CN102300720A - 网板印刷用网状部件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够消除由于容易卡住刮浆板而成为难以均匀地涂抹糊剂的原因的刮浆板接触面上的凹凸部，具有作为网状部件所需的均匀的强度，且具有高精细印刷所需的网眼数的网板印刷用网状部件。本发明的网板印刷用网状部件中，通过在轧制金属箔上开设多个孔而制作多个开口部及线部，且构成所述线部的至少单方的面平坦，厚度为5μm以上且25μm以下，并且进行拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的单位宽度1cm后的拉伸强度为20N/cm以上，网眼数为250(个/英寸)以上。

Description

网板印刷用网状部件

技术领域

本发明涉及网板印刷中使用的网状部件，尤其是涉及为了实现印刷膜厚较薄的高精细的网板印刷所使用的网板印刷用网状部件。

背景技术

基于网板印刷的电子产品的制造广泛实施，例如适用于陶瓷电容器、IC标签等。近年来的电子产品的薄型化、高集成化的倾向不断追求更薄的印刷膜厚。

图1是网板印刷中通常使用的印刷版的局部放大说明图。编织由金属或聚酯构成的细线1而制作的网状部件(网眼织品)铺设在网板框(未图示)后，在整面涂敷树脂4(感光性乳剂)，并利用掩模覆盖。然后，通过仅对未印刷的部分曝光而使感光性乳剂4硬化，并除去欲印刷的部分的感光性乳剂4，从而制成印刷版5。需要说明的是，图中，符号2表示网状部件的开口部(网眼开口部)。

在网板印刷中，通过使刮浆板(squeegee)6移动，而将糊剂7(墨7)填充到印刷图案部3(参照所述图1)的网眼开口部2，并使糊剂7附着在印刷对象物8上[图2(a)]。在刮浆板6通过后，在印刷版的张力(tension)的作用下，印刷版5(参照图1)与印刷对象物8分离，但糊剂7残留在印刷对象物8上。由此，进行如除去感光性乳剂4后的图案那样的印刷。刚印刷后的糊剂7在与网眼开口部2对应的部分残留较厚，在与细线1对应的部分残留较薄[图2(b)]，但在糊剂7的粘性和表面张力的作用下变得平坦化(水平化)[图2(c)]。此时，糊剂7有可能会超过印刷版5的网眼开口部2而扩展，该糊剂7的扩展称为印刷的浸渗[图2中，由符号7a表示]。

印刷膜厚(涂敷在印刷对象物8上的糊剂7的厚度d1)由印刷版5的厚度和网状部件的开口率(网眼开口部2的总面积比率)决定。在相同印刷面积的情况下，已知

印刷膜厚(μm)＝印刷版的厚度(μm)×开口率(％)

这一关系成立。包含感光性乳剂4的厚度在内的印刷版的厚度无法比网状部件的厚度更薄，因此为了得到薄的印刷版而需要在减薄网状部件的厚度方面作努力。

虽然减小开口率也与减薄印刷膜厚有关联，但减小开口率时，残留在印刷对象物上的糊剂7的量减少，因此有可能会发生糊剂7的不连续(印刷模糊)。由此，需要将网状部件的开口率确保在规定值以上，在此基础上减薄印刷版的厚度，即减薄网状部件的厚度是用于减薄印刷膜厚的最重要的因素。当印刷版5的厚度与网状部件的厚度相同时，计算上的印刷膜厚与网状部件的厚度及开口率的关系如表1所示，仅供参考。

【表1】

计算上的印刷膜厚(单位：μm)

另外，当进行印刷图案宽度或图案的间隔窄的印刷时，若糊剂7的量过多则浸渗增大，因此需要将糊剂7的量抑制成必要最低限度。从此种观点出发，印刷版的厚度(即，对应的网状部件的厚度)越薄，越能够形成高精细的印刷。

