CN102160142A - 准分子灯及准分子灯单元及紫外线照射装置 - Google Patents

Abstract

提供一种不使用引线就能将电源连接于准分子灯(1)的外部电极(3、4)的准分子灯(1)和准分子灯单元。准分子灯(1)构成为在内部的放电空间(2a)封入有放电用气体的放电管(2)的上下平坦面配置一对外部电极(3、4)，并且将分别连接于所述外部电极(3、4)的一对连接器端子(8、8)配置在设置于该放电管(2)端部的连接器部(2b)的上下平坦面上。另外，准分子灯单元由准分子灯和灯座(7)构成，灯座(7)设有可装卸地插入支承该准分子灯(1)的连接器部(2b)的插座部(7a)，并且在该插座部(7a)的内侧、且与插入的连接器部(2b)上的一对连接器端子(8、8)接触的位置上，分别配置与准分子灯(1)的电源连接的一对多点接触件(13、13)。

Description

准分子灯及准分子灯单元及紫外线照射装置

技术领域

本发明涉及一种通过外部电极在封入有放电用气体的放电管内的放电空间产生放电而照射紫外线的准分子灯；用灯座支承该准分子灯且进行外部电极和电源的连接的准分子灯单元；以及使用它们而构成的紫外线照射装置。

背景技术

准分子灯在使用氙气作为放电用气体时，由于照射的是中心波长为172nm的高能的真空紫外线，所以可以作为对液晶显示器的玻璃基板或半导体晶圆等被照射物进行光清洗等的紫外线照射装置的光源灯使用。该准分子灯有使用圆筒管作为封入放电用气体的放电管的(例如参考对比文件1)，也有使用方形的密闭容器作为封入放电用气体的放电管的(例如参考对比文件2)等。

真空紫外线被氧吸收会产生臭氧，因此当放出到空气中时会马上衰减。因此，在使用采用了圆筒管的放电管的准分子灯的情况下，需要将准分子灯配置于下端配置有玻璃板的紫外线照射装置的内部，形成净化了氧等的环境，通过穿过该下端的玻璃板对隔开稍许间隔而配置于下方的平坦的被照射物照射真空紫外线，从而不使该真空紫外线白白在空气中衰减。但是，在使用采用了方形的放电管的准分子灯的情况下，由于可以对在广大的下平坦面的下方隔开稍许间隔而配置的平坦的被照射物直接照射真空紫外线，所以可以使紫外线照射装置的构造简化。

采用方形的放电管的准分子灯的现有构成例如图10以及图11所示。准分子灯1的放电管2是由合成石英构成的左右长条且上下形成有平坦面的方形的密闭容器，在内部的放电空间2a封入有氙气。该放电管2如图10所示，在上平坦面几乎遍布整个面形成有外部电极3，并且如图11所示，在下平坦面几乎遍布整个面形成有外部电极4。这些外部电极3、4是由通过蒸镀金属等在放电管2的表面成膜的金属薄膜构成。但是，上平坦面的外部电极3在成膜区域内均匀地成膜金属薄膜，下平坦面的外部电极4除去左侧的端部在成膜区域内以网状的图案成膜金属薄膜。

上述准分子灯1通过在外部电极3、4之间施加高频高电压，在由电介质构成的放电管2的内部的放电空间2a产生电介质阻挡放电(誘電体バリア放電)而放射真空紫外线，因此可以通过下平坦面的外部电极4的网眼的间隙将该真空紫外线放出到下方。

在此，现有的准分子灯1为了在外部电极3、4之间施加高频高电压，如图12所示，在外部电极3、4上连接了引线5、5。即，该准分子灯1将引线5、5的前端分别软钎焊在外部电极3、4的左侧的端部，并且包括这些引线5、5的前端部在内，将放电管2侧的端部用一对陶瓷块6、6从上下夹持固定。然后，在未图示的紫外线照射装置上支承固定陶瓷块6、6，并且将引线5、5的基部侧连接于未图示的高频高电压电源的高压端子和接地端子，从而对准分子灯1的外部电极3、4施加高频高电压。

但是，各引线5为了高频高电压的绝缘而需要由被覆件5a覆盖导线。因此，准分子灯1由于放电管2会因放电而变成高温，所以将用绝缘性和耐热性高且具有柔软性的硅酮树脂覆盖了导线的硅酮电线用于引线5。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2001-243920号公报(图4)

专利文献2：JP特开2000-260396号公报

但是，在放电管2的放电空间2a放射的真空紫外线有时在该放电管2的管壁内重复反射等而从左右端部漏出到外部，存在硅酮树脂在真空紫外线的作用下老化的情况。因此，各引线5用难以因真空紫外线老化且绝缘性和耐热性也高的PFA(热可塑性氟树脂)进一步覆盖硅酮电线的硅酮树脂，采用这些硅酮树脂和PFA的双层构造的被覆件5a。

