CN102336873B - 固化性树脂组合物 - Google Patents
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Abstract
一种固化性树脂组合物,其含有树脂(A)、钛化合物(B)和溶剂(C),树脂(A)是包含来自选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐组成的组中的至少一种的结构单元、和来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的加成聚合物,该来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的含量,相对于构成树脂(A)的结构单元总量,为2摩尔%~95摩尔%。
Description
技术领域
本发明涉及固化性树脂组合物。
背景技术
在近年来的液晶显示面板等中为了形成光阻间隙(photo spacer)、外覆层而使用固化性树脂组合物。作为这种固化性树脂组合物,已知有例如,含有不饱和羧酸和/或不饱和羧酸酐与脂肪族多环式环氧化合物的共聚物、聚合性化合物、聚合引发剂和溶剂的固化性树脂组合物(专利文献1)。
专利文献1:日本特开2008-181087号公报
发明内容
但以往提出的固化性树脂组合物,在由该组合物得到的涂膜或图案上涂布取向膜溶液时,取向膜溶液会出现涂膜凹陷,不能均匀涂布,在这方面不能得到充分满足。本发明的课题在于,提供可以获得在涂布取向膜溶液时能够减轻涂抹凹陷的涂膜或图案的固化性树脂组合物。
本发明提供以下方案[1]~[9]。
1.一种固化性树脂组合物,含有树脂(A)、钛化合物(B)和溶剂(C),
树脂(A)是包含来自选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐组成的组中的至少一种的结构单元、和来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的加成聚合物,
该来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的含量,相对于构成树脂(A)的结构单元总量,为2摩尔%~95摩尔%。
2.如上述[1]所述的固化性树脂组合物,其中,钛化合物是式(B-1)所示的化合物,
[化学式1]
式(B-1)中,R3、R4、R5和R6彼此独立地表示碳原子数为1~20的1价有机基团,R3、R4、R5和R6中的任意2个还可以彼此结合形成2价有机基团。
3.如上述[1]或[2]所述的固化性树脂组合物,其中,相对于树脂(A)100质量份,钛化合物(B)的含量是3质量份~60质量份。
4.如上述[1]~[3]的任一项所述的固化性树脂组合物,其中,还含有选自聚合性化合物(D)和聚合引发剂(E)组成的组中的至少1种。
5.如上述[1]~[4]的任一项所述的固化性树脂组合物,其中,具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体是选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物组成的组中的至少1种化合物,
[化学式2]
式(I)和式(II)中,R1和R2彼此独立地表示氢原子、或碳原子数为1~4的烷基,且该烷基所包含的氢原子可以被羟基取代,
X1和X2彼此独立地表示单键、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-,
R3表示碳原子数为1~6的亚烷基,
*表示与O的键合部位。
6.如上述[1]~[5]的任一项所述的固化性树脂组合物,其中,测定波长400~700nm下的平均透射率为70%以上。
7.一种涂膜,其使用上述[1]~[6]的任一项所述的固化性树脂组合物形成。
8.一种图案,其使用上述[1]~[6]的任一项所述的固化性树脂组合物形成。
9.一种显示装置,其含有选自上述[7]所述的涂膜和上述[8]所述的图案组成的组中的至少1种。
具体实施方式
下面将对本发明进行具体说明。
本发明的固化性树脂组合物含有树脂(A)、钛化合物(B)和溶剂(C)而构成,树脂(A)是包含来自选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少一种的结构单元、和来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的加成聚合物,该来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的含量,相对于构成树脂(A)的结构单元总量,为2摩尔%~95摩尔%。
另外,本说明书中,只要没有特别说明,作为各成分例示的化合物可以单独或组合使用。
本发明的固化性树脂组合物含有树脂(A)。树脂(A)是包含来自选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐中的至少1种(a)(下文中有时称作“(a)”)的结构单元、和来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体(b)(下文中有时称作“(b)”)的结构单元的加成聚合物,该来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的含量,相对于构成树脂(A)的结构单元总量,为2摩尔%~95摩尔%。
作为本发明的固化性树脂组合物中使用的树脂(A),可以列举出例如,
树脂(A2-1):由(a)和(b)聚合而成的共聚物,和
树脂(A2-2):由(a)、(b)、和可与(a)及(b)共聚的单体(c)(其中,其不具有碳原子数为2~4的环状醚。)(下文中有时称作“(c)”)聚合而成的共聚物等,但作为树脂(A)优选树脂(A2-1)。
作为(a),具体可以列举出,丙烯酸、甲基丙烯酸、巴豆酸、邻乙烯基苯甲酸、间乙烯基苯甲酸、对乙烯基苯甲酸等的不饱和一元羧酸类;
马来酸、富马酸、柠康酸、中康酸、衣康酸、3-乙烯基邻苯二甲酸、4-乙烯基邻苯二甲酸、3,4,5,6-四氢邻苯二甲酸、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸、二甲基四氢邻苯二甲酸、1,4-环己烯二甲酸等的不饱和二元羧酸类;
甲基-5-降冰片烯-2,3-二羧酸、5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等含有羧基的双环不饱和化合物类;
马来酸酐、柠康酸酐、衣康酸酐、3-乙烯基邻苯二甲酸酐、4-乙烯基邻苯二甲酸酐、3,4,5,6-四氢邻苯二甲酸酐、1,2,3,6-四氢邻苯二甲酸酐、二甲基四氢邻苯二甲酸酐、5,6-二羧基双环[2.2.1]庚-2-烯酐(腐殖酸酐)等的不饱和二羧酸酐类;
琥珀酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯、邻苯二甲酸单[2-(甲基)丙烯酰氧基乙基]酯等2价以上的多价羧酸的不饱和单[(甲基)丙烯酰氧基烷基]酯类;
α-(羟基甲基)丙烯酸之类的在同一分子中含有羟基和羧基的不饱和丙烯酸酯类等。
其中,从共聚反应性方面、碱溶性方面来看,优选使用丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸酐等。
这里,本说明书中的“(甲基)丙烯酸”表示选自丙烯酸和甲基丙烯酸中的至少1种。“(甲基)丙烯酰基”和“(甲基)丙烯酸酯”等的表达也具有同样的含义。
(b)是指例如,具有碳原子数为2~4的环状醚(例如,选自环氧乙烷环、氧杂环丁烷环和四氢呋喃环(oxolane环)中的至少1种)的聚合性化合物。(b)优选为具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体,更优选为具有碳原子数为2~4的环状醚和(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为(b),可以列举出例如,具有环氧乙烷基的单体(b1)(下文中有时称作“(b1)”)、具有氧杂环丁烷基的单体(b2)(下文中有时称作“(b2)”)、具有四氢呋喃基的单体(b3)(下文中有时称作“(b3)”)等。
具有环氧乙烷基的单体(b1)是指具有环氧乙烷基的聚合性化合物。作为(b1),可以列举出例如,具有将链式烯烃环氧化后的结构和碳-碳不饱和双键的单体(b1-1)(下文中有时称作“(b1-1)”)、具有将环式烯烃环氧化后的结构和碳-碳不饱和双键的单体(b1-2)(下文中有时称作“(b1-2)”)。
作为(b1),优选具有环氧乙烷基和烯属碳-碳双键的单体,更优选具有环氧乙烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体,进而优选具有(甲基)丙烯酰氧基的(b1-2)。