网板印刷用网状部件是为了将感光性乳剂4保持为平板和为了加强感光性乳剂4的强度而使用的部件。此种网状部件通常通过利用机械编织由金属或聚酯构成的细线1而制成，因而难以避免其表面上的凹凸部的存在。因此，固定在网状部件上的感光性乳剂4也因表面具有凹凸部而不平坦，容易卡住刮浆板6，因此存在难以均匀地涂抹糊剂7的缺点。而且，在涂敷感光性乳剂4而对其进行曝光时，光照射到细线1的表面而改变反射方向，连本来不想使其硬化的图案部的感光性乳剂4都被硬化，从而印刷图案部的宽度不均匀。

作为编织细线1而形成的网状部件(网眼织品)，通常使用编织13～40μm直径的线材而成的厚度30～90μm的网状部件。为了得到厚度薄的网状部件，想办法使用尽可能细的线材。例如专利文献1中提出有编织线径小于10～21μm的奥氏体系不锈钢制的极细线而制作的网状部件(金属网眼织品)。然而，在仅对线材进行了极细化的金属网眼织品中，线材的交叉部的厚度成为细线的直径的2倍，因此未能得到厚度小于20μm的网状部件。

另外，在专利文献2中提出有通过轧制加工而将金属网眼织品的交叉部形成为平坦状，通过研磨等对该轧制平坦部的至少一部分进行倒角，由此减薄网状部件的厚度的技术。根据该技术，示出了通过对轧制加工后的细线直径18.8μm、厚度24.5μm的网状部件进行研磨，而将网状部件的厚度减薄至21.8μm的情况(参照专利文献2、实施例)。然而，在此种技术中，金属细线也因研磨而直径减少(研磨后的线径：18.2μm)，若再继续研磨而减薄网眼的厚度，则网状部件的强度有可能不足而无法铺设在网板框上。而且研磨不均匀时，会发生研磨引起的直径减少过度，形成强度低的部分，因而网状部件有可能会断裂。

另一方面，例如专利文献3中提出有利用电铸法(电解析出)使镍堆积成网状物形状，由此来制作网板印刷用的网状部件的方法。然而，通过电铸法制作的网状部件(以下，也将其称为“电铸网状物”)作为适用于薄的印刷膜厚且高精度的网板印刷的网状部件，存在以下的问题。

在电铸法中，在包含镍等金属的电解溶液(电解浴)中通过施加电压而使正电荷的金属离子向阳极电极移动，移动的金属离子堆积(电沉积)而形成金属膜。该原理是与广泛使用的金属镀敷相同的原理。在电铸法中，通过调整电压或时间，而能得到厚度不同的电铸膜。电极侧的金属所析出的基板为平板时，能得到金属箔，但通过使用所希望的形状的基板(母模)进行电铸而能够得到各种形状的电铸品。使用以一定的间隔具有凸部的基板进行电铸，在镍等的金属析出到凸部的间隙之后，若在凸部的上表面以下停止电沉积，则制作出具有线部和开口部的网眼形状的金属箔。通过将其从基板剥落，而能够得到具有线部和开口部的电铸网状物。

已知在通过镀敷法或电铸法制作的金属膜或金属箔中残留有内部应力。该应力也被称为残留应力或电沉积应力，较大地影响网状部件的强度等。即使是出自同种电铸浴的电铸，也有电沉积应力产生差别且强度不同的情况。而且已知有为了提高网状部件的强度，而使镍中含有钴等，但在此种合金中，内部的电沉积应力等也成为问题，各电铸网状物之间的强度差异较大。由此，在电铸网状物中，强度的变动增大，有可能会制作出局部强度低的网状部件。

电铸网状物由于忠实地复制基板的形状或表面结构，因此连作成基板时产生的微小的毛刺、划痕或龟裂都进行转印。即，当基板表面上存在毛刺时，电铸网状物上也会存在有将基板的毛刺转印后的微小的划痕或龟裂。此种划痕或龟裂存在于网状部件的情况下，当拉伸网状部件时，应力集中在被拉伸的部分而使网状部件容易破损。而且，当因转印基板表面的划痕或龟裂而在网状部件的表面形成突起形状部时，突起形状部因印刷时与刮浆板的反复接触而被去除，有可能会产生划痕或龟裂。由于此种划痕或龟裂，网状部件有可能会断裂。