但是，发明人进行实验反复研究的结果是发现了下述情况。作为引线5的被覆件5a的外层使用的PFA若长时间保露在高能的真空紫外线中也会产生一定程度的老化。而且，当该PFA因真空紫外线老化时，产生分解气体，该分解气体使外部电极3、4变色或污染放电管2的表面，因此存在着准分子灯1照射的真空紫外线的强度下降的问题。另外，还有因该分解气体污染被照射物的问题。进而，如果在被覆件5a的上层的PFA产生因老化引起的裂缝等，则真空紫外线照射在下层的硅酮树脂而产生粉化(白垩化)，所以还有因该粉化造成粉状物落下而污染被照射物的问题。

此外，即使是波长比真空紫外线长的紫外线，树脂也老化，只是程度有所差别，所以在放射真空紫外线以外的紫外线的准分子灯的情况下，也同样产生这些问题。另外，由于准分子灯的电源是极高的高电压，所以当连接使用引线时，必须用树脂制的被覆件5a进行绝缘。

发明内容

本发明要提供一种可以解决上述问题的准分子灯及准分子灯单元，以及使用它们而构成的紫外线照射装置。

第1发明的准分子灯，其特征在于，

在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管的外表面的不同部位配置一对外部电极，并且分别连接于这些外部电极的一对连接器端子配置在设置于该放电管的端部的连接器部的外表面侧的不同部位。

第2发明的准分子灯，其特征在于，

所述连接器部是放电管的左侧或右侧的端部、且是内部不存在放电空间的部分。

第3发明的准分子灯，其特征在于，

所述放电管是左右为长条状且上下形成有平坦面的方形的密闭容器，且在该放电管的上下的平坦面分别配置一对外部电极。

第4发明的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面形成的金属薄膜构成。

第5发明的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面配置的金属板构成。

第6发明的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由外部电极上的在放电管的连接器部的外表面配置的部分构成。

第7发明的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

第8发明的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由金属板构成，其隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

第9发明的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于金属片上，其中所述金属片隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

第10发明的准分子灯，其特征在于，

所述块状的各连接器端子由一对从两侧夹持固定放电管的连接器部的陶瓷块按压。

第11发明的准分子灯，其特征在于，

所述准分子灯放射真空紫外线。

第12发明的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其设置在外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

第13发明的紫外线照射装置，其特征在于，其具备所述准分子灯。

第14发明的准分子灯单元，其特征在于，其由所述准分子灯和灯座构成，其中所述灯座上设有插座部，在所述插座部中插入并支承该准分子灯的连接器部，并且在该插座部的内侧、且与插入的连接器部上的一对连接器端子接触的位置上，分别配置与准分子灯的电源连接的一对端子接触件。

第15发明的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由多点接触件构成。

第16发明的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由金属制的板簧构成。

第17发明的紫外线照射装置，其特征在于，其具备所述准分子灯单元。

而且，这些发明中的左右和上下方向只不过是用来简单表示相互正交的方向，并不一定必须与现实的左右、上下方向一致。

发明效果

根据第1发明，由于在放电管的端部配置与外部电极连接的连接器部，所以即使不在该外部电极连接引线，仅通过使端子接触件等接触就能连接于电源，不存在因引线的树脂被覆在紫外线作用下的树脂老化而产生分解气体或粉化引起粉状物落下的情况。

根据第2发明，由于在放电管的连接器部的内部不存在放电空间，因此即使给该连接器部施加压力放电管也不存在破损的顾虑。因此，可以采用用连接器端子等按压该连接器部，或用灯座等支承准分子灯时施加压迫而可靠进行支承或连接的构造。

根据第3发明，在使用方形的放电管的准分子灯中，可以消除被照射物污染的顾虑。即，虽然若在准分子灯和被照射物之间配置玻璃板等，不存在因树脂老化而产生的分解气体或粉化引起的粉状物污染该被照射物的顾虑，但在使用方形的放电管的准分子灯的情况下，由于不必配置玻璃板等，所以目前会产生该分解气体或粉化引起的粉状物污染被照射物的顾虑。但是，根据本发明，由于不必使用由树脂覆盖的引线，所以可以消除这种污染的问题。

