JPH07862A - 遠心分離機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 遠心分離機の汚泥除去装置の経済性を改善す
ることが可能な技術を提供する。 【構成】 従来、除去板として一体に構成されていた掻
取刃２ａと排除部とを別体とし、両側面に掻取刃２ａを
形成した掻取板２と下部に排除部１ａを形成した排除板
１とで、汚泥除去装置の除去部を形成する。 【効果】 掻取板の両側面に掻取刃を形成した両刃とな
っているので、掻取板の向きを変えて両方の刃を使用す
ることによって、掻取板の交換までに要する耐用期間を
略２倍にすることが可能となり、また、摩耗の激しい掻
取板のみを交換し、除去板は継続して使用することがで
きるので経済的である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、遠心分離機に関し、特
に、遠心分離機の汚泥除去に適用して有効な技術に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程では、研磨作業に
よって発生した粉末状の研磨屑及び研磨剤が洗浄水に混
入した廃液が発生する。この廃液を処理する際に、水と
汚泥とに分離する必要があり、そのために遠心分離機が
使用されている。このような遠心分離機では、円筒状の
バケットを高速で回転させ、バケット内に注入する廃液
を遠心力によって分離し、比重の大きな汚泥をバケット
の内周面に集積し、汚泥が分離した後の廃液である排水
をバケットの底部開口から水槽へと排出する。分離が終
了するとバケットの内周面には汚泥が付着した状態とな
っており、この汚泥をバケットの内周面から掻き取るた
めの掻取刃と掻き取った汚泥をバケット外部に排除する
ための排除部とを備えた汚泥除去装置が遠心分離機には
設けられている。

【０００３】遠心分離機の汚泥の除去は、バケット内周
面に付着した汚泥に汚泥除去装置の掻取刃を押圧した状
態にて、バケットを低速で回転させて行う。この種の従
来の汚泥除去装置において汚泥除去部は、除去板のバケ
ット内周面に接近する一側面を鋭角に形成し掻取刃と
し、除去板の下部他側面をバケット底周縁に沿って張出
させて排除部を形成し、内周面に付着した汚泥に掻取刃
を押圧してバケットを回転させることによって汚泥を掻
き取り、掻取刃によって掻き取られ底周縁に堆積した汚
泥を排除部によってバケット中央に移動させ、バケット
中央の孔から外部に除去する構成である。すなわち、掻
取刃と排除部とは、除去板に一体となって形成されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような汚泥除去装
置の掻取が不充分であった場合には、内周面に汚泥が残
存しバケットの回転バランスが崩れ、高速回転時に異常
振動が発生し、遠心分離機の故障・破損が生じる。それ
を防止するために、掻取刃は、バケットの内周面に付着
した汚泥を充分に掻き取ることが要求され、内周面にで
きるだけ密着させる必要がある。しかしながらその一方
では、バケットの内周面を傷つけないことも要求されて
いる。そのため、掻取刃はその形状に対する要求が厳し
く、高い加工精度が要求され、しかも特殊な材質を用い
ているため、加工に時間がかかり価格も高価である。ま
た、掻取刃は、研磨剤を含んだ汚泥を掻き取るために摩
耗が激しく、定期的に取り替える必要があるので、分離
作業に要する費用が、掻取刃の費用によって高額になる
という問題がある。

【０００５】また、掻取刃に対して排除部は、掻き取ら
れて周縁部に落下し堆積した汚泥を排除するだけであ
り、形状・材質に関する要求も掻取刃ほど厳しいもので
はなく、使用による摩耗もほとんどない。しかしなが
ら、排除部は、充分使用に耐える状態であっても、掻取
刃と一体に構成されているために除去板の交換によって
一緒に更新されることとなり、不必要な交換をすること
となる。

【０００６】本発明の目的は、遠心分離機の汚泥除去装
置の経済性を改善することが可能な技術を提供すること
にある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らか
になるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
下記のとおりである。

【０００９】従来、除去板として一体に構成されていた
掻取刃と排除部とを別体とし、両側面に掻取刃を形成し
た掻取板と下部に排除部を形成した排除板とで、汚泥除
去装置の除去部を形成する。