此外，电铸网状物由于需要从基板剥落网状部件，因此在从基材剥落网状部件时，存在龟裂容易进入到线与线交叉的部分的缺点。尤其是利用电铸法制作厚度25μm以下且网眼数多的网状部件时，由于线宽度窄且厚度薄，因此在从基板剥离的过程中，龟裂进入线部的情况较多。若网状部件的表面存在划痕或龟裂，则当铺设网状部件时或利用刮浆板进行印刷时等，应力集中在划痕或龟裂部分，因此网状部件可能会从划痕或龟裂部分开始断裂。

如上所述，电铸网状物存在表面具有小的划痕或龟裂的情况或因电沉积应力而产生强度变动的情况。即，在电铸网状物中，强度变动大，存在强度低的部分，因此由于将网状部件铺设在网板框时的张力或刮浆板的按压力(印压)，而有可能从强度最低的部分开始断裂。

【专利文献1】日本国专利第3497844号公报

【专利文献2】日本国特开2006-326953号公报

【专利文献3】日本国专利第3516882号公报

发明内容

本发明鉴于此种情况而做出，其目的在于提供一种能够消除由于容易卡住刮浆板而成为难以均匀地涂抹糊剂的原因的刮浆板接触面上的凹凸部，具有作为网状部件所需的均匀的强度，且具有高精细印刷所需的网眼数的网板印刷用网状部件。

能够解决上述课题的本发明的网板印刷用网状部件的特征在于，通过在轧制金属箔上开设多个孔而制作多个开口部及线部，且构成所述线部的至少单侧的面平坦，厚度为5μm以上且25μm以下，并且进行拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的每1cm宽度后的拉伸强度为20N/cm以上，网眼数为250(个/英寸)以上。

作为本发明的网板印刷用网状部件的优选实施方式，列举有(a)开口率为25％以上且为下述(1)式规定的值以下，(b)开口部的外观形状形成为朝向印刷对象物变宽等。而且，成为本发明的网板印刷用网状部件的原材料的轧制金属箔并未特别限定，列举有不锈钢、钛或钛合金、镍或镍合金、铜或铜合金、及铝合金的任一种。

【数1】

需要说明的是，在本说明书中，开口率表示开口部的总面积相对于含有开口部的网状部件的总面积的比例。

【发明效果】

根据本发明的网板印刷用网状部件，能够实现一种消除由于容易卡住刮浆板而成为难以均匀地涂抹糊剂的原因的刮浆板接触面上的凹凸部，具有作为网状部件所需的均匀的强度，且具有高精细印刷所需的网眼数的网板印刷用网状部件。

附图说明

图1是网板印刷中通常使用的印刷版的局部放大说明图。

图2是用于说明现有技术的网板印刷的糊剂的填充状态的图，(a)表示印刷中的状态，(b)表示刚印刷之后的状态，(c)表示糊剂平坦化后的状态。

图3是用于说明使用本发明的网状部件时的网板印刷中糊剂的填充状态的图，(a)表示印刷中的状态，(b)表示刚印刷之后的状态，(c)表示糊剂平坦化后的状态。

图4是表示每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)与每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的关系的图形。

图5是用于说明孔的开口形状的图。

图6是用于说明孔的外观形状的图，(a)表示通常的外观形状，(b)(c)(d)分别表示本发明中优选的外观形状。

图7是表示在实施例1中得到的网状部件的形状的代替附图的照片。

图8是表示在实施例2中得到的网状部件的形状的代替附图的照片。

图9是表示在实施例3中得到的网状部件的形状的代替附图的照片。

图10是表示在实施例4中的各试验片的每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的图形。

具体实施方式

为了解决上述课题，本发明者们从各种角度反复进行了研究。其结果是，本发明者们发现使用通过轧制而制造的金属箔(以下，称为“轧制金属箔”)作为原材料，对该轧制金属箔实施开孔加工而构成网状部件，从而能够实现一种构成线部的至少单面(刮浆板所接触的面)平坦、厚度具有25μm以下、且没有强度不均的高精细的网板印刷用网状部件，从而完成了本发明。

在本发明的网状部件中，使用轧制金属箔作为其原材料是重要的因素。轧制金属箔具有平坦的表面、薄且均匀的厚度、高拉伸强度，并且强度的变动极少。在以此种轧制金属箔为原材料来制作网状部件时，能得到厚度或强度的变动几乎不存在的网状部件。

