CN102574297A - 用于回收用过的加工料浆的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明描述了一种用于回收用过的加工料浆的方法和一种用于实施该方法的装置。用过的加工料浆通过离心分离在未稀释的状态下回收，该用过的加工料浆包含加工介质、用于加工介质的流体载体、加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂。借此在少量的费用下实现特别有效和精纯的回收。所使用的装置的特征在于，其包括具有悬挂设置的离心机转筒(2)的离心机(1)或具有浮动支承的离心机转筒(2)的直立地设置的离心机(1)。

Description

用于回收用过的加工料浆的方法和装置
技术领域
本发明涉及一种用于回收用过的加工料浆的方法，该用过的加工料浆包含加工介质、用于加工介质的流体载体、加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂。
背景技术
在许多加工过程中使用包含加工介质(例如研磨介质)和用于加工介质的流体载体的加工流体。此外可以在其中包含确定的添加剂。在例如锯切、磨削、抛光的加工(机械加工)完成以后产生所谓的加工料浆，该加工料浆包含加工介质、用于加工介质的流体载体、加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂。该料浆涉及具有泥浆状或膏状稠度的材料，该料浆应被回收，因为其包含一系列原料。
在其中产生这种加工料浆的加工的一个示例是锯切硅锭。在所谓的单晶熔化工艺中，由直径最大达300mm的长度最大达2m的棒(即所谓的硅锭)制成适用于芯片和太阳能的硅。该硅锭借助于所谓的线锯锯成厚度最大达130-650μm的极薄的圆片(晶片)，亦即将铁丝作为锯引导通过硅块。为了使该丝可以完全切削，其被连续地涂覆所谓的锯悬浮物。该悬浮物包括：作为粘度产生物的流体载体，例如聚乙二醇(PEG)；和涉及研磨介质的加工介质，例如碳化硅(SiC)，具有适用于相应的切削过程或锯切过程的粒度。该悬浮物通常以混合比50∶50混合。在锯切过程中，每切削约300μm的硅锭产生作为“下脚料”的纯硅(加工物料)，其积聚于锯悬浮物中。该悬浮物可以用于多次锯切，但该悬浮物由于变得越来越大的硅浓度而在较少次锯切以后耗尽。
作为回收方法存在一种系统，其用旋液分离器和许多含水稀释级工作，并最终导致聚乙二醇和固体(在这种情况下即SiC和SiO2)的分离。SiC和SiO2的连续分离利用该方法是不可能的，而且该方法仅工作达到最大5μm的粒子大小。由于在含水稀释中工作，必须费力且昂贵地去除聚乙二醇中的水成分。芯片硅或太阳能硅的回收利用该方法是不可能的，因为元素硅通过含水稀释经氧化作用转变成SiO2及其水合物形式。
由DE 102007048879A1已知一种用于回收流体的锯料浆的方法和其用于制造具有较佳表面的晶片的用途。在这里特别是致力于回收用过的流体的分离介质，其包含流体、锯颗粒、来自锯切物料的脱落的磨削粒子和可能的添加剂，其中从锯颗粒中分离流体。这借助于经由核径迹过滤器的过滤来实现。这样获得的流体渗透被进一步使用，其中仍然包含来自锯切物料的细小的磨削粒子。因此在该已知方法中为了回收而使用过滤方法。
在US 6231628B1中描述一种用于处理用过的加工料浆的方法，所述加工料浆通过锯切硅锭的硅片产生。在该方法中，加热用过的料浆以便降低粘度，然后将该料浆分离成液态成分和固体成分。在此借助于过滤实施分离过程。通过利用水的稀释和旋液分离器的使用实现固体成分的进一步处理。
发明内容
