CN102057082B - 用于制造太阳能电池的方法和装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种用于制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：提供包含玻璃衬底的硅，在每个衬底的至少一侧上设置有导电材料；将每个衬底的至少一部分连续地传送通过存在于电解槽中的电解溶液；在将衬底传送通过电解槽的期间连接导电材料作为阴极，以在所述传送期间将来自电解溶液中的材料电镀到导电材料上，其中，衬底在传送期间挂在传送元件上并在传送方向上延伸。本发明进一步提供一种用于制造太阳能电池的装置。

Description

用于制造太阳能电池的方法和装置
技术领域
本发明涉及一种用于制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：
提供包含玻璃衬底的硅，在每个衬底的至少一侧上设置有导电材料；
连续地将每个衬底的至少一部分传送通过存在于电解槽中的电解溶液；
在将衬底传送通过电解槽的期间，将所述导电材料作为阴极进行连接，从而在所述传送期间将来自电解溶液的材料电镀到导电材料上。
背景技术
本发明专门涉及一种用于制造太阳能电池的方法。至少目前，这样的太阳能电池的制造主要基于矩形硅板而进行。这样的衬底典型地具有仅仅50μm到300μm的厚度，并且由于材料的属性，该衬底非常易碎且难以手工加工。在硅板的光入射的一侧上经常存在导电轨道(track)，通过所述轨道，由入射光引起的在硅板中释放的电子可以被放电，并且所述轨道和所连接的负载一起组成电路的一部分。为了效率，最好使这样的轨道尽可能少地覆盖硅板的表面面积。另一方面，轨道的横截面积必须适于处理通过所述轨道的电流。
在太阳能电池的制造中，公知使用硅板作为衬底，对其应用以期望的最终轨道为形式的所谓的导电材料的晶种层，例如银。随后，使用电解镀或化学镀过程在所述晶种层上添加导电材料使其变得更厚或更高。在德国专利申请DE102006033353A1中描述了一个使用电镀过程的这一方法的例子。引言中描述的方法涉及所述公开中描述的方法。
所述公开还具体地描述了衬底是如何一个接着另一个地在水平方向上通过电解槽的。为了这个目的，所使用的装置由一个接着另一个布置的传送辊子和直接布置在所述传送辊子上面的接触滚轮制成，衬底被支撑在传送辊子上，并通过接触滚轮可以与位于衬底上表面的轨道之间形成阴极接触。衬底移动时其光入射面朝下，直至正好低于电解槽中的电解溶液的液面，从而使得接触滚轮仅仅部分延伸至液面下方。每个接触滚轮都通过电开关连接到也包含整流器和阳极的电路。控制系统保证开关在相关联的接触滚轮与轨道接触的那些时刻仅仅处于关闭位置(导电状态)。除此之外，设置空气喷嘴，其将电解溶液吹离接触滚轮的区域，以防止接触滚轮本身被电镀污染。
已知的方法具有很多缺点。首先在这种连接中须指出的是，所需的电镀装置需要较大的房屋面积。除此之外，由传送辊子产生的不可避免的遮蔽将对衬底的在传送辊子上传送的那部分上进行的电镀过程的质量产生不利影响。而且，由于一方面开关和控制喷嘴需要同步，以及另一方面衬底通过电解槽的移动，所述过程相对较难控制。为了适应所述过程，如果通过(半导体)衬底材料的导电电容来限制沉积速度，将产生更多的缺陷。在实践中，这将迫使衬底在电解槽中停留相对较长的时间。
发明内容
本发明的目的是消除或者至少减轻上述缺点，这可能或不能通过本发明的优选实施例实现。为了实现这个目的，根据本发明的方法的首要特征在于，在传送期间衬底被挂在传送元件上并在传送方向上延伸。由于衬底是在悬挂状态中被传送的，因此衬底是垂直定位的，并且由于衬底在传送方向上延伸，因此电解槽可以为相对狭窄的，从而减少了所需的房屋面积。另外，由于衬底是在这样的悬挂状态中被传送的，因此衬底的大部分表面面积保持畅通从而可被最优地电镀。本发明基于以下令人吃惊的认识：不管玻璃衬底的脆弱属性，一般说来，其最大厚度为500μm，仍然可以将在悬挂状态的所述衬底传送通过电解槽中的电解溶液。