另外，轧制金属箔的厚度会反映为网状部件的厚度。因此，通过对厚度25μm以下的轧制金属箔进行多个开孔加工，从而能够实现具有用于供糊剂透过的开口部(孔)和用于维持形成为网状部件时的强度的线部(图3的1a所示)的网状部件，且该网状部件的厚度为25μm以下。

通过如上所述构成网状部件，刮浆板6所接触的网状部件或感光性乳剂4的表面平坦，刮浆板6的动作顺利[图3(a)]。由此，能够容易均匀地涂抹糊剂[图3(b)]，并进行印刷膜厚d2薄的高精细的图案的印刷[图3(c)]。需要说明的是，通过厚度25μm以下且开口率60％以下的网状部件，在计算上能够将印刷膜厚d2形成为15μm以下(参照所述表1)。

如上所述，使网状部件的厚度越薄就能够使印刷膜厚越薄，但在当前的轧制技术中，稳定地获得厚度小于5μm的轧制金属箔的情况极其困难。而且，在厚度小于5μm的轧制金属箔中，为了确保网状部件所需的强度而无法得到充分的开口率。由此，本发明的网状部件的厚度为5μm以上且25μm以下。

根据本发明，满足网状部件所要求的强度特性，但与强度相关的研究的原委如下所述。首先，通过蚀刻对厚度(5μm以上，25μm以下)不同的不锈钢箔实施开孔加工，从而制作了开口率不同的各种网状部件。详细而言，在掩模上描绘开口图案，并对轧制不锈钢箔涂敷了抗蚀剂后，对掩模的开口图案进行曝光、显影，然后，通过蚀刻进行了开孔加工后，剥离抗蚀剂，从而制作了各种网状部件。

利用测微计(株式会社ミツトヨ制)测定了制作的网状部件(后述表2的试验No.1～11)的厚度。而且，通过光学显微镜观察而确认到了构成线部1a的面(即，刮浆板所接触的面)平坦的情况。而且，使用拍摄到的显微镜图像，通过通用图像处理软件(ナノシクテム株式会社制)测定线宽度(线部1a的宽度)和开口宽度(孔的宽度)，根据间距(线宽度与开口宽度的总计)而计算得到网眼数(个/英寸)。而且根据开口宽度和间距而算出了开口率[开口宽度(μm)²/间距(μm)²×100(％)]。此外，根据

的计算式，算出与每单位宽度的开口部间的线部的截面积相当的每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)。需要说明的是，上述

表示例如开口率为50％时作为

进行计算。

另外，从制作的网状部件切出宽度15mm、标距100mm的试验片，通过拉伸试验机(株式会社オリエンテツク制)实施了拉伸试验。将进行拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的每1cm宽度，而求出每单位宽度的拉伸强度。

上述的结果[网状物的厚度(μm)，网眼数(个/英寸)，每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)，开口率(％)，每单位宽度的拉伸强度(N/cm)]如下述表2所示。关于表2所示的“负载试验”在下面进行叙述。需要说明的是，对于制作的全部的网状部件，确认到了刮浆板所接触的面的线部1a为平坦的。

【表2】

本发明者们根据上述拉伸试验的结果，分析了对网状部件的拉伸强度产生影响的主要原因。其结果是，判明了对轧制金属箔进行开孔加工而制作的网状部件的每单位宽度的拉伸强度(N/cm)与每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)成比例。每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)与每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的关系如图4所示。在印刷版制作时铺设网状部件之际应力最大的是截面积最小的开口部间的线部，在对轧制金属箔进行开孔加工而制作的网状部件中，其每单位宽度的拉伸强度与每单位宽度的最小截面积成比例。

制作网状部件前的轧制金属箔的强度通常由拉伸强度(N/mm²)表示，根据轧制金属箔的种类来表示特定的拉伸强度。由此，从轧制金属箔制作出的网状部件的每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的计算上的最大值成为[轧制金属箔的拉伸强度(N/mm²)]×[每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)]。