本发明的目的在于提供一种开头所述型式的方法，借此可以在少量的费用下实现特别有效和精纯的回收，特别是不需要不利且耗时的稀释步骤。
按照本发明，在按照本发明的第一实施形式的所述型式的方法中，通过离心分离未稀释的用过的加工料浆并由此将加工介质与料浆的剩余部分分离而实现该目的。
按照该实施形式的按照本发明的方法利用完全不同于在现有技术中的附件。加工料浆在这里不用水稀释，从而料浆中的原料不受污染。更确切地说，在离心力场中发生原料的精纯的分离。在此在该实施形式中不发生流体固体分离，而是将加工介质(例如碳化硅)作为固体通过离心分离直接与料浆的剩余部分中分离，该剩余部分仍然包含用于加工介质的流体载体(例如聚乙二醇)、加工物料(例如硅)、加工工具颗粒(例如锯的铁颗粒)和可能的添加物。在此利用这样的事实，即在料浆中存在的固体、亦即一方面加工介质(SiC)和另一方面带有加工工具颗粒(Fe)的加工物料(Si)、存在于以双模态形式存在的颗粒尺寸分配中，从而可以通过离心分离利用突变点(einscharfer Schnitt)实现分离。在这种情况下，在离心力场中可以在无需附加其他辅助流动性的情况下实现上述分配。这样，用作加工介质的SiC例如具有超过1.0μm的平均颗粒尺寸，而Si作为加工物料具有低于1.0μm的平均颗粒尺寸，从而作为固体存在的加工介质无疑可以通过离心分离而分离。在此按照材料经验求得相应的参数，如离心因数、通过量、温度、粘度、停留时间。优选地，离心因数在250g至3000g的范围内。
因此在按照本发明使用的分类或离心分离技术中，按照该实施形式离心分离并不发生通常的液态成分和固体成分的分离。取而代之的是，固体成分(亦即加工介质)与剩余的液态料浆分离，该液态料浆仍然包含其他的固体成分、即加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂。加工介质优选包括具有比其余固体成分大的平均颗粒尺寸的颗粒尺寸分配，并在此在离心分离时作为固体相(饼)产生且可以供给另外的处理阶段。按照本发明在此发生一分类过程，其中在料浆系统中存在的在细粒级与粗粒级之间的双模态分配被分开。各相应的材料在优化的离心参数化的充分利用下彼此分离。
已作为固体饼沉积在离心机转筒的内壁上的分离的加工介质(特别是SiC)借助于机械装置或借助于再分散流体从离心机中去除并特别供给进一步处理。优选地，在按照本发明的方法中，分离的加工介质借助于再分散流体而再分散，并接着重新与再分散介质分离以进一步使用。加工介质的进一步处理可以按照要求的特征经由多个另外的方法步骤实现。这样可以例如在再分散加工介质以后经由磁性分离器分离加工工具颗粒的仍然包含于加工介质中的相应部分。优选地，通过再分散，除了从离心机中排空以外还实施洗涤过程，其中例如使用己烷作为再分散流体。然后可以例如将已洗涤的不含加工工具颗粒(Fe)的加工介质去潮，以便使该加工介质不含再分散剂和剩余的流体载体。可以实施一个或多个另外的分离方法，以便分离剩余的加工物料(Si)。
总体上，为了进一步处理加工介质可以使用任意的分离方法，如离心分离、过滤、沉淀方法等。
按这种方式实现从用过的加工料浆中回收加工介质，从而可以将其供给适合的进一步使用，例如用于制造新的锯悬浮物。
在按照本发明的方法的另一优选的实施形式中，用过的加工料浆的其余原料也被完全或部分地回收。这优选这样实现，即用过的加工料浆的剩余部分通过离心分离分离成带有加工工具颗粒的加工物料和流体载体。因此在该离心分离步骤中实施真正的固体相与液态相之间的分离步骤，其中带有加工工具颗粒的加工物料(带有Fe的Si)作为固体相与流体载体(PEG)分离。