根据第4发明，由于可以使金属薄膜的外部电极无间隙地密接于放电管的外表面，所以可以提高放电效率。

根据第5发明，由于仅通过在放电管的外表面配置金属板作为外部电极，因此该外部电极的组装容易。

根据第6发明，由于可将在放电管的外表面配置的外部电极在连接器部直接作为连接器端子使用，因此不必另外组装连接器端子。

根据第7发明，由于作为连接器端子的块状的端子隔着多点接触件被按压到外部电极，因此，该块状的连接器端子和外部电极之间的连接变成接触阻力小的可靠的连接，并且装卸也容易。另外，多点接触件由于通过多个接点进行连接，所以尤其适于施加高频、高压的准分子灯的连接。而且，块状的连接器端子由于热容量大，所以通过软钎焊等直接连接于外部电极并不容易。因此，通过隔着多点接触件将块状的连接器端子按压到外部电极，从而进行可靠连接。

根据第8发明，即便外部电极例如是如金属薄膜等那样容易被削去或剥落的电极，使端子接触件等接触而施加压力的连接器端子是隔着焊锡层连接固定于该外部电极的金属板，所以也可以防止外部电极的削去或剥落等。而且，作为连接器端子的金属板的热容量较小，因此可容易在作为金属薄膜的外部电极上进行软钎焊。

根据第9发明，即便外部电极例如是如金属薄膜等那样容易被削去或剥落的电极，使端子接触件等接触而施加压力的连接器端子是块状的端子，所以也可以防止外部电极的削去或剥落等。而且，介于该块状的连接器端子和外部电极之间的多点连接件也与隔着焊锡层连接固定在该外部电极上的金属片接触，因此通过该多点接触件，也不会产生外部电极被削去或剥落的顾虑。而且，块状的连接器端子由于热容量大，所以难以直接在金属薄膜等的外部电极进行软钎焊。因此，首先在外部电极软钎焊热容量小的金属片，接着在该金属片上隔着多点接触件按压块状的连接器端子，从而进行可靠连接。

根据第10发明，由于可利用具有绝缘性且不存在紫外线造成老化的顾虑的一对陶瓷块按压块状的连接器端子，所以可以可靠进行连接器端子向外部电极的连接。

根据第11发明，可以提供尤其适于放射高能的真空紫外线而容易使树脂老化的准分子灯的发明。

根据第12发明，没必要安装引线，可以形成制造及处理都简单的结构。

根据第13发明，由于在放电管的端部配置与外部电极连接的连接器部，所以即使不在该外部电极上连接引线，仅通过使端子接触件等接触就能连接于电源，可提供一种不存在因引线的树脂被覆在紫外线作用下的树脂老化而产生分解气体或粉化引起粉状物落下的情况的紫外线照射装置。进而，由于在放电管的连接器部的内部不存在放电空间，因此即使给该连接器部施加压力放电管也不存在破损的顾虑。因此，可以采用用连接器端子等按压该连接器部，或用灯座等支承准分子灯时施加压迫而可靠进行支承或连接的构造。

根据第14发明，灯座由插座部支承准分子灯的连接器部，并且使该插座部的内侧的一对端子接触件接触于准分子灯的连接器端子而连接于电源，因此，可以安装且使该准分子灯放电。而且，由于不必使用由树脂覆盖的引线，所以不存在因紫外线的作用造成树脂老化而产生分解气体或粉化引起粉状物落下的情况。此外，准分子灯没必要仅由灯座支承，例如也可以通过基于灯座的支承和基于其他支承件的支承的组合来安装。

根据第15发明，由于与准分子灯的连接器端子接触的灯座的端子接触件由多点接触件构成，因此准分子灯和高频高电压的电源之间的连接变成接触阻力小的可靠的连接，并且装卸也容易。另外，多点接触件由于通过多个接点进行连接，所以尤其适于施加高频、高电压的准分子灯的连接。

根据第16发明，由于与准分子灯的连接器端子接触的灯座的端子接触件由金属制的板簧构成，所以准分子灯和高频高电压的电源之间的连接变可靠，并且装卸也容易。

根据第17发明，灯座由插座部支承准分子灯的连接器部，并且使该插座部的内侧的一对端子接触件接触于准分子灯的连接器端子而连接于电源，因此，可以形成安装且使准分子灯放电的紫外线照射装置。而且，由于不必使用由树脂覆盖的引线，所以不存在因紫外线的作用造成树脂老化而产生分解气体或粉化引起粉状物落下的情况。进而，由于与准分子灯的连接器端子接触的灯座的端子接触件由多点接触件构成，因此该准分子灯和高频高电压的电源之间的连接变成接触阻力小的可靠的连接，并且装卸也容易。另外，多点接触件由于通过多个接点进行连接，所以尤其适于施加高频、高电压的准分子灯的连接。另外，与准分子灯的连接器端子接触的灯座的端子接触件由金属制的板簧构成，因此，准分子灯和高频高电压的电源之间的连接变可靠，并且装卸也容易。