【００１０】

【作用】上述した手段によれば、掻取板の両側面に掻取
刃を形成した両刃となっているので、掻取板の向きを変
えて両方の刃を使用することによって、掻取板の交換ま
でに要する耐用期間を略２倍にすることが可能となり、
また、摩耗の激しい掻取板のみを交換し、除去板は継続
して使用することができるので経済的である。

【００１１】以下、本発明の構成について、実施例とと
もに説明する。

【００１２】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。

【００１３】

【実施例】図１に示すのは本発明の一実施例である汚泥
除去装置の汚泥除去部を示す斜視図、図２に示すのは図
１中Ａ−Ａ線に沿った横断面図である。

【００１４】本実施例の汚泥除去部は、排除板１と掻取
板２とを別体として構成する。排除板１と掻取板２と
は、支持板３に取り付けてボルト４によって一体に固着
する。支持板３は、支柱５を介して支持軸６に固定す
る。排除板１及び掻取板２は、支持軸６の回動によって
支持軸６を中心として揺動し、排除板１及び掻取板２が
バケットの内周面に接近或いは離隔する。

【００１５】排除板１は、その下部を排除部１ａとして
張出させたＬ字状の板体で排除部１ａの下辺をバケット
の底面内周縁に近接させる。掻取板２は、ステンレス製
の矩形の板体であり、両側端を鋭角にした断面台形に形
成し両側面を掻取刃２ａとしている。支持板３は、支持
軸６に環装し、かつ支持軸６に固着する支柱５と一体に
形成する。

【００１６】図３に示すのは、図２に相当する従来の汚
泥除去部を示す横断面図である。汚泥除去部は、一側面
を掻取刃７ａとし、他側面の下部を排除部７ｂとして張
出させた除去板７にて一体に形成されている。

【００１７】図４に示すのは、本実施例である遠心分離
機の全体を示す縦断面図であり、図５は図４中Ｂ−Ｂ線
に沿った横断面図である。なお、図５では汚泥除去装置
とバケットのみを表し、他を省略する。

【００１８】図中、８はケーシング、９はバケットであ
る。ケーシング８は、上下に分離可能な中空筒状体であ
り、内部にバケット９を収容する。ケーシング８には、
バケット９を支持する主軸１１を軸支する軸受１０を設
けてある。ケーシング８の底部は、排水及び汚泥の排出
のために開口し排出口１２を取り付けてある。

【００１９】バケット９は周面円筒状で底部に環状の内
周縁９ａを備えている。主軸１１の一端にバケット９を
固定し他端には動力装置（図示せず）を接続する。この
動力装置によって、主軸１１を介してバケット９を回転
させる。バケット９の内周縁９ａによって分離途中の廃
液がバケット９から流下するのを防止する。

【００２０】廃液管１３は、ケーシング８の側面を貫通
し、バケット９の底面の孔からバケット９内に突出し、
廃液を吹き付けるためのノズル１４をバケット９の内周
面９ｂに向けて開口している。

【００２１】汚泥除去装置は、ケーシング８の底部にシ
リンダ１５内の圧力を制御することによって、シリンダ
内のピストン（図示せず）を操作し、ロッド１６及びア
ーム１７を介して支持軸６を回動させて、内周面９ｂに
対する掻取刃２ａの離隔或いは付勢を行う。

【００２２】排出口１２の下には受け皿装置１８を設
け、受け皿装置１８は、枠体１９に設けたレール２０に
水受け板２１を往復動可能に支持し、シリンダ２２内の
圧力を制御することによって、シリンダ２２内のピスト
ン（図示せず）を操作し、ロッド２３を介して水受け板
２１を移動させて、排水時と汚泥排出時とで排出経路の
選別を行う。

【００２３】次に、本実施例の遠心分離機による廃液の
分離を説明する。

【００２４】遠心分離機で廃液の処理を行うには、掻取
刃２ａをシリンダ１５によってバケット９の内周面９ｂ
から離隔し、バケット９を高速回転させた状態で、廃液
をノズル１４からバケット９の内周面９ｂに吹き付け
る。吹き付けられた廃液は遠心力によって内周面９ｂに
押しつけられながら比重の差によって排水と汚泥に分離
する。この状態で回転を止めると分離した水はバケット
９底部の開口から流出し、排出口１２から水受け板２１
に流下し集水器２４から配管（図示せず）によって外部
の水槽に導かれる。