获得的带有加工工具颗粒的加工物料特别是通过固体分离方法、优选磁性分离方法而分离，从而产生几乎纯的加工物料，其可以例如通过多个洗涤和过滤过程引导并可以作为纯的原料回收。其可以例如重新用作为加工物料(单晶硅制造)。按这种方式实现闭式的原料循环。
分离的流体载体也可以经受一个或多个另外的处理步骤，以便将其纯化。然后该流体载体可以例如重新用作用于加工介质的流体载体(作为锯悬浮物等)。
按照本发明的回收方法优选用于回收在锯切硅锭时产生的用过的加工料浆。该加工料浆包含作为加工介质的研磨介质(特别是碳化硅)、用于加工介质的流体载体(特别是聚乙二醇)、通过锯去除的加工物料(亦即硅)和作为加工工具颗粒的来自锯的铁颗粒以及可能的任何添加剂。
上述目的在一种按照本发明的第二实施形式的所述型式的方法中这样实现，即未稀释的用过的加工料浆通过离心分离经受固液分离而分离成流体载体和剩余的固体。
按照本发明，该实施形式的方法同样利用不同于现有技术的附件。为此也不用水稀释加工料浆，否则这导致原料的污染。更确切地说，各原料通过离心分离彼此分离，其中特别是使用极高转速的离心机，借助该离心机在离心力场中达到各原料的精纯的分离。借助于这样的离心机，按照本发明实施有效的固液分离，亦即流体载体与剩余的固体(加工介质、加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂)分离。
分离的流体载体可以供给不同的使用目的。其特别是可以重新用于制造加工料浆。优选地，对分离的流体载体进行纯化，特别是利用溶剂(例如己烷)的洗涤过程。
优选地，在离心分离时作为固体饼得到的剩余的固体通过另外的分离方法彼此分离，以便实现料浆的完全的回收。为此可以使用各种不同的分离方法。例如，如果加工工具颗粒由磁性的材料如铁构成，则通过磁性分离方法分离加工工具颗粒。在回收各剩余的固体时，可以例如使用另外的离心分离方法、过滤方法等。
在分离加工工具颗粒以后，加工介质和加工材料可以例如通过另一离心分离方法彼此分离，其中在这里利用这样的事实，即两种材料的颗粒尺寸分配以双模态形式存在。该双模态形式可利用突变点通过离心分离(分类)而分离。由此可以在离心力场中在无需附加其他辅助流动性的情况下(无污染)实现加工介质和加工物料的最大程度上的分配。
产生的材料流可以供给特别的使用。但其也可以在料浆管理系统中重新组合成加工悬浮物并因此重新返回到加工过程的开始，亦即价值创造链。分离的加工物料可以通过洗涤和/或过滤过程重新作为纯的原料回收。目标在于闭式的原料循环。
在这里使用的术语“加工料浆”应该覆盖泥浆、浮渣、软膏等，亦即具有在液态与固体之间的全部粘度范围的材料。
如上所述，在按照本发明的方法的该实施形式中优选利用高转速的离心机工作。这样特别是在离心分离时以＞3000g的离心因数，特别在10000-20000g的范围内的离心因数操作。在该操作范围内可以从用过的加工料浆的剩余固体中精确地(具有高纯度)分离流体载体。
这涉及在离心分离时的温度范围，这样优选在＜80℃的温度范围内、特别是在50℃-80℃的范围内进行离心分离。该温度范围是最优的，以便不必以过高的离心因数工作。但另一方面，该实施形式的按照本发明的方法不是必须需要用于降低粘度的步骤。
上述高离心因数仅可用专门的离心机来实现，其控制相应的轴承力。这样，优选利用具有大分类表面和小内径的离心机工作，特别是利用具有较大长径比的离心机工作。特别使用长径比L/D＞1.2的离心机，其中L是在离心机转筒中提供的分类表面的长度或高度，D是离心机转筒的内径。
这样的离心机例如在DE 19925082B4中描述。优选利用这样的离心机工作。
这涉及在离心机中形成的固体饼的回收，这样其可以机械地去除，例如经由利用适合的刮刀/刀具装置的去壳步骤去除。但在离心分离时分离的剩余固体(固体饼)也可以借助于再分散流体而再分散，并接着重新与再分散流体分离以进一步使用。同样可以使用两种方法的组合。在再分散时，固体饼可以例如通过高压射流而脱落和分离。
