JP2003003294A - 全面電気メッキ装置及びそれによって製造される全面メッキリードフレーム - Google Patents

全面電気メッキ装置及びそれによって製造される全面メッキリードフレーム

Info

Publication number
JP2003003294A
JP2003003294A JP2001192225A JP2001192225A JP2003003294A JP 2003003294 A JP2003003294 A JP 2003003294A JP 2001192225 A JP2001192225 A JP 2001192225A JP 2001192225 A JP2001192225 A JP 2001192225A JP 2003003294 A JP2003003294 A JP 2003003294A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
product
plating
film thickness
liquid
full surface
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001192225A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4765207B2 (ja
Inventor
Junichi Yoshimoto
淳一 吉元
Masanori Ikari
政則 碇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP2001192225A priority Critical patent/JP4765207B2/ja
Publication of JP2003003294A publication Critical patent/JP2003003294A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4765207B2 publication Critical patent/JP4765207B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 従来のリードフレームなどのフープ状金属薄
板製品縦送り方式のリールトウリールの全面電気メッキ
装置においては、製品の表面の電流密度は中央より両端
が高くなり、両端のメッキ膜厚が中央より厚くなる。ま
た搬送位置の変動により製品の表面の電流密度が変動
し、メッキ膜厚の分布が変動するという課題を有する。 【解決手段】 受液槽1内に製品7の両端側面を絶縁体
で囲む遮蔽マスク9を備え、この遮蔽マスク9をメッキ
液中に浮遊して製品7の搬送位置変動に追従させて製品
7との距離を一定に保つ構成とし、製品7の端面の電流
密度を低下させ、メッキ膜厚の分布を理想的に制御でき
るようにするとともに、製品7に傷や変形などのダメー
ジを与えることなく、理想的なメッキ膜厚の分布を有す
る製品が得られる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はフープ状金属薄板製
品連続送り方式のリールトウリールの全面電気メッキ装
置及びそれによって製造される全面メッキリードフレー
ムに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、リードフレームなどのフープ状金
属薄板製品を連続送り方式のリールトウリールで全面電
気メッキする装置としては、特開平5−70988号公
報に開示されている。
【0003】図5は従来の全面電気メッキ装置の全体を
示す断面図であり、この全面電気メッキ装置は、メッキ
液の噴出口を有した受液槽1と、受液槽1内に配設され
た陽極6および遮蔽板8と、受液槽1よりオーバーフロ
ーしたメッキ液を受ける外槽2と、メッキ液を貯めてお
くメインタンク4と、外槽2からメインタンク4へメッ
キ液を戻す液循環路3と、メインタンク4からメッキ液
を吸い込み受液槽1へ圧送するポンプ5とで構成されて
いる。図中の7は受液槽1内に入れた製品である。
【0004】上記の全面電気メッキ装置は、陽極6と製
品7の間に一定電流を流すことにより製品7の全面にメ
ッキ処理を施す。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで前記従来の全
面電気メッキ装置においては、受液槽1内の遮蔽板8を
製品7の近傍に設定しても、遮蔽板8がフラットであ
り、製品7の上下に、製品7の搬送位置の変動に対する
余裕を持つためのスペースが必要であるため、製品7の
表面の電流密度は中央より両端が高くなり、両端のメッ
キ膜厚が中央より厚くなる。また搬送位置の変動により
前記スペースが変動するため、製品7の表面の電流密度
が変動し、メッキ膜厚の分布が変動するという課題を有
する。また、両端のメッキ膜厚が極端に厚くなった場
合、焼けやバリといったメッキ異常の原因となり、また
不要な部分にメッキが付着するためPdやAu、Agな
どの高価な貴金属であるメッキ材料のムダとなる。
【0006】本発明は前記従来の課題に留意し、メッキ
膜厚の分布を理想的かつ一定に制御できる全面電気メッ
キ装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に本発明は、受液槽内に全面メッキしようとする製品の
両端側面を絶縁体で囲む遮蔽マスクを備え、前記遮蔽マ
スクをメッキ液中に浮遊させ、かつ、製品の搬送位置変
動に追従させて製品との距離を一定に保つようにした構
成の全面電気メッキ装置とする。
【0008】本発明によれば、リードフレームなど全面
メッキしようとする製品の端面の電流密度を低下させ、
メッキ膜厚の分布を理想的に制御でき、また、製品に傷
や変形などのダメージを与えることなく、理想的なメッ
キ膜厚の分布を有する製品が得られる。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明の請求項1に記載の発明
は、メッキ液の噴出口と電流を流す電極とを有した受液
槽と、メッキ液を貯蔵するメインタンクと、受液槽から
メインタンクへメッキ液が流出する液循環路と、メイン
タンクからメッキ液を吸い込み受液槽へ圧送するポンプ
とを有するフープ状金属薄板製品連続送り方式のリール
トウリールの全面電気メッキ装置であって、受液槽内の
全面メッキしようとする製品の両端を絶縁体で囲む遮蔽
マスクを備え、遮蔽マスクは製品の端面および側面を囲
