CN102169253A - 液晶基板粘合系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种液晶基板粘合系统。作为布局结构简单的粘合系统，为了构成谋求液晶面板的制造时间的缩短且抑制了尘埃的产生的系统，将由运送下基板的滚筒输送机构成的第一运送线(5)、向该第一运送线(5)上涂覆密封剂的膏剂涂覆机(7)、配置在该膏剂涂覆机(7)的下游侧的短路用电极形成用涂覆机(8)、使液晶材料滴下的液晶滴下装置(9)、检查下基板(1)的状态的第一检查室(10)串联配置，在第一运送线(5)上并联地形成由运送上基板(2)的滚筒输送机构成的第二运送线(6)，在第二运送线的终端部，为了将上基板反转而设置扇型地进行基板反转的基板反转装置，且在第一运送线(5)和第二运送线(6)的合流点，设置与第一运送线(5)连接的由滚筒输送机构成的第三运送线(20)，在该第三运送线(20)上串联地配置了传送室(12)、基板粘合室(15)、紫外线照射室(17)以及面板检查室(18)。

Description

液晶基板粘合系统

技术领域

本发明涉及基板粘合系统，尤其是涉及谋取缩短到粘合完成的时间，且尽量减少了由系统中的机器人对基板的转交的基板粘合系统。

背景技术

在液晶显示面板的制造中，存在下述工序，所述工序为，预先将液晶滴下到一方的基板上，将设置了透明电极、薄膜晶体管矩阵的两片玻璃基板以几μm左右的极其接近的间隔，用设置在基板的周缘部的粘接剂(下面也称密封剂)粘合(后面将粘合后的基板称为液晶面板)，将液晶封闭在以此形成的空间。

在该液晶的封闭中，存在下述粘合方法等，所述粘合方法为，将液晶滴下到以不设置注入口的方式将密封剂封入的描绘成图案的下基板上，在真空腔内，将形成了TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)或彩色滤光器等的上基板的形成了TFT或彩色滤光器等的面相向地配置，使上下的基板接近。在日本特开2001-305563号公报中公开了为了相对于该真空腔内运入·运出基板，设置预备室，使真空腔内为与预备室相同的环境，进行基板的出入。另外，在日本特开2001-305563号公报中，做成上基板和下基板载置在运送夹具上，在滚筒输送机上从预备室向粘合室运送，分别向上工作台以及下工作台转交的结构。在该方式中，在将上下基板向运送夹具搭载时，由机械手向运送夹具设置。另外，做成基板向工作台的转交也在将上基板保持在了上工作台后，由运送夹具升起下基板，在使运送夹具退避到预备室后，设置在下工作台上的结构。

另外，在日本特开2003-015101号公报中，公开了下述系统，该系统将下基板从第一加载室向间隔物散布装置、封闭材料涂覆装置、液晶注入装置、第一预备排列装置、总装装置运送，将上基板从第二加载室、从第二预备排列室、从预备室向上述总装装置运送，在将两张基板在总装装置粘合后，将基板经封闭材料硬化装置、热处理装置、基板切断装置送向卸载装置。

在上述日本特开2001-305563号公报中，因为为了在液晶基板组装系统中，在基板的出入用于将基板粘合的粘合室时，使预备室和真空腔内为相同的环境，而成为将粘合的两张基板运入一方侧的预备室内，若两张基板的粘合结束，则从设置在另一方上的预备室排出的构成，所以，需要装置的配置增长的大的设置面积。另外，因为需要使各个预备室以及粘合室成为真空状态，所以，需要配置用于这些的装置，截止到成为真空状态要花费时间，在缩短单件产品生产时间方面存在界限。另外，完全没有记载与其前工序的关系。再有，由于上下基板从预备室向粘合室的运送使用运送夹具，所以，还存在基板向运送夹具的转交等要花费时间的课题。

另外，日本特开2003-015101号公报中仅记载了在各装置之间用移动构件移动基板，丝毫没有记载和公开用怎样的运送构件运送基板，向各装置转交的情况。

但是，在将上基板运送到粘合装置的情况下，存在使TFT或彩色滤光器形成面朝上使用滚筒输送机进行运送的情况。该情况下，在向粘合装置运入时，需要将上基板反转。

日本特开平6-48554号公报中公开了对封装电子零件的基板进行保持，并旋转180度进行反转的装置。在该装置中，成为使保持了基板的框架的中央部旋转进行反转的结构。

另外，在日本特开2006-227181号公报中，公开了为进行照射UV，将基板之间的密封剂硬化而将粘合后的面板反转，照射UV光用的反转装置。

在上述日本特开平6-48554号公报中，成为用框架夹着基板保持，使该框架的中央部旋转180度，将基板反转的构造。

在该日本特开2006-227181号公报中，公开了为在粘合后在密封剂没有硬化的状态下使液晶面板反转，而在推压了两面板之间的状态下进行反转的情况。在该反转方法中，也与专利文献1同样，使用在空中使基板180度旋转的方法。因此，若用该方式在将面板组装前(粘合之前)的状态下使基板反转，则扰乱周围的空气，落在运送线等上的粉尘飞起，该粉尘进入液晶面板内，成为动作不佳、画质降低的要因。

发明内容

本发明的目的在于，实现为了谋求系统整体的小型化，而尽量减少由机械手进行转交的基板转交部位，能够高精度地进行滚筒输送机进行的运送，以及将运送的基板分别载置在设置在装置上的工作台上，谋求了对位时间、上下基板向粘合室的运入所花费的时间的缩短的系统。再有，本发明的其它目的在于，提供一种尽量抑制了在使上基板反转时粉尘等的飞起的基板反转装置及其使用了它的液晶面板粘合系统。

将由运送下基板的滚筒输送机或皮带输送机构成的第一运送线、向上述第一运送线上涂覆密封剂的膏剂涂覆机、配置在上述膏剂涂覆机的下游侧的短路用电极形成用涂覆机、使液晶材料滴下的液晶滴下装置、检查下基板的状态的第一检查装置串联配置，在第一运送线上并联地形成由运送上基板的滚筒输送机或皮带输送机构成的第二运送线，在上述第一运送线和第二运送线的合流点，设置与第一运送线连接的由滚筒输送机或皮带输送机构成的第三运送线，在上述第三运送线上串联地配置传送室、粘合装置、UV照射室、面板检查室。

另外，做成将上下的基板大致同时运入粘合室的结构，在滚筒输送机或皮带输送机上，在运送过程中校正下基板的倾斜。

从涂覆用于基板粘合的密封剂的涂覆装置开始，大致串联地配置粘合装置、密封剂硬化装置(UV照射装置)等，且在下基板、粘合完成后的液晶面板的运送中使用左右分别驱动方式的滚筒输送机进行运送，能够在各装置的近前校正基板的倾斜，且能够将上下基板同时运入粘合装置、粘合室，因此，能够大幅缩短液晶面板的制作时间，且由于在装置近前进行基板的倾斜校正，所以，能够提高涂覆、粘合精度。