通过使用所述的具有大长径比的离心机，可以如上所述实现高的离心因数，而不再产生可控制的轴承力。此外借此实现细颗粒的喷射颗粒最小化和截获，因为在装载点与卸载点之间的距离在该离心机中特别大。
按照本发明的方法的该实施形式也优选用于在锯切铸锭、特别是硅锭时回收用过的锯料浆。在这样的锯料浆中作为流体载体特别是使用乙二醇、尤其是聚乙二醇。作为加工介质在这里尤其使用碳化硅，其用作研磨材料。
这并不排除按照本发明的方法也可以用于回收由其他的加工过程如磨削、抛光等产生的加工料浆。
本发明还涉及一种用于实施按照本发明的第一实施形式的装置。为了实施基本离心分离步骤、亦即加工介质与料浆的剩余部分的分离，这样的装置具有适用于特别高的转速或离心因数的离心机。利用这样的离心机，按照材料种类、粘度、温度、生产率、停留时间等，优化的离心因数优选必须可以在250g-3000g的范围内调节。在此，具有悬挂设置的离心机转筒的离心机已表明特别适用于该实施形式的按照本发明的方法。直立地设置的具有浮动支承的离心机转筒的离心机也具有良好的可用性，其中按特别优选的方式使用具有浮动支承的离心机转筒的离心机，其具有大的长径比L/D＞1.2，其中L是离心机转筒的长度或高度，D是离心机转筒的内径。
这样的离心机优选也用于其他的方法步骤、特别是用于将用过的加工料浆的剩余部分分离成带有加工工具颗粒的加工物料和流体载体。
本发明还涉及一种用于实施按照本发明的方法的第二实施形式的装置。这样的装置具有一离心机，其中其优选涉及具有悬挂设置的离心机转筒的离心机。在另一实施形式中使用直立地设置的具有浮动支承的离心机转筒的离心机。如上所述，这样的离心机优选具有大分类表面和小直径并具有大的长径比L/D＞1.2。为此特别使用在DE 19925082B4中描述的离心机。
附图说明
以下结合附图借助各实施例详细说明本发明。其中：
图1示出物质Si和SiC的双模态分配的曲线图，其中在横坐标上绘出颗粒尺寸、在纵坐标上绘出分配密度；
图2示出用于回收锯悬浮物的用过的加工料浆的方法的第一实施形式的流程图，该锯悬浮物在锯切硅锭时使用；
图3示出按照本发明的方法的第二实施形式的用于从锯悬浮物的固体中分离流体载体的离心分离步骤的示意图；
图4示出具有悬挂设置的离心机转筒的离心机的局部垂直剖视图，其用于按照本发明的方法的第二实施形式；和
图5示出直立的离心机的局部垂直剖视图，其用于按照本发明的方法的第二实施形式。
具体实施方式
图1的曲线图示出取决于在锯切硅锭时产生的用过的加工料浆中的物质Si和SiC的颗粒尺寸的分配密度。在这里涉及双模态分配，其中物质Si和SiC具有最大值不同的分配密度，确切而言对于小于1.0μm的Si和大于1.0μm的SiC具有最大值不同的分配密度。在按照本发明的用于回收这种用过的料浆的方法的第一实施形式中，通过离心分离(分类)利用约在1μm的颗粒尺寸处的突变点实现在双模态形式中存在的颗粒尺寸分配的分离。
图2示出该回收方法的实施形式的示意性流程图。待回收的用过的加工料浆包括聚乙二醇(PEG)(用于加工介质的流体载体)、硅(Si)(加工物料)、碳化硅(SiC)(加工介质)和铁颗粒(Fe)(加工工具颗粒)。加工料浆在4处输入示意性示出的离心机1中并进入离心机转筒2中。通过以适合的转速(适合的离心因数)旋转转筒，由于碳化硅相对于各剩余固体的较大密度和颗粒尺寸而实现碳化硅与加工料浆的剩余部分的分离。如在3处所示，碳化硅作为饼沉积在转筒2的内壁上，而剩余的料浆排出并在5处从离心机输出，该剩余的料浆基本上仍然包括成分PEG/Si/Fe。
