、平面視において、ガス室部24の中心に対して、45度ずらして配置されている。最上段のガス室部24は、複数(図示の例では6つ)の接続管37によって、導入部26と連結されている。導入部26は、図示のように、例えば、下側が閉じている円柱管であることができる。接続管27は、平面視において、導入部26を中心として放射状に配置されている。なお、この変形例は一例であって、これに限定されるわけではない。
このような処理ガス生成部20においては、原料ガスと酸化性ガスとが導入部26に供給される。原料ガスは、キャリアガス供給管40から供給されるキャリアガスによって、原料収容部10から原料供給管42を介して供給される。酸化性ガスは、酸化性ガス供給管44を介して供給される。導入部26内のガスは、最上段に配置されたガス室部24に供給される。この際、導入部26から噴射されたガスは、ガス室部24の底面に衝突して拡散する。そして、ガスは、最上段のガス室部24に連結された複数の連通管25を介して、圧縮された状態でその下段に配置されたガス室部24に供給される。この際にも、複数の連通管25から噴射されたガスは、ガス室部24の底面に衝突して拡散する。このようにして、導入部26に導入されたガスは、最上段のガス室部24から最下段のガス室部24まで、ガス室部24の底面での衝突と連通管25での圧縮を繰り返して流れていくことができる。
ガス室部24および連通管25は、加熱部28によって加熱されており、内部を流れるガスも加熱される。最上段のガス室部24から最下段のガス室部24まで流れたガスは、活性な酸化性および反応性を有する処理ガスとして、処理ガス供給管46に供給される。
本実施形態にかかる製造装置によれば、以下の特徴を有する。
図1に示すように、成膜に用いられる処理ガスは、処理ガス生成部20から被処理体であるランプ本体100がセットされたチャンバ32内に供給され、当該ランプ本体100の外壁に熱CVD法によってセラミックス膜112が形成される。
本実施形態で特徴的なことは、成膜部30では、ランプ本体100の発熱による熱を利用した熱CVDによりセラミックス膜112が形成される。したがって、セラミックス膜112は、発熱部(発光部)150の表面に自己整合的に形成される。このようにして形成されたセラミックス膜112は、ランプ本体100の発光部150の温度に依存して形成されので、被処理体であるランプ本体100の発熱量に応じて再現性の良い良好なセラミックス膜112を得ることができる。そして、熱CVDは、ランプ本体100の発熱によって行われることから、チャンバ32の温度制御が容易となる。このように本実施形態では、熱CVDで特に重要な温度制御が容易となり、しかもチャンバ32の加熱に要するエネルギーが少なくても、良好なセラミックス膜を形成することができる。
本実施形態では、ランプ本体100がセットされるチャンバ32は、例えばパイプ状をなし、一般的なCVD装置におけるチャンバに比べて体積が小さくすることができる。その結果、チャンバ32内での断熱膨張による処理ガス温度の低下を格段に少なくできる。この点からも、チャンバ32の温度制御が容易で、しかも低エネルギーで成膜が可能となる。
本実施形態では、成膜部30において、被処理体であるランプ本体100を複数配置すれば、複数のランプ本体100を同時に処理できる。
さらに、本実施形態では、処理ガス生成部20として、上述した複数のガス室部24と連通管25とを有する装置(図4参照)を用いた場合には、活性な反応性を有する処理ガスを得ることができるので、通常の熱CVD法を用いた場合に比べてより低温で良質のセラミックス膜112を得ることができる。
3.製造方法
次に、図1ないし図3を参照して、ランプ100Aの製造方法について説明する。本実施形態においては、製造装置1000を用いて、以下のようにランプ本体100の外壁にセラミックス膜112が形成される。
(A) 被処理体である複数のランプ本体100を成膜部30のチャンバ32にセットする。本実施形態では、ランプ本体100の発光部150が少なくともチャンバ32内に位置するようにセットされる。
(B) 原料収容部10から、原料供給管42を介して、窒素、アルゴンなどのキャリアガスによって原料、例えば有機金属化合物を処理ガス生成部20に供給するとともに、酸化性ガス供給管44を介して酸化性ガスを処理ガス生成部20に供給する。処理ガス生成部20によって、原料ガスと酸化性ガスを含む処理ガスが形成される。上述した図4に示す処理ガス生成部20を用いることにより、処理ガスは活性な酸化性および反応性を有する。
(C) 処理ガス生成部20から処理ガス供給管46を経て、処理ガスを成膜部30のチャンバ32内に供給する。このとき、チャンバ32として図1に示すような細いパイプ状のものを用いることにより、一般的なCVD装置のように被処理体よりかなり体積が大きいチャンバに比べて、処理ガスは無駄なく利用され、しかも断熱膨張による処理ガス温度の低下を格段に少なくできる。
(D) ランプ本体100に電力を供給してこれを発光させ、発光部150から熱を発生させる。このように処理ガスの存在下で発光部150から熱を発生させることにより、熱CVDによってランプ本体100の外壁にセラミックス膜112を形成する。そして、上述したように、チャンバ32は、一般的なCVD装置におけるチャンバに比べて体積が小さく、断熱膨張による処理ガス温度の低下を格段に少なくできることから、温度制御が容易で、しかもチャンバ32の加熱に要するエネルギーが少ない状態で良好なセラミックス膜112を形成することができる。
(E) チャンバ32を通過した処理ガスは、処理ガス排出管48から排出される。
次に、図1ないし図3を参照して、ランプ100Aの製造方法について説明する。本実施形態においては、製造装置1000を用いて、以下のようにランプ本体100の外壁にセラミックス膜112が形成される。
(A) 被処理体である複数のランプ本体100を成膜部30のチャンバ32にセットする。本実施形態では、ランプ本体100の発光部150が少なくともチャンバ32内に位置するようにセットされる。
(B) 原料収容部10から、原料供給管42を介して、窒素、アルゴンなどのキャリアガスによって原料、例えば有機金属化合物を処理ガス生成部20に供給するとともに、酸化性ガス供給管44を介して酸化性ガスを処理ガス生成部20に供給する。処理ガス生成部20によって、原料ガスと酸化性ガスを含む処理ガスが形成される。上述した図4に示す処理ガス生成部20を用いることにより、処理ガスは活性な酸化性および反応性を有する。