本发明者们为了评价制作出的网状部件是否具有作为薄的印刷膜厚且高精细的网板印刷版用网状部件的强度而进行了负载试验。在负载试验中，利用模拟了印刷版的铝框的金属制夹紧件夹持网状部件的四边，与网板印刷版制作同样地将张力计(株式会社プロテツク制)放置在网状部件的中央部而计测网状部件的沉入量(mm)，并使夹着网状部件的夹紧件移动而拉拽网状部件。这是为了模拟评价在印刷版的铝框上铺设网状部件的状态下能否经受得住刮浆板的印压(按压载荷)。如此在铺设了网状部件的状态下，使用压缩试验机(インストロン社制)，与网板印刷时同样地将夹盘所夹持的网板印刷用聚氨酯橡胶制的刮浆板向网状部件按压，观察是否耐受作用于网状部件的张力和刮浆板的印压。当网状部件的线部破裂时网状部件整体会破损，因此观察通过目视进行，网状部件的线部未破裂时判定为“○”，网状部件的线部只要有一处破裂时就判定为“×”。其结果一并记载在上述表2中。

负载试验的结果是，制作的网状部件中的试验No.1、2(图4所示的比较例)破损，但试验No.3～11(图4所示的实施例)未破损。即，网状部件破损的试验No.1，2的每单位宽度的拉伸强度都小于20N/cm，每单位宽度的拉伸强度具有20N/cm以上的试验No.3～11都未破损。从该试验的结果可知，通过使网状部件的每单位宽度的拉伸强度为20N/cm以上，能够实现可使用于网板印刷的网状部件。根据该结果，将本发明的网状部件的进行了拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的每1cm宽度后的每单位宽度的拉伸强度规定为20N/cm以上。

本发明者研究了网板印刷用网状部件的网眼数与印刷精度的关系。其结果是，判明了使用高粘度的糊剂时，印刷渗透减少，能够实现高精度的印刷。而且，为了实现此种高精度的印刷，需要使网眼数为250(个/英寸)以上。由此，在本发明的网状部件中，其网眼数形成为能够印刷微细的图案的250(个/英寸)以上。通过使线宽度与开口宽度的总计的间距为100μm以下，能够得到通过对轧制金属箔开设孔而形成的网眼数为250(个/英寸)以上的网状部件。

对轧制金属箔进行了开孔加工的网状部件的开口率越小而强度越高。然而，缩小开口率时，开口部的糊剂的填充量减少，会发生印刷模糊。因此，在尝试制作了改变开口率的网状部件并作成网板印刷用印刷版而进行了印刷试验的情况下，可知开口率小于25％时发生印刷模糊，但开口率为25％以上时能够进行良好的印刷。

如上所述，网状部件的每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的计算上的最大值为

[轧制金属箔的拉伸强度(N/mm²)]×[每单位宽度的最小截面积(mm²/cm)]。

每单位宽度的最小截面积为

因此，每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的计算上的最大值为

开口率越大而每单位宽度的拉伸强度(N/cm)的计算上的最大值越小。

根据网状部件的负载试验的结果，作为网板印刷用的网状部件，每单位宽度的拉伸强度需要为20N/cm以上。由此，即使在厚度不同的情况下，网状部件的开口率至少也需要使每单位宽度的拉伸强度成为20N/cm的开口率(计算上的最大开口率)以下。计算上的最大开口率可以通过

的关系式算出，因此计算上的最大开口率可以利用下述(1)式算出。

【数2】

即，为了确保网板印刷所需的开口率25％以上并确保每单位宽度的拉伸强度20N/cm以上，网状部件的开口率优选为利用上述(1)式算出的计算上的最大开口率以下。

本发明者们研究了当网状部件的开口率为25％以上且为利用上述(1)式算出的计算上的最大开口率以下时，网状部件的每单位宽度的拉伸强度是否能确保为20N/cm以上。此时使用的不锈钢箔的拉伸强度为1430N/mm²，因此由不锈钢箔构成的网状部件的计算上的最大开口率可以利用[1-20(N/cm)÷1430(N/mm²)÷厚度(mm)÷10]²×100(％)算出。厚度为6μm时开口率为59％，厚度为10μm时开口率为74％，厚度为11μm时开口率为76％，厚度为21μm时开口率为87％。研究的结果是，试验No.3～11的网状部件的开口率都为计算上的最大开口率以下，每单位宽度的拉伸强度为20N/cm以上。试验No.1、2的开口率超过厚度6μm时的计算上的最大开口率即59％，每单位宽度的拉伸强度小于20N/cm。