通过将第二流体在6处输入离心机转筒中并溶解所述饼，SiC饼3通过再分散从转筒中去除。溶解的饼(SiC/流体)到达7处离开离心机并进行进一步使用，例如纯化、去潮等，以便作为原料回收。
从离心机1中排出的剩余料浆(PEG/Si/Fe)供给第二离心机8并在11处输入该第二离心机中。通过以预定的转速(以预定的离心因数)旋转离心机转筒9，固体混合物Si/Fe从流体中分离并附着在转筒9的内壁上。流体(PEG)在12处从转筒中去除。固体混合物Si/Fe10从转筒9中(机械地或经由再分散剂)去除并在14处从离心机中输出。接着，未在这里示出的其他的加工级、特别是磁性分离级用于分离Fe。然后，纯化过的Si可以作为原料进一步使用。
为用于双模态分类的离心机1选择适合的转速或适合的离心因数取决于各种不同的参数，例如材料的种类、温度、粘度、生产率。在上述用于分离SiC的应用场合下使用约250-3000g的离心因数。
图3示意性示出用于实施按照本发明的方法的第二实施形式的具有外部的壳体和内部的离心机转筒22的离心机21。通过离心机转筒22的旋转实现液态相和固体相的分离，其中固体相以固体饼23的形式沉积在转筒22的径向内壁上。在当前的情况下，用过的锯悬浮物经由进口24输入到离心机转筒22中，该用过的锯悬浮物包括加工介质(在这里为碳化硅)、用于加工介质的流体载体(在这里为聚乙二醇(PEG))、加工物料(在这里为硅)和加工工具颗粒(在这里为铁)。通过离心机转筒22的旋转实现作为固体饼23沉积的固体SiC、Fe和Si与流体载体PEG的分离，该流体载体PEG经由溢流口和出口25作为液态相从转筒中输出。在转筒22以较低转速旋转的再分散阶段，固体饼23从转筒22的内壁上排出。为此，再分散流体例如以高压作为射流施加到固体饼23上，从而该固体饼从转筒的内壁脱离并经由出口26排出。通过分离再分散流体，在此形成的包括SiC/Fe/Si和再分散流体的分散物被重新回收。接着，铁颗粒可以例如经由磁性分离过程分离。剩留的SiC/Si混合物可以例如经由分类过程在另一离心机中利用突变点分离，因为这些物质具有以双模态形式存在的颗粒尺寸分配。
图4和5示出离心机的两个实例，它们可以用于上述第二实施形式的分离方法。
图4示出具有悬挂设置的离心机转筒的离心机的实施形式的局部垂直剖视图。该离心机具有外壳体51，该外壳体包围较大的空间，在该空间中设置包围离心机转筒53的内壳体52。内壳体52设有顶盖65，该顶盖固定在轴承壳体55上、亦即固定在轴承壳体的轴承套57上。轴承55密封地安装于外壳体51的开口中，并具有球窝形部分56，轴承利用该球窝形部分可枢转或可弯曲地支承于轴承55的固定地安装在外壳体51上的部分的相应的构成为球形的轴承盘中。因此轴承套57可以实施相对于外壳体51的枢转运动，其中内壳体52随同运动。
适合的轴驱动装置62以电机的形式设置在外壳体51之外。护盖63用于盖住轴承55。在轴承套57的内部设置一个或多个滚动轴承(未示出)，其可转动地在轴承套57内支承轴54。因此轴54可以实施旋转运动和枢转或摇摆运动。
用于去除固体饼的去除装置59固定在内壳体52的顶盖65上或轴承套57上。去除装置59具有延伸通过内壳体52的顶盖的臂58，该臂载有相应的用于去除固体饼的刀具61。在内壳体的下端设置出口64。
在该实施形式中，通过将内壳体52安装在轴承55上并将去除装置59安装在内壳体52的顶盖65上或轴承套57上确保内壳体和去除装置59随同轴54的枢转或摇摆运动而运动，从而在臂58与轴54或转筒壁之间总是保持平行性。