む極近傍に配設され、メッキ液中に浮遊して製品の搬送
位置変動に追従し、製品に接触負荷を加えないように構
成したものであり、製品に傷や変形などのダメージを与
えることなく、理想的かつ一定のメッキ膜厚の分布を有
する製品が得られるという作用を有する。
【0010】本発明の請求項2に記載の発明は、請求項
1記載の全面電気メッキ装置にて製造された、中央のリ
ードと両端のレールのメッキ膜厚が同等もしくは両端の
レールの方が薄いことを特徴とした全面メッキリードフ
レームであり、顧客で使用するリードのメッキ膜厚の分
布が均一で高品質かつ顧客で使用せず廃棄されるレール
のメッキ膜厚が薄くメッキ材料の使用量を削減した低コ
ストの製品が得られるという作用を有する。
【0011】以下、本発明の実施の形態について、図1
から図4を用いて説明する。
【0012】(実施の形態1)図1は、本発明の実施の
形態1の製品縦送り方式の全面電気メッキ装置の全体の
断面図、図2は、同全面電気メッキ装置における受液槽
内部を示す断面図である。
【0013】なお、図1において、図2で説明する受液
槽1の内部以外は、従来の技術と同じ構成であり、その
説明は省略する。
【0014】この全面電気メッキ装置は、受液槽1にお
いて陽極6と製品7の間に一定電流を流すことにより製
品7の全面にメッキ処理を施すが、図2に示すように、
受液槽1内に全面メッキしようとするリードフレームな
どの製品7の両端を絶縁体で囲む遮蔽マスク9が配設さ
れており、メッキ液中の金属イオンが製品7の両端へ集
中移動することを制限している。
【0015】前記の遮蔽マスク9は、浮力が調整され、
製品7との距離を一定に保たれた状態でメッキ液中に浮
遊し、製品7に傷や変形などのダメージを与える大きな
接触負荷を加えることなく製品7の搬送位置の変動に追
従するようになっている。また、遮蔽マスク9の内側の
製品7の両端を囲む溝の幅と高さを最適に設定すること
により、理想的、かつ、一定のメッキ膜厚の分布を有す
る製品が得られる。
【0016】前記の遮蔽マスク9およびその関連部は、
図3(a)の同受液槽内部における遮蔽マスク部の詳細
を示す正面図と、図3(b)の同遮蔽マスクにおける製
品ガイド部の断面図と、図3(c)のマスク保持部の断
面図に示すように構成されている。
【0017】すなわち、遮蔽マスク9a、9bは上下の
対をなし、硬質塩化ビニル等の合成樹脂からなる絶縁体
で構成され、重量軽減のため肉抜きされている。フロー
ト9cは、発砲スチロール等の比重の軽い合成樹脂から
なる絶縁体で構成され、遮蔽マスク9aに結合し、遮蔽
マスク全体をメッキ液中に浮遊させるための浮力を発生
させるようになっている。上下ガイド9dは、セラミッ
クス等の高硬度耐磨耗性絶縁体で構成され、遮蔽マスク
9a、9bの内側に設けられて製品7の両端エッジを受
け、遮蔽マスク9a・9bとの垂直距離を保持するよう
になっている。左右ガイド9eは、ポリプロピレン等の
すべりの良い合成樹脂からなる絶縁体で構成され、製品
7の両端側面を受け、遮蔽マスク9a・9bとの水平距
離を保持するようになっている。ステー9fは、硬質塩
化ビニル等の合成樹脂からなる絶縁体で構成され、上下
遮蔽マスク9a・9bを製品7の幅に合わせて連結する
ために、下遮蔽マスク9bと固着され、上遮蔽マスク9
aはステー9fに沿って上下に移動するようになってい
る。スペーサ9gは、硬質塩化ビニル等の合成樹脂から
なる絶縁体で構成され、製品7の幅に合わせて遮蔽マス
ク9aと9bの間隔を保持するために、下遮蔽マスク9
bまたはステー9fに脱着可能で設置される。押しネジ
9hは、硬質塩化ビニル等の合成樹脂からなる絶縁体で
構成され、上遮蔽マスク9aをスペーサ9gへ押しつけ
固定する。そして製品7の幅に対応した長さのスペーサ
9gと押しネジ9hを使用することにより、機種切換え
に対応するようになっている。
【0018】なお本実施の形態では製品ガイド部は遮蔽
マスクの前後2箇所であるが、遮蔽マスクが長い場合は
必要に応じて追加される。また、上記の部材の材質は当
該メッキ液に不可浸であることは言うまでもない。ま
た、製品縦送り方式での実施の形態を説明したが、製品
横送り方式においても同様に実施可能である。
【0019】(実施の形態2)図4は、本発明の全面電
気メッキ装置で製造される一例のリードフレームの平面
図を示す。
【0020】図4において、7aは半導体チップと接続
されるインナーリード、7bは基板に接続されるアウタ
ーリードであり、顧客で使用される部分である。7cは
個々のリードフレームを繋いでフープ状にするためのレ
ールであり、顧客で最終組立て後廃棄される。
【0021】ここでその特徴としてインナーリード7a
とアウターリード7bのメッキ膜厚が同等均一で、そし
てレール7cのメッキ膜厚がリードと同等あるいはそれ
より薄くなっている。
【0022】なお、この実施の形態2では、リードフレ
ームの例で説明したが、その他のフープ状金属薄板製品
についても同様に実施可能である。
【0023】
【発明の効果】以上の説明より明らかなように本発明に
よれば、フープ状金属薄板の全面メッキ製品において、
製品に傷や変形などのダメージを与えることなく、理想
的なッキ膜厚の分布を有する製品が得られ、また、必要
な部分のメッキ膜厚の分布が均一でかつ不要な部分のメ
ッキ膜厚を薄くすることにより、メッキ材料の使用量を
削減できるという有利な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態1の製品縦送り方式の全面
電気メッキ装置の全体を示す断面図
【図2】同全面電気メッキ装置における受液槽内部を示
す断面図
【図3】(a)同受液槽内部における遮蔽マスク部の詳
細を示す正面図 (b)同遮蔽マスクにおける製品ガイド部の断面図 (c)マスク保持部の断面図
【図4】本発明の全面電気メッキ装置で製造される一例
のリードフレームの平面図
【図5】従来の全面電気メッキ装置の全体を示す断面図
【符号の説明】
1 受液槽 2 外槽 3 液循環路 4 メインタンク 5 ポンプ 6 陽極 7 製品(リードフレーム) 7a インナーリード 7b アウターリード 7c レール 8 遮蔽板 9 遮蔽マスク 9a上遮蔽マスク 9b 下遮蔽マスク 9c フロート 9d 上下ガイド 9e 左右ガイド 9f ステー 9g スペーサ 9h 押しネジ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4K024 BA15 BB13 BC01 CB01 CB13 FA20 5F067 DC01 DC02