非常优选地，所述衬底在传送期间被自由地挂在所述传送元件上，从而不需要用于支撑电解槽中的衬底的、可以或可以不随衬底一起移动的附加装置。
当本发明用于太阳能电池的制造时，最好将所述导电材料以至少一个轨道的形式应用在所述衬底的至少一侧。在实践中，通常可辨别出有限数目的主轨道，与所述主轨道交叉的大量的平行的辅助轨道与其垂直相交。太阳能电池通常具有两个主轨道，而辅助轨道之间的空隙设置为3mm到5mm之间。由于必需的载流能力，主轨道比辅助轨道宽得多。
有益地，所述衬底的上边缘在传送期间被组成所述传送元件的部分的至少一个夹紧元件所夹紧。
根据另一个优选的实施例，所述至少一个轨道垂直延伸，并且所述至少一个夹紧元件在所述至少一个轨道的上端处接合所述衬底以连接这个轨道作为阴极。优选地，所述至少一个垂直延伸的轨道为用于所要制造的太阳能电池的汇流条。因此，所述至少一个夹紧元件不仅用于将衬底挂于其上，还用于连接所述轨道作为阴极。
此外，优选地，每个衬底的上边缘都在传送期间被组成传送元件的部分的不多于且不少于两个的夹紧元件所夹紧。对于每个衬底的正好两个夹紧元件的使用为稳定地悬挂衬底提供了可能性，同时，也惊奇地发现，当每个衬底配置有正好两个夹紧元件时，衬底可在它们的传送期间沿着根据更优选的实施例的至少部分弯曲的传送路线移动。这一弯曲的传送路线可以这样的方式实现，例如，围绕传送轮引导所述传送元件，例如，所述传送轮的直径为1.0m到2.0m之间，优选地为大约1.5m。
在一个非常有益的实施例中，所述衬底具有被位于所述电解槽上方的所述至少一个夹紧元件夹紧的区域。这意味着每个衬底的位于所述电解槽上方的部分不会被电镀，并且同时这也适用于由于本优选实施例而同样位于所述电解槽上方的所述夹紧元件自身。因此，在衬底已经通过所述至少一个夹紧元件的引导而通过所述电解槽中的电解溶液后，所述至少一个夹紧元件不需要或者至少几乎不需要任何的清洗。
本发明进一步涉及一种用于制造太阳能电池的装置，包括：电解槽、传送器件和接触器件，所述电解槽用于电解溶液，所述传送器件用于在传送方向上连续地将包含衬底的硅传送通过所述电解溶液，每个衬底具有设置在其至少一侧上的导电材料，所述接触器件用于在至少部分传送期间连接所述轨道作为阴极。这样的装置可从上文引用的申请DE102006033353A1中得知。根据本发明的装置的首要特征在于，所述传送器件包括配有夹紧元件的传送元件，该夹紧元件被设计为通过其夹紧端来夹住衬底的上边缘从而悬挂所述衬底，所述夹紧元件也至少部分地与接触器件成一整体，以使得高电镀电流成为可能并实现电镀材料的高沉积率。
非常优选地，所述夹紧元件被设计为自由地悬挂所述衬底。
优选地，所述传送元件包括沿着连续的水平轨道延伸的导电材料的挠性带，从而，首先实现所述传送元件的简单构造，其次也能够使用所述传送元件作为设置在所述衬底上的导电材料的必要的阴极连接。
有益地，为了驱动所述传送元件，在所述挠性带中以均匀的间隔设置缺口，并且所述传送器件进一步包括至少一个驱动齿轮，其齿与所述缺口接合。
如果所述缺口是矩形的，并且所述齿在水平截面具有至少大致呈三角形的形状，就可以极其稳定地且直线地将所述衬底传送通过所述电解溶液，所述衬底甚至不在垂直方向上发生有限的波动运动。
优选地，为了构造等原因，每个传送元件包括两个部分，两个部分各自的最下端构成所述夹紧端。
为了减少装配的部件的数量，最好使得所述两个部分的一个与所述挠性带成一整体，并且最好是从所述挠性带的下边缘向下延伸的凸缘。
非常优选地，所述夹紧端延伸至所述挠性带的下边缘的下方，使得挠性带自身无需通过所述电解溶液，在所述衬底的电镀过程中，无论所述夹紧端是设置在所述电解溶液的上方还是电解溶液中，都必须对所述挠性带进行定期的清洗或蚀刻。