图5中所示的“直立的”离心机作为湿法分类装置工作并具有固定式壳体100，该壳体包括在其上设置的顶盖150。该固定式壳体100经由适合的减振装置支承在轴承支架上。在固定式壳体100内设置具有垂直轴线的离心机转筒20，该离心机转筒由垂直轴80使之旋转。垂直轴80从下面延伸进离心机转筒20中。该垂直轴由轴承壳体110包围，轴承壳体110包括用于支承轴80的上主轴承90和下副轴承。轴承壳体110固定在板170上，该板又固定在固定式壳体100上。轴80通过轴承壳体110和板170向下经由适合的连接装置180一直延伸到构成直接驱动装置的电机120。轴80的转速是可调的。
离心机转筒20具有用于待分类的锯悬浮物的适合的供给装置130，该供给装置以管的形式通过上面敞开的离心机转筒进入该离心机转筒中一直延伸到该离心机转筒下面的端部，并在该下面的端部处具有排出口。已分类的锯悬浮物(聚乙二醇)经由排出管160从离心机转筒20的上端排走。排出管140在离心机转筒的下端用于排走沉积物(SiC、Si、Fe)。
因此如由附图可知，离心机转筒在其下部区域构成为圆环形并在其上部区域构成为圆形。水平的隔板40将离心机转筒的内部分成六个上下相叠设置的分类室30，在这些分类室的径向端部区域中沉积沉积物。该沉积物从该端部区域经由适合的去除装置(未示出)去除。
如上所述，设定目标在于，离心机转筒20尽可能细长地构成并在此将轴的主轴承90尽可能在中心设置，亦即设置在离心机转筒的重心的区域内。在当前的实施形式中实现了这一点。可以看出，在这里主轴承90如此深地设置于离心机转筒中，使得轴80的主轴承90的垂直中心设置在从离心机转筒的内部下端测量的高度h上，该高度为在离心机转筒20中提供的分类表面的长度或高度L的大致40％。此外离心机转筒的长径比L/D、亦即在离心机转筒中提供的分类表面的长度或高度与离心机转筒的内径之间的比、具有约1.24的值。当然，上述值为纯粹示例性的。在该实施形式中，在离心机转筒20中得出六个上下相叠设置的分类室30。
如上所述，在轴承壳体110中设置用于轴80的上主轴承90和下副轴承。借此产生稳定的支承。轴80在上面离开轴承壳体110延伸并以一直径减小的部分终止。在该部分上固定离心机转筒的中心轮毂60，该轮毂构成在离心机转筒的圆柱形内壁50的轴向延长部中。在此该固定经由摩擦接触(在70处)实现。轮毂60在上端经由顶盖封闭。
离心机的特征在于，通过大的长径比提供在装载点与卸载点之间的大距离并因此使短路流动的危险减小，这最终导致较佳的分离。此外通过多个上下相叠设置的室获得高的离心因数(其可以以大转速操作)和大的分类表面。

Claims (29)

1.用于回收用过的加工料浆的方法，该加工料浆包含加工介质、用于加工介质的流体载体、加工物料、加工工具颗粒和可能的添加剂，其特征在于，将未稀释的用过的加工料浆离心分离，并由此将加工介质与该料浆的剩余部分分离。
2.按照权利要求1所述的方法，其特征在于，分离的加工介质借助于再分散流体而再分散，并接着重新与再分散介质分离以进一步使用。
3.按照权利要求1或2所述的方法，其特征在于，用过的加工料浆的剩余部分通过离心分离而分离成带有加工工具颗粒的加工物料和流体载体。
4.按照权利要求3所述的方法，其特征在于，获得的带有加工工具颗粒的加工物料通过固体分离方法、特别是磁性分离方法分离。
5.按照权利要求3或4所述的方法，其特征在于，纯化分离的流体载体。
6.按照权利要求4所述的方法，其特征在于，分离的加工物料通过洗涤和/或过滤过程重新作为纯的原料回收。
7.按照上述权利要求之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于在锯切硅锭时回收用过的锯料浆。
8.按照上述权利要求之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于回收用过的锯料浆，该锯料浆包含作为流体载体的乙二醇、特别是聚乙二醇。