作为(b1-1),具体可以列举出,(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-甲基缩水甘油酯、(甲基)丙烯酸β-乙基缩水甘油酯、缩水甘油基乙烯基醚、邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、间乙烯基苄基缩水甘油基醚、对乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-邻乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-间乙烯基苄基缩水甘油基醚、α-甲基-对乙烯基苄基缩水甘油基醚、2,3-双(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,4-双(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,5-双(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,6-双(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,3,4-三(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,3,5-三(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,3,6-三(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、3,4,5-三(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、2,4,6-三(环氧丙氧基甲基)苯乙烯、日本特开平7-248625号公报中记载的化合物等。
作为(b1-2),可以列举出乙烯基环己烯一环氧化物、1,2-环氧-4-乙烯基环己烷(例如,セロキサィド2000;大赛璐化学工业株式会社制)、3,4-环氧环己基甲基(丙烯酸酯)(例如,サィクロマ一A400;大赛璐化学工业株式会社制)、3,4-环氧环己基甲基(甲基丙烯酸酯)(例如,サィクロマ一M100;大赛璐化学工业株式会社制)、式(I)所示的化合物、式(II)所示的化合物等。
[化学式3]
[式(I)和式(II)中,R1和R2彼此独立地表示氢原子、或碳原子数为1~4的烷基,且该烷基所包含的氢原子可以被羟基取代。
X1和X2彼此独立地表示单键、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-。
R3表示碳原子数为1~6的亚烷基。
*表示与O的键合部位。]
作为碳原子数为1~4的烷基,具体可以列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、叔丁基等。
作为羟基烷基,可以列举出羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基、1-羟基丙基、2-羟基丙基、3-羟基丙基、1-羟基-1-甲基乙基、2-羟基-1-甲基乙基、1-羟基丁基、2-羟基丁基、3-羟基丁基、4-羟基丁基等。
作为R1和R2,优选列举氢原子、甲基、羟基甲基、1-羟基乙基、2-羟基乙基,更优选列举氢原子、甲基。
作为亚烷基,可以列举出亚甲基、亚乙基、1,2-亚丙基、1,3-亚丙基、1,4-亚丁基、1,5-亚戊基、1,6-亚己基等。
作为X1和X2,优选列举单键、亚甲基、亚乙基、*-CH2-O-(*表示与O的键合部位)基、*-CH2CH2-O-基,更优选列举单键、*-CH2CH2-O-基。
作为式(I)所示的化合物,可以列举出式(I-1)~式(I-15)所示的化合物等。优选列举式(I-1)、式(I-3)、式(I-5)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-11)~式(I-15)。更优选列举式(I-1)、式(I-7)、式(I-9)、式(I-15)。
[化学式4]
作为式(II)所示的化合物,可以列举出式(II-1)~式(II-15)所示的化合物等。优选列举式(II-1)、式(II-3)、式(II-5)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-11)~式(II-15)。
更优选列举式(II-1)、式(II-7)、式(II-9)、式(II-15)。
[化学式5]
式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物分别可以单独使用。此外,还可以将它们以任意的比例混合。混合时,其混合比例以摩尔比计,优选式(I)∶式(II)为5∶95~95∶5,更优选10∶90~90∶10、尤其优选20∶80~80∶20。
具有氧杂环丁烷基的单体(b2)是指具有氧杂环丁烷基的聚合性化合物。作为(b2),优选具有氧杂环丁烷基和碳-碳不饱和双键的单体,更优选具有氧杂环丁烷基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。作为(b2),可以列举出例如,3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基甲基氧杂环丁烷、3-甲基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-甲基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-甲基丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷、3-乙基-3-丙烯酰氧基乙基氧杂环丁烷等。
具有四氢呋喃基的单体(b3)是指具有四氢呋喃基的聚合性化合物。作为(b3),优选具有四氢呋喃基和碳-碳不饱和双键的单体,更优选具有四氢呋喃基和(甲基)丙烯酰氧基的单体。
作为(b3),具体可以列举出丙烯酸四氢糠酯(可以列举出例如,ビスコ一トV#150、大阪有机化学工业(株)制)、甲基丙烯酸四氢糠酯等。
作为(c),可以列举出例如,(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸仲丁酯、(甲基)丙烯酸叔丁酯等的(甲基)丙烯酸烷基酯类;
(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环己酯、三环[5.2.1.02,6]癸烷-8-基(甲基)丙烯酸酯(本技术领域中的惯用名为二环戊基(甲基)丙烯酸酯。)、二环戊基氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、异冰片基(甲基)丙烯酸酯等(甲基)丙烯酸环状烷基酯类;
(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苄酯等(甲基)丙烯酸芳基酯或芳烷基酯类;
马来酸二乙酯、富马酸二乙酯、衣康酸二乙酯等二羧酸二酯;
(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羟基丙酯等羟基烷基酯类;
双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-(2’-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5-甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二羟基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(羟基甲基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(2’-羟基乙基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二甲氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二乙氧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羟基甲基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-叔丁氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-环己氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-苯氧基羰基双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(叔丁氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯、5,6-二(环己氧基羰基)双环[2.2.1]庚-2-烯等的双环不饱和化合物类;
N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、3-马来酰亚胺基苯甲酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、4-马来酰亚胺基丁酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、6-马来酰亚胺基己酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、3-马来酰亚胺基丙酸N-羟基琥珀酰亚胺酯、N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等的二羰基酰亚胺衍生物类;
苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、对甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对甲氧基苯乙烯、丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙酸乙烯基酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基-1,3-丁二烯等。