上述优点不仅仅适用于制造太阳能电池，还适用于一般情况下衬底的电镀。出于这个原因，本发明还涉及一种用于电镀衬底的装置，包括电解槽和传送器件，所述电解槽用于电解溶液，所述传送器件用于在传送方向上将连续的衬底传送通过所述电解溶液，所述传送器件包括传送元件和夹紧元件，所述传送元件配有沿连续的水平轨道延伸的导电材料的挠性带，所述夹紧元件被设计为通过其夹紧端夹住衬底的上边缘从而使所述衬底至少部分悬挂在所述电解槽中，其中，所述夹紧端在所述挠性带的下边缘的下方延伸。
每个夹紧元件采用两个部分对于所述过程具有以下优点：为如所希望的那样将所述衬底的一侧或两侧上的导电材料连接到所述阴极提供可能性。在这样的连接中，如果所述两个部分中的一个由导电材料制成并且所述两个部分中的另一个的至少部分地由电绝缘材料制成，则是有益的。例如，所述至少部分地由电绝缘材料制成的部分可由陶瓷、合成树脂制成，还可涂有绝缘层。
而且，有益地，在构造上，所述两个部分在它们各自的弹力作用下互相支撑。这样，所述夹紧元件可以与所述传送元件快速装配在一起，并且也可以再快速拆卸，例如替换夹紧元件。
为了尽可能地减少当所述衬底进入所述电解槽或离开所述电解槽时加在所述衬底上的机械载荷，在所述电解槽的至少一个壁中，优选的是在两个互相对置的壁中，设置倾斜狭缝，优选的是在与所述传送方向相反的方向上倾斜的狭缝。这一狭缝为每个衬底逐渐地进入所述电解槽提供可能性，这样，每个衬底的上侧首先进入所述电解槽和/或再首先离开所述电解槽。
为了进一步减少在所述衬底通过所述电解槽期间加在所述衬底上的机械载荷，在所述衬底通过所述电解槽的路径的互相对置的两侧设置带有孔的板。所述板可以使所述衬底与太剧烈流动的电解溶液隔开，如本领域技术人员所熟知，所述电解溶液通过泵连续地循环。
而且，有益地，在所述板的至少一个和平行于所述至少一个板延伸的所述电解槽的壁之间设有阳极，这样，这个阳极自身一定不妨碍所述板和所述衬底之间的电解溶液的流动。
在所述电解槽的至少一个垂直壁上设置处于所述板的外侧的用于所述电解溶液的溢出边缘，可以进一步减少所述衬底直接邻近的所述电解溶液的流动。
附图说明
下面将结合附图和优选实施例的描述详细说明本发明，其中：
图1为根据本发明的装置的优选实施例的部分等距图，同时可用以阐明根据本发明的方法；
图2示出了图1的装置的侧视图；
图3示出了图1的装置的纵向剖面图；
图4为如图1的装置中使用的传送元件的部分的等距图；
图5示出了图4的传送元件的纵向剖面图；
图6示出了图4的传送元件在传送轮区域的等距图。
具体实施方式
图1、图2和图3(其部分)示出了根据本发明的装置的优选实施例的各种立体图和剖面图。装置1被设计用于矩形的板状衬底2的电镀。具体地，在本发明中，这些衬底由非金属的、玻璃质材料组成，例如，边长在约125mm和210mm之间、厚度位于50μm到300μm之间的方形硅板。这种类型的材料的特点是非常脆弱易于断裂。这样的衬底使用在太阳能电池的制造中。在现有的例子中，在每个衬底2的一侧(图1和图2中面向观察者的一侧)上已经设置有导电材料，这里的形式为两个(垂直定位的)笔直的主轨道81或汇流条81以及大量的(水平定位的)笔直的辅助轨道82，例如，通过气相沉积或者印刷，使得所述辅助轨道82的每个横贯主轨道81并因此与其电接触。在电镀之前，主轨道81和辅助轨道82的厚度最大为5μm，优选为2μm到3μm，而辅助轨道82的宽度位于50μm到150μm之间，优选为约80μm。
装置1包括用于电解溶液的电解槽3，电解槽3具有互相对置的侧壁4、互相对置的侧壁5和底部6。为了清楚，在图1中没有示出面对观察者的侧壁4和面对观察者的端壁5，以使得电解槽3的内部是可见的。每个端壁5设置有两个凹槽7，每个凹槽7具有两个互相面对的U形导槽8，其使得滑动件(未示出)可容纳在凹槽7中。所述滑动件的上边缘作为溢出口并限定电解槽3中的电解液的液面。设置垂直的输送管11以用于电解液的供应，电解液在操作期间通过泵机构(未示出)连续地循环，如图3所示，输送管11延伸通过底部6并在邻近底部6的电解槽3的内部接入卧式管12中，卧式管12在相对于电解槽3的中心相对的两侧接出，如图3所示。