9.按照上述权利要求之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于回收用过的锯料浆，该锯料浆包含作为加工介质的碳化硅。
10.用于回收用过的加工料浆的方法，该加工料浆包含加工介质、用于加工介质的流体载体、加工材料、加工工具颗粒和可能的添加剂，其特征在于，使未稀释的用过的加工料浆通过离心分离经受固液分离而分离成流体载体和剩余的固体。
11.按照权利要求10所述的方法，其特征在于，剩余的固体通过其他的分离方法彼此分离。
12.按照权利要求11所述的方法，其特征在于，加工工具颗粒通过磁性分离方法分离。
13.按照权利要求10至12之一项所述的方法，其特征在于，纯化分离的流体载体。
14.按照权利要求11至13之一项所述的方法，其特征在于，分离的加工材料通过洗涤和/或过滤过程重新作为纯的原料回收。
15.按照权利要求10至14之一项所述的方法，其特征在于，在离心分离时以＞3000g、特别是在10000-20000g的范围内的离心因数工作。
16.按照权利要求10至15之一项所述的方法，其特征在于，在＜80℃的温度范围内、特别是在50℃-80℃的范围内进行离心分离。
17.按照权利要求10至16之一项所述的方法，其特征在于，利用具有大分类表面和小内径的离心机工作，特别是利用长径比L/D＞1.2的离心机，其中L是在离心机转筒中提供的分类表面的长度或高度，D是离心机转筒的内径。
18.按照权利要求17所述的方法，其特征在于，利用按照DE 19925082B4所述的离心机工作。
19.按照权利要求10至18之一项所述的方法，其特征在于，在离心分离时分离的剩余的固体借助于再分散流体而再分散，并接着重新与该再分散流体分离以进一步使用。
20.按照权利要求10至19之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于在锯切铸锭、特别是硅锭时回收用过的锯料浆。
21.按照权利要求10至20之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于回收用过的加工料浆，该加工料浆包含作为流体载体的乙二醇、特别是聚乙二醇。
22.按照权利要求10至21之一项所述的方法，其特征在于，该方法用于回收用过的加工料浆，该加工料浆包含作为加工介质的研磨材料、如碳化硅或工业金刚石。
23.用于实施按照权利要求1至9之一项所述的方法的装置，其特征在于，该装置包括具有悬挂设置的离心机转筒的离心机。
24.用于实施按照权利要求1至9之一项所述的方法的装置，其特征在于，该装置包括直立地设置的具有浮动支承的离心机转筒的离心机。
25.按照权利要求24所述的装置，其特征在于，具有浮动支承的离心机转筒的离心机具有大的长径比L/D＞1.2，其中L是离心机转筒的长度或高度，D是离心机转筒的内径。
26.用于实施按照权利要求10至22之一项所述的方法的装置，其特征在于，该装置包括具有悬挂设置的离心机转筒的离心机。
27.用于实施按照权利要求10至22之一项所述的方法的装置，其特征在于，该装置包括直立地设置的具有浮动支承的离心机转筒(20)的离心机。
28.按照权利要求26或27所述的装置，其特征在于，离心机具有大分类表面和小直径、特别是大的长径比L/D＞1.2，其中L是离心机转筒(53、20)的长度或高度，D是离心机转筒的内径。
29.按照权利要求28所述的装置，其特征在于，该装置具有按照DE 19925082B4所述的离心机。
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