其中,从共聚反应性和碱溶性方面来看,优选苯乙烯、N-苯基马来酰亚胺、N-环己基马来酰亚胺、N-苄基马来酰亚胺、双环[2.2.1]庚-2-烯等。
树脂(A2-1)中,来自各单体的结构单元的比率相对于构成树脂(A2-1)的结构单元的总摩尔数优选为以下范围。
来自(a)的结构单元为5~60摩尔%,更优选10~50摩尔%,
来自(b)的结构单元为40~95摩尔%,更优选50~90摩尔%。
当树脂(A2-1)的结构单元的比率在上述范围时,保存稳定性、显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度有变得更好的趋势。
作为树脂(A2-1),优选(b)是(b1)的树脂,更优选(b)是(b1-2)的树脂,进而优选(b)是选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少1种化合物的树脂。
树脂(A2-1)可以参考例如,文献《高分子合成的实验法》,(大津隆行著,出版商:(株)化学同人,第1版第1次印刷,1972年3月1日发行)中记载的方法和该文献中记载的引用文献来制造。
具体可以例示,将(a)和(b)的规定量、聚合引发剂和溶剂等加入到反应容器中,用氮气置换氧气,在脱氧气的情况下进行搅拌、加热、保温的方法。另外,对这里使用的聚合引发剂和溶剂等没有特殊限定,可以使用在本领域中通常使用的任一种。作为聚合引发剂,可以列举出例如,偶氮化合物(2,2′-偶氮二异丁腈、2,2′-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)等)、有机过氧化物(过氧化苯甲酰等),作为溶剂,只要可以使各单体溶解即可,作为固化性树脂组合物的溶剂可以使用后述的溶剂等。
另外,所得的共聚物,既可以直接使用反应后的溶液,也可以使用将其浓缩或稀释后的溶液,还可以通过再沉淀等方法作为固体(粉末)取出后使用。特别是,通过作为在该聚合时的溶剂,使用与后述溶剂(C)相同的溶剂,可以将反应后的溶液直接使用,简化制造工序。
在树脂(A2-2)中,来自各单体的结构单元的比率相对于构成树脂(A2-2)的全部结构单元的总摩尔数优选在以下范围。
来自(a)的结构单元为2~40摩尔%,更优选5~35摩尔%,
来自(b)的结构单元为2~95摩尔%,更优选5~80摩尔%,
来自(c)的结构单元为1~65摩尔%,更优选1~60摩尔%。
当树脂(A2-2)的结构单元的比率在上述范围时,保存稳定性、显影性、耐溶剂性、耐热性和机械强度有变得更好的趋势。
作为树脂(A2-2),优选(b)是(b1)的树脂,更优选(b)是(b1-2)的树脂,进而优选(b)是选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物中的至少1种化合物的树脂。
树脂(A2-2)可以通过与树脂(A2-1)同样的方法制造。
树脂(A)的聚苯乙烯换算的重均分子量优选为3,000~100,000,更优选5,000~50,000。当树脂(A)的重均分子量在上述范围时,涂布性有变得更好的趋势,此外显影时难以发生膜损失,进而有显影时非像素部分的脱去性变得更好的趋势。
树脂(A)的分子量分布[重均分子量(Mw)/数均分子量(Mn)]优选为1.1~6.0,更优选1.2~4.0。当分子量分布在上述范围时,有显影性优异的趋势。
树脂(A)的酸值优选为20~150,更优选40~135,进而优选50~135。这里的酸值是作为中和1g树脂(A)所需要的氢氧化钾的量(mg)测定的值,可以通过使用氢氧化钾水溶液滴定来求出。
树脂(A)的含量相对树脂(A)和聚合性化合物(D)的总量,优选为5~95质量%,更优选20~80质量%,进而优选40~60质量%。当树脂(A)的含量在上述范围时,显影性、附着性、耐溶剂性、机械特性有变得更好的趋势。
本发明的固化性树脂组合物含有钛化合物(B)。作为钛化合物(B),可以列举出式(B-1)所示的化合物、和含有钛原子的配合物等。
[化学式6]
[式(B-1)中,R3、R4、R5和R6彼此独立地表示碳原子数为1~20的1价有机基团,R3、R4、R5和R6的中的任意2个还可以彼此结合形成2价有机基团。]
作为R3、R4、R5和R6所示的有机基团,可以列举出烷基、环烷基、芳基、酰基、有机磺酰基、有机磷酰基、和它们组合的基团,碳原子数总计为1~20。该有机基团还可以具有氨基。其中,优选碳原子数为1~20的烷基、碳原子数为3~20的环烷基、碳原子数为2~20的酰基、碳原子数为6~20的芳基,更优选碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为3~20的环烷基、碳原子数为2~20的酰基,进而优选碳原子数为1~10的烷基。
作为碳原子数为1~20的烷基,可以列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正己基、正辛基等。
作为碳原子数为3~20的环烷基,可以列举出环丙基、环丁基、环己基、环辛基等。
作为碳原子数为6~20的芳基,可以列举出苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、2,3-二甲苯基、2,4-二甲苯基、2,5-二甲苯基、2,6-二甲苯基、3,4-二甲基苯基、3,5-二甲苯基、邻异丙基苯基、间异丙基苯基、对异丙基苯基、4-苯基苯基、邻(二甲苯基甲基)苯基、间(二甲苯基甲基)苯基、对(二甲苯基甲基)苯基、1-萘基、2-萘基等。
作为碳原子数为2~20的酰基,可以列举出乙酰基、丙酰基、丁酰基、新戊酰基、异丁酰基、己酰基、辛酰基、十二碳酰基、棕榈酰基、硬脂酰基、异硬脂酰基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基等。
作为具有氨基的有机基团,可以列举出氨基甲基、2-氨基乙基、N-(氨基甲基)氨基甲基、N-(2-氨基乙基)-1-氨基乙基、N-(2-氨基乙基)-2-氨基乙基等。
作为有机磺酰基,可以列举出苯磺酰基、邻甲苯磺酰基、间甲苯磺酰基、对甲苯磺酰基、邻正十二烷基苯磺酰基、间正十二烷基苯磺酰基、对正十二烷基苯磺酰基等。
作为有机磷酰基,可以列举出-P(O)(OC2H5)2、-P(O)(OC3H7)2、-P(O)(OC4H9)2、-P(O)(OC6H13)2、-P(O)(OC8H17)2、-P(O)-O-P(O)(OC2H5)2、-P(O)(OC8H17)-O-P(O)(OH)(OC8H17)等。
此外,作为R3、R4、R5和R6中的任意2个彼此结合成、并形成的2价有机基团,可以列举出例如,亚甲基、亚乙基、亚丙基、亚丁基、亚丙烯基等。
作为式(B)所示的化合物,可以列举出四甲氧基钛、四异丙氧基钛、四丁氧基钛、四(2-乙基己氧基)钛、三正丁氧基钛单硬脂酸酯、异丙氧基钛三硬脂酸酯等。
作为含有钛原子的配合物,可以列举出,二异丙氧基双(辛二醇)钛、二辛氧基双(辛二醇)钛、二异丙氧基双(乙酰丙酮)合钛、丙二醇双(乙氧乙酰乙酰)合钛等。
作为钛化合物(B),优选式(B-1)所示的化合物,更优选四异丙氧基钛和四丁氧基钛。
钛化合物(B)的含量,相对于树脂(A)100质量份优选为3质量份~60质量份,更优选为7质量份~60质量份,进而优选为15质量份~60质量份,更进而优选为25质量份~60质量份,特别优选40质量份~60质量份,最优选45质量份~55质量份,但在5质量份~50质量份以下时,如实施例所示,可以降低涂膜凹陷。
本发明的固化性树脂组合物含有溶剂(C)。
作为可以在本发明中使用的溶剂,可以从例如酯溶剂(含-COO-的溶剂)、酯溶剂以外的醚溶剂(含-O-的溶剂)、醚酯溶剂(含-COO-和-O-的溶剂)、酯溶剂以外的酮溶剂(含-CO-的溶剂)、醇溶剂、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲亚砜等中选择使用。
作为酯溶剂,可以列举出乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、2-羟基异丁烷酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、甲酸戊酯、乙酸异戊酯、丙酸丁酯、丁酸异丙酯、丁酸乙酯、丁酸丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、环己醇乙酸酯、γ-丁内酯等。
作为醚溶剂,可以列举出乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丙醚、乙二醇单丁醚、二甘醇单甲醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单丁基醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单丁基醚、3-甲氧基-1-丁醇、3-甲氧基-3-甲基丁醇、四氢呋喃、四氢吡喃、1,4-二噁烷、二甘醇二甲醚、二甘醇二乙基醚、二甘醇甲基乙基醚、二甘醇二丙基醚、二甘醇二丁基醚、苯甲醚、苯乙醚、甲基苯甲醚等。
作为醚酯溶剂,可以列举出甲氧基乙酸甲酯、甲氧基乙酸乙酯、甲氧基乙酸丁酯、乙氧基乙酸甲酯、乙氧基乙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸甲酯、2-甲氧基丙酸乙酯、2-甲氧基丙酸丙酯、2-乙氧基丙酸甲酯、2-乙氧基丙酸乙酯、2-甲氧基-2-甲基丙酸甲酯、2-乙氧基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙基醚乙酸酯、丙二醇单丙基醚乙酸酯、乙二醇单甲醚乙酸酯、乙二醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单乙基醚乙酸酯、二甘醇单丁基醚乙酸酯等。