在电解槽3的内部，还有平行于侧壁4中的一个而延伸的阳极13(为了清楚，在图2中未示出)。阳极13是平的并且事实上具有网格形状，如图1的右下角所示。阳极13挂在两个条带14上，条带14(阳极地)特别通过接触片15连接到整流器16。
而且，在电解槽3的内部存在两个互相对置的配电板17，下面将更详细的描述配电板17，并且配电板17设置有均匀的孔18的相对密集的图案。配电板17之间的空间用于容纳衬底2，即，在这个空间中将后者传送通过电解槽3中的电解液。
装置1还包括用于传送衬底2的连续的传送元件21，下面将更详细的描述传送元件21，衬底2可挂在传送元件21上。最前面的端壁5设置有用于使衬底2进入电解槽3的垂直狭缝23，通过连续的传送元件21在传送方向22上传送所述衬底2。所述狭缝23具有相对于传送方向22倾斜的方向，使得衬底2的上侧比同一衬底2的下侧更早地通过狭缝23。如此，每个衬底2逐渐地通过狭缝23进入电解槽3，这限制了衬底2的机械载荷。此处应注意的是，电解槽3中的电解溶液具有通过狭缝23离开电解槽3的趋势。
为了尽可能地限制电解液通过狭缝23溢出，在狭缝23的区域处的衬底2的任一侧上设置沿衬底的整个高度延伸的管(未示出)。这些管设置在属于斜侧面25的互相相对的U型凹槽24的内部，斜倾面25共同地界定狭缝23并组成各个端壁5的部分。所述管在液体压强的作用下朝向彼此运动。当衬底通过狭缝23时，所述管将压在衬底2的相对侧上，反之，当没有衬底2存在于狭缝23中时，通过彼此依靠着放置的管可将垂直的狭缝完全关闭。可以通过条带部件63的部分65或者带51(都将在下面描述)定位所述管，使得衬底2的进入能够不受障碍地进行。
为了离开电解槽3，在相对的端壁5中也设置有垂直的狭缝，所述狭缝平行地定向，并且也可通过管被关闭。出口侧的狭缝的倾斜使得衬底2的上侧首先通过相应狭缝离开电解槽，衬底2的下侧最后离开。这样，衬底2从电解槽3逐渐地出来，限制了衬底的机械载荷。
当衬底2在电解槽3中时，衬底2被电解处理。如上所述，在这个处理期间，电解溶液在电解槽3中连续地循环。更具体地，净化的电解液通过与底部6和侧壁4成45°角的卧式管12的两个相对侧进入电解槽3并主要在相对的侧壁的方向中向上流动。特别地，在阳极13的侧面处，电解溶液可能富有从所述阳极溶解在电解溶液中的金属离子。随后，相对的大部分将再次越过设置在端壁5的上侧的凹槽7中的滑动件的上边缘而离开电解槽。有限数量的电解溶液将通过这些配电板17中的孔18进入配电板17之间的空间以为衬底2提供金属离子从而在衬底2上形成导电材料。配电板17的使用使得紧邻衬底2的电解溶液相对平稳地流动，将由电解溶液的流动而在衬底2上产生的机械载荷减至最低。
如上所述，连续的传送元件21用于将衬底2传送通过电解槽3。连续的传送元件21包括连续的带51，其例如围绕两个传送轮布置，图6示出了传送轮52的可能实施例。传送元件21由成对的一个齿轮75和一个压紧辊76引导，而传送元件21的驱动由驱动传送轮提供，如图6中的轮52，传送元件围绕轮52绷紧。在电解槽3的上游和下游都设置有对75、76。齿轮75和压紧辊76由电介质材料制成。齿轮75的齿78是例外，它们由金属制成，如不锈钢，因为不锈钢具有有利的耐用特性。在每个压紧辊76中设置有与齿78在相同高度的槽77，齿78在齿轮75的面向压紧辊的侧面处延伸到槽77内。带51以均匀的间隔设置有与齿轮75的齿78配合的矩形孔79，从而引导传送元件21。关于这一点需要注意的是，齿78的横截面至少大致是呈三角形的，使得带51在上述的配合中保持在相同的水平面。为了使得本优选实施例中的带51更柔韧，选择从孔79或者至少从每个第二孔79直接通过并延伸到带51的上边缘的垂直切口88。
连续的传送元件21进一步包括均匀间隔的有弹性的夹紧元件53。这些夹紧元件53之间的距离与衬底2上的两个主轨道81之间的距离相应。而且，衬底2彼此之间留有距离，这样，邻近的主轨道81之间也留有相同的间距或距离。这为使用通过两个夹紧元件53产生的夹紧力夹住每个衬底2提供可能性，两个夹紧元件53在对应衬底2的两个主轨道81的位置邻近衬底2的上边缘。