附图说明

图1是表示本发明的一实施方式的图，是表示准分子灯单元的构成的局部放大侧截面图。

图2是表示本发明的一实施方式的图，是表示准分子灯的放电管的构成的俯视图(a)、侧视图(b)和后视图(c)。

图3是表示本发明的一实施方式的图，是表示准分子灯的构成的局部放大俯视图(a)和局部放大侧视图(b)。

图4是表示本发明的一实施方式的图，是表示将准分子灯插入灯座时的构成的局部放大侧截面图。

图5是表示本发明的其他实施方式的图，是表示准分子灯的构成的局部放大侧截面图。

图6是表示本发明的其他实施方式的图，是表示准分子灯单元的构成的局部放大侧截面图。

图7是表示本发明的其他实施方式的图，是表示准分子灯单元的构成的局部放大侧截面图。

图8是表示本发明的其他实施方式的图，是表示将准分子灯插入灯座时的构成的局部放大侧截面图。

图9是表示本发明的其他实施方式的图，是表示准分子灯单元的构成的局部放大侧截面图。

图10是表示现有例的图，是表示准分子灯的放电管的构成的俯视立体图。

图11是表示现有例的图，是表示准分子灯的放电管的构成的仰视立体图。

图12是表示现有例的图，是表示准分子灯的构成的局部放大侧截面图。

具体实施方式

以下，参考图1～图9说明本发明的最佳实施方式。而且，在这些图中，对与图10～图12所示的现有例具有同样的功能的构成部件标注相同符号。

本实施方式如图1所示，对于使用了封入有氙气的方形的放电管2的准分子灯1以及用于在进行液晶显示器的玻璃基板等被照射物的光清洗的紫外线照射装置上安装该准分子灯1的灯座7进行说明。

【准分子灯的放电管】

该准分子灯1的放电管2如图2(a)～(c)所示，是用方形的合成石英块堵塞住由合成石英形成的左右长条的方形的筒体的左右开口端，从而在内部形成放电空间2a的密闭容器，在该放电空间2a中封入有作为放电用气体的氙气。该放电管2由于堵塞筒体左侧的开口端的合成石英块相比于堵塞右侧的开口端的合成石英块而言，左右的长度更长，因此在放电管2的左侧的端部，遍布左右一定程度的长度存在着不存在放电空间2a的部分、即仅由合成石英构成的部分，该部分为连接器部2b。另外，该放电管2由上下的表面大致平坦的上平坦面和下平坦面构成，在上平坦面形成有外部电极3，并且在下平坦面形成有外部电极4。

上平坦面的外部电极3如图2(a)所示，是由在放电管2的上平坦面的大致整个面上均匀成膜的铝蒸镀膜和在该表面上保护的镍蒸镀膜构成的双层的金属薄膜。而且，该外部电极3还连续形成于下方没有放电空间2a的连接器部2b的上平坦面。下平坦面的外部电极4如图2(c)所示，是由在放电管2的下平坦面的大致整个面上以网状的图案成膜的铝蒸镀膜和在该网状的表面保护的镍蒸镀膜构成的双层的金属薄膜。另外，该外部电极4也连续形成于上方没有放电空间2a的连接器部2b的下平坦面，对于该部分，并不是以网状，而是以均匀的图案成膜。

上述结构的准分子灯1的放电管2，当将来自未图示的高频高电压电源的高频高电压施加于外部电极3、4间时，由于在由电介质构成的放电管2的内部的放电空间2a产生电介质阻挡放电，所以在该放电空间2a激发有作为放电用气体的氙气原子，在该氙气原子返回基底状态时放射中心波长172nm的真空紫外线(准分子发光)。然后，该真空紫外线通过放电管2的下平坦面的外部电极4的网眼的间隙而放出到下方。因此，若将放出到该放电管2下方的真空紫外线隔着稍许间隙而照射被照射物，则可以进行该被照射物的光清洗。此外，本实施方式的准分子灯1的高频高电压电源的频率是70kHz，起动时供应14kV的电压，放电开始后供应5kV的高频高电压。

【准分子灯的连接器端子】

上述准分子灯1如图1所示，将在放电管2的左侧端部的连接器部2b的上下安装的一对连接器端子8、8分别连接在外部电极3、4上。连接器端子8、8是用于经灯座7与准分子灯1的高频高电压电源连接的块状的端子，都是由在铜合金上实施镀镍的端子构成的。而且，在连接器部2b的上方安装的连接器端子8上，在方形块状的上表面的中央部形成有进一步向上方突出成方形的突出部8a，在连接器部2b的下方安装的连接器端子8上，在方形块状的下表面的中央部形成有进一步向下方突出成方形的突出部8a。

