CN102141727A - 光刻用防尘薄膜组件及其制造方法 - Google Patents

光刻用防尘薄膜组件及其制造方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及光刻用防尘薄膜组件及其制造方法。本发明提供了一种防尘薄膜组件，其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。根据本发明的防尘薄膜组件制造方法，在防尘薄膜组件框架10的一表面上粘贴有防尘薄膜20；防尘薄膜组件框架10具有一对长边11和一对短边12；一对长边11各自呈直线形状；一对短边12各自具备：中央区12a，包括短边的中央部，相对外侧呈凸状的圆弧形状；中间区12b，位于中央区两侧，相对外侧呈凹状的圆弧形状；端部附近区12c，在短边两端部附近，呈直线形。

Description

光刻用防尘薄膜组件及其制造方法
技术领域
本发明涉及制造LSI、超LSI等半导体装置或液晶显示板时作为光掩膜或中间研模(reticule)的防尘罩而使用的光刻用防尘薄膜组件(pellicle)及其制造方法。
背景技术
制造LSI、超LSI等半导体器件或液晶显示器时，借光掩膜或中间掩模等曝光用原版(在本说明书中统称为“光掩膜”。)往半导体晶圆或液晶用原板照射曝光用光，转印光掩膜图案，以形成半导体器件或液晶显示器的图案。
因此，若此时光掩膜上附着有赃物等异物，曝光用光就会被光掩膜表面上附着的赃物等异物所反射或吸收，致使转印到半导体晶圆或液晶用原板上的图案变形，图案的边缘部分变得不鲜明，不仅如此，基底也变乌黑，尺寸、质量及外观等受损。于是出现不能如所期望的那样将光掩膜的图案转印到半导体晶圆或液晶用原板上，半导体器件或液晶显示器的性能降低，成品率变差的问题。
为防止所述问题，在清洁室内进行半导体晶圆或液晶用原板的曝光。然而即便如此也难以完全防止光掩膜表面上附着异物，因此通常是在光掩膜表面安装防尘罩来对半导体晶圆或液晶用原板曝光。该防尘罩称做防尘薄膜组件，对曝光用光具有高透过率。
防尘薄膜组件一般这样制作：在由铝、不锈钢及聚乙烯等形成的防尘薄膜组件框架的一面涂布防尘薄膜材料的良好溶剂，将防尘薄膜风干后粘接于该面上，或者是，用丙烯酸树脂、环氧树脂或氟树脂等粘接剂将防尘薄膜粘接于该面，而在防尘薄膜组件框架的另一面上形成用于粘贴光掩膜的由聚丁烯树脂、聚醋酸树脂、丙烯酸树脂及硅树脂等构成的粘接剂层，再于粘接剂层上设置粘接剂层保护用脱离层或隔离体。这里的防尘薄膜是由对曝光用光具有高透过率的硝化纤维素及醋酸纤维素等纤维素类树脂或氟化树脂等制作的(参见日本特开昭58-219023号公报、美国专利第4861402号说明书、日本特公昭63-27707号公报、日本特开平7-168345号公报等)。
把这样构成的防尘薄膜组件安装在光掩膜表面上，通过光掩膜来对半导体晶圆或液晶用原板曝光时，由于赃物等异物附着在防尘薄膜组件表面而不直接附着在光掩膜表面上，所以只要向光掩膜上形成的图案上照射曝光用光并使焦点对准，就可以消除赃物等异物的影响。
另外，为了在防尘薄膜组件粘贴于光掩膜状态下消除防尘薄膜组件内部围成的空间和外部之间的气压差，也有在防尘薄膜组件框架一部分上开设气压调整用小孔的。以及设置滤网的，以防止来自通过小孔流动的空气的异物侵入。
由于防尘薄膜一般都由薄树脂膜构成，所以要使防尘薄膜能被防尘薄膜组件框架绷紧地支撑以防止下垂，就要在对防尘薄膜施加给预定的张力状态下向防尘薄膜组件框架粘接。
为此，一般所用的具有长方形截面的防尘薄膜组件的场合，防尘薄膜粘贴于防尘薄膜组件框架上后，不可避免地，防尘薄膜组件框架会因防尘薄膜张力而向内侧翘曲变形。
这种防尘薄膜组件框架向内侧的翘曲，在印刷基板或液晶显示器制造用大型防尘薄膜组件等防尘薄膜组件框架边长大的场合有尤为显著。
而另一方面，关于光掩膜，为了低成本化，要求最大限度地确保曝光区。若防尘薄膜组件框架向内侧翘曲，曝光区则缩小，故要求尽可能地减小防尘薄膜组件框架向内侧翘曲。
虽然从技术角度讲所述问题可以通过扩大防尘薄膜组件框架截面面积等、提高防尘薄膜组件框架刚性而得以解决，但实际上，为了确保大曝光区而使得防尘薄膜组件框架内侧面积受到限制，而且防尘薄膜组件框架外侧也要确保光掩膜固定或搬运所需操作空间。因此，一般防尘薄膜组件框架各个边呈被这些个限制所决定的直线形状。