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】メッキ液の噴出口と電流を流す電極とを有
    した受液槽と、メッキ液を貯蔵するメインタンクと、前
    記受液槽から前記メインタンクへメッキ液が流出する液
    循環路と、前記メインタンクからメッキ液を吸い込み前
    記受液槽へ圧送するポンプとを有するフープ状金属薄板
    製品連続送り方式のリールトウリールの全面電気メッキ
    装置であって、前記受液槽内の全面メッキしようとする
    製品の両端を絶縁体で囲む遮蔽マスクを備え、前記遮蔽
    マスクは製品の端面および側面を囲む極近傍に配設さ
    れ、メッキ液中に浮遊して製品の搬送位置変動に追従
    し、製品に接触負荷を加えないようにしたことを特徴と
    する全面電気メッキ装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の全面電気メッキ装置にて製
    造され、中央リード部の平均メッキ膜厚に対して両端レ
    ール部の平均膜厚を120%以下の範囲におさえたこと
    を特徴とする全面メッキリードフレーム。
JP2001192225A 2001-06-26 2001-06-26 全面電気メッキ装置およびそれによって全面メッキリードフレームを製造する方法 Expired - Fee Related JP4765207B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001192225A JP4765207B2 (ja) 2001-06-26 2001-06-26 全面電気メッキ装置およびそれによって全面メッキリードフレームを製造する方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001192225A JP4765207B2 (ja) 2001-06-26 2001-06-26 全面電気メッキ装置およびそれによって全面メッキリードフレームを製造する方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003003294A true JP2003003294A (ja) 2003-01-08
JP4765207B2 JP4765207B2 (ja) 2011-09-07

Family

ID=19030710

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001192225A Expired - Fee Related JP4765207B2 (ja) 2001-06-26 2001-06-26 全面電気メッキ装置およびそれによって全面メッキリードフレームを製造する方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4765207B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006291337A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Nippon Mektron Ltd プリント基板のめっき方法
CN100447307C (zh) * 2004-02-18 2008-12-31 松下电器产业株式会社 矩形材料的电镀装置及矩形材料的运送方法
WO2015060298A1 (ja) * 2013-10-24 2015-04-30 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材
CN108660500A (zh) * 2018-06-22 2018-10-16 苏州太阳井新能源有限公司 一种水平电化学沉积金属的方法及其装置