以下详细说明上述连接器端子8、8的安装构造。在连接器部2b的外部电极3、4的表面，分别隔着铟焊锡层9、9连接固定有镍片10、10。而且，在镍片10、10的表面分别隔着多点接触件11、11配置有连接器端子8、8。

各多点接触件11是在将连接器端子8按压到镍片10侧时，在多个金属制的弹簧件在上下接触于连接器端子8和镍片10的状态下施力的接触件，由此，连接器端子8和镍片10在多个点按压弹簧件的状态下被连接起来，因此，即使施加高电压也能够以小的接触阻力可靠连接。

作为上述多点接触件11采用的金属制的弹簧件，优选使用具有大的弹性、导电率高、接触阻力小的接点用的金属材料，为了降低接触阻力也可以进行镀等表面处理。另外，在多点接触件11用框体等支承多个弹簧件的情况下，该框体也采用金属制的框体。作为这种多点接触件11，例如采用多个短的板簧在连接器端子8和镍片10之间倾斜配置的接触件；或多个短的螺旋弹簧在连接器端子8和镍片10之间多个纵向排列配置的接触件；或使一根～数根的螺旋弹簧的线圈倾斜后横向配置在连接器端子8和镍片10之间的接触件等。

上述放电管2的连接器部2b从上下夹持固定有一对陶瓷块6、6。如图3所示，上方的陶瓷块6由前后长的方形的陶瓷构成，下表面中央部向上方凹陷成方形，在该凹陷的中央部开口有贯通到上表面的方形的孔，并且下表面的前后端部向下方突出。另外，下方的陶瓷块6由前后长的方形的陶瓷构成，上表面中央部向下方凹陷成方形，在该凹陷的中央部开口有贯通到下表面的方形的孔，并且上表面的前后端部向上方突出。而且，这些陶瓷块6、6以前后跨越的方式从上下夹持放电管2的连接器部2b，使前后端部的突出端彼此重合并用螺栓12、12紧固而夹持固定。

在此，上述各陶瓷块6在从上下夹持固定放电管2的连接器部2b之际，在内侧的凹陷嵌入连接器端子8。此时，对于各连接器端子8而言，突出部8a嵌入陶瓷块6的内侧的凹陷的孔而前端部突出。另外，通过用陶瓷块6将突出部8a的周围压向放电管2侧，从而各连接器端子8隔着多点接触件11按压镍片10。

通过上述安装构造，连接器端子8、8分别隔着多点接触件11、11和镍片10、10和铟焊锡层9、9而可靠地连接于外部电极3、4。在此，连接器端子8由于热容量大，所以难以对其进行加热而使铟焊锡层9熔融而直接连接于外部电极3、4。另外，在隔着多点接触件11将连接器端子8按压向外部电极3、4时，有多点接触件11的弹簧件削去或剥落外部电极3、4的薄的金属薄膜的顾虑。因此，通过对热容量小的镍片10进行加热而使铟焊锡层9熔融而软钎焊在外部电极3、4上，从而保护外部电极3、4的金属薄膜。另外，该镍片10由于不会被多点接触件11的弹簧件削去或剥落，所以通过隔着该多点接触件11按压连接器端子8而进行可靠的连接。此外，若可隔着铟焊锡层9、9等将连接器端子8、8直接连接固定于由金属薄膜构成的外部电极3、4上，或者可使连接器端子8、8自身熔融而直接连接固定于由金属薄膜构成的外部电极3、4上的话，就不需要镍片10、10和多点接触件11、11。

【灯座】

灯座7是支承上述准分子灯1并且连接于高频高电压电源的安装具，其安装在未图示的紫外线照射装置等上。该灯座7如图1所示，形成有右开口的凹状的插座部7a。插座部7a是可在其中一起插入准分子灯1的连接器部2b和陶瓷块6、6等并进行支承的凹部，在该凹部的内侧的上下表面分别配置有多点接触件13、13(端子接触件)。

这些多点接触件13、13与上述多点接触件11、11同样，是通过在被上下的面夹着而被按压从而多个金属制的弹簧件与这些上下的面接触的状态下施力的接触件。在插座部7a的内侧的上表面配置的多点接触件13通过使多个弹簧件的上端接触于在从其上表面稍微凹陷的位置配置的端子连接板14的下表面，从而被配置成使这些弹簧件的下端相比于插座部7a的内侧的上表面稍向下方突出。另外，在插座部7a的内侧的下表面配置的多点接触件13通过使多个弹簧件的下端接触于在从其下表面稍微凹陷的位置配置的端子连接板14的上表面，从而被配置成使这些弹簧件的上端相比于插座部7a的内侧的下表面稍向上方突出。而且，这些端子连接板14、14分别连接于高频高电压电源的高压端子和接地端子。