特别的，如图5所示，每个夹紧元件53包括两个部分，即，夹部54和条部55。夹部54事实上是弯头长条片材(bentstrip)，从上至下包括：向上弯曲的指形件56、水平部分57、向下倾斜的部分58和向下弯曲的指形件59。水平部分57和向下倾斜的部分58围成一个约45°的角度。水平部分57通过邻近向上弯曲的指形件56的连续带51中的狭窄的水平通道60。这样的狭窄的通道60以均匀的间隔设置在连续带51的全部长度上。
条部55比制造夹部54的条带。条部55垂直延伸，除了微小的弯管61。条部55的位于弯管61上方的部分64平行于连续的带51而延伸，而条部55的位于弯管61下方的部分65与这个带51位于一条直线上。条部55设有正好在弯管61上方的向上弯曲的接头(tag)62，所述接头进入设置在位于每个夹紧元件53的区域处的连续的带51的下边缘中的凹口(在图中不可见)。在部分位于弯管61的上方、部分位于弯管61的下方的条部55中设有孔63，夹部54的向下倾斜部分58通过孔63靠近向下弯曲的指形件59。衬底2被夹紧在夹部54的向下弯的指形件59和条部55的位于孔63下方的部分之间。
传送元件21自动地装载衬底2。在负载状态，在传送元件21的下方并靠近传送元件21堆积的衬底2被传递给凸面的真空夹钳。这些真空夹钳将最上面的衬底2从堆中带走并使它绕平行于传送方向22的水平轴旋转直至衬底2位于垂直方向，例如，图1中所示。两个夹紧元件53在装载状态打开，其中，一个销子在箭头85的方向上压向夹部54的向下倾斜部分58，同时另一个销子阻止在箭头86的区域处的条部55，并通过夹紧机构夹住带51。因此，向下弯曲的指形件59将逆着夹部54的弹回而在向上倾斜的方向上从条部55的下部65离开。一旦实现这个打开状态，当衬底2通过操作机构随传送元件51一起运动时，操作机构将垂直定位的衬底2倚靠条部55的下部65而放置。随后，将上面提到的销子从夹紧元件53移开，使得夹紧元件53再次关闭，于是，夹钳在衬底上的操作结束。如上所述的循环不断地重复。为了增大生产量，衬底可选择地由大量的衬底堆提供，例如，两个堆，使得各个堆的最上面的衬底同时挂在传送元件上。传送元件的卸载以正好相反的顺序发生。
值得注意的是，夹紧元件53的夹紧部分延伸至带51的下方。这带来的主要优点是，当将衬底2传送通过电解槽3中的电解溶液时，即使是带51的部分都不需要浸在电解溶液中。这意味着，由于带51上的阴极电压，带51也将被电镀，从而必须对带51进行彻底的循环清洗以移除带51上沉积的材料。如果要求每个衬底2完全浸入电解溶液中，那么夹紧元件53的夹紧部分也将必然浸入电解溶液中。只要这些部分被连接到阴极，就必须对这些部分进行彻底的循环清洗。另一方面，可有利地选择将衬底2几乎完全浸入电解溶液中，即，直到夹紧元件53仍正好位于电解溶液上方。这带来的优点是，夹紧元件自身不被电化学处理。这样的缺点是，每个衬底2的位于电解溶液上方的部分也不被处理。但是，由于夹紧元件53在非常靠近衬底2的上边缘处夹住它们，在实践中可限制后面的缺点。
通过触靴91的作用，主轨道81连接到阴极，通过主轨道81，辅助轨道82也连接到阴极，触靴91设置在电解槽3上方的固定位置并与不锈钢连续带51的两侧形成滑动的导电接触。在触靴91的下表面设置有枢转块92，所述枢转块能够绕平行于传送方向22延伸的水平枢转轴93进行有限的枢转运动。拉伸弹簧94作用在臂95上，臂95的每个压在各自的枢转块92的外侧上，驱动所述枢转块92，从而使得触靴91朝向彼此。触靴91特别通过电缆96和接触带97与整流器16的阴极侧电接触。
在本实例中，每个夹紧元件53的夹部54由导电材料制成，如不锈钢，从而通过向下弯曲的指形件59建立导电材料与辅助轨道之间的导电接触。通过水平部分57和通道60的位置处的带51之间的接触实现夹部54和带51之间的导电接触。