作为酮溶剂,可以列举出4-羟基-4-甲基-2-戊酮、丙酮、2-丁酮、2-庚酮、3-庚酮、4-庚酮、4-甲基-2-戊酮、环戊酮、环己酮、异佛尔酮等。
作为醇溶剂,可以列举出甲醇、乙醇、丙醇、丁醇、己醇、环己醇、乙二醇、丙二醇、甘油等。
作为芳香族烃溶剂,可以列举出苯、甲苯、二甲苯、三甲苯等。
作为酰胺溶剂,可以列举出N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。
这些溶剂既可以单独使用,也可以两种以上组合使用。
在上述溶剂中,从涂布性、干燥性方面考虑,优选1大气压下沸点为120~180℃的有机溶剂。尤其优选丙二醇单甲醚、丙二醇单甲醚乙酸酯、二甘醇甲基乙基醚、3-乙氧基丙酸乙酯、3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲氧基-1-丁醇。
固化性树脂组合物中溶剂(C)的含量,相对于固化性树脂组合物优选为60~95质量%,更优选70~90质量%。换而言之,固化性树脂组合物的固体成分优选5~40质量%,更优选10~30质量%。其中,固体成分是指从固化性树脂组合物中除去溶剂(C)后剩下的量。当溶剂(C)的含量在上述范围时,涂布固化性树脂组合物形成的膜的平坦性有变得更高的趋势。
本发明的固化性树脂组合物优选含有聚合性化合物(D)。
聚合性化合物(D)是可以通过聚合引发剂(E)产生的活性自由基进行聚合的化合物,可以列举出例如,具有聚合性碳-碳不饱和键的化合物等,优选列举(甲基)丙烯酸酯化合物。
作为具有1个聚合性碳-碳不饱和键的聚合性化合物(D),可以列举出作为上述(a)、(b)和(c)所列举的化合物,尤其优选(甲基)丙烯酸酯类。
作为具有2个聚合性碳-碳不饱和键的聚合性化合物(D),可以列举出1,3-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,3-丁二醇(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二甘醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三甘醇二(甲基)丙烯酸酯、四甘醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二丙烯酸酯、双酚A的二(丙烯酰氧基乙基)醚、乙氧基化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、3-甲基戊二醇二(甲基)丙烯酸酯等。
作为具有3个以上聚合性碳-碳不饱和键的聚合性化合物(D),可以列举出三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、乙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、丙氧基化三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯与酸酐的反应物、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯和酸酐己内酯改性三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三(2-羟基乙基)异氰脲酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酰胺改性三季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性三季戊四醇八(甲基)丙烯酸酯、己内酯改性季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应物、己内酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯和酸酐的反应物、己内酯改性三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯和酸酐等。
其中优选3官能以上的单体,更优选二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯。
聚合性化合物(D)的含量相对于树脂(A)和聚合性化合物(D)的总量优选为5~95质量%,更优选20~80质量%。当聚合性化合物(D)的含量在上述范围时,灵敏度、固化后图案的强度、平滑性、可靠性、机械强度有变得更好的趋势。
本发明的固化性树脂组合物优选含有聚合引发剂(E)。作为聚合引发剂(E),只要是可以通过光或热的作用引发聚合的化合物即可,没有特殊限定,可以使用公知的聚合引发剂。
作为聚合引发剂(E),可以列举出例如,联咪唑化合物、苯乙酮化合物、三嗪化合物、酰基氧化膦化合物、肟化合物。此外,还可以使用日本特开2008-181087号公报中记载的光和/或热阳离子聚合引发剂(例如,由鎓阳离子和来自路易斯酸的阴离子构成的引发剂)。其中,尤其优选选自联咪唑化合物、苯乙酮化合物和肟化合物中的至少1种,特别优选联咪唑化合物。当是这些聚合引发剂时,特别是,有灵敏度变更高的趋势,故优选。
作为上述联咪唑化合物,2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑(参照例如日本特开平6-75372号公报、日本特开平6-75373号公报等。)、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(二烷氧基苯基)联咪唑、2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四(三烷氧基苯基)联咪唑(参照例如日本特公昭48-38403号公报、日本特开昭62-174204号公报等。)、4,4’5,5’-位的苯基被烷氧基羰酰取代了的咪唑化合物(参照例如日本特开平7-10913号公报等。)等。优选列举2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2,3-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑、2,2’-二(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基联咪唑。
作为上述苯乙酮系化合物,可以列举出二乙氧基苯乙酮、2-羟基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、苄基二甲基甲酮、2-羟基-1-[4-(2-羟基乙氧基)苯基]-2-甲基丙烷-1-酮、2-羟基-1-{4-[4-(2-羟基-2-甲基-丙酰基)-苄基]-苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、1-羟基环己基苯基酮、2-甲基-1-(4-甲硫基苯基)-2-吗啉代丙烷-1-酮、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁烷-1-酮、2-(2-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(3-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(4-甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-乙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-丙基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-丁基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2,3-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2,4-二甲基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(3-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(4-氯苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(3-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(3-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-甲基-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-甲基-4-溴苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-(2-溴-4-甲氧基苄基)-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉代苯基)丁酮、2-羟基-2-甲基-1-[4-(1-甲基乙烯基)苯基]丙烷-1-酮的低聚物等。