再有，另外，设置在运送上基板的滚筒输送机的终端部侧的上基板反转装置包括具备从滚筒输送机以向上的状态，接收向上地运送到台架上来的上基板的多个指部的步进梁、和在指部具备多个真空吸附垫，做成步进梁在一端侧具有上下移动部件，在另一端侧具有水平移动部，做成通过上述上下移动部件在设置在台架上的移动用柱上下移动，水平移动部沿线性引导器在水平方向移动，将基板反转的结构。

另外，做成将上基板向上地保持在运送托盘上，在滚筒输送机上运送，在上基板反转装置上，将上述托盘的连结机构和在构成上基板反转装置的反转机构的旋转臂上设置的连结部连结，使旋转臂半旋转，使运送托盘和被它保持的上基板反转的结构。

通过做成上述结构，在反转时，基板不描绘圆弧180度反转地，而是进行使基板的一端部为垂直状态，将另一端部水平移动的动作的反转，因此，能够使基板反转时描绘的移动轨迹的面积为最小，因基板反转而产生的空气的飞溅面积减少，能够尽量减少尘埃的产生。另外，能够抑制装置的大型化。即，使用该基板反转装置的系统中，能够防止尘埃下落到其它的装置，被粘合的液晶面板的精度降低的情况，谋求了装置的小型化。

附图说明

图1是表示基于本发明的液晶基板粘合系统的整体配置的俯视图。

图2是表示图1中的基板粘合室内的上工作台的具体例的概略结构的图。

图3是表示图1的第一运送线上的检测传感器的配置及其动作的一具体例的概略结构图。

图4是表示图1中的基于本发明的基板反转装置的结构的一例的结构图。

图5是表示图1中的基于本发明的基板反转装置的结构的另一例的结构图。

图6是表示图1中的基板粘合室的从前处理室运入基板以及向后处理室运出基板的动作的纵剖视图。

图7是表示基于本发明的液晶基板粘合系统的基板粘合室的其它例的概略结构图。

具体实施方式

下面，根据附图，说明本发明的液晶面板组装系统的一实施例。

图1是表示本发明的液晶面板组装系统的整体配置的俯视图，1是下基板，2是上基板，3是基板运入机器人，4是排列机构，5是第一运送线(主线)，6是第二运送线(副线)，7是膏剂涂覆机(密封分配器)，8是短路用电极形成用涂覆机，9是液晶滴下装置，10是第一检查室，11是基板反转装置，12是传送室，13是机械手，14是前处理室，15是基板粘合室(真空腔)，16是后处理室，17是紫外线照射室，18是第二检查室(面板检查室)，19是粘合基板(液晶面板)，20是第三运送线。

在该图中，设置运送下基板1的第一运送线(主线)5和运送形成了TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)等的上基板2的第二运送线(副线)6。运送被清洗了的上基板2以及下基板1的第一运送线5以及第二运送线6由滚筒输送机或皮带输送机构成。滚筒输送机或皮带输送机相对于基板移动方向在左右方向分割地配置，以每一个能够由各自的驱动机构分别驱动控制的方式构成。下面，按照由滚筒输送机构成的情况进行说明。上下基板在滚筒输送机上分别被运送。

在第一运送线5的近前设置着将清洗了的下基板1运入本系统的基板运入机器人3和用于从基板运入机器人3使下基板1排列的排列机构4。下基板1从排列机构4向第一运送线5转交，下基板1在第一运送线5上以粘合面为上，在箭头方向移动。在该第一运送线5的途中设置着将密封剂(粘接剂)在下基板1上涂覆成封闭的环状的膏剂涂覆机(密封分配器)7。与该膏剂涂覆机7串联地配置不连续地涂覆导电性膏剂的短路用电极形成用涂覆机8。

再有，在该短路用电极形成用涂覆机8的下游侧，配置着将所希望的量的液晶滴下到像上述那样涂覆的密封剂的环内的液晶滴下装置9。在该液晶滴下装置9的下游侧配置着检查涂覆的密封剂、滴下的液晶材料等的状态的第一检查装置10。由第一检查装置10检查的下基板1由设置在传送室12的机械手13向设置在前处理室14和第二检查室18之间的第三运送线20转交。该第三运送线20也由滚筒输送机形成。首先，下基板1被该第三运送线20运入基板运入侧的前处理室14内。再有，在第二运送线6上运送来的上基板2在基板反转装置11被表里反转，然后，由设置在传送室12的机械手13运入前处理室14内。有关该基板反转装置11将在后面阐述细节。

图6是表示说明将上下基板从前处理室14运入基板粘合室15进行粘合，将粘合了的基板向后处理室16运出的状态的图。

在前处理室14设置保持上基板2并运入基板粘合室(真空腔)15的机械手62和运送下基板1的滚筒输送机61。另外，在该前处理室14设置使滚筒输送机61伸缩的输送机伸缩机构60，以若设置在前处理室14和基板粘合室15之间的门阀69打开，则滚筒输送机61能够借助该输送机伸缩机构60，越过门阀69而与基板粘合室15的滚筒输送机66连接的方式构成。

若上下两基板1、2被运入前处理室14，则设置在前处理室14的基板运入侧的入口的门阀(未图示出)被关闭，前处理室14内由未图示出的真空泵排气，直至达到规定的真空度(150Torr左右，下称半真空)。若前处理室14内成为半真空的状态，则与基板粘合室15之间的门阀69被打开，滚筒输送机61因输送机伸缩机构60而向基板粘合室15侧伸出，与基板粘合室15的滚筒输送机66连接。下基板1在该滚筒输送机61、66上被运入基板粘合室15内，另外，上基板2由机械手62运入基板粘合室15内。此时，基板粘合室15内成为半真空状态。在该前处理室14，设置接收下基板1并向基板粘合室15的下工作台65运送的成为第三运送线20的滚筒输送机61和用于接收上基板2并向基板粘合室15的上工作台(加压板)21转交的机械手62。另外，基板粘合室15中的基板1、2的接收的细节将在后面阐述。

若基板粘合室15中的两基板1、2的转交结束，这些上下基板1、2分别被保持在其上下两工作台21、65上，则从前处理室14伸出的滚筒输送机61收缩到前处理室14内，上述的门阀69被关闭。此后，基板粘合室15内被排气，直至成为高真空(约5×10^-3Torr)。此后，一面进行上下两基板1、2的对位，一面使上工作台21下降，执行上基板2向下基板1的粘合。若该粘合结束，则基板粘合室15内返回半真空，基板粘合室15和后处理室16之间的门阀70开放。此时，后处理室16成为半真空的状态。

在后处理室16也设置输送机伸缩机构68，若在与基板粘合室15之间的门阀70打开，则设置在后处理室16的该输送机伸缩机构68动作，滚筒输送机67从后处理室16伸出，与基板粘合室15的滚筒输送机66连接。若通过将上下基板1、2粘合而成的粘合基板(即，液晶面板)19运入后处理室16，则滚筒输送机收缩到后处理室16内，后处理室16和基板粘合室15之间的门阀被关闭，使后处理室16内成为大气状态。若后处理室16内成为大气状态，则后处理室16和紫外线照射室17之间的门阀(未图示出)被打开，借助设置在后处理室16的输送机伸缩机构(未图示出)，与紫外线照射室17的滚筒输送机连接。此后，液晶面板19在该滚筒输送机上，被运入紫外线照射室17内，在这里，紫外线向密封剂照射，使密封剂硬化。若密封剂的硬化结束，则液晶面板19在滚筒输送机上被运送，被运向第二检查室(面板检查室)18，进行其检查。