如果需要在衬底2的另一侧也进行电镀，条部55也将必须由导电材料制成，并且条部55的下端将必须与衬底2的相应面上的导电材料形成导电接触。
如果仅仅需要在一侧电镀，条部55应最好由绝缘材料制成，如合成树脂或陶瓷，或者至少条部55不与夹部54或者带51导电接触。例如，在衬底2和条部55接触的位置处，条部55应设有由绝缘材料，如橡胶支撑的接触元件，或者使用涂有绝缘层，如HALARECTFE的金属长条部分55。
特别地，如上所述的实施例可优选地用于电镀(金属的)铅框架，其中，条部55和夹部54中的一个由导电材料制成，条部55和夹部54中的一个还与带51导电接触并且条部55和夹部54中的另一个由电绝缘材料制成。这一带将导致更相似的电镀过程，用更少的锡或者不用锡在带51上电镀。而且，只有电解槽3中的夹部54需要定期的清洗。带51的使用期限将延长。
在选择性实施例中，图5中的条部55或者至少条部55的下部与条部55下面的带51对齐，可以为带51的组成部分，并且如果那样的话，可用相似的材料制成。这些组成部分将组成从带51的下边缘89向下延伸的凸缘。

Claims (21)

1.一种用于制造太阳能电池的方法，包括以下步骤：
提供包含玻璃衬底的硅，在每个衬底的至少一侧上设置有导电材料，其中所述导电材料以至少一个轨道的形式应用在所述衬底的至少一侧上；
将每个衬底的至少一部分连续地传送通过存在于电解槽中的电解溶液，在传送期间所述衬底被挂在传送元件上并在所述传送方向上延伸，其中在每个衬底传送期间，每个衬底经由设置在电解槽的壁中的倾斜狭缝进入电解槽和离开电解槽，所述倾斜狭缝沿与所述传送方向相对的方向倾斜，其中在所述衬底通过所述电解槽所沿的路径的互相对置的两侧设置有带有孔的板，并且其中所述衬底的上边缘在传送期间被组成所述传送元件的部分的至少一个夹紧元件夹紧；
在将所述衬底传送通过所述电解槽的期间，连接所述导电材料以作为阴极，从而在所述传送期间将来自所述电解溶液的材料电镀到所述导电材料上，其中所述至少一个轨道垂直延伸，并且所述至少一个夹紧元件在所述至少一个轨道的上端接合所述衬底以连接所述轨道作为阴极，并且其中所述夹紧元件包括夹部和条部，并且所述夹紧元件的间距与所述衬底上的所述轨道之间的距离相对应。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底在传送期间被自由地挂在所述传送元件上。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，每个衬底的上边缘在传送期间被组成所述传送元件的部分的不多于且不少于两个的夹紧元件夹紧。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在被至少一个夹紧元件固定的状态下的衬底在传送期间沿着至少部分弯曲的路线移动。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述衬底具有被位于所述电解溶液的上方的所述至少一个夹紧元件夹住的区域。
6.一种用于制造太阳能电池的装置，包括电解槽、传送器件和接触器件，所述电解槽用于电解溶液，所述传送器件用于在传送方向上将连续的衬底传送通过所述电解溶液，每个衬底具有以至少一个轨道的形式设置在其至少一侧上的导电材料，所述接触器件用于在至少部分的传送期间接通轨道作为阴极，其特征在于，所述传送器件包括配置有夹紧元件的传送元件，所述夹紧元件被设计为通过其夹紧端夹住所述至少一个轨道的上端以连接所述轨道作为阴极从而悬挂所述衬底，所述夹紧元件也至少部分地与所述接触器件成一整体，并且其中所述夹紧元件包括夹部和条部，并且所述夹紧元件的间距与所述衬底上的所述轨道之间的距离相对应，其中在每个衬底传送期间，每个衬底经由设置在电解槽的壁中的倾斜狭缝进入电解槽和离开电解槽，所述倾斜狭缝沿与所述传送方向相对的方向倾斜，其中在所述衬底通过所述电解槽所沿的路径的互相对置的两侧设置有带有孔的板。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述夹紧元件被设计为自由地悬挂所述衬底。