作为上述三嗪系化合物,可以列举出2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基萘基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-胡椒基-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-(4-甲氧基苯乙烯基)-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(5-甲基呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(呋喃-2-基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(4-二乙基氨基-2-甲基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪、2,4-二(三氯甲基)-6-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-1,3,5-三嗪等。
作为上述酰基氧化膦系化合物,可以列举出2,4,6-三甲基苯甲酰基二苯基氧化膦等。
作为上述肟化合物,可以列举出N-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基(sulfanyl)苯基)丁烷-1-酮-2-亚胺、N-乙氧基羰氧基-1-苯基丙烷-1-酮-2-亚胺、N-苯甲酰氧基-1-(4-苯硫基苯基)辛烷-1-酮-2-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺、N-乙酰氧基-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(3,3-二甲基-2,4-二氧杂环戊基甲氧基)苯甲酰基}-9H-咔唑-3-基]乙烷-1-亚胺等。还可以使用Irgacure OXE-01、OXE-02(以上为Ciba JapanK.K.制)、N-1919(ADEKA社制)等的市售品。
进而,作为聚合引发剂(E),可以列举出苯偶姻、苯偶姻甲醚、苯偶姻乙基醚、苯偶姻异丙基醚、苯偶姻异丁基醚等的苯偶姻系化合物;二苯甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、4-苯基二苯甲酮、4-苯甲酰基-4’-甲基二苯硫醚、3,3’,4,4’-四(叔丁基过氧化羰基)二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮等的二苯甲酮系化合物;9,10-菲醌、2-乙基蒽醌、樟脑醌等醌系化合物;10-丁基-2-氯吖啶酮、苯偶酰、苯基乙醛酸甲酯、二茂钛化合物等。它们优选与后述的聚合引发助剂(E1)组合使用。
此外,作为具有可引起链转移的基团的聚合引发剂,还可以使用日本特表2002-544205号公报中记载的聚合引发剂。
作为上述具有可引起链转移的基团的聚合引发剂,可以列举出例如下述式(a)~(f)的化合物。
[化学式7]
上述具有可引起链转移的基团的聚合引发剂,还可以作为构成树脂(A)的成分(c)使用。
本发明的固化性树脂组合物中可以与上述聚合引发剂(E)一起使用聚合引发助剂(E1)。
作为聚合引发助剂(E1),优选使用例如,式(III)所示的化合物。
[化学式8]
[式(III)中,W1所示的虚线表示可以被卤素原子取代的碳原子数为6~12的芳香环。
Y1表示-O-或-S-。
R4表示碳原子数为1~6的1价饱和烃基。
R5表示可以被卤素原子取代的碳原子数为1~12的饱和烃基或可以被卤素原子取代的碳原子数为6~12的芳基。]
作为卤素原子,可以列举出氟原子、氯原子、溴原子等。
作为碳原子数为6~12的芳香环,可以列举出苯环、萘环等。
作为可以被卤素原子取代的碳原子数为6~12的芳香环,可以列举出例如,苯环、甲基苯环、二甲基苯环、乙基苯环、丙基苯环、丁基苯环、戊基苯环、己基苯环、环己基苯环、氯苯环、二氯苯环、溴苯环、二溴苯环、苯基苯环、氯苯基苯环、溴苯基苯环、萘环、氯萘环、溴萘环等。
作为碳原子数为1~6的饱和烃基,可以列举出例如,甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、1-甲基丙基、2-甲基丙基、叔丁基、正戊基、1-甲基丁基、2-甲基丁基、3-甲基丁基、1,1-二甲基丙基、1,2-二甲基丙基、2,2-二甲基丙基、正己基、环己基等。
作为可以被卤素原子取代的碳原子数为1~12的饱和烃基,可以列举出例如,除了上述碳原子数为1~6的饱和烃基外,还有庚基、辛基、壬基、癸基、十一烷基、十二烷基、1-氯丁基、2-氯丁基、3-氯丁基等。
作为可以被卤素原子取代的碳原子数为6~12的芳基,可以列举出苯基、氯苯基、二氯苯基、溴苯基、二溴苯基、氯溴苯基、联苯基、氯联苯基、二氯联苯基、溴苯基、二溴苯基、萘基、氯萘基、二氯萘基、溴萘基、二溴萘基等。
作为式(III)所示的化合物,具体可以列举出,
2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,3-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氟苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氯苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-溴苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-溴苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-氟苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(4-氟苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噻唑啉、2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,3-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氟苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氯苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-氯苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基-5-溴苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基-5-苯基苯并噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(1-萘基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-苯基苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-氟苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[2,1-d]噁唑啉、2-[2-氧代-2-(4-氟苯基)乙叉基]-3-甲基萘并[1,2-d]噁唑啉等。
此外,作为聚合引发助剂(E1),还可以使用式(IV)或式(V)所示的化合物。
[化学式9]
[式(IV)和式(V)中,环W2、W3和环W4彼此独立地表示可以被卤素原子取代的碳原子数为6~12的芳香环或碳原子数为2~10的杂环。Y2~Y5彼此独立地表示-O-或-S-。R6~R9表示碳原子数为1~12的1价饱和烃基或碳原子数为6~12的芳基,该饱和烃基和该芳基所包含的氢原子还可以被卤素原子、羟基或碳原子数为1~6的烷氧基取代。
作为芳香环,可以列举出与式(III)所列举出的同样的芳香环,该芳香环所包含的氢原子还可以被上述列举出的卤素原子任意取代。
作为可以被卤素原子取代的杂环,可以列举出吡啶环、嘧啶环、哒嗪环、吡嗪环、吡喃环等。
作为1价羟基取代饱和烃基,可以列举出,羟基甲基、羟基乙基、羟基丙基、羟基丁基等。
作为羟基取代芳基,可以列举出羟基苯基、羟基萘基等。
作为1价烷氧基取代饱和烃基,可以列举出甲氧基甲基、甲氧基乙基、甲氧基丙基、甲氧基丁基、丁氧基甲基、乙氧基乙基、乙氧基丙基、丙氧基丁基等。
作为烷氧基取代芳基,可以列举出甲氧基苯基、乙氧基萘基等。
作为式(IV)和式(V)所示的化合物,具体可以列举出,
二甲氧基萘、二乙氧基萘、二丙氧基萘、二异丙氧基萘、二丁氧基萘等的二烷氧基萘类;
9,10-二甲氧基蒽、2-乙基-9,10-二甲氧基蒽、9,10-二乙氧基蒽、2-乙基-9,10-二乙氧基蒽、二丙氧基蒽、二异丙氧基蒽、二丁氧基蒽、二戊氧基蒽、二己氧基蒽、甲氧基乙氧基蒽、甲氧基丙氧基蒽、甲氧基异丙氧基蒽、甲氧基丁氧基蒽、乙氧基丙氧基蒽、乙氧基异丙氧基蒽、乙氧基丁氧基蒽、丙氧基异丙氧基蒽、丙氧基丁氧基蒽、异丙氧基丁氧基蒽等的二烷氧基蒽类;
二甲氧基萘并萘、二乙氧基萘并萘、二丙氧基萘并萘、二异丙氧基萘并萘、二丁氧基萘并萘等的二烷氧基萘并萘类;等等。
此外,作为聚合引发助剂(E1),还可以使用噻吨酮化合物。作为噻吨酮化合物,可以列举出例如,2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、2,4-二氯噻吨酮、1-氯-4-丙氧基噻吨酮等。
进而,作为聚合引发助剂(E1),可以列举出胺化合物和羧酸化合物等。