这样，做成将各处理室14～18排列成大致直线状，在基板的运送中，一部分使用机械手，但大致全部使用滚筒输送机的结构，因此，能够将装置的设置面积抑制在最小限度。

图2是表示图1中的基板粘合室15内的上工作台的具体例的概略结构的图，该图(a)表示粘着销(粘着垫)方式，该图(b)表示将粘着片安装在了上工作台面上的方式，21是上工作台，22是粘着垫安装板，23是粘着销(粘着垫)，24是粘着部件，25是底板，26是弹性体，27是推压销安装部件，28是推压销，29是弹性部件，30是粘着片，另外，对与图1对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。另外，这样，主要作为采用了粘着销方式的情况来进行说明。

基于图2(a)所示的粘着销(粘着垫)方式的上工作台21做成在底板25和弹性体26的叠层体上设置了被安装在粘着垫安装板22上的多个粘着销23的结构，在这些粘着销23的前端部设置着粘着部件24。即，以通过使用未图示出的驱动机构使粘着垫安装板22上下移动，各粘着销23的前端部从上工作台21的下面(即，弹性体26的下面)突出，对上基板2进行粘着保持的方式构成。再有，该粘着销(下称粘着垫)23做成在其前端部设置粘着部件24，在其中央部设置了真空吸附用的真空吸附口(未图示出)的结构。使用该粘着垫23从上述的机械手接收上基板2，并一直提升到上工作台21的下面，就这样由粘着垫23保持上基板2。

另外，上工作台21以通过未图示出的工作台驱动机构，能够上下移动的方式构成。另外，在粘合结束，将这些粘着垫23从粘合基板(液晶面板)19(图1)剥离时，在用工作台驱动机构将上工作台21推压在该粘合基板19的状态下，一面从粘着垫23的中央部的真空吸附口向该粘合基板19的面喷出气体，一面由上工作台21的下面提升粘着垫23，据此，能够将粘着部件24从粘合基板19剥离。

图2(b)所示的基于安装了粘着片的方式的上工作台21做成下述结构，即，在上工作台21的底板25的大致整个面设置粘着片30，进而，从上工作台21贯通至粘着片30的粘贴面(吸附面)，设置多个真空吸附口(未图示出)，将上工作台21降到由先前的机械手保持的上基板2的面的附近，据此，利用由该真空吸附口进行的真空吸附，将该上基板2吸取到吸附片30的粘着面并进行粘着保持。一般情况下，虽然使真空腔内成为真空状态，即使设置真空吸附机构，真空吸附力也小，不起作用，但是，在该具体例中，在截止到接收上基板2并保持该上基板2之前，由于真空腔(基板粘合室(图1))15内为半真空的状态，所以，能够使真空吸附力发挥作用。

另外，粘着片30的粘着面如图所示，设有网眼状的凹凸。再有，也可以是在该结构中使用能够从上工作台21通过粘着片30并上下运动的多个真空吸附垫，据此，将上基板2抬起至粘着片30的粘着面。

在这种粘着片方式的情况下，为在上下基板1、2的粘合完成后，将上基板2从粘着片30剥离，设置具备进行上下驱动的驱动机构的推压销安装部件27。在该推压销安装部件27上设置多个推压销28。另外，在推压销28的前端部设置弹性部件29，即使将推压销28推压在上基板2的面，也不会损伤该上基板2的面。通过一面将该推压销28向上基板2推压，一面使上工作台21上升，能够将上基板2从粘着片30剥离。

另外，在推压销28以及弹性部件29的中央部设置气体喷出用的气体流路、孔，在将推压销28推压到上基板2的面时，通过向该面喷出气体，还能够轻易地将上基板2从上工作台21剥离。

返回图1，在基板粘合室15中，将上下基板1、2粘合而形成的液晶面板19像上述那样，成为被从上工作台21(图2)剥离，被载置到下工作台65(图6)上的状态，该液晶面板19从该下工作台65被转交到滚筒输送机66上，被运送到后处理室16。若液晶面板被运入后处理室16，则基板粘合室15和后处理室16之间的门阀70被关闭，后处理室16内返回到大气状态。

若后处理室16内成为大气状态，则液晶面板19向紫外线照射室17被运送，在这里，UV光(紫外线)向密封剂照射，将密封剂硬化。密封剂硬化后的液晶面板19向第二检查室(即，面板检查室)18被运送，在这里被检查。

虽然是通过上述的系统结构制造液晶面板19，但是，在该实施方式的液晶基板粘合系统中，由于基板1、2的运送线中，大部分是由滚筒输送机进行，所以，与以往的由机械手进行的运送相比，存在上下基板1、2的对位的精度降低的可能性。因此，有必要防止在运送路上停止的情况下产生的基板的位置偏移，成为在将上下基板1、2向各处理装置转交时，没有位置偏移的状态。因此，在该实施方式中，在将上下基板1、2向各处理装置转交的近前，配置用于进行对位的检测传感器。

图3是表示图1的第一运送线5上的检测传感器的配置及其动作的一具体例的概略结构图，该图(a)表示基板(这里以下基板1为例表示)以正常的姿势被运送的状态，该图(b)表示基板以旋转了的状态被运送的状态，31a、31b是滚筒，32a、32b是动力传递轴，33a、33b是驱动马达，34a、34b是基板检测传感器，对与前面的附图对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。另外，其它的运送线(第二～第三)中，当然也能够同样将基板的姿势修正为正常的状态。

该图中，各个滚筒输送机分别在其左右配置滚筒31a、31b，经动力传递源32a、32b与用于驱动各个左右的滚筒31a、31b的驱动马达33a、33b连接。驱动马达33a、33b的驱动力经动力传递源32a、32b向滚筒31a、31b传递，据此，滚筒31a、31b被旋转驱动。通过在将下基板1载置在这些滚筒31a、31b上的状态下，旋转驱动这些滚筒31a、31b，下基板1在箭头方向被运送。

在该第一运送线5上，在相对于运送方向呈直角的方向(左右方向)配置着检测下基板1的左右两边部的通过的基板检测传感器34a、34b。若下基板1被运送到膏剂涂覆机7(图1)的工作台(未图示出)的近前，则由设置在该第一运送线5上的基板检测传感器34a、34b检测该下基板1的左右两边部。若左右的各个侧的基板检测传感器34a、34b中的任意一个检测到下基板1的边部，则未图示出的控制构件进行控制，使检测到的一侧的驱动马达33a或33b停止。在基板检测传感器34a、34b同时检测到了下基板1的各个边部的前端时，控制构件判定为下基板1以正确的状态被运送来，对驱动马达33a、33b未加改变地进行旋转驱动，运送下基板1。