【００２５】排水の流出後も汚泥はバケット９の内周面
９ｂに固着しており、これを掻き取るために、シリンダ
１５によって汚泥除去部をバケット９の内周面９ｂに押
圧した状態でバケット９を低速回転させる。汚泥は、バ
ケット９の回転によって掻取刃２ａに掻き取られて落下
し、バケット９の内周縁９ａに堆積する。この堆積した
汚泥は、バケット９の回転に連れて排除板１によって集
積され、排除板１に沿って、バケット９の中心方向に移
動し、やがてバケット９底部の開口から落下する。汚泥
の排出時には、水受け板２１は、シリンダ２２内のピス
トン操作によって、図４中破線で示す位置まで右方に移
動させてあるので、落下した汚泥は排出口１２の直下に
設置された汚泥収納箱２５に蓄積される。

【００２６】本実施例の遠心分離機の掻取刃２ａが摩耗
した場合には、ケーシング８を上下に分離しケーシング
８の上部とバケット９とを取外し、汚泥除去装置から排
除板１と掻取板２を取外す。本実施例の掻取板２は両側
面に掻取刃２ａを形成してあるので、掻取板２の上下を
入れ替えるように回転させて掻取板２の向きを変えるこ
とによって、再度使用することができる。排除板１は摩
耗が少なく通常は交換の必要がないのでそのまま使用
し、排除板１と掻取板２とを支持板３に取り付けて、バ
ケット９を収容しケーシング８組み立てて、運転を再開
することが可能となる。

【００２７】本実施例では掻取板２を断面台形状に形成
し、掻取刃２ａを線対称の形に構成したが、掻取刃を点
対称の形に構成し、掻取板を断面平行四辺形形状に形成
することも可能である。この場合には掻取板の表裏を入
れ替えるように回転させて掻取刃の向きを変えてやれば
よい。

【００２８】以上、本発明者によってなされた発明を、
前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前
記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱し
ない範囲において種々変更可能であることは勿論であ
る。

【００２９】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。

【００３０】（１）本発明によれば、一枚の掻取板の両
側に刃を形成するので掻取板の耐用期間が略２倍になる
という効果がある。

【００３１】（２）本発明によれば、一枚の掻取板の両
側に刃を形成するので、片側の刃が摩耗した際の作業で
は、新たな掻取板或いは使用した掻取板を運搬する必要
がないので、作業を迅速・容易に行うことが可能になる
という効果がある。

【００３２】（３）本発明によれば、摩耗の少ない排除
板を連続使用するので経済性に優れているという効果が
ある。

【００３３】（４）上記（１），（２），（３）によ
り、遠心分離機に要する経費を低減することができると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例である遠心分離機の汚泥除
去部を示す斜視図、

【図２】 図１中、Ａ−Ａ線に沿った横断面図、

【図３】 従来の汚泥除去部を示す横断面図、

【図４】 本発明の一実施例である遠心分離機の全体を
示す縦断面図、

【図５】 図４中、Ｂ−Ｂ線に沿った横断面図である。

【符号の説明】

１…排除板、１ａ…排除部、２…掻取板、２ａ…掻取
刃、３…支持板、４…ボルト、５…支柱、６…支持軸、
７…除去板、７ａ…掻取刃、７ｂ…排除部、８…ケーシ
ング、９…バケット、９ａ…内周縁、９ｂ…内周面、１
０…軸受、１１…主軸、１２…排出口、１３…廃液管、
１４…ノズル、１５，２２…シリンダ、１６，２３…ロ
ッド、１７…アーム、１８…受け皿装置、１９…枠体、
２０…レール、２１…水受け板、２４…集水器、２５…
汚泥収納箱。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 バケット内に収容した廃液を汚泥と排水
   とに遠心分離し、分離によってバケットの内周面に付着
   した汚泥を掻き取るための掻取刃と掻き取った汚泥を排
   除する排除部とを備えた汚泥除去装置を有する遠心分離
   機において、掻取刃を備えた掻取板と排除部を構成する
   排除板とを別体で分離可能に構成したことを特徴とする
   遠心分離機。
2. 【請求項２】 前記掻取板を、その両側面に掻取刃を対
   称形に配置した両刃に形成したことを特徴とする請求項
   １に記載の遠心分離機。