作为胺化合物,可以列举出三乙醇胺、甲基二乙醇胺、三异丙醇胺等的脂肪族胺化合物、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸异戊酯、4-二甲基氨基苯甲酸2-乙基己酯、苯甲酸2-二甲基氨基乙酯、N,N-二甲基甲苯胺、4,4’-二(二甲基氨基)二苯甲酮(通称:米蚩酮)、4,4’-二(二乙基氨基)二苯甲酮之类的芳香族胺化合物。
作为羧酸化合物,可以列举出苯硫基乙酸、甲基苯硫基乙酸、乙基苯硫基乙酸、甲基乙基苯硫基乙酸、二甲基苯硫基乙酸、甲氧基苯硫基乙酸、二甲氧基苯硫基乙酸、氯苯硫基乙酸、二氯苯硫基乙酸、N-苯基甘氨酸、苯氧基乙酸、萘硫基乙酸、N-萘基甘氨酸、萘氧基乙酸等的芳香族杂原子取代乙酸类。
聚合引发剂(E)的含量,相对于树脂(A)和聚合性化合物(D)的总量优选为0.5~30质量%,更优选1~20质量%,进而优选1~10质量%。当聚合引发剂(E)的含量在上述范围时,可以以高灵敏度得到图案。
聚合引发助剂(E1)的使用量,相对于树脂(A)和聚合性化合物(D)的总量优选为0.1~10质量%,更优选0.3~7质量%。当聚合引发助剂(E1)的量在上述范围时,可以以高灵敏度得到图案,所得图案形状良好。
此外,本发明的固化性树脂组合物还可以含有多官能硫醇化合物(T)。多官能硫醇化合物(T)是指分子内具有2个以上巯基的化合物。特别是,当使用具有2个以上与来自脂肪族烃基的碳素原子结合的巯基的化合物时,本发明的固化性树脂组合物的灵敏度有变得更高的趋势。
作为多官能硫醇化合物(T),具体可以列举出己二硫醇、癸二硫醇、1,4-二(甲硫基)苯、丁二醇二(3-巯基丙酸酯)、丁二醇二(3-巯基乙酸酯)、乙二醇二(3-巯基乙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基乙酸酯)、丁二醇二(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、三羟甲基丙烷三(3-巯基乙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基乙酸酯)、三羟基乙基三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丁酸酯)、1,4-二(3-巯基丁氧基)丁烷等。
多官能硫醇化合物(T)的含量,相对聚合引发剂(E)优选为0.1~10质量%,更优选0.5~7质量%。当多官能硫醇化合物(T)的含量在上述范围时,固化性树脂组合物的灵敏度增高,此外显影性有变得更好的趋势,所以优选。
本发明的固化性树脂组合物优选含有表面活性剂(F)。作为表面活性剂,可以列举出例如,硅系表面活性剂、氟系表面活性剂、具有氟原子的硅系表面活性剂等。
作为硅系表面活性剂,可以列举出具有硅氧烷键的表面活性剂。
具体可以列举出Tory silicone DC3PA、Tory silicone SH7PA、Torysilicone DC11PA、Tory silicone SH21PA、Tory silicone SH28PA、Torysilicone SH29PA、Tory silicone SH30PA、聚醚改性硅油SH8400(商品名:Dow Corning Tory Co.,Ltd.制)、KP321、KP322、KP323、KP324、KP326、KP340、KP341(信越化学工业(株)制)、TSF400、TSF401、TSF410、TSF4300、TSF4440、TSF4445、TSF-4446、TSF4452、TSF4460(Mementive PerformanceMaterials Japan.Int.制)等。
作为氟系表面活性剂,可以列举出具有氟碳链的表面活性剂。
具体可以列举出Fluorinert(注册商标)FC430、Fluorinert FC431(住友3M(株)制)、MEGAFACE(注册商标)F142D、MEGAFACE F171、MEGAFACE F172、MEGAFACE F173、MEGAFACE F177、MEGAFACEF183、MEGAFACE R30(DIC(株)制)、EFTOP(注册商标)EF301、EFTOPEF303、EFTOP EF351、EFTOP EF352(三菱材料电子化成(株)制)、Surflon(注册商标)S381、Surflon S382、Surflon SC101、Surflon SC105(旭硝子(株)制)、E5844((株)ダィキンファィンケミカル研究所制)等。
作为具有氟原子的硅系表面活性剂,可以列举出具有硅氧烷键和氟碳链的表面活性剂。具体可以列举出MEGAFACE(注册商标)R08、MEGAFACE BL20、MEGAFACE F475、MEGAFACE F477、MEGAFACEF443(DIC(株)制)等。优选MEGAFACE(注册商标)F475。
表面活性剂(F)的含量,相对于固化性树脂组合物为0.001~0.2质量%,优选0.002~0.1质量%,更优选0.01~0.05质量%。当表面活性剂的含量在上述范围时,可以使涂膜的平坦性良好。
本发明的固化性树脂组合物中,根据需要,还可以并用填充剂、其它高分子化合物、密合促进剂、抗氧化剂、紫外线吸权剂、光稳定剂、链转移剂等各种添加剂。
本发明的固化性树脂组合物,实质不含有颜料和染料等着色剂。即,在本发明的固化性树脂组合物中,着色剂相对于组合物全体的含量为例如,优选少于1质量%,更优选少于0.5质量%。
本发明的固化性树脂组合物,将其填充到光程1cm的石英池中,使用分光光度计在测定波长400~700nm的条件下测定透射率时的平均透射率优选为70%以上,更优选80%以上。
本发明的固化性树脂组合物,在制成涂膜后,涂膜的平均透射率优选为90%以上,更优选为95%以上。该平均透射率是使用分光光度计在测定波长400~700nm的条件下测定加热固化(例如,100~250℃、5分钟~3小时)后的厚度3μm的涂膜时的平均值。由此可以提供在可见光区域透明性优异的涂膜。
本发明的固化性树脂组合物例如,可以通过以后述方式涂布在玻璃、金属、塑料等基板、或形成了滤色器、各种绝缘或导电膜、驱动电路等的上述基板上来形成涂膜。涂膜优选是干燥和固化了的涂膜。此外,还可以将所得的涂膜图案化成希望的形状,作为图案使用。进而,还可以将这些涂膜或图案作为显示装置等的构成部件的一部分来形成并使用。
首先,将本发明的固化性树脂组合物涂布在基板上。
涂布可以如上述那样,使用旋涂机、狭缝旋涂机、狭缝涂布机、喷墨机、辊涂机、浸涂机等的各种涂布装置进行。
接着,优选进行干燥或预烘来除去溶剂等挥发成分。由此可以得到平滑的未固化涂膜。
对此时涂膜的膜厚没有特殊限定,可以按照使用的材料、用途等来适当调节,可以列举出例如1~6μm左右。
进而,对所得的未固化涂膜隔着用于形成目标图案的掩模照射光,例如由汞灯、发光二极管产生的紫外线等。对此时掩模的形状没有特殊限定,可以列举出各种形状。此外,线宽等也可以通过掩模尺寸等来适当调节。
近年来的曝光机,可以将小于350nm的光使用可去除该波长区域的滤波器进行去除,或者将436nm左右、408nm左右、365nm左右的光使用可以输出这些波长区域的带通滤波器进行选择取出,并对整个曝光面均匀照射平行光线。此时为了使掩模和基材准确对准位置,还可以使用掩模对准器(mask aligner)、步进机(stepper)等装置。
在制造没有图案的涂膜时,也可以在不使用掩模的情况下对整个面进行曝光,或者不进行曝光。
然后,可以通过使涂膜与显影液接触,以使规定部分例如非曝光部溶解、显影,由此得到目标图案形状。在制造没有图案的涂膜时,优选不进行显影。
显影方法还可以是覆液法、浸渍法、喷雾法等中的任一种。进而,显影时还可以将基材倾斜任意的角度。
显影中使用的显影液优选为碱性化合物的水溶液。碱性化合物可以是无机和有机的碱性化合物中的任一种。
作为无机的碱性化合物的具体例,可以列举出氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、氨等。
作为有机的碱性化合物,可以列举出例如,四甲基氢氧化铵、2-羟基乙基三甲基氢氧化铵、一甲胺、二甲胺、三甲胺、一乙胺、二乙胺、三乙胺、一异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺等。
这些无机和有机的碱性化合物的水溶液中的浓度优选为0.01~10质量%,更优选0.03~5质量%。
上述碱性化合物的水溶液还可以含有表面活性剂。
表面活性剂可以是非离子系表面活性剂、阴离子系表面活性剂或阳离子系表面活性剂中的任一种。
作为非离子系表面活性剂,可以列举出例如,聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其它的聚氧乙烯衍生物、环氧乙烷/环氧丙烷共聚物、失水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯失水山梨糖醇脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、甘油脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等。
作为阴离子系表面活性剂,可以列举出例如,月桂醇硫酸酯钠、油醇硫酸酯钠之类的高级醇硫酸酯盐类、十二烷基硫酸钠、十二烷基硫酸铵之类的烷基硫酸盐类、十二烷基苯磺酸钠、十二烷基萘磺酸钠之类的烷基芳基磺酸盐类等。
作为阳离子系表面活性剂,可以列举出例如,十八烷基胺盐酸盐、十二烷基三甲基氯化铵之类的胺盐或季铵盐等。