因此，若如图3(b)所示，下基板1从行进方向看(下面也同样)，在逆时针旋转方向旋转(倾斜)并被运送(即，下基板1的左边部侧比右边部侧迟缓地被运送)，则(从行进方向看)配置在左右侧的基板检测传感器34a、34b没有同时检测到下基板1，在其检测上产生时间差。在下基板1像图3(b)所示那样倾斜的情况下，右侧的基板检测传感器34b最初检测到下基板1，驱动基板检测传感器34b侧的滚筒输送机的驱动马达33b停止。此时，没有检测到下基板1的左边部侧的基板检测传感器34a侧的驱动马达33a继续进行动作，滚筒31a继续旋转。因此，下基板1的左边侧保持移动状态。若像这样，相对于处于针对运送方向倾斜的状态的下基板1，基板检测传感器34b检测到下基板1，则驱动马达33b停止。此时，另一个驱动马达33a被旋转驱动，下基板1的左边部侧被运送。通过该动作，下基板1以使下基板1的左边部侧前进的方式旋转。通过该旋转动作，下基板1的左边部侧成为被基板检测传感器34a检测到的状态，下基板1的左边部的前端处于与右边部的前端相同的位置，下基板1的倾斜得到校正。这样，若下基板1的倾斜得到校正，基板检测传感器34a、34b均成为检测到了下基板1的左右边部的前端的状态，则右侧的驱动马达33b也再次起动，在倾斜得到校正的状态下再次运送下基板1。

另外，对这点进一步详细地进行说明，未图示出的控制构件视左右的基板检测传感器34a、34b的检测的时间差，检测基板的旋转(倾斜)状态，且使驱动马达33a、33b反转，使下基板1再次返回检测前的规定位置。此后，再次沿顺方向旋转驱动两驱动马达33a、33b，使滚筒31a、31b在运送方向旋转，使下基板1在箭头的运送方向移动。据此，能够由基板检测传感器34a、34b检测下基板1的左右两边部的前端，确认倾斜消失的情况。在下基板1的倾斜未被充分校正的情况下，反复进行该动作来进行校正，且进行驱动马达33a、33b的停止处理，求出检测时间差。在控制构件判断为检测时间差处于规定的范围内的情况下，认为下基板1以正常的状态被运送，将下基板1运送至膏剂涂覆机7的涂覆工作台之下，并使之在这里停止。

膏剂涂覆机7的涂覆工作台被构成为可上下移动，做成通过使该涂覆工作台上升，来从滚筒输送机上将下基板1向该涂覆工作台上接收的结构。这样，在运送线5的途中的左右方向配置基板检测传感器34a、34b，与这些基板检测传感器34a、34b的检测结果相应地使检测到了下基板1的边部的前端的一侧的驱动马达停止，且能够通过求出这些基板检测传感器34a、34b的检测时间差来检测下基板1的倾斜状态。另外，反复进行下基板1的左右两边部的前端的检测，直至基板检测传感器34a、34b的检测时间差达到规定范围内，据此，进行下基板1的倾斜的校正。据此，没有必要另行设置用于下基板1的倾斜校正的工作台，进而，也没有必要设置机械手，能够抑制系统的大型化。另外，针对该倾斜的校正，以下基板1为例进行了说明，但是，针对在第二运送线6(图1)上运送的上基板2，也能够进行同样的校正。

第一运送线5的滚筒输送机被排列机构4、膏剂涂覆机7、短路用电极形成用涂覆机8、液晶滴下装置9、第一检查室10以及传送装置12的各装置之间区分，在各个区间内执行与上述同样的对位控制。另外，在上述的控制方法中，虽然是反转驱动滚筒输送机，返回到规定位置，反复进行下基板1的左右边部的前端部的检测，据此，进行下基板1的倾斜的校正，但是，也可以预先求出检测时间的差和校正量的关系，存储该关系，与检测时间差相应地驱动控制一侧的驱动马达，进行校正。这样，因为是在运送线上进行下基板1的位置校正，所以，没有必要进行在载置于工作台上的下基板1的对位，能够缩短在载置于工作台上时的对位时间，并且，各个工作台上的作业精度提高。

另外，在上述的各装置中，设置着用于进行各自的处理的工作台，在各工作台上，为了规定下基板1的停止位置而具备基板定位机构。该定位机构由相对于基板运送方向，在直角方向规定下基板1的左右两边部侧的行进的上下运动的两根限制销构成。若下基板1在滚筒输送机上被运送到装置内，则该限制销一直突出到滚筒输送机之上，以便使下基板1的移动停止，终止该下基板1的行进。

另外，上述装置的各工作台以能够通过未图示出的驱动机构上下移动的方式构成，若由滚筒输送机将下基板1运送至该工作台上，滚筒输送机停止，则使该工作台上升，据此，能够将下基板1从滚筒输送机接收到工作台面上。另外，也可以在设置于工作台部的滚筒输送机上设置上下移动机构，使滚筒输送机从工作台面移动到之下，转交基板。

图4是表示图1中的基于本发明的基板反转装置11及其基板反转方法的一实施例的结构图，该图(a)是表示该一例的整体结构的概略结构图，该图(b)是表示该图(a)中的步进梁的结构图，40是台架，41是移动用柱，42是步进梁，43是水平移动部，44是上下移动部件，45是指部，46是真空吸附垫。

在形成第二运送线6的滚筒输送机上，将彩色滤光器形成面朝上，载置上基板2，向基板反转装置11运送。设置在基板反转装置11的反转机构部的滚筒输送机以能够上下运动的方式构成。

图4(a)中，在该基板反转装置11上，设置由在台架40上具备相对于上基板2的运送方向在直角(宽度)方向伸长的多个指部45(图4(b))的步进梁42等构成的反转机构。

步进梁42如图4(b)所示，做成在旋转轴上设置了多个指部45的结构，在这些指部45上，以从指部45的面开始的规定的高度设置着吸附上基板2的多个真空吸附垫46。虽然省略了图示，但在真空吸附垫46上连接着来自供给负压的负压源的配管。

该反转机构如图4(a)所示，做成下述结构，即，由真空吸附垫46将上基板2吸附保持在步进梁42的指部45上，提升步进梁42的一端侧的上下移动部件44，使之向垂直方向移动，使另一端侧的水平移动部件43在基板运送方向从台架40的一个边侧向另一个边侧移动，据此，使上基板2上下反转。

这里，在设置于反转机构部的滚筒输送机的滚筒和滚筒之间设置步进梁42的指部45。在台架40的基板运送方向的大致中央部，在上基板2的端部侧设置着用于使步进梁42的一端侧的上下移动部件44上升降下的移动用柱41。在移动用柱41的部分，设置用于使设置在步进梁42的一端部侧的上下移动部件44上下运动的驱动马达(未图示出)。做成上下移动部件44通过该驱动马达沿移动用柱41上下移动的结构。另外，虽未图示出，但上下移动部件44通过绳索与配重连接，降低驱动马达的驱动力。在步进梁42的另一端侧的水平移动部件43上具备容易在线性引导器上移动的滚动机构。

对本例的基板反转装置11的动作进行说明。

首先，若上基板2到达基板反转装置11上，则停止滚筒输送机，使滚筒输送机向下方向移动。通过使滚筒输送机降下，上基板2被转交到在滚筒和滚筒之间所具备的步进梁42的指部45上。被转交到指部45上的上基板2由设置在指部45上的真空吸附垫46真空吸附并保持。若上基板2被吸附保持，则步进梁42的一端侧的上下移动部件44沿移动用柱41上升，与此同时，步进梁42的另一端侧的水平移动部件43沿线性引导器在水平方向移动。然后，在上下移动部件44到达最高点之前，水平移动部件43能够在水平方向以规定的速度移动，并通过移动用柱41的中心，向其相反侧移动。