8.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述传送元件包括沿着连续的水平轨道延伸的导电材料的挠性带。
9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，在所述挠性带中以均匀的间隔设置缺口，并且所述传送器件进一步包括至少一个驱动齿轮，其齿与所述缺口接合。
10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述缺口是矩形的，并且所述齿在水平截面具有至少大致呈三角形的形状。
11.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，每个夹紧元件包括两个部分，该两个部分各自的最下端构成所述夹紧端。
12.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述两个部分中的一个与所述挠性带成一整体。
13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述两个部分中的一个是从所述挠性带的下边缘向下延伸的凸缘。
14.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述夹紧端延伸至所述挠性带的下边缘的下方。
15.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述两个部分中的一个由导电材料制成，所述两个部分中的另一个至少部分地由电绝缘材料制成。
16.根据权利要求11所述的装置，其特征在于，所述两个部分在它们自身的弹力作用下压在所述挠性带上。
17.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，在所述电解槽的两个互相对置的壁中设置有倾斜狭缝。
18.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，在所述板的至少一个板和平行于所述至少一个板延伸的所述电解槽的壁之间设置有阳极。
19.根据权利要求18所述的装置，其特征在于，所述电解槽的至少一个竖直壁设有处于所述板的外侧的用于电解溶液的溢出边缘。
20.一种用于电镀衬底的装置，包括电解槽和传送器件，所述电解槽用于电解溶液，所述传送器件用于在传送方向上将连续的衬底传送通过所述电解溶液，其中在每个衬底传送期间，每个衬底经由设置在电解槽的壁中的倾斜狭缝进入电解槽和离开电解槽，所述倾斜狭缝沿与所述传送方向相对的方向倾斜，其中在所述衬底通过所述电解槽所沿的路径的互相对置的两侧设置有带有孔的板，在每个衬底的至少一侧上设置有导电材料，其中所述导电材料以至少一个轨道的形式应用在所述衬底的至少一侧上，其中至少一个轨道垂直延伸，所述传送器件包括传送元件和夹紧元件，所述传送元件配置有导电材料的挠性带，所述挠性带沿连续的水平轨道延伸，所述夹紧元件被设计为通过其夹紧端夹住衬底的所述至少一个轨道的上端以连接所述轨道作为阴极从而使所述衬底至少部分地悬挂在所述电解槽中，其中所述夹紧端在所述挠性带的下边缘的下方延伸，并且其中所述夹紧元件包括夹部和条部，并且所述夹紧元件的间距与所述衬底上的所述轨道之间的距离相对应。
21.根据权利要求20所述的装置，其特征在于，每个夹紧元件包括两个部分，所述两个部分各自的最下端构成所述夹紧端，并且所述两个部分中的一个由导电材料制成，所述两个部分中的另一个至少部分地由电绝缘材料制成。
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