碱性显影液中的表面活性剂的浓度优选为0.01~10质量%的范围,更优选0.05~8质量%,进而优选0.1~5质量%。
在显影后进行水洗,进而还可以根据需要进行后烘。后烘优选在150~240℃的温度范围进行10~180分钟。
进而优选在后烘后照射紫外线。作为紫外线,优选深紫外线。作为曝光量,优选10~10000mJ/cm2。由本发明的固化性树脂组合物得到的涂膜和/或图案还可以与其它树脂膜叠层使用。通常这些树脂膜是通过在上述涂膜和/或图案上涂布树脂溶液进行叠层的。通过向后烘后的涂膜和/或图案照射紫外线,可以抑制涂布在涂膜和/或图案上的树脂溶液出现涂膜凹陷现象。经涂布本发明的固化性树脂组合物、除去挥发成分、接着进行后烘、照射紫外线而制造出的涂膜,在其上涂布的树脂溶液特别难以出现涂膜凹陷。作为上述树脂溶液,可以列举出取向膜溶液等。
作为这样得到的涂膜或图案,可以用作例如,作为液晶显示装置中使用的光阻间隙子、可图案化的外覆层。此外,在对未固化涂膜进行图案化曝光时,可以通过使用孔洞形成用光掩模来形成孔洞,作为层间绝缘膜使用。进而,在对未固化涂膜进行曝光时,可以在不使用光掩模的情况下进行整面曝光和加热固化、或仅进行加热固化,由此形成透明膜。该透明膜可以作为外覆层使用。此外,还可以用于触摸面板等显示装置中。由此可以以高成品率制造出具有高品质的涂膜或图案的显示装置。
本发明的固化性树脂组合物,当在由该固化性树脂组合物获得的涂膜和图案上涂布取向膜溶液的情况中,不容易形成涂膜凹陷。
本发明的固化性树脂组合物是用于形成膜和图案的材料,适合用于形成例如,构成滤色器和/或阵列基板的一部分的透明膜、图案、光阻间隙子、外覆层、绝缘膜、液晶取向控制用突起、微透镜、涂层等。此外,还可以将这些涂膜或图案作为构成部件的一部分用于滤色器、阵列基板等,进而用于具有这些滤色器和/或阵列基板等的显示装置,例如液晶显示装置、有机EL装置等。
实施例
下面将通过实施例来更具体地说明本发明。只要没有特殊说明,例中的“%”和“份”就表示质量%和质量份。
(合成例1)
向带有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L烧瓶中,以0.02L/分钟的流量通入氮气形成氮气氛围,加入3-甲氧基-1-丁醇59质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯81质量份,搅拌下加热到70℃。
接着将甲基丙烯酸40质量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物摩尔比50∶50的混合物)360质量份溶解在3-甲氧基-1-丁醇80质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯110质量份中调制溶液。使用滴液泵将该溶解液用4小时滴加到温度保持在70℃的烧瓶内。
另一方面,将聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)36质量份溶解在3-甲氧基-1-丁醇101质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯139质量份而成的溶液,使用另一滴液泵用5小时滴加到烧瓶中。聚合引发剂的溶液的滴加结束后,在70℃保持4小时,然后冷至室温,从而得到固体成分42.5质量%、酸值56mg-KOH/g的共聚物(树脂Aa)的溶液。所得的树脂Aa的重均分子量(Mw)为7.6×103,分子量分布(Mw/Mn)为2.01。
[化学式10]
(合成例2)
向带有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L烧瓶中,以0.02L/分钟的流量通入氮气形成氮气氛围,加入3-甲氧基-1-丁醇200质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯105质量份,搅拌下加热到70℃。接着将甲基丙烯酸60质量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物摩尔比50∶50的混合。)240质量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯140质量份中调制溶液,该溶解液用滴液漏斗经4小时滴加到温度保持在70℃的烧瓶内。另一方面,将聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)30质量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯225质量份中而成的溶液,使用另一滴液漏斗用4小时滴加到烧瓶中。聚合引发剂的溶液的滴加结束后在70℃保持4小时,然后冷至室温,从而得到固体成分32.6质量%、酸值110mg-KOH/g(固体成分换算)的共聚物(树脂Ab)的溶液。所得的树脂Ab的重均分子量Mw为1.3×104,分子量分布(Mw/Mn)为2.50。
(合成例3)
向带有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L烧瓶中,以0.02L/分钟的流量通入氮气形成氮气氛围,加入3-甲氧基-1-丁醇200质量份和3-甲氧基丁基乙酸酯105质量份,搅拌下加热到70℃。接着将甲基丙烯酸55质量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02.6]癸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物摩尔比50∶50的混合物。)175质量份以及N-环己基马来酰亚胺70质量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯140质量份中配制溶液,将该溶液用滴液泵经4小时滴加到温度保持在70℃的烧瓶中。另一方面,将聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)30质量份溶解在3-甲氧基丁基乙酸酯225质量份中而成的溶液使用另一滴液泵用5小时滴加到烧瓶中。聚合引发剂的溶液的滴加结束后在70℃保持4小时,然后冷至室温,从而得到固体成分32.6质量%、溶液的酸值34.3mg-KOH/g的共聚物(树脂Ac)溶液。所得的树脂Ac的重均分子量(Mw)为13,600、数均分子量(Mn)为5,400、分子量分布为2.5。
(合成例4)
向带有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L烧瓶中,以0.02L/分钟的流量通入氮气形成氮气氛围,加入二甘醇甲乙醚140质量份,搅拌下加热到70℃。
接着将甲基丙烯酸40质量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物的混合物、摩尔比=50∶50)340质量份、二环戊烯基丙烯酸酯(下述式(x1)所示的化合物)20质量份溶解在二甘醇甲乙醚190质量份中,配制溶液。
将所得的溶解液用滴液泵经4小时滴加到温度保持在70℃的烧瓶中。
另一方面,将聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)30质量份溶解在二甘醇甲乙醚240质量份中而成的溶液使用另一滴液泵经5小时滴加到烧瓶中。
聚合引发剂的溶液的滴加结束后在70℃保持4小时,然后冷至室温,从而得到固体成分41.8%的共聚物(树脂Ad)的溶液。所得的树脂Ad的重均分子量(Mw)为9.6×103、分子量分布(Mw/Mn)为2.02,以固体成分换算出的酸值为60mg-KOH/g。
(合成例5)
向带有回流冷凝器、滴液漏斗和搅拌机的1L烧瓶中,以0.02L/分钟的流量通入氮气形成氮气氛围,加入二甘醇甲乙醚140质量份,搅拌下加热到70℃。
接着将甲基丙烯酸40质量份、丙烯酸3,4-环氧三环[5.2.1.02,6]癸酯(式(I-1)所示的化合物和式(II-1)所示的化合物的混合物、摩尔比=50∶50)320质量份、二环戊基丙烯酸酯(下述式(x2)所示的化合物)40质量份溶解在二甘醇甲乙醚190质量份中,配制溶液。
将所得的溶解液用滴液泵经4小时滴加到温度保持在70℃的烧瓶中。
另一方面,将聚合引发剂2,2’-偶氮二(2,4-二甲基戊腈)30质量份溶解在二甘醇甲乙醚240质量份中而成的溶液使用另一滴液泵经5小时滴加到烧瓶中。
聚合引发剂的溶液的滴加结束后在70℃保持4小时,然后冷至室温,从而得到固体成分41.8%的共聚物(树脂Ae)的溶液。所得的树脂Ae的重均分子量(Mw)为7.9×103、分子量分布(Mw/Mn)为1.82,以固体成分换算出的酸值为60mg-KOH/g。
所得的树脂Aa~Ae的重均分子量(Mw)和数均分子量(Mn)的测定是使用GPC法在以下条件下进行的。
装置:K2479((株)岛津制作所制)
柱:SHIMADZU Shim-pack GPC-80M
柱温度:40℃
溶剂:THF(四氢呋喃)
流速:1.0mL/分钟
检测器:RI
将上述得到的聚苯乙烯换算的重均分子量和数均分子量的比(Mw/Mn)作为分子量分布。
(实施例1~7、11~13)
<固化性树脂组合物的调制>
将表1的成分在一起得到固化性树脂组合物1~7和12~14。
表1
表1中各成分如下。
树脂(A):合成例1中得到的树脂Aa。表1中的份数表示以固体成分换算的质量份。
树脂(A):合成例3中得到的树脂Ac。表1中的份数表示以固体成分换算的质量份。
树脂(A):合成例4中得到的树脂Ad。表1中的份数表示以固体成分换算的质量份。
树脂(A):合成例5中得到的树脂Ae。表1中的份数表示以固体成分换算的质量份。