在本发明的网状部件中，形成多个的孔的形状(开口形状)并未限定，例如也可以是圆形或六边形(网状部件的整体形状为蜂窝状)。然而，在确保开口率并保持强度方面，优选图5中A所示的四边形状(网状部件的整体形状为格子状)。

另外，孔的外观形状并未限定，但优选形成为朝向印刷对象物变宽。图6是用于说明孔的外观形状的图。图6(a)表示孔9的侧壁朝向印刷对象物(朝向6图的下方)垂直的通常的孔的外观形状。在图6(b)～(d)中，通过对线部1a的截面形状想各种办法，而将孔的外观形状形成为朝向印刷对象物变宽。图6(b)表示线部1a的截面形状为倒梯形形状的情况，图6(c)表示线部1a的截面形状为半圆形状的情况，图6(d)表示线部1a的截面形状为三角形状的情况。

与通常的形状的孔[图6(a)]相比，在形成为朝向印刷对象物变宽的孔的情况下[图6(b)～(d)]，糊剂的旋入良好，因此能够提高糊剂的粘度，能够进一步减少印刷时的浸渗。例如，仅对轧制金属箔的单面侧涂敷抗蚀剂后，对孔的开口图案进行曝光、显影，通过使用低浓度的蚀刻液而仅从涂敷了抗蚀剂的单面侧利用蚀刻使轧制金属箔的单面更多熔化，从而能够形成图6(b)～(d)所示的各种外观形状的孔9。需要说明的是，孔的形状以朝向印刷对象物变宽的方式形成时的网状部件的开口率是刮浆板面侧与印刷对象物面侧的开口率的平均值。

以往的编织金属细线而制作的网状部件的产品大多采用不锈钢细线，以不锈钢的网状部件为前提制作糊剂等周边部件，因此作为原材料的轧制金属箔来说，不锈钢(不锈钢箔)最实用。对强度比不锈钢箔的强度低的钛箔、镍箔、铜箔、铝合金箔(A195％～98％)实施拉伸试验，测定了拉伸强度(N/mm²)。根据所述拉伸强度，算出了厚度15μm时的计算上的最大开口率和能得到最大强度的厚度25μm时的计算上的最大开口率。然后，研究了所述计算上的最大开口率是否为没有印刷模糊的印刷所需的开口率25％以上。

根据钛箔、镍箔、铜箔、铝合金箔的拉伸强度而算出的厚度15μm时和厚度25μm时的最大开口率如下述表3所示。研究的结果是，在厚度15μm时和厚度25μm时，对于全部的轧制金属箔的计算上的开口率都能确保作为网板印刷用网状部件所需的开口率25％以上。从该结果可知，作为用于制作本发明品的轧制金属箔，除了不锈钢之外，还可以利用钛或钛合金、镍及镍合金、铜或铜合金、以及铝合金。需要说明的是，本发明中作为轧制金属箔的原材料所能够使用的钛合金、镍合金、铜合金、铝合金只要形成为箔状即可。例如，作为钛合金列举有JISH4600 80种等，作为镍合金列举有JISCS2520(1986)NCHRW1等，作为铜合金列举有JISH3130C1720R-H等，作为铝合金列举有JISH4000 5052等。此种轧制金属箔通常在市场上出售，容易获得。