另外，也有通过用刚性更高的材料形成防尘薄膜组件框架而减小防尘薄膜组件框架向内侧翘曲的方法，这实际上是譬如用碳素纤维复合材料(CFRP)或钛取代铝合金来形成防尘薄膜组件框架。虽然这比起用铝合金来形成防尘薄膜组件框架的场合来可以减小防尘薄膜组件框架向内侧翘曲，但是由于这些材料价格昂贵、加工性差，会大幅度提高成本，不现实。
为了减少防尘薄膜组件框架向内侧翘曲，日本发明专利4286194号提出一种方法，形成防尘薄膜组件框架，使其至少一对边的中央部为向外侧凸的圆弧形状部，其两侧有向外侧凹的圆弧形状部，还在其外侧设有直线形状部，粘贴防尘薄膜后，防尘薄膜组件框架就变成所期望形状。
虽然根据该方法可以在防尘薄膜粘贴后将防尘薄膜组件框架形状控制成所期望形状，但是这一方法存在着难以批量生产防尘薄膜组件的问题。
即，为了在防尘薄膜粘贴后将防尘薄膜组件框架形状控制成所期望形状，要对应防尘薄膜张力分布设计防尘薄膜组件框架形状，但是批量生产出的防尘薄膜的张力分布并非一定，产生某种程度差异不可避免。其结果，当防尘薄膜张力大于设计值时，防尘薄膜粘贴后防尘薄膜组件框架过度向内侧翘曲；而反之，当小于设计值时，如日本发明专利4286194号所示，中央部为外侧凸的圆弧形状部、两侧形成有外侧凹的圆弧形状部、更外侧则形成有直线形部的防尘薄膜组件框架的边在防尘薄膜粘贴后维持向外侧突出状态。通常，要考虑防尘薄膜张力所引起的防尘薄膜组件框架翘曲或防尘薄膜组件的对光掩膜的粘贴误差等来设置防尘薄膜组件内部尺寸公差，使相对光掩膜图案部留有某些余地。但是防尘薄膜组件框架向外侧翘曲只是机械变形，本来在设计防尘薄膜组件框架时没有考虑过。所以当防尘薄膜张力小于设计值而致使防尘薄膜组件框架边向外侧突出时，在处理防尘薄膜组件中，可能会出现同把防尘薄膜组件粘贴到光掩膜上的防尘薄膜组件粘贴装置同光掩膜曝光机内搬运装置相互干扰等问题。
如日本发明专利4354789号所示的一般的防尘薄膜组件粘贴装置中，由于防尘薄膜组件是防尘薄膜组件框架长边朝下纵向放置而设置，在防尘薄膜组件框架长边向外侧突出的场合，当防尘薄膜组件纵向放置而设置时，向外侧突出的防尘薄膜组件框架的长边向内侧变位，出现防尘薄膜易生皱褶的问题。
发明内容
本发明目的就在于提供一种光刻用防尘薄膜组件，其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。
本发明另一目的还在于提供一种光刻用防尘薄膜组件制造方法，即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。
本发明目的是如下实现的。
一种防尘薄膜组件，其特征在于：包括防尘薄膜组件框架；该防尘薄膜组件框架至少具有一对长边和一对短边，所述一对长边各自实质上呈直线形状，所述一对短边各自呈中央部向外侧突出的形状；在该防尘薄膜组件框架的一表面上粘贴有防尘薄膜，其张力得到调整，使沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对长边的方向的张力大于沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边的方向的张力；所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边实质上呈直线形状。
一种防尘薄膜组件制造方法，其特征在于：在防尘薄膜组件框架的一表面上粘贴有防尘薄膜；该防尘薄膜组件框架至少具有一对长边和一对短边，所述一对长边各自实质上呈直线形状，所述一对短边各自呈中央部向外侧突出的形状；所述防尘薄膜的张力得到调整，使沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对长边的方向的张力大于沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边的方向的张力；使所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边实质上变形为直线形状。
根据本发明，由于防尘薄膜的张力得到调整，使沿防尘薄膜组件框架的一对长边的方向的张力大于沿防尘薄膜组件框架的一对短边的方向的张力，所以当粘贴了防尘薄膜时，防尘薄膜组件框架短边向内侧的翘曲比长边的大，其结果，防尘薄膜组件框架短边的两角部产生迫使长边向外侧变位的弯曲动量，靠沿防尘薄膜组件框架的一对短边的方向的防尘薄膜张力，向内侧变位的防尘薄膜组件框架的一对长边的翘曲被因弯曲动量而产生的防尘薄膜组件框架的一对长边的翘曲所抵消。而另一方面，靠防尘薄膜的张力，防尘薄膜组件框架的一对短边也被变形为直线形状。因此，无需或扩大防尘薄膜组件框架截面形状、或用高刚性材料形成防尘薄膜组件框架，就可在不增大成本的情况下有效地防止曝光区减小。
还有，根据本发明，由于防尘薄膜的长边原本就呈直线形状，所以即使当防尘薄膜张力不均、防尘薄膜对防尘薄膜组件框架的长边所施加的向内侧的力小于设计值时，也不会出现防尘薄膜粘贴后防尘薄膜组件框架的长边向外侧突出。因此，即使在防尘薄膜粘贴装置上防尘薄膜组件是防尘薄膜组件框架长边朝下纵向放置的场合，也不会出现防尘薄膜组件框架的长边向内侧变位。故，能有效地防止防尘薄膜发生皱褶。
在本发明优选实施方式中，所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边各自具备：中央区，包括所述短边的中央部，相对外侧呈凸状的圆弧形状；端部附近区，在所述短边两端部附近，呈直线形；中间区，位于所述中央区两侧，在所述中央区与所述端部附近区之间，相对外侧呈凹状的圆弧形状，使所述中央区和所述端部附近区圆滑地衔接起来。
根据本发明优选实施方式，靠防尘薄膜张力，防尘薄膜组件框架的短边中央区大大地向内侧变位，使所述中央区和所述端部附近区圆滑地衔接起来、相对外侧呈凹状的圆弧形状的中间区也向内侧变位。因此，能使防尘薄膜组件框架的短边变位成更接近直线形状。
还有，根据本发明优选实施方式，由于防尘薄膜组件框架的短边的两端部附近的端部附近区形成为直线形，所以不仅能正确地测定框尺寸，还能在生产作业时定位于正确的位置。因此，能高精度地对防尘薄膜组件框架进行加工。
在本发明更优选实施方式中，防尘薄膜组件框架是这样设计的：相对外侧呈凹状的圆弧形状的所述中间区的半径为相对外侧呈凸状的圆弧形状的所述中央区的半径的1/3以上。
根据本发明的该优选实施方式，能将中央区的相对外侧呈凸状的圆弧形状和中间区的相对外侧呈凹状的圆弧形状圆滑地衔接起来。
在本发明更优选实施方式中，在将所述防尘薄膜粘贴于所述防尘薄膜组件框架之前，将所述防尘薄膜张设于临时框上，通过使所述临时框的至少一对相对的边的中央部机械变位来调整所述防尘薄膜的张力。
在本发明更优选实施方式中，使所述临时框的至少一对相对的边的中央部机械变位之际，靠检测施加于所述至少一对相对的边的中央部的负荷的负荷检测单元或变位量检测单元，来检测所述至少一对相对的边的中央部的变位量，据此来控制所述中央部的变位量。
在本发明更优选实施方式中，所述负荷检测单元由负荷传感器(load cell)构成。
附图说明
图1是根据本发明优选实施方式的防尘薄膜组件制造方法所用的防尘薄膜组件框架之防尘薄膜没有粘接时的状态下的平面示意图。
图2是图1所示防尘薄膜组件框架上粘接了防尘薄膜的状态下的平面示意图。
图3是根据本发明优选实施方式的防尘薄膜组件制造方法所用的防尘薄膜组件框架上粘接防尘薄膜的防尘薄膜组件制造装置的平面图。
图4是沿图3中A-A线的截面图。
图5是防尘薄膜组件框架被防尘薄膜施加力的防尘薄膜组件框架的平面示意图。
图6是比较例1所用防尘薄膜组件框架形状的平面示意图。
图7是比较例1所制造的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架形状的平面示意图。
图8是比较例2所制造的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架形状的平面示意图。
附图标记说明
图中，10为防尘薄膜组件框架，11为防尘薄膜组件框架的长边，12为防尘薄膜组件框架的短边，12a为防尘薄膜组件框架的中央区，12b为防尘薄膜组件框架的中间区，12c为防尘薄膜组件框架的端部附近区，20为防尘薄膜，21为临时框，22为防尘薄膜支撑部，23为把持部，25为负荷施加单元，26为连接部，27为平台，28为负荷检测单元，30为承载台，31为防尘薄膜粘接层，32为光掩膜粘接层，35为升降台机构。
具体实施方式
图1是根据本发明优选实施方式的防尘薄膜组件制造方法所用的防尘薄膜组件框架之平面图，显示了防尘薄膜粘接前的防尘薄膜组件框架。
如图1所示，防尘薄膜组件框架10具有基本为长方形的截面形状，相对的一对长边11、11各自实质上呈直线形状，相对的一对短边12、12各自呈包括其中央部的中央区12a、12a向外侧突出的形状。