化合物(B):Ba,四异丙氧基钛(A-1;日本曹达(株)制)
化合物(B):Bb,四丁氧基钛
溶剂(C):Ca,二甘醇丁醚乙酸酯
溶剂(C):Cb,3-甲氧基丁基乙酸酯
溶剂(C):Cc,3-甲氧基1-丁醇
溶剂(C):Cd,二甘醇甲基乙基醚
聚合性化合物(D):二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA:日本化药(株)制)
添加剂1:氟系表面活性剂,MEGAFACEF489((株)DIC制)
添加剂2:抗氧化剂,IRGANOX3114(Ciba Japan.K.K社制)
溶剂(C)是以固化性树脂组合物的固体成分量为表1的“固体成分量(%)”的方式进行混合的,溶剂(C)中的溶剂成分(Ca)~(Cc)的值表示溶剂(C)中的质量比。
<组合物的平均透射率>
对所得的固化性树脂组合物1~7分别使用紫外可见近红外光谱仪(V-650;日本分光(株)制)(石英池,光程:1cm),测定400~700nm下的平均透射率(%)。结果如表1所示。
<膜的平均透射率>
使用所得的固化性树脂组合物1~7分别以固化后的膜厚为3μm的方式,以下述条件制作膜。
将2英寸见方的玻璃基板(#1737;Corning社制)依次用中性洗剂、水和乙醇清洗,然后干燥。在该玻璃基板上以后烘后的膜厚为3.0μm的方式旋转涂布固化性树脂组合物,接着在洁净的烘箱中90℃下预烘3分钟。然后在230℃下加热20分钟,从而得到膜。
对所得的膜使用显微分光测光装置(OSP-SP200;OLYMPUS社制)测定400~700nm下的平均透射率(%)。透射率较高表示吸收较小。结果如表1所示。
<涂膜的形成>
将所得的固化性树脂组合物1~7分别使用旋涂机以后烘后的膜厚为2.0μm的方式旋转涂布在玻璃基板上,然后使用减压干燥机(Microtek(株)制)进行减压直至真空度为66kPa,并干燥,然后在电热板上80℃下预烘2分钟进行干燥。进而在230℃下加热20分钟,形成涂膜。
<接触角>
使用接触角计(DGD Fast/60;GBX社制)测定所得涂膜的离子交换水接触角。进而,使用UV清洗机(Microtek(株)制)对所得的涂膜大气环境下照射曝光量1000mJ/cm2(254nm基准)的光,然后以与上述同样的方式测定接触角。结果如表2所示。
接触角越小,在由上述组合物形成的涂膜上另行形成涂膜时,越难以发生涂膜凹陷、不均等。
<涂膜凹陷>
使用UV清洗机(Microtek(株)制)在大气环境下对所得的涂膜照射曝光量1000mJ/cm2(254nm基准)的光,然后使用旋涂机以涂布后的膜厚为0.15μm的方式旋转涂布聚酰亚胺清漆(サンェバ一5291;日产化学工业(株)制)。目视观察涂布上的聚酰亚胺清漆,将有涂膜凹陷的情况记作“×”,将没有涂膜凹陷的情况记作“○”,结果如表2所示。
表2
(实施例8~10、比较例1)
<固化性树脂组合物的调制>
将表3的成分混合在一起,得到固化性树脂组合物8~11。
表3
表3中各成分如下。
树脂(A):合成例2中得到的树脂Ab。表3中的份数表示以固体成分换算的质量份。
化合物(B):Ba,四异丙氧基钛(A-1;日本曹达(株)制)
化合物(B):Bb,四丁氧基钛
聚合性化合物(D):二季戊四醇六丙烯酸酯(KAYARAD DPHA;日本化药(株)制)
聚合引发剂(E):Ea,2,2’-二(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-联咪唑(B-CIM;保土谷化学(株)制)
聚合引发助剂(E1):2-[2-氧代-2-(2-萘基)乙叉基]-3-甲基苯并噻唑啉(式(III-1)所示的化合物)
[化学式11]
多官能硫醇(T):季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)(堺化学工业(株)制PEMP)
溶剂(C):Ca,丙二醇单甲醚乙酸酯
溶剂(C):Cb,3-乙氧基丙酸乙酯
溶剂(C):Cc,3-甲氧基-1-丁醇
溶剂(C):Cd,3-甲氧基丁基乙酸酯
添加剂1;聚醚改性硅油(Dow Corning Tory Co.,Ltd.制SH8400)
添加剂2;IRGANOX3114(Ciba JapanK.K.制)
溶剂(C)是以固化性树脂组合物的固体成分量为表1的“固体成分量[%]”的方式进行混合,溶剂(C)中的溶剂成分(Ca)~(Cd)的值表示溶剂(C)中的质量比。
<接触角>
对固化性树脂组合物8~11以与实施例1同样的方式测定接触角。结果如表4所示。
<涂膜凹陷>
对固化性树脂组合物8~11以与实施例1同样的方式测定接触角。结果如表4所示。
<图案形成>
将2英寸见方的玻璃基板(#1737;Corning社制)依次用中性洗剂、水和醇清洗,然后干燥。在该玻璃基板上将固化性树脂组合物以后烘后的膜厚为3μm的方式进行旋转涂布。
然后使用减压干燥机(VCDMicrotek(株)制)进行减压直至真空度为0.5torr并干燥。在电热板上80℃下预烘2分钟进行干燥。冷却后,使该涂布了固化性树脂组合物的基板与石英玻璃制光掩模的间隔为10μm,使用曝光机(TME-150RSK;TOPCON CORPORATION制、光源;超高压汞灯),在大气环境下照射曝光量100mJ/cm2(405nm基准)的光。另外,此时对固化性树脂组合物的照射,是使超高压汞灯的放射光透过光学滤波器(LU0400;朝日分光(株)制)进行的。此外,作为光掩模使用在同一平面上形成了图案(具有边长为19μm的正方形透光部,该正方形的间隔为100μm)(即透光部)的光掩模。
光照射后将上述涂膜在含有0.12%非离子系表面活性剂和0.04%氢氧化钾的水系显影液中25℃下浸渍、摇动100秒钟以显影,水洗后在烘箱中、235℃下进行15分钟后烘,从而得到图案。
<图案幅度的测定>
使用三维非接触表面形状计测系统(Micromao MM527N-PS-M100;(株)菱化SYSTEM社制)测量所得图案的宽度。测量相对于图案高度高出基板面5%的高度的图案幅度。结果如表4所示。
<机械特性(总位移量和恢复率)>
使用动态超微小硬度计(DUH-W201;(株)岛津制作所制)测定所得图案的总位移量(μm)和弹性位移量(μm),计算出恢复率(%)。恢复率越高,就越有可能制造出强度优异的液晶面板。结果如表4所示。
-测定条件-
试验模式:载荷-除荷试验
试验力:50mN
载荷速度:4.41mN/sec
保持时间:5sec
压物:圆锥台压物(直径50μm)
恢复率(%):(弹性位移量(μm)/总位移量(μm))×100
表4
确认了,本发明的固化性树脂组合物,当在由该组合物获得的涂膜和图案上涂布取向膜溶液的情况中,涂膜凹陷减轻。
通过使用这样的固化性树脂组合物形成涂膜或图案,并利用其来制造显示装置,可以提高成品率。
产业可利用性
本发明的固化性树脂组合物,当在由该固化性树脂组合物获得的涂膜和图案上涂布取向膜溶液的情况中,不容易形成涂膜凹陷。
本发明的固化性树脂组合物是用于形成膜和图案的材料,适合用于形成例如,构成滤色器和/或阵列基板的一部分的透明膜、图案、光阻间隙子、外覆层、绝缘膜、液晶取向控制用突起、微透镜、涂层等。此外,还可以将这些涂膜或图案作为构成部件的一部分用于滤色器、阵列基板等,进而用于具有滤色器和/或阵列基板等的显示装置,例如液晶显示装置、有机EL装置等。
Claims (8)
1.一种固化性树脂组合物,其含有树脂(A)、式(B-1)所示的钛化合物(B)和溶剂(C),
树脂(A)是包含来自选自不饱和羧酸和不饱和羧酸酐组成的组中的至少一种的结构单元、和来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的加成聚合物,
该来自具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体的结构单元的含量,相对于构成树脂(A)的结构单元总量,为2摩尔%~95摩尔%,
式(B-1)中,R3、R4、R5和R6彼此独立地表示碳原子数为1~20的1价有机基团,R3、R4、R5和R6中的任意2个还可以彼此结合形成2价有机基团。
2.如权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,相对于树脂(A)100质量份,钛化合物(B)的含量是3质量份~60质量份。
3.如权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,还含有选自聚合性化合物(D)和聚合引发剂(E)组成的组中的至少1种。
4.如权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,具有碳原子数为2~4的环状醚和碳-碳不饱和双键的单体是选自式(I)所示的化合物和式(II)所示的化合物组成的组中的至少1种化合物,
式(I)和式(II)中,R1和R2彼此独立地表示氢原子、或碳原子数为1~4的烷基,且该烷基所包含的氢原子可以被羟基取代,
X1和X2彼此独立地表示单键、-R3-、*-R3-O-、*-R3-S-、*-R3-NH-,
R3表示碳原子数为1~6的亚烷基,
*表示与O的键合部位。
5.如权利要求1所述的固化性树脂组合物,其中,测定波长400~700nm下的平均透射率为70%以上。
6.一种涂膜,其使用权利要求1所述的固化性树脂组合物形成。
7.一种图案,其使用权利要求1所述的固化性树脂组合物形成。
8.一种显示装置,其含有选自权利要求6所述的涂膜和权利要求7所述的图案组成的组中的至少1种。
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