另外，也可以做成在水平移动部件43上设置驱动用马达，将其旋转力向水平移动部件43施加，在水平方向进行驱动的结构。

若步进梁42成为垂直状态，则将上下移动部件44的上升变更控制成降下方向。通过进行上述的动作，能够使上基板2上下反转。

若水平移动部件43向移动用柱41的相反侧移动，步进梁42成为水平状态，成为上基板2上下反转了的状态，则使该基板反转装置11的下一个传送室12的机械手13(图1)伸出到从步进梁42的指部45偏移的位置，由设置在机械手侧的指部上的真空吸附垫吸附保持上基板2。据此，上基板2从基板反转装置11的步进梁42向传送室12的机械手13转交。

这样，在该基板反转装置11中，由于使上基板2的一端侧上下移动，使另一端水平移动，所以，上基板2将步进梁42的上下移动部件44作为顶点，并以该顶点为中心，按照接近大致半扇型的形式移动，与旋转了180度的情况相比，移动面积变小。因此，不存在扰乱周围的空气的情况，能够将尘埃的产生抑制在最小限度，还能够将尘埃对周围的装置的影响抑制在最小限度。

另外，虽然在本例中，使机械手的真空吸附垫从步进梁42的指部45之上伸出，接收上基板2，但是，也可以是使设置在步进梁42的指部45上的真空吸附垫46的足部伸出，将机械手13的指部插入上基板2和指部45之间，进行上基板2的转交，还是以这样的方式构成作业效率提高。

图5是表示图1中的基于本发明的基板反转装置11及其基板反转方法的其它实施例的结构图，该图(a)是表示该其它的实施例的整体结构的概略结构图，该图(b)是表示该图(a)中的上基板运送托盘的结构图，50是台架，51是上基板运送托盘，52是旋转臂，53是驱动机构，54是连结部，55是横档，56是真空吸附垫，57是连结机构。

图5(a)中，在该基板反转装置11中，在台架50上设置由运送托盘51等构成的使上基板2上下反转的反转机构。该反转机构将上基板2载置在运送托盘51上，对运送托盘51的中央部进行支撑并旋转，据此，使上基板2上下反转。

下面，使用表示上基板运送托盘的一具体例的图5(b)，说明图5(a)的基板反转装置11的反转机构。

在运送托盘51的与上基板2的运送方向平行的两边侧的中央部，为了能够与反转机构的连结部54接合而具备连结机构57(图5(b))。另外，运送托盘51如图5(b)所示，由多个横档55形成，在该横档55的上部设置着规定的长度的真空吸附垫56，以便机械手的指部能够插入。

在该基板反转装置11中，在其中央部设置着托盘旋转驱动机构。在该托盘旋转驱动机构中，在第一运送线5的上基板2的运送方向的两侧设置旋转臂52，在旋转臂52的一端侧(旋转中心侧)设置用于使旋转臂52旋转的驱动机构53，在旋转臂52的前端部侧，设置着用于与运送托盘51连结的连结部54。

在第二运送线6(图1)上设置运送托盘51，上基板2以彩色滤光器面朝上从基板运入机器人3(图1)被载置在运送托盘51上并被运送。此时，上基板2由设置在图5(b)所示的运送托盘51的横档55上的真空吸附垫56真空吸附。上基板2在该第二运送线6上与运送托盘51一起被运向基板反转装置11。

若运送托盘51到达基板反转装置11上，则设置在其反转机构的旋转臂52的前端部的连结部54由设置在运送托盘51的中央部的连结机构57连结。若旋转臂52的前端的连结部54与运送托盘51的连结机构57连结，则旋转臂52因驱动机构53而旋转，使上基板2上下反转。再有，旋转臂52的连结部54可转动地构成，相对于旋转臂52在与运送托盘51的连结机构57之间能够转动，伴随着旋转臂52的箭头A方向的旋转，使运送托盘51在图示的箭头B、C的方向旋转。若旋转臂52在箭头A方向旋转180度，则上基板2来到运送托盘51的下侧。

上基板2以被垂吊在运送托盘51的下部的状态向传送室12的机械手13转交。即，机械手13的指部被插入运送托盘51的真空吸附垫56之间，由设置在机械手13的指部的真空吸附垫保持上基板2，在运送托盘51的横档55上设置的真空吸附垫56的真空吸附停止。此后，机械手使上基板2离开运送托盘51部，将上基板2运入前处理室14。运送托盘51再次被基板反转装置11的反转机构旋转，在设置了真空吸附垫的一侧，朝上地返回第二运送线6，返回基板运入机器人3的位置。

如上所述，在该其它实施例中，在基板反转装置11中，不是使上基板2完全旋转180度上下反转，而是通过一端侧在大致水平方向移动，另一端侧在垂直方向移动，能够将上基板2的基板反转的移动尽量抑制在最小范围，因此，能够抑制与上基板2的反转相伴的尘埃的产生以及飞扬，能够抑制尘埃对周围的装置的影响。

图6是表示图1中的基板粘合室15的从前处理室14运入基板以及向后处理室16运出基板的动作的纵剖视图，60是输送机伸缩机构，61是滚筒输送机，62是机械手，63是指部，64是吸附垫，69是门阀，65是下工作台，66是基板转交用的滚筒输送机，70是门阀，68是输送机伸缩机构，67是滚筒输送机，对与图1、图2对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。

该图中，在前处理室14(图1)中，在其下侧设置具备伸缩的输送机伸缩机构60的滚筒输送机61，在其顶棚侧设置机械手62。在基板粘合室15和前处理室14之间设置门阀69，基板粘合室15内通常被保持为规定的真空度。另外，在基板粘合室15和后处理室16(图1)之间也设置门阀70。基板粘合室15如图所示，成为真空腔，其中设有保持下基板1的下工作台65和保持上基板2的上工作台21。

在前处理室14的滚筒输送机61上设置输送机伸缩机构60，以若基板粘合室15和前处理室14之间的门阀69打开，则前处理室14的滚筒输送机61通过输送机伸缩机构60伸出并连接至基板粘合室15的滚筒输送机，能够将下基板1运入下工作台65上的方式构成。在基板粘合时，由未图示出的驱动机构，使上工作台21向下工作台65侧移动，进行下基板1和上基板2的粘合。

在设置于前处理室14的机械手62的指部63设置多个吸附垫64。另外，如前面说明的那样，在基板粘合室15的上工作台21侧，如图2(a)所示，也设置多个伸缩自由的粘着垫(粘着销)23，上工作台21侧的粘着垫23在机械手62的指部63之间降下，能够粘着保持上基板2。在这些吸附垫64以及粘着垫23的中心部，设置供给负压的供给口(未图示出)，通过向该供给口供给负压，吸附上基板2。另外，针对负压源、供给配管，省略了图示。另外，吸附垫64也可以仅设置基于该负压的保持机构，不设置粘着保持的机构。

如上所述，在进行上基板2的转交时，为了能够利用负压进行吸附，前处理室14以及基板粘合室15内成为半真空状态，向各吸附垫64、各粘着垫23供给的负压与之相比真空度高。