更具体地如图1所示，根据本实施方式的防尘薄膜组件框架10，其一对短边12、12各自呈包括短边中央部的中央区12a相对外侧呈凸状的圆弧形状，各短边12的端部附近的端部附近区12c、12c呈直线形；位于中央区12a两侧的中间区12b、12b呈相对外侧呈凹状的圆弧形状，使相对外侧呈凸状的圆弧形状的中央区12a和实质上呈直线形的端部附近区12c、12c圆滑地衔接起来。
在此，防尘薄膜组件框架的相对外侧呈凸状的圆弧形状的中央区12a、相对外侧呈凹状的圆弧形状的中间区12b、12b和实质上呈直线形的端部附近区12c、12c的形状和各个区的长度，相应于防尘薄膜的平行于防尘薄膜组件框架10长边11的长轴方向的张力和平行于防尘薄膜组件框架10短边12的短轴方向的张力适当设计，使当将防尘薄膜粘接于防尘薄膜组件框架10、切断防尘薄膜组件框架10外侧的防尘薄膜之际防尘薄膜组件框架10长边11和短边12实质上成直线形。
根据本发明人的研究得知：防尘薄膜组件框架10若设计成相对外侧呈凹状的圆弧形状的中间区12b、12b的半径为相对外侧呈凸状的圆弧形状的中央区12a的半径的1/3以上，则中央区12a的相对外侧呈凸状的圆弧形状和中间区12b的相对外侧呈凹状的圆弧形状圆滑地衔接起来，尤为优选。
图2是根据本实施方式的设计防尘薄膜组件框架10、防尘薄膜组件框架10上粘接了防尘薄膜20时的防尘薄膜组件框架10和防尘薄膜20的状态的平面示意图。
在图1和图2中，由于防尘薄膜20是在被施加给定张力状态下被粘接于防尘薄膜组件框架10上的，所以相对外侧呈凸状的圆弧形状的防尘薄膜组件框架10短边12的中央区12a因防尘薄膜20的张力而向内侧翘曲，基本成直线形。对此，防尘薄膜组件框架10长边11虽然因防尘薄膜20的张力而向内侧产生翘曲，但是比起短边12实质上形成为直线形的防尘薄膜组件框架10长边11的翘曲来甚小，其翘曲量在允许范围内。
图3是根据本发明优选实施方式的防尘薄膜组件制造方法所用的防尘薄膜组件框架10上粘贴防尘薄膜20的防尘薄膜组件制造装置的平面图。图4是沿图3中A-A线的截面图。
如图3和图4所示，防尘薄膜组件制造装置具备防尘薄膜组件框架10的承载台30，防尘薄膜组件框架10形成有防尘薄膜粘接层31和光掩膜粘接层32，光掩膜粘接层32被隔离体(省略图示)所保护。承载台30通过升降台机构35可以上下升降。
如图3和图4所示，防尘薄膜组件制造装置是这样构成的：把在四个角部具备防尘薄膜支撑部22的、将张设了防尘薄膜20的临时框21的四个角部设置在对应的防尘薄膜支撑部22上。另外，临时框21各边的中央部设有把持部23。
把持部23上通过连接部26连接有负荷施加单元25。负荷施加单元25是这样构成的：给把持部23施加负荷，使把持部23向正交于临时框21各边的方向变位。
负荷施加单元25包括：能向正交于临时框21各边的方向自动或手动移动的台27；和固定于台27上、能检测出张设了防尘薄膜20的临时框21的把持部23上所施加负荷的负荷检测单元28。在本实施方式中，负荷检测单元28采用负荷传感器。另外，根据本实施方式的制造装置还具有显示器(省略图示)，能够显示因负荷施加测单元25的移动而产生的对临时框21的把持部23的压缩力或拉力。
因此，通过使台27向正交于临时框21各边的方向变位，使临时框21变位，使临时框21上张设的防尘薄膜20上施加的长轴方向的张力和短轴方向的张力变化，能用负荷检测单元28检测临时框21长轴方向的变位量与短轴方向的变位量、以及施加于防尘薄膜20上的长轴方向的张力与短轴方向的张力。
在本实施方式中，一边靠负荷检测单元28检测施加于防尘薄膜20上的长轴方向的张力与短轴方向的张力，一边移动台27，控制防尘薄膜20上施加的张力，使平行于防尘薄膜组件框架10长边11的长轴方向的张力大于防尘薄膜组件框架10短边12的短轴方向的张力。
如所述，防尘薄膜20的张力设定为长轴方向的张力大于短轴方向的张力时，搭载了防尘薄膜组件框架10的承载台30靠升降台机构35慢慢上升，防尘薄膜粘接层31与保持在临时框21上的防尘薄膜20接触，防尘薄膜20粘接到防尘薄膜组件框架10的一表面上。此时，承载台30，为防止防尘薄膜粘接层31和防尘薄膜20之间存留空气，防尘薄膜粘接层31以微小角度接触于防尘薄膜20。
之后，用切刀(省略图示)将防尘薄膜组件框架10的外侧的防尘薄膜20切掉即制造出防尘薄膜组件。
图5是防尘薄膜组件框架10的平面示意图，这里，根据本实施方式的防尘薄膜组件制造方法所采用的防尘薄膜组件框架10的一表面上粘贴了防尘薄膜20时防尘薄膜组件框架10被防尘薄膜20施加力，防尘薄膜20的张力被控制为长轴方向的张力大于短轴方向的张力。
如图5所示，防尘薄膜组件框架10短边12，因临时框21张设的防尘薄膜20的张力而被施加朝向防尘薄膜组件框架10内侧的T 1力，而防尘薄膜组件框架10长边11，因临时框21张设的防尘薄膜20的张力而被施加朝向防尘薄膜组件框架10内侧的T2力。
如上所述，由于防尘薄膜20的张力被控制为长轴方向的张力大于短轴方向的张力，所以T1大于T2。因此，防尘薄膜组件框架10短边12的朝内测方向的翘曲及变位大于长边11的翘曲及变位。
而且，根据本实施方式的防尘薄膜组件框架10短边12，由于其中央区12a相对外侧呈凸状的圆弧形状，所以因被防尘薄膜20所施加的T1力，短边12的中央区12a向内侧变位，处于连接短边12两端角部的虚拟直线上。
还有，防尘薄膜组件框架10短边12，位于中央区12a两侧、使相对外侧呈凸状的圆弧形状的中央区12a和实质上呈直线形的端部附近区12c、12c圆滑地衔接起来而相对外侧呈凹状的圆弧形状的中间区12b、12b也向内侧变位，其结果，其一面粘接有防尘薄膜20的防尘薄膜组件框架10短边12实质上成直线形。
对此，实质上形成为直线形的防尘薄膜组件框架10长边11也被防尘薄膜20施加朝向内侧的T2力，虽然防尘薄膜组件框架10长边11也因T2力而向内侧变位，但是由于短边12朝向内侧更大地变位，于防尘薄膜组件框架10的角部迫使长边11向外侧变位的弯曲动量M作用，迫使长边11向内侧变位的力T2和因弯曲动量M而产生的迫使长边11向外侧变位的力相互抵消。因此，防尘薄膜组件框架10长边11向内侧的翘曲能限制在容许范围内。
如上所述，根据本实施方式，防尘薄膜组件框架10，其一对短边12、12各自的基本相当于中央部的中央区12a呈相对外侧呈凸状的圆弧形状，位于中央区12a两侧的中间区12b、12b呈相对外侧呈凹状的圆弧形状，短边12的端部附近的端部附近区12c、12c实质上呈直线形。而防尘薄膜20，其张力被控制，使平行于防尘薄膜组件框架10长边11的长轴方向的张力大于平行于防尘薄膜组件框架10短边12的短轴方向的张力，在张设于临时框21的状态下，被粘贴于防尘薄膜组件框架10一表面。其结果，因被防尘薄膜20施加于防尘薄膜组件框架10短边12的T1力，防尘薄膜组件框架10短边12变形为直线形；而因被防尘薄膜20施加于防尘薄膜组件框架10长边11的T2力，防尘薄膜组件框架10长边11朝内侧变形。然而，由于短边12朝向内侧更大地变形，于防尘薄膜组件框架10的角部迫使长边11向外侧变位的弯曲动量M起作用，T2力所产生的迫使长边11向内侧变形的力和因弯曲动量M而产生的迫使长边11向外侧变位的力相互抵消，防尘薄膜组件框架10长边11也基本保持直线形。
因此，防尘薄膜20粘贴后，防尘薄膜组件框架10的截面形状基本为长方形。故，无需或扩大防尘薄膜组件框架10截面积、或用高刚性材料形成防尘薄膜组件框架等来提高防尘薄膜组件框架10的刚性也能确保大曝光区。因此，能低成本地制造防尘薄膜组件，而且制造时容易在防尘薄膜组件粘贴装置或光掩膜曝光机内进行操作。
还有，当防尘薄膜20的张力不均、小于设计值时，会出现防尘薄膜组件框架10短边12实质上不成直线形而相对外侧依然保留凸状形状的情形。但是，一般的防尘薄膜组件粘贴装置中，防尘薄膜组件是防尘薄膜组件框架长边朝下纵向放置，所以短边12突出部分被压，不会出现防尘薄膜20发生皱褶。
实施例
下面叙述实施例和比较例，以阐明本发明效果。
实施例1
通过机械加工制作了图1所示形状的铝合金制防尘薄膜组件框架10。该防尘薄膜组件框架10的尺寸是：外尺寸为2000mm×2500mm，内尺寸为1960mm×2460mm，基本为长方形。防尘薄膜组件框架10长边11实质上为直线形。
对此，防尘薄膜组件框架10短边12的中央区12a相对外侧呈凸状的R72000mm的圆弧形状，中央区12a两侧的中间区12b、12b相对外侧呈凹状的R50000mm的圆弧形状，端部附近区12c为直线形。
在此，防尘薄膜组件框架10短边12的中央部从连接短边12两端的两个角部的虚拟线上向外侧突出2.5mm。还有，短边12内侧，宽20mm，形成为与短边12外侧同样形状，高6.5mm，各角部内侧半径为2mm，外侧半径为6mm。
将此防尘薄膜组件框架10清洗、干燥后，作为防尘薄膜粘接剂在一表面上涂布硅粘接剂，而作为粘贴光掩膜用的粘接剂在另一表面上涂布硅粘接剂(信越化学工业株式会社制，商品名为“KR3700”)，通过加热将各自固化。
进一步，用开口喷涂法将氟类聚合物(旭硝子株式会社制，商品名为“CYTOP”)成膜于2200mm×2580mm×22mm的正方体形石英衬底上，粘接于同石英衬底外形同形状的铝合金制临时框21上，将之剥离，制作出厚度约为4μm的防尘薄膜20。
这样制作出的张设在临时框21上防尘薄膜20，如图3和图4所示，设置到防尘薄膜组件制造装置上所设的防尘薄膜支撑部22上。
在此，调整负荷施加单元25，使由临时框21短边中央部所设的负荷施加单元25施加于防尘薄膜20的拉力成为由临时框21长边中央部所设的负荷施加单元25施加于防尘薄膜20的拉力的2.5倍。
另一方面，将形成有防尘薄膜粘接层31和光掩膜粘接层32、光掩膜粘接层32被隔离体(省略图示)所保护的防尘薄膜组件框架10放置于承载台30上面，靠升降台机构35使承载了防尘薄膜组件框架10的承载台30慢慢上升，使防尘薄膜粘接层31与防尘薄膜20接触，将防尘薄膜20粘接到防尘薄膜组件框架10的一表面上。此时，承载台30，为防止防尘薄膜粘接层31和防尘薄膜20之间存留空气，防尘薄膜粘接层31以微小角度接触于防尘薄膜20。
防尘薄膜20和防尘薄膜组件框架一表面上形成的防尘薄膜粘接层31完全粘接后，在承载台30上，用切刀将防尘薄膜组件框架10的外侧的不要防尘薄膜20切掉，制造出了防尘薄膜组件。
这样制造出的防尘薄膜组件，如图2所示，其长边11略微向内侧翘曲，而其短边12实质上为直线形。
将该防尘薄膜组件置于平台上，将安装了株式会社三丰制千分表(dial gauge)的支座沿碳素钢杆移动，以50mm间隔测定了防尘薄膜组件框架形状。另外，千分表的基准杆的接触面预先作过研磨加工，平坦度达0.05mm以下。
其结果，防尘薄膜组件框架10的单侧长边11中央部向内侧的翘曲量为1.5mm。另外，防尘薄膜组件框架10短边12外面，与连接短边两端角部的直线的偏差为±0.3mm以下。
比较例1
如图6所示，通过机械加工制作了具有各边实质上形成为直线形的长方形截面形状的铝合金制防尘薄膜组件框架。该防尘薄膜组件框架10的尺寸是：外尺寸为2000mm×2500mm，内尺寸为1960mm×2460mm，为长方形。防尘薄膜组件框架10高为6.5mm，各角部内侧半径为2mm，外侧半径为6mm。用此防尘薄膜组件框架，采用同实施例1一样的装置和工艺粘接防尘薄膜，制造出防尘薄膜组件。
这样制造出的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架10，呈图7所示形状，发现在防尘薄膜组件框架10长边的中央部向内侧方向有约1.5mm翘曲，在防尘薄膜组件框架10短边的中央部向内侧方向有约2.5mm翘曲，出现了明显的翘曲。
其结果，曝光区在长轴方向减少约5mm，在短轴方向减少约3mm。
比较例2
采用同比较例1一样尺寸和形状的防尘薄膜组件框架10、防尘薄膜20以及装置，没调整防尘薄膜20张力，粘贴于防尘薄膜组件框架10，如实施例1一样制造出防尘薄膜组件。
这样制造出的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件框架10，呈图8所示形状，发现在防尘薄膜组件框架10长边的中央部向内侧方向有约3.5mm翘曲，在防尘薄膜组件框架10短边的中央部向内侧方向有约1.5mm翘曲，出现了明显的翘曲。
其结果，曝光区在长轴方向减少约3mm，在短轴方向减少约7mm。
从实施例1、比较例1和比较例2可知：通过将张设于临时框21上的防尘薄膜20粘贴在防尘薄膜组件框架10的一面上，可有效地防止光掩膜曝光区减少。其中，该防尘薄膜组件框架10的一对短边12、12各自的基本相当于其中央部的中央区12a相对外侧呈凸状的圆弧形状，位于中央区12a两侧的中间区12b、12b相对外侧呈凹状的圆弧形状，短边12的短部附近的端部附近区12c、12c实质上呈直线形；该防尘薄膜20的张力被控制，使平行于防尘薄膜组件框架10长边11的长轴方向的张力大于平行于防尘薄膜组件框架10短边12的短轴方向的张力。
本发明并非仅限于所述实施方式和实施例，在权利要求所记载的发明范围内可以有种种变更，这些当然也包括在本发明范围内。