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62274098A (ja) * 1986-05-21 1987-11-28 Hitachi Cable Ltd 均一電気メツキ法
JPH0570988A (ja) * 1991-09-17 1993-03-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 全面メツキ装置
JPH06146074A (ja) * 1992-11-09 1994-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 全面メッキ装置
JPH07180084A (ja) * 1993-12-21 1995-07-18 Nkk Corp 鍍金遮蔽装置
JPH0832005A (ja) * 1994-07-12 1996-02-02 Sony Corp リードフレームのめっき装置
JPH10226899A (ja) * 1997-02-19 1998-08-25 Dainippon Printing Co Ltd メッキ方法および装置
JPH11181592A (ja) * 1997-12-18 1999-07-06 Kawasaki Steel Corp 電気めっきにおけるエッジマスク位置制御方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62274098A (ja) * 1986-05-21 1987-11-28 Hitachi Cable Ltd 均一電気メツキ法
JPH0570988A (ja) * 1991-09-17 1993-03-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 全面メツキ装置
JPH06146074A (ja) * 1992-11-09 1994-05-27 Matsushita Electric Ind Co Ltd 全面メッキ装置
JPH07180084A (ja) * 1993-12-21 1995-07-18 Nkk Corp 鍍金遮蔽装置
JPH0832005A (ja) * 1994-07-12 1996-02-02 Sony Corp リードフレームのめっき装置
JPH10226899A (ja) * 1997-02-19 1998-08-25 Dainippon Printing Co Ltd メッキ方法および装置
JPH11181592A (ja) * 1997-12-18 1999-07-06 Kawasaki Steel Corp 電気めっきにおけるエッジマスク位置制御方法

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100447307C (zh) * 2004-02-18 2008-12-31 松下电器产业株式会社 矩形材料的电镀装置及矩形材料的运送方法
JP2006291337A (ja) * 2005-04-14 2006-10-26 Nippon Mektron Ltd プリント基板のめっき方法
JP4700396B2 (ja) * 2005-04-14 2011-06-15 日本メクトロン株式会社 プリント基板のめっき方法
WO2015060298A1 (ja) * 2013-10-24 2015-04-30 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材
JP2015108186A (ja) * 2013-10-24 2015-06-11 Dowaメタルテック株式会社 端子部材のめっき方法、めっき装置、および端子部材
CN108660500A (zh) * 2018-06-22 2018-10-16 苏州太阳井新能源有限公司 一种水平电化学沉积金属的方法及其装置
CN108660500B (zh) * 2018-06-22 2023-09-29 苏州太阳井新能源有限公司 一种水平电化学沉积金属的方法及其装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP4765207B2 (ja) 2011-09-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5620581A (en) Apparatus for electroplating metal films including a cathode ring, insulator ring and thief ring
TWI508312B (zh) 製造太陽能電池的方法及裝置
US20200149180A1 (en) Workpiece Holding Jig and Electroplating Apparatus
US9752246B2 (en) Film formation apparatus and film formation method forming metal film
TW202108827A (zh) 工件保持治具、電鍍裝置、及液體填充方法
US2750332A (en) Method and apparatus for electrodeposition of a layer of uniform thickness on a conductive surface
TW202028544A (zh) 工件保持治具及電鍍裝置
JP5908266B2 (ja) 陽極化成装置及びそれを備えた陽極化成システム並びに半導体ウエハ
US4072581A (en) Stripe on strip plating method
JP2003003294A (ja) 全面電気メッキ装置及びそれによって製造される全面メッキリードフレーム
JP5915602B2 (ja) 金属皮膜の成膜装置および成膜方法
US6531037B2 (en) Removable electrode
KR100215120B1 (ko) 리이드 프레임 도금 장치 및 그에 의한 리이드 프레임 도금 방법
US4545864A (en) Selective plating
JPS623391Y2 (ja)
JP7484865B2 (ja) 金属皮膜の成膜装置および金属皮膜の成膜方法
KR101045605B1 (ko) 핀단자띠용 전해도금 장치
CN215251295U (zh) 一种pcb板电镀装置
JP2901461B2 (ja) 金属ストリップの通電処理槽用電極装置
KR101325390B1 (ko) 수평 전주장치
JP5366787B2 (ja) 連続垂直搬送式めっき装置
JPH0570988A (ja) 全面メツキ装置
KR20040096687A (ko) 도금장치의 전극
JPH06173082A (ja) 連続めっき装置
JPH036394A (ja) 水平めっき槽

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080528

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20080612

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20081125

RD01 Notification of change of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421

Effective date: 20091119

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101116

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20101221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110412

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110419

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110517

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20110530

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140624

Year of fee payment: 3

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees