CN102597189A - 具有改良的性能的切削液 - Google Patents

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Abstract

包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇的切削液有利于用线状锯切割半导体晶体。

Description

具有改良的性能的切削液
技术领域
本发明涉及切削液。在一个方面，本发明涉及包含聚亚烷基二醇(PAG)的切削液，而在另一个方面，本发明涉及包含用聚合酸(polymeric acid)中和的PAG的切削液。在又另一个方面，本发明涉及用于制备PAG的方法和在再另一个方面，本发明涉及切割半导体晶体的方法。
背景技术
线状锯切割被广泛用于半导体晶体切片，如硅锭、砷化镓(GaAs)、磷化镓(GAP)等等，来生产用于制造电子的和光电的器件的晶片。线状锯切片通过由切削液和悬浮在流体中的磨料颗粒(通常为碳化硅(SiC)磨料颗粒)组成的磨料浆提供的研磨作用而完成。切削液通过(i)悬浮和承载磨料颗粒和切削屑(即晶体切割产生的半导体晶体碎片)，(ii)润滑工件和(iii)去除在切割部位产生的摩擦热而在实现高效的和精确的切片中发挥关键性的作用。
聚亚烷基二醇(PAG)，特别是聚乙二醇(PEG)，通常被用作半导体晶体切削液。对半导体晶片的需求持续增长，特别是在光伏市场上，并随之产生对更经济的硅晶片生产的需求。可以通过提高切削速度、增加晶片产量、降低晶片总厚度变化(TTV)、减少锯痕和翘曲、减小晶片厚度和延长切割线的寿命改善硅片生产的成本和质量。所有这些改善都需要可以更有效地分散磨料(如SiC颗粒)和晶体(如硅)切削屑颗粒的较高性能的切削液。
一个已知的解决方案是向PAG中添加分散剂(如聚合电解质)以制备配制的PAG基切削液。然而，这个额外的配制步骤增加了切削液生产的复杂性和成本。本发明是生产作为具有改善的SiC和Si颗粒分散能力的切削液的PAG材料，但并不需要额外的添加分散剂的步骤。
发明概述
在一个实施方式中，本发明是一种用聚合酸中和的聚亚烷基二醇。
在一个实施方式中，本发明是一种生产中和的聚亚烷基二醇的方法，该方法包括以下步骤：
A.利用碱催化剂聚合环氧烷以形成碱性PAG；和
B.用中和量的聚合酸中和该碱性PAG。该聚合用水、亚烷基二醇、亚烷基二醇低聚物或者脂肪族或芳香族的单-、二-、三-或官功能醇中的一种或多种引发。该碱催化剂通常是氢氧化钠或钾。
在一个实施方式中，本发明是包括用聚合酸中和的PAG的切削液。本发明的聚合酸中和的PAG可以单独地使用或与一种或多种常规地中和的或者与回收的PAG材料混合的其它PAG结合使用。如果与一种或多种常规地中和的或者与回收的PAG材料混合的其它PAG结合使用，那么本发明的聚合酸中和的PAG通常占组合物的至少30体积百分比、优选地至少50体积百分比。
在一个实施方式中，本发明是一种用线状锯切割脆性材料的方法，该方法包含在用线锯切割该材料时，将包含用聚合酸中和的PAG的切削液施用于该材料的步骤。在一个实施方式中，该脆性材料是半导体晶体或锭。
聚合酸是具有从500至1,000,000的分子量的聚合物，且每个分子通常包含三个或更多的酸基团。在本发明的实施中所使用的聚合酸是未中和的或仅部分中和的以使得它们能够提供足够的酸度以中和在PAG中的残留碱催化剂。
本发明的聚合酸中和的PAG，与常规生产的PAG切削液相比，在分散研磨料SiC和硅粉方面显示出显著的改善。本发明提供了高性能的切削液和经济的制备该切削液的制备方法。
附图简要说明
图1是报告用不同酸中和的聚乙二醇300的碳化硅沉降率的曲线图。
图2是报告含有硅颗粒和用不同酸中和的聚乙二醇300的沉降测试样品的顶部澄清体积的图表。
图3是比较含用部分中和(通过氢氧化钠)的聚丙烯酸中和的PEG300和用醋酸中和的聚乙二醇300的分散体的沉降的硅粉分散体的照片。
图4是报告包含SiC颗粒和用不同酸中和的聚乙二醇300的测试样品的粘度的图表。
图5是报告包含SiC颗粒、硅粉(切削屑)和用不同酸中和的聚乙二醇300的测试样品的粘度的图表。
图6是报告包含用不同酸中和的聚乙二醇300中的SiC颗粒的测试浆料的粘度的曲线图。
图7是报告包含SiC颗粒、硅粉和用不同酸中和的聚乙二醇300的测试浆料的粘度的曲线图。
图8是报告包含SiC颗粒和用不同酸中和的聚乙二醇200的测试浆料的粘度的曲线图。
优选的实施方式
除非在本文有相反的规定、从上下文隐含地看示或该领域中通常的理解，所有份数和百分比都是基于重量，和所有测试方法是本申请的提交日为止通用的。出于美国专利实施的目的，任何引用的专利、专利申请或公开的内容以其全文通过引用引入(或其等同的美国版本如此通过引用结合入本文)，尤其是关于合成技术的公开、定义(达到与本公开中具体地提供的任何定义没有不一致的程度)和本领域的公知常识。
本公开中的数值范围是近似值，且因此可以包括该范围外的值，除非指明不同的情况。数值范围包括下限值和上限值之间并且包括下限值和上限值的具有一个单位(unit)增量的所有值，条件是在任何下限值和任何上限值之间存在至少两个单位的间隔。作为实例，如果组成的、物理的或其它性质(如，例如，分子量、粘度、熔融指数等)为100-1,000，这意指单个值如100、101、102等，和亚范围如100-144、155-170、197-200等被明确地列举。对于包含小于1或包含大于1的分数(例如，1.1、1.5等)的范围，如适当的话，一个单位被认为是0.0001、0.001、0.01或0.1。对于包含小于10的单数位数字(例如，1-5)的范围，一个单位一般被认为是0.1。这些只是特别有意给出的例子，在列举的最低值和最高值之间的所有可能的数值组合被认为是明确表示在本公开内。在本公开中提供了特别用于切削液和浆料的组分量以及各种工艺参数的数值范围。
聚亚烷基二醇(PAG)
本发明的一个实施方式是通过由水和一羟基化合物、二羟基化合物或多羟基化合物中的一种或多种引发的并在本领域已知的反应条件下由碱催化剂促进的环氧烷单体或环氧烷单体的混合物的聚合反应制备聚亚烷基二醇(参见，例如“Alkylene Oxides and Their Polymers”，Surfactant Science Series，Vol 35)。当聚合完成时，将反应混合物放出，并通过添加一种或多种聚合酸进行中和。该中和的聚亚烷基二醇产物具有4.0至8.5的pH值且可用作晶片切削液。
在一个实施方式中，所述引发剂为乙二醇或丙二醇，或它们中的一种的低聚物。在一个实施方式中，所述引发剂为下式的化合物
R1O-(CHR2CH2O)m-R3
其中，R1和R3独立地为具有直链或支链结构、并且可含有一个或多个不饱和键的C1-C20脂族或芳族基团，或氢，条件是至少R1和R3之一为氢；各R2独立地为氢、甲基或乙基；以及m为0-20的整数。在一个实施方案中，起始化合物为包含3个或更多个羟基的烃化合物，如甘油或山梨醇。
催化剂为碱，通常为碱金属或碱土金属氢氧化物或碳酸盐、脂族胺、芳香胺或杂环胺的至少一种。在一个实施方式中，氢氧化钠或氢氧化钾为碱催化剂。
用作聚合反应中的单体的环氧烷为C2-C8氧化物，如环氧乙烷、环氧丙烷、环氧丁烷、环氧己烷或环氧辛烷。在一个实施方式中，环氧烷为环氧乙烷或环氧丙烷。
在本发明的一个实施方式中，聚环氧烷为聚环氧乙烷，或环氧乙烷(EO)和环氧丙烷(PO)的水溶性共聚物，或它们之一的单甲基、乙基、丙基或丁基醚，或由甘油引发的聚环氧乙烷或EO和PO的共聚物。在一个实施方式中，聚亚烷基二醇的平均分子量为130-1,000，更典型为200-600。
聚合酸
在本发明的实施中使用的聚合酸通常具有500至1,000,000的分子量，并且每个分子包含3个以上的酸基团。该酸基团通常是已经整合在聚合物骨架中或者已经通过碳-碳(C-C)、酯、醚、或其它共价化学键接枝到聚合物骨架上的羧酸、顺丁烯二酸、磺酸或磷酸中的一种或多种。在一个实施方式中，聚合酸是用以提高酸或其中和的盐在切削液产品中的溶解度的包含环氧烷单元的共聚物。在本发明的实施中使用的聚合酸是处于未中和的或部分中和的(例如，小于或等于(≤)75％，通常≤50％)酸性状态，以使得它可以提供足够的酸度以中和聚亚烷基二醇中的碱催化剂。
在一个实施方式中，聚合酸的典型分子量在500至500,000的范围内，更通常地在1000和10,000的范围内。
在一个实施方式中，聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物且由聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚通过酯或醚键接枝。在一个实施方式中，聚合酸是通过丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸、或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一种或多种自由基接枝的聚环氧烷。在一个实施方式中，酸基团或聚合酸链通过水解稳定的C-C键或醚键与环氧烷重复单元连接。
切削液
本发明的切削液包含用聚合酸中和的碱催化的聚亚烷基二醇。可将聚合酸或聚合酸的混合物以纯的或者在水或极性溶剂(如醇、二醇、二醇醚、酰胺、酯、酮或亚砜中的一种或多种)的溶液中的形式添加到聚亚烷基二醇中。足够的聚合酸添加到聚亚烷基二醇中以至切削液具有4.0至8.5、或4.5至8.0、或5.0至7.5范围内的pH值。通常在聚合反应结束时，以聚合酸在极性溶剂或水中的1至99重量百分比(wt％)的浓度和更通常5至60wt％的浓度的溶液将聚合酸添加到碱催化的聚亚烷基二醇中。
切削液也可以包含其它成分，如极性溶剂(例如，醇、酰胺、酯、醚、酮、二醇醚或亚砜)、增稠剂(例如，黄原胶、鼠李糖胶或烷基纤维素如羟甲基纤维素，羧甲基纤维素)、表面活性剂、杀生物剂、抗蚀剂、染料、香料等等。这些其它的成分以已知的方法和已知的量使用。本发明的切削液包含很少的水，如果有的话。如果有水存在，那么它通常以少于15、更通常小于5和甚至更通常小于1wt％的量存在。
在一个实施方案中，切削液包含以下式表示的碱催化的聚亚烷基二醇
R1O-(CHR2CH2O)nH，
其中R1是具有直链或支链结构的和可以包含一个或多个不饱和键的C1至C20脂肪族的或芳香族的基团或氢；R2是氢、甲基或乙基；和n是1到50的整数，该碱催化的聚亚烷基二醇用聚合酸中和或部分中和至pH值4.0至8.5。切削液中聚亚烷基二醇的量通常是80至99.5、更通常为90至99.5和甚至更通常为95至99wt％。切削液中聚合酸的量通常为0.01至5、更通常为0.05至3和甚至更通常为0.1到2重量百分比(wt％)。切削液中添加剂的总量通常为0.01至10、更通常为0.05至5和甚至更通常为0.1至3重量百分比(wt％)。
切削液的使用
最终，切削液与研磨材料混合以形成切削浆料。可以用于本发明的这个实施方式的实施中的研磨材料包括金刚石、二氧化硅、碳化钨、碳化硅、碳化硼、氮化硅、氧化铝或其他硬质砂粉或类似的材料。最优选的研磨材料之一为碳化硅。一般而言，取决于砂粉的国际等级命名，平均或均值粒径大约为2-50微米；更优选5-30微米和甚至更优选5-15微米。切削液中研磨材料的浓度典型地为20-70wt％，更典型地为25-60wt％，和甚至更典型地为35-60wt％。
切削浆料也以已知的方式使用。一般地，当工件与切割金属丝形成接触时，所述切削浆料被喷射到切割金属丝上。所述切割金属丝是通常称为线状锯或线网(wire-web)的切削装置的一部分，并且其通常包含彼此平行并且以固定间距排列的一排金属丝。工件被压靠在沿相同方向彼此平行地运行的这些细金属丝(其典型地具有0.1-0.2毫米(mm)的直径)上，同时在工件和所述金属丝之间供应切削浆料，通过研磨磨碎作用工件被切割成晶片。液体悬浮的研磨颗粒通过循环系统被涂覆到移动的网或线上，所述循环系统恰在线-网压紧工件之前使切削浆料的膜-帘(blanket-curtain)滴到网上。因此，由液体承载的研磨颗粒通过涂覆金属丝转移以产生研磨或切割效果。这些线状锯在USP 3,478,732、3,525,324、5,269,275和5,270,271中更完整地进行描述。
下述实施例为本发明某些实施方式的示例性说明。除非另外地说明，所有份数和百分比基于重量。
具体实施方式
实施例1：聚乙二醇(PEG300)材料的合成和中和
用氮气清洗5加仑的压力反应器，并加载5201克(g)二甘醇和29.55g氢氧化钾溶液(45wt％KOH)。用氮气将反应器填充到每平方英寸20磅(psia)并加热到135℃。在130℃和140℃之间约20-50psia的压力下在24小时(hr)的时间内将环氧乙烷(9850g)定量送入反应器中。环氧乙烷进料完成后，在135℃的反应温度下反应器搅拌额外的2小时以消耗未反应的氧化物。
当聚合完成时，在氮气保护下将大约1升的反应混合物转移到烧瓶中。在充满氮气的干燥箱中，加入如表1中所列的酸直至产物的pH在5.0至7.5的范围内。在室温下通过pH计测量产物的5％水溶液的pH值。用乙酸和其它的一元羧酸、二元羧酸、柠檬酸、聚丙烯酸(PAA)、部分中和的聚丙烯酸钠盐(PAA Na)和丙烯酸-共-顺丁烯二酸共聚物来中和粗产物。各种添加的酸的量和成品的基本性质列于表1中。
表1
切削液及其性质
*水溶液。量相对于纯酸校正。
#水含量从酸的中和反应和(如果使用水溶液)来自酸的水计算。
实施例2：SiC颗粒(#1200)在不同酸中和的PEG材料中的沉降试验
将13.3±0.1g的SiC(#1200，来自中国的Omex)和随后的120±1g的PEG 300流体称量入200毫升(ml)广口玻璃瓶中。将加盖的瓶子在VWR DS-500定轨摇床上以每分钟250转(rpm)振摇20小时。将混合的样品立即加入100ml量筒中(±1ml)。在不同的时间记录在底部的沉降层的体积。较低的沉降体积表明流体对SiC颗粒分散性较好。图1中报告了不同酸中和的PEG材料的结果。部分中和的PAA和PAMA中和PEG 300比单-、二-、三元酸中和的PEG 300材料具有显著更好的SiC颗粒分散性。PAA不溶于PEG 300中，所以该产物没有得到很好的中和。
实施例3：Si颗粒在不同酸中和的PEG材料中的沉降试验
将13.3±0.1g的Si粉(99.0+％，尺寸＜10微米，Atlantic EquipmentEngineers)和随后120±1克的PEG 300液体称量到200ml的广口玻璃瓶中。将加盖的瓶子在VWR DS-500定轨摇床上以250rpm振摇24小时。将混合的样品立即加到100ml量筒中(±1ml)。使量筒止动并使其在室温下静止不动。28小时以后记录顶部澄清层的体积。图2中报告了不同酸中和的PEG材料的结果。较低的澄清层体积意味着硅粉末的较好的分散性。结果表明，由部分中和的PAA(Na PAA)和PAMA进行中和的PEG 300材料比单-、二-、三元酸中和的PEG 300材料具有显著更好的Si粉分散性。
在室温下静止不动6天后，拍摄在Na PAA和乙酸中和的PEG 300材料中的硅粉分散体的照片，并如图3所示。Na PAA中和的样品中的Si粉仍然良好地分散，而在乙酸中和的PEG中的粉末完全沉降下来。
实施例4：SiC-PEG浆料在不同酸中和的PEG材料中的粘度
将SiC颗粒(#1200，来自Omex)和如上所述制备的中和的PEG300以1∶1(wt/wt)混合，并通过使用Cowles刀片的Lightnin混合器以1000rpm搅拌10分钟(min)以形成SiC-PEG浆料。在25℃使用#31轴和小样品适配器在Brookfield流变仪上测量浆料的粘度。图4中报告了在不同酸中和的PEG 300材料中浆料的粘度。由Na PAA中和的PEG 300制成的浆料具有的粘度显著低于用其它的酸中和的那些浆料，表明在Na PAA中和的PEG材料中颗粒凝聚较少。
实施例5：包含Si粉(切削屑)的SiC-PEG浆料在不同酸中和的PEG材料中的粘度
将SiC颗粒(#1200，来自Omex)和如上所述制备的中和的PEG300以1∶1(wt/wt)混合，和然后加入5wt％的硅粉(99.0+％，尺寸＜10微米，Atlantic Equipment Engineers)。通过使用Cowles刀片的Lightnin混合器以1000rpm搅拌混合物10min以形成SiC-PEG浆料。在25℃使用#31轴和小样品适配器在Brookfield流变仪上测量浆料的粘度。图5中对比了在不同的酸中和的PEG 300材料中浆料的粘度。由Na PAA中和的PEG 300制成的含Si粉的浆料的粘度显著低于用其它的酸中和的那些浆料，表明在Na PAA中和的PEG材料中颗粒凝聚较少。
实施例6：聚乙二醇(PEG300)材料合成和聚合酸中和
按照实施例1中所述的PEG 300的制备和中和过程，制备并用如表2中所列的不同的聚合酸中和PEG 300材料。
表2
切削液及其性质
Figure BPA00001545290600101
*EPML-483是环氧丙烷和环氧乙烷的共聚物且通过丙烯酸自由基接枝。
#水含量从酸的中和反应和(如果使用水溶液)来自酸的水计算。
aPSA＝聚(4-苯乙烯磺酸)，18％(Mw 81000)水溶液(Aldrich)。
b50％的丙醇溶液。来自Rohm and Haas的聚二醇接枝的聚丙烯酸产品。
c50％EPML 483的水溶液，且通过四甲基氢氧化铵(TMAH)50％中和。
dPAA＝聚丙烯酸。60％水溶液(Mw 2000)和通过TMAH50％中和。
实施例7：SiC颗粒(#1200)在不同聚合酸中和的PEG 300材料中的沉降试验
将13.3±0.1g的SiC(#1200，来自Omex)和然后120±1g的PEG 300流体称量到200ml的广口玻璃瓶中。将加盖的瓶子在VWRDS-500定轨摇床上以250rpm振摇20小时。将混合的样品立即加到100ml量筒中(±1ml)。在不同的时间记录在底部的沉降层的体积。较低的沉降体积表明流体对SiC颗粒分散性较好。表3中对比了不同聚合酸中和的PEG材料的结果。
表3
随着时间的沉降体积
Figure BPA00001545290600111
结果表明，相对于常规的乙酸中和的PEG 300，聚合酸中和的PEG300材料更好地悬浮SiC颗粒。
实施例8：聚合酸中和的PEG 300中的SiC浆料的粘度
将SiC颗粒(#1200)和实施例6中制备的EPML-483中和的PEG300分别以0.8∶1、1∶1和1.2∶1(wt/wt)混合，并通过使用Cowles刀片的Lightnin混合器以1000rpm搅拌10min以形成SiC-PEG浆料。在25℃下使用#31轴和小样品适配器在Brookfield流变仪上测量浆料的粘度。图6中对比了该浆料的粘度和由常规乙酸中和的PEG 300制成的浆料的粘度。在EPML-483中和的PEG 300中随着SiC加载量增加的粘度增加比在常规乙酸中和的PEG 300中慢。
将SiC颗粒(#1200)和实施例6中制备的EPML-483中和的PEG300以1∶1(wt/wt)混合，且然后添加3、5和7wt％的Si粉(99.0+％，尺寸＜10微米，Atlantic Equipment Engineers)。通过使用Cowles刀片的Lightnin混合器以1000rpm搅拌混合物10min以形成SiC-PEG浆料。在25℃下使用#31轴和小样品适配器在Brookfield流变仪上测量浆料的粘度。图7中报告了含硅浆料的粘度与由常规乙酸中和的PEG 300材料制成的类似的浆料的粘度的对比。在添加不同量的Si粉的情况下，由EPML-483中和的PEG 300制成的浆料相比由常规乙酸中和的PEG 300制成的那些浆料具有较低的粘度。
实施例9：聚乙二醇(PEG200)材料的合成和中和
按照实施例1中所述的类似过程，制备由乙酸、EPML-483、聚(4-苯乙烯磺酸)(PSA)、50％TMAH中和的EPML-483和30％TMAH中和的聚丙烯酸最终处理的PEG 200。
实施例10：SiC颗粒(#1200)在不同聚合酸中和的PEG 200材料中的沉降试验
将13.3±0.1g的SiC(#1200，来自Omex)和然后120±1克实施例9中制备的PEG 200流体称量到200ml的广口玻璃瓶中。将加盖的瓶子在VWR DS-500定轨摇床上以250rpm振摇20小时。将混合的样品立即加到100ml量筒中(±1ml)。在不同的时间记录在底部的沉降层的体积。较低的沉降体积表明流体对SiC颗粒分散性较好。表4中报告了不同聚合酸中和的PEG材料的结果。
表4
随着时间的沉降体积
数据显示，通过聚合酸最终处理的PEG 200材料比常规乙酸中和的PEG 200对SiC颗粒具有更好的悬浮。
实施例11：SiC浆料在聚合酸中和的PEG 200中的粘度
将SiC颗粒(#1200，来自Omex)和实施例10中制备的EPML-483中和的PEG 200分别以0.8∶1、1∶1和1.2∶1(wt/wt)混合，并通过使用Cowles刀片的Lightnin混合器以1000rpm搅拌10min以形成SiC-PEG浆料。在25℃下使用#31轴和小样品适配器在Brookfield流变仪上测量浆料的粘度。图8中对比了该浆料的粘度和由常规乙酸中和的PEG 200制成的浆料的粘度。由EPML-483中和的PEG 200制备的浆料的粘度随SiC加载量增加的提高比由常规乙酸中和的PEG200制成的浆料慢。
实施例12：SiC颗粒(#1200)在聚合酸中和的PEG 200材料和常规乙酸中和的PEG 200的混合物中的沉降试验
将13.3±0.1g的SiC(#1200，来自Omex)和然后120±1克的实施例9中制备的EPML-483中和的PEG 200和常规乙酸中和的PEG200的1∶1重量比的混合物称量到200ml的广口玻璃瓶中。将加盖的瓶子在VWR DS-500定轨摇床上以250rpm振摇20小时。制备在常规乙酸中和的PEG 200中的类似SiC分散体作为对比。将混合的样品立即加到100ml量筒中(±1ml)。记录在底部的沉降层体积。2小时以后，由常规乙酸中和的PEG 200制备的样品中的沉降层体积为4.5ml，而由EPML-483中和的PEG 200和常规乙酸中和的PEG 200的混合物制备的样品中的沉降层体积为大约0.1ml，表明在混合的PEG 200样品中显著较好的分散性。
虽然通过上述特定实施方式按特定细节描述了本发明，该细节用于说明的最初目的。本领域技术人员可以进行许多变化和修改而不背离下面权利要求中所述的本发明的实质和范围。

Claims (12)

1.一种用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的聚亚烷基二醇。
2.权利要求1的聚亚烷基二醇，其中该聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一种或多种自由基接枝的聚环氧烷。
3.权利要求1的聚亚烷基二醇，其中该聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物且用聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚接枝。
4.权利要求1的聚亚烷基二醇，其中该聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物。
5.一种制备中和的聚亚烷基二醇的方法，该方法包括以下步骤：
A.利用碱催化剂聚合环氧烷，以形成碱性PAG；和
B.用中和量的具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和该碱性PAG。
6.权利要求5的方法，其中该聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一种或多种自由基接枝的聚环氧烷。
7.权利要求5的方法，其中该聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物。
8.权利要求5的方法，其中该聚合酸是丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物且用聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚接枝。
9.一种切削液，其包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的PAG。
10.权利要求9的切削液，其中该聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中的一种或多种自由基接枝的聚环氧烷；丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物；或用聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚接枝的这种均聚物或共聚物。
11.一种用线状锯切割半导体晶体的方法，该方法包括在用线状锯切割晶体时，将包含用具有500至1,000,000的分子量和每个分子包含多于三个的酸基团的未中和的或部分中和的聚合酸中和的PAG的切削液施用于晶体的步骤。
12.权利要求11的方法，其中该聚合酸是用丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸中一种或多种自由基接枝的聚环氧烷；丙烯酸、甲基丙烯酸、顺丁烯二酸、苯乙烯磺酸或2-丙烯酰胺基-2-甲基丙基磺酸的均聚物或共聚物；或用聚环氧烷或聚环氧烷的单烷基或芳基醚接枝的这种均聚物或共聚物。
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