譬如，在所述实施方式和实施例1中，防尘薄膜组件框架10由直线形长边11和短边12构成，短边12的包括中央部的中央区12a相对外侧呈凸状的圆弧形状，位于中央区12a两侧的中间区12b、12b相对外侧呈凹状的圆弧形状，端部附近的端部附近区12c、12c呈直线形。但是，防尘薄膜组件框架10短边12也可不必以这种形状形成。防尘薄膜组件框架10短边12也可做成这种形状：靠圆弧将其两角部连接起来，该圆弧曲率对应于因防尘薄膜20的张力产生的防尘薄膜组件框架10的变形。另外，防尘薄膜组件框架10短边12还可做成以多条短直线将其两角部连接起来的多边形。
还有，在所述实施方式和实施例1中，负荷检测单元28采用负荷传感器。但是，负荷检测单元28也可不采用负荷传感器而采用其它负荷检测单元。还可以用测距传感器等取代负荷检测单元，直接测量临时框21的变位量，或者通过检测负荷施加单元25的移动量来检测临时框21的变位量。
还有，在所述实施方式和实施例1中，对张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向和短轴方向的两个方向施加拉力。但是，也可不对临时框21长轴方向和短轴方向的两个方向施加拉力，而只对张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向施加拉力，或者是降低对张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向的拉力。
还有，在所述实施方式和实施例1中，临时框21各边的中央部设有把持部23，使把持部23向正交于临时框21各边的方向变位，据此在张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向和短轴方向产生张力。但是，也可不必通过使临时框21各边的中央部设的把持部23向正交于临时框21各边的方向变位来在张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向和短轴方向产生张力，而是在临时框21各边设多个把持部23，通过使把持部23向正交于临时框21各边的方向变位来在张设了防尘薄膜20的临时框21长轴方向和短轴方向产生张力。另外，只要能使临时框21各边的中央部变位，也可以将把持部23设在临时框21各边的中央部以外位置。
还有，在所述实施例1中，调整负荷施加单元25，使由临时框21短边中央部所设的负荷施加单元25施加于防尘薄膜20的临时框21长轴方向的拉力成为由临时框21长边中央部所设的负荷施加单元25施加于防尘薄膜20的临时框21短轴方向的拉力的2.5倍。但是，也可不必设定防尘薄膜20的张力，使施加于防尘薄膜20的临时框21长轴方向的拉力成为施加于防尘薄膜20的临时框21短轴方向的拉力的2.5倍。可以综合地考虑防尘薄膜20的拉伸强度、初始状态下施加于防尘薄膜20的张力大小、保持防尘薄膜20的临时框21的刚性、允许的临时框21短边突出量等来适当地设计。
根据本发明，可以提供一种光刻用防尘薄膜组件，其即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。
另外，根据本发明，还可以提供一种光刻防尘薄膜组件制造方法，即使在防尘薄膜张力分布不均时也能防止减少曝光区，能有效地防止粘贴到防尘薄膜组件框架上的防尘薄膜产生皱褶等问题的发生。

Claims (14)

1.一种光刻用防尘薄膜组件，其特征在于，包括
防尘薄膜组件框架，该防尘薄膜组件框架至少具有一对长边和一对短边，所述一对长边各自实质上呈直线形状，所述一对短边各自呈中央部向外侧突出的形状；
在该防尘薄膜组件框架的一个表面上粘贴有防尘薄膜，其张力被调整，使沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对长边的方向的张力大于沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边的方向的张力；
所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边实质上呈直线形状。
2.根据权利要求1所述的光刻用防尘薄膜组件，其特征在于，所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边各自具备：
中央区，包括所述短边的中央部，相对外侧呈凸状的圆弧形状；
中间区，位于所述中央区两侧，相对外侧呈凹状的圆弧形状；
端部附近区，在所述短边两端部附近，呈直线形。