以下述方式构成，即，在将上基板2从前处理室14向基板粘合室15转交时，在由机械手62侧的吸附垫64和上工作台21侧的粘着垫23这两者保持了上基板2后，停止机械手62侧的吸附垫64的负压供给，使机械手62和伸出了的滚筒输送机61向前处理室14退避。此后，上基板2被粘着垫23提升到上工作台21的面，且由这些多个粘着垫23保持。因此，即使提高真空度，上基板2也由粘着力保持，不会落下。

若下基板1和上基板2的粘合结束，则在将上工作台21推压在上基板2的状态下，将粘着垫23提升到与该上工作台21的面相比的上侧，据此，能够将粘着垫23从上基板2的面剥离。另外，此时，通过从设置在粘着垫23的中央部的负压供给口喷出正压的气体，能够轻易地将粘着垫23剥离。

另外，在下工作台65上设置未图示出的粘着片(粘着部件)和多个负压供给口，下基板1以不移动的方式进行保持。在将该粘着部件从下基板1剥下的情况下，下工作台65不移动，从设置在粘着片的中央部的负压供给口供给压缩气体进行剥下。另外，也可以在负压供给口的中央部设置上下销，用该上下销上推下基板1，据此，将粘着部件从下基板1剥下。

设置在前处理室14的滚筒输送机61成为可通过伸缩机构60向基板粘合室15侧伸缩的构造，以下述方式构成，即，在前处理室14和基板粘合室15之间的门阀69关闭时，向前处理室14侧收缩，在门阀69打开，将下基板1向基板粘合室15内运送时，向基板粘合室15侧伸出，与设置在基板粘合室15的基板转交用的滚筒输送机66接驳，下基板1顺畅地转交到基板粘合室15的下工作台65。下工作台65设置在作为接收输送机的左右的滚筒输送机66之间，为能够上下移动而设置驱动机构。

另外，在后处理室16设置能够通过设置在这里的输送机伸缩机构68向基板粘合室15侧伸缩的滚筒输送机67，若下基板1和上基板2的粘合完成，后处理室16和基板粘合室15之间的门阀70打开，则滚筒输送机67向基板粘合室15侧伸出，与基板转交用的滚筒输送机66连接，通过基板粘合而形成的液晶面板19从该滚筒输送机66经滚筒输送机67，从基板粘合室15被运出，向后处理室16运送。

另外，在这里能够大致同时进行上下基板1、2向基板粘合室15的运入和向上下工作台21、65的载置保持，据此，能够大幅缩短液晶面板的组装时间。

如上所述，若上下基板1、2分别从前处理室14被保持在基板粘合室15的上工作台21、下工作台65，则门阀69被关闭。另外，基板粘合室15和后处理室16之间的门阀70被预先关闭。若门阀69被关闭，则使基板粘合室15内从半真空状态成为高真空状态，进行上下基板1、2的粘合。虽未图示出，但在基板粘合室15的室外设置使上工作台21上下运动的驱动机构、使粘着垫23上下运动的驱动机构，设置在这些驱动机构上的动力传递轴与上工作台21、粘着垫23连结，使该驱动机构动作，使粘着垫23、上工作台21上下移动，据此，进行上下基板1、2的粘合。在该粘合时，使上工作台21向下工作台65侧移动。

若上下基板1、2的粘合结束，则如前所述，使基板粘合室15内成为半真空状态，使预先成为半真空状态的后处理室16成为高真空状态。若基板粘合室15内成为半真空状态，则门阀70打开，滚筒输送机67从后处理室16向基板粘合室15内伸出，将基板转交用的滚筒输送机66上的上下基板1、2被粘合而成为了液晶面板19的完成物向后处理室16运出。若液晶面板19被运入后处理室16，则门阀70关闭，后处理室16内返回到大气状态。由于后处理室16内返回大气，液晶面板19整体被均匀地施加大气压，上下基板1、2之间的间隔成为正规的间隔。然后，在图1中，通过构成第三运送线20的滚筒输送机，液晶面板19被运送向紫外线照射室17。在这里，通过向密封剂照射紫外线，密封剂硬化。若密封剂的硬化结束，则同样由滚筒输送机将液晶面板19被送向面板检查室18，其状态被检查，被送向未图示出的下一个工序。

接着，对基于本发明的液晶基板粘合室的第二实施例进行说明。

前面的第一实施例为下述的结构，即，为使基板粘合室15内的状态反复为半真空的状态和高真空的状态，而在其前后设置前处理室14和后处理室16，在这些侧分别设置门阀69、70进行开闭，据此，进行上下基板1、2的接纳及其粘合后的液晶面板19的送出。这样，通过使半真空状态和高真空状态反复，谋求缩短使基板粘合室15内成为真空状态的时间，且防止基板粘合室15内的清洁度的降低。

在下面说明的第二实施例中，虽然做成与图1所示的结构相同的结构，但是，省略了前处理室14和后处理室16，做成将上下基板1、2直接从传送室12运入基板粘合室15，另外，将在基板粘合室15形成的液晶面板19直接向紫外线照射室17运出的结构。

图7是表示该第二实施例中的基板粘合室15的部分的概略结构图，15’是基板粘合装置，76是上腔，77是下腔，78是上工作台，78a是底板，78b是粘着部件，79是下工作台，79a是底板，79b是弹性体，80是横推机构，81是驱动马达，82是滚珠丝杠，83是线性引导器，84是支撑柱，85是密封环，86是柱状部件，87是密封部件，88是下工作台支撑柱，89是密封部件，90a、90b是真空排气管，91是上框架，92是上下驱动部，93是台架，94是接合机构，对与前面的图对应的部分标注相同的符号，省略重复的说明。

该图中，在该第二实施例中，相当于图1的基板粘合室18的基板粘合装置18’做成形成它的真空腔被分割为上腔76和下腔77的两分割构造，从传送室12(图1)向上腔76内的上工作台78运入上基板2，向下腔77的下工作台79运入下基板1，另外，将这些上下基板1、2粘合而成的液晶面板19(图1)向紫外线照射室17(图1)运出。另外，在该第二实施方式中，虽未图示出，但也在传送室12以及紫外线照射室17设置使用于运送上下基板1、2、液晶面板19的滚筒输送机伸缩的伸缩机构。

下腔77为大致固定在台架93侧的支撑柱84a、84b的状态，在下腔77内设置基板转交用的滚筒输送机(未图示出)，在该滚筒输送机之间设置能够上下运动的下工作台79。该下工作台79的上下移动的范围只要是能够接收上述的滚筒输送机上的下基板1，并移动到不与滚筒输送机接触的位置即可。下工作台79做成在底板79a上设置了弹性体79b的结构，该弹性体79b的部分与运入的下基板1相接。

下工作台79被设置在下腔77内，由设置在台架93上的上下驱动部92的多个下工作台支撑柱88支撑。在下工作台支撑柱88和下腔77之间，设置密封部件89，在使由上腔76和下腔77形成的真空腔内成为了真空时，使空气不会进入。