(C) 処理ガス生成部20から処理ガス供給管46を経て、処理ガスを成膜部30のチャンバ32内に供給する。このとき、チャンバ32として図1に示すような細いパイプ状のものを用いることにより、一般的なCVD装置のように被処理体よりかなり体積が大きいチャンバに比べて、処理ガスは無駄なく利用され、しかも断熱膨張による処理ガス温度の低下を格段に少なくできる。
(D) ランプ本体100に電力を供給してこれを発光させ、発光部150から熱を発生させる。このように処理ガスの存在下で発光部150から熱を発生させることにより、熱CVDによってランプ本体100の外壁にセラミックス膜112を形成する。そして、上述したように、チャンバ32は、一般的なCVD装置におけるチャンバに比べて体積が小さく、断熱膨張による処理ガス温度の低下を格段に少なくできることから、温度制御が容易で、しかもチャンバ32の加熱に要するエネルギーが少ない状態で良好なセラミックス膜112を形成することができる。
(E) チャンバ32を通過した処理ガスは、処理ガス排出管48から排出される。
以上のようにして、外壁にセラミックス膜112が形成されたランプ100Aを得ることができる。
本実施形態の製造方法によっても、上述した製造装置で述べたと同様な特徴を有する。
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。従って、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
10 原料収容部、20 処理ガス生成部、24 ガス室部、25 連通管、30 成膜部、32 チャンバ、40 キャリアガス供給管、42 原料供給管、44 酸化性ガス供給管、46 処理ガス供給管、48 処理ガス排出管、100 ランプ本体、150 発光部、100A ランプ、1000 製造装置
Claims (13)
- 発熱を伴う発光部を有するランプ本体と、
前記ランプ本体の少なくとも前記発光部の外壁に形成されたセラミックス膜と、
を含む、ランプ。 - 請求項1において、
前記セラミックス膜は、前記ランプ本体の失透防止機能を有する、ランプ。 - 請求項1において、
前記セラミックス膜は、紫外線吸収機能を有する、ランプ。 - 請求項2において、
前記セラミックス膜は、酸化イットリウム、酸化マグネシウムおよび酸化亜鉛から選択される少なくとも1種である、ランプ。 - 請求項3において、
前記セラミックス膜は、酸化チタンである、ランプ。 - 化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成するランプの製造装置であって、
原料収容部と、
前記原料収容部から供給された原料を含む処理ガスを形成する処理ガス生成部と、
前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する成膜部と、
前記処理ガス生成部から前記成膜部のチャンバ内に処理ガスを供給する処理ガス供給管と、
前記チャンバ内を通過した処理ガスを排出する処理ガス排出管と、
を含む、ランプの製造装置。 - 請求項6において、
前記成膜部は、さらに、前記ランプ本体を保持する保持部を有する、ランプの製造装置。 - 請求項6または7において、
前記処理ガス生成部は、
間隔を空けて配置された複数のガス室部と、
前記複数のガス室部のそれぞれを連結する複数の連通管と、
前記複数のガス室部および前記複数の連通管を加熱する加熱部と、
を有する、ランプの製造装置。 - 請求項8において、
前記ガス室部に対して、上下に隣り合う前記複数の連通管は、平面視において、重なっていない、ランプの製造装置。 - 請求項6ないし9のいずれかにおいて、
前記チャンバは、前記ランプ本体の発熱部を収容する、ランプの製造装置。 - 化学的気相成長法によってランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する製造方法であって、
前記ランプ本体を製造装置のチャンバ内にセットする工程と、
少なくとも原料を処理ガス生成部に供給する工程と、
前記処理ガス生成部から処理ガスを前記処理ガス供給管によって前記チャンバ内に供給する工程と、
前記チャンバ内に前記処理ガスを流した状態で前記ランプ本体を点灯し、該ランプ本体の熱による化学的気相成長法によって前記ランプ本体の外壁にセラミックス膜を形成する工程と、
前記チャンバを通過した処理ガスを前記処理ガス排出管から排出する工程と、
を含む、ランプの製造方法。 - 請求項11において、
前記ランプ本体は、前記チャンバ内に複数配列される、ランプの製造方法。 - 請求項11または12において、
前記処理ガス生成部は、複数のガス室部を有し、隣り合うガス室部は複数の連通管によって連結され、前記原料のガスは、前記ガス室部および前記連通管を経ることにより、圧縮と衝突を繰り返した状態で混合される、ランプの製造方法。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011096580A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクター |
JP2011096578A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 放電ランプ及びその製造方法、光源装置、プロジェクター |
US8449343B2 (en) | 2009-02-26 | 2013-05-28 | Seiko Epson Corporation | Discharge lamp having a heat resistant film and method for producing same |
US9152026B2 (en) | 2011-01-31 | 2015-10-06 | Seiko Epson Corporation | Discharge lamp, light source device and projector |
-
2007
- 2007-04-24 JP JP2007114011A patent/JP2008270074A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8449343B2 (en) | 2009-02-26 | 2013-05-28 | Seiko Epson Corporation | Discharge lamp having a heat resistant film and method for producing same |
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