3.根据权利要求2所述的光刻用防尘薄膜组件，其特征在于，所述中间区各自相对外侧呈凹状的圆弧形状，其使所述中央区和所述端部附近区圆滑地衔接起来。
4.根据权利要求2所述的光刻用防尘薄膜组件，其特征在于，相对外侧呈凹状的圆弧形状的所述中间区的半径为相对外侧呈凸状的圆弧形状的所述中央区的半径的1/3以上。
5.根据权利要求3所述的光刻用防尘薄膜组件，其特征在于，相对外侧呈凹状的圆弧形状的所述中间区的半径为相对外侧呈凸状的圆弧形状的所述中央区的半径的1/3以上。
6.一种光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于具有以下步骤：
在防尘薄膜组件框架的一个表面上粘贴有防尘薄膜，该防尘薄膜组件框架至少具有一对长边和一对短边，所述一对长边各自实质上呈直线形状，所述一对短边各自呈中央部向外侧突出的形状；
所述防尘薄膜的张力被调整，使沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对长边的方向的张力大于沿所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边的方向的张力；
使所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边实质上变形为直线形状。
7.根据权利要求6所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，所述防尘薄膜组件框架的所述一对短边各自具备：
中央区，包括所述短边的中央部，相对外侧呈凸状的圆弧形状；
中间区，位于所述中央区两侧，相对外侧呈凹状的圆弧形状；
端部附近区，在所述短边两端部附近，呈直线形。
8.根据权利要求7所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，所述中间区各自相对外侧呈凹状的圆弧形状，其使所述中央区和所述端部附近区圆滑地衔接起来。
9.根据权利要求6所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，还具有以下步骤：
在将所述防尘薄膜粘贴于所述防尘薄膜组件框架之前，将所述防尘薄膜张设于临时框上，通过对所述临时框的至少一对相对的边的中央部进行拉伸以及机械变位来调整所述防尘薄膜的张力。
10.根据权利要求7所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，还具有以下步骤：
在将所述防尘薄膜粘贴于所述防尘薄膜组件框架之前，将所述防尘薄膜张设于临时框上，通过对所述临时框的至少一对相对的边的中央部进行拉伸以及机械变位来调整所述防尘薄膜的张力。
11.根据权利要求8所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，还具有以下步骤：
在将所述防尘薄膜粘贴于所述防尘薄膜组件框架之前，将所述防尘薄膜张设于临时框上，通过对所述临时框的至少一对相对的边的中央部进行拉伸以及机械变位来调整所述防尘薄膜的张力。
12.根据权利要求9所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，使所述临时框的至少一对相对的边的中央部机械变位之际，靠检测施加于所述至少一对相对的边中央部的负荷的负荷检测单元或变位量检测单元，来检测所述至少一对相对的边的中央部的变位量，据此来控制所述至少一对相对的边的中央部的变位量。
13.根据权利要求10所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，使所述临时框的至少一对相对的边的中央部机械变位之际，靠检测施加于所述至少一对相对的边中央部的负荷的负荷检测单元或变位量检测单元，来检测所述至少一对相对的边的中央部的变位量，据此来控制所述至少一对相对的边的中央部的变位量。
14.根据权利要求11所述的光刻用防尘薄膜组件制造方法，其特征在于，使所述临时框的至少一对相对的边的中央部机械变位之际，靠检测施加于所述至少一对相对的边中央部的负荷的负荷检测单元或变位量检测单元，来检测所述至少一对相对的边的中央部的变位量，据此来控制所述至少一对相对的边的中央部的变位量。
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