另外，在本第二实施方式中，设置用于在水平方向移动下工作台79，进行上基板2和下基板1的对位的横推机构80。

上工作台78做成在底板78a上设置了粘着部件78b的结构，与前面说明的第一实施方式同样，具备多个能够上下运动的真空吸附垫(未图示出)，在传送室12(图1)的机械手13(图1)上由其真空吸附垫保持的上基板2由设置在上工作台78上的真空吸附垫接收，并被提升到上工作台78的基板保持面。在上工作台78的面上配置多个真空吸附口(未图示出)和粘着部件78b，由它们对由上工作台78侧的真空吸附垫提升的上基板2进行真空吸附，且最终粘着保持。

上工作台78的该真空吸附垫也在基板1、2的粘合后，用于将粘着保持在上工作台78的面上的液晶面板19的上基板2剥离。即，若基板1、2的粘合结束，则在将上工作台78从粘合基板(液晶面板)19的面剥离时，在用真空吸附垫推压粘合基板19的面的状态下，使上工作台78上升，据此，能够将液晶面板19的上基板2从上工作台78的面剥离。此时，通过从设置在上工作台78的面上的真空吸附口向液晶面板19的面喷出气体，能够轻易地剥离该液晶面板19的上基板2。

上腔76经接合机构(未图示出)与上框架91连接，上工作台78由多个柱状部件86与上框架91连接。在柱状部件86和上腔76之间，设置密封部件87，在使由上腔76和下腔77构成的真空腔内成为了真空状态时，使空气不会进入该真空腔内。

上腔76和上工作台78通过为了上下驱动上框架91而设置在装置的四角的由驱动马达81、滚珠丝杆82和线性导向器83构成的上框架上下驱动机构，上下移动。在上腔76和下腔77的连接部设置由橡胶等形成的密封环85。若上腔76和下腔77合体，形成真空腔，则由该密封环85保持该真空腔内的气密性。

另外，下基板1的倾斜的校正与前面的第一实施方式同样，如通过图3所说明的那样，使用检测配置在滚筒输送机的规定位置的基板通过的传感器的检测值来进行。在基板粘合装置15’中，上基板2和下基板1大致被同时运入，大致同时向上工作台78和下工作台79转交。此时，上腔76和下腔77离开，成为大气状态。

如前面说明的那样，上基板2如通过图6所说明的那样，使用设置在上腔76侧的上工作台78的真空吸附垫，从传送室12(图1)的机械手13(图1)接收，并使用真空吸附和粘着保持机构保持在上工作台78。下基板1由设置在下腔77侧的图6所示那样的接收用的滚筒输送机66接收到下工作台上，使下工作台79上升，将下基板1载置在下工作台79上。载置在下工作台79上的下基板1使用设置在下工作台79上的多个真空吸附口被真空吸附，且由配置了多个的粘着部件粘着保持。另外，在下工作台79上，为了上基板2和下基板1的对位而设置能够在水平方向移动的工作台驱动机构。其移动量如上所述，因为预先在运送线的滚筒输送机上校正基板1、2的倾斜等，所以，能够为微小，能够通过该微小移动，进行基板1、2之间的对位。

若上下基板1、2被保持在上工作台78和下工作台79，则使上腔76向下腔77侧降下，使这些上腔76和下腔77合体，形成真空腔。若真空腔形成，则虽然细节未图示出，但将上框架91和上腔76连接的接合机构94脱开，由上框架上下驱动机构仅使上工作台78上下移动。

这样，若真空腔形成，则从分别设置在上腔76侧和下腔77侧的真空排气管90a、90b对真空腔内的气体进行排气，成为高真空状态(约5×10^-3Torr)。在该状态下，通过照相机(未图示出)观测设置在上基板2和下基板1上的对位标记，求出这些上下基板1、2之间的位置偏移量，在水平方向驱动下工作台79，进行对位。若对位结束，则由上框架上下驱动机构，将上工作台78向下工作台79侧移动，进行上下基板1、2的粘合。据此，形成液晶面板19(图1)。此时的粘合的推压力由设置在驱动上工作台78的驱动轴上的压力传感器测量，推压到预先设定的压力。

若上下基板1、2的粘合结束，则使上工作台78上升，将粘着保持的液晶面板19剥离。在将该被粘着保持的液晶面板19剥离的情况下，如前面说明的那样，一面由基板接收用的真空吸附垫按压液晶面板19的基板面，一面使上工作台78上升，据此，能够将该被粘着的液晶面板19剥离。在真空吸附垫粘贴在液晶面板19的基板面的情况下，通过替代供给负压而供给正压的气体，能够简单地剥离。另外，在从上工作台78剥离被粘着保持的液晶面板19时，通过从设置在上工作台78的面上的真空吸附口供给正压的气体，能够缩短将该粘着部件，即，液晶面板19的上基板2剥离的时间。

在粘合了上下基板1、2后，若将上工作台78从液晶面板19的上基板2剥离结束，则将下基板1侧的粘着部件，即，液晶面板19的下基板1从下工作台79剥离。这种情况下，使设置在下工作台79侧的多个基板支撑销上升到下工作台79的面之上，使下工作台79移动至位于滚筒输送机的下方，据此，能够将液晶面板19的下基板1侧从保持着它的下工作台49的面剥离。若从下工作台79剥离液晶面板19结束，则使基板支撑销降下到下工作台79的面的下方，据此，该液晶面板19被转交到图6所示的基板转交用的滚筒输送机66上。若液晶面板被转交到该滚筒输送机66上，则大气被导入真空腔内。若真空腔内成为与大气压相同的状态，则上腔76因腔上下驱动机构而上升，上腔76从下腔77分离，滚筒输送机从紫外线照射室17(图1)伸出，与基板粘合室15’内的基板转交用的滚筒输送机66连接。接着，液晶面板19被送向紫外线照射室17，在这里向密封剂照射紫外线，使密封剂硬化。若密封剂的硬化结束，则由滚筒输送机送向作为第二检查装置的面板检查室18，进行检查。

这样，在该第二实施方式中，由于大致同时将上下基板1、2运入基板粘合装置15’，并保持在上工作台78和下工作台79，所以，与以往将这些上下基板1、2分别运入的情况相比，能够缩短基板的粘合所需要的时间。

另外，由于使进行基板的粘合之前的工序的各处理室的配置成为大致直线状，上下基板1、2的运送使用滚筒输送机，所以，能够使各处理装置中的工作台的结构成为大致相同，能够缩小装置的设置面积，且能够缩短单件产品生产时间。

再有，在产生尘埃的可能性大的基板反转装置中，通过做成尽量抑制了基板的移动范围的反转机构，能够抑制尘埃对系统整体的影响。

Claims (16)

1.一种液晶基板粘合系统，其特征在于，将由运送下基板的滚筒输送机构成的第一运送线、向上述第一运送线上涂覆密封剂的膏剂涂覆机、配置在上述膏剂涂覆机的下游侧的短路用电极形成用涂覆机、使液晶材料滴下的液晶滴下装置、检查下基板的状态的第一检查室、传送室串联配置，

在第一运送线上并联地形成由运送上基板的滚筒输送机构成的第二运送线，在上述第二运送线的终端侧设置基板反转装置，作为反转装置的下游侧的合流点，设置传送室，

在上述第一运送线和第二运送线的合流点，设置与第一运送线连接的由滚筒输送机构成的第三运送线，在上述第三运送线上串联地配置传送室、前处理室、基板粘合室、后处理室、紫外线照射室以及面板检查室。