当在上述结构的灯座7的插座部7a中将准分子灯1的左侧端部的连接器部2b和陶瓷块6、6等一起插入时，如图4所示，该准分子灯1由灯座7支承。而且，准分子灯1并不一定必须仅由该灯座7支承。本实施方式的准分子灯1，例如也有前后的宽度是70mm左右，左右的长度超过1000mm的极长的情况，所以例如该准分子灯1的右侧的端部也可以由未图示的其他的支承件支承。

在插入向上述插座部7a时，从陶瓷块6、6的孔上下突出的连接器端子8、8的突出部8a、8a，一边将在该插座部7a的内侧的上下面配置的多点接触件13、13的多个弹簧件分别压开到上方和下方一边进入，当完全插入插座部7a时，停止在压接所述多点接触件13、13的多个弹簧件的位置。

因此，当准分子灯1连接于灯座7时，该准分子灯1的外部电极3隔着放电管2的上侧的铟焊锡层9和镍片10和多点接触件11和连接器端子8，并且隔着插座部7a的内侧的上表面侧的多点接触件13和端子连接板14而连接于高频高电压电源的高压端子。另外，准分子灯1的外部电极4隔着放电管2的下侧的铟焊锡层9和镍片10和多点接触件11和连接器端子8，并且隔着插座部7a的内侧的下表面侧的多点接触件13和端子连接板14而连接于高频高电压电源的接地端子。

【本实施方式的效果】

根据上述结构，灯座7可由插座部7a支承准分子灯1的连接器部2b。另外，通过将该插座部7a的内侧的一对多点接触件13、13压接于准分子灯1的连接器端子8、8，从而在准分子灯1的外部电极3、4连接高频高电压电源，因此可以使该准分子灯1放电。

而且，由于不需要在准分子灯1的外部电极3、4连接被树脂覆盖了的引线，所以不会出现因真空紫外线引起的树脂的老化而产生分解气体或粉化引起的粉状物落下到被照射物的情况。即，本实施方式的准分子灯1隔着铟焊锡层9、9将镍片10、10连接固定在外部电极3、4上，隔着多点接触件11、11将连接器端子8、8连接在这些镍片10、10上，并用陶瓷块6、6按压这些连接器端子8、8，因此，即使有真空紫外线照射在这些金属制或陶瓷制的部件上，也没有老化的顾虑。另外，本实施方式的灯座7、插座部7a的内侧的多点接触件13、13和端子连接板14、15也是金属制的，所以即使被真空紫外线照射，也没有老化的顾虑。

尤其，在本实施方式的情况下，由于准分子灯1放射高能的真空紫外线，所以若使用树脂则老化加剧，因此这种仅由金属制成和陶瓷制成的结构极其有效。

另外，在本实施方式的情况下，由于准分子灯1使用方形的放电管2，所以在该放电管2的下方不用隔着玻璃板等就能向被照射物直接照射真空紫外线，因此，不会产生因树脂老化引起的分解气体或粉化引起的粉状物的结构极其有效。

另外，在本实施方式的情况下，由于在由陶瓷块6、6夹持的放电管2的连接器部2b内部不存在放电空间2a，所以即使用螺栓12、12从上下夹持固定这些陶瓷块6、6，连接器端子8、8隔着多点接触件11、11从上下按压，放电管2也不会因这些压力而破损。

【其他实施方式】

另外，在上述实施方式中，虽然表示了采用氙气作为放电用气体的情况，但也可以采用可准分子发光的其他稀有气体或其卤化物、其他的物质。进而，在上述实施方式中，虽然表示了放射波长172nm的真空紫外线的情况，但由于紫外线的波长由作为放电用气体使用的物质决定，所以不限定于波长172nm，也不限于真空紫外线。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了通过用方形的合成石英块堵塞由合成石英构成的左右长条的方形的筒体的左右开口端，从而制作左右长条的方形的放电管2的情况，但该放电管2的制作方法不限定于此。在此，所谓左右长条的方形是指相比于前后的宽度或上下的高度而言左右长度最长的方形。而且，在此所称的方形只要是沿前后方向和上下方向的切断面的纵截面形状为大致方形即可，也可以是在角部有倒角或圆角等。进而，只要上表面和下表面为大致平坦面，则前后的侧面就没必要为平坦面，例如也可以多少向外侧弯曲。进而，为了气体的吸引/填充或准分子灯1的安装等，放电管2的外形也可以形成多少的凹凸。

另外，在上述实施方式中，虽然说明了使用左右长条的方形的放电管2的准分子灯1，但该放电管2的形状是任意的，例如是使用由圆筒管构成的放电管2的准分子灯1也同样可以实施。在放电管2由圆筒管等构成的情况下，由于紫外线的放出面(在上述实施方式中为下平坦面)不是平坦面，所以为了净化准分子灯1周围的氧等，可以在与下方的被照射物之间配置玻璃板等。在如此配置玻璃板等的情况下，若因树脂的老化而产生分解气体或粉化引起的粉状物，则外部电极3、4也变色或污染放电管2的表面、玻璃板，因此，本发明可以解决这样的问题。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了放电管2使用合成石英的情况，但只要是放射的紫外线的透过率高且该紫外线造成的老化少的材质，则没必要限定于合成石英。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了隔着铟焊锡层9、9将镍片10、10连接固定在连接器部2b的外部电极3、4的表面上的情况，但只要是不给外部电极3、4的金属薄膜和镍片10、10造成损伤而能够可靠地连接固定，则就不限定于使用铟的焊锡材料，也可以隔着使用其他焊锡材料或焊接材料的焊锡层来进行连接固定。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了使用镍片10的情况，但只要是不会被多点接触件11的弹簧件削去或剥落而能够进行可靠连接，则也可以采用其他的金属片，另外，不限于金属片，也可以用金属板等。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了使用陶瓷块6、6的情况，但只要是具有足够的刚性和绝缘性且不受紫外线影响，则材质不限于陶瓷，例如也可以使用合成石英。进而，为了按压连接器端子8、8，不限定于用这样的陶瓷块6、6夹持固定放电管2的连接器部2b的构造，例如图5所示，也可以是将陶瓷制的帽状的陶瓷块6嵌入放电管2的连接器部2b的构造。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了使用对铜合金实施镀镍的端子作为连接器端子8、8的情况，但只要是具有足够刚性的金属制的端子，连接器端子8、8的材质或表面处理为任意，形状也不限于上述实施方式的形状。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了连接器端子8、8隔着多点接触件11、11和镍片10、10和铟焊锡层9、9连接于由金属薄膜构成的外部电极3、4的情况，但也可以将连接器端子8、8隔着铟焊锡层9、9等直接连接固定于外部电极3、4。图6表示将连接器端子8、8隔着焊锡层连接固定于外部电极3、4的结构。此时，连接器端子8、8采用热容量小的金属板，以使铟焊锡层9、9的软钎焊变容易。

进而，在可将块状的连接器端子8、8隔着铟焊锡层9、9等直接连接固定于外部电极3、4的情况下，例如图7所示，可将所述连接器端子8、8拉出到覆盖放电管2的左侧端面的一部分的位置，在所述连接器端子8、8的左侧端部设置连接用的倾斜面。此时，灯座7如图7所示由上下的金属制的端子连接块15、15以及为了绝缘而配置于所述端子连接块15、15间的陶瓷件16构成，并且插座部7a呈右侧开口的V字状的凹陷状，可在该V字状的凹陷的上下露出的端子连接块15、15的倾斜的端面配置多点接触件13、13。而且，此时，例如通过在准分子灯1的右侧的端部配置将该准分子灯1按压向左侧的未图示的支承件，从而由该支承件和灯座7双方支承准分子灯1即可。由此，准分子灯1的连接器端子8、8的左侧的端部的倾斜面隔着多点接触件13、13压接到在灯座7的插座部7a的V字状的凹陷露出的端子连接块15、15的倾斜的端面上，因此可靠地连接于高频高电压电源。

另外，在上述实施方式中，表示了外部电极3是均匀成膜的金属薄膜，外部电极4是以网状的图案成膜的金属薄膜的情况，但所述外部电极3、4的金属薄膜不管以何种图案成膜都可以。例如双方的外部电极3、4可以是都以网状的图案成膜的金属薄膜，只要能向放电管2的外部放出紫外线，双方的外部电极3、4可以是都均匀成膜的金属薄膜。进而也可以例如在均匀成膜的金属薄膜构成的外部电极的一部分，在用于测定放出的紫外线强度的部分设置以网状的图案成膜的窗部，也可以在由以网状的图案成膜的金属薄膜构成的外部电极的一部分设置均匀成膜的部分(上述的实施方式的情况下，在连接器部2b形成的外部电极4也由均匀成膜的金属薄膜构成)。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了外部电极4的网状的图案通过使细长的多个金属薄膜正交而网眼变成正方形或长方形的情况，但该网状的图案形状或尺寸是任意的。例如细长的金属薄膜未正交而网眼变成菱形或平行四边形的情况也可以，例如网眼变成六边形的蜂窝网状也可以。进而，例如也可以是平行配置细长的多个金属薄膜的梳齿状的结构。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了外部电极3、4是由铝蒸镀膜和在其表面保护的镍蒸镀膜构成的双层的金属薄膜的情况，但也可以是仅一层的金属薄膜或三层以上的金属薄膜，各层的金属材料也不限于铝或镍，可任意选择。进而所述外部电极3、4可以是由蒸镀以外的溅射等方法成膜的金属薄膜，也可以是作为金属薄膜以外的厚膜等导电膜成膜的薄膜。进而，所述外部电极3、4不限定于通过成膜配置于放电管2的外表面，也可以是在放电管2的外表面粘贴金属箔来配置或将金属板等导电材料配置于放电管2的外表面。