【表3】

对作为原材料的轧制金属箔形成多个孔的方法可以采用蚀刻加工、喷丸加工、激光加工等。本发明者们为了对轧制金属箔进行开孔加工而尝试了蚀刻加工、喷丸加工、激光加工。

在进行蚀刻加工的情况下，铺开轧制金属箔，在粘帖于玻璃等表面平坦的固定板上的状态下进行以下的加工。或者，在铺设卷绕有轧制金属箔的辊的状态，即没有褶皱地铺设轧制金属箔的状态下进行以下的加工。首先在轧制金属箔上尽量薄地涂敷了感光性抗蚀剂后，对描绘在掩模上的网眼的开口部的图案进行曝光、显影，而将开口部的图案形成在轧制金属箔上。此时，为了使描绘在掩模上的微细的图案准确地曝光在轧制金属箔上，而使掩模与轧制金属箔尽可能接近地进行高析像度的曝光，并将描绘在掩模上的开口部的图案形成为计算了曝光、显影及蚀刻产生的偏差的形状。通过显影仅除去开口部的感光性抗蚀剂，而仅使开口部的轧制金属箔露出。使用与轧制金属箔的种类相应的蚀刻液，使蚀刻液仅与开口部的轧制金属箔接触，进行开孔加工。在开孔加工后，通过剥离感光性抗蚀剂，而得到本发明的网状部件。

在通过喷丸加工来制造网状部件时，首先，铺设轧制金属箔，在粘帖在玻璃等坚硬且表面平坦的固定板上的状态下对轧制金属箔涂敷抗蚀剂。然后，在对开口部图案进行曝光、显影后，通过使碳化硅(SiC)等微粉研磨材料与轧制金属箔接触而切削开口部即可。

在通过激光加工来制造网状部件时，通过对轧制金属箔照射激光而开设孔。各加工法的研究的结果是，利用任何方法下都能够开孔，但从开口的精度或速度方面出发，最优选基于蚀刻加工的开孔。

【实施例】

以下，通过实施例更详细地说明本发明，但下述实施例并未限定本发明，在适合前·后述的宗旨的范围内可以适当变更实施，这些变更都包含在本发明的技术范围内。

[实施例1]

使用市售的不锈钢轧制箔(东洋精箔株式会社制：规格SUS304-H)，以使开口部的形状成为四边形的方式利用蚀刻进行开孔加工，从而得到了网状部件。此时的网状部件的线部(图3、图6所示的1a)平坦，厚度为10μm，开口率为53％，网眼数为420(个/英寸)。该网状部件的详细的制作方法如下所述。首先，在掩模上描绘四边形状的开口图案(间距60μm)，对不锈钢轧制箔涂敷光致抗蚀剂，在对图案曝光后进行了显影。显影后，通过蚀刻进行开孔加工，最后剥离光致抗蚀剂，从而得到了网状部件。使用该网状部件进行实际的印刷时，确认到了网状部件未破裂且能够进行印刷膜厚5μm的印刷的情况。此时得到的网状部件的形状如图7(代替附图用的显微镜照片)所示。

[实施例2]

使用市售的不锈钢轧制箔(东洋精箔株式会社制：规格SUS304-H)，以使开口部的形状成为圆形的方式利用蚀刻进行开孔加工，从而得到了网状部件。得到的网状部件的线部平坦，厚度为10μm，开口率为47％，网眼数为250(个/英寸)。该网状部件的详细的制作方法如下所述。首先，在掩模上描绘了圆形的开口图案(间距100μm)后，对不锈钢轧制箔涂敷光致抗蚀剂，在对图案曝光后进行了显影。显影后，通过蚀刻进行开孔加工，最后剥离光致抗蚀剂，从而得到了网状部件。使用该网状部件进行实际的印刷时，确认到了网状部件未破裂且能够进行印刷膜厚5μm的印刷的情况。此时得到的网状部件的形状如图8(代替附图用的显微镜照片)所示。

[实施例3]

使用市售的不锈钢轧制箔(东洋精箔株式会社制：规格SUS304-H)，以使开口部的形状成为圆形的方式利用蚀刻进行开孔加工，从而得到了网状部件。网状部件的线部平坦，厚度为21μm，开口率为55％，网眼数为250(个/英寸)。该网状部件的详细的制作方法如下所述。首先，在掩模上描绘了圆形的开口图案(间距100μm)后，对不锈钢轧制箔涂敷光致抗蚀剂，在对图案曝光后进行了显影。显影后，通过蚀刻进行开孔加工，最后剥离光致抗蚀剂，从而得到了网状部件。使用该网状部件进行实际的印刷时，确认到了网状部件未破裂且能够进行印刷膜厚12μm的印刷的情况。此时得到的网状部件的形状如图9(代替附图用的显微镜照片)所示。

[实施例4]

为了将通过对镀敷法所制作的电解金属箔进行开孔加工而得到的电解箔网状部件和本发明的轧制金属箔网状部件的强度进行比较研究，而对电解箔网状部件及本发明的轧制金属箔网状部件进行了拉伸试验。电解箔网状部件通过利用蚀刻对市售的电解镍箔(福田金属箔粉工业株式会社制，Ni：99％以上)进行开孔加工而制作。电解箔网状部件中，构成线部的两面平坦，厚度25μm，网眼数250(个/英寸)，开口率62％，孔的侧壁垂直。本发明的轧制金属箔网状部件通过利用蚀刻对市售的轧制镍箔(东洋精箔株式会社制，规格VNi-H)进行开孔加工而制作。加工轧制镍箔而成的网状部件中，构成线部的两面平坦，厚度20μm，网眼数250(个/英寸)，开口率67％，孔的侧壁垂直。从各网状部件切出宽度15mm、标距100mm的试验片，实施了拉伸试验。

图10表示各试验片的每单位宽度的拉伸强度。以往的电解镍箔网状部件的各试验片的每单位宽度的拉伸强度的变动大于本发明的轧制镍箔网状部件。

从该结果可知，通过对轧制金属箔进行开孔加工而能够实现强度的变动少的网状部件。而且，各试验片的每单位宽度的拉伸强度的平均值在电解镍箔网状部件中为18N/cm，在轧制镍箔网状部件中为28N/cm。轧制镍箔网状部件虽然具有比电解镍箔网状部件薄的厚度和大的开口率，但能得到高强度。

如上所述，详细地参照特定的实施方式说明了本发明，但本领域技术人员可知在不脱离本发明的精神和范围内能施加各种变更或修正的情况。本申请基于2009年1月30日提出的日本专利申请(特愿2009-020282)及2009年12月24日提出的日本专利申请(特愿2009-293182)，并将它们的内容作为参照包含于此。

【工业实用性】

本发明的网状部件在线部具有平坦面，因此与表面具有凹凸的编织细线而成的网状物相比，刮浆板的移动顺利，容易均匀地涂抹糊剂。而且，因平滑的部分的存在，而当制作组合掩模(周边为树脂网状物而中央部为金属网状物的掩模)时，具有容易与树脂网状物粘结的优点。

然而，在编织不锈钢等细线而成的网状部件中，在涂敷了感光性乳剂后的曝光时，光照射到细线表面而反射方向改变，因此连本来不想使其硬化的图案部的感光性乳剂都被硬化。在开口率越大时，该印刷版制成时的曝光时的晕影越少。然而，在具有平坦面的本发明的网状部件中，即使是相同开口率，与编织细线而制作的网状部件相比，光的反射方向也恒定。因此，能够期待曝光时的晕影减少，印刷图案的宽度均匀，印刷版的析像度升高。

【符号说明】

1细线

2开口部

3印刷图案部

4感光性乳剂(树脂)

5印刷版

6刮浆板

7糊剂(墨液)

7a浸渗

8印刷对象物

9孔

Claims (4)

1.一种网板印刷用网状部件，其特征在于，

通过在轧制金属箔上开设多个孔而制作有多个开口部及线部，且构成所述线部的至少单侧的面是平坦的，并且

厚度为5μm以上且25μm以下，且进行拉伸试验时的断裂载荷(N)换算成拉伸试验片的每1cm宽度后的拉伸强度为20N/cm以上，

网眼数为250(个/英寸)以上。

2.根据权利要求1所述的网板印刷用网状部件，其中，

开口率为25％以上且为下述(1)式规定的值以下

[数1]

3.根据权利要求1或2所述的网板印刷用网状部件，其中，

所述开口部的外观形状形成为朝向印刷对象物变宽。

4.根据权利要求1所述的网板印刷用网状部件，其中，

所述轧制金属箔由不锈钢、钛或钛合金、镍或镍合金、铜或铜合金及铝合金的任一种构成。

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