2.如权利要求1所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

上述基板反转装置，

具备步进梁，所述步进梁具有以向上的状态从滚筒输送机接收向上地运送到台架上来的上述上基板并进行保持的多个指部，

上述步进梁做成在一端侧设置上下移动部件，在另一端侧设置水平移动部，上述上下移动部件沿设置在上述台架上的移动用柱上下移动，且上述水平移动部沿线性引导器在水平方向移动的结构。

3.如权利要求2所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

在上述基板反转装置的上述步进梁的多个指部的每一个上设置吸附保持上述上基板的多个真空吸附垫，上述真空吸附垫具备与上述指部的面相比为规定的高度的足部。

4.如权利要求1所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

上述基板反转装置中，

由设有连结部的旋转臂构成反转机构，

做成将向上地保持上述上基板，在上述滚筒输送机上运送来的运送托盘的连结机构连结在该旋转臂的连结部，使上述旋转臂半旋转，使上述运送托盘和被它保持的上述上基板上下反转的结构。

5.如权利要求4所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

上述基板反转装置以在使上述运送托盘反转时，上述运送托盘能够在上述运送托盘和上述旋转臂的连结部之间转动的方式构成。

6.如权利要求1所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

在上述前处理室设置由滚筒输送机构成的上述第三运送线和机械手，

由设置在机械手上的真空吸附垫将上述上基板向上述基板粘合室保持·运送，由设置在上述基板粘合室的上工作台上的多个吸附垫接收，由设置在上述上工作台的保持面上的多个粘着垫粘着保持，

由上述第三运送线运送上述下基板，将上述下基板向上述基板粘合室的下工作台转交，由上述机械手和上述第三运送线将上述上基板和上述下基板大致同时运入基板粘合室。

7.如权利要求6所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

在设置在上述第一运送线上的上述膏剂涂覆机、上述短路用电极形成用涂覆机、上述液晶滴下装置和上述第一检查室的各个装置的近前的滚筒输送机以及上述第二运送线的基板反转装置的近前的滚筒输送机上，在相对于基板运送方向呈直角方向的左右，配置检测基板的左右边部的前端部的第一、第二检测传感器，

若上述第一、第二检测传感器中的任意一个检测传感器检测到基板的通过，则使检测到了基板的通过的上述检测传感器侧的上述滚筒输送机停止，持续上述另一个检测侧的滚筒输送机的驱动，直至没有检测到基板的通过的另一个检测传感器检测到上述基板的通过。

8.如权利要求1所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

在设置于上述第一运送线上的上述膏剂涂覆机、上述短路用电极形成用涂覆机、上述液晶滴下装置、上述第一检查室上设置的工作台部，在用于规定基板的停止位置的工作台侧，设置在与运送方向呈直角方向，使基板的两端部侧的前端部停止的上下可动的定位机构。

9.如权利要求1所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

设置在上述基板粘合室的上述上工作台在底板的上述上基板所接触的一侧设置弹性体，

做成设置多个从上述底板向上述弹性体的表面供给负压的负压供给口，且设置成使多个粘着垫能够贯通上述底板和上述弹性体进行上下的结构。

10.如权利要求7所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

设置在上述基板粘合室的上述上工作台在底板的上述上基板所接触的一侧设置粘着部件，

做成设置多个从上述底板向上述粘着部件的表面供给负压的负压供给口，且为了将上述粘着部件从上述上基板的面剥离，而设置成使多个推压销能够贯通上述底板和上述粘着部件进行上下的结构。

11.一种液晶基板粘合系统，其特征在于，将由运送下基板的滚筒输送机构成的第一运送线、向上述第一运送线上涂覆密封剂的膏剂涂覆机、配置在上述膏剂涂覆机的下游侧的短路用电极形成用涂覆机、使液晶材料滴下的液晶滴下装置、检查下基板的状态的第一检查室串联配置，

在上述第一运送线上并联地形成由运送上基板的滚筒输送机构成的第二运送线，

在上述第一运送线和上述第二运送线的合流点，设置与上述第一运送线连接的由滚筒输送机构成的第三运送线，在上述第三运送线上依次串联地配置传送室、基板粘合装置、紫外线照射室以及面板检查室。

12.如权利要求11所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

上述基板粘合装置具备被分割为在内侧设置了上工作台的上腔和在内侧设置了下工作台的下腔这两个腔的真空腔，

在上述真空腔被分割为上述上腔和上述下腔的状态下，大致同时地将上述上基板向上述上工作台转交，将上述下基板向上述下工作台转交，在保持了各个基板后，使上述上腔下降，与上述下腔合体，形成上述真空腔，使上述真空腔内成为高真空状态，进行上述上下基板的粘合。

13.如权利要求11所述的液晶基板粘合系统，其特征在于，

在设置于上述第一运送线上的上述膏剂涂覆机、上述短路用电极形成用涂覆机、上述液晶滴下装置和上述第一检查室的各个装置的近前的滚筒输送机部上，在相对于基板运送方向呈直角方向的左右，配置检测基板的左右两边部的前端部的第一、第二检测传感器，

若上述第一、第二检测传感器中的任意一个检测传感器检测到基板的通过，则使检测到了基板的通过的上述检测传感器侧的上述滚筒输送机停止，持续上述另一个检测侧的滚筒输送机的驱动，直至没有检测到基板的通过的另一个检测传感器检测到上述基板的通过。

14.一种液晶基板的粘合方法，所述液晶基板的粘合方法是在第一运送线上运送下基板，用上述第一运送线上的膏剂涂覆机涂覆密封剂，将上述涂覆了密封剂的下基板在用配置在上述膏剂涂覆机的下游侧的短路用电极形成用涂覆机形成端落叶电极后，用配置在短路用电极形成用涂覆机的下游侧的液晶滴下装置滴下液晶材料，在第一检查室检查下基板的状态，向传送室运送，

在并联设置在第一运送线上的由滚筒输送机构成的第二运送线上，以粘合面为上，运送上基板，在由设置在上述第二运送线的终端侧的基板反转装置反转后，向传送室运送，从传送室将上下基板运入粘合室，进行粘合，其特征在于，

在使在滚筒输送机上向上运送来的基板反转的基板反转方法中，

保持在形成第二运送路的滚筒输送机上运送来的上基板，使上述上基板的一端侧在垂直方向移动，使上述上基板的另一端侧在大致水平方向移动，据此，使上述上基板上下反转。

15.如权利要求14所述的液晶基板的粘合方法，其特征在于，

将在上述第二运送路的滚筒输送机上运送来的上基板接收到步进梁上，使上述步进梁的一端侧沿垂直地设置在台架上的移动柱移动，使上述步进梁的另一端侧沿设置在台架上的线性轨道移动，据此，使上述上基板上下反转。

16.如权利要求14所述的液晶基板的粘合方法，其特征在于，

向上地保持上述上基板的粘合面，将在上述滚筒输送机上运送来的运送托盘的连结机构连结在旋转臂的连结部，使上述旋转臂半旋转，使上述运送托盘和被它保持的上述上基板上下反转。

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