图8表示外部电极3、4由配置于放电管2的外表面的金属板构成的情况。此时，连接器端子8、8可由这些金属板构成的外部电极3、4上的在放电管2的连接器部2b的外表面配置的部分构成。在如此使用由金属板构成的外部电极3、4的情况下，例如为了使外部电极4形成网状，只要使用冲孔金属(パンチングメタル)或膨胀合金(エキスパンドメタル)等即可。但是，即使在使用这种冲孔金属或膨胀合金等的情况下，也优选在放电管2的连接器部2b的外表面配置的部分为通常的金属板，将该部分作为连接器端子8。进而，也可以仅设连接器端子8为金属板，通过软钎焊等在其上连接金属网构成的外部电极4。

进而，不管外部电极3、4是金属薄膜或金属板等的哪种，可以都不在放电管2的连接器部2b配置，而分别隔着金属制的片材等连接在配置于该连接器部2b的由金属板等构成的连接器端子8、8上。

另外，在上述实施方式中，虽然表示了使用多点接触件13、13作为灯座7的端子接触件的情况，但如图9所示，也可以使用金属制的板簧17、17作为端子接触件。此时，也利用弹性将板簧17、17压接于连接器端子8、8，因此可以进行可靠连接。进而，灯座7的端子接触件也可以采用通过螺旋弹簧等施力的金属板等。但是，这些端子接触件是在将准分子灯1的连接器部2b插入灯座7的插座部7a时，伴随其插入被连接器端子8、8按压而自动扩开开口部的结构。

另外，在连接器端子8、8是如上述实施方式那样按压多点接触件11、11的结构的情况下，灯座7的端子接触件也可以是固定的金属板或金属块。此时，连接器端子8、8在插入一对端子接触件之间时，进一步按压多点接触件11、11而稍微退缩进入。

本申请基于2008年9月22日申请的日本专利申请：申请号2008-242644，其内容作为参考并引用于此。

工业实用性

由于在将电源连接于准分子灯的外部电极时不必使用引线，所以不存在该引线的树脂被覆老化那样的情况，作为紫外线照射装置的光源灯使用时极其有用。

符号说明

1准分子灯

2放电管

2a放电空间

2b连接器部

3外部电极

4外部电极

5引线

5a被覆件

6陶瓷块

7灯座

7a插座部

8连接器端子

8a突出部

9铟焊锡层

10镍片

11多点接触件

12螺栓

13多点接触件

14端子连接板

15端子连接块

16陶瓷件

17板簧

Claims (17)

1.一种准分子灯，其特征在于，

在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管的外表面的不同部位配置一对外部电极，并且分别连接于这些外部电极的一对连接器端子配置在设置于该放电管的端部的连接器部的外表面侧的不同部位。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

所述连接器部是放电管的左侧或右侧的端部、且是内部不存在放电空间的部分。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述放电管是左右为长条状且上下形成有平坦面的方形的密闭容器，且在该放电管的上下的平坦面分别配置一对外部电极。

4.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面形成的金属薄膜构成。

5.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面配置的金属板构成。

6.如权利要求5所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由外部电极上的在放电管的连接器部的外表面配置的部分构成。

7.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

8.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由金属板构成，其隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

9.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于金属片上，其中所述金属片隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

10.如权利要求7所述的准分子灯，其特征在于，

所述块状的各连接器端子由一对从两侧夹持固定放电管的连接器部的陶瓷块按压。

11.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述准分子灯放射真空紫外线。

12.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其设置在外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

13.一种紫外线照射装置，其特征在于，其具备权利要求1或2所述的准分子灯。

14.一种准分子灯单元，其特征在于，其由权利要求1所述的准分子灯和灯座构成，其中所述灯座上设有插座部，在所述插座部中插入并支承该准分子灯的连接器部，并且在该插座部的内侧、且与插入的连接器部上的一对连接器端子接触的位置上，分别配置与准分子灯的电源连接的一对端子接触件。

15.如权利要求14所述的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由多点接触件构成。

16.如权利要求14所述的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由金属制的板簧构成。

17.一种紫外线照射装置，其特征在于，其具备权利要求14～16中任一项所述的准分子灯单元。

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